JP2001339638A - ストリークカメラ装置 - Google Patents

ストリークカメラ装置

Info

Publication number
JP2001339638A
JP2001339638A JP2000157025A JP2000157025A JP2001339638A JP 2001339638 A JP2001339638 A JP 2001339638A JP 2000157025 A JP2000157025 A JP 2000157025A JP 2000157025 A JP2000157025 A JP 2000157025A JP 2001339638 A JP2001339638 A JP 2001339638A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
streak
ccd camera
operation state
camera
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000157025A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Mizushima
廣 水島
Kazutaka Suzuki
一孝 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP2000157025A priority Critical patent/JP2001339638A/ja
Priority to AU2001258804A priority patent/AU2001258804A1/en
Priority to EP01932203A priority patent/EP1306652A4/en
Priority to US10/296,509 priority patent/US20030128278A1/en
Priority to PCT/JP2001/004280 priority patent/WO2001090709A1/ja
Publication of JP2001339638A publication Critical patent/JP2001339638A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J11/00Measuring the characteristics of individual optical pulses or of optical pulse trains
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/20Measuring radiation intensity with scintillation detectors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定試料から放出される中性子線に起因す
るノイズを排除することのできるストリークカメラ装置
を提供すること。 【解決手段】 CCDカメラ駆動回路7がインターライ
ン型CCDカメラ5の動作状態を電荷掃き捨て動作状態
から露光動作状態へと切り換えるタイミングを、制御回
路10により、試料9から被測定光Rが放出される時点
よりも遅延させることによって、被測定光Rと同時に試
料9から放出される中性子線によってインターライン型
CCDカメラ5の内部に発生するノイズを低減する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定光強度の時
間的変化をストリーク像として計測するストリークカメ
ラ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のストリークカメラ装置は、図7に
示すように、被測定光強度の時間的変化をストリーク像
へ変換して蛍光面101a上に形成するストリーク管1
01と、ストリーク管101の蛍光面101aに形成さ
れるストリーク像を増幅して蛍光面102a上に表示す
るイメージインテンシファイア102と、イメージイン
テンシファイア102の蛍光面102aに形成される光
像を撮像するフレーム転送型CCDカメラ103と、ス
トリーク管101の動作を制御するストリーク掃引回路
104と、フレーム転送型CCDカメラ103を駆動す
るCCDカメラ駆動回路105とから構成される。ま
た、ストリークカメラ装置の外部には、測定対象である
試料107と、試料107から被測定光Rを放出させる
ためのレーザ装置106が備えられている。
【0003】次に、従来のストリークカメラ装置の動作
を、図7と図8とを参照しながら説明する。レーザ装置
106からレーザ光Lが試料107に照射されると同時
に(図7及び図8(a))、試料107からX線等の被
測定光Rが放出される(図7及び図8(b))。この被
測定光Rがストリーク管101の光電面101bに入射
するとともに、レーザ装置106からのストリーク掃引
トリガ信号T1を受信したストリーク掃引回路104に
よって、ストリーク管101にストリーク掃引電圧Vs
が印加される(図8(c)及び(d))。これにより、
ストリーク管101の蛍光面101aには、ストリーク
像が形成される。このストリーク像は、蛍光面101a
を構成する物質に残光特性があるため、数msec間残
光する。また、ストリーク像はイメージインテンシファ
イア102により増幅され、増幅されたストリーク像は
イメージインテンシファイア102の蛍光面102aに
形成される。このイメージインテンシファイア102の
蛍光面102a上の増幅されたストリーク像は、フレー
ム転送型CCDカメラ103により撮像される。ここ
で、フレーム転送型CCDカメラ103は、ストリーク
掃引回路104からのCCDトリガ信号T2を受信した
CCDカメラ駆動回路105からの指令信号Sにより露
光を開始する(図8(f)及び(g))。ここで、露光
開始のタイミングは、図8(a)と図8(h)とを比べ
るとわかるように、レーザ光Lが試料107に照射され
るのと同時である。
【0004】また、従来のストリークカメラ装置には、
図9に示すように、制御用コンピュータ108がレーザ
装置106とCCDカメラ駆動回路105との間に設け
られたものもある。この制御用コンピュータ108か
ら、レーザトリガ信号T4がレーザ装置106へ、また
CCDトリガ信号T2がCCDカメラ駆動回路105へ
とそれぞれ送信される。このような構成においては、図
10(a)、図10(g)及び図10(i)からわかる
ように、レーザトリガ信号T4がレーザ装置106へ送
信される時点よりも一定時間だけ早い時点に、CCDト
