JP2001317910A - 回転角度検出器 - Google Patents

回転角度検出器

Info

Publication number
JP2001317910A
JP2001317910A JP2000134445A JP2000134445A JP2001317910A JP 2001317910 A JP2001317910 A JP 2001317910A JP 2000134445 A JP2000134445 A JP 2000134445A JP 2000134445 A JP2000134445 A JP 2000134445A JP 2001317910 A JP2001317910 A JP 2001317910A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic sensor
magnetic field
magnet
detection surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000134445A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinichi Akano
信一 赤野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP2000134445A priority Critical patent/JP2001317910A/ja
Publication of JP2001317910A publication Critical patent/JP2001317910A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転角度θの測定範囲を拡げる。 【解決手段】 ヨーク9に磁石5,6を回転軸方向の位
置を互いにずらして取り付ける。磁気センサ1をヨーク
9の内部空間の中央にその検出面1aを縦(磁石5およ
び6の回転軸方向と平行)にして配置する。軸7を回転
すると、これに伴って磁石5および6がヨーク9と一体
となって回転し、傾斜角αの磁界Bが磁気センサ1の検
出面1aを貫通しながら回転する。これにより、磁界B
の回転角度θの変化よりも小さな角度変化の磁界成分が
磁気センサ1の検出面1aに平行に作用し、回転角度θ
の測定範囲が拡がる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、各種機器の回転
角度を検出する回転角度検出器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、この種の回転角度検出器とし
て、強磁性体磁気抵抗素子を利用したものがある。強磁
性体磁気抵抗素子は、Ni−Co等の強磁性合金からな
る薄膜パターンを絶縁基板上に形成したものである。こ
の強磁性体磁気抵抗素子が配置されている基板面(検出
面)と平行な磁界の方向が変化すると、それに応じて抵
抗値が変化する。この強磁性体磁気抵抗素子の抵抗値の
変化から、検出面と平行な磁界の方向を検出することが
でき、この磁界の方向から被測定部材の回転角度を検出
することができる。
【0003】図13は強磁性体磁気抵抗素子を利用した
従来の回転角度検出器の回路構成を示す図である。同図
において、1は磁気センサ、2はオペアンプ、3は増幅
器、4は磁気センサ1に直列に接続された駆動電流値決
定用抵抗であり、オペアンプ2および増幅器3へは電源
電圧Vccが与えられている。磁気センサ1はブリッジ
接続された強磁性体磁気抵抗素子1−1〜1−4によっ
て構成され、強磁性体磁気抵抗素子1−1〜1−4は基
板面に配置されている。すなわち、この強磁性体磁気抵
抗素子1−1〜1−4が配置された基板面が、磁気セン
サ1の検出面とされている。
【0004】オペアンプ2の非反転入力端には基準電圧
Vsが設定されており、反転入力端には駆動電流値決定
用抵抗4と磁気センサ1との直列接続点(強磁性体磁気
抵抗素子1−2と1−4との接続点)に生ずる電圧V1
が与えられている。また、オペアンプ2の出力端は、磁
気センサ1の強磁性体磁気抵抗素子1−1と1−3との
接続点に接続されている。増幅器3は、磁気センサ1の
強磁性体磁気抵抗素子1−1と1−4との接続点に生ず
る電圧e1および強磁性体磁気抵抗素子1−3と1−2
との接続点に生ずる電圧e2を入力とし、この入力され
る電圧e1とe2との差を所定の増幅率Gで増幅し、出
力電圧Voutとして出力する。
【0005】この回転角度検出器において、オペアンプ
2は、入力電圧V1を基準電圧Vsに一致させるように
磁気センサ1への駆動電流iを制御する。これにより、
