JP2001330555A - 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 - Google Patents
光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置Info
- Publication number
- JP2001330555A JP2001330555A JP2000147989A JP2000147989A JP2001330555A JP 2001330555 A JP2001330555 A JP 2001330555A JP 2000147989 A JP2000147989 A JP 2000147989A JP 2000147989 A JP2000147989 A JP 2000147989A JP 2001330555 A JP2001330555 A JP 2001330555A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical scanner
- slit
- image
- light
- scanner according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安価で駆動系と支持系とを一体化することが
可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮影装置を
実現する。 【解決手段】 繰返しパターンを有する光源像を試料に
投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキ
ャナにおいて、対物レンズの中間像面に配置され回転す
ることにより繰返しパターンを形成する走査板を設け
る。
可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮影装置を
実現する。 【解決手段】 繰返しパターンを有する光源像を試料に
投影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキ
ャナにおいて、対物レンズの中間像面に配置され回転す
ることにより繰返しパターンを形成する走査板を設け
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、繰返しパターンを
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関し、特に安価で駆動系と支持系とを一体化す
ることが可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関する。
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関し、特に安価で駆動系と支持系とを一体化す
ることが可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮
影装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料を照射してスリット画像を得
る光スキャナは開口部であるスリットを通過した繰返し
パターンを有する光源像の光路を圧電素子等で変化させ
て試料上を走査させ、試料からの反射光や蛍光等を取り
出すことにより走査画像であるスリット画像を得るもの
である。
る光スキャナは開口部であるスリットを通過した繰返し
パターンを有する光源像の光路を圧電素子等で変化させ
て試料上を走査させ、試料からの反射光や蛍光等を取り
出すことにより走査画像であるスリット画像を得るもの
である。
【０００３】図４はこのような従来の光スキャナの一例
を示す構成ブロック図であり、ＰＣＴ出願に係る国際公
開公報「ＷＯ９８／４５７４５」に記載されたものであ
る。
を示す構成ブロック図であり、ＰＣＴ出願に係る国際公
開公報「ＷＯ９８／４５７４５」に記載されたものであ
る。
【０００４】図４において１は光源、２は繰返しパター
ンであるスリットアレイが形成されたスリット板、３及
び７はレンズ、４は光分岐手段であるビームスプリッ
タ、５は対物レンズ、６は試料、８はＣＣＤカメラ等の
光検出器、９は圧電素子等を用いた駆動手段である。
ンであるスリットアレイが形成されたスリット板、３及
び７はレンズ、４は光分岐手段であるビームスプリッ
タ、５は対物レンズ、６は試料、８はＣＣＤカメラ等の
光検出器、９は圧電素子等を用いた駆動手段である。
【０００５】光源１の出力光はスリット板２に照射さ
れ、このスリット板２に形成されたスリットを通過した
光はレンズ３により集光されてビームスプリッタ４に入
射される。この入射光はビームスプリッタ４で反射され
対物レンズ５を介して試料６上に集光される。
れ、このスリット板２に形成されたスリットを通過した
光はレンズ３により集光されてビームスプリッタ４に入
射される。この入射光はビームスプリッタ４で反射され
対物レンズ５を介して試料６上に集光される。
【０００６】光の照射により試料６で発生した蛍光若し
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
【０００７】また、光検出器８からの同期信号は駆動手
段９に接続され、駆動手段９はスリット板２を図４中”
ＤＲ０１”に示す光軸に対して直角方向に駆動する。
段９に接続され、駆動手段９はスリット板２を図４中”
ＤＲ０１”に示す光軸に対して直角方向に駆動する。
【０００８】ここで、図４に示す従来例の動作を説明す
る。スリット板２は中間像面に配置され照明用のアパー
チャとして用いられる。すなわち、スリットアレイを通
過した光は対物レンズ５の焦点位置にのみ集光されるの
で光検出器８で得られた画像はスリット画像となる。
る。スリット板２は中間像面に配置され照明用のアパー
