JP2001328072A - 細溝加工用工具 - Google Patents
細溝加工用工具Info
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- JP2001328072A JP2001328072A JP2000160315A JP2000160315A JP2001328072A JP 2001328072 A JP2001328072 A JP 2001328072A JP 2000160315 A JP2000160315 A JP 2000160315A JP 2000160315 A JP2000160315 A JP 2000160315A JP 2001328072 A JP2001328072 A JP 2001328072A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 細溝研削加工において、目詰まりを起こし難
く、寿命の長い加工工具を得る。 【解決手段】 工具1の先端面の中心部に長軸方向に沿
って円筒状の止まり穴34を有し、前記工具1の先端面
の中心部で互いに交差するU字状、V字状または矩形形
状の溝2が設けられ、前記円筒状穴3に交差して工具を
貫通する穴4を少なくとも1つ以上設け、工具1の表面
にメッキを結合剤としてダイヤモンド砥粒を固着させた
砥粒層を具備する。
く、寿命の長い加工工具を得る。 【解決手段】 工具1の先端面の中心部に長軸方向に沿
って円筒状の止まり穴34を有し、前記工具1の先端面
の中心部で互いに交差するU字状、V字状または矩形形
状の溝2が設けられ、前記円筒状穴3に交差して工具を
貫通する穴4を少なくとも1つ以上設け、工具1の表面
にメッキを結合剤としてダイヤモンド砥粒を固着させた
砥粒層を具備する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超硬合金やファイ
ンセラミックス等の硬脆材料を精密にかつ高能率に細い
溝を加工することのできる工具に関する。
ンセラミックス等の硬脆材料を精密にかつ高能率に細い
溝を加工することのできる工具に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、セラミックス等の硬脆材料の
構造部材に細溝加工、例えば溝幅1mm前後のエア流路
を加工する場合には、一般に加工工具としてインターナ
ル砥石を用いて研削加工していた。 該インターナル砥
石による研削加工では、該加工で発生する研削屑によっ
て砥石の目詰りが多発し、工具寿命が短くなってしまう
ことや、所望の溝断面形状を再現よく加工できないなど
の問題を生じていた。
構造部材に細溝加工、例えば溝幅1mm前後のエア流路
を加工する場合には、一般に加工工具としてインターナ
ル砥石を用いて研削加工していた。 該インターナル砥
石による研削加工では、該加工で発生する研削屑によっ
て砥石の目詰りが多発し、工具寿命が短くなってしまう
ことや、所望の溝断面形状を再現よく加工できないなど
の問題を生じていた。
【0003】そこで、公開技報99−5811号に開示
されているような、棒状の研削工具の先端面に溝を設け
て研削屑の排出を促進させ、工具の寿命を伸ばすととも
に、加工時の溝幅精度を満足させるために、工具外径寸
法および端面と円筒側面により形成される稜線の面取り
量を制御し、前記円筒側面にもメッキ法により超微粒子
砥粒を固着させた工具などが考え出されている。
されているような、棒状の研削工具の先端面に溝を設け
て研削屑の排出を促進させ、工具の寿命を伸ばすととも
に、加工時の溝幅精度を満足させるために、工具外径寸
法および端面と円筒側面により形成される稜線の面取り
量を制御し、前記円筒側面にもメッキ法により超微粒子
砥粒を固着させた工具などが考え出されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記工具
を用いても、セラミックス加工専用設備ではない汎用の
フライス型加工機では、高圧水による工具やワークの冷
却および研削屑の除去を行うことができないため、工具
先端部に設けられた溝に研削屑が堆積して、工具目詰り
を起こしてしまうという問題があった。
を用いても、セラミックス加工専用設備ではない汎用の
フライス型加工機では、高圧水による工具やワークの冷
却および研削屑の除去を行うことができないため、工具
先端部に設けられた溝に研削屑が堆積して、工具目詰り
を起こしてしまうという問題があった。
【0005】また堆積した研削屑が加工後の溝底面など
に付着することにより、再度工具が通過する際に、あた
かも工具をドレッシングするような状態となり、工具寿
命を低下させるといった問題もあった。
に付着することにより、再度工具が通過する際に、あた
かも工具をドレッシングするような状態となり、工具寿
命を低下させるといった問題もあった。
【0006】本発明はこのような従来の問題に鑑みてな
されたもので、細溝研削加工において、目詰まりを起こ
