JP2001300975A

JP2001300975A - 樹脂封止装置

Info

Publication number: JP2001300975A
Application number: JP2000121017A
Authority: JP
Inventors: Junji Hirano; 淳二平野; Tomio Katsuie; 富男勝家
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2000-04-21
Filing date: 2000-04-21
Publication date: 2001-10-30
Anticipated expiration: 2020-04-21
Also published as: JP4327985B2

Abstract

(57)【要約】【課題】装置の多機能化、設計の自由度を向上させて
容易に拡張したり改変したりできる樹脂封止装置を提供
する。【解決手段】ローダー１４及びアンローダー１５が移
動可能な移動レール部２８と台座部２９とを備えた増設
レールユニットＣが、被成形品供給ユニットＡと成形品
収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続する
ように挿脱可能に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する利用分野】本発明は被成形品供給ユニッ
トより被成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレ
ス部より成形品を成形品収納ユニットへ取り出すアンロ
ーダーとが移動レール部を共用して移動することにより
樹脂封止する樹脂封止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置として用いられる樹脂封
止装置の構成について、図６及び図７を参照して説明す
る。図６において、樹脂封止装置は、モールド金型５１
を備えたプレス部５２を中心にしてその周囲に供給マガ
ジン５３に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被
成形品を供給テーブル５４へ供給する被成形品供給部５
５、樹脂タブレットを貯蔵する保管部５６、樹脂タブレ
ットを整列供給するボールフィーダ５７及びリニアフィ
ーダ５８、及び樹脂タブレットを装填されて供給テーブ
ル５４へ供給するタブレットホルダー５９を備えた樹脂
タブレット供給部６０、モールド金型５１より取り出さ
れた成形品をゲートブレイクして不要樹脂を分離するデ
ィゲート部６１、不要樹脂を分離した成形品を収納する
収納マガジン６２を備えた成形品収納部６３、装置全体
の動作を制御する制御部６４などが設けられている。

【０００３】被成形品及び樹脂タブレットは供給テーブ
ル５４へ供給されると、ローダー６５に保持されて型開
きしたモールド金型５１へ搬入される。また、成形品は
モールド金型５１より離型されるとアンローダー６６に
保持され、アンローダ６６は金型面をクリーニングしな
がら成形品をディゲート部６１へ搬出する。アンローダ
ー６６は、ディゲート部６１において基板の反りを防止
するため成形品を押さえたまま保持し、成形品にエアー
が吹き付けられて冷却される。そして、基板がツイスト
されて成形品と不要樹脂とが分離され、アンローダー６
６は成形品のみをディゲート部６１に受け渡してから次
の成形品を取り出すため移動する。上記ローダー６５及
びアンローダー６６は、プレス部５２の上方に架設され
たガイドレール６７を共用して移動するようになってお
り、ローダー６５は供給テーブル５４とモールド金型５
１との間、アンローダー６６はモールド金型５１とディ
ゲート部６１との間を各々往復移動するようになってい
る（特開平３−２８６８１７号参照）。

【０００４】次に、図７に示す樹脂封止装置は、成形品
の数を増減したり、多品種少量生産にも対応できるよ
う、モールド金型７０ａ〜７０ｄを各々含むプレス機能
のみを有するプレスユニット７１ａ〜７１ｄを基本ユニ
ット７２のプレス着脱部７３に対して分離可能に設けた
ものである。基本ユニット７２には、供給マガジン７４
に収納したリードフレーム、樹脂基板などの被成形品を
ターンテーブル７５へ供給する被成形品供給部７６、樹
脂タブレットを収納するタブレットカセット７７からタ
ブレットホルダー７８へ樹脂タブレットを装填して供給
する樹脂タブレット供給部７９、プレスユニット７１ａ
〜７１ｄより取り出された成形品を成形品ピップアップ
８０により保持してゲートブレイクして不要樹脂を分離
するディゲート部８１、不要樹脂を分離した成形品を収
納する収納マガジン８２を備えた成形品収納部８３を備
えている。

【０００５】被成形品及び樹脂タブレットはローダーユ
ニット８４に備えたローダー８５に保持されて型開きし
たモールド金型７０ａ〜７０ｄへ搬入される。また、成
形品はモールド金型７０ａ〜７０ｄより離型されると、
ローダーユニット８４に備えたアンローダー８６に保持
され、該アンローダー８６は金型面をクリーニングしな
がら成形品をディゲート部８１へ搬出する。上記ローダ
ーユニット８４に備えたローダー８５及びアンローダー
８６は上下に重なるように設けられており、基本ユニッ
ト７２に設けられたガイドレール８７を平面上位置で共
用して各々独自に移動するようになっている。