チャとして用いられる。すなわち、スリットアレイを通
過した光は対物レンズ５の焦点位置にのみ集光されるの
で光検出器８で得られた画像はスリット画像となる。
【０００９】さらに、駆動手段９は光検出器８のフレー
ムレートに同期してスリット板２の位置を少しずつずら
しながら光検出器８でスリット画像を得て、複数枚のス
リット画像に基づき演算により断層画像であるスライス
像を求めている。
ムレートに同期してスリット板２の位置を少しずつずら
しながら光検出器８でスリット画像を得て、複数枚のス
リット画像に基づき演算により断層画像であるスライス
像を求めている。
【００１０】具体的にはスリットを”０”、”２π／
３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／３”ず
つスリット板２をずらしながら３枚のスリット画像を光
検出器８で撮影して、その値をそれぞれ”Ｉ１”、”Ｉ
２”及び”Ｉ３”、スライス画像を”Ｉｐ”とすれば、 Ｉｐ＝{(Ｉ１−Ｉ２)2＋(Ｉ１−Ｉ３)2＋(Ｉ２−Ｉ３)2}1/2 （１） という式から求めることができる。
３”及び”４π／３”、言い換えれば、”２π／３”ず
つスリット板２をずらしながら３枚のスリット画像を光
検出器８で撮影して、その値をそれぞれ”Ｉ１”、”Ｉ
２”及び”Ｉ３”、スライス画像を”Ｉｐ”とすれば、 Ｉｐ＝{(Ｉ１−Ｉ２)2＋(Ｉ１−Ｉ３)2＋(Ｉ２−Ｉ３)2}1/2 （１） という式から求めることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４に示す従
来例では駆動手段９である圧電素子等は高価であり、駆
動には高電圧が必要になる。また、スリット板を別途支
持する支持手段が必要であり駆動系と支持系が別々であ
ると言った問題点があった。従って本発明が解決しよう
とする課題は、安価で駆動系と支持系とを一体化するこ
とが可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮影装
置を実現することにある。
来例では駆動手段９である圧電素子等は高価であり、駆
動には高電圧が必要になる。また、スリット板を別途支
持する支持手段が必要であり駆動系と支持系が別々であ
ると言った問題点があった。従って本発明が解決しよう
とする課題は、安価で駆動系と支持系とを一体化するこ
とが可能な光スキャナ及びこれを用いた断層画像撮影装
置を実現することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、繰返し
パターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を
移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レ
ンズの中間像面に配置され回転することにより前記繰返
しパターンを形成する走査板を備えたことにより、安価
で駆動系と支持系とを一体化することが可能になる。
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、繰返し
パターンを有する光源像を試料に投影してこの光源像を
移動させて走査画像を得る光スキャナにおいて、対物レ
ンズの中間像面に配置され回転することにより前記繰返
しパターンを形成する走査板を備えたことにより、安価
で駆動系と支持系とを一体化することが可能になる。
【００１３】請求項２記載の発明は、繰返しパターンを
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナにおいて、光源と、この光源
の出力光を通過及び遮蔽して前記繰返しパターンを形成
する走査板と、この走査板を通過した光を反射若しくは
透過させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若し
くは透過光を前記試料に集光すると共に前記試料からの
戻り光を前記光分岐手段に入射する対物レンズと、前記
光分岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光検出
器に集光するレンズと、前記走査板を回転させる駆動手
段とを備え、前記対物レンズの中間像面に前記走査板を
配置したことにより、安価で駆動系と支持系とを一体化
することが可能になる。
有する光源像を試料に投影してこの光源像を移動させて
走査画像を得る光スキャナにおいて、光源と、この光源
の出力光を通過及び遮蔽して前記繰返しパターンを形成
する走査板と、この走査板を通過した光を反射若しくは
透過させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若し
くは透過光を前記試料に集光すると共に前記試料からの
戻り光を前記光分岐手段に入射する対物レンズと、前記
光分岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光検出
器に集光するレンズと、前記走査板を回転させる駆動手
段とを備え、前記対物レンズの中間像面に前記走査板を
配置したことにより、安価で駆動系と支持系とを一体化
することが可能になる。
【００１４】請求項３記載の発明は、請求項１及び請求
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記走査板
が、円板上に互いに位相の異なる３以上のスリットアレ
イを形成したスリットディスク板であることにより、安
価で駆動系と支持系とを一体化することが可能になる。
項２記載の発明である光スキャナにおいて、前記走査板
が、円板上に互いに位相の異なる３以上のスリットアレ
イを形成したスリットディスク板であることにより、安
価で駆動系と支持系とを一体化することが可能になる。