磁気センサ1への駆動電流iが一定となり、磁気センサ
1が定電流駆動される。この場合、駆動電流iの大きさ
は、基準電圧Vsと駆動電流値決定用抵抗4の抵抗値R
10によって決定される。
【0006】図14に磁気センサ1の取り付け状況の概
略を示す。磁気センサ1はその検出面1aを下側にして
不図示の保持部材に固定されている。この磁気センサ1
の両側に磁石(永久磁石)5および6が配置されてい
る。磁石5および6は軸7と一体となって回転するヨー
ク8に取り付けられている。磁石5はそのN極を磁気セ
ンサ1側として、磁石6はそのS極を磁気センサ1側と
してヨーク8に取り付けられており、ヨーク8を磁路と
して磁石5のN極から磁石6のS極へ向かう磁界Bが磁
気センサ1の検出面1aに平行に作用している。
【0007】軸7が回転すると、磁石5と磁石6とが作
る磁界Bも回転する。これにより、強磁性体磁気抵抗素
子1−1〜1−4の抵抗値が変化し、増幅器3の出力電
圧Voutが変化する。この出力電圧Voutの変化か
ら磁界Bの方向を検出することができ、この磁界Bの方
向から軸7の回転角度を検出することができる。ここ
で、軸7の回転角度すなわち磁界Bの回転角度をθとし
(図15参照)、出力電圧VoutをV(θ)とした場
合、磁気センサ1の物性から出力電圧V(θ)は下記
(1)式で表される。なお、(1)式において、ΔRは
磁気抵抗効果の大きさである。 V(θ)=ΔR・cos2θ・i ・・・・(1)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記(1)式から分か
るように、従来の回転角度検出器においては、出力電圧
V(θ)が回転角度θに対して2倍角の出力特性とな
る。図16にV(θ)の出力特性を示す。出力電圧V
(θ)は、θ=0〜180゜を1周期として変化し、θ
=0゜〜90゜,θ=90゜〜180゜において同一値
のV(θ)が出力される。従って、従来の回転角度検出
器では、回転角度θの測定範囲が90゜以下(実質的に
は60゜程度)に限定されていた。
【0009】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、その目的とするところは、回転角度θ
の測定範囲を拡げることのできる回転角度検出器を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために請求項1に係る発明(第1発明)は、磁気セン
サを挾んで対向する一方側および他方側に磁気センサに
対し相対的に回転可能にN磁極およびS磁極を設け、磁
気センサの検出面をこのN磁極およびS磁極の回転軸方
向と平行とすると共に、N磁極の回転軌道面とS磁極の
回転軌道面とを磁気センサの中心を挟んで対向させたも
のである。この発明によれば、N磁極からS磁極への磁
界が磁気センサの検出面を斜めに貫通しながら回転し、
この磁界の回転角度変化よりも小さな角度変化の磁界成
分が磁気センサの検出面に平行に作用する。
【0011】また、請求項2に係る発明(第2発明)
は、第1および第2の部材を相対的に回転可能に設け、
第1の部材に磁気抵抗効果型の磁気センサを設け、第2
の部材に磁路を設け、この磁路に磁気センサに作用する
磁界を作る第1の磁石および第2の磁石を接続し、磁気
センサの検出面を第1の磁石および第2の磁石の回転軸
方向と平行とすると共に、第1の磁石と第2の磁石の回
転軸方向の位置を互いにずらしたものである。この発明
によれば、第1の磁石(第2の磁石)から第2の磁石
(第1の磁石)への磁界が磁気センサの検出面を斜めに
貫通しながら回転し、この磁界の回転角度変化よりも小
さな角度変化の磁界成分が磁気センサの検出面に平行に
作用する。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施の形態に基づ
き詳細に説明する。 〔実施の形態1(基本原理)〕図1はこの発明の基本原
理を説明する図であり、磁気センサおよび磁石の取り付
け状況を示している。同図において、1は磁気センサ、
5,6は磁石(永久磁石)、9は「コ」の字形のヨーク
であり、ヨーク9の底面(図では上面)9aには軸7が
結合されている。
【0013】磁石5,6はヨーク9の内面に取り付けら
れている。軸7を回転すると、この軸7と一体となって
ヨーク9が回転し、ヨーク9に取り付けられた磁石5,
6も回転する。磁気センサ1は、不図示の保持部材に固
定され、ヨーク9の内部空間の中央にその検出面1aを
縦にして配置されている。すなわち、磁気センサ1は、
その検出面1aを磁石5および6の回転軸方向と平行に
して配置されている。磁石5,6は回転軸方向の位置を
