JP2001340819A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】従来のハ゛ッチ゛システムでは、種々の課題がある。ま
た同様にチェーン搬送等を利用する構成では、痕跡が残り、
不良品発生の要因となること、後処理が必要となるこ
と、能率の低下を招来すること、等の課題がある。また
洗浄液への塵埃の落下侵入があり問題である。 【構成】本発明は、洗浄液貯留タンクを設けた外槽に内槽
下部を設け、内槽下部に超音波発生器を配備し、内槽下
部に上下動する内槽上部を接離可能に設け、内槽下部に
流体配管を設ける構成とした超音波洗浄装置である。各
処理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中に浮遊
又は混入する汚れを除去できる。内槽の流体面の上昇を
介して超音波洗浄装置の機能の拡充が図れる。ワークの水
平方向の移動を可能とし、水平方向の移動を利用して洗
浄及び移動を図り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等
が図れる。
た同様にチェーン搬送等を利用する構成では、痕跡が残り、
不良品発生の要因となること、後処理が必要となるこ
と、能率の低下を招来すること、等の課題がある。また
洗浄液への塵埃の落下侵入があり問題である。 【構成】本発明は、洗浄液貯留タンクを設けた外槽に内槽
下部を設け、内槽下部に超音波発生器を配備し、内槽下
部に上下動する内槽上部を接離可能に設け、内槽下部に
流体配管を設ける構成とした超音波洗浄装置である。各
処理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中に浮遊
又は混入する汚れを除去できる。内槽の流体面の上昇を
介して超音波洗浄装置の機能の拡充が図れる。ワークの水
平方向の移動を可能とし、水平方向の移動を利用して洗
浄及び移動を図り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等
が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外槽に設けた内槽下部
に対して内槽上部が、洗浄1サンクル毎に上下動して、洗浄
対象物(ワーク、例えば、部品、カ゛ラス、液晶板等）を、略水
平移動可能とするとともに、内槽上下部の流体（洗浄
水、洗浄液等）を流体貯留タンクに還流し、流体中に浮遊
する汚れを除去する構成の超音波洗浄装置に関する。
に対して内槽上部が、洗浄1サンクル毎に上下動して、洗浄
対象物(ワーク、例えば、部品、カ゛ラス、液晶板等）を、略水
平移動可能とするとともに、内槽上下部の流体（洗浄
水、洗浄液等）を流体貯留タンクに還流し、流体中に浮遊
する汚れを除去する構成の超音波洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の超音波洗浄装置は、図7に示す如
く、ハ゛ッチ゛システムであって、槽内に充填された流体中に洗
浄対象物（ワークとする）を浸漬する構成となっている。
従って、次のような問題がある。即ち、ワークを水平移動
及び上下移動して、槽内に浸漬することから、搬送装置
・動作が複雑となること、又は搬送に時間を要するこ
と、設置スヘ゜ースの拡張、工場の大型化等を招来するこ
と、等が挙げられる。
く、ハ゛ッチ゛システムであって、槽内に充填された流体中に洗
浄対象物（ワークとする）を浸漬する構成となっている。
従って、次のような問題がある。即ち、ワークを水平移動
及び上下移動して、槽内に浸漬することから、搬送装置
・動作が複雑となること、又は搬送に時間を要するこ
と、設置スヘ゜ースの拡張、工場の大型化等を招来するこ
と、等が挙げられる。
【０００３】一方、平板状のワーク（例えば、カ゛ラス、液晶
板等）では、通常、チェーン搬送及びカ゛イト゛部材を利用して
搬送する構成である。従って、ワークにカ゛イト゛部材の痕跡が
残り、不良品発生の要因となること、後処理が必要とな
ること、能率の低下を招来すること、等の問題がある。
板等）では、通常、チェーン搬送及びカ゛イト゛部材を利用して
搬送する構成である。従って、ワークにカ゛イト゛部材の痕跡が
残り、不良品発生の要因となること、後処理が必要とな
ること、能率の低下を招来すること、等の問題がある。
【０００４】次に、従来の技術文献を挙げると、特開平