【００１５】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明である光スキャナにおいて、前記スリットアレイを前
記円板の半径方向の位相をずらして形成したことによ
り、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可能に
なる。
明である光スキャナにおいて、前記スリットアレイを前
記円板の半径方向の位相をずらして形成したことによ
り、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可能に
なる。
【００１６】請求項５記載の発明は、請求項３記載の発
明である光スキャナにおいて、前記スリットアレイを前
記円板の円周方向の位相をずらして形成したことによ
り、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可能に
なる。
明である光スキャナにおいて、前記スリットアレイを前
記円板の円周方向の位相をずらして形成したことによ
り、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可能に
なる。
【００１７】請求項６記載の発明は、請求項２記載の発
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、直流モ
ータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一体
化することが可能になる。
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、直流モ
ータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一体
化することが可能になる。
【００１８】請求項７記載の発明は、請求項２記載の発
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、交流モ
ータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一体
化することが可能になる。
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、交流モ
ータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一体
化することが可能になる。
【００１９】請求項８記載の発明は、請求項２記載の発
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、ステッ
ピングモータであることにより、安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、ステッ
ピングモータであることにより、安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。
【００２０】請求項９記載の発明は、請求項２記載の発
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、超音波
モータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一
体化することが可能になる。
明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、超音波
モータであることにより、安価で駆動系と支持系とを一
体化することが可能になる。
【００２１】請求項１０記載の発明は、請求項２記載の
発明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、ダイ
レクトドライブ・モータであることにより、安価で駆動
系と支持系とを一体化することが可能になる。
発明である光スキャナにおいて、前記駆動手段が、ダイ
レクトドライブ・モータであることにより、安価で駆動
系と支持系とを一体化することが可能になる。
【００２２】請求項１１記載の発明は、請求項１乃至請
求項１０記載の光スキャナを用いた断層画像撮影装置に
おいて、装置を制御すると共に前記光スキャナで得られ
たスリット画像に基づき断層画像を演算する演算制御手
段と、前記断層画像を表示する表示手段とを備えたこと
により、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可
能になる。また、光スキャナで得られた走査画像に基づ
き演算制御手段で断層画像を求め表示手段に断層画像を
表示させることが可能になる。
求項１０記載の光スキャナを用いた断層画像撮影装置に
おいて、装置を制御すると共に前記光スキャナで得られ
たスリット画像に基づき断層画像を演算する演算制御手
段と、前記断層画像を表示する表示手段とを備えたこと
により、安価で駆動系と支持系とを一体化することが可
能になる。また、光スキャナで得られた走査画像に基づ
き演算制御手段で断層画像を求め表示手段に断層画像を
表示させることが可能になる。
【００２３】請求項１２記載の発明は、請求項１１記載
の発明である断層画像撮影装置において、前記演算制御
手段が、前記走査板の円周部分に形成された位置決めマ
ーカの検出信号に同期して前記光検出器で得られたスリ
ット画像を取得することにより、安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。また、光スキャナで
得られた走査画像に基づき演算制御手段で断層画像を求
め表示手段に断層画像を表示させることが可能になる。
の発明である断層画像撮影装置において、前記演算制御
手段が、前記走査板の円周部分に形成された位置決めマ
ーカの検出信号に同期して前記光検出器で得られたスリ
