JP2001319584A

JP2001319584A - プラズマディスプレイパネル及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001319584A
Application number: JP2000139066A
Authority: JP
Inventors: Tomokiyo Yamada; 智清山田
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 2000-05-11
Filing date: 2000-05-11
Publication date: 2001-11-16
Anticipated expiration: 2020-05-11
Also published as: JP4138205B2

Abstract

(57)【要約】【課題】製造工程における電極形成基板の品質検査で
の不具合を防止することができると共に輝度を向上させ
ることができるプラズマディスプレイパネル及びその製
造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板１の表示領域２上には、相互
に平行な複数の透明電極６ａ及び６ｂが形成され、その
上には、透明電極に沿って線状の夫々バス電極４ａ及び
４ｂが形成されている。そして、バス電極４ａ及び４ｂ
の両端は、表示領域２の外部において夫々正方形の検査
端子部１０ａ及び１０ｂに接続されている。バス電極４
ａの一方の端部は検査端子部１０ａに接続され、更に引
き出し部７ａにより外部の駆動回路に接続される端子接
続部５に接続され、他方の端部は表示領域外で検査端子
部１０ｂに接続されている。検査端子部１０ａ、１０ｂ
の１辺の長さＬ、及び引き出し部７ａ、７ｂの線幅は、
バス電極４ａ、４ｂの線幅より大きく、例えば１００μ
ｍとなっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（ＰＤＰ（Plasma Display Panel））及びそ
の製造方法に関し、特に、製造工程で生じる不具合の防
止を図ったプラズマディスプレイパネル及びその製造方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、ＰＤＰ用基板の製造工程では、電
極形成基板の品質検査として、電極の断線及び短絡を検
出するためのプロービング検査が行われる。プロービン
グ検査とは、テスターに接続されたピンプローブを、透
明電極上のバス電極の両端にコンタクトさせ、抵抗値の
違いで断線の有無を判定する方法である。

