JP2001298066A - ロボットハンド - Google Patents
ロボットハンドInfo
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- JP2001298066A JP2001298066A JP2000114558A JP2000114558A JP2001298066A JP 2001298066 A JP2001298066 A JP 2001298066A JP 2000114558 A JP2000114558 A JP 2000114558A JP 2000114558 A JP2000114558 A JP 2000114558A JP 2001298066 A JP2001298066 A JP 2001298066A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- product
- robot hand
- robot
- receiving
- receiving jig
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フォトマスク等の製品をロボット搬送する
際、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着が起
こりずらい、更には、製品の高クリーンが確保でき、設
備投資が高コストとならない搬送方法を提供する。詳し
くは、フォトマスク等の製品をロボット搬送する際、低
クリーン環境下においても、製品を高クリーン度に維持
できるロボットハンドを提供する。 【解決手段】 クリーンルーム内において、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状
の製品を、ロボット搬送するロボットハンドであって、
製品をその上に保持する、製品受け治具を備え、該製品
受け治具上に、カバーを設けている。更に、カバーに、
製品上部にクリーンなエアーを送るファンと、パーティ
クルを除去するフィルタ部を備えている。
際、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着が起
こりずらい、更には、製品の高クリーンが確保でき、設
備投資が高コストとならない搬送方法を提供する。詳し
くは、フォトマスク等の製品をロボット搬送する際、低
クリーン環境下においても、製品を高クリーン度に維持
できるロボットハンドを提供する。 【解決手段】 クリーンルーム内において、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状
の製品を、ロボット搬送するロボットハンドであって、
製品をその上に保持する、製品受け治具を備え、該製品
受け治具上に、カバーを設けている。更に、カバーに、
製品上部にクリーンなエアーを送るファンと、パーティ
クルを除去するフィルタ部を備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子を製作
する際に用いられる、フォトマスク、マスクブランク
ス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、クリーン
ルーム内において、ロボット搬送するロボットハンドに
関する。
する際に用いられる、フォトマスク、マスクブランク
ス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、クリーン
ルーム内において、ロボット搬送するロボットハンドに
関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体素子(チップ)の高密度化
は激しく、0.35μm設計ルールの64MDRAMの
量産もすでに始められ、0.25μm設計ルールの25
6MDRAMの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、64
MDRAMを0.25設計ルールまで微細化して、ある
いは、256MDRAMを0.18設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、64MDRA
Mを0.2μm設計ルールとすると、約16MDRAM
と同じチップ寸法となり、ビットコストは16Mの約1
/4になる。0.18μm設計ルールは開発完了し、2
000年には0.15μm設計ルールが開発完了予定と
されている。このような中、ウエハへ直接縮小投影する
ためのレチクルについても、ますます高精度、高品質の
ものが求められるようになってきた。
は激しく、0.35μm設計ルールの64MDRAMの
量産もすでに始められ、0.25μm設計ルールの25
6MDRAMの時代へと移ろうとしている。更に、最近
では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、64
