JP2001356230A - 光導波路部品およびこれを利用する光モジュール - Google Patents
光導波路部品およびこれを利用する光モジュールInfo
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- JP2001356230A JP2001356230A JP2000176679A JP2000176679A JP2001356230A JP 2001356230 A JP2001356230 A JP 2001356230A JP 2000176679 A JP2000176679 A JP 2000176679A JP 2000176679 A JP2000176679 A JP 2000176679A JP 2001356230 A JP2001356230 A JP 2001356230A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 無駄を生じることなく簡単に作製できて反射
戻り光の抑制や光結合の劣化の抑制を実現できる光導波
路部品および光モジュールを提供する。 【解決手段】 光導波路１２の光軸方向に対して端面１
３を傾斜させるように菱型に形成された光導波路部品１
１において、一方の端面１３に対して直交する光軸を有
する光素子２１を一方の端面１３側に配置するときに光
素子２１と干渉することなく一方の端面１３に対して入
射角を有するように光導波路１２を湾曲させるようにし
た。
戻り光の抑制や光結合の劣化の抑制を実現できる光導波
路部品および光モジュールを提供する。 【解決手段】 光導波路１２の光軸方向に対して端面１
３を傾斜させるように菱型に形成された光導波路部品１
１において、一方の端面１３に対して直交する光軸を有
する光素子２１を一方の端面１３側に配置するときに光
素子２１と干渉することなく一方の端面１３に対して入
射角を有するように光導波路１２を湾曲させるようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路部品およ
びこれを利用する光モジュールに関する。
びこれを利用する光モジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】平面型の光導波路部品は、ウエハ上に光
導波路が形成され、半導体集積回路と同様な作製方法に
よって一括して大量に生産される。光導波路を多数形成
されたウエハは、精密切り出し機によって直線的に切り
出されて、個別に分割されて最終的に長方形状の光導波
路部品として作製される。このため、このような光導波
路部品に光素子などを接合すると、光素子からの光信号
が光導波路の端面に対して垂直に入射することから、界
面において反射を生じやすく、反射戻り光が多くなって
しまう。
導波路が形成され、半導体集積回路と同様な作製方法に
よって一括して大量に生産される。光導波路を多数形成
されたウエハは、精密切り出し機によって直線的に切り
出されて、個別に分割されて最終的に長方形状の光導波
路部品として作製される。このため、このような光導波
路部品に光素子などを接合すると、光素子からの光信号
が光導波路の端面に対して垂直に入射することから、界
面において反射を生じやすく、反射戻り光が多くなって
しまう。
【０００３】そこで、図６に示すように、光導波路１１
２の光軸方向に対して端面１１３を傾斜させるようにウ
エハ１１０を切り出して菱型（平行四辺形状）の光導波
路部品１１１を作製し、当該光導波路１１２の端面１１
３から入射する光に入射角をもたせることにより、反射
戻り光の発生を抑えて、光導波路部品１１１の光特性の
低下を抑えるようにしている。
２の光軸方向に対して端面１１３を傾斜させるようにウ
エハ１１０を切り出して菱型（平行四辺形状）の光導波
路部品１１１を作製し、当該光導波路１１２の端面１１
３から入射する光に入射角をもたせることにより、反射
戻り光の発生を抑えて、光導波路部品１１１の光特性の
低下を抑えるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような光導波路部品１１１においては、光素子１２１
を光結合させる場合、図７に示すように、光素子１２１
の端面１２３が光導波路１２２の光軸方向に対して直交
する方向であるため、光導波路１１２と光素子１２１の
光導波路１２２との間に空隙を生じてしまい、光結合が
弱くなって光モジュールの特性が低下してしまってい
た。
たような光導波路部品１１１においては、光素子１２１
を光結合させる場合、図７に示すように、光素子１２１
の端面１２３が光導波路１２２の光軸方向に対して直交
する方向であるため、光導波路１１２と光素子１２１の
光導波路１２２との間に空隙を生じてしまい、光結合が
弱くなって光モジュールの特性が低下してしまってい
た。
【０００５】このため、切り出された光導波路部品１１
１を図７に点線で示すようにさらに切断したり、図８に
示すように、台形型の光導波路部品２１１を作製するよ
うにウエハ２１０を切り出したりすることが考えられて
いるが、前者の方法では、光導波路部品１１１ごとに切
断しなければならず、作製に非常に手間がかかってしま
い、後者の方法では、ウエハ２１０の一部が無駄になっ
てしまうと共に、ウエハ２１０から切り出された光導波
路部品２１１のサイズがそれぞれ異なってしまうという
問題があった。
１を図７に点線で示すようにさらに切断したり、図８に