リガ信号T2がCCDカメラ駆動回路105へ送信さ
れ、被測定光Rが放出される時点よりも早くフレーム転
送型CCDカメラ103が露光を開始する(図10
(i))。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のストリ
ークカメラ装置においては、文献Rev.Sci.In
strum.,68(1),January 1997
pp.628〜631.に述べられているような問題
がある。その問題を以下に説明する。
【0006】試料107にレーザ光Lが照射されると、
試料107からはX線ばかりではなく中性子線が放出さ
れる。フレーム転送型CCDカメラ103の露光は、上
述の通り、試料107にレーザ光Lが照射されるのと同
時(すなわち被測定光が放出されるのと同時)、あるい
は照射されるより早く始まるので、露光中のフレーム転
送型CCDカメラ103は中性子線に晒されることにな
る。試料107から放出された中性子線がフレーム転送
型CCDカメラ103に入射すれば、フレーム転送型C
CDカメラ103の内部に電荷が誘起される。また、中
性子線から二次的に生成されたα粒子あるいは陽子がフ
レーム転送型CCDカメラ103に入射した場合にも、
フレーム転送型CCDカメラ103の内部に電荷が誘起
される。このようにして生じた電荷は、測定により得よ
うとする信号とともに外部へ転送され、ノイズとして検
出されるという問題があった。
【0007】また、従来のストリークカメラ装置に使用
されるイメージインテンシファイア102には電子増倍
器であるMCP(図示せず)が内蔵されているが、試料
107から放出される中性子線は、このMCPにも影響
を与える。すなわち、中性子線あるいは中性子線から二
次的に発生したα粒子や陽子がMCPに入射すると、M
CP内部で電子が発生する。この電子は、MCP自体に
より増倍され、イメージインテンシファイア102の蛍
光面102a上に光像を形成する。この中性子線等に起
因した光像はフレーム転送型CCDカメラ103により
撮像され、バックグラウンドノイズとして検出されてし
まうという問題もあった。
【0008】本発明は、被測定試料から放出される中性
子線に起因するノイズを低減することのできるストリー
クカメラ装置を提供することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明に係るストリークカメラ装置は、被測定光
強度の時間的変化をストリーク像へ変換するストリーク
管と、ストリーク像を増幅する増幅手段と、増幅手段に
より増幅されたストリーク像を撮像するインターライン
型CCDカメラと、ストリーク管の動作を制御するスト
リーク掃引回路と、インターライン型CCDカメラの動
作状態を、電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと
切り換えるCCDカメラ駆動回路と、CCDカメラ駆動
回路がインターライン型CCDカメラの動作状態を電荷
掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切り換えるタイ
ミングを、被測定光が放出される時点よりも遅延させる
制御回路とを備えることを特徴とする。
【0010】レーザ光が試料に照射されると、被測定光
であるX線とともに中性子線が試料から放出されるが、
中性子線が大量に発生する期間は、試料へのレーザ光入
射後数十μsecである。一方、ストリーク管で形成さ
れるストリーク像が残像する期間は、概ね数msec間
である。たとえば、蛍光面として使用されるP−43の
残光時間(発光強度が10%まで低下する時間)は約1
msecである。また、P−39のように50〜100
msecもの間残光するものもある。したがって、CC
Dカメラの露光開始をレーザ光照射時点(X線と中性子
線とが放出される時点)より数十μsec遅らせて、中
性子線の強度が充分に減衰してからCCDカメラの露光
を開始すれば、CCDカメラ露光中の中性子線の影響を
低減することができる。しかも、蛍光面には数msec
間残光があるため、CCDカメラの露光開始タイミング
を遅延させても測定に必要な情報は問題なく得られる。
【0011】本発明によるストリークカメラ装置は、C
CDカメラ駆動回路がCCDカメラ(インターライン
型)の動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状
態へと切り換えるタイミング(すなわちCCDカメラが
露光を開始するタイミング)を、被測定光が放出される
時点よりも遅延させる制御回路を備えている。そのた
め、CCDカメラが露光を開始するタイミングをレーザ
光照射時点(X線と中性子線とが放出される時点)より
も一定の遅延時間δ(数十μsec)だけ遅延させるこ
とができる。したがって、CCDカメラは中性子線の強
度が充分に減衰してから露光を開始するので、CCDカ
メラが露光中に中性子線等から受ける影響を低減するこ
とができる。
【0012】また、CCDカメラの露光開始タイミング
をレーザ光照射時点より遅らせるだけでは、中性子線等
がCCDカメラに与える影響を充分に除去できるわけで
はない。すなわち、露光開始以前であっても、中性子線
あるいは中性子線から二次的に生成されるα粒子や陽子
がCCDカメラに入射するとCCDカメラには電荷が誘
起される。この誘起された電荷は、CCDカメラ内に蓄
積され、露光終了後に、被測定光(X線)により誘起さ
れた電荷とともに外部へ転送されるので、ノイズとして
観測されてしまう。
【0013】そこで、本発明のストリークカメラ装置に
おいては、従来のストリークカメラ装置において常用さ
れるフレーム転送型CCDカメラに替わり、インターラ
イン型CCDカメラを用いる。このインターライン型C
CDカメラは、フレーム転送型CCDカメラに比べて、
CCDカメラ内に蓄積された電荷を高速に掃き捨てるこ
とができるので、中性子線等が露光開始以前にCCDカ
メラに入射することによってCCDカメラ内に電荷が誘
起されたとしても、その電荷を極めて短時間(遅延時間
δより短かい時間)に掃き捨てることができる。したが
って、インターライン型CCDカメラが露光開始以前に
被る中性子線等の影響を低減することができる。
【0014】上記のように、本発明のストリークカメラ
装置においては、CCDカメラ駆動回路がCCDカメラ
の動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へ
と切り換えるタイミングを、制御回路により被測定光の
放出時点から遅延させるようにしているので、試料から
放出される中性子線が減衰してから、CCDカメラの露
光を開始することができる。その結果、CCDカメラ露