【０００３】図７は、従来のＰＤＰの前面基板を示す平
面図である。図７に示すように、ＰＤＰの前面基板とな
るガラス基板１０１の表示領域１０２には、１対の維持
電極及び走査電極から構成される放電電極（表示電極）
となる透明電極１０６ａ、１０６ｂが相互に平行に複数
本形成されている。ＰＤＰでは透明電極間のプラズマ放
電に比較的大電流を要し、大型であるために生じる電圧
降下を抑制するため、透明電極１０６ａ、１０６ｂのみ
では抵抗が高いので、各透明電極１０６ａ、１０６ｂ上
に、この透明電極１０６ａ、１０６ｂの抵抗値を低くす
るための夫々金属バス電極１０４ａ、１０４ｂが夫々透
明電極１０６ａ、１０６ｂに沿うように形成されてい
る。ＰＤＰにおいては、例えば、後面基板（図示せず）
上に透明電極１０６ａ、１０６ｂとは直交するように形
成されるデータ電極（図示せず）と共に３電極面放電型
のＰＤＰが構成され、予備放電期間に放電電極間に放電
電圧を超える電圧を印加して予備放電を行い、書き込み
期間にデータ電極に書き込みパルスを印加して表示を行
わない表示セルの壁電荷を消去して放電を停止させる。
そして、維持期間に放電電極に維持パルスを印加して、
放電セルの放電を維持する。そして、１対の走査電極及
び維持電極からなる透明電極１０６ａ、１０６ｂに駆動
パルスを印加するため、透明電極１０６ａ、１０６ｂ上
に夫々形成されたバス電極１０４ａ及び１０４ｂは、相
互に逆方向の１端が引き出し部によって放電電極を駆動
する外部の駆動回路（図示せず）に接続する端子接続部
１０５と接続される。従って、図７に示す表示領域の１
端側においては、バス電極１０４ａ及び１０４ｂのう
ち、バス電極１０４ａのみが引き出し部１０７ａによっ
て端子接続部１０５に接続されている。従来のＰＤＰの
前面基板においては、バス電極１０４ａと端子接続部１
０５とを接続する引き出し部１０７ａはバス電極１０４
ａと同じ線幅を有して形成されている。このような前面
基板１０１のバス電極１０４ａ、１０４ｂのプロービン
グ検査をする際に、ピンプローブを接触させるプロービ
ング検査部として、バス電極の一方側の端部に接続され
る端子接続部１０５と、バス電極の表示領域１０２にお
ける端部とを使用する。従って、例えばバス電極１０４
ａの検査は、バス電極１０４ａが接続されている端子接
続部１０５と、これとは反対側のバス電極１０４ａの表
示領域１０２側の端部（図示せず）とを使用し、これら
にピンプローブを接触させ、その抵抗値により断線等を
検査する。また、対となるバス電極１０４ａ及び１０４
ｂの表示領域１０２における夫々端部１１０ａ及び１１
０ｂをピンプローブに接触させることにより、対となる
バス電極１０４ａ及び１０４ｂがショートしているか否
かを検査することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バス電
極１０４ａ、１０４ｂの線幅を極めて細く設計するとプ
ロービング検査でピンプローブとバス電極１０４ａ、１
０４ｂの表示領域１０２における端部１１０ａ、１１０
ｂとの接触面積が十分に取れずコンタクト不良が頻繁に
発生する。また、ピンプローブの打痕でバス電極１０４
ａ、１０４ｂが断線し、表示領域内に不点灯セル、又
は、不点灯ラインが発生する。ＰＤＰ固有の問題とし
て、バス電極が蛍光体の発光を遮蔽することで生じる輝
度の低下が挙げられるが、ＰＤＰでは、上述した如く、
プラズマ放電に比較的大電流を要し、大型であるために
生じる電圧降下を抑制するため、表示電極の抵抗値を低
くする金属バス電極は欠かせない。よって、バス電極
は、蛍光体の発光の遮蔽を最小限にするため、更に細く
なる傾向にあり、また、パネルの解像度が更に高精細な
ものになると、更に一層細くする必要がある。従って、
従来の構造では、輝度向上を目的にバス電極を極めて細
く設計するとプロービング検査で不具合が多発するとい
う問題点がある。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、製造工程における電極形成基板の品質検査
での不具合を防止することができると共に輝度を向上さ
せることができるプラズマディスプレイパネル及びその
製造方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマデ
ィスプレイパネルは、前面基板と、前記前面基板に放電
空間を介して対向配置される後面基板と、この後面基板
の前記前面基板と対向する面に一方に延びるように形成
されたデータ電極と、前記前面基板の前記後面基板と対
向する面に前記データ電極と直交するように形成された
複数個の透明な放電電極と、前記各放電電極上に前記放
電電極に沿って形成された複数個の線状のバス電極と、
前記データ電極と前記放電電極とが対向する表示領域の
外部に形成され前記バス電極の両端に接続された矩形の
複数対の検査端子部と、前記放電電極を駆動する駆動回
路に接続される端子接続部と、前記検査端子部と前記端
子接続部とを接続する引き出し部と、を有し、前記検査
端子部の隣り合う２辺の長さが共に前記バス電極の線幅
Ｗよりも大きいことを特徴とする。

【０００７】本発明に係る他のプラズマディスプレイパ
ネルは、前面基板と、前記前面基板に放電空間を介して
対向配置される後面基板と、この後面基板の前記前面基
板と対向する面に一方に延びるように形成されたデータ
電極と、前記前面基板の前記後面基板と対向する面に前
記データ電極と直交するように形成された複数個の透明
な放電電極と、前記各放電電極上に前記放電電極に沿っ
て形成された複数個の線状のバス電極と、前記データ電
極と前記放電電極とが対向する表示領域の外部に形成さ
れ前記バス電極の両端に接続された複数対の検査端子部
と、前記放電電極を駆動する駆動回路に接続される端子
接続部と、前記検査端子部と前記端子接続部とを接続す
る引き出し部と、を有し、前記バス電極の線幅をＷとし
たとき、前記検査端子部の面積がＷ×Ｗより大きいこと
を特徴とする。