7-136606号の洗浄装置がある（文献(1)とする）。この
文献(1)の内容は、外槽内に、流体供給ホース及びト゛レンハ゜イフ
゜を備えた2分割式内槽を設け、この2分割式内槽に超音
波振動子を配備し、また2分割式内槽に乾燥回転テーフ゛ルを
設けてなり、一槽において、洗浄及び乾燥を図る構成で
ある。
7-136606号の洗浄装置がある（文献(1)とする）。この
文献(1)の内容は、外槽内に、流体供給ホース及びト゛レンハ゜イフ
゜を備えた2分割式内槽を設け、この2分割式内槽に超音
波振動子を配備し、また2分割式内槽に乾燥回転テーフ゛ルを
設けてなり、一槽において、洗浄及び乾燥を図る構成で
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述の如く、従来のハ゛
ッチ゛システムでは、種々の課題がある。また同様にチェーン搬送
等を利用する構成では、痕跡が残り、不良品発生の要因
となること、後処理が必要となること、能率の低下を招
来すること、等の課題がある。
ッチ゛システムでは、種々の課題がある。また同様にチェーン搬送
等を利用する構成では、痕跡が残り、不良品発生の要因
となること、後処理が必要となること、能率の低下を招
来すること、等の課題がある。
【０００６】尚、文献(1)は、超音波振動子が上下動し
て2分割式内槽に設置又は離間する構成を採用し、またワ
ークを2分割式内槽のテーフ゛ル上に設置する際には、外槽の開
口を介して上下動する搬送手段を利用して行う構成を採
用する。従って、前述のハ゛ッチ゛システムと同様な課題がある
こと、及び超音波振動子が上下動することから、一層複
雑又は時間を要することと思われる。
て2分割式内槽に設置又は離間する構成を採用し、またワ
ークを2分割式内槽のテーフ゛ル上に設置する際には、外槽の開
口を介して上下動する搬送手段を利用して行う構成を採
用する。従って、前述のハ゛ッチ゛システムと同様な課題がある
こと、及び超音波振動子が上下動することから、一層複
雑又は時間を要することと思われる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、各処
理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中（液中）
に浮遊又は混入する汚れを除去（流出し、又は濾過）す
ること、内槽を上下部に分割する構成として、内槽の流
体面（液面）の上昇を介して超音波洗浄装置の機能の拡
充を図ること、又はワークの水平方向の移動を可能とし、
かつこの水平方向の移動を利用して洗浄及び移動を図
り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等を図ること、又
は超音波洗浄装置又は搬送手段等より落ちる塵埃の外槽
及び内槽への侵入防止を図ること、等を意図する。
理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中（液中）
に浮遊又は混入する汚れを除去（流出し、又は濾過）す
ること、内槽を上下部に分割する構成として、内槽の流
体面（液面）の上昇を介して超音波洗浄装置の機能の拡
充を図ること、又はワークの水平方向の移動を可能とし、
かつこの水平方向の移動を利用して洗浄及び移動を図
り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等を図ること、又
は超音波洗浄装置又は搬送手段等より落ちる塵埃の外槽
及び内槽への侵入防止を図ること、等を意図する。
【０００８】請求項1は、外槽内に、当該外槽の開口と
略同じ面に開口を有する内槽下部を設け、当該外槽に流
体貯留タンクを設け、また前記内槽下部に超音波発生器を
配備するとともに、当該内槽下部に内槽上部を接離可能
に設け、この内槽上部を上下動する移動手段を設け、前
記内槽下部に流体配管を設ける構成とした超音波洗浄装
置である。
略同じ面に開口を有する内槽下部を設け、当該外槽に流
体貯留タンクを設け、また前記内槽下部に超音波発生器を
配備するとともに、当該内槽下部に内槽上部を接離可能
に設け、この内槽上部を上下動する移動手段を設け、前
記内槽下部に流体配管を設ける構成とした超音波洗浄装
置である。
【０００９】請求項2の発明は、内槽の上下部の合致
を、確実かつ容易に行い、かつ流体の漏洩回避と、ワーク
の浸漬状況を確保すること、等を意図する。
を、確実かつ容易に行い、かつ流体の漏洩回避と、ワーク
