JP2001343424A - 基板検査装置における被検査基板の浮き上がり検出機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検査基板が浮き上がった状態で検査位置に送
り込まれるのを阻止するセンサ体に被検査基板が当接し
ても壊されないようにする。 【解決手段】検査プローブ２を有して昇降自在に配設さ
れる基板検査部１との関係で定まる所定の検査位置との
間を被検査基板５を載置して進退する基板搬送基台３
と、被検査基板５が許容水平面の面高さよりも浮き上が
って載置されている場合に接触して不適切なセット状態
にあることを前記検査位置への搬入前に検出するセンサ
体１１とを少なくとも備え、該センサ体１１は、被検査
基板５の搬入方向と直交し、かつ、その対面幅と同等も
しくはそれ以上の長さを有する棒状接触子１２と、棒状
接触子１２に水平状態を維持させながその下側接触部１
３を表出させて昇降自在に収容保持するケーシング部１
６と、棒状接触子１２の高さ位置や傾き具合を検出する
センサ部１９とで形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、垂設された１本以
上の検査プローブを下面に備えてその昇降制御が自在に
配設される基板検査部を備えるインサーキットテスタな
どの基板検査装置に好適に組み込むことができる基板検
査装置における被検査基板の浮き上がり検出機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】通常、インサーキットテスタなどの基板
検査装置においては、被検査基板を基板搬送基台上にセ
ットした上で基板検査部へと搬入され、所定の検査を終
了した後に搬出されるという動作を繰り返すことによ
り、その電気的な特性検査が行われている。

【０００３】しかも、この場合、下面に検査プローブが
垂設された基板検査部は、検査時間の短縮を図る見地か
らその昇降移動距離を極力短くして設置される。その結
果、被測定基板の上面と検査プローブとの間の離間距離
も必然的に短くなり、被測定基板が基板搬送基台に浮い
た状態でセットされた場合には、被検査基板を基板検査
部の側に搬送する際に該被検査基板が検査プローブに当
たってこれを折ってしまったり、被測定基板に検査プロ
ーブを接触させてその電気的特性を検査しようとする際
にプローブを折ってしまったりすることになる。

【０００４】図３は、上記したプローブ折れを防止すべ
く配設される被検査基板の浮き上がり検出機構の一例を
示す概略説明図である。同図によれば、その全体は、複
数本の検査プローブ２を備える基板検査部１との関係で
定まる所定の検査位置との間を被検査基板５をその定置
部４に載置して水平方向で進退する基板搬送基台３と、
該基板搬送基台３に載置された被検査基板５が許容水平
面の面高さよりも浮き上がっている場合にバネ材７で吊
持された球状接触子８と当接して前記検査位置に搬入さ
れる前に基板搬送基台３の動きを停止させるセンサ体６
とを少なくとも備えて構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図３に示す従
来機構によれば、ピンのような突起物が付設されている
被検査基板５が基板搬送基台３に大きく浮いた状態でセ
ットされている場合には、上方への逃げがないセンサ体
６に衝接して該センサ体６を壊してしまう不都合があっ
た。

【０００６】本発明は、上記従来技術の課題に鑑み、被
検査基板が基板搬送基台に大きく浮いた状態でセットさ
れている場合であってもセンサ体が壊されることのない
ようにした基板検査装置における被検査基板の浮き上が
り検出機構を提供することにその目的がある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成すべくなされたものであり、その構成上の特徴は、垂
設された１本以上の検査プローブを下面に備えてその昇
降制御が自在に配設される基板検査部との関係で定まる
所定の検査位置との間を被検査基板を載置して水平方向
で進退する基板搬送基台と、該基板搬送基台に載置され
た被検査基板が許容水平面の面高さよりも浮き上がって
いる場合に接触して不適切なセット状態にあることを前
記検査位置への搬入前に検出するセンサ体とを少なくと
も備え、該センサ体は、被検査基板の搬入方向と直交
し、かつ、その対面幅と同等もしくはそれ以上の長さを
有して配置される棒状接触子と、該棒状接触子を水平状
態を維持させながらその下側接触部を表出させて昇降自
在に収容保持するケーシング部と、前記棒状接触子の高
さ位置や傾き具合を検出するセンサ部とで形成したこと
にある。

【０００８】この場合、前記棒状接触子は、少なくとも
搬入時の前記被検査基板との対面部位が略円曲化された
ガイド面を形成しておくのが望ましく、さらには、前記
センサ部は、異常時にのみ棒状接触子の存在を検出する
非接触センサを具備させて形成するのが好ましい。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一例を示す構成
説明図であり、そのうちの（ａ）は正面側からみた状態
を、（ｂ）は一部を省略して左側面側からみた状態をそ
れぞれ示す。