【０００８】本発明においては、ＰＤＰの前面基板の表
示領域に設けるバス電極と表示領域外で接続する検査端
子部を設け、この検査端子部の隣り合う２辺がバス電極
の幅Ｗより広いか、又は検査端子部の面積がＷ×Ｗ以上
であるため、製造工程で実施される電極形成基板の品質
検査でのピンプローブと検査端子部との接触面積を広く
とることができる。従って、コンタクト不良、接触によ
る損傷等の不具合を防止すると共に、検査端子部を有し
ているのでパネルの電圧特性及び外観に影響を与えるこ
となく表示領域内のバス電極を極めて細くすることがで
き、輝度を向上させることができる。

【０００９】前記検査端子部の隣り合う２辺は、例えば
１００μｍ以上である。また、前記検査端子部の面積
は、例えば１００００μｍ²以上である。更に、前記引
き出し部の線幅が前記バス電極の線幅Ｗよりも大きい方
が好ましい。引き出し部はプロービング検査の前に行わ
れる画像検査において欠陥の検出もれが生じやすいが、
引き出し部の線幅が太いと欠陥自体が生じにくくなる。

【００１０】また、前記バス電極のうち任意の本数目の
バス電極に接続する第１の検査端子部と前記任意の本数
目以外のバス電極と表示領域外にて夫々接続する第２の
検査端子部とは形状を異ならせてもよい。更に、前記検
査端子部は矩形であって、前記バス電極のうち任意の本
数目のバス電極に接続される第１の検査端子部と前記任
意の本数目以外のバス電極と接続される第２の検査端子
部とは辺の長さを異ならせてもよい。これにより、形状
又は辺の長さが他とは異なる検査端子部を目印にすると
電極本数を数えやすく、作業性が向上する。

【００１１】本発明に係るプラズマディスプレイパネル
の製造方法は、前面基板となるガラス基板上に透明金属
膜を形成する工程と、前記透明金属膜をパターニングし
て放電電極を形成する工程と、前記透明電極上に感光性
を有する金属膜を形成する工程と、前記透明電極上で線
状となるバス電極とこのバス電極の両端に接続された矩
形の複数対の検査端子部と前記放電電極を駆動する駆動
回路に接続される端子接続部と前記検査端子部及び前記
端子接続部を接続する引き出し部とが形成されるように
設計されたガラスマスクを介して前記金属膜を露光、現
像、焼成して前記バス電極、検査端子部、引き出し部及
び端子接続部を形成する工程とを有することを特徴とす
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明
の第１の実施例に係るプラズマディスプレイパネルを示
す上面図、図２は、図１に示す領域Ａを拡大して示す上
面図である。

【００１３】図１及び図２に示すように、ガラス基板１
の表示領域２上には、相互に平行な複数の透明電極６ａ
及び６ｂが形成され、１対の透明電極６ａ及び６ｂから
放電電極が構成されている。更に、この１対の透明電極
６ａ及び６ｂ上には、透明電極６ａ、６ｂに沿って線状
の夫々バス電極４ａ及び４ｂが形成されている。そし
て、バス電極４ａ及び４ｂの両端は、表示領域２の外部
において夫々正方形の検査端子部１０ａ及び１０ｂに接
続されている。そして、対となるバス電極４ａ及び４ｂ
のうち、一方のバス電極４ａの一方の検査端子部１０ａ
は、引き出し部７ａによって、放電電極に駆動パルスを
印加する外部駆動回路（図示せず）に接続される端子接
続部５に接続され、他方のバス電極４ｂは、バス電極４
ａと逆側の他方の検査端子部１０ｂが引き出し部７ｂに
より端子接続部５に接続されている。本実施例の正方形
の検査端子部１０ａ、１０ｂの１辺の幅Ｌ、及び引き出
し部７ａ、７ｂの線幅は、バス電極４ａ、４ｂの線幅よ
り大きく、例えば１００μｍとなっている。なお、検査
端子部１０ａ、１０ｂの形状は長方形であってもよく、
この場合は、短辺をバス電極４ａ、４ｂの線幅より太く
する。更に、検査端子部１０ａ、１０ｂの形状は円形等
でもよく、この場合、検査端子部の面積が１００００μ
ｍ²以上である。これらの検査端子部１０ａ、１０ｂ及
び端子接続部５は、ＰＤＰの製造工程おいて実施される
プロービング検査（品質検査）の検査用端子として使用
される。