光中に中性子線あるいは中性子線から二次的に生じるα
粒子や陽子に起因するノイズを低減できる。さらに、イ
ンターライン型CCDカメラを用い、このインターライ
ン型CCDカメラを露光開始前に電荷掃き捨て動作状態
としておくことによって、インターライン型CCDカメ
ラ内で中性子線等により誘起される電荷を掃き捨てるこ
とができる。その結果、被測定光と中性子線とが試料よ
り放出された時点から露光が始まる時点までの間にイン
ターライン型CCDカメラ内で中性子線等により生じる
ノイズをも低減できる。
【0015】また、本発明によるストリークカメラ装置
においては、上述の制御回路が、CCDカメラ駆動回路
がインターライン型CCDカメラの動作状態を電荷掃き
捨て動作状態から露光動作状態へと切り換えるタイミン
グを、被測定光が放出される時点よりも一定期間早い時
点から一定期間遅い時点までの間に設定できるように構
成されるのが好ましい。
【0016】制御回路を上述のように構成すれば、CC
Dカメラ駆動回路がインターライン型CCDカメラの動
作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切
り換えるタイミングを被測定光が放出される時点に対し
て一定期間早い時点から一定期間遅い時点までの間に適
宜調整できる。したがって、測定により得ようとする信
号と中性子線等に起因したノイズとの強度の比(すなわ
ちS/N比)を確認しながら測定を行なえるので、精度
良い測定が可能となる。
【0017】また、本発明のストリークカメラ装置は、
ストリーク像を増幅する増幅手段を被測定光が放出され
る時点よりも遅延させて駆動するための駆動手段をさら
に備えるよう構成されるのが好ましい。
【0018】このように構成すれば、ストリーク像を増
幅する増幅手段であるイメージインテンシファイアに内
蔵された電子増倍器であるMCPに電圧を印加するタイ
ミングを、上記の駆動手段によって中性子線の強度が減
衰するまで遅延させることができるので、中性子等の粒
子線がMCPへ与える影響を低減できる。すなわち、被
測定光が放出される時点よりもMCPに電圧を印加する
時点を遅延させれば、中性子線が大量に発生する期間に
は、MCPには電圧が印加されていないこととなり、中
性子線等によりMCP内で電子が誘起されたとしても、
この電子が増倍されることはない。したがって、従来の
技術のように遅延させることなくMCPに電圧を印加し
た場合に比べ、中性子等の粒子線によりMCPで生じる
ノイズを数千分の一にまで低く抑えることができる。な
お、中性子線の強度が減衰した数十μsec後にMCP
への電圧を印加するようにしても、ストリーク管の蛍光
面にはストリーク像が数msec間継続するので問題な
く測定を行える。
【0019】また、上記の増幅手段としてMCPを含ま
ない増幅手段を用いるのが好ましい。すなわち、MCP
を含まない増幅手段を用いれば、中性子線等がMCPに
影響を与えることがないので、これらの粒子線によるノ
イズを排除できる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明によるストリークカメラ装置の実施形態を説明す
る。なお、同一の要素には同一の符号を用いることと
し、重複する説明は省略する。
【0021】図1は、本発明に係るストリークカメラ装
置の第1の実施形態の構成を示す概略図である。また、
図2は、第1の実施形態によるストリークカメラ装置の
動作を説明する模式図である。
【0022】本実施形態によるストリークカメラ装置1
は、被測定光強度の時間的変化をストリーク像へと変換
して蛍光面2a上に表示するストリーク管2と、ストリ
ーク像を増幅して蛍光面3a上に表示するイメージイン
テンシファイア3と、イメージインテンシファイア3の
蛍光面3aに形成される増幅されたストリーク像を、光
学系4を通して撮像するインターライン型CCDカメラ
5と、インターライン型CCDカメラ5の動作状態を電
荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切り換えるC
CDカメラ駆動回路7と、CCDカメラ駆動回路7がイ
ンターライン型CCDカメラ5の動作状態を電荷掃き捨
て動作状態から露光動作状態へと切り換えるタイミング
を被測定光Rが放出される時点よりも遅延させる制御回
路10と、ストリーク管2の動作を制御するストリーク
掃引回路6とを備えている。また、ストリークカメラ装
置1の外部には、測定対象である試料9と、試料9を励
起するレーザ装置8とが設けられている。
【0023】ストリーク管2は、内部が真空に保たれた
円筒状のチューブ2bを備えている。このチューブ2b
の被測定光R(X線)が入射する面には光電面2cが設
けられている。光電面2cは光を電子に変換する機能を
有しており、被測定光Rが光電面2cに入射すると、被
測定光Rの入射面と反対側の面から電子が放出される。
また、チューブ2b内部において、光電面2cと対向す
る位置に加速電極2dが設けられている。この加速電極
2dは光電面2cで発生した電子を加速するものであ
る。さらに、チューブ2bの内部において、加速電極2
dに対して光電面2cと反対側の位置に一対の偏向板2
eが備えられている。この偏向板2eには、ストリーク
掃引回路6からストリーク掃引電圧Vsが印加される。
このストリーク掃引電圧Vsによって、加速電極2dで
加速された電子は偏向される。さらに、チューブ2bの
被測定光Rが入射する面と反対側の面には、蛍光面2a
が設けられている。この蛍光面2aには、加速電極2d
で偏向された電子が衝突する。電子が衝突すると蛍光面
2aは発光するので、蛍光面2a上に衝突した電子の分
布に応じた光像、すなわちストリーク像が形成される。
なお、本実施形態及び第2〜4の実施形態においては、
ストリーク管2の蛍光面2aにはP−43が使用されて
いる。また、チューブ2bの外部には、チューブ2bの
側面を取り囲むようにコイル2fが設けられている。こ
のコイル2fは、加速電極2dで加速された電子を集束
するものである。
【0024】ストリーク像を増幅する増幅手段であるイ
メージインテンシファイア3は、光が入射する面がスト
リーク管2の蛍光面2aと対向するように設けられてい
る。このイメージインテンシファイア3の内部には、電
子増倍器であるMCP(図示せず)が備えられている。
ストリーク管2の蛍光面2a上のストリーク像から発せ
られた光が、イメージインテンシファイア3に入射する
と、入射面に設けられた光電面3bの光の入射面と反対
側の面から電子が放出される。この電子はMCPにより
増倍された後に、蛍光面3aに衝突する。その結果、蛍
光面3a上には増幅されたストリーク像が形成される。