【００１０】同図によれば、その全体は、垂設された１
本以上の検査プローブ２を下面に備えてその昇降制御が
自在に配設される基板検査部１との関係で定まる所定の
検査位置との間を被検査基板５を載置して水平方向で進
退する基板搬送基台３と、該基板搬送基台３の定置部４
に載置された被検査基板５が許容水平面の面高さよりも
浮き上がっている場合に接触して不適切なセット状態に
あることを前記検査位置への搬入前に検出するセンサ体
１１とを少なくとも備えて構成されている。

【００１１】この場合、センサ体１１は、被検査基板５
の搬入方向と直交し、かつ、その対面幅（横幅）と同等
もしくはそれ以上の長さを有して配置される棒状接触子
１２と、該棒状接触子１２を水平状態に保持しながらそ
の下側接触部１３を表出させて昇降自在に収容保持する
ケーシング部１６と、棒状接触子１２の高さ位置や傾き
具合を検出するセンサ部１９とで形成されている。

【００１２】このうち、棒状接触子１２は、例えば合成
樹脂などの適宜材料を用いて形成されるものであり、少
なくとも搬入時の被検査基板５との対面部位が略円曲化
されたガイド面１４を有するものであれば、断面が円形
や多角形となった柱状や筒状に形成して用いることがで
きる。

【００１３】棒状接触子１２が収容保持されるケーシン
グ部１６は、棒状接触子１２の長さ方向に沿わせて垂設
された一対の側板部１７,１７と、これら側板部１７,１
７相互間に棒状接触子１２を揺動自在に収容し得る空間
を確保すべく介在させた天板部１８とを少なくとも備え
て形成されている。

【００１４】この場合、棒状接触子１２は、水平状態を
保持し、かつ、その下側接触部１３が表出された状態で
昇降自在にケーシング部１６内に収容保持されていれば
よい。具体的には、図示例のように例えばコイルバネか
らなるバネ材１５により水平状態を維持してケーシング
部１６内に吊持され、平常時には、その下側接触部１３
がケーシング部１６の下面側から表出するようにして形
成することができる。この場合、図示例によれば、棒状
接触子１２は、１個のバネ材１５によりその中心位置が
吊持されているが、より安定的に水平状態を維持し得る
ように例えば二点以上の箇所をバネ材により各別に吊持
させることもできる。なお、図示例以外にも、例えば棒
状接触子１２を紐状の部材を用いてケーシング部１６内
で水平に吊り下げたり、ケーシング部１６を構成してい
る両側板部１７の下縁部を相互に向き合うように内側に
やや折曲して下支え部（図示せず））を形成し、これら
下支え部相互間から下側当接部１３を表出させるように
してもよい。

【００１５】また、センサ部１９は、搬入される被測定
基板５が棒状接触子１２に当接して上方に押し上げられ
たり、水平状態を維持し得なくなって傾いたりした際の
挙動を検出できるものであれば特にその種類は問わない
が、測定時におけるノイズ防止の観点からは例えばフォ
トセンサやレーザセンサなどからなる非接触センサを好
適に用いることができる。

【００１６】しかも、センサ部１９は、ケーシング部１
６の一方の側板部１７の長さ方向での左右両側に各１個
の通孔２２を設け、これらの通孔２２を介して各別に配
設されている。この場合、センサ部１９と棒状接触子１
２との配置関係は、該棒状接触子１２が被測定基板５と
当接することなく水平状態を維持しているときには例え
ばＬＥＤ等の発光素子からの照射光が棒状接触子１２に
当たらず、棒状接触子１２が被測定基板５に当接して上
昇したり傾きが生じた際に照射光が当たる配置関係にあ
ればよい。したがって、上記条件を満たす限りは、例え
ば棒状接触子１２をその長さ方向に沿って挙動監視がで
きるように１個のセンサ部を配置するなど、センサ部１
９の配置個数や配置位置も適宜選択することができる。

【００１７】次に、本発明の作用につき図２を参酌しな
がら説明すれば、所定の検査位置との間を水平方向で進
退する基板搬送基台３には、その（ａ）に示すように例
えば被検査基板５の前端側が浮き上がった状態で載置さ
れており、この状態のもとで検査位置の側に搬入されよ
うとしている。

【００１８】基板搬送基台３は、やがてセンサ体１１の
側に到達する。このとき、棒状接触子１２は、その下側
当接部１３がケーシング部１６の下面側から表出してい
るので、浮き上がった被検査基板５と当接するに至る。
棒状接触子１２は、バネ材１５を介して吊持されている
ので、被検査基板５がその下側当接部１３に当接した際
に、図２（ｂ）に示すように一対の側板部１７，1７の
内側面に沿って上方に押し上げられることになる。この
場合、棒状接触子１２の下側当接部１３が略円曲化され
たガイド面１４を備えていれば、該ガイド面１４に沿っ
て被検査基板５が移動できるので、その際により円滑に
棒状接触子１２を押し上げることができる。

