JP2001332787A - 固体レーザ - Google Patents
固体レーザInfo
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- JP2001332787A JP2001332787A JP2000154031A JP2000154031A JP2001332787A JP 2001332787 A JP2001332787 A JP 2001332787A JP 2000154031 A JP2000154031 A JP 2000154031A JP 2000154031 A JP2000154031 A JP 2000154031A JP 2001332787 A JP2001332787 A JP 2001332787A
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- cooling element
- electronic cooling
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 筐体に固定した電子冷却素子によって共振器
部分を温度調節するようにした固体レーザにおいて、共
振器長の変化や、その変化量のバラツキを十分に少なく
抑える。 【解決手段】 筐体１の上に電子冷却素子２の下面２ａ
が固定され、この電子冷却素子２の上面２ｂに例えばＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶13と共振器ミラー14とで構成される共振
器の部分が固定されてなる固体レーザにおいて、電子冷
却素子２として、その下面２ａの反り量が100μｍ以下
のものを用いる。
部分を温度調節するようにした固体レーザにおいて、共
振器長の変化や、その変化量のバラツキを十分に少なく
抑える。 【解決手段】 筐体１の上に電子冷却素子２の下面２ａ
が固定され、この電子冷却素子２の上面２ｂに例えばＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶13と共振器ミラー14とで構成される共振
器の部分が固定されてなる固体レーザにおいて、電子冷
却素子２として、その下面２ａの反り量が100μｍ以下
のものを用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固体レーザに関し、
特に詳細には、共振器部分を電子冷却素子によって所定
温度に温度調節するようにした固体レーザに関するもの
である。
特に詳細には、共振器部分を電子冷却素子によって所定
温度に温度調節するようにした固体レーザに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】例えば特開昭６２−１８９７８３号公報
に示されているように、ネオジウム等の希土類が添加さ
れた固体レーザ媒質を半導体レーザ（レーザダイオー
ド）によってポンピングする固体レーザが公知となって
いる。この固体レーザにおいては、より短波長のレーザ
ビームを得るために、その共振器内に非線形光学材料か
らなる光波長変換素子を配置して、固体レーザ発振光を
第２高調波等に波長変換することも広く行なわれてい
る。
に示されているように、ネオジウム等の希土類が添加さ
れた固体レーザ媒質を半導体レーザ（レーザダイオー
ド）によってポンピングする固体レーザが公知となって
いる。この固体レーザにおいては、より短波長のレーザ
ビームを得るために、その共振器内に非線形光学材料か
らなる光波長変換素子を配置して、固体レーザ発振光を
第２高調波等に波長変換することも広く行なわれてい
る。
【０００３】この種の固体レーザにおいては、共振器長
の変化による出力変動等の問題を防止するために、共振
器部分を電子冷却素子（ペルチェ素子）の上面すなわち
冷却面上に固定して、所定温度に温度調節することが一
般に行なわれている。なお、上述のように固体レーザ発
振光を波長変換する場合は、この温度調節を行なうこと
により、所定の位相整合状態（位相整合波長や位相整合
温度）を維持することも可能となる。この温度調節は通
常、共振器部分の温度を検出し、その検出温度に基づい
て電子冷却素子の駆動を制御することによってなされ
る。
の変化による出力変動等の問題を防止するために、共振