【0025】インターライン型CCDカメラ5は、光の
入射面がイメージインテンシファイア3の蛍光面3aと
対向するように設けられており、この蛍光面3a上の光
像を撮像する役割を果たす。
【0026】CCDカメラ駆動回路7は、インターライ
ン型CCDカメラ5を駆動するためのものであり、特
に、このインターライン型CCDカメラ5の動作状態を
電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切り換える
機能を有する。
【0027】制御回路10は、CCDカメラ駆動回路7
がインターライン型CCDカメラ5の動作状態を電荷掃
き捨て動作から露光動作へと切り換えるタイミング(露
光開始タイミング)を制御するものである。具体的に
は、制御回路10は、ストリーク掃引回路6から送信さ
れるCCDトリガ信号T2を受信すると、一定の遅延時
間δだけ経過した後に遅延CCDトリガ信号T3をCC
Dカメラ駆動回路7へと送信する機能を有する。
【0028】このように構成されたストリークカメラ装
置1の動作を図1と図2とを参照しながら説明する。
【0029】まず、レーザ装置8からレーザ光Lが試料
9に照射される以前に、インターライン型CCDカメラ
5はCCDカメラ駆動回路7により電荷掃き捨て動作状
態に設定される。この動作状態においては、インターラ
イン型CCDカメラ5内の電荷はすべて外部へ転送され
てしまうので、インターライン型CCDカメラ5は無電
荷状態にある。
【0030】パルス状のレーザ光Lが試料9に照射され
ると同時に(図2(a))、試料9からは被測定光R
(X線)が放出される(図2(b))。この被測定光R
がストリーク管2の光電面2cに入射する同時に、光電
面2cの被測定光Rの入射側とは反対側の面から電子が
放出される。この電子は加速電極2dにより加速され、
蛍光面2aに向かって飛行していく。ここで、電子は、
光電面2cに被測定光Rが照射されている間放出され続
けるため、ビーム状となって蛍光面2aへと飛行してい
く。
【0031】レーザ光Lが試料9に照射されるのに先立
ってレーザ装置8からストリーク掃引トリガ信号T1が
ストリーク掃引回路6へと送信される(図2(c))。
ストリーク掃引回路6は、ストリーク掃引トリガ信号T
1を受信すると、電圧値が時間に対して直線的に変化す
るストリーク掃引電圧Vsを偏向板2eに印加する(図
2(d))。このストリーク掃引電圧Vsにより飛行中
の電子は偏向されて蛍光面2aに衝突する。電子が衝突
した蛍光面2aは発光し、蛍光面2a上にはストリーク
像が形成される。そして、ストリーク像は、イメージイ
ンテンシファイア3により増幅され、イメージインテン
シファイア3の蛍光面3a上に増幅されたストリーク像
が形成される。なお、被測定光Rが試料9から放出され
る時点から、イメージインテンシファイア3の蛍光面3
a上に増幅されたストリーク像が形成されるまでの間に
時間遅れはなく、被測定光Rの放出と同時にイメージイ
ンテンシファイア3の蛍光面3a上に増幅されたストリ
ーク像が形成される。
【0032】また、パルス状のレーザ光Lが試料9に照
射されるのと同時に、ストリーク掃引回路6からCCD
トリガ信号T2が制御回路10へと送信される(図2
(f))。ここで、CCDトリガ信号T2がストリーク
掃引回路6から送信されるのと、制御回路10がCCD
トリガ信号T2を受信されるのは同時である。制御回路
10は、CCDトリガ信号T2を受信すると、一定の遅
延時間δだけ経過してから、遅延CCDトリガ信号T3
をCCDカメラ駆動回路7へと送信する(図2
(g))。遅延CCDトリガ信号T3が制御回路10か
ら送信されるのと、CCDカメラ駆動回路7に遅延CC
Dトリガ信号T3が受信されるのは同時である。そし
て、CCDカメラ駆動回路7は、遅延CCDトリガ信号
T3を受信すると同時に、指令信号Sをインターライン
型CCDカメラ5へと発信する。インターライン型CC
Dカメラ5の動作状態は、この指令信号Sを受信すると
同時に、電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切
り換わる。すなわち、インターライン型CCDカメラ5
は露光を開始する(図2(j))。このようにして、イ
メージインテンシファイア3の蛍光面3a上に形成され
た増幅されたストリーク像が光学系4を通してインター
ライン型CCDカメラ5により撮像される。
【0033】以上説明したように、試料9から被測定光
Rが放出される時点と、制御回路10がCCDトリガ信
号T2を受信する時点は同時である。また、遅延CCD
トリガ信号T3が制御回路10から送信される時点と、
インターライン型CCDカメラ5の動作状態は電荷掃き
捨て動作状態から露光動作状態へと切り換わる時点は同
時である。遅延CCDトリガ信号T3が制御回路10か
ら送信される時点は、制御回路10がCCDトリガ信号
T2を受信する時点に対して遅延時間δ分だけの遅れが
ある。したがって、インターライン型CCDカメラ5の
動作状態は電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと
切り換わる時点、すなわちインターライン型CCDカメ
ラ5が露光を開始する時点は、試料9から被測定光Rが
放射される時点よりも遅延時間δだけ遅延される。
【0034】本実施形態のストリークカメラ装置におい
ては、制御回路10により、被測定光Rが放出される時
点よりも一定の遅延時間δの後にインターライン型CC
Dカメラ5が露光を開始するよう構成されているため、
図2(e)と図2(j)とを比較するとわかるように、
試料9から放出された中性子線が充分に減衰してからイ
ンターライン型CCDカメラ5が露光を開始する。その
ため、インターライン型CCDカメラ5が露光中に受け
る中性子線等の影響は低減される。また、CCDカメラ
5はインターライン型であり、露光開始以前にはCCD
カメラ駆動回路7により電荷掃き捨て動作状態に設定さ
れる。したがって、X線と同時に放出された中性子線あ
るいは中性子線から二次的に生成されるα線や陽子がイ
ンターライン型CCDカメラ5に入射しても、これらの
粒子線によりインターライン型CCDカメラ5内に誘起
された電荷は掃き捨てられ、ノイズとして検出されるこ
とはない。また、インターライン型CCDカメラ5が露
光を開始する時点においては、ストリーク管2の蛍光面
2aの残光作用によりストリーク像が残像しているの
で、ストリーク像はインターライン型CCDカメラ5に
より撮像される(図2(h)、図2(i)及び図2
(j)を参照)。したがって、中性子線等に起因したノ
イズが低減された状態で、被測定光Rにより形成される
ストリーク像を測定することができる。
