JP2001321847A - 超塑性成形装置および超塑性加工方法 - Google Patents

超塑性成形装置および超塑性加工方法

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JP2001321847A JP2000146449A JP2000146449A JP2001321847A JP 2001321847 A JP2001321847 A JP 2001321847A JP 2000146449 A JP2000146449 A JP 2000146449A JP 2000146449 A JP2000146449 A JP 2000146449A JP 2001321847 A JP2001321847 A JP 2001321847A
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superplastic forming
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Abstract

(57)【要約】 【課題】エネルギ効率の優れた超塑性成形装置および超
塑性加工方法を得る。 【解決手段】超塑性成形装置10は、ワークWに電気を
供給するための電源装置14を備えている。ワークWに
対して成形加工を施す際に、該ワークWには、電源装置
14からの電気が供給される。この電気によって、ワー
クWにジュール熱が発生し、ワークWの状態が超塑性状
態に移行する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超塑性成形装置お
よび超塑性加工方法に関し、一層詳細には、ワークを効
率的に加熱することが可能な超塑性成形装置および超塑
性加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】金属材料、セラミクス材料等のワークを
超塑性領域において加工する超塑性加工技術が知られて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述の超塑性加工技術
を成形装置に適用して構成された超塑性成形装置は、例
えば、成形用の型と、この型とともにワークを収容する
炉を備えている。この炉には、該炉内に配置された型お
よびワークを加熱するための加熱装置が装着されてい
る。また、超塑性成形装置は、ワークにエア圧を加えて
該ワークを型に押しつけるためのエア供給装置を備えて
いる。
【0004】ところで、この超塑性成形装置において
は、炉内に配置された型およびワークを同時に加熱する
ようにする。さらに、製品を取り出す際には、炉を開け
る必要があるため、炉内の熱が外部に放出されてしま
う。この場合、1回の成形作業を行う度に炉全体を再加
熱する必要があるため、成形作業に多くのエネルギを要
することとなる。
【0005】本発明は、前記の不都合を解決するために
なされたものであり、成形作業等の加工作業に要するエ
ネルギの削減を図ることが可能な超塑性成形装置および
超塑性加工方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワークに超塑
性成形加工を施すための超塑性成形装置において、前記
ワークに電気を供給してジュール熱を発生させる電気供
給手段と、前記ワークに対する超塑性成形加工を行う成
形手段とを有することを特徴とする(請求項1記載の発
明)。
【0007】このように、ワークに電気を供給して該ワ
ークを超塑性領域まで加熱するようにしているため、加
熱用の炉を用いる場合に比べて、装置の小型化を図ると
ともに、エネルギ効率の向上を図ることができる。さら
に、加工作業時間の短縮化を実現することもできる。
【0008】この場合、前記成形手段は、成形用の型
と、前記ワークに流体圧を加えて該ワークを前記型に押
しつける流体圧供給手段とを有するようにしてもよい。
【0009】また、前記成形手段は、前記ワークを超塑
性変形させるためのツールを備えた成形ロボットを有す
るようにしてもよい。
【0010】この場合、前記ツールに温度調節手段を設
けることによって、ワークの熱がツール側に伝わること
を回避し、ワークの温度制御を正確に行うことができ
る。
【0011】また、前記超塑性成形装置は、前記ワーク
を収容する室を備え、前記室は、前記ワークを介して第
1および第2の室に分割されており、前記室には、前記
第1および第2の室内の気圧を調節することによって前
記ワークの姿勢を制御する気圧調節手段が装着されてい
る。このため、加工を行うのに最適な姿勢にワークを保
持しながら加工作業を行うことができる。
【0012】さらに、前記電気供給手段は、前記ワーク
に配される複数の電極を有し、前記電気供給手段は、前
