DE69110950T2

DE69110950T2 - Integrierte optische Schaltung.

Info

Publication number: DE69110950T2
Application number: DE69110950T
Authority: DE
Inventors: Kenichi Okada
Original assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Current assignee: Japan Aviation Electronics Industry Ltd
Priority date: 1990-04-20
Filing date: 1991-04-18
Publication date: 1995-12-21
Anticipated expiration: 2011-04-19
Also published as: EP0452938A2; EP0452938A3; US5111518A; JP2631902B2; EP0452938B1; CA2040762A1; DE69110950D1; CA2040762C; JPH043002A

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine integrierte optische Schaltung mit verzweigten optischen Wellenleitern und insbesondere auf eine integrierte optische Schaltung, auf die ein Photodetektor, ein lichtemittierendes Element oder dergleichen optisch aktive Elemente aufgebracht werden können, und die verkleinert werden kann.
Figur 1 zeigt eine herkömmliche integrierte optische Schaltung mit dem allgemeinen Bezugszeichen 28. Auf einer elektrooptischen Platte 11, z.B. aus Lithiumniobat (LiNbO&sub3;), ist ein optischer Wellenleiter 12 ausgebildet, dessen eines Ende sich in die optischen Wellenleiter 13 und 14 verzweigt, die sich auf der einen Seite der elektrooptischen Platte 11 zu den optischen Wellenleiter-Anschlußpunkten 15 und 16 hin erstrecken, und deren anderes Ende sich in die optischen Wellenleiter 1 7 und 1 8 verzweigt, die sich auf der gegenüberliegenden Seite der elektrooptischen Platte 11 zu den optischen Wellenleiter-Anschlußpunkten 21 und 22 hin erstrecken. An beiden Seiten der sich parallel erstreckenden Abschnitte der optischen Wellenleiter 17 und 18 sind nahe der Anschlußpunkte 21 und 22 zur Bereitstellung einer Funktion der optischen Phasenmodulation Elektroden 23 ausgebildet.
Für den Ein- und Ausgang von Licht ist es im Stand der Technik bei einer solchen integrierten optischen Schaltung gängige Praxis, entweder ein Verfahren anzuwenden, in dem eine Glasfaser ihre eine Endfläche fest an jeden optischen Wellenleiter-Anschlußpunkt gebunden hat, oder ein Verfahren anzuwenden, in dem Glasfasern derselben Anzahl wie die der optischen Wellenleiter-Anschlußpunkte auf der einen Seite der elektrooptischen Platte 11 an einem Glasfasernhalter befestigt sind, der mit der integrierten optischen Schaltung verbunden ist.
Figuren 2A und 2B stellen eine Frontansicht und eine Draufsicht eines Glasfasernhalters zum Halten von zwei Glasfasern dar. Der Glasfasernhalter besteht aus zwei Halterhälften 24 und 25, die zusammengefügt sind, um zwei wie dargestellt parallel angeordnete optische Fasern 26 und 27 fest an ei nem Ende zu halten, und die Endflächen sind geschliffen oder poliert. Die Kernbeabstandung D&sub2; der Glasfasern 26 und 27 ist gleich dem äußeren Durchmesser einer jeden Glasfaser. Da der äußere Durchmesser der Glasfaser 125 um beträgt wie zum Beispiel im Fall einer Einmodenglasfaser, die in Japan handelsüblich ist, beträgt der Abstand D&sub2; beispielsweise 125 um. Dementsprechend ist der Abstand D&sub1; zwischen optischen Wellenleiter-Anschlußpunkten auf der einen Seite der integrierten optischen Schaltung 28 ebenfalls auf 125 um ausgelegt.
Der Winkel der Biegung , in welchem sich der optische Wellenleiter gabelt, beträgt in vielen Fällen einige Grade oder weniger. Gehen wir nun davon aus, daß der Winkel der Biegung des verzweigten optischen Wellenleiters 17 zu dem optischen Wellenleiter 12 in der Figur 1 zum Beispiel 1º beträgt. Damit der Abstand D&sub1; 125 um betragen kann, betragen die Längen L&sub2; jener Abschnitte der verzweigten optischen Wellenleiter 17 und 18, die zu dem optischen Wellenleiter 12 geneigt sind, etwa 3,6 mm. In dem Fall, in dem die Länge L&sub3; des optischen Wellenleiters 12 7 mm beträgt, beträgt die Länge L&sub5; eines jeden der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter 17 und 18, wo die Funktion der optischen Phasenmodulation bereitgestellt wird, 12 mm und die Länge L&sub1; eines jeden der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter 13 und 14 beträgt 3 mm, wobei die Gesamtlänge L der integrierten optischen Schaltung 29,2 mm beträgt.