の浸漬状況を確保すること、等を意図する。
【００１０】請求項2は、内槽下部にオーハ゛ーフロー兼合体用
の鍔片樋を形成し、この鍔片樋に上記の内槽上部の下端
が合体する構成とした超音波洗浄装置である。
の鍔片樋を形成し、この鍔片樋に上記の内槽上部の下端
が合体する構成とした超音波洗浄装置である。
【００１１】請求項3の発明は、超音波発生器を内槽上
下部に配備して、清浄効果の一層の拡充、及び清浄のスヒ
゜ート゛アッフ゜を図ることを意図する。請求項3は、内槽上部
に超音波発生器を設ける構成とした超音波洗浄装置であ
る。
下部に配備して、清浄効果の一層の拡充、及び清浄のスヒ
゜ート゛アッフ゜を図ることを意図する。請求項3は、内槽上部
に超音波発生器を設ける構成とした超音波洗浄装置であ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
する。
【００１３】搬入側コンヘ゛アにより搬入されるワークは、レール
に沿って移動する洗浄枠又は籠（図例である）支持部材
に支持又は収容等（以下支持とする）されるとともに、
当該籠は、車輪及び車輪と同走する移動部材、移動杆、
及び移動腕等の移動手段と前記レールを利用して、移動さ
れていき、この籠に収容（投入）されたワークを最初の外
槽に向って移動し、当該外槽内の内槽下部の上方に位置
させる。その後、内槽上部が降下して前記内槽下部に合
致した段階（合致で内槽が構成される）で、流体(洗浄
液）を順次供給する（予め内槽下部に洗浄液を供給する
場合もありえる）。そして、内槽上部まで洗浄液が充填
されたときに、超音波発生器を作動させて、超音波の振
動エネルキ゛ーを利用してワークの汚れを除去する。尚、内槽上
部にも超音波発生器を配備する構成とすれば、より効率
的な洗浄が図れる。通常は、洗浄液は内槽上部よりオーハ゛
ーフローして外槽内に流下して、浮遊する汚れを同時に流下
させる構成とする。
に沿って移動する洗浄枠又は籠（図例である）支持部材
に支持又は収容等（以下支持とする）されるとともに、
当該籠は、車輪及び車輪と同走する移動部材、移動杆、
及び移動腕等の移動手段と前記レールを利用して、移動さ
れていき、この籠に収容（投入）されたワークを最初の外
槽に向って移動し、当該外槽内の内槽下部の上方に位置
させる。その後、内槽上部が降下して前記内槽下部に合
致した段階（合致で内槽が構成される）で、流体(洗浄
液）を順次供給する（予め内槽下部に洗浄液を供給する
場合もありえる）。そして、内槽上部まで洗浄液が充填
されたときに、超音波発生器を作動させて、超音波の振
動エネルキ゛ーを利用してワークの汚れを除去する。尚、内槽上
部にも超音波発生器を配備する構成とすれば、より効率
的な洗浄が図れる。通常は、洗浄液は内槽上部よりオーハ゛
ーフローして外槽内に流下して、浮遊する汚れを同時に流下
させる構成とする。
【００１４】前述の操作によりワークの洗浄が終了した場
合は、内槽上下部及び外槽の洗浄液をフィルターを介して流
体貯留タンク(洗浄液貯留タンク)にリターンさせる。この流下（排
水）作用が順次実行される段階（最初から併用すること
もありえる）で、内槽上部を上方に移動していく。この
移動と略同時又は完了時に、排水等が終了して、最初の
洗浄が終了する。
合は、内槽上下部及び外槽の洗浄液をフィルターを介して流
体貯留タンク(洗浄液貯留タンク)にリターンさせる。この流下（排
水）作用が順次実行される段階（最初から併用すること
もありえる）で、内槽上部を上方に移動していく。この
移動と略同時又は完了時に、排水等が終了して、最初の
洗浄が終了する。
【００１５】次いで、リンス洗浄に移行する。前記と同様
な動作により次の内槽下部に洗浄済みワークが達した段階
で、当該内槽下部と内槽上部とを合致させる。この内槽
上部までリンス貯蔵タンクからホ゜ンフ゜及びフィルターを介してリンス洗
浄水が充填されたときに、超音波発生器を作動させて、
超音波の振動エネルキ゛ーを利用してワークの汚れを除去する。
尚、内槽上部、内槽側面等にも併用又は個別に超音波発
生器を配備する構成とすれば、より効率的なリンス洗浄が
図れる。通常は、リンス洗浄水は内槽上部よりオーハ゛ーフローし
て外槽内に流下して、残留する洗浄液及び汚れ、又はリン
ス洗浄水の汚れを同時に流下させる構成とする。
な動作により次の内槽下部に洗浄済みワークが達した段階
で、当該内槽下部と内槽上部とを合致させる。この内槽
上部までリンス貯蔵タンクからホ゜ンフ゜及びフィルターを介してリンス洗