ット画像を取得することにより、安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。また、光スキャナで
得られた走査画像に基づき演算制御手段で断層画像を求
め表示手段に断層画像を表示させることが可能になる。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る光スキャナを用いた断層
画像撮影装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
図１において１，３〜８は図４と同一符号が付してあ
り、１０は半径方向の各々の位相を”０°（０）”、”
１２０°（２π／３）”及び”２４０°（４π／３）”
とした繰返しパターンである３つのスリットアレイが形
成されたスリットディスク板、１１はスリットディスク
板１０を回転させるモータ等の駆動手段、１２はスリッ
トディスク板１０の回転位置を検出する位置検出手段、
１３はＣＰＵ等の演算制御手段、１４はＣＲＴ，ＬＣＤ
等の表示手段である。
説明する。図１は本発明に係る光スキャナを用いた断層
画像撮影装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
図１において１，３〜８は図４と同一符号が付してあ
り、１０は半径方向の各々の位相を”０°（０）”、”
１２０°（２π／３）”及び”２４０°（４π／３）”
とした繰返しパターンである３つのスリットアレイが形
成されたスリットディスク板、１１はスリットディスク
板１０を回転させるモータ等の駆動手段、１２はスリッ
トディスク板１０の回転位置を検出する位置検出手段、
１３はＣＰＵ等の演算制御手段、１４はＣＲＴ，ＬＣＤ
等の表示手段である。
【００２５】光源１の出力光はスリットディスク板１０
に照射され、このスリットディスク板１０に形成された
スリットを通過した光はレンズ３により集光されてビー
ムスプリッタ４に入射される。この入射光はビームスプ
リッタ４で反射され対物レンズ５を介して試料６上に集
光される。
に照射され、このスリットディスク板１０に形成された
スリットを通過した光はレンズ３により集光されてビー
ムスプリッタ４に入射される。この入射光はビームスプ
リッタ４で反射され対物レンズ５を介して試料６上に集
光される。
【００２６】光の照射により試料６で発生した蛍光若し
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
くは試料６からの反射光は対物レンズ５を介して再びビ
ームスプリッタ４に入射され、この蛍光等はビームスプ
リッタ４を透過しレンズ７により光検出器８に入射され
る。
【００２７】また、光検出器８の出力は演算制御手段１
３に接続され、演算制御手段１３の出力は駆動手段１１
及び表示手段１４に接続される。さらに、駆動手段１１
はスリットディスク板１０を図１中”ＤＲ１１”に示す
ように光軸に対して直角方向に回転運動させ、位置検出
手段１２の出力は演算制御手段１３に接続される。
３に接続され、演算制御手段１３の出力は駆動手段１１
及び表示手段１４に接続される。さらに、駆動手段１１
はスリットディスク板１０を図１中”ＤＲ１１”に示す
ように光軸に対して直角方向に回転運動させ、位置検出
手段１２の出力は演算制御手段１３に接続される。
【００２８】ここで、図１に示す実施例の動作を図２を
用いて説明する。図２はスリットディスク板１０の構成
の一例を示す構成平面図である。
用いて説明する。図２はスリットディスク板１０の構成
の一例を示す構成平面図である。
【００２９】図２中”ＳＡ１１”、”ＳＡ１２”及び”
ＳＡ１３”はスリットディスク板１０に形成されたピッ
チが同一のスリットアレイであり、それぞれのスリット
アレイの形成位置は円板の中心からスリットのピッチの
１／３づつずらしてある。
ＳＡ１３”はスリットディスク板１０に形成されたピッ
チが同一のスリットアレイであり、それぞれのスリット
アレイの形成位置は円板の中心からスリットのピッチの
１／３づつずらしてある。
【００３０】例えば、図２中”ＳＡ１１”、”ＳＡ１
２”及び”ＳＡ１３”に示すスリットアレイの円板の中
心からの距離をそれぞれ”ｒ１”、”ｒ２”及び”ｒ
３”とし、スリットアレイのピッチを”ｐ”とすれば、 ｒ１−ｒ２＝ｐ／３ （２） ｒ２−ｒ３＝ｐ／３ （３） なる関係を有している。
２”及び”ＳＡ１３”に示すスリットアレイの円板の中
心からの距離をそれぞれ”ｒ１”、”ｒ２”及び”ｒ
３”とし、スリットアレイのピッチを”ｐ”とすれば、 ｒ１−ｒ２＝ｐ／３ （２） ｒ２−ｒ３＝ｐ／３ （３） なる関係を有している。
【００３１】また、スリットディスク板１０の円周部分
であって図２中”ＳＡ１１”、”ＳＡ１２”及び”ＳＡ
１３”に示すスリットアレイが形成されている部分には
図２中”ＭＫ１１”、”ＭＫ１２”及び”ＭＫ１３”に
示すような位置決めマーカが設けられている。
であって図２中”ＳＡ１１”、”ＳＡ１２”及び”ＳＡ
１３”に示すスリットアレイが形成されている部分には
図２中”ＭＫ１１”、”ＭＫ１２”及び”ＭＫ１３”に
示すような位置決めマーカが設けられている。
【００３２】スリットディスク板１０は中間像面に配置
され照明用のアパーチャとして用いられる。すなわち、
スリットディスク板１０のスリットを通過した光は対物
レンズ５の焦点位置にのみ集光されるので光検出器８で
得られた画像はスリット画像となる。
され照明用のアパーチャとして用いられる。すなわち、
スリットディスク板１０のスリットを通過した光は対物
レンズ５の焦点位置にのみ集光されるので光検出器８で
得られた画像はスリット画像となる。
【００３３】演算制御手段１３は駆動手段１１を制御し
てスリットディスク板１０を回転させる。一方、演算制
御手段１３は位置検出手段１２がスリットディスク板１
０の円周部分に形成されている位置決めマーカを検出し