示すように、台形型の光導波路部品２１１を作製するよ
うにウエハ２１０を切り出したりすることが考えられて
いるが、前者の方法では、光導波路部品１１１ごとに切
断しなければならず、作製に非常に手間がかかってしま
い、後者の方法では、ウエハ２１０の一部が無駄になっ
てしまうと共に、ウエハ２１０から切り出された光導波
路部品２１１のサイズがそれぞれ異なってしまうという
問題があった。
【０００６】このようなことから、本発明は、無駄を生
じることなく簡単に作製できて反射戻り光の抑制や光結
合の劣化の抑制を実現できる光導波路部品およびこれを
利用する光モジュールを提供することを目的とした。
じることなく簡単に作製できて反射戻り光の抑制や光結
合の劣化の抑制を実現できる光導波路部品およびこれを
利用する光モジュールを提供することを目的とした。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明による光導波路部品は、光導波路の光軸
方向に対して端面を傾斜させるように菱型に形成された
光導波路部品において、一方の前記端面に対して直交す
る光軸を有する光素子を一方の当該端面側に配置すると
きに当該光素子と干渉することなく一方の当該端面に対
して入射角を有するように上記光導波路が湾曲している
ことを特徴とする。
ための、本発明による光導波路部品は、光導波路の光軸
方向に対して端面を傾斜させるように菱型に形成された
光導波路部品において、一方の前記端面に対して直交す
る光軸を有する光素子を一方の当該端面側に配置すると
きに当該光素子と干渉することなく一方の当該端面に対
して入射角を有するように上記光導波路が湾曲している
ことを特徴とする。
【０００８】また、本発明による光モジュールは、上述
した光導波路部品と光素子とが同一の基板上に搭載され
ていることを特徴とする。
した光導波路部品と光素子とが同一の基板上に搭載され
ていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明による光導波路部品および
これを利用する光モジュールの実施の形態を図１〜５を
用いて説明する。図１は、光導波路部品を切り出すウエ
ハの概略図、図２は、光導波路部品の概略図、図３は、
光導波路部品と光素子との光結合の関係の説明図、図４
は、光モジュールの概略構造を表す斜視図、図５は、光
モジュールの概略構造を表す平面図である。
これを利用する光モジュールの実施の形態を図１〜５を
用いて説明する。図１は、光導波路部品を切り出すウエ
ハの概略図、図２は、光導波路部品の概略図、図３は、
光導波路部品と光素子との光結合の関係の説明図、図４
は、光モジュールの概略構造を表す斜視図、図５は、光
モジュールの概略構造を表す平面図である。
【００１０】図１に示すように、円形のシリコン製のウ
エハ１０には、光導波路部品１１が行列状に形成され
る。各光導波路部品１１は、その形状にあわせてウエハ
１０から切り出される。この場合、切り出される光導波
路部品１１は、すべて同じ菱型（平行四辺形）となり、
ウエハ１０を有効に利用することができる。
エハ１０には、光導波路部品１１が行列状に形成され
る。各光導波路部品１１は、その形状にあわせてウエハ
１０から切り出される。この場合、切り出される光導波
路部品１１は、すべて同じ菱型（平行四辺形）となり、
ウエハ１０を有効に利用することができる。
【００１１】図２に示すように、光導波路部品１１の光
導波路１２は、半導体レーザ素子などのような光素子２
１と光結合される一方の端面１３側の光軸が当該一方の
端面１３に対して垂直となる方向へ伸びる一方、光ファ
イバ等と接続される他方の端面１３側の光軸が当該他方
の端面１３に対して所定の角度で傾斜する方向へ伸び
る、言い換えれば、上記一方の端面１３側の光軸方向に
対して所定の角度（約８度）で傾斜する方向へ伸びるよ
うに湾曲している。
導波路１２は、半導体レーザ素子などのような光素子２
１と光結合される一方の端面１３側の光軸が当該一方の
端面１３に対して垂直となる方向へ伸びる一方、光ファ
イバ等と接続される他方の端面１３側の光軸が当該他方
の端面１３に対して所定の角度で傾斜する方向へ伸び
る、言い換えれば、上記一方の端面１３側の光軸方向に
対して所定の角度（約８度）で傾斜する方向へ伸びるよ
うに湾曲している。
【００１２】光素子２１は、その光導波路２２の光軸に
対して直交する端面２３により共振器構造が構成される
ことから、光導波路部品１１の端面１３が光導波路１２
の光軸に対して入射角を有すると（傾斜していると）、
光導波路部品１１の端面１３に上記端面２３を干渉させ
ることなく十分に近接させることが難しい。先にも説明
したように、光導波路部品１１と光素子２１との間が拡
がると、光導波路部品１１と光素子２１との光結合が低
下してしまうため、光導波路部品１１と光素子２１とを
十分に近接する必要がある。
対して直交する端面２３により共振器構造が構成される
ことから、光導波路部品１１の端面１３が光導波路１２
の光軸に対して入射角を有すると（傾斜していると）、
光導波路部品１１の端面１３に上記端面２３を干渉させ
ることなく十分に近接させることが難しい。先にも説明
したように、光導波路部品１１と光素子２１との間が拡
がると、光導波路部品１１と光素子２１との光結合が低
下してしまうため、光導波路部品１１と光素子２１とを
十分に近接する必要がある。
【００１３】図３に示すように、光導波路部品１１と光