浄水が充填されたときに、超音波発生器を作動させて、
超音波の振動エネルキ゛ーを利用してワークの汚れを除去する。
尚、内槽上部、内槽側面等にも併用又は個別に超音波発
生器を配備する構成とすれば、より効率的なリンス洗浄が
図れる。通常は、リンス洗浄水は内槽上部よりオーハ゛ーフローし
て外槽内に流下して、残留する洗浄液及び汚れ、又はリン
ス洗浄水の汚れを同時に流下させる構成とする。
【００１６】前述の操作によりワークのリンス洗浄が終了した
場合は、内槽上下部及び外槽のリンス洗浄水をフィルターを介し
てリンス貯留タンクにリターンさせる。この流下（排水）作用が順
次実行される段階（最初から併用することもありえる）
で、内槽上部を上方に移動していく。この移動と略同時
又は完了時に、排水等が終了して、リンス洗浄が終了す
る。
場合は、内槽上下部及び外槽のリンス洗浄水をフィルターを介し
てリンス貯留タンクにリターンさせる。この流下（排水）作用が順
次実行される段階（最初から併用することもありえる）
で、内槽上部を上方に移動していく。この移動と略同時
又は完了時に、排水等が終了して、リンス洗浄が終了す
る。
【００１７】さらにリンス済みワークは、前述の同様な動作及
び操作を介して各種処理が行われる。
び操作を介して各種処理が行われる。
【００１８】その後、次のソ゛ーンに達した段階で、通常で
は、処理済みワークは、熱風手段及びファンを介して熱風エアー
により乾燥処理される。
は、処理済みワークは、熱風手段及びファンを介して熱風エアー
により乾燥処理される。
【００１９】前記乾燥処理された洗浄済みワークは、搬送
手段を介して完了ソ゛ーンに達する。
手段を介して完了ソ゛ーンに達する。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を説明する。
【００２１】本発明の超音波洗浄装置は、搬入側コンヘ゛ア
A、搬送手段B、及び搬出側コンヘ゛アC、各処理用の洗浄装置
D、D・・（Dとする）、又乾燥装置E、制御部（図示せず）
を主構成とする。
A、搬送手段B、及び搬出側コンヘ゛アC、各処理用の洗浄装置
D、D・・（Dとする）、又乾燥装置E、制御部（図示せず）
を主構成とする。
【００２２】搬入側コンヘ゛アA及び搬出側コンヘ゛アCは、この例
ではロールコンヘ゛アを示しており、その搬送面は、後述する洗
浄装置D及び、乾燥装置E等の外槽の開口上縁と略同一面
とする。
ではロールコンヘ゛アを示しており、その搬送面は、後述する洗
浄装置D及び、乾燥装置E等の外槽の開口上縁と略同一面
とする。
【００２３】搬送手段Bは、図示しないフレームに設けたレール
支持部材1と、このレール支持部材1に設けた対のレール2(以
下、各構成部品の対の言葉は省略する)と、このレール2を
走行する車輪3と、当該レール2の方向に延設した移動部材4
と、移動部材4に併設した移動杆5と、この移動杆5に可
動可能に設けた移動腕6(搬送時外は上方に可動し、洗浄
液との接触、又は汚れ防止を図る)と、前記車輪3、移動
部材4及び移動杆5並びに移動腕6を所定距離前進後退さ
せるシリンタ゛ー、移動装置等の前進後退手段7と、で構成
し、この車輪3、移動部材4及び移動杆5並びに移動腕6が
同時に前進後退する。この前進で、ワークWを所定距離前進
し、次の処理又は搬出側コンヘ゛アCに送る。尚、場合によ
り、前の処理に戻す目的で、後退可能とする。図示しな
いが、搬送手段Bには、ストッハ゜ー、リミットスイッチ、センサー等の安
全手段、警報手段等を設ける。
支持部材1と、このレール支持部材1に設けた対のレール2(以
下、各構成部品の対の言葉は省略する)と、このレール2を
走行する車輪3と、当該レール2の方向に延設した移動部材4
と、移動部材4に併設した移動杆5と、この移動杆5に可
動可能に設けた移動腕6(搬送時外は上方に可動し、洗浄
液との接触、又は汚れ防止を図る)と、前記車輪3、移動
部材4及び移動杆5並びに移動腕6を所定距離前進後退さ
せるシリンタ゛ー、移動装置等の前進後退手段7と、で構成
し、この車輪3、移動部材4及び移動杆5並びに移動腕6が
同時に前進後退する。この前進で、ワークWを所定距離前進
し、次の処理又は搬出側コンヘ゛アCに送る。尚、場合によ
り、前の処理に戻す目的で、後退可能とする。図示しな
いが、搬送手段Bには、ストッハ゜ー、リミットスイッチ、センサー等の安
全手段、警報手段等を設ける。
【００２４】洗浄装置Dは、外槽10と、この外槽10の開