【０００６】ローダー８５は、待機位置Ｘにおいて旋回
して向きを変えてターンテーブル７５より被成形品を保
持し、タブレットホルダー７８より樹脂タブレットを各
々保持する。そして、ローダー８５は、搬入先のプレス
ユニット７１ａ〜７１ｄへ向きを合わせて旋回した後、
ガイドレール８７に沿って搬送位置Ｙ又はＺへ移動して
所要のプレスユニットへ被成形品及び樹脂タブレットを
搬入する。また、アンローダー８６は、搬送位置Ｂ又は
Ｃに待機しており、成形動作が終了したプレスユニット
７１ａ〜７１ｄの型開きしたモールド金型７０ａ〜７０
ｄより離型された成形品を保持して取り出し、ガイドレ
ール８７に沿って待機位置Ｘに移動してから必要に応じ
てディゲート部８１へ向きを合わせるべく旋回して移載
する。各プレスユニット７１ａ〜７１ｄにおいて、アン
ローダ８６が型開きしたモールド金型７０ａ〜７０ｄへ
進入して成形品を取り出すのと入れ替わりにローダー８
５が次の被成形品及び樹脂タブレットを当該モールド金
型へ搬入するようになっている（特開平１０−５８４５
７号参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】近年、実装基板の微細
配線化、高集積化に伴い、半導体パッケージも小型化し
て高密度実装化しており、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ・Ｆｌａｔ
・Ｎｏｎ−ｌｅａｄｅｄ）タイプのパッケージ、ＢＧＡ
（ボールグリッドアレイ）タイプのパッケージ、ＣＳＰ
（チップサイズパッケージ）などが実用化されている。
例えば、ＱＦＮのようにインナーリードの一部をパッケ
ージから露出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチ
ップ実装タイプの半導体パッケージにおいては、接続端
子（バンプ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹
脂封止したい、或いは複数の半導体チップを一括して樹
脂封止したいという要請がある。この場合、モールド金
型にリリースフィルムを張設して樹脂封止するのが好ま
しい場合があった。また、製品によっては、半導体パッ
ケージの熱放散性を高めるため、放熱板（ヒートシンク
をチップと共に樹脂封止したいと言う要請もある。ま
た、キャビティダウンタイプのパッケージのように、キ
ャビティ周囲の基板面に端子接続面が形成されている場
合には基板上に樹脂路を形成できないため、上下金型の
間に中間金型プレート（中間型）を挿脱して樹脂封止し
たいと言う要請もあった。

【０００８】しかしながら、図６に示す樹脂封止装置
は、モールド金型５１を有するプレス部５２の周囲にロ
ーダー６５及びアンローダ６６、被成形品供給部５５、
樹脂タブレット供給部６０、ディゲート部６１、成形品
収納部６３などに囲まれているため、様々なニーズに応
えて樹脂封止装置の多機能化を図るためには、設置スペ
ースや作業スペースに乏しく装置を改変するのが困難で
あった。特にモールド金型５１の上方を通過してローダ
ー６５及びアンローダ６６が共用して移動するガイドレ
ール６７が設けられているため、これを回避して他の機
能部を設けるのは困難である。

【０００９】また、図７に示す樹脂封止装置は、複数プ
レスを有しているため、特に基本ユニット７２、ガイド
レール８７、プレスユニット７１ｃ、７１ｄに囲まれた
プレスユニット７１ａ、７１ｂは装置の多機能化を図る
ためには上記図６と同様に、装置を改変するのが困難で
ある。

【００１０】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、装置の多機能化、設計の自由度を向上させて容易
に拡張したり改変することができる樹脂封止装置を提供
することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。即ち、被成形品供給ユ
ニットより被成形品をプレス部に搬入するローダーと、
プレス部より成形品を成形品収納ユニットへ取り出すア
ンローダーとが移動レール部を共用して移動することに
より樹脂封止する樹脂封止装置において、ローダー及び
アンローダーが移動可能な移動レール部と台座部とを備
えた増設レールユニットが、被成形品供給ユニットと成
形品収納ユニットとの間に移動レール部どうしが連続す
るように挿脱可能であることを特徴とする。また、被成
形品供給ユニット及び成形品収納ユニットには、移動レ
ール部及び台座部が各々設けられていることを特徴とす
る。また、増設レールユニットの移動レール部には、ア
ンローダーの吸引ダクトに接続可能な吸引ダクトが併設
されており、該吸引ダクトは前記被成形品供給ユニット
及び成形品収納ユニットに各々設けられた吸引ダクトに
連通可能に設けられていることを特徴とする。また、台
座部は、移動レール部を支持するレール台座部と機能部
を支持するベース台座部とからなることを特徴とする。