器部分を電子冷却素子（ペルチェ素子）の上面すなわち
冷却面上に固定して、所定温度に温度調節することが一
般に行なわれている。なお、上述のように固体レーザ発
振光を波長変換する場合は、この温度調節を行なうこと
により、所定の位相整合状態（位相整合波長や位相整合
温度）を維持することも可能となる。この温度調節は通
常、共振器部分の温度を検出し、その検出温度に基づい
て電子冷却素子の駆動を制御することによってなされ
る。
【０００４】またその場合、電子冷却素子はその下面を
筐体の底面の上に固定して、該筐体内に収納されること
が多い。この筐体は、光学部品の保護や外部との断熱の
ために用いられるものであり、その場合は、筐体に設け
たビーム取出し窓からレーザビームを取り出すようにし
て使用される。このように筐体の上に電子冷却素子の下
面を固定し、この電子冷却素子の上面に共振器部分を固
定してなる固体レーザについては、例えば特開平７−１
４２８０３号公報に一例が示されている。
筐体の底面の上に固定して、該筐体内に収納されること
が多い。この筐体は、光学部品の保護や外部との断熱の
ために用いられるものであり、その場合は、筐体に設け
たビーム取出し窓からレーザビームを取り出すようにし
て使用される。このように筐体の上に電子冷却素子の下
面を固定し、この電子冷却素子の上面に共振器部分を固
定してなる固体レーザについては、例えば特開平７−１
４２８０３号公報に一例が示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
して共振器部分を温度調節するようにした従来の固体レ
ーザにおいては、温度調節しているにも拘わらず共振器
長が変化し、しかもその変化量は同じ型式の電子冷却素
子を用いていてもバラバラになるので、出力変動を抑制
するのが非常に難しいという問題が認められている。
して共振器部分を温度調節するようにした従来の固体レ
ーザにおいては、温度調節しているにも拘わらず共振器
長が変化し、しかもその変化量は同じ型式の電子冷却素
子を用いていてもバラバラになるので、出力変動を抑制
するのが非常に難しいという問題が認められている。
【０００６】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、筐体に固定した電子冷却素子によって共振器部
分を温度調節するようにした固体レーザにおいて、共振
器長の変化や、その変化量のバラツキを十分に少なく抑
えることを目的とする。
であり、筐体に固定した電子冷却素子によって共振器部
分を温度調節するようにした固体レーザにおいて、共振
器長の変化や、その変化量のバラツキを十分に少なく抑
えることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による第１の固体
レーザは、前述したように筐体の上に電子冷却素子の下
面が固定され、この電子冷却素子の上面に共振器部分が
固定されてなる固体レーザにおいて、電子冷却素子とし
て、その下面の反り量が100μｍ以下のものが用いられ
ていることを特徴とするものである。
レーザは、前述したように筐体の上に電子冷却素子の下
面が固定され、この電子冷却素子の上面に共振器部分が
固定されてなる固体レーザにおいて、電子冷却素子とし
て、その下面の反り量が100μｍ以下のものが用いられ
ていることを特徴とするものである。
【０００８】なお上記の「反り量」は、電子冷却素子の
下面の一部を定盤等の平坦な面上に定着させたとき、電
子冷却素子下面の別の部分がこの面から離間する量の最
大値で定義するものとする。
下面の一部を定盤等の平坦な面上に定着させたとき、電
子冷却素子下面の別の部分がこの面から離間する量の最
大値で定義するものとする。
【０００９】また本発明による第２の固体レーザは、上
記と同様に筐体の上に電子冷却素子の下面が固定され、
この電子冷却素子の上面に共振器部分が固定されてなる
固体レーザにおいて、電子冷却素子の下面と前記筐体と
の間の隙間に接着剤が充填されていることを特徴とする
ものである。
記と同様に筐体の上に電子冷却素子の下面が固定され、
この電子冷却素子の上面に共振器部分が固定されてなる
固体レーザにおいて、電子冷却素子の下面と前記筐体と
の間の隙間に接着剤が充填されていることを特徴とする
ものである。
【００１０】なお、本発明による以上の構成は、固体レ
