JP2005195738A - 共焦点光学系及び高さ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定範囲とサンプリング間隔に対応したサンプリング数分だけピンホール板21を環状に配置するとともに、サンプリング間隔に対応してピンホール板21の光軸方向の位置をそれぞれずらして配置したドーナツ状の回転ドラム20を用いて共焦点光学系を構成した。
【選択図】 図1
Description
10 共焦点光学系
11 光源
20 回転ドラム(ピンホール位置変更手段)
21,121 ピンホール板
22,122 ピンホール
23 集光レンズ
30 撮像素子(画像取得手段)
40 演算制御部(算出手段)
120 直動機構(駆動手段)
L1、L2、L3 光軸
Claims (5)
- ピンホールが形成されたピンホール板と、
光源からの光を前記ピンホールに集光するレンズと、
前記ピンホールを通過した光を測定対象物に集光させる対物レンズと、
前記ピンホール板を前記対物レンズの光軸方向に移動させるピンホール位置変更手段と
を備えていることを特徴とする共焦点光学系。 - ピンホールが形成された複数のピンホール板と、
光源からの光を前記ピンホールに集光するレンズと、
前記ピンホールを通過した光を測定対象物に集光させる対物レンズと、
前記複数のピンホール板のそれぞれを前記対物レンズの光軸方向に位置を変化させて配置可能なピンホール位置変更手段と
を備えていることを特徴とする共焦点光学系。 - 前記ピンホール位置変更手段は、前記複数のピンホール板を環状に配置させ、配置方向に沿って回転駆動させることを特徴とする請求項2記載の共焦点光学系。
- 前記光源からの光は平行光であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の共焦点光学系。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の共焦点光学系と、
この共焦点光学系の焦点位置を測定対象物に対して光軸方向に相対移動させ、異なる焦点位置の画像を取得する画像取得手段と、
前記画像取得手段によって取得された複数の画像に基いて前記測定対象物の高さを算出する算出手段と
を備えていることを特徴とする高さ測定装置。
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