互いにずらして取り付けられている。この例では、磁石
5をヨーク9の下部に、磁石6をヨーク9の上部に取り
付け、磁石5の回転軌道面と磁石6の回転軌道面とを磁
気センサ1の中心を挟んで対向させている。
【0014】磁石5はそのN極を磁気センサ1側とし
て、磁石6はそのS極を磁気センサ1側としてヨーク9
に取り付けられており、ヨーク9を磁路として磁石5の
N極から磁石6のS極へ向かう傾斜角αの磁界Bが磁気
センサ1に作用している。図1の状態において、傾斜角
αの磁界Bは、磁気センサ1の検出面1aに平行にが作
用している。磁気センサ1の構成およびこの磁気センサ
1に付加される回路構成は図13と同じであるのでその
説明は省略する。
【0015】この回転角度検出器において、軸7が回転
すると、磁石5と磁石6とが作る磁界Bも回転する。図
1は軸7の回転角度θが90゜の場合を示している。軸
7の回転角度θが0゜の場合を図2(b)に示す。図2
(b)の状態では、磁界Bそのものではなく、磁界Bの
垂直方向の磁界成分が磁気センサ1の検出面1aに平行
に作用している。図2(b)において、検出面1aに平
行に作用する磁界成分の回転角度θ′は、軸7の回転角
度(磁界Bの回転角度)θと等しい(θ=θ′=0
゜)。
【0016】図2(b)の状態から軸7が右方向(正方
向)に回転すると、これに伴って磁石5および6がヨー
ク9と一体となって回転し、傾斜角αの磁界Bが磁気セ
ンサ1の検出面1aを貫通しながら正方向へ回転する。
これにより、検出面1aに平行に作用する磁界成分も正
方向に回転する。磁界Bの回転角度θが90゜となった
場合を図2(c)に示す。この場合、検出面1aに平行
に作用する磁界成分の回転角度θ′は、θ′=(90−
α)゜となる。
【0017】図2(b)の状態から軸7が左方向(負方
向)に回転すると、これに伴って磁石5および6がヨー
ク9と一体となって回転し、傾斜角αの磁界Bが磁気セ
ンサ1の検出面1aを貫通しながら負方向へ回転する。
これにより、検出面1aに平行に作用する磁界成分も負
方向に回転する。磁界Bの回転角度θが−90゜となっ
た場合を図2(a)に示す。この場合、検出面1aに平
行に作用する磁界成分の回転角度θ′は、θ′=(−9
0+α)゜となる。
【0018】ここで、磁界Bの傾斜角度αをα=60゜
とすると、磁界Bの回転角度θがθ=90゜の場合の検
出面1aに平行に作用する磁界成分の回転角度θ′は、
θ′=90−α=30゜となる。磁界Bの回転角度θが
θ=−90゜の場合の検出面1aに平行に作用する磁界
成分の回転角度θ′はθ′=−90+α=−30゜とな
る。
【0019】この場合、磁界Bの回転角度θの0゜から
90゜の変化に対し、検出面1aに平行に作用する磁界
成分の回転角度θ′は0゜から30゜の変化となり、磁
界Bの回転角度θの0゜から−90゜の変化に対し、検
出面1aに平行に作用する磁界成分の回転角度θ′は0
゜から−30゜の変化となり、磁界Bの回転角度θの変
化よりも小さな角度変化の磁界成分が磁気センサ1の検
出面1aに平行に作用し、回転角度θの測定範囲が拡が
るものとなる。
【0020】本実施の形態において、磁界Bの回転角度
θと検出面1aに平行に作用する磁界成分の回転角度
θ′との関係は、図3より下記(2)式として得られ
る。 θ′=tan-1(sinθ/k) ・・・・(2) すなわち、図3(a)において、回転角度θ′における
検出面1aに平行に作用する磁界成分のX軸方向成分を
x、Y軸方向成分をyとすると、x=B・cosα・s
inθ、y=B・sinαで表され、tanθ′=x/
y=(B・cosα・sinθ)/(B・sinα)=
sinθ/tanαとなる。ここで、tanα=kとす
ると、tanθ′=sinθ/kとなり、θ′=tan
-1(sinθ/k)となる。
【0021】図4にα=60゜とした場合の出力電圧V
(θ)の出力特性(シミュレーション結果)を示す。図
中、実線が本実施の形態においてα=60゜とした場合
のV(θ)の出力特性であり、点線は従来の回転角度検
出器におけるV(θ)の出力特性を示す。同様にして、
図5にα=45゜とした場合、図6にα=75゜とした
場合、図7にα=30゜とした場合の出力電圧V(θ)
の出力特性(シミュレーション結果)を示す。このシミ
ュレーション結果から、0゜<α<45゜では測定範囲
がかえって狭くなるが、45゜<α<90゜では従来よ
りも回転角度θの測定範囲が拡がることが分かる。
【0022】すなわち、従来の回転角度検出器では、θ
=−45゜〜+45゜の範囲を超えるとこの範囲内の値
と同一値のV(θ)が出力されるため、測定範囲がθ=
−45゜〜+45゜に限定される。これに対し、本実施