【００１２】また、被成形品供給ユニット、成形品収納
ユニット及び増設レールユニットのうちいずれか又は全
てに、生産性を向上させたり、多品種少量生産に対応す
るためプレス部が設けられていても良い。また、被成形
品供給ユニット、成形品収納ユニット及び増設レールユ
ニットのうちいずれかに、プレス部の金型面に移動レー
ル部と略平行にリリースフィルムを張設するフィルムユ
ニットのフィルム供給部及び／又はフィルム巻取り部が
設けられていても良い。また、異なる製品に対応して多
機能化するため、被成形品供給ユニット、成形品収納ユ
ニット及び増設レールユニットのうちいずれかに、プレ
ス部に封止樹脂を供給する樹脂供給部が設けられていて
も良く、或いはプレス部の上型と下型との間に中間型を
挿脱する中間型供給部が設けられていても良く、更には
プレス部に放熱板を供給する放熱板供給部が設けられて
いても良い。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について添付図面と共に詳述する。樹脂封止装置は、被
成形品をプレス部に搬入するローダーと、プレス部より
成形品を成形品取出部へ取り出すアンローダーとが移動
レール部を共用して樹脂封止するように構成されてい
る。［第１実施例］本実施例は、増設レールユニットにプレ
ス部を搭載して増設した態様を示す。図１（ａ）（ｂ）
は樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平面図及び増設
レールユニットの平面図、図２（ａ）（ｂ）は図１
（ａ）の樹脂封止装置の右側面図及び移動レール部の拡
大説明図である。

【００１４】図１（ａ）において、先ず樹脂封止装置の
概略構成について説明する。樹脂封止装置は被成形品供
給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レー
ルユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユ
ニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニッ
トＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、
台座部には各種機能部を備えることが可能である。各種
機能部として、供給部、整列部、受渡部、取出部、ディ
ゲート部、収納部、プレス部、フィルムユニット等が適
宜設置されている。以下、各ユニットの構成について説
明する。

【００１５】［被成形品供給ユニットＡ］図１（ａ）に
おいて、１は基板供給部であり、供給マガジン２に収納
したリードフレーム、樹脂基板などの基板を整列部であ
るターンテーブル３へ向きを揃えて供給し、該ターンテ
ーブル３から受渡部である供給位置４まで図示しない送
り出し機構により送り出される。供給位置４には、基板
の加熱手段を設けても良い。５は樹脂タブレット供給部
であり、樹脂タブレットを送り出すリニアフィーダ（図
示せず）から樹脂タブレットをタブレットホルダー６へ
装填し、該タブレットホルダー６を供給位置まで移動し
て供給する。

【００１６】７はプレス部であり、モールド金型８及び
該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機構
及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しなが
ら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが装
備されている。プレス部７は、供給側台座部９に設けら
れており、モールド金型８にリリースフィルム１０を張
設するフィルムユニットＦが取付け可能になっている。
尚、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣに
プレス部を備えた場合にも、フィルムユニットＦを同様
に取付可能になっている（図示せず）。

【００１７】フィルムユニットＦは、プレス部７の両側
にフィルム供給部１１及びフィルム巻取り部１２を備え
ており、リリースフィルム１０は移動レール部と直交す
る方向に張設されている。リリースフィルム１０は、Ｑ
ＦＮのようにインナーリードの一部をパッケージから露
出させたり、ＢＧＡタイプ或いはフリップチップ実装タ
イプの半導体パッケージにおいては、接続端子（バン
プ、はんだボールなど）の端部を露出させて樹脂封止す
る場合などに好適に用いられる。リリースフィルム１０
は、モールド金型８の加熱温度に耐えられる耐熱性を有
するもので、金型面より容易に剥離するものであって、
柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦ
Ｅ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロ
ス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用
いられる。リリースフィルム１０は、モールド金型８の
パーティング面に形成された吸着穴よりエアーを吸引す
ることで、金型面に密着して張設される。尚、プレス部
７は、必ずしも具備されているものではなく、該プレス
部７の代わりに必要に応じて供給側台座部９に他の機能
部を搭載しても良い。被成形品供給ユニットＡの台座幅
を狭くしてプレス部７を省略しても良い。また、インラ
インのように外部から被成形品が供給される場合には、
被成形品供給ユニットＡに設けられた供給部、整列部等
は省略しても良い。

【００１８】１３は供給側移動レール部であり、供給位
置４で基板を受け取って保持し、タブレットホルダー６
より樹脂タブレットを受け取って保持するローダー１４
やプレス部７などから成形品を取出すアンローダー１５
が共用して移動可能になっている。ローダー１４及びア
ンローダー１５は、供給側移動レール部１３を含む移動
レール部を所要位置へ移動してプレス部７含む所要のプ
レス部に一方向から進退移動するようになっている。供
給側移動レール部１３は、他のユニットとのレールどう
しの接続性や拡張性を考慮して一方側端（図１（ａ）の
右側）に延出部１３ａが設けられ、他方側端（図１
（ａ）の左側）にレールの長さを短く形成して生じた空
隙部１３ｂが設けられている。

【００１９】１６はアンローダー１５の吸引ダクトに接
続可能な供給側吸引ダクトであり、供給側移動レール部
１３に併設されている。供給側吸引ダクト１６の一端は
集塵機１７に連結しており、他端にはダクト連結部１６
ａが設けられている。ダクト連結部１６ａには増設レー
ルユニットＣの吸引ダクト３０が連結可能になってい
る。アンローダー１５は、プレス部７より成形品を取り
出す際に、アンローダー側吸引ダクトが供給側吸引ダク
ト１６のダクト連結部１６ａに形成された連結孔（図示
せず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移
動する際に上下金型面をクリーニングしながら吸引動作
を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機１７へ集塵するよう
になっている。