記各電極の中から選択した少なくとも2組の電極の間に
所定の順序で電気を供給することを特徴とする(請求項
2記載の発明)。このため、ワーク中の電流の経路を変
化させることによって、ワーク全体のヤング率を均一化
することができる。
【0013】この場合、前記電気供給手段は、前記各電
極を介して前記ワークに電気を供給するための電源装置
と、前記電源装置と前記各電極との間の接続を選択的に
切り換える切換機とを有する(請求項3記載の発明)。
このため、切り換え可能な複数の電流の経路をワーク中
に網の目状に構成し、ワーク中の温度の制御を高い分解
能で行うことができる。
【0014】また、本発明に係る超塑性加工方法は、ワ
ークに電気を供給してジュール熱を発生させることによ
って、前記ワークの状態を超塑性状態に移行させる工程
と、前記超塑性状態に移行された前記ワークに加工を施
す工程とを含むことを特徴とする(請求項4記載の発
明)。
【0015】このように、ワークに電気を供給して該ワ
ークを超塑性領域まで加熱するようにしているため、エ
ネルギ効率の向上を図るとともに、加工作業時間の短縮
化を実現することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明に係る超塑性加工方法につ
いて、それが適用される超塑性成形装置との関係におい
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。
【0017】図1は、第1の実施の形態に係る超塑性成
形装置10の概略的な構成を示している。この超塑性成
形装置10は、ワークWに超塑性成形加工を施すための
成形手段を構成する成形装置12と、該成形装置12に
装着されたワークWに電気を供給するための電気供給手
段を構成する電源装置14と、成形装置12にブロー用
の流体(実際は、空気等の気体)を供給するための流体
圧供給手段を構成するエア供給装置16と、これら電源
装置14およびエア供給装置16を制御するコントロー
ラ20とを備えている。
【0018】また、コントローラ20には、超塑性成形
装置10の動作条件等を設定するための条件設定器22
と、コントローラ20を図示しないマスタコントローラ
(上位コントローラ)等と接続するためのインタフェー
ス24とが接続されている。
【0019】成形装置12は、上型本体28aおよび下
型本体28bを備えている。そして、下型本体28bに
は、実質的に成形用の型を構成する型インサート30が
装着されている。
【0020】上型本体28aの下端部における、例えば
左右の位置には、電極32aおよび電極34aがそれぞ
れ設けられている。また、下型本体28bの上端部にお
ける、例えば左右の位置には、電極32bおよび電極3
4bがそれぞれ設けられている。この場合、電極32a
および電極32bと、電極34aおよび電極34bが、
それぞれ電源装置14の同じ極の端子に接続されてい
る。
【0021】第1の実施の形態において、ワークWは、
例えば略平板状かつ平面略四辺形状に形成されており、
その材質としては、アルミニウム合金、鉄合金、ニッケ
ル合金、チタン合金等の超塑性材料が採用される。
【0022】ワークWは、その四辺部が上型本体28a
の下端部と下型本体28bの上端部との間に挟まれた状
態でこれら上型本体28aおよび下型本体28bに保持
される。さらに、ワークWは、クランプ36a、36b
で上型本体28aと下型本体28bの間に加えられるク
ランプ力によって、これら上型本体28aおよび下型本
体28bと一体的に固定される。
【0023】図2は、ワークWに電極32a、32bお
よび電極34a、34bが装着された状態を平面的に示
している。図1および図2に示すように、ワークWが上
型本体28aおよび下型本体28bに保持された状態に
おいて、電極32a、32bおよび電極34a、34b
は、ワークWの左辺部および右辺部にそれぞれ接してい
る。
【0024】図3は、電源装置14の構成を示してい
る。電源装置14は、三相交流電源44から供給される
三相交流電流を直流電流に変換するコンバータ部(整流
回路部)46と、コンバータ部46で得られた直流電流
を二相交流電流に変換するインバータ部48と、インバ
ータ部48で得られた二相交流電流を直流電流に変換す
る直流変換部50とを備えている。
【0025】コンバータ部46は、三相交流電源44か
らの三相交流電流を整流する整流ブロック52と、整流
ブロック52で得られた電流を平滑化させるコンデンサ
(例えば、電解コンデンサ)54とを備えている。
【0026】インバータ部48は、トランジスタで構成
された4つのスイッチング素子56a〜56dを備えて
おり、これらスイッチング素子56a〜56dは、ドラ
イバ58から供給される信号に基づいてON/OFF制
御される。そして、スイッチング素子56a〜56dの