しにくく、寿命の長い加工工具を提供することにある。
されたもので、細溝研削加工において、目詰まりを起こ
しにくく、寿命の長い加工工具を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者は、セラミック
ス等の硬脆材料を加工する条件として10,000rp
m以上の回転数が必要となることに着目した。工具の直
径が比較的大きい場合、前記回転数では工具外径方向に
遠心力が働いて、工具の回転振れ量を増大させ回転精度
を悪化させる。一方、細溝加工たとえば幅1mm以下の
加工に用いられる直径の小さい小径工具の場合には、前
記回転数において、回転精度がある程度の振れ精度で固
定され、さらにその工具中心には求心力が働いて、該求
心力と遠心力の両方を作用させることにより、研削屑を
効率的に排出できることを本発明者は見出した。
ス等の硬脆材料を加工する条件として10,000rp
m以上の回転数が必要となることに着目した。工具の直
径が比較的大きい場合、前記回転数では工具外径方向に
遠心力が働いて、工具の回転振れ量を増大させ回転精度
を悪化させる。一方、細溝加工たとえば幅1mm以下の
加工に用いられる直径の小さい小径工具の場合には、前
記回転数において、回転精度がある程度の振れ精度で固
定され、さらにその工具中心には求心力が働いて、該求
心力と遠心力の両方を作用させることにより、研削屑を
効率的に排出できることを本発明者は見出した。
【0008】そして、上記課題を解決し目的を達成する
ために、請求項1記載の発明に係わる細溝加工用工具で
は、硬脆材料に細溝を研削加工する棒状の工具であっ
て、工具先端面の中心部で互いに交差する、断面がU字
状、V字状または矩形形状の溝を前記工具先端面に有
し、前記工具先端面の中心部から長軸方向に向かう円筒
状の穴が設けられ、前記工具側面から前記円筒状穴に向
かい、該円筒状穴と交差して工具を貫通する穴を少なく
とも1つ以上設けたことを特徴としている。
ために、請求項1記載の発明に係わる細溝加工用工具で
は、硬脆材料に細溝を研削加工する棒状の工具であっ
て、工具先端面の中心部で互いに交差する、断面がU字
状、V字状または矩形形状の溝を前記工具先端面に有
し、前記工具先端面の中心部から長軸方向に向かう円筒
状の穴が設けられ、前記工具側面から前記円筒状穴に向
かい、該円筒状穴と交差して工具を貫通する穴を少なく
とも1つ以上設けたことを特徴としている。
【0009】また、請求項2記載の発明に係る細溝加工
用工具では、請求項1記載の細溝加工用工具において、
先端の刃部の断面形状は被加工物の所望の細溝断面形状
と略等しい形状を有することを特徴としている。
用工具では、請求項1記載の細溝加工用工具において、
先端の刃部の断面形状は被加工物の所望の細溝断面形状
と略等しい形状を有することを特徴としている。
【0010】請求項3記載の発明に係る細溝加工用工具
では、請求項2記載の細溝加工用工具において、前記刃
部断面の最大外径は被加工物の所望の細溝最大幅と略等
しいことを特徴としている。
では、請求項2記載の細溝加工用工具において、前記刃
部断面の最大外径は被加工物の所望の細溝最大幅と略等
しいことを特徴としている。
【0011】さらに、請求項4記載の細溝加工用工具で
は、請求項1から請求項3のいずれかに記載の細溝加工
用工具において、工具表面にめっき被膜を結合剤として
ダイヤモンド砥粒を固着させた砥粒層を具備することを
特徴としている。
は、請求項1から請求項3のいずれかに記載の細溝加工
用工具において、工具表面にめっき被膜を結合剤として
ダイヤモンド砥粒を固着させた砥粒層を具備することを
特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下に図面を用いて本発明の実施
の形態を詳細に説明する。 (第1の発明の実施の形態)図1は本発明の第1の実施
の形態に係る溝加工用工具1の概略断面図である。
の形態を詳細に説明する。 (第1の発明の実施の形態)図1は本発明の第1の実施
の形態に係る溝加工用工具1の概略断面図である。
【0013】工具1の材質としては、SK材やマルテン
サイト系ステンレス鋼等を用いることができる。工具シ
ャンク径Dをφ3mm、工具長Lを30mmとした。前
記工具の先端部分の形状は、図1に示すように円錐角度
90度の頂上付近で外径φ1.2mmの位置でカットし
た円錐台形状とした。これにより、セラミックス製の被
加工物に所望の溝形状として断面が台形形状の溝を形成
することができる。
サイト系ステンレス鋼等を用いることができる。工具シ
ャンク径Dをφ3mm、工具長Lを30mmとした。前
記工具の先端部分の形状は、図1に示すように円錐角度
90度の頂上付近で外径φ1.2mmの位置でカットし
た円錐台形状とした。これにより、セラミックス製の被
加工物に所望の溝形状として断面が台形形状の溝を形成
することができる。
【0014】前記円錐台形状上面であるφ1.2mmの
先端面には研削屑排出用として幅0.2mm、深さ0.