【００２０】[成形品収納ユニットＢ]図１（ａ）におい
て、１８は成形品取出部であり、いずれかのプレス部よ
りアンローダー１５により取出された成形品を下方に待
機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンロー
ダ１５は、成形品を移動テーブル１９へ受け渡すと次の
成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は成
形品を載置してディゲート部２０へ搬送する。ディゲー
ト部２０は、移動テーブル１９へ載置されて搬送された
成形品を押えて冷却すると共に基板をツイストすること
によりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂
は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テ
ーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ
搬送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１
９に搬送された成形品を成形品ピックアップ２２により
一端保持する。そして、移動テーブル１９が成形品取出
部１８へ向かって移動すると、下方に設けられた収納マ
ガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて収納す
る。

【００２１】２４はプレス部であり、モールド金型８及
び該モールド金型８を型締め型開きする公知の型開閉機
構及びモールド金型８のキャビティに樹脂圧を印加しな
がら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構などが
装備されている。プレス部２４は、収納側台座部２５に
設けられており、フィルムユニットＦなどを設けること
も可能である。尚、プレス部２４は、必ずしも具備され
ているものではなく、該プレス部２４の代わりに必要に
応じて収納側台座部２５に他の機能部を搭載しても良
い。また、成形品収納ユニットＢの台座幅を狭くしてプ
レス部２４を省略しても良い。また、インラインのよう
に外部へ成形品が搬出される場合には、成形品収納ユニ
ットＢに設けられたディゲート部、収納部等は省略して
も良い。

【００２２】２６は収納側移動レール部であり、プレス
部２４へ被成形品及び樹脂タブレットを搬入するローダ
ー１４やプレス部２４などから成形品を取出すアンロー
ダー１５が共用して移動可能になっている。収納側移動
レール部２６は、他のユニットとのレールどうしの接続
性や拡張性を考慮して一方側端（図１（ａ）の右側）に
延出部２６ａが設けられ、他方側端（図１（ａ）の左
側）にレールの長さを短く形成して生じた空隙部２６ｂ
が設けられている。

【００２３】２７は収納側吸引ダクトであり、収納側移
動レール部２６に併設されている。収納側吸引ダクト２
７の一端は、後述する増設レールユニットＣの吸引ダク
ト３０に設けられたダクト連結部３０ａに連結してお
り、他端にはダクト連結部２７ａが設けられている。ア
ンローダー１５は、プレス部２４より成形品を取り出す
際に、アンローダー側吸引ダクトが収納側吸引ダクト２
７のダクト連結部２７ａに形成された連結孔（図示せ
ず）に連結して、型開きしたモールド金型８に進退移動
する際に金型面をクリーニングしながら吸引動作を行
い、樹脂かすなどの塵を被成形品供給ユニットＡに設け
られた集塵機１７へ集塵するようになっている。

【００２４】[増設レールユニットＣ]増設レールユニッ
トＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニット
Ｂとの間に挿脱可能に設けられている。２８は増設側移
動レール部であり、被成形品供給ユニットＡと成形品収
納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを増設した
際にローダー１４及びアンローダー１５が共用して移動
可能になっている。この増設側移動レール部２８は、供
給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間
を連結してローダー１４及びアンローダー１５が移動可
能になっている（図１（ａ）参照）。増設側移動レール
部２８は、他の増設レールユニットＣや被成形品供給ユ
ニットＡ、成形品収納ユニットＢとの接続用に一方側端
（図１（ｂ）の右側）に延出部２８ａが設けられ、他方
側端（図１（ｂ）の左側）にレールの長さを短く形成し
て生じた空隙部２８ｂが設けられている。

【００２５】２９は増設側台座部であり、増設側移動レ
ール部２８を支持すると共にプレス部３１やフィルムユ
ニットＦなどの様々な機能を有する機能部を搭載可能に
なっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユ
ニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部
どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２
９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側
台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々
ボルト締めして連結されている。尚、増設レールユニッ
トＣごと他の増設レールユニットＣに変更することは可
能であるが、各種機能部の大きさを考慮しておけば、該
機能部だけの交換も可能である。

【００２６】また、増設側移動レール部２８には増設側
吸引ダクト３０が併設されており、一端側にはアンロー
ダー１５のアンローダー側吸引ダクトに接続可能なダク
ト連結部３０ａが設けられている。増設側吸引ダクト３
０は、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢ
との間に増設レールユニットＣを増設した際に、供給側
移動レール部１３及び収納側移動レール部２６に各々設
けられた供給側吸引ダクト１６及び収納側吸引ダクト２
７間にダクト連結部１６ａ及びダクト連結部３０ａを介
して各々連結して集塵機１７へ連通するようになってい
る（図１（ａ）参照）。