Die in Figur 1 dargestellte integrierte optische Schaltung wird beispielsweise in einem Lichtfasergyroskop verwendet. Die Figuren 3 und 4 zeigen ein Beispiel für das Lichtfasergyroskop, in dem ein Spulenkörper 32 mit einer darauf gewickelten optischen Faserspule 33 auf einen Rahmen 29 montiert und mit einer Haube 29 abgedeckt ist; ein Lichtquellenmodul 34 und ein Photodetektormodul 35 sind innerhalb der Spulenkörper 32 angeordnet, eine Grundplatte 36 ist auf einer oberen Platte 32A der Spulenkörper 32 angeordnet und die integrierte optische Schaltung 28 ist mittels einer Montageplatte 37 auf der Grundplatte 36 angebracht.
Glasfasernhalter 39 und 41, die jeweils zwei Glasfasern halten, sind an den gegenüberliegenden Seiten der integrierten optischen Schaltung 28 fest mit den beiden optischen Wellenleiter- Anschlußpunkten verbunden. Die eine durch den Halter 39 gehaltene Glasfaser 42 ist durch Schmelzung mit einer Glasfaser 43 verbunden, die sich von dem Lichtquellenmodul 34 erstreckt, wohingegen die andere Glasfaser 44 durch Schmelzung mit einer Glasfaser 45 verbunden ist, die sich von dem Photodetektormodul 35 erstreckt. Glasfasern 46 und 47, die durch den Halter 41 gehalten werden, sind jeweils durch Schmelzung mit einem Ende der optischen Faserspule 33 verbunden. Herkömmlicherweise werden integrierte optische Schaltungen und andere Module auf diese Weise unter Verwendung von Glasfasern verbunden.
In der in Figur 1 dargestellten integrierten optischen Schaltung 28 ist es, da die Distanz zwischen zwei optischen Wellenleiter-Anschlußpunkten lediglich etwa 125 um beträgt, nicht möglich, einen Photodetektor und ein lichtemittierendes Element oder einen Glasfasernhalter und einen Photodetektor oder ein lichtemittierendes Element, die jeweils eine Chipgröße von 1 mm oder mehr aufweisen, nebeneinander auf der integrierten optischen Schaltung 28 anzubringen. Um den Photodetektor und das lichtemittierende Element nebeneinander auf der integrierten optischen Schaltung anzubringen, ist es notwendig, den Abstand D&sub1; zwischen den optischen Wellenleiter-Anschlußpunkten zu vergrößern, und dies erfordert eine Erhöhung der Länge L&sub2; eines jeden der geneigten Abschnitte der verzweigten optischen Wellenleiter 13 und 14, wodurch die integrierte optische Schaltung notwendiger Weise platzaufwendig werden muß.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Daher besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung einer kleinen integrierten optischen Schaltung, in der die Wellenleiter-Anschlußpunkte weit genug voneinander beabstandet sind, um eine direkte Aufbringung eines Photodetektors und eines lichtemittierenden Elements darauf zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird durch eine integrierte optische Schaltung gemäß Anspruch 1 gelöst. Spezifische Ausführungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Gemäß der vorliegenden Erfindung sind in der integrierten optischen Schaltung, in der erste und zweite optische Wellenleiter auf einer elektrooptischen Platte ausgebildet sind und sich jeweils an einem Ende zu einer Seite der elektrooptischen Platte erstrecken, die anderen Enden der ersten und zweiten optischen Wellenleiter miteinander verbunden und der Verbindungspunkt ist mit einem dritten optischen Wellenleiter verbunden, derart, daß Lichtstrahlen von dem ersten und zweiten optischen Wellenleiter gemeinsam dem dritten optischen Wellenleiter zugeführt werden und Licht von diesem letzteren zu den ersteren verzweigt wird, daß einer der ersten optischen Wellenleiter in einem Winkel auf die entsprechende Seite einer elektrooptischen Platte trifft, der von 90º abweicht, daß die Endfläche des ersten optischen Wellenleiters eine reflektierende Oberfläche bildet und ein vierter optischer Wellenleiter vorgesehen ist, durch den mittels der reflektierenden Oberfläche reflektiertes Licht an eine andere Seite der elektrooptischen Platte geführt wird.
Bei einer solchen Struktur wie oben beschrieben sind selbst, wenn die verzweigten optischen Wellenleiter kurz ausgebildet sind, das heißt, selbst, wenn die integrierte optische Schaltung klein ausgelegt ist, die optischen Wellenleiter-Anschlußpunkte ausreichend voneinander beabstandet, derart, daß aktive Elemente wie ein Photodetektor und ein lichtemittierendes Element direkt auf der integrierten optischen Schaltung aufgebracht werden können.

KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN

Fig. 1 zeigt eine Draufsicht einer herkömmlichen integrierten optischen Schaltung;
Fig. 2A zeigt eine Frontansicht eines optischen Faserhalters;
Fig. 2B ist eine Draufsicht des optischen Faserhalters von oben;
Fig. 3 zeigt eine Draufsicht der Konstruktion eines herkömmlichen Lichtfasergyroskops,
Fig. 4 zeigt den dazugehörigen Querschnitt;
Fig. 5 ist ein Diagramm, das eine schematische Darstellung einer Ausführung der vorliegenden Erfindung zeigt;
Fig. 6 ist ein Blockdiagramm, das die funktionale Konfiguration des Lichtfasergyroskops unter Verwendung der in Figur 5 dargestellten integrierten optischen Schaltung zeigt;
Fig. 7 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel für die Konstruktion des in Figur 6 dargestellten Lichtfasergyroskops zeigt;
Fig. 8 ist eine Seitenansicht des in Figur 7 dargestellten Lichtfasergyroskops;
Fig. 9 ist eine Draufsicht, die ein Sender-Empfängermodul unter Verwendung einer integrierten optischen Schaltung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt; und
Fig. 10 ist eine Frontansicht des in Figur 9 dargestellten Moduls.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGEN

Figur 5 beschreibt eine Ausführung der vorliegenden Erfindung, in der die Teile, die den Teilen der Figur 1 entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind. In dieser Ausführung trifft der Endabschnitt des optischen Wellenleiters 14 in einem Winkel, der von 90º abweicht, auf eine Seite 11a der elektrooptischen Platte 11; der optische Wellenleiter-Anschlußpunkt 16 des optischen Wellenleiters 14 ist nämlich um einen Winkel &sub1; zu einer Linie 48 geneigt, die zu der einen Seite 11 a der elektrooptischen Platte 11 senkrecht steht. Die Endfläche des optischen Wellenleiters 14 und folglich die Endfläche des optischen Wellenleiters 16 bildet eine reflektiesrende Oberfläche 49, die zur Gewährleistung der Reflexion durch die reflektierende Oberfläche 49 mit einem reflektierenden Film 54 beschichtet ist. Der reflektierende Film 54 kann leicht durch das Aufdampfen von Aluminium aufgebracht werden. In dieser Ausführung ist ein optischer Wellenleiter 51 ausgebildet, mittels dessen Licht, das durch die reflektierende Oberfläche 49 reflektiert wird, auf eine andere Seite 11 b der elektrooptischen Platte 11 geführt wird. Mit dem Ende des optischen Wellenleiters 51, das auf die Seite 11b der elektrooptischen Platte 11 trifft, also mit einem optischen Wellenleiter-Anschlußpunkt, ist ein Photodetektor 53 fest verbunden, der in diesem Beispiel ein photoelektrischer Transducer ist.
In der Ausführung der Figur 5 weicht der Winkel zwischen der Seite 11a der elektrooptischen Platte 11 und den optischen Wellenleitern 13 und 14 um &sub2; von einem rechten Winkel ab und der Winkel der Seite 11c der elektrooptischen Platte 11 und der optischen Wellenleiter 17 und 18 weicht um &sub3; von einem rechten Winkel ab, derart daß die Möglichkeit einer Fresnelschen Reflektion an den Endflächen der optischen Wellenleiter ausgeschlossen ist und damit das Auftreten von rückstrahlendem Licht vermieden wird. Die Winkel &sub2; und &sub3; unterscheiden sich jeweils abhängig von dem Lichtbrechungsindex des optisch aktiven Elements, das mit dem optischen Wellenleiter-Anschlußpunkt in Verbindung steht. In diesem Beispiel weicht der Winkel zwischen dem optischen Wellenleiter 14 und der Seite 11a durch Verwendung des Winkels &sub2; von einem rechten Winkel ab, und damit &sub1; = &sub2;.