の形態では、傾斜角αを45゜<α<90゜とした場
合、θ=−90゜〜+90゜の範囲では同一値のV
(θ)が出力されることがなく、測定範囲が従来の90
゜以下から180゜以下(実質的には120゜程度)に
拡がる。
【0023】なお、本実施の形態では、ヨーク9に磁石
5と磁石6を回転軸方向の位置を互いにずらして取り付
けたが、図8に示すような円筒状の磁石10を使用する
ようにしてもい。例えば、等方性焼結フェライト磁石や
ラジアル異方性焼結フェライト磁石を用いると良い。こ
の磁石10は、所要の箇所を部分的に着磁したもので、
下側の一部分10−1にN極を形成し、上側の一部分1
0−2にS極を形成している。9′はヨークである。
【0024】また、本実施の形態では、磁気センサとし
て4つの強磁性体抵抗素子を用いた4素子タイプの磁気
センサ(図9(a)参照)を使用したが、2素子タイプ
の磁気センサ(図9(b)参照)を使用してもよい。ま
た、本実施の形態では、ヨーク9の下側にN極を内側と
して磁石5を、ヨーク9の上側にS極を内側として磁石
6を取り付けたが、磁石5と磁石6との位置を入れ替え
てもよい。また、本実施の形態では、磁気センサ1側を
固定しヨーク9側を回転させるようにしたが、ヨーク9
側を固定し磁気センサ1側を回転させるようにしてもよ
い。
【0025】本実施の形態では、傾斜角αの磁界Bを回
転させ、磁気センサ1の検出面1aに平行な磁界成分の
方向を検出するようにしている。このため、検出面1a
に平行に作用する磁界成分の大きさが変化し、一定とは
ならない。強磁性体抵抗素子は一定以上の強さの磁界に
対しては感度が鈍くて影響を受けない(飽和してしま
う)性質がある。本実施の形態では、この性質を利用
し、検出面1aに平行に作用する磁界成分の大きさが変
化しても影響を受けないように、また外からの磁界成分
でV(θ)が変化しないように、磁界Bとして上記素子
が飽和する磁界よりも十分に強い磁界(例えば、80,
000A/m)を与えるようにしている。
【0026】〔実施の形態2(具体例)〕図10は上述
した基本原理を利用した回転角度検出器の具体例を示す
分解斜視図である。同図において、11はケース、12
は軸受用シリンダ、13はリング、14は回転駆動軸、
15はヨーク、16は蓋である。回転駆動軸14は、図
11に示すように、小突起14aを有し、この小突起1
4aをヨーク15の貫通孔15a内に挿入してその先端
をかしめることで一体化されている。回転駆動軸14の
外周にはリング溝14bが形成されている。
【0027】ヨーク15は磁気飽和しない程度の厚みを
有する鉄板で形成された有底円筒状とされ、その内部空
間15bにネオジム系異方性焼結磁石5,6を着磁して
取り付けた樹脂製の磁石保持部材17が圧入固定されて
いる。磁石保持部材17には切欠17aおよび17bが
形成されており、この切欠17aおよび17bに磁石5
および6がそのN極およびS極を内側(ヨーク15の内
部空間15b側)として取り付けられている。切欠17
aは切欠17bよりも深く形成されている。これによ
り、磁石保持部材17に取り付けられた状態で、磁石
5,6の回転軸方向の位置が互いにずらされる。回転駆
動軸14を回転すると、この回転駆動軸14と一体とな
ってヨーク15が回転し、ヨーク15に取り付けられた
磁石5,6も回転する。
【0028】蓋16には樹脂製の支持部材18にその裏
面側を接着して磁気センサ1が取り付けられている。支
持部材18は蓋16の上面に固定された基板19に接着
されている。すなわち、磁気センサ1は、その検出面1
aを表面とし、この検出面1aを縦にして蓋16に固定
されている。基板19には回路パターン19aが形成さ
れており、蓋16を貫通して4本のリード線20が回路
パターン19aとフラットケーブル19bを介して磁気
センサ1に接続されている。
【0029】図12は組み立てた状態を示す側断面図で
あり、図12(a)は図10におけるS1方向から見た
側断面図、図12(b)は図10におけるS2方向から
見た側断面図である。ケース11内に軸受用シリンダ1
2を挿入のうえリング13を通して回転駆動軸14を挿
入している。回転駆動軸14の先端はケース11の上部
開口11aより突出し、リング溝14bにリング21が
嵌め込まれている。
【0030】回転駆動軸14の下端部はヨーク15と一
体化されている。ヨーク15の内部空間15bには磁石
5,6を取り付けた磁石保持部材17が圧入固定されて
いる。ケース11の底部には磁気センサ1を取り付けた
蓋19が嵌め込まれている。蓋19を嵌め込んだ状態に
おいて、磁気センサ1はヨーク9の内部空間15bの中
央に位置し、その検出面1aが磁石5および6の回転軸