ーザ発振光を波長変換する光波長変換素子が共振器内に
配設されている固体レーザにおいて適用されるのが望ま
しい。
ーザ発振光を波長変換する光波長変換素子が共振器内に
配設されている固体レーザにおいて適用されるのが望ま
しい。
【００１１】
【発明の効果】従来の固体レーザにおいて、温度調節し
ているにも拘わらず共振器長が変化したり、その変化量
にバラツキが生じるのは、下記の理由によるものと考え
られる。すなわち、電子冷却素子においては当然上面と
下面との間で温度差が生じて熱膨張量も異なり、そのた
めに電子冷却素子に反りが生じて共振器長に影響が及ぶ
ことになる。そして本発明者の研究によると、この共振
器長の変化量は、電子冷却素子の下面と筐体との間の隙
間の大きさに依存していることが判明した。
ているにも拘わらず共振器長が変化したり、その変化量
にバラツキが生じるのは、下記の理由によるものと考え
られる。すなわち、電子冷却素子においては当然上面と
下面との間で温度差が生じて熱膨張量も異なり、そのた
めに電子冷却素子に反りが生じて共振器長に影響が及ぶ
ことになる。そして本発明者の研究によると、この共振
器長の変化量は、電子冷却素子の下面と筐体との間の隙
間の大きさに依存していることが判明した。
【００１２】つまり、もしこの隙間が無い程に電子冷却
素子の下面と筐体とが強固に固定されていれば、電子冷
却素子が変形しようとしても筐体の剛性によって変形が
防止されるが、隙間がある場合は筐体による変形防止効
果が低くなり、共振器長が変化してしまうのである。そ
して、このときの共振器長の変化量は隙間が大きいほど
大となるので、同じ型式の電子冷却素子を用いていても
この変化量にバラツキが生じるのである。
素子の下面と筐体とが強固に固定されていれば、電子冷
却素子が変形しようとしても筐体の剛性によって変形が
防止されるが、隙間がある場合は筐体による変形防止効
果が低くなり、共振器長が変化してしまうのである。そ
して、このときの共振器長の変化量は隙間が大きいほど
大となるので、同じ型式の電子冷却素子を用いていても
この変化量にバラツキが生じるのである。
【００１３】この新しい知見に鑑みて、本発明による第
１の固体レーザでは、電子冷却素子としてその下面の反
り量が100μｍ以下のものを用いたことにより、共振器
長の変化量が小さく抑えられ、またこのように共振器長
の変化量が元より少ないので、当然そのバラツキも少な
く抑えられることになる。なお後に詳しく説明するが、
共振器長の変化量は、上記反り量が100μｍ以下である
と、特に小さく抑えられるものである。
１の固体レーザでは、電子冷却素子としてその下面の反
り量が100μｍ以下のものを用いたことにより、共振器
長の変化量が小さく抑えられ、またこのように共振器長
の変化量が元より少ないので、当然そのバラツキも少な
く抑えられることになる。なお後に詳しく説明するが、
共振器長の変化量は、上記反り量が100μｍ以下である
と、特に小さく抑えられるものである。
【００１４】他方、本発明による第２の固体レーザで
は、電子冷却素子の下面と筐体との間の隙間に接着剤を
充填したことにより、この隙間を無くして、筐体の剛性
による電子冷却素子の変形防止効果を十分に高めること
ができる。そこでこの第２の固体レーザにおいても、共
振器長の変化量が小さく抑えられ、またその変化量のバ
ラツキも少なく抑えられるようになる。上記接着剤とし
ては、エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤等を好適に
用いることができる。
は、電子冷却素子の下面と筐体との間の隙間に接着剤を
充填したことにより、この隙間を無くして、筐体の剛性
による電子冷却素子の変形防止効果を十分に高めること
ができる。そこでこの第２の固体レーザにおいても、共
振器長の変化量が小さく抑えられ、またその変化量のバ
ラツキも少なく抑えられるようになる。上記接着剤とし
ては、エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤等を好適に
用いることができる。
【００１５】なお、固体レーザ発振光を波長変換する光
波長変換素子が共振器内に配設されている固体レーザに
対して本発明を適用した場合は、共振器長の変化量が小
さく抑えられることにより発振波長の変動が小さく抑え