ON/OFF制御に基づいて、インバータ部48から二
相交流電流が出力される。
【0027】直流変換部50は、トランス59と、整流
回路を構成するダイオード60a、60bとを備えてい
る。そして、インバータ部48からの二相交流電流は、
トランス59によって変圧されるとともに、整流回路
(ダイオード60a、60b)によって整流され、その
結果、直流電流が得られる。
【0028】直流変換部50からの直流電流は、電極3
2a、32bおよび電極34a、34bを介して図1に
示すワークWに供給される。これに伴って、図2に示す
ワークW中を左右いずれかの方向に向かって電流が流
れ、ワークWにジュール熱が発生することとなる。
【0029】また、電源装置14は、図3に示すよう
に、コンバータ部46で得られた直流電流の電流値I1
を検出する電流値検出器64と、直流変換部50で得ら
れた直流電流の電流値I2を検出する電流値検出器66
とを備えている。そして、これら電流値検出器64、6
6からの電流値I1、I2は、コントローラ20にそれ
ぞれ供給され、後述するように、該コントローラ20に
よって電流値I2がフィードバック制御される。
【0030】この場合、電源装置14、電極32a、3
2bおよび電極34a、34b、並びに電流値検出器6
4、66等は、図1のワークWに電気を供給するための
電気供給手段を構成している。
【0031】図4は、電源装置14からワークWに供給
される電流値I2、ワークWの電気抵抗値Rおよびヤン
グ率Eの、時間tに対する特性を示している。
【0032】コントローラ20は、予め定められた電流
値制御スケジュールに基づいて、電源装置14からワー
クWに供給すべき電流の電流値I2を制御する。この電
流値制御スケジュールは、ワークWを発熱させてその状
態を超塑性状態に移行させ、その後、超塑性状態に維持
させることができるように、例えば実験データ等に基づ
いて構成されている。
【0033】具体的には、電流値制御スケジュールは、
電流値I2を例えばゼロ値(0)からIaまで傾斜状に
増加させる時点t0〜t1の期間と、電流値I2をIa
に維持してワークWの状態を超塑性状態に移行させる時
点t1〜t2の期間と、電流値I2をIaからIbまで
低下させ、その後、Ibに保ってワークWの状態を超塑
性状態に維持させる時点t2以降の期間とを有する。
【0034】この電流値制御スケジュール中の時点t0
〜t1の期間において、電流値I2を傾斜状に増加させ
るのは、ワークWに電流が流れることによって該ワーク
Wに加わるローレンツ力が急激に変化することを防ぐた
めである。
【0035】この電流値制御スケジュールに従って電流
値I2を制御することによって、ワークWのヤング率E
は、固体領域に含まれる値E0から超塑性領域に含まれ
る値E1に遷移し、その後、この値E1に維持される。
この場合、このヤング率Eの値E1は、ワークWに対す
る超塑性成形加工を行うのに適した値に設定されてい
る。
【0036】なお、ワークWの抵抗値Rは、ワークWの
状態が超塑性状態に移行するのに伴って増加する。従っ
て、この抵抗値Rを検出することによって、電流値I2
をフィードバック制御することもできる。
【0037】また、図1に示すように、上型本体28a
に赤外線温度解析装置(サーモビュア装置)70を装着
し、この赤外線温度解析装置70によって得られたワー
クWの温度分布情報に基づいて、電流値I2をフィード
バック制御するようにしてもよい。
【0038】図5は、ワークWに対する超塑性成形加工
の作業を示している。ワークWの状態を超塑性状態に維
持しながら(すなわち、図4に示すワークWに電流を供
給して、ワークWのヤング率Eを所望の値E1に維持し
ながら)、上型本体28aとワークWの間にエア供給装
置16からのエアを供給してワークWにエア圧(流体
圧)を加えると、ワークWが下型本体28b側に押され
る。そして、ワークWが型インサート30に押しつけら
れると、この型インサート30の形状に沿ってワークW
が変形し、所望の形状の成形品が得られる。
【0039】このように、本発明の第1の実施の形態に
係る超塑性成形装置10においては、ワークWに電気を
供給して該ワークWを発熱させることによって、ワーク
Wを超塑性領域に移行させるようにしている。このた
め、ワークWを上型本体28aおよび下型本体28bと
同時に加熱するための炉を設ける場合に比べて、超塑性
成形装置10の小型化を図るとともに、エネルギ効率の
向上を図ることができる。
【0040】また、炉の中に配置されたワークW、上型
本体28aおよび下型本体28bを同時に加熱する作業
が不要となるため、成形作業時間の短縮を図ることもで
きる。
【0041】次に、本発明の第2の実施の形態に係る超
塑性成形装置について説明する。
【0042】図6は、第2の実施の形態に係る超塑性成