【００１４】本発明においては、バス電極４ａ、４ｂが
表示領域外で接続される検査端子部１０ａ、１０ｂの隣
り合う２辺が例えば１００μｍ以上であるか、又は検査
端子部の面積が例えば１００００μｍ²以上である。こ
れは、検査端子部の大きさをプロービング検査に使用す
るピンプローブの先端の大きさ及び検査装置の位置精度
を含んだ値とするためで、このような大きさを有する検
査端子部を設けることにより、ピンプローブとの接触不
良等のプロービング検査における不具合を防止すること
ができる。例えば、ピンプローブの先端の大きさを５０
μｍ程度とし、これに±２０μｍ程度の装置の位置精度
を含んだ値としたとき、好ましい隣り合う２辺の大きさ
が１００μｍ以上、又は好ましい検査端子部の面積が１
００００μｍ²以上となる。なお、検査端子部１０ａ、
１０ｂには、電極を製造する際の誤差、プロービング検
査に使用するピンプローブの大きさ、及びプロービング
検査装置の位置精度等を含んだ大きさが必要であって、
これらの値に応じて適宜変更すればよい。

【００１５】次に、本実施例のプラズマディスプレイパ
ネルの製造方法について説明する。先ず、ＩＴＯ又は酸
化スズ等からなる膜をスパッタ等により形成し、エッチ
ング又はリフトオフ法によりパターニングを行って透明
電極を形成する。その上に感光性銀ペーストをベタ塗り
し、乾燥した後、上述したように、表示領域２において
はバス電極４ａ、４ｂとなり、表示領域外部３におい
て、各バス電極４ａ及び４ｂの両端に接続する夫々検査
端子部１０ａ及び１０ｂ、検査端子部のうち一方から引
き出される引き出し部７ａ、及びこの引き出し部７ａに
接続する端子接続部５が構成されるように設計されたガ
ラスマスクを介して露光、現像、焼成する。なお、上述
した如く、検査端子部の幅Ｌが例えば１００μｍの一定
値以上の幅を有していればよいので、検査端子部１０
ａ、１０ｂと引き出し部７ａ、７ｂと端子接続部５とは
全て同一幅であってもよいし、異なっていてもよい。

【００１６】次に、このＰＤＰの前面基板１に形成され
たバス電極４ａ及び４ｂのプロービング検査の方法につ
いて説明する。図３（ａ）及び（ｂ）は、プロービング
検査の方法を示す模式図である。図３（ａ）に示すよう
に、プロービング検査のプローブは、一端がテスター
（図示せず）に接続されており、複数個のピンプローブ
Ｐ１〜Ｐｎ（ｎは自然数）から構成され、例えばピンプ
ローブＰ１とＰ２との間、Ｐ３とＰ４との間等である隣
接する各１対のピンプローブ間の距離がａとなってい
る。更に、例えばピンプローブＰ２とＰ３との間等であ
る各ピンプローブ対同士の間の距離がｂとなっている。
この距離ａは、対となるバス電極４ａ及び４ｂに接続す
る夫々検査端子部１０ａ及び１０ｂの間の距離に対応
し、また、距離ｂは、１対の透明電極６ａ及び６ｂ上に
形成される対となるバス電極４ａ及び４ｂのバス電極４
ｂに接続される検査端子部１０ｂと、隣接する他の対と
なる透明電極６ａ及び６ｂ上に形成される対となるバス
電極４ａ及び４ｂのバス電極４ａに接続される検査端子
部１０ａとの間の距離に対応している。また、本実施例
のガラス基板１に形成される１対の透明電極６ａ及び６
ｂ上に形成される１対のバス電極４ａ及び４ｂは、間隔
ｃを隔てて相互に平行に形成されている。更に、１対の
透明電極６ａ及び６ｂ上に形成される対となるバス電極
４ａ及び４ｂのバス電極４ｂと、隣接する他の対となる
透明電極６ａ及び６ｂ上に形成される対となるバス電極
４ａ及び４ｂのバス電極４ａとの間の距離はｄとなって
いる。