られ、よって、位相整合状態が確実に維持されるように
なる。
波長変換素子が共振器内に配設されている固体レーザに
対して本発明を適用した場合は、共振器長の変化量が小
さく抑えられることにより発振波長の変動が小さく抑え
られ、よって、位相整合状態が確実に維持されるように
なる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実
施形態による半導体レーザ励起固体レーザの側面形状を
示すものである。この固体レーザは、外側筐体１と、こ
の外側筐体１の内部に配され、放熱面（下面）２ａが該
外側筐体１に保持された電子冷却素子（ペルチェ素子）
２と、同じく外側筐体１の内部に配されて電子冷却素子
２の冷却面（上面）２ｂ上に固定された内側筐体３と、
この内側筐体３の内部に収納された光学モジュール４
と、内側筐体３の内部温度を検出する温度センサ５と、
この温度センサ５の出力に基づいて上記電子冷却素子２
の駆動を制御する制御回路６とを有している。
施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実
施形態による半導体レーザ励起固体レーザの側面形状を
示すものである。この固体レーザは、外側筐体１と、こ
の外側筐体１の内部に配され、放熱面（下面）２ａが該
外側筐体１に保持された電子冷却素子（ペルチェ素子）
２と、同じく外側筐体１の内部に配されて電子冷却素子
２の冷却面（上面）２ｂ上に固定された内側筐体３と、
この内側筐体３の内部に収納された光学モジュール４
と、内側筐体３の内部温度を検出する温度センサ５と、
この温度センサ５の出力に基づいて上記電子冷却素子２
の駆動を制御する制御回路６とを有している。
【００１７】まず、光学モジュール４について詳しく説
明する。この光学モジュール４は、ポンピング光として
のレーザビーム10を発する半導体レーザ（フェーズドア
レイレーザ）11と、発散光である上記レーザビーム10を
集束させる集光レンズ12と、ネオジウム（Ｎｄ）がドー
ピングされた固体レーザ媒質であるＹＡＧ結晶（以下、
Ｎｄ：ＹＡＧ結晶と称する）13と、このＮｄ：ＹＡＧ結
晶13の前方側（図中右方側）に配された共振器ミラー14
と、この共振器ミラー14とＮｄ：ＹＡＧ結晶13との間に
配されたＫＮ結晶15と、このＫＮ結晶15と共振器ミラー
14との間に配されたエタロン16とからなる。
明する。この光学モジュール４は、ポンピング光として
のレーザビーム10を発する半導体レーザ（フェーズドア
レイレーザ）11と、発散光である上記レーザビーム10を
集束させる集光レンズ12と、ネオジウム（Ｎｄ）がドー
ピングされた固体レーザ媒質であるＹＡＧ結晶（以下、
Ｎｄ：ＹＡＧ結晶と称する）13と、このＮｄ：ＹＡＧ結
晶13の前方側（図中右方側）に配された共振器ミラー14
と、この共振器ミラー14とＮｄ：ＹＡＧ結晶13との間に
配されたＫＮ結晶15と、このＫＮ結晶15と共振器ミラー
14との間に配されたエタロン16とからなる。
【００１８】半導体レーザ11としては、波長808 ｎｍの
レーザビーム10を発するものが用いられている。またＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶13は、一例としてＮｄ濃度が１at％で、
厚さが１ｍｍのものである。このＮｄ：ＹＡＧ結晶13は
入射したレーザビーム10によってネオジウムイオンが励
起されることにより、波長946 ｎｍの光を発する。この
光は、適宜のコーティングが施されたＮｄ：ＹＡＧ結晶
13の端面13ａと共振器ミラー14のミラー面14ａとの間で
共振し、レーザ発振が引き起こされる。
レーザビーム10を発するものが用いられている。またＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶13は、一例としてＮｄ濃度が１at％で、
厚さが１ｍｍのものである。このＮｄ：ＹＡＧ結晶13は
入射したレーザビーム10によってネオジウムイオンが励
起されることにより、波長946 ｎｍの光を発する。この
光は、適宜のコーティングが施されたＮｄ：ＹＡＧ結晶
13の端面13ａと共振器ミラー14のミラー面14ａとの間で
共振し、レーザ発振が引き起こされる。
【００１９】こうして得られた波長946 ｎｍの固体レー
ザビーム20はエタロン16によって単一縦モード化され、