形装置110の概略的な構成を示している。超塑性成形
装置110は、図1の第1の実施の形態に係る超塑性成
形装置10とほぼ同じ構成のコントローラ20、条件設
定器22およびインタフェース24を備えている。な
お、図6中では、条件設定器22およびインタフェース
24の図示は省略している。
【0043】また、図6の第2の実施の形態に係る超塑
性成形装置110が適用されるワークWの形状は、図1
の例と同じである。
【0044】図6に示すように、超塑性成形装置110
は、電気供給手段を構成する複数(例えば、12個)の
電極112a〜112lを備えている。これら電極11
2a〜112lは、例えばワークWの四辺部にそれぞれ
3つずつ接続されている。また、超塑性成形装置110
は、電気供給手段を構成する電源ユニット114を備え
ており、この電源ユニット114から電極112a〜1
12lを介して、ワークWに電気が供給される。
【0045】図7は、電源ユニット114の構成を示し
ている。電源ユニット114は、図3に示す電源装置1
4とほぼ同じ構成の複数(例えば、6つ)の電源装置1
4a〜14fを備えている。そして、これら電源装置1
4a〜14fには、電極112a〜112lが、例え
ば、それぞれ2つずつ接続されている。
【0046】なお、各電源装置14a〜14fに3つ以
上の電極112a〜112lを接続するようにしてもよ
く、また、各電源装置14a〜14fに接続される電極
112a〜112lの数を不均等にしたり、各電極11
2a〜112lを複数の電源装置14a〜14fと接続
させるようにしてもよい(図7中、破線で示す接続線参
照)。
【0047】この場合、コントローラ20から電源装置
14a〜14f(実際には、ドライバ58)に選択的に
制御信号を供給することによって、ワークWに電気を供
給するための電極112a〜112lを選択的に切り換
えることができる。
【0048】図6に示すように、例えば、ワークWの上
辺部の略中心に設けられた電極112bと、ワークWの
下辺部の略中心に設けられた電極112hとに同じ電源
装置14a〜14fを接続し、また、ワークWの右辺部
の略中心に設けられた電極112eと、ワークWの左辺
部の略中心に設けられた電極112kとに同じ電源装置
14a〜14fを接続する。そして、電極112b、1
12hの間および電極112e、112kの間に所定の
時間間隔で交互に電流を流す。すなわち、ワークW中の
経路α、βに沿って、交互に電流を流す。このとき、ワ
ークWにおいては、経路α、βが交差する部分(図6
中、2点鎖線で囲まれた部分)における発熱量が最も多
くなる。
【0049】この原理を利用して、電気を供給すべき電
極112a〜112lの組を所定の時間間隔および順序
で選択的に切り換えることによって、ワークW中の温度
分布を制御することができる。
【0050】このように、第2の実施の形態に係る超塑
性成形装置110においては、電気を供給すべき電極1
12a〜112lを選択的に切り換えて、ワークW中の
電流の経路を変化させることによって、例えば、ワーク
W全体の温度が均一化するように、ワークWの温度分布
を制御するようにしている。このため、ワークW全体の
ヤング率Eを均一化することができ、その結果、成形品
の良好な加工品質を確保することができる。
【0051】次に、本発明の第2の実施の形態に係る超
塑性成形装置の変形例について説明する。
【0052】図8は、第2の実施の形態の変形例に係る
超塑性成形装置150の、特に、電源ユニット152の
概略的な構成を示している。電源ユニット152は、例
えば1つの電源装置14と、この電源装置14と電極1
12a〜112lとの接続を切り換える複数(例えば、
4つ)の切換機154a〜154dとを備えている。切
換機154a〜154dは、例えば、3つの電極112
a〜112lとそれぞれ接続されている。
【0053】切換機154a〜154dは、コントロー
ラ20からの制御信号に従って、電源装置14と接続す
べき電極112a〜112lを選択的に切り換える。こ
の場合、図6に示す第2の実施の形態に係る超塑性成形
装置110と同様に、ワークW中における電流の経路を
変化させ、ワークW中の温度分布を制御することができ
る。
【0054】このように、第2の実施の形態の変形例に
係る超塑性成形装置150においては、電源装置14と
電極112a〜112lとの間に設けられた切換機15
4a〜154dによって、電源装置14から電気を供給
すべき電極112a〜112lを選択的に切り換えるこ
とができる。この場合、電極112a〜112lの組み
合わせ方に応じて、切り換え可能な複数の電流の経路
を、ワークW中に網の目状に構成することができる。こ
のため、ワークW中の温度分布の制御を高い分解能で行
うことができる。