【００２７】本実施例では、図１（ａ）に示すように、
プレス部３１を搭載した増設レールユニットＣを被成形
品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に２台
分増設している。増設レールユニットＣと被成形品供給
ユニットＡとは、増設側移動レール部２８と供給側移動
レール部１３とが、空隙部２８ｂに延出部１３ａが嵌め
込まれて連結しており、供給側吸引ダクト１６のダクト
連結部１６ａに増設側吸引ダクト３０の一端が連結して
いる。また、増設レールユニットＣと成形品収納ユニッ
トＢとは、延出部２８ａが空隙部２６ｂに嵌め込まれて
連結しており、増設側吸引ダクト３０のダクト連結部３
０ａに収納側吸引ダクト２７の一端が連結している。ま
た、増設レールユニットＣどうしは、一方（図１（ａ）
の左側）の延出部２８ａが他方の空隙部２８ｂに嵌め込
まれて連結しており、一方のダクト連結部３０ａに他方
の増設側吸引ダクト３０の一端が連結している。

【００２８】ここで、プレス部３１を搭載した増設レー
ルユニットＣの構成について図２（ａ）（ｂ）を参照し
て説明する。増設側台座部２９は、レール台座部２９ａ
とベース台座部２９ｂとを備えており、ベース台座部２
９ｂには、プレス部３１が搭載されている。レール台座
部２９ａとベース台座部２９ｂとは一体に形成されてい
ても或いは分離可能に構成されていても良い。分離可能
にした場合には、機能部の大きさによってはベース台座
部２９ｂの長さＬを変更すればよいという利点がある。
尚、ここでは、長さＬは機能部であるフィルムユニット
Ｆの大きさに合わせて設定されている。

【００２９】レール台座部２９ａには、増設側移動レー
ル部２８が搭載されている。増設側移動レール部２８に
は、レール支持部３２の上にレールブロック３３が固定
されている。レールブロック３３の幅方向（図２（ｂ）
の左右方向）両側には、Ｌ字状に切欠かれたアングル部
３３ａが設けられており、該アングル部３３ａには移動
レール３４が位置決め固定されている。また、レール支
持部３２には、ダクト保持部３２ａが設けられており、
増設側吸引ダクト３０が移動レール３４に沿って保持さ
れている。移動レール３４の高さ位置Ｈは、ローダー１
４（図２（ｂ）参照）及びアンローダー１５（図２
（ａ）参照）に備えた進退機構１４ａ、１５ａのモール
ド金型８への進退位置に合わせて設けられており、レー
ル台座２９ａ上にスペーサーなどを介在させてレール支
持部３２の高さを調節できるようになっている。また、
レール台座部２９ａには、ベース台座部２９ｂに搭載さ
れる機能部の制御ユニット（本実施例ではプレス部及び
フィルムユニットの制御ユニット）３５が設けられてい
る。尚、被成形品供給ユニットＡ、成形品供給ユニット
Ｂの台座部も、レール台座部とベース台座部を有してい
ても良い。

【００３０】ローダー１４及びアンローダー１５は、被
成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設
レールユニットＣのいずれかのレール支持部３２に設け
られた駆動軸３９、４０に回転駆動される駆動側プーリ
と従動側プーリとの間に掛け渡されたタイミングベルト
に、ベルト連結片１４ｃ、１５ｃにより各々連繋してい
る。ローダー１４及びアンローダー１５は、図示しない
駆動源により各駆動軸３９、４０を所定方向に回転駆動
させることにより移動レール３４上を各ユニット間にわ
たって移動するようになっている。ローダー１４及びア
ンローダー１５の下面には、移動レール３４をスライド
するスライドガイド１４ｄ、１５ｄが設けられている。
また、ローダー１４及びアンローダー１５に具備した進
退機構１４ａ、１５ａはガイドローラ１４ｂ、１５ｂを
備えており、各プレス部のプレスポストに設けられた進
入ガイド４１の凹溝にガイドローラ１４ｂ、１５ｂが案
内されて進退機構１４ａ、１５ａが進退移動するように
なっている（図２（ａ）参照）。ガイドローラ１４ｂ、
１５ｂ及び進入ガイド４１は、プレス部に対して各種機
能部が進退方向と直交方向（図２の紙面に垂直方向）に
進退移動する場合に備えて上下に移動調整可能になって
いる。

【００３１】また、ベース台座部２９ｂには、プレス部
３１が搭載されている。プレス部３１には、モールド金
型８を開閉する公知の型開閉機構や、キャビティへ封止
樹脂に樹脂圧を加えながら送り出す公知のトランスファ
機構などが装備されている。尚、図２（ａ）では、被成
形品供給ユニットＡのプレス部７に設けられたフィルム
ユニットＦを２点鎖線で示す。モールド金型（上型）８
の両側には、リリースフィルムのフィルム供給部１１は
装置奥側（移動レール部側）に設けられており、フィル
ム巻取り部１２は装置手前側に設けられている。フィル
ム供給部１１及びフィルム巻取り部１２は、フィルムカ
バー１１ａ、１２ａを回動させて、フィルムロールを各
々着脱できるようになっている。