そして非線形光学材料であるＫＮ結晶15により、波長が
１／２すなわち473 ｎｍの青色の第２高調波21に変換さ
れる。この第２高調波21は共振器ミラー14を透過し、内
側筐体３のビーム取出し窓３ａおよび外側筐体１のビー
ム取出し窓１ａを通して外部に取り出される。
ザビーム20はエタロン16によって単一縦モード化され、
そして非線形光学材料であるＫＮ結晶15により、波長が
１／２すなわち473 ｎｍの青色の第２高調波21に変換さ
れる。この第２高調波21は共振器ミラー14を透過し、内
側筐体３のビーム取出し窓３ａおよび外側筐体１のビー
ム取出し窓１ａを通して外部に取り出される。
【００２０】なお、内側筐体３のビーム取出し窓３ａに
は、第２高調波21に対する無反射コートが施されたガラ
ス板３ｂが取り付けられ、この内側筐体３による断熱効
果が損なわれないようにされている。また外側筐体１の
ビーム取出し窓１ａにも、同様のガラス板１ｂが取り付
けられている。
は、第２高調波21に対する無反射コートが施されたガラ
ス板３ｂが取り付けられ、この内側筐体３による断熱効
果が損なわれないようにされている。また外側筐体１の
ビーム取出し窓１ａにも、同様のガラス板１ｂが取り付
けられている。
【００２１】次に温度調節について説明する。Ｎｄ：Ｙ
ＡＧ結晶13と共振器ミラー14とで構成される固体レーザ
共振器の内部には、温度センサ５が配設されている。こ
の温度センサ５は共振器内部の温度を測定し、温度検出
信号Ｓ１を制御回路６に入力する。制御回路６はこの信
号Ｓ１に基づいて電子冷却素子２の駆動を制御し、その
冷却面２ｂ上の光学モジュール４の温度、つまり固体レ
ーザの共振器部分および半導体レーザ11の温度を目標値
に保つように調節する。
ＡＧ結晶13と共振器ミラー14とで構成される固体レーザ
共振器の内部には、温度センサ５が配設されている。こ
の温度センサ５は共振器内部の温度を測定し、温度検出
信号Ｓ１を制御回路６に入力する。制御回路６はこの信
号Ｓ１に基づいて電子冷却素子２の駆動を制御し、その
冷却面２ｂ上の光学モジュール４の温度、つまり固体レ
ーザの共振器部分および半導体レーザ11の温度を目標値
に保つように調節する。
【００２２】本実施形態では電子冷却素子２として、そ
の下面２ａの反り量が100μｍ以下のものが選択して用
いられている。なおこの「反り量」は、図２に示すよう
に、電子冷却素子２の下面２ａの一部を定盤等の平坦な
面30の上に定着させたとき、該下面２ａの別の部分がこ
の平坦面30から離間する量の最大値Ｌで定義するもので
ある。このような電子冷却素子２を用いれば、共振器長
つまりＮｄ：ＹＡＧ結晶13の端面13ａと共振器ミラー14
のミラー面14ａとの間の距離の変化量が小さく抑えられ
る。またこのように共振器長の変化量が元より少なけれ
ば、当然そのバラツキも少なく抑えられることになる。
の下面２ａの反り量が100μｍ以下のものが選択して用
いられている。なおこの「反り量」は、図２に示すよう
に、電子冷却素子２の下面２ａの一部を定盤等の平坦な
面30の上に定着させたとき、該下面２ａの別の部分がこ
の平坦面30から離間する量の最大値Ｌで定義するもので
ある。このような電子冷却素子２を用いれば、共振器長
つまりＮｄ：ＹＡＧ結晶13の端面13ａと共振器ミラー14
のミラー面14ａとの間の距離の変化量が小さく抑えられ
る。またこのように共振器長の変化量が元より少なけれ
ば、当然そのバラツキも少なく抑えられることになる。
【００２３】ここで図３に、基本的構成は本実施形態の
ものと同様で、電子冷却素子２の反り量が種々異なる複
数の半導体レーザ励起固体レーザについて、それぞれ共
振器長の変化量を測定した結果を示す。ここに示されて
いる通り、共振器長の変化量は、上記反り量が100μｍ
を超えると特に大きくなる傾向にあり、この反り量が10
0μｍ以下である場合は小さく抑えられている。
ものと同様で、電子冷却素子２の反り量が種々異なる複
数の半導体レーザ励起固体レーザについて、それぞれ共
振器長の変化量を測定した結果を示す。ここに示されて
いる通り、共振器長の変化量は、上記反り量が100μｍ
を超えると特に大きくなる傾向にあり、この反り量が10
0μｍ以下である場合は小さく抑えられている。
【００２４】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図４は、本発明の第２の実施形態による半導体