5mmのU字状の排出溝2を十文字状に設けた。さら
に、前記先端面の中心部から軸方向にφ0.6mmの止
り穴3を設けた。止まり穴3は、研削加工により生じた
研削屑を一時貯えるという機能を有している。
先端面には研削屑排出用として幅0.2mm、深さ0.
5mmのU字状の排出溝2を十文字状に設けた。さら
に、前記先端面の中心部から軸方向にφ0.6mmの止
り穴3を設けた。止まり穴3は、研削加工により生じた
研削屑を一時貯えるという機能を有している。
【0015】また、研削加工の遠心力を利用して研削屑
を排出するための横穴4を、円筒側面より工具軸中心に
向かってφ0.6mmの貫通穴として十文字状に加工し
た。この時、前記φ0.6mm止り穴3の下端は円錐の
一部が欠けた形状となり、若干の絞りを持った構造とし
た。
を排出するための横穴4を、円筒側面より工具軸中心に
向かってφ0.6mmの貫通穴として十文字状に加工し
た。この時、前記φ0.6mm止り穴3の下端は円錐の
一部が欠けた形状となり、若干の絞りを持った構造とし
た。
【0016】以上のような機械加工を施した溝加工用工
具1の外周部に砥粒層を形成する。まず、前記工具1を
塩素系有機溶剤で脱脂し、水酸化ナトリウム水溶液によ
るアルカリ脱脂、塩酸による酸洗を順に行った後、#2
70ダイヤモンド砥粒を含有するニッケルめっきにより
電着加工を施して、膜厚50μmの砥粒層(不図示)を
析出させ溝加工用工具1を得た。
具1の外周部に砥粒層を形成する。まず、前記工具1を
塩素系有機溶剤で脱脂し、水酸化ナトリウム水溶液によ
るアルカリ脱脂、塩酸による酸洗を順に行った後、#2
70ダイヤモンド砥粒を含有するニッケルめっきにより
電着加工を施して、膜厚50μmの砥粒層(不図示)を
析出させ溝加工用工具1を得た。
【0017】以上のようにして得られた溝加工用工具を
増速スピンドル(不図示)に取りつけ、該増速スピンドル
を汎用のマシニングセンターに装着して、標準クーラン
トを加工液として溝研削加工を行った。図2にこの加工
工程の一部の概略図を示す。被加工物であるワーク5の
材料には、高硬度セラミックスの炭化珪素を用いて、深
さ0.2mmの底付き溝 6、6´を加工した。
増速スピンドル(不図示)に取りつけ、該増速スピンドル
を汎用のマシニングセンターに装着して、標準クーラン
トを加工液として溝研削加工を行った。図2にこの加工
工程の一部の概略図を示す。被加工物であるワーク5の
材料には、高硬度セラミックスの炭化珪素を用いて、深
さ0.2mmの底付き溝 6、6´を加工した。
【0018】比較のために、本発明の溝加工用工具と形
状が概略等しい、横穴のない溝加工工具を用いて加工し
た。この時の加工条件は、双方ともに工具回転数20,
000rpm、工具送り速度10m/minであった。
状が概略等しい、横穴のない溝加工工具を用いて加工し
た。この時の加工条件は、双方ともに工具回転数20,
000rpm、工具送り速度10m/minであった。
【0019】その結果、本発明の溝加工用工具を用いた
場合には、加工長さ100mmを越えても目詰まりを起
こさず良好な研削加工ができ、研削屑および加工液は図
2に示した矢印に沿って工具端部の穴から吸い込まれて
十文字に設けられた横穴4から排出されることが確認さ
れた。しかし、現行の溝加工工具では、加工長さわずか
数十mmにおいて工具先端に目詰まりを生じ、加工でき
なくなってしまった。
場合には、加工長さ100mmを越えても目詰まりを起
こさず良好な研削加工ができ、研削屑および加工液は図
2に示した矢印に沿って工具端部の穴から吸い込まれて
十文字に設けられた横穴4から排出されることが確認さ
れた。しかし、現行の溝加工工具では、加工長さわずか