Die integrierte optische Schaltung 55 in dieser Ausführung weist in etwa die gleiche Größe auf wie die der herkömmlichen integrierten optischen Schaltung der Figur 1, wenn die Glasfaser mit einem Durchmesser von 125 um verwendet wird, das heißt, wenn der Abstand D&sub1; 125 um beträgt.
Die Figuren 6 bis 8 stellen beispielhaft den Fall dar, in dem die in Figur 5 dargestellte integrierte optische Schaltung 55 in einem Glasfasergyroskop eingebaut ist. Zunächst wird direkt auf dem Anschlußpunkt 15 der integrierten optischen Schaltung 55 ein lichtemittierendes Element 56 angebracht, wie in Figur 6 dargestellt. Das lichtemittierende Element 56 wird durch einen Lichtquellentreiber 57 angetrieben und das resultierende Licht erreicht den optischen Wellenleiter 12 über den optischen Wellenleiter 13. Nachdem das Licht den optischen Wellenleiter 12 erreicht hat, wird es in Lichtstrahlen geteilt, die in die optischen Wellenleiter 17 und 18 geleitet werden, von wo sie durch die optische Faserspule 33 in gegengesetzte Richtungen ausbreiten. Die auf diese Art und Weise durch die optische Faserspule 33 gelaufenen Lichtstrahlen werden durch den optischen Wellenleiter 12 zur Bildung von Interferenzlicht zusammengeführt. Das Interferenz-licht wird an die optischen Wellenleiter 13 und 14 abgezweigt und das an den optischen Wellenleiter 14 abgezweigte Licht wird durch den reflektierenden Film 54 über den optischen Wellenleiter 51 zum Photodetektor 53 reflektiert. Ein aus der photoelektrischen Umwandlung durch den Photodetektor 53 resultierendes Signal wird durch einen Verstärker 58 verstärkt und wird dann an einen Signalprozessor 59 angelegt, der aus einem synchronen Detektor gebildet ist. Das Eingabesignal wird von dem Signalprozessor 59 verarbeitet und wird von diesem als Gyroskopausgabe an einen Anschlußpunkt 61 geliefert. Ein auf dem optischen Wellenleiter 18 der integrierten optischen Schaltung 55 ausgebildeter Phasenmodulator 62 ist für eine genaue Erfassung der Eingabewinkelgeschwindigkeitsinformation vorgesehen, die an die optische Faserspule 33 gegeben wird. Eine die Phase modulierende Spannung von einem Phasenmodulatortreiber 63 wird über den Elektroden des Phasenmodulators 62 angelegt.
Nun soll eine Beschreibung der Konstruktion des optischen Fasergyroskops unter Bezugnahme auf die Figuren 7 und 8 folgen. Die optischen Fasern 46 und 47, die mittels des Halters 41 mit der integrierten optischen Schaltung 55 verbunden sind, sind jeweils mit einem Ende der optischen Faserspule 33 verschmolzen. Das lichtemittierende Element 56 ist mit dem optischen Wellenleiter-Anschlußpunkt 15 des optischen Wellenleiters 13 verbunden. Es ist in diesem Falle ebenfalls möglich, eine optische Wellenleiterlinse (wie eine Modusindexlinse, eine geodätische Linse oder eine Gitterlinse) in der Nähe des optischen Wellenleiter-Anschlußpunktes 15 des optischen Wellenleiters 13 auszubilden, derart, daß die Kopplung von lichtemittierendem Element 56 und dem optischen Wellenleiter 13 verbessert wird. Der Photodetektor 53 ist mit dem optischen Wellenleiter-Anschlußpunkt 52 des optischen Wellenleiters 51 verbunden. Innerhalb eines durch die gestrichelte Linie umrissenen Raumes 64 ist die Keramikgrundplatte 36 etwa aus Keramik vorgesehen, auf der die integrierte optische Schaltung 55 und eine hybride IC montiert sind, die, wie in Figur 6 dargestellt, den Lichtquellentreiber 57, den Verstärker 58, den Phasenmodulatortreiber 63, etc. trägt. Innerhalb eines Raums 65 in der Spulenkörper 32 sind in dem Beispiel aus dem Stand der Technik, wie in Figuren 3 und 4 dargestellt, das Photodetektormodul und das Lichtquellenmodul angeordnet, in dieser Ausführung aber sind der Photodetektor 53 und das lichtemittierende Element 56 auf die integrierte optische Schaltung 55 aufgebracht, und demzufolge können der Signalprozessor 59 und anderes in dem leeren Raum untergebracht werden.