レーザ励起固体レーザの一部の側面形状を示すものであ
る。この半導体レーザ励起固体レーザは、外側筐体１に
対する電子冷却素子２の固定構造が図１の半導体レーザ
励起固体レーザと異なるものであり、その他の部分は全
て図１の半導体レーザ励起固体レーザと同様に形成され
ている。
明する。図４は、本発明の第２の実施形態による半導体
レーザ励起固体レーザの一部の側面形状を示すものであ
る。この半導体レーザ励起固体レーザは、外側筐体１に
対する電子冷却素子２の固定構造が図１の半導体レーザ
励起固体レーザと異なるものであり、その他の部分は全
て図１の半導体レーザ励起固体レーザと同様に形成され
ている。
【００２５】すなわちこの半導体レーザ励起固体レーザ
においては、電子冷却素子２の下面２ａと外側筐体１と
の間の隙間に接着剤40が充填されている。その接着剤40
の充填は、例えば電子冷却素子２の下面２ａと外側筐体
１とをロウ付けや接着によって固定する際に、あるいは
固定した後に行なわれる。またこの接着剤40としては、
エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤等を好適に用いる
ことができる。
においては、電子冷却素子２の下面２ａと外側筐体１と
の間の隙間に接着剤40が充填されている。その接着剤40
の充填は、例えば電子冷却素子２の下面２ａと外側筐体
１とをロウ付けや接着によって固定する際に、あるいは
固定した後に行なわれる。またこの接着剤40としては、
エポキシ系接着剤やシリコン系接着剤等を好適に用いる
ことができる。
【００２６】このように電子冷却素子２の下面２ａと外
側筐体１との間の隙間に接着剤40を充填させて、両者間
の隙間が無い状態にしておくと、電子冷却素子２の変形
を外側筐体１の剛性によって効果的に防止することがで
きる。そこでこの第２の実施形態においても、共振器長
の変化量が小さく抑えられ、またその変化量のバラツキ
も少なく抑えられる。
側筐体１との間の隙間に接着剤40を充填させて、両者間
の隙間が無い状態にしておくと、電子冷却素子２の変形
を外側筐体１の剛性によって効果的に防止することがで
きる。そこでこの第２の実施形態においても、共振器長
の変化量が小さく抑えられ、またその変化量のバラツキ
も少なく抑えられる。
【００２７】以上説明した第１および第２の実施形態で
は、共振器内に配置したＫＮ結晶15により、固体レーザ
ビーム20を第２高調波21に波長変換している。このよう
な構成において共振器長の変化量が小さく抑えられれ
ば、発振波長の変動が小さく抑えられ、よって、位相整
合状態が確実に維持されるようになる。しかし本発明
は、このような波長変換を行なわない固体レーザに対し
ても適用可能であることは勿論である。
は、共振器内に配置したＫＮ結晶15により、固体レーザ
ビーム20を第２高調波21に波長変換している。このよう
な構成において共振器長の変化量が小さく抑えられれ
ば、発振波長の変動が小さく抑えられ、よって、位相整
合状態が確実に維持されるようになる。しかし本発明
は、このような波長変換を行なわない固体レーザに対し
ても適用可能であることは勿論である。
【００２８】また以上説明した第１および第２の実施形
態では、外側筐体１と内側筐体３とによる２重筐体構造
が採用されているが、本発明は１つの筐体を用いた固体
レーザに対しても同様に適用可能である。
態では、外側筐体１と内側筐体３とによる２重筐体構造
が採用されているが、本発明は１つの筐体を用いた固体
レーザに対しても同様に適用可能である。
【図１】本発明の第１の実施形態による固体レーザを示
す一部破断側面図
す一部破断側面図
【図２】電子冷却素子の下面の反り量を説明する図
【図３】電子冷却素子の下面の反り量と共振器長の変化
量との関係を測定した結果を示すグラフ
量との関係を測定した結果を示すグラフ
【図４】本発明の第２の実施形態による固体レーザの要
部を示す一部破断側面図
部を示す一部破断側面図