【0055】また、ワークW中よりも電極112a〜1
12lの方を電流が流れやすくなっている場合には、こ
れら電極112a〜112l側に回り込むように電流が
流れてしまうおそれがあるが、この場合、電極112a
〜112lと電源装置14との間の接続を切換機154
a〜154dによって選択的にON/OFFさせて、電
流の経路を、例えば、所望の方向に曲げさせるように制
御することにより、電流の回り込みを防止することがで
きる。
【0056】次に、本発明の第3の実施の形態に係る超
塑性成形装置について説明する。
【0057】図9は、第3の実施の形態に係る超塑性成
形装置210の概略的な構成を示している。超塑性成形
装置210は、図1の第1の実施の形態に係る超塑性成
形装置10とほぼ同じ構成の電源装置14および電極3
2a、32b、34a、34b、コントローラ20、条
件設定器22、並びにインタフェース24を備えてい
る。なお、図9中では、条件設定器22およびインタフ
ェース24の図示は省略している。
【0058】超塑性成形装置210は、ワークWに超塑
性成形加工を施すための成形装置212を備えており、
この成形装置212は、上室壁214aおよび下室壁2
14bを備えている。そして、上室壁214aの下端部
に電極32aおよび電極34aが設けられ、下室壁21
4bの上端部に電極32bおよび電極34bが設けられ
ている。
【0059】ワークWは、その四辺部が上室壁214a
の下端部と下室壁214bの上端部との間に挟まれた状
態でこれら上室壁214aおよび下室壁214bに保持
される。さらに、ワークWは、クランプ220a、22
0bによって上室壁214aと下室壁214bの間に加
えられるクランプ力によって、これら上室壁214aお
よび下室壁214bと一体的に固定される。このとき、
上室壁214aとワークWの間には上室(第1の室)2
22aが形成され、下室壁214bとワークWの間には
下室(第2の室)222bが形成される。
【0060】また、ワークWには、図2に示す例と同様
に、その左右の両辺部に電極32a、32bおよび34
a、34bがそれぞれ接続される。そして、電源装置1
4から電極32a、32bおよび34a、34bを介し
てワークWに供給すべき電流の電流値I2は、例えば図
4の例と同じ電流値制御スケジュールに基づいて制御さ
れる。
【0061】上室壁214aおよび下室壁214bに
は、上室222aおよび下室222b内の気圧を調節す
るための気圧調節装置226a、226bがそれぞれ装
着されている。これら気圧調節装置226a、226b
は、圧力コントローラ227からの指示に基づいて制御
される。この場合、気圧調節装置226a、226b、
圧力コントローラ227および後述する気圧検出センサ
228a、228bは、気圧調節手段を構成している。
【0062】上室壁214aおよび下室壁214bに
は、上室222aおよび下室222b内の気圧を検出す
るための気圧検出センサ228a、228bがそれぞれ
設けられている。そして、これら気圧検出センサ228
a、228bで得られた上室222aの気圧(上室気
圧)Paおよび下室222bの気圧(下室気圧)Pb
は、圧力コントローラ227にそれぞれ供給される。
【0063】図10は、図9に示される圧力コントロー
ラ227における制御処理をブロック的に示している。
この場合、気圧Pa、Pbのそれぞれの変化量ΔPL
ΔPGは気圧検出センサ228a、228bにより検出
され、その変化量ΔPL、ΔPGに応じて供給空気量が制
御される。これによって、気圧Pa、Pbの値になるよ
うにフィードバック制御がなされる。
【0064】このように、上室気圧Paおよび下室気圧
Pbを制御することによって、ローレンツ力によるワー
クWの張り、あるいはワークWの自重による垂下を阻止
することができる。
【0065】図9に示すように、上室壁214aおよび
下室壁214bの内壁部には、1つまたは複数(図9の
例では1つ)の成形用多軸ロボット(成形ロボット)2
30a、230bがそれぞれ装着されている。そして、
これら成形ロボット230a、230bのロボットアー
ム232a、232bには、ツール234a、234b
がそれぞれ保持されている。
【0066】図11は、ツール234a、234bの先
端部を示している。ツール234a、234bは、例え
ば、その先端部が略球面状の略円柱状に形成されてい
る。なお、ツール234a、234bの形状としては、
先端部が尖った形状や、平面部または鋭角部を有する形
状等の種々の形状を採用することができる。
【0067】また、ツール234a、234bの先端部
には、温度調節手段を構成する例えばペルチェ素子23
6がそれぞれ埋め込まれている。
【0068】図9に示すように、成形ロボット230
a、230bは、ロボットコントローラ240a、24