Die Figuren 9 und 10 beschreiben ein Beispiel einer weiteren Ausführung der vorliegenden Erfindung, das auf ein Sender-Empfängermodul angewendet wird. Eine integrierte optische Schaltung 66 wird durch die optischen Wellenleiter 12, 13, 14 und 51 der in Figur 5 dargestellten integrierten optischen Schaltung 55 gebildet. Licht aus dem lichtemittierenden Element 56 passiert durch den optischen Wellenleiter 1 3 und tritt in den optischen Wellenleiter 12 ein, von dem aus es auf einer Glasfaser 67 zur Übermittlung bereitgestellt wird. Andererseits tritt Licht, das über die Glasfaser 67 übermittelt wird, in den optischen Wellenleiter 12 ein, von dem aus es in die optischen Wellenleiter 13 und 14 verzweigt wird. Das an den optischen Wellenleiter 14 abgezweigte Licht wird durch den reflektierenden Film 54 über den optischen Wellenleiter 51 an den Photodetektor 53 reflektiert. In einem durch die gestrichelte Linie angedeuteten Raum 68 sind auf einer Grundplatte 69, etwa aus Keramik, zusammen mit der integrierten optischen Schaltung 66, eine elektronische Schaltung zum Antreiben des lichtemittierenden Elements 56 und eine Schaltung zum Verstärken des Ausgangssignals des Photodetektor 53 vorgesehen, wobei beide Schaltungen durch die Verwendung hybrider IC-Unterbringungs-techniken miniaturisiert sind. Die an der Grundplatte 69 angebrachten Schaltungen sind hermetisch durch ein Abdeckungsgehäuse 71 abgedichtet und jeder Anschlußpunkt 72 ist ein hermetischer Anschlußpunkt.
In Figur 5 kann der optische Wellenleiter 51 auch derart ausgebildet sein, daß sich sein Anschlußpunkt 52 zu der Seite 11c der elektrooptischen Platte 11 hin erstreckt. In einem solchen Fall können auch die Anschlußpunkte 52, wie 21 und 22, um einen großen Abstand voneinander entfernt sein. Der Anschlußpunkt 52 kann sich auch zu einer anderen Seite 11d der elektrooptischen Platte 11 erstrecken. In diesem Fall kreuzt der optische Wellenleiter 51 andere optische Wellenleiter, dies kann aber bei ausreichender Reduzierung von dessen Koppelung mit den gekreuzten optischen Wellenleitern durchgeführt werden. Die reflektierende Oberfläche kann auch auf der Endfläche des optischen Wellenleiters 13 anstelle der Endfläche des optischen Wellenleiters 14 ausgebildet sein, und sein Anschlußpunkt kann an eine andere Seite der elektrooptischen Platte 11 geführt werden. ln ähnlicher Art und Weise kann ein Anschlußpunkt eines jeden der optischen Wellenleiter 17 und 18 auf der anderen Seite der Platte 11 angeordnet sein.
Wie oben stehend beschrieben, kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein Photodetektor, ein lichtemittierendes Element oder eine Glasfaser direkt mit einer integrierten optischen Schaltung mit verzweigten optischen Wellenleitern verbunden werden, indem eine Struktur verwendet wird, in der Licht in einem der verzweigten optischen Wellenleiter durch eine Endfläche der integrierten optischen Schaltung an eine andere Endfläche derselben reflektiert wird. Zusätzlich kann die integrierte optische Schaltung klein ausgeführt werden. Dadurch wird eine Verkleinerung von Vorrichtungen möglich, die eine verkleinerte integrierte optische Schaltung wie ein Glasfasergyroskop und ein Sender-Empfängermodul verwenden.
Es versteht sich, daß zahlreiche Abwandlungen und Variationen ausgeführt werden können, ohne daß man sich dadurch von dem Schutzumfang und dem neuen Konzept der vorliegenden Erfindung entfernen würde.