MDRAMを0.25設計ルールまで微細化して、ある
いは、256MDRAMを0.18設計ルールまで微細
化してチップ縮小化を行っている。仮に、64MDRA
Mを0.2μm設計ルールとすると、約16MDRAM
と同じチップ寸法となり、ビットコストは16Mの約1
/4になる。0.18μm設計ルールは開発完了し、2
000年には0.15μm設計ルールが開発完了予定と
されている。このような中、ウエハへ直接縮小投影する
ためのレチクルについても、ますます高精度、高品質の
ものが求められるようになってきた。
【0003】このため、半導体素子を形成するためのレ
チクル、およびこれらを製作するためのマスク(以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ)や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板については、その保
管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求
められるようになってきた。そして、人手を用いずに、
ロボット搬送することも行われるようになってきた。例
えば、図5(b)、図5(c)に示すように、フォトマ
スク等の四角状の製品の対向する2辺部を、その支持部
555にて保持した状態で、保管(一次保管)している
バスケット550から、図5(a)に示すようなロボッ
トハンドを有するロボットで取り出し、これを他の場所
に搬送することが、行われている。尚、図5(c)のD
1−D2における断面図が図5(b)で、図5(a)に
おける製品580は、製品580を製品受け治具532
に搭載する直前の状態を示している。図5(a)に示す
ロボットハンド530は、製品の対向する2辺に沿い相
対して設けられた、2組み4個の受け部532A,53
2B,532C、532Dからなる製品受け治具532
により、前記製品の対向する2辺の下エッジ部を支持し
て、製品を保持するものである。受け部532A,53
2B,532C、532Dは、それぞれ、製品580の
下側エッジ部と接し、製品を保持するための、製品の内
側に向かい下がるテーパ部と、前記テーパー部からほぼ
鉛直方向に設けられた面を持つ段部とを備えており、各
受け部の段部間に搭載する製品を落とし込み、各受け部
のテーパ部にて製品のエッジ部と接し、製品を保持する
ものである。(尚、受け治具532の形状や、製品搭載
状態等については、後述する実施の形態例や、図1
(b)を参照)そして、バスケット550からの製品5
80の取り出しは、以下のように、行われていた。ロボ
ットハンド530は、バスケット550の製品580を
その対向する2辺部で保持する2つの支持部555の間
を通り、目的とする製品580の下側から、製品に触れ
ずに、ベース531をほぼ製品に平行な状態で所定の位
置まで、バスケット550内に入れ、ベース531を上
側に移動し、製品受け治具に落とし込む。次いで、更
に、ベース531を上側に移動し、製品580をバスケ
ット550の支持部555から浮かせ、製品受け治具の
みで製品を保持した状態とし、この状態で、ベース部5
31全体をバスケット550に触れないように、引き出
す。尚、ロボット本体510は、ロボットハンド部53
0をアーム520を介して移動することにより、製品を
所定の場所に搬送移動できる。また、他のバスケット中
に製品を移動する場合には、上記取り出し動作とほぼ逆
の動作をロボットを制御して行っていた。
チクル、およびこれらを製作するためのマスク(以降、
これらを総称してフォトマスク呼ぶ)や、これに用いら
れるマスクブランクス、ガラス基板については、その保
管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求
められるようになってきた。そして、人手を用いずに、
ロボット搬送することも行われるようになってきた。例
えば、図5(b)、図5(c)に示すように、フォトマ
スク等の四角状の製品の対向する2辺部を、その支持部
555にて保持した状態で、保管(一次保管)している
バスケット550から、図5(a)に示すようなロボッ
トハンドを有するロボットで取り出し、これを他の場所
に搬送することが、行われている。尚、図5(c)のD
1−D2における断面図が図5(b)で、図5(a)に
おける製品580は、製品580を製品受け治具532
に搭載する直前の状態を示している。図5(a)に示す
ロボットハンド530は、製品の対向する2辺に沿い相
対して設けられた、2組み4個の受け部532A,53
2B,532C、532Dからなる製品受け治具532
により、前記製品の対向する2辺の下エッジ部を支持し
て、製品を保持するものである。受け部532A,53
2B,532C、532Dは、それぞれ、製品580の
下側エッジ部と接し、製品を保持するための、製品の内
側に向かい下がるテーパ部と、前記テーパー部からほぼ
鉛直方向に設けられた面を持つ段部とを備えており、各
受け部の段部間に搭載する製品を落とし込み、各受け部