【0035】次に、本発明によるストリークカメラ装置
の第2の実施形態を説明する。
【0036】図3は、本発明によるストリークカメラ装
置の第2の実施形態の構成を示す概略図である。図4
は、第2の実施形態によるストリークカメラ装置の動作
を説明するための模式図である。
【0037】第2の実施形態によるストリークカメラ装
置20においては、第1の実施例における制御回路10
の替わりに、図3に示すように、制御回路12がレーザ
装置8とCCDカメラ駆動回路7とに接続されるよう設
けられている。この制御回路12により、レーザ装置8
からレーザ光Lが試料9へと放出されるタイミングと、
CCDカメラ駆動回路7がインターライン型CCDカメ
ラの動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態
へと切り換えるタイミングとが制御される。
【0038】第2の実施形態によるストリークカメラ装
置20において、試料9から放出された被測定光Rによ
り形成されるストリーク像が、イメージインテンシファ
イア3により増幅され、イメージインテンシファイア3
の蛍光面3aに増幅されたストリーク像が形成されると
いう一連の動作は、第1の実施形態のストリークカメラ
装置1における動作と同様である。以下、動作の異なる
点について説明する。
【0039】ストリークカメラ装置20においては、制
御回路12からレーザトリガ信号T4がレーザ装置8へ
と送信され、このレーザトリガ信号T4を受信したレー
ザ装置8からレーザ光Lが試料9へと放出される。さら
に、制御回路12からCCDトリガ信号T5がCCDカ
メラ駆動回路7へと送信される。そして、このCCDト
リガ信号T5を受信したCCDカメラ駆動回路7からの
指令信号Sにより、インターライン型CCDカメラ5の
動作状態は電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと
切り変わる。(すなわち露光が開始される。)ここで、
インターライン型CCDカメラ5が露光を開始するタイ
ミングは、制御回路12から送信されるレーザトリガ信
号T4とCCDトリガ信号T5との送信時点の差により
任意に決定される。例えばCCDトリガ信号T5をレー
ザトリガ信号T4よりも早く送信するようにすれば、イ
ンターライン型CCDカメラ5は被測定光Rの放出時点
よりも早く露光を開始する(図4(e))。また、CC
Dトリガ信号T5とレーザトリガ信号T4とを同時に送
信するようにすれば、インターライン型CCDカメラ5
は被測定光Rの放出と同時に露光を開始する(図4
(f))。さらに、CCDトリガ信号T5をレーザトリ
ガ信号T4よりも遅く送信するようにすれば、インター
ライン型CCDカメラ5は被測定光Rの放出時点よりも
遅く露光を開始する(図4(g))。
【0040】このように、第2の実施形態においては、
CCDカメラ駆動回路7がインターライン型CCDカメ
ラ5の動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状
態へと切り換えるタイミング(露光開始タイミング)
を、制御回路12によって被測定光Rが放出される時点
よりも一定期間早い時点から一定期間遅い時点までの間
に任意に設定できるよう構成したので、得ようとする信
号と中性子線等に起因したノイズとの強度の比(すなわ
ちS/N比)を確認しながら、測定を行うことができ
る。そのため、測定の精度を向上させることができる。
【0041】なお、第2の実施形態のストリークカメラ
装置20においては、インターライン型CCDカメラの
露光開始タイミングを、被測定光Rが放出される時点よ
りも一定期間早い時点から一定期間遅い時点までの間に
設定するよう制御回路12を構成されるが、その設定可
能範囲については、試料の材質、ストリーク管2及びイ
メージインテンシファイア3の蛍光面3aの残光時間、
レーザ光の強度あるいはレーザ光照射時間などの測定条
件を勘案して決定すれば良い。
【0042】次に、本発明によるストリークカメラ装置
の第3の実施形態を説明する。
【0043】図5は、本発明によるストリークカメラ装
置の第3の実施形態の構成を示す概略図である。図6
は、第2の実施形態によるストリークカメラ装置の動作
を説明する模式図である。
【0044】第3の実施形態によるストリークカメラ装
置30おいては、第1の実施形態の構成に加えて、図5
に示すように、ストリーク像を増幅する増幅手段を駆動
するイメージインテンシファイア駆動回路11が設けら
れている。このイメージインテンシファイア駆動回路1
1は、制御回路10と結線されており、遅延CCDトリ
ガ信号T3を受信する。この場合、イメージインテンシ
ファイア駆動回路11と制御回路10とによって、スト
リーク像を増幅する増幅手段(イメージインテンシファ
イア3)を被測定光Rが放出される時点よりも遅延させ
て駆動するための駆動手段が構成される。
【0045】第3の実施形態のストリークカメラ装置に
おいては、試料9から放出される被測定光Rの強度の時
間的変化がストリーク管2の蛍光面2a上にストリーク
像として表示される動作は、上述した第1の実施形態の
動作と同様である。以下では、第1の実施形態の動作と
異なる点についてのみ説明する。
【0046】制御回路10からの遅延CCDトリガ信号
T3は、CCDカメラ駆動回路7ばかりではなく、イメ
ージインテンシファイア駆動回路11へも送信される。
イメージインテンシファイア駆動回路11は、遅延CC
Dトリガ信号T3を受信すると同時にイメージインテン
シファイア3内のMCP(図示せず)に電圧を印加す
る。この時点において、ストリーク管2の蛍光面2a上
にストリーク像が残像しているので、ストリーク像は、
イメージインテンシファイア3により増幅され、イメー
ジインテンシファイア3の蛍光面3a上に増幅されたス
トリーク像が形成される(図6(i))。一方、遅延C
CDトリガ信号T3は、イメージインテンシファイア駆
動回路11に受信されるのと同時にCCDカメラ駆動回
路7にも受信されるので、CCDカメラ駆動回路7がイ
ンターライン型CCDカメラの動作状態を電荷掃き捨て
動作状態から露光動作状態へと切り換えるタイミング
は、イメージインテンシファイア3内のMCPへの電圧
が印加されるのと同時である。(図6(g)、図6
(i)及び(j))。すなわち、イメージインテンシフ
ァイア3の蛍光面3a上に増幅されたストリーク像が形
成されるのと同時に、インターライン型CCDカメラ5
の動作状態は電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へ
と切り換えられ、蛍光面3a上の増幅されたストリーク