Claims

1. Integrierte optische Schaltung umfassend: erste und zweite optische Wellenleiter (14, 13), die auf einer Fläche eines elektrooptischen Substrats (11) ausgebildet sind, wobei jeweils ein Ende eines jeden Wellenleiters sich zu einer Kante (11a) des elektrooptischen Substrats erstreckt und sich die anderen Enden vereinen; und einen dritten optischen Wellenleiter (12), der an einem Ende mit dem Zusammenführungspunkt des ersten und zweiten Wellenleiters verbunden ist, wodurch Licht von dem ersten und dem zweiten optischen Wellenleiter an den dritten optischen Wellenleiter gekoppelt wird und Licht von dem dritten optischen Wellenleiter zwischen dem ersten und dem zweiten Wellenleiter aufgeteilt wird,

dadurch gekennzeichnet, daß der Winkel ( &sub1;) zwischen der optischen Achse des ersten optischen Wellenleiters und der genannten Kante (11a) des elektrooptischen Substrats nicht 90º beträgt, wodurch die Endfläche des ersten optischen Wellenleiters an diesen Kanten eine reflektierende Oberfläche (49) bildet; und

dadurch, daß ein vierter optischer Wellenleiter (51) auf der einen Fläche des elektrooptischen Substrats zum Führen von Licht vorgesehen ist, das von der reflektierenden Oberfläche an eine andere Kante (11b) des elektrooptischen Substrats reflektiert wird.

2. Integrierte optische Schaltung gemäß Anspruch 1, ferner umfassend einen fünften und einen sechsten optischen Wellenleiter (18, 17), die auf der einen Fläche des elektrooptischen Substrats ausgebildet sind, wobei jeweils ein Ende des fünften und des sechsten Wellenleiters sich zu einer anderen Kante (11c) des elektrooptischen Substrats (11) hin erstreckt, die sich von der genannten einen Kante (11a) unterscheidet, wobei sich die anderen Enden vereinen und der Zusammenführungspunkt des fünften und des sechsten optischen Wellenleiters mit dem anderen Ende des dritten optischen Wellenleiters (12) verbunden ist, wodurch Licht von dem fünften und dem sechsten optischen Wellenleiter an den dritten optischen Wellenleiter gekoppelt wird und Licht von dem dritten optischen Wellenleiter zwischen dem fünften und dem sechsten Wellenleiter geteilt wird.

3. Integrierte optische Schaltung gemäß Anspruch 1 oder 2, in der die reflektierende Oberfläche (49) mit einem reflektierenden Film (54) beschichtet ist.

4. Integrierte optische Schaltung gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, in der ein aktives optisches Element (53) fest auf der Endfläche des vierten optischen Wellenleiters (51) entfernt von der reflektierenden Oberfläche (49) befestigt ist, wodurch das aktive optische Element optisch an den vierten optischen Wellenleiter gekoppelt wird.

5. Integrierte optische Schaltung gemäß Anspruch 1, 2, 3 oder 4, in der ein aktives optisches Element (56) fest auf der Endfläche des zweiten optischen Wellenleiters (13) an der genannten einen Kante (11a) des elektrooptischen Substrats (11) angebracht ist, wobei das aktive optische Element optisch an den zweiten Wellenleiter gekoppelt wird.

6. Integrierte optische Schaltung gemäß den Ansprüchen 4 und 5, in der das eine aktive optische Element (53, 56) ein lichtemittierendes Element, und das andere (56, 53) einen Photodetektor darstellt.

7. Integrierte optische Schaltung gemäß einem der Ansprüche 2 bis 6, in der auf jeder Seite des fünften optischen Wellenleiters (18) Elektroden (62) zur Phasenmodulation angeordnet sind.