【００３２】また、フィルムユニットＦは、上型のみな
らず下型の両側に設けても良い。この場合、例えば装置
奥側に設けられたフィルム供給部１１はフィルムロール
装着（又は交換）する場合の作業スペースに乏しいた
め、モールド金型８が型開きした状態でフィルム供給部
１１を上下に移動可能にして移動レール部側の空いたス
ペースからフィルムカバー１１ａを回動させてフィルム
ロールを着脱するようにしても良い。

【００３３】上記構成によれば、増設レールユニットＣ
を被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの
間に移動レール部どうしが連続するように挿脱可能に設
けたので、更に各ユニットの台座は搭載される（或いは
搭載を予定する）機能部により大きさを設定すれば良
く、各種機能部の追加変更が行い易くなり、よって樹脂
封止装置を拡張又は改変して多機能化を容易に実現で
き、設計の自由度を高めることができる。また、ローダ
ー１４及びアンローダー１５が共用する増設側移動レー
ル部２８には、アンローダー１５の吸引ダクトに接続可
能な増設側吸引ダクト３０が併設されているので、増設
レールユニットＣの増設作業も容易に行える。また、被
成形品供給ユニットＡ及び成形品収納ユニットＢにプレ
ス部７、２４を有する場合には、ユニット分割が最小限
で済み、該ユニットＡ、Ｂどうしを連結して樹脂封止装
置の組立を容易に行える。また、被成形品供給ユニット
Ａ及び成形品収納ユニットＢのプレス部７、２４は変
更、取り外しすることで多機能化（作業スペースの形成
を含む）できる。また、増設側台座部２９は、増設側移
動レール部２８を支持するレール台座部２９ａに機能部
を搭載可能なベース台座部２９ｂが分離可能に設けられ
ている場合には、機能部に応じて大きさを任意に設定で
き、装置の拡張性が増加する。また、増設レールユニッ
トＣのベース台座部２９ｂにプレス部３１が搭載されて
いる場合には、生産性を向上させたり、多品種少量生産
に対応するための装置の改変を容易にできる。また、プ
レス部が装置全体で複数搭載されている場合には、任意
のプレス部を除冷装置として機能させることもできる。
現在複数チップを一括して片面モールドしてダイサーで
個片化する製法が採用されてきているが、パッケージ部
（成形部）が片面であり成形面積が大きいため、経時的
にパッケージ部が収縮して反り易く、単にパッケージ部
を押さえるだけでは反りがとれずダイサーで切断し難く
なる。そこで、任意のプレス部に平坦面を有する除冷用
モールド金型を設置して、温度を適宜設定してパッケー
ジ部をクランプして除冷することで反りを解消できる。
また、プレス部の代わりに専用の除冷機能部を設けても
良い。

【００３４】［第２実施例］次に、図３を参照して樹脂
封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同
一部材には同一番号を付して説明を援用する。本実施例
では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢ
との間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニット
Ｃ₁が２台増設され、増設レールユニットＣ₁間に機能部
を搭載していない増設レールユニットＣ₂を１台増設し
てスペースを形成している。また、被成形品供給ユニッ
トＡ及び成形品収納ユニットＢには、プレス部７やプレ
ス部２４は取り外されてスペースを形成している。増設
レールユニットＣ₁と被成形品供給ユニットＡ及び成形
品収納ユニットＢ間及び増設レールユニットＣ₁と増設
レールユニットＣ₂間の移動レール部どうしの接続構成
や吸引ダクトどうしの接続構成は第１実施例と同様であ
る。

【００３５】被成形品供給ユニットＡの供給側台座部
９、成形品収納ユニットＢの収納側台座部２５及び増設
レールユニットＣ₂のベース台座部２９ｂの空いたスペ
ースを利用して各プレス部３１の両側にフィルムユニッ
トＦａ、Ｆｂを配設し、リリースフィルムを移動レール
部と略平行に走らせるように設けた。具体的には、供給
側台座部９にフィルム供給部１１が設けられ、増設レー
ルユニットＣ₂のベース台座部２９ｂにはフィルム巻取
り部１２及びフィルム供給部１１が設けられ、収納側台
座部２５には、フィルム巻取り部１２が各々設けられて
いる。フィルムユニットＦａ、Ｆｂに用いられるリリー
スフィルム１０は同一厚さサイズのものを用いても良い
が、製品によって異なる厚さサイズのフィルムを装着し
ても良い。

【００３６】上記構成によれば、フィルムユニットＦ
ａ、Ｆｂをリリースフィルム１０が移動レール部と直交
する方向に張設して設ける場合より、繰出し側及び巻取
り側のフィルムロールの着脱作業スペースが確保できる
ので、各種厚さのフィルムを交換する場合の作業性が良
い。

【００３７】［第３実施例］次に、図４を参照して樹脂
封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同
一部材には同一番号を付して説明を援用する。本実施例
では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢ
との間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニット
Ｃを１台と、ラッピングタブレットや液状樹脂などを供
給する増設側樹脂供給部３６を搭載した増設レールユニ
ットＤを１台増設している。被成形品供給ユニットＡに
は本体側樹脂供給部３７が供給側台座部９に搭載されて
いる。成形品収納ユニットＢにはプレス部２４が収納側
台座部２５に搭載されている。