素子２１との間で十分な光結合を得るための距離をｄと
し、光導波路部品１１の一方の端面１３への入射角をθ
とし、光素子２１の光導波路部品１１と最接近する側の
チップ幅をｗとすると、光導波路部品１１と光素子２１
とが接触して干渉しないための条件として、下記の式
（１）の関係が成り立つ。そこで、下記の式（２）をの
関係を満たすようにすれば、光導波路部品１１と光素子
２１が干渉することなく必要な光結合を得ることができ
る。この場合、光導波路部品１１と光素子２１とをでき
る限り接近させるため、θ＝０とした。これにより、光
導波路部品１１と光素子２１とを極限にまで近づけるこ
とができる。
素子２１との間で十分な光結合を得るための距離をｄと
し、光導波路部品１１の一方の端面１３への入射角をθ
とし、光素子２１の光導波路部品１１と最接近する側の
チップ幅をｗとすると、光導波路部品１１と光素子２１
とが接触して干渉しないための条件として、下記の式
（１）の関係が成り立つ。そこで、下記の式（２）をの
関係を満たすようにすれば、光導波路部品１１と光素子
２１が干渉することなく必要な光結合を得ることができ
る。この場合、光導波路部品１１と光素子２１とをでき
る限り接近させるため、θ＝０とした。これにより、光
導波路部品１１と光素子２１とを極限にまで近づけるこ
とができる。
【００１４】［数１］ ｄ＞ｗ・tan θ （１） θ＜tan -1（ｄ／ｗ） （２）
【００１５】したがって、ウエハ１０から光導波路部品
１１を菱型（平行四辺形状）に切り出しても、光素子２
１とを近接させて光結合させることができるので、光導
波路部品１１の作製工程におけるレイアウトの効率化や
切り出し作業の簡略化を図ることができる。
１１を菱型（平行四辺形状）に切り出しても、光素子２
１とを近接させて光結合させることができるので、光導
波路部品１１の作製工程におけるレイアウトの効率化や
切り出し作業の簡略化を図ることができる。
【００１６】このような光導波路部品１１を利用した光
モジュールを図４，５に示す。図４，５に示すように、
シリコン製の基板３０上には、光導波路部品１１および
光素子２１が設けられている。光導波路部品１１の一方
の端面１３には、端面を傾斜するように研磨された図示
しないＭＴコネクタが接合される。また、基板３０上に
は、ガイドピン３２を案内するピンガイド部材３１が設
けられている。基板３０には、リードフレーム３３が接
合されており、光素子２１に電気信号を伝えることがで
きるようになっている。
モジュールを図４，５に示す。図４，５に示すように、
シリコン製の基板３０上には、光導波路部品１１および
光素子２１が設けられている。光導波路部品１１の一方
の端面１３には、端面を傾斜するように研磨された図示
しないＭＴコネクタが接合される。また、基板３０上に
は、ガイドピン３２を案内するピンガイド部材３１が設
けられている。基板３０には、リードフレーム３３が接
合されており、光素子２１に電気信号を伝えることがで
きるようになっている。
【００１７】ここで、光導波路部品１１の光導波路１２
は、その光軸方向が前記ＭＴコネクタの光ファイバ方向
へ伸び、光素子２１側で湾曲している。すなわち、光素
子２１は、前記光ファイバに対して傾斜して配置される
のである。
は、その光軸方向が前記ＭＴコネクタの光ファイバ方向
へ伸び、光素子２１側で湾曲している。すなわち、光素
子２１は、前記光ファイバに対して傾斜して配置される
のである。
【００１８】このような光モジュールにおいては、光導
波路部品１１が光素子２１よりも大きいので、光素子２
１を傾斜させて組み立てても、その大きさがほとんど変
化しないと共に、光素子２１が図４，５中、上側の広い
方に配置されるので、小型化を図ることができる。
波路部品１１が光素子２１よりも大きいので、光素子２
１を傾斜させて組み立てても、その大きさがほとんど変
化しないと共に、光素子２１が図４，５中、上側の広い
方に配置されるので、小型化を図ることができる。
【００１９】したがって、このような光導波路部品１１
および光モジュールによれば、無駄を生じることなく簡
単に作製できて反射戻り光の抑制や光結合の劣化の抑制
を実現することができる。
および光モジュールによれば、無駄を生じることなく簡
単に作製できて反射戻り光の抑制や光結合の劣化の抑制
を実現することができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明の光導波路部品によれば、ウエハ
から切り出した端面に接続するデバイスにあわせて、光
導波路の入射角を適切な方向に傾斜させることにより、
効率的に作製することができる。
から切り出した端面に接続するデバイスにあわせて、光
導波路の入射角を適切な方向に傾斜させることにより、
効率的に作製することができる。
【００２１】また、上記光導波路部品を利用して光モジ
ュールを作製すれば、量産に適した小型なものとするこ
とができる。
ュールを作製すれば、量産に適した小型なものとするこ
とができる。
【図１】本発明による光導波路部品を切り出すウエハの
実施の形態の概略図である。
実施の形態の概略図である。
【図２】光導波路部品の概略図である。
【図３】光導波路部品と光素子との光結合の関係の説明
図である。
図である。
【図４】本発明による光モジュールの実施の形態の概略
構造を表す斜視図である。
構造を表す斜視図である。
【図５】光モジュールの概略構造を表す平面図である。
【図６】従来の光導波路部品を切り出すウエハの一例の