口1000及び外槽10に備えた洗浄液貯溜タンク11と、外槽10
と洗浄液貯溜タンク11とを接続する配管12と、この外槽10
に設けた内槽下部13と、この内槽下部13の開口1300及び
鍔片樋1301と、この内槽下部13に設けた超音波発生器14
と、この内槽下部13と洗浄液貯溜タンク11とを接続する配
管15と、この配管15に設けた弁機構1500、ホ゜ンフ゜1501
と、前記内槽下部13の鍔片樋1301に下端1600が合致する
内槽上部16と、この内槽上部16の昇降を司るシリンタ゛ー等の
移動手段17とで構成されている。図中11aはリンス貯留タンク
を示す。
口1000及び外槽10に備えた洗浄液貯溜タンク11と、外槽10
と洗浄液貯溜タンク11とを接続する配管12と、この外槽10
に設けた内槽下部13と、この内槽下部13の開口1300及び
鍔片樋1301と、この内槽下部13に設けた超音波発生器14
と、この内槽下部13と洗浄液貯溜タンク11とを接続する配
管15と、この配管15に設けた弁機構1500、ホ゜ンフ゜1501
と、前記内槽下部13の鍔片樋1301に下端1600が合致する
内槽上部16と、この内槽上部16の昇降を司るシリンタ゛ー等の
移動手段17とで構成されている。図中11aはリンス貯留タンク
を示す。
【００２５】乾燥装置Eは、熱風供給手段18と、熱風供
給手段18で生成された熱風を送るタ゛クト19とで構成する。
この熱風は、タ゛クト19を介して内槽下部13に設けたワークWに
送られる。また図示しないが、内槽上部16に超音波発生
器が設けられている。尚、内槽下部13と内槽上部16とで
内槽を構成する。
給手段18で生成された熱風を送るタ゛クト19とで構成する。
この熱風は、タ゛クト19を介して内槽下部13に設けたワークWに
送られる。また図示しないが、内槽上部16に超音波発生
器が設けられている。尚、内槽下部13と内槽上部16とで
内槽を構成する。
【００２６】
【発明の効果】請求項1の発明は、外槽内に、外槽の開
口と略同じ面に開口を有する内槽下部を設け、外槽に洗
浄液貯留タンクを設け、内槽下部に超音波発生器を配備す
るとともに、内槽下部に内槽上部を接離可能に設け、こ
の内槽上部を上下動する移動手段を設け、内槽下部に流
体配管を設ける構成とした超音波洗浄装置である。従っ
て、各処理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中
（液中）に浮遊又は混入する汚れを除去（流出し、又は
濾過）できること、内槽を上下部に分割する構成とし
て、内槽の流体面（液面）の上昇を介して超音波洗浄装
置の機能の拡充が図れること、又はワークの水平方向の移
動を可能とし、かつこの水平方向の移動を利用して洗浄
及び移動を図り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等が
図れること、外槽及び内槽への塵埃の侵入防止が図れる
こと、等の特徴がある。
口と略同じ面に開口を有する内槽下部を設け、外槽に洗
浄液貯留タンクを設け、内槽下部に超音波発生器を配備す
るとともに、内槽下部に内槽上部を接離可能に設け、こ
の内槽上部を上下動する移動手段を設け、内槽下部に流
体配管を設ける構成とした超音波洗浄装置である。従っ
て、各処理の1サイクル毎に内槽上部が上下動して、液体中
（液中）に浮遊又は混入する汚れを除去（流出し、又は
濾過）できること、内槽を上下部に分割する構成とし
て、内槽の流体面（液面）の上昇を介して超音波洗浄装
置の機能の拡充が図れること、又はワークの水平方向の移
動を可能とし、かつこの水平方向の移動を利用して洗浄
及び移動を図り、作業の簡略化、スヒ゜ート゛化、容易化等が
図れること、外槽及び内槽への塵埃の侵入防止が図れる
こと、等の特徴がある。
【００２７】請求項2の発明は、内槽下部にオーハ゛ーフロー兼
合体用の鍔片樋を形成し、この鍔片樋に上記の内槽上部
の下端が合体する構成とした超音波洗浄装置である。し
たがって、内槽の上下部の合致を、確実かつ容易に行
い、かつ洗浄液等の漏洩回避と、ワークの浸漬状況が確保
できること、等の特徴がある。
合体用の鍔片樋を形成し、この鍔片樋に上記の内槽上部
の下端が合体する構成とした超音波洗浄装置である。し
たがって、内槽の上下部の合致を、確実かつ容易に行
い、かつ洗浄液等の漏洩回避と、ワークの浸漬状況が確保
できること、等の特徴がある。
【００２８】請求項3の発明は、内槽上部に超音波発生