像は光学系4を通してインターライン型CCDカメラ5
により撮像される。
【0047】以上のように、第3の実施形態において
は、イメージインテンシファイア駆動回路11を設け、
このイメージインテンシファイア駆動回路11が制御回
路10からの遅延CCDトリガ信号T3を受信するよう
に構成されているので、インターライン型CCDカメラ
5の露光ばかりでなく、イメージインテンシファイア3
内の電子増倍器であるMCPへの電圧印加をも遅延させ
ることができる。そのため、図6(e)と図6(i)を
比較すると分かるように、試料9から放出される中性子
線が充分に減衰してから、MCPへ電圧が印加される。
その結果、中性子線あるいは中性子線から二次的に生成
されるα粒子や陽子によりMCPにおいて誘起される電
子がMCPにより増倍されることはなく、MCPに与え
る中性子線等の影響を低減できる。
【0048】次に、本発明によるストリークカメラ装置
の第4の実施形態を説明するが、この実施形態では、第
1の実施形態において使用されたMCPを内蔵したイメ
ージインテンシファイア3に替わり、MCPを含まず構
成されたイメージインテンシファイアが使用される。そ
の他の装置構成及び測定動作はすべて第1の実施形態と
同一である。
【0049】中性子線等がイメージインテンシファイア
に与える影響は、主にMCPに対するものなので、MC
Pを含まないイメージインテンシファイアであれば、中
性子線等がイメージインテンシファイアに与える影響を
抑えることができる。
【0050】本発明は、上述した実施形態に限定される
ものではなく、さらに様々な変形が可能である。
【0051】上記第1の実施形態においては、ストリー
ク掃引回路6とCCDカメラ駆動回路7との間に制御回
路10を設けるよう構成したが、これに限られるもので
はない。インターライン型CCDカメラ5の露光開始タ
イミングを被測定光Rが放出される時点に対して遅延さ
せることができれば、制御回路10を例えばCCDカメ
ラ駆動回路7とCCDカメラ5との間に設けるようにし
てもよい。
【0052】また、上記第2の実施形態において、スト
リーク像を増幅する増幅手段であるイメージインテンシ
ファイア3を、被測定光Rが放出される時点より遅延さ
せて駆動するため駆動手段を備えるよう構成し、MCP
への電圧印加のタイミングを遅延させるようにしてもよ
い。
【0053】また、第2の実施形態のストリークカメラ
装置20において、第4の実施形態のストリークカメラ
装置30に用いたMCPを含まず構成されたイメージイ
ンテンシファイアを使用するようにしてもよい。
【0054】また、上記のいずれの実施形態において
も、蛍光面としてP−43を有するストリーク管を用い
たが、どのような蛍光物質からなる蛍光面を選択するか
については、蛍光面の残光時間と中性子線が大量に発生
する期間とを考慮して決定すれば良い。
【0055】また、中性子線等が影響を与えるのは主に
はCCDカメラとMCPであるが、中性子線等がイメー
ジインテンシファイア3の蛍光面3aへ衝突し、蛍光面
3a上に中性子線等による光像が形成される可能性が僅
かながらある。このような中性子線等によるイメージイ
ンテンシファイア3の蛍光面3aへの影響を排除するた
めには、残光の短い蛍光物質をイメージインテンシファ
イア3の蛍光面3aとして使用するのが好ましい。すな
わち、残光時間が短ければ、中性子線等がイメージイン
テンシファイア3の蛍光面3aに衝突した場合でも、イ
ンターライン型CCDカメラ5が露光を開始する以前
に、蛍光面3a上の中性子線等により形成される光像は
短時間で減衰する。したがって、中性子線等による光像
がインターライン型CCDカメラ5により撮像され難く
なる。そのため、中性子線等が蛍光面に与える影響を低
減できる。
【0056】
【発明の効果】上記のように、本発明のストリークカメ
ラ装置においては、CCDカメラ駆動回路がCCDカメ
ラの動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態
へと切り換えるタイミングを、制御回路により被測定光
の放出時点から遅延させるようにしているので、試料か
ら放出される中性子線が減衰してから、CCDカメラの
露光を開始することができる。その結果、CCDカメラ
露光中に中性子線あるいは中性子線から二次的に生じる
α粒子や陽子に起因するノイズを低減できる。さらに、
インターライン型CCDカメラを用い、このインターラ
イン型CCDカメラを露光開始前に電荷掃き捨て動作状
態としておくことによって、インターライン型CCDカ
メラ内で中性子線により誘起される電荷を掃き捨てるこ
とができる。その結果、被測定光と中性子線とが試料よ
り放出された時点から露光が始まる時点までの間にイン
ターライン型CCDカメラ内で中性子線等により生じる
ノイズをも低減できる。
【0057】また、本発明によるストリークカメラ装置
において、CCDカメラ駆動回路がインターライン型C
CDカメラの動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光
動作状態へと切り換えるタイミングを、被測定光が放出
される時点よりも一定の期間早い時点から遅い時点まで
の間に設定する制御回路を備えるよう構成すれば、得よ
うとする信号と中性子線等に起因したノイズとの強度の
比(すなわちS/N比)を確認しながら、測定を行うこ
とができる。そのため、測定の精度を向上させることが
できる。
【0058】また、本発明によるストリークカメラ装置
において、ストリーク像を増幅する増幅手段を被測定光
が放出される時点よりも遅延させて駆動するための駆動
手段を設けて、この駆動手段により、ストリーク像を増
幅する増幅手段に内蔵されたMCPに電圧を印加するタ
イミングを遅延させるようにすれば、中性子線が大量に
発生する期間には、MCPには電圧が印加されないの
で、中性子線等によりMCP内で電子が誘起されたとし
ても、この電子が増倍されることはない。したがって、
中性子等の粒子線により増幅手段で生じるノイズを低減
することができる。
【0059】また、MCPを含まない増幅手段を用いる
ようにすれば、中性子等がMCPに影響を与えることが
なく、これらの粒子線により増幅手段で生じるノイズを
排除できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るストリークカメラ装置の第1の実
施形態の構成を示す概略図である。
【図2】第1の実施形態によるストリークカメラ装置の
動作を説明するための模式図である。
【図3】本発明に係るストリークカメラ装置の第2の実
施形態の構成を示す概略図である。
【図4】第2の実施形態によるストリークカメラ装置の