【００１７】プローブを使用してＰＤＰのガラス基板１
に形成されたバス電極４ａ、４ｂのプロービング検査を
する際には、ピンプローブを表示領域２の外に設けられ
たバス電極４ａの一方の端部である検査端子部１０ａと
他方の端部である端子接続部５とにコンタクトさせ、抵
抗値を測定し、所定の抵抗値より高い場合は断線してい
るものと判定する。

【００１８】また、図３（ｂ）は、図３（ａ）とは、対
となるバス電極４ａ及び４ｂの形成位置を変更した例を
示している。図３（ｂ）に示すように、放電電極に形成
される１対のバス電極４ａ及び４ｂの間隙を狭めて距離
ｅとしている。従って、１対の透明電極６ａ及び６ｂ上
に形成される対となるバス電極４ａ及び４ｂのバス電極
４ｂと、隣接する他の対となる透明電極６ａ及び６ｂ上
に形成される対となるバス電極４ａ及び４ｂのバス電極
４ａとの間の距離はｆとなり、図３（ａ）の距離ｄより
広くなっている。本実施例においては、このように対と
なるバス電極４ａ及び４ｂの間隔を変更しても、表示領
域外でこのバス電極４ａ及び４ｂに接続する検査端子部
１０ａ及び１０ｂの幅Ｌが広いため、バス電極４ａ及び
４ｂとの接続位置が変更するのみで、検査端子部１０ａ
と１０ｂとの間隔は変化しない。従って、対となるバス
電極４ａ及び４ｂの間隔が変更されてもプロービング検
査に使用する各ピンプローブの位置を変更することなく
プロービング検査に使用することができる。

【００１９】本実施例によれば、バス電極のプロービン
グ検査に使用する検査用の端子としてその幅が例えば１
００μｍである検査端子部１０ａ及び１０ｂを設けたた
め、ピンプローブとプローブ検査用端子（検査端子部１
０ａ又は１０ｂ及び端子接続部５）との接触面積を十分
に取ることができ、コンタクト不良を防止することがで
きる。また、ピンプローブの打痕により検査端子部１０
ａ、１０ｂが傷ついても、検査端子部１０ａ、１０ｂの
幅がピンプローブによる傷の大きさより太いため、断線
には至らない。また、検査端子部１０ａ、１０ｂが形成
されるのは、表示領域２の外部であるため、パネルの電
圧特性及び外観には影響しない。

【００２０】また、表示領域のバス電極の太さはプロー
ビング検査の制約を受けずに任意に設計できるため、表
示領域内のバス電極を極めて細くして蛍光体の発光を遮
蔽する面積を低減させることが可能となり、ＰＤＰの輝
度が向上する。

