JP2001354317A - 移送ローラ - Google Patents

移送ローラ

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JP2001354317A
JP2001354317A JP2000178972A JP2000178972A JP2001354317A JP 2001354317 A JP2001354317 A JP 2001354317A JP 2000178972 A JP2000178972 A JP 2000178972A JP 2000178972 A JP2000178972 A JP 2000178972A JP 2001354317 A JP2001354317 A JP 2001354317A
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support shaft
fluid
bearing
discharge passage
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Kazuaki Nakano
和明 中野
Yong-Hwan Sho
容煥 徐
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Seiwa Manufacturing Co Ltd
Narae Corp
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Seiwa Manufacturing Co Ltd
Narae Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】回転による塵埃の発生を防止し、安定した回転
状態を得ることができ、長寿命であり、加工物に対して
悪影響を与えることなく、高精度に移送する。 【解決手段】支持軸24の端部に開口する給気穴42か
ら圧縮空気を供給する。連通孔44a、44bおよび連
通孔40a、40bを介して排気通路38a、38bに
噴出した圧縮空気は、スリーブ軸受32a、32bの内
周壁を均等に加圧し、ローラ本体18をラジアル方向に
対して非接触状態で支持する。また、連通孔48a、4
8bおよび連通孔46a、46bを介して排気通路54
a、54bに噴出した圧縮空気は、両端部のキャップ部
材50a、50bの内壁を均等に加圧し、ローラ本体1
8をスラスト方向に対して非接触状態で支持する。この
状態において、モータ20が駆動され、ローラ本体18
が浮動状態で回転する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子、電
気製品もしくは半導体等の各生産ラインで生産される加
工物を運搬するためのローラコンベア装置に適用される
移送ローラに関し、一層詳細には、機械的な接触、摩擦
等による粉塵の発生がなく、清浄室を必要とする半導体
等の生産に適する移送ローラに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、電子、電気製品もしくは半導
体等の各生産ラインで生産される加工物を運搬するた
め、ローラコンベア装置が用いられている。このローラ
コンベア装置は、多数の移送ローラを搬送路を構成すべ
く配列し、駆動源による駆動作用下に回転する移送ロー
ラによって加工物を搬送するものである。
【0003】この場合、移送ローラは、モータの駆動力
をチェーン等を介し受け取って回転するもの、モータ機
構を内蔵し、このモータ機構によって自ら回転するも
の、あるいは、加工物がその上を移動する際に単に従動
的に回転するだけのもの等がある。いずれの移送ローラ
にしても、従来は、両端部が回転するためにベアリング
を介して軸受に軸支されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような構成からな
る移送ローラでは、両端部が軸受に対して機械的に接触
しているため、摩耗により発生する粉塵や、ベアリング
から発生するグリース等が空中に浮遊し、作業環境を悪
化させることが懸念される。特に、半導体を製造する清
浄室等においては、このような粉塵は、製品に対して致
命的な欠陥を惹起させるおそれがある。
【0005】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、回転による塵埃の発生を防止し、安定し