方向と平行にされる。また、ヨーク15を磁路として、
磁石5のN極から磁石6のS極へ向かう傾斜角αの磁界
Bが磁気センサ1に作用する。
【0031】回転駆動軸14が回転すると、この回転駆
動軸14と一体となってヨーク15が回転し、ヨーク1
5に取り付けられた磁石5,6も回転する。これによ
り、磁石5,6が作る傾斜角αの磁界Bが磁気センサ1
の検出面1aを貫通しながら回転し、磁界Bの回転角度
変化よりも小さな角度変化の磁界成分が検出面1aに平
行に作用する。なお、本実施の形態では、鉄製のヨーク
15が磁気センサ1の周囲を取り囲んでいるため、ヨー
ク15が磁気シールドとして働き、ヨーク外部の磁界が
磁気センサ1の検出に影響を及ぼすことがない。
【0032】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、N磁極からS磁極への磁界が磁気センサ
の検出面を斜めに貫通しながら回転し(第1発明)、第
1の磁石(第2の磁石)から第2の磁石(第1の磁石)
への磁界が磁気センサの検出面を斜めに貫通しながら回
転し(第2発明)、この磁界の回転角度変化よりも小さ
な角度変化の磁界成分が磁気センサの検出面に平行に作
用し、従来よりも回転角度θの測定範囲を拡げることが
できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の基本原理を説明するための磁気セン
サおよび磁石の取り付け状況を示す側断面図である。
【図2】 図1に示した回転角度検出器において磁界B
が回転する様子を示す図である。
【図3】 磁界Bの回転角度θと検出面に平行に作用す
る磁界成分の回転角度θ′との関係式を説明する図であ
る。
【図4】 α=60゜とした場合の出力電圧V(θ)の
出力特性(シミュレーション結果)を示す図である。
【図5】 α=45゜とした場合の出力電圧V(θ)の
出力特性(シミュレーション結果)を示す図である。
【図6】 α=75゜とした場合の出力電圧V(θ)の
出力特性(シミュレーション結果)を示す図である。
【図7】 α=30゜とした場合の出力電圧V(θ)の
出力特性(シミュレーション結果)を示す図である。
【図8】 円筒状の磁石を使用するようにした例を示す
側断面図である。
【図9】 4素子タイプの磁気センサおよび2素子タイ
プの磁気センサを示す図である。
【図10】 図1に示した基本原理を利用した回転角度
検出器の具体例を示す分解斜視図である。
【図11】 この回転角度検出器に用いる回転駆動軸へ
のヨークや磁石の取り付け状況を示す分解斜視図であ
る。
【図12】 この回転角度検出器を組み立てた状態を示
す側断面図である。
【図13】 強磁性体磁気抵抗素子を利用した回転角度
検出器の回路構成を示す図である。
【図14】 従来の回転角度検出器における磁気センサ
の取り付け状況を示す概略図である。
【図15】 この回転角度検出器の磁気センサの検出面
に平行に磁界Bが作用する状況を示す図である。
【図16】 この回転角度検出器における出力電圧V
(θ)の出力特性を示す図である。
【符号の説明】
1…磁気センサ、1−1〜1−4…強磁性体磁気抵抗素
子、1a…検出面、5,6…磁石(永久磁石)、7…
軸、9,9′…ヨーク、10…円筒状の磁石、10−1
…N極が形成された一部分、10−2…S極が形成され
た一部分。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検出面に平行な磁界成分の方向に応じて
    その抵抗値が変化する磁気抵抗効果型の磁気センサと、
    この磁気センサを挾んで対向する一方側および他方側に
    前記磁気センサに対し相対的に回転可能に設けられ、前
    記磁気センサに作用する磁界を作るN磁極およびS磁極
    とを備えた回転角度検出器において、 前記磁気センサの検出面が前記N磁極およびS磁極の回
    転軸方向と平行とされ、前記N磁極の回転軌道面と前記
    S磁極の回転軌道面とが前記磁気センサの中心を挟んで
    対向していることを特徴とする回転角度検出器。
  2. 【請求項2】 相対的に回転可能に設けられた第1およ
    び第2の部材と、前記第1の部材に設けられ検出面に平
    行な磁界成分の方向に応じてその抵抗値が変化する磁気
    抵抗効果型の磁気センサと、前記第2の部材に設けられ
    た磁路と、この磁路に接続され前記磁気センサに作用す
    る磁界を作る第1の磁石および第2の磁石とを備えた回
    転角度検出器において、 前記磁気センサの検出面が前記第1の磁石および第2の
    磁石の回転軸方向と平行とされ、前記第1の磁石と前記
    第2の磁石の回転軸方向の位置が互いにずれていること