【００２１】更に、表示領域のバス電極の間隔に設計変
更が生じても、検査端子部１０ａ、１０ｂの幅が広く形
成されているため、バス電極４ａ、４ｂと検査端子部１
０ａ、１０ｂとの接続位置を変更するか、又は検査端子
部１０ａ、１０ｂの幅を調整するのみで、ピンプローブ
とのコンタクト部位である検査端子部１０ａ、１０ｂの
位置に変更は生じない。従って、ピンプローブの間隔
（距離ａ、ｂ）を変更することなく、同一プローブで、
プロービング検査が行うことができる。これにより、プ
ローブを改めて作製する必要がなく、また、プローブ交
換等の段取り換えがなくなり、コスト低減及び作業性向
上の効果を奏する。ＰＤＰのバス電極の間隔は、図３
（ａ）に示すように、バス電極４ａ及び４ｂとの間隔を
広くすると縦に並ぶセル間での電荷の干渉が起こり、ま
た、図３（ｂ）に示すように、バス電極狭くすると輝度
の低下が起こる。よって、設計変更が生じやすいが、本
発明のＰＤＰにおけるガラス基板に形成されるバス電極
４ａ、４ｂには、その両端に端子部１０ａ、１０ｂが形
成されているため、バス電極のこのような設計変更に対
して端子部１０ａ、１０ｂを形成する位置を変更するこ
となくコストを低減して作業性を向上させる。

【００２２】また、本実施例においては検査端子部１０
ａ、１０ｂを設けてその幅をバス電極より太くすると共
に、この検査端子部１０ａ、１０ｂから引き出される引
き出し部７ａ、７ｂの線幅も太くしている。従って、本
実施例においては、以下の効果も有する。通常ＰＤＰの
電極検査は、プロービング検査の前に画像検査を行って
いる。この画像検査によって外観から電極の断線等の不
具合を検査し、この検査で不具合が確認されなかったも
ののみ、最終検査としてプロービング検査が行われる。
画像検査においては、図２に示すように、バス電極４
ａ、４ｂに対して引き出し部７ａ、７ｂ等は傾斜して設
けられているが、バス電極４ａ、４ｂの画像検査を行う
場合、画像検査のアルゴリズムの制約上、これらの傾斜
した部位の検出力はバス電極４ａ、４ｂに比べると劣る
ため、通常、引き出し部の画像検査では、欠陥の検出洩
れが生じやすい。しかし、本実施例のように、引き出し
部７ａ、７ｂの線幅も検査端子部１０ａ、１０ｂと同様
に太く形成することにより、引き出し部に欠陥自体が生
じにくくなるため、検査洩れが生じにくくなり、引き出
し部に生じた欠陥による断線等が起こりにくくなる。

【００２３】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図４は、本発明の第２の実施例のＰＤＰのガラス
基板を示す上面図である。なお、図２に示す第２の実施
例において、図１及び図２に示す第１の実施例と同一構
成要素には同一の符号を伏してその詳細な説明は省略す
る。図４に示すように、本実施例においては、第１の実
施例で検査端子部１０ａ、１０ｂと同一幅で形成した引
き出し部７ａ、７ｂの線幅を細くした引き出し部とす
る。検査端子部１０ａから引き出される引き出し部１７
ａ及び検査端子部１０ｂから引き出される引き出し部
（図示せず）は本実施例のように、検査端子部１０ａ、
１０ｂより細くてもよい。本実施例においてもバス電極
４ａ、４ｂに接続し、バス電極４ａ、４ｂの線幅より広
い幅を有する検査端子部１０ａ、１０ｂを有しているた
め、コンタクト不良、接触による損傷等の不具合を防止
すると共に、検査端子部を有しているのでパネルの電圧
特性及び外観に影響を与えることなく表示領域内のバス
電極を極めて細くすることができ、輝度を向上させるこ
とができる。