【００３８】また、被成形品供給ユニットＡには、供給
マガジン２を収容した被成形品供給部１が設けられてい
ても良いが、代わりに前工程の基板製造工程から直接タ
ーンテーブル３へ供給されるようにしても良い。また、
成形品収納ユニットＢの成形品収納部２１には、成形品
ピックアップ２２及び収納マガジン２３が設けられてい
てもよいが、代わりに後工程の切断、曲げ、個片化工程
等の他の製造工程へ供給されるようにしても良い。これ
らの場合には、樹脂封止装置のインライン化が実現でき
る。また、増設レールユニットＣと被成形品供給ユニッ
トＡ間、増設レールユニットＤと成形品収納ユニットＢ
間及び増設レールユニットＣと増設レールユニットＤ間
の移動レール部どうしの接続構成や吸引ダクト間の接続
構成は第１実施例と同様である。

【００３９】本実施例では、プレス部３１やプレス部２
４に対して、本体側樹脂供給部３７又は増設側樹脂供給
部３６よりラッピングタブレットや液状樹脂などをロー
ダー１４により供給して樹脂封止するようにしても良い
し、該本体側樹脂供給部３７よりプレス部３１へ、増設
側樹脂供給部３６よりプレス部２４へ各々供給して樹脂
封止するようにしても良い。

【００４０】また、キャビティダウンタイプのパッケー
ジのように、キャビティ周囲の基板上に端子接続面が形
成されている場合には、基板上に樹脂路を形成できない
ため、上下金型の間に中間金型プレート（中間型）を挿
脱して樹脂封止するのが好都合である。そこで、本体側
樹脂供給部３７又は増設側樹脂供給部３６の代わりに、
プレス部の上型と下型との間に中間型を挿脱する本体側
中間型供給部及び増設側中間型供給部が各々搭載されて
いても良い。この場合には、本体側中間型供給部よりプ
レス部３１へ、増設側中間型供給部よりプレス部２４へ
各々中間型を供給するのが好ましい。

【００４１】上記構成によれば、製品の種類に応じて液
状樹脂やラッピングタブレットなどを供給して樹脂封止
したり、モールド金型８に中間型を挿脱して樹脂封止で
きるので、樹脂封止装置の多機能化を任意の設計レイア
ウトで容易に実現できる。

【００４２】［第４実施例］次に、図５を参照して樹脂
封止装置の他例について説明する。尚、第１実施例と同
一部材には同一番号を付して説明を援用する。本実施例
では、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢ
との間に、プレス部３１を搭載した増設レールユニット
Ｃを２台と、その両側に各プレス部に放熱板を供給する
増設側放熱板供給部３８を搭載した増設レールユニット
Ｅを１台ずつ合計２台増設している。被成形品供給ユニ
ットＡにはプレス部７が供給側台座部９に搭載されてい
る。成形品収納ユニットＢにはプレス部２４が収納側台
座部２５に搭載されている。また、増設レールユニット
Ｃどうし間、増設レールユニットＣと増設レールユニッ
トＥ間、増設レールユニットＥと被成形品供給ユニット
Ａ間、及び増設レールユニットＥと成形品収納ユニット
Ｂ間の移動レール部どうしの接続構成や吸引ダクト間の
接続構成は第１実施例と同様である。

【００４３】半導体パッケージの熱放散性を高めるた
め、放熱板（ヒートシンクを基板実装された半導体チッ
プに搭載して樹脂封止する場合、プレス部７、プレス部
２４やプレス部３１に対して、増設側放熱板供給部３８
より放熱板をローダー１４により供給して樹脂封止する
ようにしても良い。或いは増設側放熱板供給部３８より
両側に配置された各プレス部へ各々放熱板を供給して樹
脂封止するようにしても良い。

【００４４】上記構成によれば、通常の半導体パッケー
ジ製造用の樹脂封止装置を、放熱板を備えた半導体パッ
ケージ製造用に改変でき、樹脂封止装置の多機能化を任
意の設計レイアウトで容易に実現できる。

【００４５】以上、本発明の好適な実施例について種々
述べてきたが、本発明は上述した第１実施例〜第４実施
例に限定されるのではなく、増設レールユニットに設け
られた各種機能部は、プレス部の金型クリーニングユニ
ットなどでも良く、更に他の機能部であっても良い等、
発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るの
はもちろんである。