概略図である。
概略図である。
【図７】従来の光導波路部品の一例の概略図である。
【図８】従来の光導波路部品を切り出すウエハの他の例
の概略図である。
の概略図である。
１０ ウエハ １１ 光導波路部品 １２ 光導波路 １３ 端面 ２１ 光素子 ２２ 光導波路 ２３ 端面 ３０ 基板 ３１ ピンガイド部材 ３２ ガイドピン ３３ リードフレーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 元速 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 BA02 CA00 CA36 2H047 KA12 MA07 PA24 QA02 TA31 TA42 5F073 AB21 EA26 FA13 FA17
Claims (2)
- 【請求項１】 光導波路の光軸方向に対して端面を傾斜
させるように菱型に形成された光導波路部品において、
一方の前記端面に対して直交する光軸を有する光素子を
一方の当該端面側に配置するときに当該光素子と干渉す
ることなく一方の当該端面に対して入射角を有するよう
に上記光導波路が湾曲していることを特徴とする光導波
路部品。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光導波路部品と光素子
とが同一の基板上に搭載されていることを特徴とする光
モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000176679A JP2001356230A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | 光導波路部品およびこれを利用する光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000176679A JP2001356230A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | 光導波路部品およびこれを利用する光モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001356230A true JP2001356230A (ja) | 2001-12-26 |
Family
ID=18678377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000176679A Pending JP2001356230A (ja) | 2000-06-13 | 2000-06-13 | 光導波路部品およびこれを利用する光モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001356230A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019040040A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | 富士通株式会社 | 光機能モジュール、これを用いた光トランシーバ、及び光機能モジュールの製造方法 |
| JP2019165120A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日亜化学工業株式会社 | 光モジュール |
| JP2022009261A (ja) * | 2018-03-20 | 2022-01-14 | 日亜化学工業株式会社 | 光モジュール |
-
2000
- 2000-06-13 JP JP2000176679A patent/JP2001356230A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019040040A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-03-14 | 富士通株式会社 | 光機能モジュール、これを用いた光トランシーバ、及び光機能モジュールの製造方法 |
| JP2019165120A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日亜化学工業株式会社 | 光モジュール |
| JP2022009261A (ja) * | 2018-03-20 | 2022-01-14 | 日亜化学工業株式会社 | 光モジュール |
| JP7189467B2 (ja) | 2018-03-20 | 2022-12-14 | 日亜化学工業株式会社 | 光モジュール |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040510 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050125 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050316 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051004 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051130 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060110 |