のテーパ部にて製品のエッジ部と接し、製品を保持する
ものである。(尚、受け治具532の形状や、製品搭載
状態等については、後述する実施の形態例や、図1
(b)を参照)そして、バスケット550からの製品5
80の取り出しは、以下のように、行われていた。ロボ
ットハンド530は、バスケット550の製品580を
その対向する2辺部で保持する2つの支持部555の間
を通り、目的とする製品580の下側から、製品に触れ
ずに、ベース531をほぼ製品に平行な状態で所定の位
置まで、バスケット550内に入れ、ベース531を上
側に移動し、製品受け治具に落とし込む。次いで、更
に、ベース531を上側に移動し、製品580をバスケ
ット550の支持部555から浮かせ、製品受け治具の
みで製品を保持した状態とし、この状態で、ベース部5
31全体をバスケット550に触れないように、引き出
す。尚、ロボット本体510は、ロボットハンド部53
0をアーム520を介して移動することにより、製品を
所定の場所に搬送移動できる。また、他のバスケット中
に製品を移動する場合には、上記取り出し動作とほぼ逆
の動作をロボットを制御して行っていた。
【0004】しかし、ますますの半導体素子の高集積化
に伴い、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着
の面から、図5に示すロボット搬送作業においては、広
い容積全体を高クリーン(クラス100以上の高クリー
ン)とする必要があり、設備投資が高コストとなるとい
う問題が、最近浮上してきた。
に伴い、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着
の面から、図5に示すロボット搬送作業においては、広
い容積全体を高クリーン(クラス100以上の高クリー
ン)とする必要があり、設備投資が高コストとなるとい
う問題が、最近浮上してきた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、近年の半
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク等の製品をロ
ボット搬送する際、図5に示すロボット搬送作業におい
ては、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着の
面から、設備投資が高コストとなるという問題がある。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク等の製
品をロボット搬送する際、パーティクルのフォトマスク
等の製品への付着が起こりずらい、更には、製品の高ク
リーンが確保でき、設備投資が高コストとならない搬送
方法を提供しようとするものであり、詳しくは、フォト
マスク等の製品をロボット搬送する際、低クリーン環境
下においても、製品を高クリーン度に維持できるロボッ
トハンドを提供しようとするものである。
導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク等の製品をロ
ボット搬送する際、図5に示すロボット搬送作業におい
ては、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着の
面から、設備投資が高コストとなるという問題がある。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク等の製
品をロボット搬送する際、パーティクルのフォトマスク
等の製品への付着が起こりずらい、更には、製品の高ク
リーンが確保でき、設備投資が高コストとならない搬送
方法を提供しようとするものであり、詳しくは、フォト
マスク等の製品をロボット搬送する際、低クリーン環境
下においても、製品を高クリーン度に維持できるロボッ
トハンドを提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のロボットハンド
は、クリーンルーム内において、フォトマスク、マスク
ブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、
ロボット搬送するロボットハンドであって、製品をその
上に保持する、製品受け治具を備え、該製品受け治具上
に、カバーを設けていることを特徴とするものである。
そして、上記において、カバーに、製品上部にクリーン
なエアーを送るファンと、パーティクルを除去するフィ
ルタ部を備えていることを特徴とするものである。そし
てまた、上記において、フィルタ部に化学物質を除去す
るフィルタを備えたことを特徴とするものである。ま
た、上記において、カバーは取り外し機構を設けている
ことを特徴とするものである。また、上記において、製
品受け治具は、製品のエッジ部と接し、製品を保持する
ための、製品の内側に向かい下がるテーパ部と、前記テ
ーパー部からほぼ鉛直方向に設けられた面を持つ段部と