た回転状態を得ることができ、長寿命であり、加工物に
対して悪影響を与えることなく、高精度に移送すること
のできる移送ローラを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、支持軸と、前記支持軸の軸線に沿って
形成され、圧縮流体が供給される流体供給通路と、前記
支持軸の少なくとも両端部側外周部に装着される軸受部
材と、前記軸受部材のラジアル方向外周部に所定の間隙
からなる第1流体排出通路を介して配設されるスリーブ
軸受と、円筒状に形成され、前記スリーブ軸受によって
支持されるローラ本体と、前記スリーブ軸受に連結さ
れ、両端部に配設される前記軸受部材のスラスト方向端
面に所定の間隙からなる第2流体排出通路を介して配設
されるキャップ部材と、前記流体供給通路と前記第1流
体排出通路とを連通する第1連通孔と、前記流体供給通
路と前記第2流体排出通路とを連通する第2連通孔と、
を備え、前記第1連通孔を介して前記第1流体排出通路
に排出される前記圧縮流体により、前記スリーブ軸受を
ラジアル方向に保持するとともに、前記第2連通孔を介
して前記第2流体排出通路に排出される前記圧縮流体に
より、前記スリーブ軸受をスラスト方向に保持すること
を特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の移送ローラが適
用されるローラコンベア装置10を示す。ローラコンベ
ア装置10は、平行に配設されたフレーム12a、12
bと、フレーム12a、12b間に回転自在に軸支され
る複数の移送ローラ14、16とから基本的に構成され
る。なお、参照符号Wは、移送ローラ14、16によっ
て矢印方向に移送される加工物を示す。
【0008】この場合、移送ローラ14は、モータ内蔵
ローラであり、自ら回転して加工物Wを移送するもので
ある。一方、移送ローラ16は、移送ローラ14によっ
て移送される加工物Wにより従動的に回転する従動ロー
ラである。本実施形態においては、加工物Wのサイズに
対応して、モータ内蔵ローラである移送ローラ14を2
本の移送ローラ16と交互に配置している。
【0009】移送ローラ14は、図2〜図5に示すよう
に、中空状の管状部材からなるローラ本体18の内部に
モータ20が内蔵され、ローラ本体18の中心部には、
支持軸24が挿通される。支持軸24は、ローラ本体1
8の両端部から突出し、フレーム12a、12bに回転
不能に支承される。モータ20は、公知のモータと同
様、所定の隙間を備えて配設される電磁石26および永
久磁石28により構成される。電磁石26は、支持軸2
4の中央部外周部に取着され、永久磁石28は、電磁石
26と対向し、ローラ本体18の中央部内周壁にS極お
よびN極が交互となるように配設される。
【0010】支持軸24の両端部側外周部には、軸受部
材30a、30bが取着される。一方、ローラ本体18
の両端部側内周壁には、軸受部材30a、30bに対し
て所定の隙間を備えてスリーブ軸受32a、32bが配
設される。さらに、ローラ本体18の両端部から一部突
出するスリーブ軸受32a、32bの側部には、支持軸
24および軸受部材30a、30bに対して所定の間隙
を介した状態でキャップ部材50a、50bが装着され
る。
【0011】ここで、支持軸24は、一方の軸受部材3
0a側から他方の軸受部材30bの部位まで穿設された
有底の給気穴42(流体供給通路)を有する。給気穴4
2は、軸受部材30a、30bの中央内周部に連通する
放射状の6本の連通孔44a、44b(第1連通孔)を
有する。また、給気穴42は、軸受部材30a、30b
のキャップ部材50a、50b側の内周部に連通する放
射状の6本の連通孔48a、48b(第2連通孔)を有
する。さらに、支持軸24の外周部には、軸線方向に沿
って排気溝52a、52bが形成される(図4参照)。
排気溝52a、52bは、ローラ本体18の中空部と外
部とを連通する。
【0012】一方、支持軸24に装着される軸受部材3
0a、30bは、各連通孔44a、44bに連通し、軸
受部材30a、30bの外周部に開口する放射状の6本
の連通孔40a、40b(第1連通孔)を有する。連通
孔40a、40bが開口する軸受部材30a、30bの
外周面は、平面状に切り欠かれることで排気通路38
a、38b(第1流体排出通路)が形成される。また、
軸受部材30a、30bは、軸受部材30a、30bの
キャップ部材50a、50b側の端面に開口し、各連通
孔48a、48bに連通する折曲された6本の連通孔4