器を設ける構成とした超音波洗浄装置である。したがっ
て、超音波発生器を内槽上下部に配備して、清浄効果の
一層の拡充、及び清浄のスヒ゜ート゛アッフ゜が図れること、等の
特徴がある。
器を設ける構成とした超音波洗浄装置である。したがっ
て、超音波発生器を内槽上下部に配備して、清浄効果の
一層の拡充、及び清浄のスヒ゜ート゛アッフ゜が図れること、等の
特徴がある。
【図1】本発明の一例を説明する全体模式図である。
【図2】本発明の搬入側の一例を説明する拡大模式図で
ある。
ある。
【図3】本発明の搬出側の一例を説明する拡大模式図で
ある。
ある。
【図4】本発明の搬送手段と洗浄装置の一例を説明する
拡大模式図である。
拡大模式図である。
【図5】本発明の搬送手段と洗浄装置の一部との関係を
説明する拡大模式図である。
説明する拡大模式図である。
【図6】本発明の洗浄過程を説明する模式図であり、(イ)
は内槽下部と内槽上部とが合致した状態を、(ロ)は内槽
下部と内槽上部とが合致し、主として、内槽上部より洗
浄液がオーハ゛ーフローしている状態を、(ハ)は内槽下部より内
槽上部を僅か離間した状態を、また(ニ)は内槽下部より
内槽上部が離間した状態を、それぞれ示す。
は内槽下部と内槽上部とが合致した状態を、(ロ)は内槽
下部と内槽上部とが合致し、主として、内槽上部より洗
浄液がオーハ゛ーフローしている状態を、(ハ)は内槽下部より内
槽上部を僅か離間した状態を、また(ニ)は内槽下部より
内槽上部が離間した状態を、それぞれ示す。
【図7】従来の超音波洗浄装置の一例を説明する模式図
である。
である。
A 搬入側コンヘ゛ア B 搬送手段 C 搬出側コンヘ゛ア D 洗浄装置 E 乾燥装置 1 レール支持部材 2 レール 3 車輪 4 移動部材 5 移動杵 6 移動腕 7 前進後退手段 10 外槽 1000 開口 11 洗浄液貯溜タンク 11a リンス貯溜タンク 12 配管 13 内槽下部 1300 開口 1301 鍔片樋 14 超音波発生器 15 配管 1500 弁機構 1501 ホ゜ンフ゜ 16 内槽上部 1600 下端 17 移動手段 18 熱風供給手段 19 タ゛クト W ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】 外槽内に、当該外槽の開口と略同じ面に
開口を有する内槽下部を設け、当該外槽に流体貯留タンク
を設け、また前記内槽下部に超音波発生器を配備すると
ともに、当該内槽下部に内槽上部を接離可能に設け、こ
の内槽上部を上下動する移動手段を設け、前記内槽下部
に流体配管を設ける構成とした超音波洗浄装置。 - 【請求項２】 上記の内槽下部にオーハ゛ーフロー兼合体用の鍔
片樋を形成し、この鍔片樋に上記の内槽上部の下端が合
体する構成とした請求項1に記載の超音波洗浄装置。 - 【請求項３】 上記の内槽上部に超音波発生器を設ける
構成とした請求項1に記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000164781A JP3343344B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000164781A JP3343344B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001340819A true JP2001340819A (ja) | 2001-12-11 |
| JP3343344B2 JP3343344B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=18668361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000164781A Expired - Lifetime JP3343344B2 (ja) | 2000-05-30 | 2000-05-30 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3343344B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006026477A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Fine Machine Kataoka Kk | 超音波洗浄装置 |