【００２４】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。図５は、本発明の第３の実施例のＰＤＰ用基板の
要部を拡大して示す平面図である。なお、図５に示す第
３の実施例において、図１及び図２に示す第１の実施例
と同一の構成要素には同一の符号を伏してその詳細な説
明は省略する。図５に示すように、任意の本数目のバス
電極に接続する表示領域外の検査端子部１１ａ、１１ｂ
の形状を他の検査端子部１０ａ、１０ｂの形状とは異な
らせる。本実施例においては、この任意の本数を５本と
し、５本目のバス電極であるバス電極４ａに接続する検
査端子部１１ａと、次の５本目のバス電極であるバス電
極４ｂに接続する検査端子部１１ｂと、というように、
順次５本目のバス電極４ａ又は４ｂと接続する検査端子
部１１ａ、１１ｂの形状を円形とし、他のバス電極４
ａ、４ｂに接続する正方形の検査端子部１０ａ、１０ｂ
の形状とは異ならせる。なお、上述した如く、検査端子
部１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂの面積は１００００
μｍ²が好ましい。これにより、他の検査端子部１０
ａ、１０ｂとは形状が異なる円形の検査端子部１１ａ、
１１ｂを目印にできるため、バス電極本数が容易に数え
られる。プロービング検査では、検査結果を基に電極本
数を数えて断線、又は、短絡箇所を任意する作業を伴う
ため、電極本数の取得が容易になれば、作業性が向上す
る。また、検査端子部は表示領域外にあるのでパネルの
品位には影響しない。

【００２５】次に、本発明の第４の実施例について説明
する。図６は、本発明の第４の実施例のＰＤＰ用基板の
要部を拡大して示す平面図である。なお、図６に示す第
４の実施例において、図１及び図２に示す第１の実施例
と同一の構成要素には同一の符号を伏してその詳細な説
明は省略する。図６に示すように、任意の本数目のバス
電極４ａ又は４ｂと表示領域外で接続する検査端子部の
長さを変える。本実施例においては、５本目のバス電極
及びこの次の５本目のバス電極４ａ及び４ｂに接続する
検査端子部１２ａ及び１２ｂを長方形の形状とし、他の
正方形の端子１０ａ及び１０ｂの１辺より、検査端子部
１２ａ、１２ｂの長辺を長くする。これにより、他の検
査端子部１０ａ、１０ｂとは長さが異なる検査端子部１
２ａ、１２ｂを目印にすることができるため、電極本数
の取得が容易になる。上述した如く、プロービング検査
では、検査結果を基に電極本数を数えて断線、又は、短
絡箇所を任意する作業を伴うため、電極本数の取得が容
易になれば、作業性が向上する。また、検査端子部は表
示領域外にあるのでパネルの品位には影響しない。

【００２６】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
バス電極に表示領域外で接続するバス電極の線幅Ｗより
隣り合う２辺が共にＷより長いか、又は面積がＷ×Ｗよ
り大きい検査端子部を設けたため、ピンプローブと検査
端子部との接触面積が十分に取れ、コンタクト不良が防
止できる。また、ピンプローブの打痕により電極が傷つ
いても、幅がそれ以上に太いため、断線には至らない。
また、線幅が太く構成される部位は、表示領域の外側で
あるため、パネルの電圧特性及び外観には影響しない。

【００２７】また、バス電極の太さはプロービング検査
の制約を受けずに任意に設計できるため蛍光体の発光を
遮蔽する面積を減少させることが可能となり、輝度が向
上する。

【００２８】更に、バス電極の間隔に設計変更が生じて
も、検査端子部の幅の調整又はバス電極と検査端子部と
の接続位置の変更のみで、ピンプローブとのコンタクト
部位に変更は生じないため、ピンプローブの間隔を変更
することなく、同一プローブで、プロービング検査が行
うことができる。よって、プローブを改めて作製する必
要がなく、また、プローブ交換等の段取り換えがなくな
り、コスト低減及び作業性向上の効果を奏する。ＰＤＰ
のバス電極の間隔は、広くすると縦に並ぶセル間での電
荷の干渉が起こり、また、狭くすると輝度の低下が起こ
る。よって、設計変更が生じやすいが、このような設計
変更に対してコストを低減して作業性を向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るプラズマディスプ
レイパネルを示す上面図である。

【図２】図１に示す領域Ａを拡大して示す上面図であ
る。

【図３】プロービング検査の方法を示す模式図である。

【図４】本発明の第２の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの要部を拡大して示す平面図である。

【図５】本発明の第３の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの要部を拡大して示す平面図である。

【図６】本発明の第４の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの要部を拡大して示す平面図である。