0bからの駆動電流によって駆動され、ワークWに対す
る成形作業を行う。
【0069】また、このとき、ペルチェ素子236(図
11参照)は、ロボットコントローラ240a、240
bからの制御電流によってツール234a、234bの
先端部を加熱または冷却して、該先端部の温度が所望の
温度となるように調節する。このように、ツール234
a、234bの温度を調節することによって、例えば、
ワークWの熱がツール234a、234b側に伝わらな
いようにすることができるため、ワークWの温度制御を
正確に行うことが可能となる。
【0070】図12〜図16は、成形ロボット230
a、230bによるワークWに対する成形作業を示して
いる。
【0071】図12に示すように、例えば、上下の成形
ロボット230a、230bに装着されたツール234
a、234bの先端部を互いに対向させながらこれら先
端部をワークWに接触させる。そして、ロボットアーム
232a、232bを介してツール234a、234b
の先端部を上下左右に変位させると、これら先端部の軌
跡に沿ってワークWが変形形成される。
【0072】
【発明の効果】本発明に係る超塑性成形装置および超塑
性加工方法によれば、ワークに電気を供給して該ワーク
を発熱させることによって、ワークを超塑性状態に移行
させるようにしている。このため、エネルギ効率の優れ
た超塑性成形装置および超塑性加工方法を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態に係る超塑性成形装置の概略
的な構成を示すブロック図である。
【図2】ワークに電極が装着された状態を示す平面図で
ある。
【図3】電源装置の構成を示すブロック図である。
【図4】電源装置からワークに供給される電流値、ワー
クの電気抵抗値およびヤング率の時間に対する特性を示
すグラフである。
【図5】ワークに対する超塑性成形加工の作業を示す説
明図である。
【図6】第2の実施の形態に係る超塑性成形装置の特に
電気供給手段の概略的な構成を示すブロック図である。
【図7】電源ユニットの構成を示すブロック図である。
【図8】第2の実施の形態の変形例に係る超塑性成形装
置の特に電源ユニットの概略的な構成を示すブロック図
である。
【図9】第3の実施の形態に係る超塑性成形装置の概略
的な構成を示すブロック図である。
【図10】圧力コントローラにおける制御処理を示すブ
ロック図である。
【図11】ツールの先端部を示す正面図である。
【図12】成形ロボットによるワークに対する成形作業
を示す説明図である。
【符号の説明】
10、110、150、210…超塑性成形装置 12、212…成形装置 14、14a〜14
f…電源装置 16…エア供給装置 20…コントローラ 28a…上型本体 28b…下型本体 30…型インサート 32a、32b、34a、34b、112a〜112l
…電極 114、152…電源ユニット 154a〜154d
…切換機 214a…上室壁 214b…下室壁 222a…上室 222b…下室 226a、226b…気圧調節装置 227…圧力コントローラ 228a、228b…気圧検出センサ 230a、230b…成形ロボット 232a、232b…ロボットアーム 234a、234b…ツール 236…ペルチェ素
子 240a、240b…ロボットコントローラ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワークに超塑性成形加工を施すための超塑
    性成形装置において、 前記ワークに電気を供給してジュール熱を発生させる電
    気供給手段と、 前記ワークに対する超塑性成形加工を行う成形手段と、 を有することを特徴とする超塑性成形装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の超塑性成形装置において、 前記電気供給手段は、前記ワークに配される複数の電極
    を有し、 前記電気供給手段は、前記各電極の中から選択した少な
    くとも2組の電極の間に所定の順序で電気を供給するこ
    とを特徴とする超塑性成形装置。
  3. 【請求項3】請求項2記載の超塑性成形装置において、 前記電気供給手段は、 前記各電極を介して前記ワークに電気を供給するための
    電源装置と、 前記電源装置と前記各電極との間の接続を選択的に切り
    換える切換機と、 を有することを特徴とする超塑性成形装置。
  4. 【請求項4】ワークに電気を供給してジュール熱を発生
    させることによって、前記ワークの状態を超塑性状態に
    移行させる工程と、 前記超塑性状態に移行された前記ワークに加工を施す工
    程と、 を含むことを特徴とする超塑性加工方法。
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