た検出信号に同期して光検出器８で得られたスリット画
像を取得させる。
てスリットディスク板１０を回転させる。一方、演算制
御手段１３は位置検出手段１２がスリットディスク板１
０の円周部分に形成されている位置決めマーカを検出し
た検出信号に同期して光検出器８で得られたスリット画
像を取得させる。
【００３４】すなわち、このようにスリットディスク板
１０を制御することにより、光源１とレンズ３との間に
はスリットアレイが”０”、”２π／３”及び”４π／
３”、言い換えれば、”２π／３”ずつスリットアレイ
をずらしたことと同一のスリットアレイが挿入されるこ
とになり、この結果３枚のスリット画像が光検出器８で
撮影されることになる。
１０を制御することにより、光源１とレンズ３との間に
はスリットアレイが”０”、”２π／３”及び”４π／
３”、言い換えれば、”２π／３”ずつスリットアレイ
をずらしたことと同一のスリットアレイが挿入されるこ
とになり、この結果３枚のスリット画像が光検出器８で
撮影されることになる。
【００３５】そして、光検出器８で得られた値をそれぞ
れ”Ｉ１ｓ”、”Ｉ２ｓ”及び”Ｉ３ｓ”、スライス画
像を”Ｉｐｓ”とすれば、 Ｉｐｓ＝{(Ｉ１ｓ−Ｉ２ｓ)2 ＋(Ｉ１ｓ−Ｉ３ｓ)2＋(Ｉ２ｓ−Ｉ３ｓ)2}1/2 （４） という式から求めることができる。
れ”Ｉ１ｓ”、”Ｉ２ｓ”及び”Ｉ３ｓ”、スライス画
像を”Ｉｐｓ”とすれば、 Ｉｐｓ＝{(Ｉ１ｓ−Ｉ２ｓ)2 ＋(Ｉ１ｓ−Ｉ３ｓ)2＋(Ｉ２ｓ−Ｉ３ｓ)2}1/2 （４） という式から求めることができる。
【００３６】この結果、半径方向の位相をずらした複数
枚のスリットアレイを形成したスリットディスク板１０
を回転させ、スリットアレイの位置に同期してスリット
画像を得てこれら複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めることにより、圧
電素子等や支持手段が不要になり安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。
枚のスリットアレイを形成したスリットディスク板１０
を回転させ、スリットアレイの位置に同期してスリット
画像を得てこれら複数枚のスリット画像に基づき演算に
より断層画像であるスライス像を求めることにより、圧
電素子等や支持手段が不要になり安価で駆動系と支持系
とを一体化することが可能になる。
【００３７】なお、モータ等の駆動手段１１としては単
なる直流モータのみならず、ステッピングモータ、超音
波モータ、交流モータ及びダイレクトドライブ・モータ
等であっても構わない。また、駆動手段１１の角度精度
が十分であれば位置決めマーカ及び位置検出手段１２を
省略することが可能である。
なる直流モータのみならず、ステッピングモータ、超音
波モータ、交流モータ及びダイレクトドライブ・モータ
等であっても構わない。また、駆動手段１１の角度精度
が十分であれば位置決めマーカ及び位置検出手段１２を
省略することが可能である。
【００３８】また、図２に示すスリットディスク板１０
では説明の簡単のために３枚のスリットアレイを形成し
た例を例示しているが、３枚以上であれば何枚でも構わ
ない。
では説明の簡単のために３枚のスリットアレイを形成し
た例を例示しているが、３枚以上であれば何枚でも構わ
ない。
【００３９】また、図２に示すスリットディスク板１０
では開口部としてスリットを用いたスリットアレイを形
成しているが、開口部の形状はスリットに限定されるも
のではなく、渦巻や円弧等の形状であっても構わない。
では開口部としてスリットを用いたスリットアレイを形
成しているが、開口部の形状はスリットに限定されるも
のではなく、渦巻や円弧等の形状であっても構わない。
【００４０】また、図２に示すスリットディスク板１０
ではスリットアレイを円板の半径方向の位相をずらして
形成していたが、円周方向に位相をずらしても構わな
い。図３はこのようなスリットディスク板１０ａの構成
の一例を示す構成平面図である。
ではスリットアレイを円板の半径方向の位相をずらして
形成していたが、円周方向に位相をずらしても構わな
い。図３はこのようなスリットディスク板１０ａの構成
の一例を示す構成平面図である。
【００４１】図３中”ＳＡ２１”、”ＳＡ２２”及び”
ＳＡ２３”はスリットディスク板１０ａに形成されたピ
ッチが同一のスリットアレイであり、それぞれのスリッ
トアレイの形成位置は図３中”ＭＫ２１”、”ＭＫ２
２”及び”ＭＫ２３”に示すような位置決めマーカ位置
からからスリットのピッチの１／３づつずらしてある。
ＳＡ２３”はスリットディスク板１０ａに形成されたピ
ッチが同一のスリットアレイであり、それぞれのスリッ
トアレイの形成位置は図３中”ＭＫ２１”、”ＭＫ２
２”及び”ＭＫ２３”に示すような位置決めマーカ位置
からからスリットのピッチの１／３づつずらしてある。
【００４２】また、図３に示すスリットディスク板１０
ａでは上述の位相差は位置決めマーカとの角度差として
も実現可能であり、駆動手段１１としてステッピングモ
ータを用いた場合には角度の違いにより制御することが
できる。
ａでは上述の位相差は位置決めマーカとの角度差として
も実現可能であり、駆動手段１１としてステッピングモ
ータを用いた場合には角度の違いにより制御することが
できる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項１０の発明によれば、互いに位相をずらした複数枚
のスリットアレイを形成したスリットディスク板を回転
させることにより、安価で駆動系と支持系とを一体化す
ることが可能になる。
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項１０の発明によれば、互いに位相をずらした複数枚
のスリットアレイを形成したスリットディスク板を回転