動作を説明するための模式図である。
【図5】本発明に係るストリークカメラ装置の第3の実
施形態の構成を示す概略図である。
【図6】第3の実施形態によるストリークカメラ装置の
動作を説明するための模式図である。
【図7】従来のストリークカメラ装置の第1例の構成を
示す概略図である。
【図8】第1例の従来のストリークカメラ装置の動作を
説明するための模式図である。
【図9】従来のストリークカメラ装置の第2例の構成を
示す概略図である。
【図10】第2例の従来のストリークカメラ装置の動作
を説明するための模式図である。
【符号の説明】
1…ストリークカメラ装置、2…ストリーク管、3…イ
メージインテンシファイア、5…インターライン型CC
Dカメラ、6…ストリーク掃引回路、7…CCDカメラ
駆動回路、8…レーザ装置、9…試料、10…制御回
路、11…イメージインテンシファイア駆動回路、12
…制御回路、20…ストリークカメラ装置、30…スト
リークカメラ装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G001 AA07 CA01 CA04 DA01 DA09 FA21 GA09 GA12 HA12 HA13 JA11 5C022 AA14 AA15 AB01 AB37 AC42 5C024 AX13 AX16 CX03 GY04 GZ01 HX02 HX03

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定光強度の時間的変化をストリーク
    像へ変換するストリーク管と、 前記ストリーク像を増幅する増幅手段と、 前記増幅手段により増幅されたストリーク像を撮像する
    インターライン型CCDカメラと、 前記ストリーク管の動作を制御するストリーク掃引回路
    と、 前記インターライン型CCDカメラの動作状態を、電荷
    掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切り換えるCC
    Dカメラ駆動回路と、 前記CCDカメラ駆動回路が前記インターライン型CC
    Dカメラの動作状態を電荷掃き捨て動作状態から露光動
    作状態へと切り換えるタイミングを、被測定光が放出さ
    れる時点よりも遅延させる制御回路と、を備えることを
    特徴とするストリークカメラ装置。
  2. 【請求項2】 前記制御回路が、前記CCDカメラ駆動
    回路が前記インターライン型CCDカメラの動作状態を
    電荷掃き捨て動作状態から露光動作状態へと切り換える
    タイミングを、被測定光が放出される時点よりも一定期
    間早い時点から一定期間遅い時点までの間に設定できる
    ように構成されていることを特徴とする請求項1に記載
    のストリークカメラ装置。
  3. 【請求項3】 被測定光が放出される時点よりも遅延さ
    せて前記増幅手段を駆動する駆動手段をさらに備えるこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載のストリークカメ
    ラ装置。
  4. 【請求項4】 前記増幅手段がMCPを含まず構成され
    ていることを特徴とする請求項1又は2に記載のストリ
    ークカメラ装置。
JP2000157025A 2000-05-26 2000-05-26 ストリークカメラ装置 Pending JP2001339638A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000157025A JP2001339638A (ja) 2000-05-26 2000-05-26 ストリークカメラ装置
AU2001258804A AU2001258804A1 (en) 2000-05-26 2001-05-22 Streak camera apparatus
EP01932203A EP1306652A4 (en) 2000-05-26 2001-05-22 STREAK CAMERA DEVICE
US10/296,509 US20030128278A1 (en) 2000-05-26 2001-05-22 Streak camera apparatus
PCT/JP2001/004280 WO2001090709A1 (en) 2000-05-26 2001-05-22 Streak camera apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000157025A JP2001339638A (ja) 2000-05-26 2000-05-26 ストリークカメラ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001339638A true JP2001339638A (ja) 2001-12-07

Family

ID=18661726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000157025A Pending JP2001339638A (ja) 2000-05-26 2000-05-26 ストリークカメラ装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20030128278A1 (ja)
EP (1) EP1306652A4 (ja)
JP (1) JP2001339638A (ja)
AU (1) AU2001258804A1 (ja)
WO (1) WO2001090709A1 (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4659300B2 (ja) 2000-09-13 2011-03-30 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法
TWI326626B (en) 2002-03-12 2010-07-01 Hamamatsu Photonics Kk Laser processing method
WO2003076119A1 (en) 2002-03-12 2003-09-18 Hamamatsu Photonics K.K. Method of cutting processed object
CN100355031C (zh) 2002-03-12 2007-12-12 浜松光子学株式会社 基板的分割方法
JP4188653B2 (ja) * 2002-10-01 2008-11-26 浜松ホトニクス株式会社 蛍光測定装置
