JP2001337463A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001337463A5 JP2001337463A5 JP2000157038A JP2000157038A JP2001337463A5 JP 2001337463 A5 JP2001337463 A5 JP 2001337463A5 JP 2000157038 A JP2000157038 A JP 2000157038A JP 2000157038 A JP2000157038 A JP 2000157038A JP 2001337463 A5 JP2001337463 A5 JP 2001337463A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000157038A JP4655332B2 (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 露光装置、露光装置の調整方法、およびマイクロデバイスの製造方法 |
| US09/861,698 US6811953B2 (en) | 2000-05-22 | 2001-05-22 | Exposure apparatus, method for manufacturing therof, method for exposing and method for manufacturing microdevice |
| KR1020010028014A KR100827874B1 (ko) | 2000-05-22 | 2001-05-22 | 노광 장치, 노광 장치의 제조 방법, 노광 방법, 마이크로 장치의 제조 방법, 및 디바이스의 제조 방법 |
| TW090112212A TW520526B (en) | 2000-05-22 | 2001-05-22 | Exposure apparatus, method for manufacturing thereof, method for exposing and method for manufacturing micro-device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000157038A JP4655332B2 (ja) | 2000-05-26 | 2000-05-26 | 露光装置、露光装置の調整方法、およびマイクロデバイスの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001337463A JP2001337463A (ja) | 2001-12-07 |
| JP2001337463A5 true JP2001337463A5 (pt) | 2008-02-28 |
| JP4655332B2 JP4655332B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=18661737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000157038A Expired - Lifetime JP4655332B2 (ja) | 2000-05-22 | 2000-05-26 | 露光装置、露光装置の調整方法、およびマイクロデバイスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4655332B2 (pt) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4548969B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2010-09-22 | パナソニック株式会社 | 露光装置、及び露光方法 |
| JP4051204B2 (ja) * | 2002-01-11 | 2008-02-20 | 株式会社オーク製作所 | 投影露光装置 |
| JP4051278B2 (ja) * | 2001-12-26 | 2008-02-20 | 株式会社オーク製作所 | 投影露光装置 |
| JP4496711B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2010-07-07 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
| JP5143331B2 (ja) * | 2003-05-28 | 2013-02-13 | 株式会社ニコン | 露光方法及び露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| KR20060009956A (ko) | 2003-05-28 | 2006-02-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법, 노광 장치, 및 디바이스 제조 방법 |
| JP2004354909A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Orc Mfg Co Ltd | 投影露光装置および投影露光方法 |
| JP2005345582A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 投影光学系およびパターン描画装置 |
| JP4583827B2 (ja) * | 2004-07-21 | 2010-11-17 | 富士フイルム株式会社 | 画像形成装置および画像形成方法 |
| WO2007055199A1 (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-18 | Nikon Corporation | 露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 |
| JP2008166650A (ja) * | 2007-01-05 | 2008-07-17 | Nikon Corp | 走査型露光装置、デバイスの製造方法及びマスク |
| JP2008185908A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Nikon Corp | マスクの製造方法、露光方法、露光装置、および電子デバイスの製造方法 |
| KR20160084539A (ko) | 2015-01-05 | 2016-07-14 | (주)그린광학 | Ghi라인 차단용 반사 필터 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06302494A (ja) * | 1993-04-14 | 1994-10-28 | Canon Inc | 投影露光装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
| JP3526042B2 (ja) * | 1995-08-09 | 2004-05-10 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
| JP3521416B2 (ja) * | 1995-10-06 | 2004-04-19 | 株式会社ニコン | 投影露光装置 |
| JP3991241B2 (ja) * | 1997-04-07 | 2007-10-17 | 株式会社ニコン | 面位置調整装置及びその方法並びに露光装置及びその方法 |
| JP4029130B2 (ja) * | 1997-06-03 | 2008-01-09 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法 |
-
2000
- 2000-05-26 JP JP2000157038A patent/JP4655332B2/ja not_active Expired - Lifetime