6a、46b(第2連通孔)を有する。連通孔46a、
46bが開口する軸受部材30a、30bの端面とキャ
ップ部材50a、50bとの間には、所定の間隙からな
る排気通路54a、54b(第2流体排出通路)が形成
される。
【0013】スリーブ軸受32a、32bの両端部に装
着されるキャップ部材50a、50bは、支持軸24の
外周部との間に排気溝56a、56bを形成するととも
に、軸受部材30a、30bの外周部に形成された排気
通路38a、38bに連通して6つの排気孔58a、5
8bが形成される。
【0014】移送ローラ16は、図6に示すように、移
送ローラ14の中央部に配設されたモータ20を除去し
て構成されており、その他の部分は移送ローラ14と同
様に構成される。従って、その説明は省略する。
【0015】本実施形態に係るローラコンベア装置10
は、基本的には以上のように構成されるものであり、次
にその動作ならびに作用効果について説明する。
【0016】図1に示すローラコンベア装置10を構成
する各移送ローラ14、16の給気穴42に対して圧縮
流体、例えば、圧縮空気が供給されると、ローラ本体1
8が支持軸24に対して非接触状態に設定される。
【0017】すなわち、給気穴42に供給された圧縮空
気は、支持軸24に形成された各連通孔44a、44b
および48a、48bに流入した後、軸受部材30a、
30bに形成された各連通孔40a、40bおよび46
a、46bを介してスリーブ軸受32a、32b側およ
びキャップ部材50a、50b側に噴出する。
【0018】この場合、連通孔40a、40bから排気
通路38a、38bに噴出した圧縮空気は、スリーブ軸
受32a、32bの内周壁を加圧しつつ支持軸24の軸
線方向に拡散する。軸線方向に拡散した圧縮空気は、キ
ャップ部材50a、50bに形成した排気孔58a、5
8bを介して外部に排出されるとともに、軸受部材30
a、30bとスリーブ軸受32a、32bとの間隙を介
してモータ20側に供給される。従って、軸受部材30
a、30bの外周壁とスリーブ軸受32a、32bの内
周壁、および、電磁石26と永久磁石28がラジアル方
向に対してそれぞれ非接触状態に保持される。なお、6
つの連通孔40a、40bは、軸受部材30a、30b
に対して放射状に形成されているので、ローラ本体18
を偏心させることなく支持することができる。モータ2
0側に流入した圧縮空気は、支持軸24の外周部に形成
された排気溝52a、52bを介して外部に排出され
る。
【0019】また、連通孔46a、46bから排気通路
54a、54bに噴出した圧縮空気は、キャップ部材5
0a、50bの内壁を加圧しつつ支持軸24と直交する
方向に拡散する。拡散した圧縮空気は、キャップ部材5
0a、50bに形成した排気孔58a、58bおよび排
気溝56a、56bを介して外部に排出される。従っ
て、軸受部材30a、30bの端面壁とキャップ部材5
0a、50bの内壁とがスラスト方向に対して非接触状
態に保持されるとともに、支持軸24の外周面とキャッ
プ部材50a、50bとがラジアル方向に非接触状態に
保持される。なお、6つの連通孔46a、46bは、支
持軸24を中心とする同心円状に形成されているので、
ローラ本体18を偏心させることなく支持することがで
きる。
【0020】一方、前記のようにして非接触状態に保持
された移送ローラ14、16の中、移送ローラ14に組
み込まれるモータ20の電磁石26に電流が供給される
と、電磁石26の外周部に配設された永久磁石28と電
磁石26との間に引斥力が発生し、この引斥力によって
ローラ本体18を回転させるための回転駆動力が発生す
る。この場合、ローラ本体18は、非接触状態に保持さ
れているので、回転に伴う摩擦の影響を殆ど受けること
なく、また、粉塵等を発生することなく、速やかに回転
を開始する。
【0021】そこで、前記ようにして回転する移送ロー
ラ14上に加工物Wが載置されると、加工物Wは、図1
に示す矢印方向に移送されることになる。このとき、移
送ローラ14、16から粉塵等が発生することがないた
め、例えば、半導体等の加工物Wを好適な環境下におい
て所定の部位に移送させることができる。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ローラ本体が他の部位に対して非接触状態で回転する構
成であるため、粉塵やオイル等の発生がなく、極めて清
浄な状態で加工物を移送することができる。また、非接