数十mmにおいて工具先端に目詰まりを生じ、加工でき
なくなってしまった。
【0020】また、高圧水を使用したセラミックス加工
専用機においては、前述の汎用機での加工に比べ、さら
に2倍程度寿命が長くなることもわかった。 (第2の発明の実施の形態)図3に本発明の第2の実施
の形態に係る溝加工用工具11の概略図を示す。
専用機においては、前述の汎用機での加工に比べ、さら
に2倍程度寿命が長くなることもわかった。 (第2の発明の実施の形態)図3に本発明の第2の実施
の形態に係る溝加工用工具11の概略図を示す。
【0021】本工具11は、細溝加工において、特に溝
と溝の間に形成される山幅の精度を求められる場合に有
効である。該工具11はその刃部の先端形状が異なる以
外は、すべて第1の実施形態における工具1と同じ仕様
であるので、詳細な説明は省略し、刃部形状について説
明する。前記工具11の先端部分の形状は、図3に示す
ように、円錐角度90度の第1の円錐台頂上上に円柱を
備え、さらに該円柱上に円錐角度90度の第2の円錐台
を備えた、2段構造の円錐台形状である。前記第1の円
錐台の頂上外径はφ1.6mmであり、前記円柱の外径
はφ1.6mmで高さ0.5mmである。さらに前記円
柱上の第2の円錐台の頂上外径はφ1.2mmで、第1
の円錐台の頂上から第2の円錐台の頂上は0.7mm突
出している2段構造である。
と溝の間に形成される山幅の精度を求められる場合に有
効である。該工具11はその刃部の先端形状が異なる以
外は、すべて第1の実施形態における工具1と同じ仕様
であるので、詳細な説明は省略し、刃部形状について説
明する。前記工具11の先端部分の形状は、図3に示す
ように、円錐角度90度の第1の円錐台頂上上に円柱を
備え、さらに該円柱上に円錐角度90度の第2の円錐台
を備えた、2段構造の円錐台形状である。前記第1の円
錐台の頂上外径はφ1.6mmであり、前記円柱の外径
はφ1.6mmで高さ0.5mmである。さらに前記円
柱上の第2の円錐台の頂上外径はφ1.2mmで、第1
の円錐台の頂上から第2の円錐台の頂上は0.7mm突
出している2段構造である。
【0022】上記第1の実施形態で得られた工具1を用
いて細溝加工を行なう場合、図4(a)に示す山幅W1
は、前記工具1の中心をずらした所定ピッチ量と細溝加
工深さにより決定される。この時、細溝の斜面を加工す
る前記工具1の円錐台斜面における砥粒層のばらつき
や、砥粒層の磨耗状態などによって、山幅W1は設計値
に対してばらつきを生じる。上記第1の実施形態と同じ
条件で、前記工具1を用いて深さ0.2mm、山幅0.
2mmの細溝加工を行なったところ、山幅の設計値に対
して最大±50%のばらつきを生じた。そこで、本実施
形態の工具11を用いて図4(b)に示すような細溝加
工を行なったところ、山幅W2は設計値に対して10%
程度のばらつきに抑えることができた。さらに溝加工を
継続して、溝底加工をする工具11の先端部の砥粒層が
磨耗しても、図4(c)に示すように磨耗した量だけ溝
の深さ方向に工具をオフセットすることができる。その
結果、山幅W3は図4(b)における山幅W2と比べ
て、加工寸法精度が劣化することはなく、設計値に対し
て10%程度のばらつきに抑えることができ、工具の寿
命をさらに伸ばすことが可能になった。
いて細溝加工を行なう場合、図4(a)に示す山幅W1
は、前記工具1の中心をずらした所定ピッチ量と細溝加
工深さにより決定される。この時、細溝の斜面を加工す
る前記工具1の円錐台斜面における砥粒層のばらつき
や、砥粒層の磨耗状態などによって、山幅W1は設計値
に対してばらつきを生じる。上記第1の実施形態と同じ
条件で、前記工具1を用いて深さ0.2mm、山幅0.