１ 外側筐体 １ａ 外側筐体のビーム取出し窓 ２ 電子冷却素子 ２ａ 電子冷却素子の放熱面（下面） ２ｂ 電子冷却素子の冷却面（上面） ３ 内側筐体 ３ａ 内側筐体のビーム取出し窓 ３ｃ 内側筐体の配線用窓 ４ 光学モジュール ５ 温度センサ ６ 制御回路 ８ リード端子 10 レーザビーム（ポンピング光） 11 半導体レーザ 12 集光レンズ 13 Ｎｄ：ＹＡＧ結晶 14 共振器ミラー 15 ＫＮ結晶 16 エタロン 20 レーザビーム（固体レーザビーム） 21 第２高調波 40 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡崎 洋二 神奈川県足柄上郡開成町宮台798番地 富 士写真フイルム株式会社内 Ｆターム(参考） 5E322 DC01 EA11 5F036 AA01 BA33 5F072 AB02 HH02 HH03 JJ05 KK06 KK08 KK12 PP07 QQ02 RR01 TT12 TT28
Claims (3)
- 【請求項１】 筐体の上に電子冷却素子の下面が固定さ
れ、 この電子冷却素子の上面に共振器部分が固定されてなる
固体レーザにおいて、 前記電子冷却素子として、その下面の反り量が100μｍ
以下のものが用いられていることを特徴とする固体レー
ザ。 - 【請求項２】 筐体の上に電子冷却素子の下面が固定さ
れ、 この電子冷却素子の上面に共振器部分が固定されてなる
固体レーザにおいて、 前記電子冷却素子の下面と前記筐体との間の隙間に接着
剤が充填されていることを特徴とする固体レーザ。 - 【請求項３】 共振器内に、固体レーザ発振光を波長変
換する光波長変換素子が配設されていることを特徴とす
る請求項１または２記載の固体レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000154031A JP2001332787A (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 固体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000154031A JP2001332787A (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 固体レーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001332787A true JP2001332787A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18659187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000154031A Withdrawn JP2001332787A (ja) | 2000-05-25 | 2000-05-25 | 固体レーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001332787A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269995A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Aisin Seiki Co Ltd | 熱電変換モジュール及び電子デバイス |
| JP2007123541A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Aisin Seiki Co Ltd | 機能部品内蔵装置 |
| JP2009164443A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Seiko Epson Corp | 光源装置、照明装置及び画像表示装置 |
| JP2022517815A (ja) * | 2019-01-17 | 2022-03-10 | ワイ－チャージ リミテッド | 無線送電システムのための安全エンクロージャ |
-
2000
- 2000-05-25 JP JP2000154031A patent/JP2001332787A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4572714B2 (ja) * | 2005-03-25 | 2010-11-04 | アイシン精機株式会社 | 電子デバイス |
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