【００４６】

【発明の効果】本発明に係る樹脂封止装置を用いると、
増設レールユニットを被成形品供給ユニットと成形品収
納ユニットとの間に移動レール部どうしが連続するよう
に挿脱可能に設けたので、樹脂封止装置を拡張又は改変
して多機能化を容易に実現でき、設計の自由度を高める
ことができる。また、ローダー及びアンローダーが共用
する移動レール部には、アンローダーの吸引ダクトに接
続可能な吸引ダクトが併設されているので、増設レール
ユニットの増設作業も容易に行える。また、各ユニット
は、移動レール部と機能部を搭載可能な台座部とを備
え、機能部の変更、取り外しができるので、多機能化
（作業スペ−スの形成を含む）し易く、装置レイアウト
の自由度が高く汎用性を高めることができる。また、台
座部には、移動レール部を支持するレール台座部に機能
部を搭載可能なベース台座部が分離可能に設けられてい
る場合には、機能部に応じて大きさを設定でき、装置の
拡張性が増加する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構
成を示す平面図及び増設レールユニットの平面図であ
る。

【図２】図１（ａ）の樹脂封止装置の右側面図及び移動
レール部の拡大説明図である。

【図３】第２実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構
成を示す平面図である。

【図４】第３実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構
成を示す平面図である。

【図５】第４実施例に係る樹脂封止装置のレイアウト構
成を示す平面図である。

【図６】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平
面図である。

【図７】従来の樹脂封止装置のレイアウト構成を示す平
面図である。

【符号の説明】

Ａ被成形品供給ユニットＢ成形品収納ユニットＣ、Ｄ、Ｅ増設レールユニットＦフィルムユニット１基板供給部２供給マガジン３ターンテーブル４供給位置５樹脂タブレット供給部６タブレットホルダー７、２４、３１プレス部８モールド金型９供給側台座部１０リリースフィルム１１フィルム供給部１２フィルム巻取り部１３供給側移動レール部１４ローダー１５アンローダー１６供給側吸引ダクト１７集塵機１８成形品取出部１９移動テーブル２０ディゲート部２１成形品収納部２２成形品ピックアップ２３収納マガジン２５収納側台座部２６収納側移動レール部２７収納側吸引ダクト２８増設側移動レール部２９増設側台座部２９ａレール台座部２９ｂベース台座部３０増設側吸引ダクト３２レール支持部３３レールブロック３４移動レール３５制御ユニット３６増設側樹脂供給部３７本体側樹脂供給部３８増設側放熱板供給部３９、４０駆動軸４１進入ガイド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ２９Ｌ 31:34 Ｂ２９Ｌ 31:34 Ｆターム(参考） 4F206 AD02 AD05 AD08 AH37 JA02 JA07 JB17 JF01 JF05 JF36 JL02 JT07 JW21 JW50 5F061 AA01 BA01 CA21 DA13 DD03 DE06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被成形品供給ユニットより被成形品をプ
レス部に搬入するローダーと、前記プレス部より成形品
を成形品収納ユニットへ取り出すアンローダーとが移動
レール部を共用して移動することにより樹脂封止する樹
脂封止装置において、前記ローダー及びアンローダーが移動可能な移動レール
部と台座部とを備えた増設レールユニットが、前記被成
形品供給ユニットと成形品収納ユニットとの間に前記移
動レール部どうしが連続するように挿脱可能であること
を特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】前記被成形品供給ユニット及び成形品収
納ユニットには、移動レール部及び台座部が各々設けら
れていることを特徴とする請求項１記載の樹脂封止装
置。
【請求項３】前記増設レールユニットの移動レール部
には、前記アンローダーの吸引ダクトに接続可能な吸引
ダクトが併設されており、該吸引ダクトは前記被成形品
供給ユニット及び成形品収納ユニットに各々設けられた
吸引ダクトに連通可能に設けられていることを特徴とす
ることを特徴とする請求項１又は２記載の樹脂封止装
置。
【請求項４】前記台座部は、前記移動レール部を支持
するレール台座部と機能部を支持するベース台座部とか
らなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の樹脂
封止装置。
【請求項５】前記被成形品供給ユニット、前記成形品
収納ユニット及び前記増設レールユニットのうちいずれ
か又は全てに、プレス部が設けられていることを特徴と
する請求項１、２、３又は４記載の樹脂封止装置。
【請求項６】前記被成形品供給ユニット、前記成形品
収納ユニット及び前記増設レールユニットのうちいずれ
かに、プレス部の金型面に前記移動レール部と略平行に
リリースフィルムを張設するフィルムユニットのフィル
ム供給部及び／又はフィルム巻取り部が設けられている
ことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の樹脂封
止装置。
【請求項７】前記被成形品供給ユニット、前記成形品
収納ユニット及び前記増設レールユニットのうちいずれ
かに、プレス部へ封止樹脂を供給する樹脂供給部が設け
られていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記
載の樹脂封止装置。
【請求項８】前記被成形品供給ユニット、前記成形品
収納ユニット及び前記増設レールユニットのうちいずれ
かに、プレス部の上型と下型との間へ中間型を挿脱する
中間型供給部が設けられていることを特徴とする請求項
１、２、３又は４記載の樹脂封止装置。
【請求項９】前記被成形品供給ユニット、前記成形品
収納ユニット及び前記増設レールユニットのうちいずれ
かに、プレス部へ放熱板を供給する放熱板供給部が設け
られていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記
載の樹脂封止装置。