TWI520269B (zh) 2002-12-03 2016-02-01 Hamamatsu Photonics Kk Cutting method of semiconductor substrate
FR2852250B1 (fr) 2003-03-11 2009-07-24 Jean Luc Jouvin Fourreau de protection pour canule, un ensemble d'injection comportant un tel fourreau et aiguille equipee d'un tel fourreau
CN1758985A (zh) 2003-03-12 2006-04-12 浜松光子学株式会社 激光加工方法
US20170336431A1 (en) * 2016-05-19 2017-11-23 Purdue Research Foundation System and method for measuring exhaust flow velocity of supersonic nozzles
US9940497B2 (en) * 2016-08-16 2018-04-10 Hand Held Products, Inc. Minimizing laser persistence on two-dimensional image sensors
DE102021108181B4 (de) 2021-03-31 2023-02-16 ebm-papst neo GmbH & Co. KG Vorrichtung zur Abbildung von Partikeln, insbesondere Viren, in einer Probe

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2569510B1 (fr) * 1984-08-21 1986-11-21 Thomson Csf Dispositif de correction de signaux video pour systeme d'acquisition et d'analyse de signaux rapides utilisant une camera a fente
JPH07114472B2 (ja) * 1984-11-19 1995-12-06 株式会社ニコン 固体撮像素子の駆動方法
US5083849A (en) * 1990-05-18 1992-01-28 Tektronix, Inc. Light signal sampling system
JP2670405B2 (ja) * 1991-07-24 1997-10-29 浜松ホトニクス株式会社 微弱光計測装置
JP3571467B2 (ja) * 1996-08-06 2004-09-29 浜松ホトニクス株式会社 光波形測定装置
WO1999029103A1 (fr) * 1997-11-28 1999-06-10 Hamamatsu Photonics K.K. Dispositif de capture d'images a semi-conducteurs et analyseur utilisant ledit dispositif

Also Published As

Publication number Publication date
AU2001258804A1 (en) 2001-12-03
EP1306652A1 (en) 2003-05-02
EP1306652A4 (en) 2005-07-13
US20030128278A1 (en) 2003-07-10
WO2001090709A1 (en) 2001-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001339638A (ja) ストリークカメラ装置
JP3665823B2 (ja) 飛行時間型質量分析装置及び飛行時間型質量分析方法
JP2006520888A (ja) フォトン到達時間検出装置及び方法
JPH11503865A (ja) 光子パルス検出装置
JP3513136B2 (ja) X線検査システム
US4764674A (en) High time resolution electron microscope
US5294788A (en) Low light level, high resolution imager using phosphor screen provided with a metal layer for controlling integration cycle of photosensitive matrix array
WO2022176322A1 (ja) 質量分析装置及び質量分析方法
US20230042588A1 (en) Imaging unit, mass spectrometer, and mass spectrometry method
US20230042476A1 (en) Mass spectrometry device and mass spectrometry method
JP3152455B2 (ja) 荷電粒子のエネルギー分布測定装置
JP3881629B2 (ja) 入射光の二次元位置検出装置
US11551906B1 (en) Time-gated detection, dual-layer SPAD-based electron detection
JP2730229B2 (ja) 荷電粒子ビーム照射型分析装置
Chang 3-ns flash X-radiography
JP6938297B2 (ja) 質量分析装置および質量分析方法
JP2629594B2 (ja) X線光電子分光装置
JPH04322047A (ja) 走査形電子顕微鏡及び類似装置の二次電子または反射電子検出器
JP2828256B2 (ja) 過渡発光現象測定装置
JP2749618B2 (ja) 高速こま撮りカメラ
JPH0789079B2 (ja) 輝点検出装置
KR101155412B1 (ko) 마이크로 채널 판을 갖는 광검출기, 그 광검출기를 사용한 샘플 분석시스템, 그 광검출기를 이용한 광검출방법 및 샘플분석방법
JPH06289299A (ja) 走査光電子顕微鏡
JP2001509301A (ja) 赤外線カメラ
JPH056122B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070515

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091104

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100302