させることにより、安価で駆動系と支持系とを一体化す
ることが可能になる。
【００４４】また、請求項１１及び請求項１２の発明に
よれば、光スキャナで得られた走査画像に基づき演算制
御手段で断層画像を求め表示手段に断層画像を表示させ
ることが可能になる。
よれば、光スキャナで得られた走査画像に基づき演算制
御手段で断層画像を求め表示手段に断層画像を表示させ
ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光スキャナを用いた断層画像撮影
装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
装置の一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】スリットディスク板の構成の一例を示す構成平
面図である。
面図である。
【図３】スリットディスク板の構成の一例を示す構成平
面図である。
面図である。
【図４】従来の光スキャナの一例を示す構成ブロック図
である。
である。
１ 光源 ２ スリット板 ３，７ レンズ ４ ビームスプリッタ ５ 対物レンズ ６ 試料 ８ 光検出器 ９，１１ 駆動手段 １０ スリットディスク板 １２ 位置検出手段 １３ 演算制御手段 １４ 表示手段
Claims (12)
- 【請求項１】繰返しパターンを有する光源像を試料に投
影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャ
ナにおいて、 対物レンズの中間像面に配置され回転することにより前
記繰返しパターンを形成する走査板を備えたことを特徴
とする光スキャナ。 - 【請求項２】繰返しパターンを有する光源像を試料に投
影してこの光源像を移動させて走査画像を得る光スキャ
ナにおいて、 光源と、 この光源の出力光を通過及び遮蔽して前記繰返しパター
ンを形成する走査板と、 この走査板を通過した光を反射若しくは透過させる光分
岐手段と、 この光分岐手段の反射光若しくは透過光を前記試料に集
光すると共に前記試料からの戻り光を前記光分岐手段に
入射する対物レンズと、 前記光分岐手段で透過若しくは反射した前記戻り光を光
検出器に集光するレンズと、 前記走査板を回転させる駆動手段とを備え、前記対物レ
ンズの中間像面に前記走査板を配置したことを特徴とす
る光スキャナ。 - 【請求項３】前記走査板が、 円板上に互いに位相の異なる３以上のスリットアレイを
形成したスリットディスク板であることを特徴とする請
求項１及び請求項２記載の光スキャナ。 - 【請求項４】前記スリットアレイを前記円板の半径方向
の位相をずらして形成したことを特徴とする請求項３記
載の光スキャナ。 - 【請求項５】前記スリットアレイを前記円板の円周方向
の位相をずらして形成したことを特徴とする請求項３記
載の光スキャナ。 - 【請求項６】前記駆動手段が、 直流モータであることを特徴とする請求項２記載の光ス
キャナ。 - 【請求項７】前記駆動手段が、 交流モータであることを特徴とする請求項２記載の光ス
キャナ。 - 【請求項８】前記駆動手段が、 ステッピングモータであることを特徴とする請求項２記
載の光スキャナ。 - 【請求項９】前記駆動手段が、 超音波モータであることを特徴とする請求項２記載の光
スキャナ。 - 【請求項１０】前記駆動手段が、 ダイレクトドライブ・モータであることを特徴とする請
求項２記載の光スキャナ。 - 【請求項１１】請求項１乃至請求項１０記載の光スキャ
ナを用いた断層画像撮影装置において、 装置を制御すると共に前記光スキャナで得られたスリッ
ト画像に基づき断層画像を演算する演算制御手段と、 前記断層画像を表示する表示手段とを備えたことを特徴
とする断層画像撮影装置。 - 【請求項１２】前記演算制御手段が、 前記走査板の円周部分に形成された位置決めマーカの検
出信号に同期して前記光検出器で得られたスリット画像
を取得することを特徴とする請求項１１記載の断層画像
撮影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000147989A JP2001330555A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000147989A JP2001330555A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001330555A true JP2001330555A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18654090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000147989A Pending JP2001330555A (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001330555A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7385709B2 (en) | 2002-01-15 | 2008-06-10 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne | Microscopy imaging apparatus and method for generating an image |
| WO2008125605A2 (de) * | 2007-04-13 | 2008-10-23 | Michael Schwertner | Verfahren und anordnung zur optischen abbildung mit tiefendiskriminierung |