【００１９】また、センサ部１９は、棒状接触子１２が
押し上げられることにより異常状態が発生したこと、つ
まり基板搬送基台３の定置部４から被検査基板５が浮き
上がっていることを検知するので、これを信号として取
り込むことにより、基板搬送基台３の搬送を直ち中止し
て検査を中断することができる。

【００２０】しかも、ピンのような突起物が付設されて
いる被検査基板５が基板搬送基台３に大きく浮いた状態
でセットされている場合であっても、その当接時に棒状
接触子１２を上方に円滑に逃がすことができるので、セ
ンサ体１１の側が壊されるのを確実に防止することがで
きる。

【００２１】また、本発明においては、棒状接触子１２
が被測定基板５に当接して上昇したり傾きが生じたりし
さえすれば、被検査基板５が浮き上がっている異常状態
にあることを確実に検知できるので、被検査基板５が検
査位置に送り込まれるのを確実に阻止して、基板検査部
１の検査プローブ２を折るなどの不具合の発生を未然に
防止することができる。

【００２２】

【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、セ
ンサ体を構成している棒状接触子は、下側当接部を表出
させた状態でケーシング部内に昇降自在に配設されてい
るので、浮き上がっている被検査基板が当接した際に上
方に逃がすことができるので、センサ体の側が壊されて
しまうのを確実に防止することができる。

【００２３】しかも、この際の前記棒状接触子の挙動
は、センサ部により異常状態発生として検知できるの
で、被検査基板が検査位置に送り込まれるのを確実に阻
止して、基板検査部の検査プローブを折るなどの不具合
の発生を未然に防止することができる。

【００２４】また、前記棒状接触子の下側当接部が略円
曲化されたガイド面を備えている場合には、該ガイド面
に沿って被検査基板が円滑に移動しつつ棒状接触子を押
し上げて、異常状態の発生をより確実に検知できること
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例を示す構成説明図であり、そのう
ちの（ａ）は正面側からみた状態を、（ｂ）は一部を省
略して左側面側からみた状態をそれぞれ示す。

【図２】本発明の被検査基板の浮き上がり検出機構の作
動状態を示す説明図であり、そのうちの（ａ）はセンサ
体の側への被検査基板到達前の状態を、（ｂ）は棒状接
触子に被検査基板が当接した際の状態をそれぞれ示す。

【図３】従来からある被検査基板の浮き上がり検出機構
の一例を示す概略説明図。

【符号の説明】

１ 基板検査部 ２ プローブ ３ 基板搬送基台 ４ 定置部 ５ 被検査基板 ６ センサ体 ７ バネ材 ８ 球状接触子 １１ センサ体 １２ 棒状接触子 １３ 下側当接部 １４ ガイド面 １５ バネ材 １６ ケーシング １７ 側板部 １７ａ 内側面 １８ 天板部 １９ センサ部 ２０ 被接触センサ ２１ リード線 ２２ 通孔

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 垂設された１本以上の検査プローブを下
   面に備えてその昇降制御が自在に配設される基板検査部
   との関係で定まる所定の検査位置との間を被検査基板を
   載置して水平方向で進退する基板搬送基台と、該基板搬
   送基台に載置された被検査基板が許容水平面の面高さよ
   りも浮き上がっている場合に接触して不適切なセット状
   態にあることを前記検査位置への搬入前に検出するセン
   サ体とを少なくとも備え、 該センサ体は、被検査基板の搬入方向と直交し、かつ、
   その対面幅と同等もしくはそれ以上の長さを有して配置
   される棒状接触子と、該棒状接触子を水平状態を維持さ
   せながらその下側接触部を表出させて昇降自在に収容保
   持するケーシング部と、前記棒状接触子の高さ位置や傾
   き具合を検出するセンサ部とで形成したことを特徴とす
   る基板検査装置における被検査基板の浮き上がり検出機
   構。
2. 【請求項２】 前記棒状接触子は、少なくとも搬入時の
   前記被検査基板との対面部位が略円曲化されたガイド面
   を形成していることを特徴とする請求項１に記載の基板
   検査装置における被検査基板の浮き上がり検出機構。
3. 【請求項３】 前記センサ部は、異常時にのみ棒状接触
   子の存在を検出する非接触センサを具備させて形成した
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査装
   置における被検査基板の浮き上がり検出機構。