2mmの細溝加工を行なったところ、山幅の設計値に対
して最大±50%のばらつきを生じた。そこで、本実施
形態の工具11を用いて図4(b)に示すような細溝加
工を行なったところ、山幅W2は設計値に対して10%
程度のばらつきに抑えることができた。さらに溝加工を
継続して、溝底加工をする工具11の先端部の砥粒層が
磨耗しても、図4(c)に示すように磨耗した量だけ溝
の深さ方向に工具をオフセットすることができる。その
結果、山幅W3は図4(b)における山幅W2と比べ
て、加工寸法精度が劣化することはなく、設計値に対し
て10%程度のばらつきに抑えることができ、工具の寿
命をさらに伸ばすことが可能になった。
【0023】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の加工
工具によれば、ファインセラミックス等の硬脆材料の細
溝研削加工において、工具の目詰まりが起きにくく、加
工精度を向上させることができ、さらに工具寿命を長く
することができた。
工具によれば、ファインセラミックス等の硬脆材料の細
溝研削加工において、工具の目詰まりが起きにくく、加
工精度を向上させることができ、さらに工具寿命を長く
することができた。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係わ溝加工工具の
先端部分の3/4概略断面図。
先端部分の3/4概略断面図。
【図2】本発明の第1の実施の形態における加工工程の
一部の概略図。
一部の概略図。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係わる溝加工工具
の先端部分の概略図。
の先端部分の概略図。
【図4】本発明の第2の実施の形態における加工工程の
一部の概略図。
一部の概略図。
1・・・・ 溝加工工具 2・・・・ 研削屑排出用溝 3・・・・ 止り穴 4・・・・ 横穴 5・・・・ ワーク(被加工物) 6、6‘・・加工溝 11・・・ 溝加工工具 12・・・ 研削屑排出用溝 13・・・ 止り穴 14・・・ 横穴
Claims (4)
- 【請求項1】硬脆材料に細溝を研削加工する棒状の工具
であって、工具先端面の中心部で互いに交差する、断面
がU字状、V字状または矩形形状の溝を前記工具先端面
に有し、前記工具先端面の中心部から長軸方向に向かう
円筒状の穴が設けられ、前記工具側面から前記円筒状穴
に向かい、該円筒状穴と交差して工具を貫通する穴を少
なくとも1つ以上設けたことを特徴とする細溝加工用工
具。 - 【請求項2】 請求項1記載の細溝加工用工具におい
て、先端の刃部の断面形状は被加工物の所望の細溝断面
形状と略等しい形状を有することを特徴とする細溝用加
工工具。 - 【請求項3】 請求項2記載の細溝加工用工具におい
て、前記刃部断面の最大外径は被加工物の所望の細溝最
大幅と略等しいことを特徴とする細溝用加工工具。 - 【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の細溝加工用工具において、工具表面にめっき被膜を結
合剤としてダイヤモンド砥粒を固着させた砥粒層を具備
することを特徴とする細溝加工用工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000160315A JP2001328072A (ja) | 2000-03-13 | 2000-05-30 | 細溝加工用工具 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-68111 | 2000-03-13 | ||
JP2000068111 | 2000-03-13 | ||
JP2000160315A JP2001328072A (ja) | 2000-03-13 | 2000-05-30 | 細溝加工用工具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001328072A true JP2001328072A (ja) | 2001-11-27 |
Family
ID=26587275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000160315A Pending JP2001328072A (ja) | 2000-03-13 | 2000-05-30 | 細溝加工用工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001328072A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100729034B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-06-14 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 표면의 거시 결함 검사장치 |
JP2011093029A (ja) * | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2016107354A (ja) * | 2014-12-03 | 2016-06-20 | Jfeスチール株式会社 | 研削工具及び排ガス回収ダクトの製造方法 |
-
2000
- 2000-05-30 JP JP2000160315A patent/JP2001328072A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100729034B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-06-14 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 표면의 거시 결함 검사장치 |
JP2011093029A (ja) * | 2009-10-28 | 2011-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2016107354A (ja) * | 2014-12-03 | 2016-06-20 | Jfeスチール株式会社 | 研削工具及び排ガス回収ダクトの製造方法 |
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