触状態であるために、回転時の摩擦抵抗が極めて小さ
く、従って、小さなエネルギで効率的且つ安定してロー
ラ本体を回転させることができるとともに、長寿命な移
送ローラを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の移送ローラが適用されるローラコンベ
ア装置の概略平面図である。
【図2】本実施形態のモータを内蔵する移送ローラの要
部分解斜視図である。
【図3】図2に示す移送ローラの縦断面図である。
【図4】図3に示す移送ローラのIV−IV線断面図で
ある。
【図5】図3に示す移送ローラのV−V線断面図であ
る。
【図6】本実施形態のモータを内蔵しない移送ローラの
縦断面図である。
【符号の説明】
10…ローラコンベア装置 12a、12b…フ
レーム 14、16…移送ローラ 18…ローラ本体 20…モータ 24…支持軸 26…電磁石 28…永久磁石 30a、30b…軸受部材 32a、32b…ス
リーブ軸受 38a、38b、54a、54b…排気通路 42…給気穴 40a、40b、44a、44b、46a、46b、4
8a、48b…連通孔 50a、50b…キャップ部材 52a、52b、5
6a、56b…排気溝 58a、58b…排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中野 和明 東京都大田区本羽田2−10−11 (72)発明者 徐 容煥 大韓民国、キュンキ−ド、ヨンギン−シ、 イドン−ミョン、ハッサン−リ、341−1 ナラエ コーポレイション内 Fターム(参考) 3F033 GA06 GB08 GE04 3J017 AA01 BA01 BA02 BA10 CA01 DB07 3J102 AA02 BA04 BA19 CA05 CA10 CA11 CA32 EA02 EA06 EA09 EA13 EA16 EA22 GA11 3J103 AA02 AA15 AA19 AA24 AA25 AA36 AA45 AA74 AA75 AA80 AA81 CA25 CA36 CA43 CA72 CA78 DA08 FA12 FA18 FA21 FA26 GA02 GA37 5H607 AA12 BB01 BB14 BB17 CC05 FF11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】支持軸と、前記支持軸の軸線に沿って形成
    され、圧縮流体が供給される流体供給通路と、 前記支持軸の少なくとも両端部側外周部に装着される軸
    受部材と、 前記軸受部材のラジアル方向外周部に所定の間隙からな
    る第1流体排出通路を介して配設されるスリーブ軸受
    と、 円筒状に形成され、前記スリーブ軸受によって支持され
    るローラ本体と、 前記スリーブ軸受に連結され、両端部に配設される前記
    軸受部材のスラスト方向端面に所定の間隙からなる第2
    流体排出通路を介して配設されるキャップ部材と、 前記流体供給通路と前記第1流体排出通路とを連通する
    第1連通孔と、 前記流体供給通路と前記第2流体排出通路とを連通する
    第2連通孔と、 を備え、前記第1連通孔を介して前記第1流体排出通路
    に排出される前記圧縮流体により、前記スリーブ軸受を
    ラジアル方向に保持するとともに、前記第2連通孔を介
    して前記第2流体排出通路に排出される前記圧縮流体に
    より、前記スリーブ軸受をスラスト方向に保持すること
    を特徴とする移送ローラ。
  2. 【請求項2】請求項1記載の移送ローラにおいて、 前記第1連通孔は、前記支持軸に対して放射状に複数設
    けられることを特徴とする移送ローラ。
  3. 【請求項3】請求項1記載の移送ローラにおいて、 前記キャップ部材は、外部に連通する排気孔を有するこ
    とを特徴とする移送ローラ。
  4. 【請求項4】請求項1記載の移送ローラにおいて、 前記支持軸の外周部には、前記ローラ本体の中空部と外
    部とを連通する排気溝が形成されることを特徴とする移
    送ローラ。
  5. 【請求項5】請求項1記載の移送ローラにおいて、 支持軸の外周部には、電磁石が配設され、ローラ本体の
    内周部には、前記電磁石に対向して永久磁石が配設さ
    れ、前記電磁石および前記永久磁石によりモータが構成
    されることを特徴とする移送ローラ。
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