| KR100605007B1 (ko) * | 2004-03-29 | 2006-07-26 | 삼금공업 주식회사 | 초음파 세척 시스템 |
| US7290551B2 (en) | 2001-11-29 | 2007-11-06 | Fine Machine Kataoka Co., Ltd. | Washing device and its work conveying method |
| US20120060870A1 (en) * | 2010-09-14 | 2012-03-15 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Cleansing Apparatus for Substrate and Cleansing Method for the Same |
| CN108499957A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-09-07 | 珠海城市职业技术学院 | 一种全自动超声波清洗系统 |
| CN113649348A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-16 | 上海大学 | 一种半导体异形件清洗系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105327899A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-17 | 重庆市贵荣塑胶制品有限公司 | 一种电脑键盘生产线上的自动静电除尘装置 |
-
2000
- 2000-05-30 JP JP2000164781A patent/JP3343344B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7290551B2 (en) | 2001-11-29 | 2007-11-06 | Fine Machine Kataoka Co., Ltd. | Washing device and its work conveying method |
| US7628867B2 (en) | 2001-11-29 | 2009-12-08 | Fine Machine Kataoka Co., Ltd. | Washing device and its work conveying method |
| KR100605007B1 (ko) * | 2004-03-29 | 2006-07-26 | 삼금공업 주식회사 | 초음파 세척 시스템 |
| JP2006026477A (ja) * | 2004-07-13 | 2006-02-02 | Fine Machine Kataoka Kk | 超音波洗浄装置 |
| JP4601043B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2010-12-22 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | 超音波洗浄装置 |
| US20120060870A1 (en) * | 2010-09-14 | 2012-03-15 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Cleansing Apparatus for Substrate and Cleansing Method for the Same |
| CN108499957A (zh) * | 2018-05-09 | 2018-09-07 | 珠海城市职业技术学院 | 一种全自动超声波清洗系统 |
| CN108499957B (zh) * | 2018-05-09 | 2021-02-26 | 珠海城市职业技术学院 | 一种全自动超声波清洗系统 |
| CN113649348A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-11-16 | 上海大学 | 一种半导体异形件清洗系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3343344B2 (ja) | 2002-11-11 |
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