【図７】従来のＰＤＰ用基板の端子接続部分を示す平面
図である。

【符号の説明】１、１０１；ガラス基板２、１０２；表示領域４ａ、４ｂ、１０４ａ、１０４ｂ；バス電極５、１０５；端子接続部６ａ、６ｂ、１０６ａ、１０６ｂ；透明電極７ａ、７ｂ、１７ａ、１０７ａ；引き出し部１０ａ、１０ｂ、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ；検
査端子部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】前面基板と、前記前面基板に放電空間を
介して対向配置される後面基板と、この後面基板の前記
前面基板と対向する面に一方に延びるように形成された
データ電極と、前記前面基板の前記後面基板と対向する
面に前記データ電極と直交するように形成された複数個
の透明な放電電極と、前記各放電電極上に前記放電電極
に沿って形成された複数個の線状のバス電極と、前記デ
ータ電極と前記放電電極とが対向する表示領域の外部に
形成され前記バス電極の両端に接続された矩形の複数対
の検査端子部と、前記放電電極を駆動する駆動回路に接
続される端子接続部と、前記検査端子部と前記端子接続
部とを接続する引き出し部と、を有し、前記検査端子部
の隣り合う２辺の長さが共に前記バス電極の線幅Ｗより
も大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ル。
【請求項２】前面基板と、前記前面基板に放電空間を
介して対向配置される後面基板と、この後面基板の前記
前面基板と対向する面に一方に延びるように形成された
データ電極と、前記前面基板の前記後面基板と対向する
面に前記データ電極と直交するように形成された複数個
の透明な放電電極と、前記各放電電極上に前記放電電極
に沿って形成された複数個の線状のバス電極と、前記デ
ータ電極と前記放電電極とが対向する表示領域の外部に
形成され前記バス電極の両端に接続された複数対の検査
端子部と、前記放電電極を駆動する駆動回路に接続され
る端子接続部と、前記検査端子部と前記端子接続部とを
接続する引き出し部と、を有し、前記バス電極の線幅を
Ｗとしたとき、前記検査端子部の面積がＷ×Ｗより大き
いことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】前記検査端子部の隣り合う２辺の長さは
１００μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載
のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】前記検査端子部の面積が１００００μｍ
²以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の
プラズマディスプレイパネル。
【請求項５】前記引き出し部の線幅が前記バス電極の
線幅Ｗよりも大きいことを特徴とする請求項１乃至４の
いずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】前記検査端子部及び前記引き出し部が同
一幅で形成されていることを特徴とする請求項１乃至５
のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】前記検査端子部、前記引き出し部及び前
記端子接続部が同一幅で形成されていることを特徴とす
る請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプラズマディ
スプレイパネル。
【請求項８】前記バス電極のうち任意の本数目のバス
電極に接続する第１の検査端子部と前記任意の本数目以
外のバス電極と表示領域外にて夫々接続する第２の検査
端子部とは形状が異なることを特徴とする請求項１乃至
７のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネ
ル。
【請求項９】前記検査端子部は矩形であって、前記バ
ス電極のうち任意の本数目のバス電極に接続される第１
の検査端子部と前記任意の本数目以外のバス電極と接続
される第２の検査端子部とは辺の長さが異なることを特
徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のプラズ
マディスプレイパネル。
【請求項１０】前面基板となるガラス基板上に透明金
属膜を形成する工程と、前記透明金属膜をパターニング
して放電電極を形成する工程と、前記透明電極上に感光
性を有する金属膜を形成する工程と、前記透明電極上で
線状となるバス電極とこのバス電極の両端に接続された
矩形の複数対の検査端子部と前記放電電極を駆動する駆
動回路に接続される端子接続部と前記検査端子部及び前
記端子接続部を接続する引き出し部とが形成されるよう
に設計されたガラスマスクを介して前記金属膜を露光、
現像、焼成して前記バス電極、検査端子部、引き出し部
及び端子接続部を形成する工程とを有することを特徴と
するプラズマディスプレイパネルの製造方法。