    を特徴とする回転角度検出器。
JP2000134445A 2000-05-08 2000-05-08 回転角度検出器 Pending JP2001317910A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000134445A JP2001317910A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 回転角度検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000134445A JP2001317910A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 回転角度検出器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001317910A true JP2001317910A (ja) 2001-11-16

Family

ID=18642722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000134445A Pending JP2001317910A (ja) 2000-05-08 2000-05-08 回転角度検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001317910A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108981757A (zh) * 2017-05-30 2018-12-11 英飞凌科技股份有限公司 磁性多媒体控制元件
CN113167601A (zh) * 2018-12-14 2021-07-23 松下知识产权经营株式会社 磁传感器单元

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108981757A (zh) * 2017-05-30 2018-12-11 英飞凌科技股份有限公司 磁性多媒体控制元件
CN113167601A (zh) * 2018-12-14 2021-07-23 松下知识产权经营株式会社 磁传感器单元

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4936299B2 (ja) 磁場方向検出センサ
US8519700B2 (en) Magnetic angular position sensor including an isotropic magnet
JP2004028809A (ja) アクチュエータ
JP2010160037A (ja) 回転角検出器
JP2001304805A (ja) 回転角度検出装置
JP5202343B2 (ja) 回転角検出器
JP2000035344A (ja) 回転検出センサ及び回転検出センサ用回転板
JP3637217B2 (ja) 小型回転角度センサ
JP2006242915A (ja) ポテンショメータ
JP2001317910A (ja) 回転角度検出器
JP2000321014A (ja) 回転検出センサ
JP2002005613A (ja) 回転角検知センサ
JP4618424B2 (ja) 傾斜センサ
JPH11118517A (ja) 回転体用センサ
JPH07190803A (ja) 磁気的角度センサ
JP2003004479A (ja) 非接触型位置センサ
JP3061225B2 (ja) 磁電変換型回転角センサ
JP2003194580A (ja) 回転角度センサ
JPH01186151A (ja) 無刷子電動機
JP2007010581A (ja) 非接触型ポテンショメータ
JP2001050773A (ja) 回転検出センサ
JP2003004412A (ja) 回転角度検出装置
JP2000346611A (ja) 回転検出センサ
JPH04271252A (ja) 検出装置
JPH0914908A (ja) 磁気式角度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040423

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20040518

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20050111

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02