| JP2008261835A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Toshiba Corp | 紙種判別装置及び紙種判別装置を用いた画像形成装置 |
| JP2008268599A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Nikon Corp | 観察装置 |
-
2000
- 2000-05-19 JP JP2000147989A patent/JP2001330555A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7385709B2 (en) | 2002-01-15 | 2008-06-10 | Ecole Polytechnique Federale De Lausanne | Microscopy imaging apparatus and method for generating an image |
| JP2008261835A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Toshiba Corp | 紙種判別装置及び紙種判別装置を用いた画像形成装置 |
| WO2008125605A2 (de) * | 2007-04-13 | 2008-10-23 | Michael Schwertner | Verfahren und anordnung zur optischen abbildung mit tiefendiskriminierung |
| WO2008125605A3 (de) * | 2007-04-13 | 2009-02-26 | Michael Schwertner | Verfahren und anordnung zur optischen abbildung mit tiefendiskriminierung |
| US7977625B2 (en) | 2007-04-13 | 2011-07-12 | Michael Schwertner | Method and assembly for optical reproduction with depth discrimination |
| JP2008268599A (ja) * | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Nikon Corp | 観察装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5281923B2 (ja) | 投射型表示装置 | |
| JP4978470B2 (ja) | 顕微鏡装置及び観察方法 | |
| JP4894161B2 (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
| JPH10206740A (ja) | 共焦点装置 | |
| JP2005529669A5 (ja) | ||
| US4963724A (en) | Apparatus for producing an optical image contrast | |
| JP4198347B2 (ja) | 走査型顕微鏡におけるビーム制御のための装置 | |
| JP3509088B2 (ja) | ３次元形状計測用光学装置 | |
| JP2006235250A (ja) | 測定顕微鏡 | |
| JP2001330555A (ja) | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 | |
| JPH07318806A (ja) | 位相差顕微鏡装置 | |
| JP2004102032A (ja) | 走査型共焦点顕微鏡装置 | |
| JPH05224127A (ja) | 共焦点走査型微分干渉顕微鏡 | |
| JPH08334317A (ja) | 測定顕微鏡 | |
| JP4406873B2 (ja) | スキャン測定検査装置 | |
| JP2001311874A (ja) | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 | |
| JP2570631Y2 (ja) | 共焦点用光スキャナ | |
| JPH01158302A (ja) | オートフオーカス機構付光学測定機 | |
| JPH0961366A (ja) | 微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた欠陥検査装置 | |
| JPH10232352A (ja) | レーザ走査顕微鏡 | |
| JP4792239B2 (ja) | 走査型共焦点レーザ顕微鏡 | |
| JP2003107398A (ja) | 投光光学系装置及び微小突起物検査装置 | |
| JP2005195739A (ja) | 共焦点光学系及び高さ測定装置 | |
| JPH10133117A (ja) | 焦点検出装置を備えた顕微鏡 | |
| JP2005195738A (ja) | 共焦点光学系及び高さ測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040810 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060526 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060608 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060728 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061207 |