を備えた受け部を、少なくとも2個、各段部で製品を挟
むように配置したもので、各受け部の段部間に搭載する
製品を落とし込み、各受け部のテーパ部にて製品のエッ
ジ部と接し、製品を保持するものであることを特徴とす
るものである。また。上記製品受け治具の各受け部に
は、製品サイズに対応した、製品を保持するテーパ部と
段部とを、それぞれ、複数組み設けていることを特徴と
するものである。
は、クリーンルーム内において、フォトマスク、マスク
ブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、
ロボット搬送するロボットハンドであって、製品をその
上に保持する、製品受け治具を備え、該製品受け治具上
に、カバーを設けていることを特徴とするものである。
そして、上記において、カバーに、製品上部にクリーン
なエアーを送るファンと、パーティクルを除去するフィ
ルタ部を備えていることを特徴とするものである。そし
てまた、上記において、フィルタ部に化学物質を除去す
るフィルタを備えたことを特徴とするものである。ま
た、上記において、カバーは取り外し機構を設けている
ことを特徴とするものである。また、上記において、製
品受け治具は、製品のエッジ部と接し、製品を保持する
ための、製品の内側に向かい下がるテーパ部と、前記テ
ーパー部からほぼ鉛直方向に設けられた面を持つ段部と
を備えた受け部を、少なくとも2個、各段部で製品を挟
むように配置したもので、各受け部の段部間に搭載する
製品を落とし込み、各受け部のテーパ部にて製品のエッ
ジ部と接し、製品を保持するものであることを特徴とす
るものである。また。上記製品受け治具の各受け部に
は、製品サイズに対応した、製品を保持するテーパ部と
段部とを、それぞれ、複数組み設けていることを特徴と
するものである。
【0007】
【作用】本発明のロボットハンドは、このような構成に
することにより、フォトマスク等の製品をロボット搬送
する際、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着
が起こりずらい、更には、製品の高クリーンが確保で
き、設備投資が高コストとならない搬送方法の提供を可
能とするもので、詳しくは、フォトマスク等の製品をロ
ボット搬送する際、低クリーン環境(低クリーンのクリ
ーンルーム)下においても、製品を実質的に高クリーン
度に維持できるロボットハンドの提供を可能としてい
る。具体的には、クリーンルーム内において、フォトマ
スク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板
状の製品を、ロボット搬送するロボットハンドであっ
て、製品をその上に保持する、製品受け治具を備え、該
製品受け治具上に、カバーを設けていることにより、更
には、カバーに、製品上部にクリーンなエアーを送るフ
ァンと、パーティクルを除去するフィルタ部を備えてい
ることにより、これを達成している。即ち、カバーを設
けることにより、ロボットハンドの製品搭載領域のみ、
パーティクル付着が起こりずらい構造とし、カバーに、
製品上部にクリーンなエアーを送るファンと、パーティ
クルを除去するフィルタ部を備えていることにより、カ
バー内を局部的に、高クリーンとしている。ファンフィ
ルタユニットを使うことにより、クリーン対策をより積
極的に行なうことができる。
することにより、フォトマスク等の製品をロボット搬送
する際、パーティクルのフォトマスク等の製品への付着
が起こりずらい、更には、製品の高クリーンが確保で
き、設備投資が高コストとならない搬送方法の提供を可
能とするもので、詳しくは、フォトマスク等の製品をロ
ボット搬送する際、低クリーン環境(低クリーンのクリ
ーンルーム)下においても、製品を実質的に高クリーン
度に維持できるロボットハンドの提供を可能としてい
る。具体的には、クリーンルーム内において、フォトマ
スク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板
状の製品を、ロボット搬送するロボットハンドであっ
て、製品をその上に保持する、製品受け治具を備え、該
製品受け治具上に、カバーを設けていることにより、更
には、カバーに、製品上部にクリーンなエアーを送るフ
ァンと、パーティクルを除去するフィルタ部を備えてい
ることにより、これを達成している。即ち、カバーを設
けることにより、ロボットハンドの製品搭載領域のみ、
パーティクル付着が起こりずらい構造とし、カバーに、
製品上部にクリーンなエアーを送るファンと、パーティ
クルを除去するフィルタ部を備えていることにより、カ
バー内を局部的に、高クリーンとしている。ファンフィ
ルタユニットを使うことにより、クリーン対策をより積
極的に行なうことができる。
【0008】また、カバーに取り付けたフィルタ部に、
所定の化学物質を除去するフィルタを備えたことによ
り、所定の化学物質で汚染されるのを防止できる。ま
た、カバーが取り外し可能に設けられていることによ
り、要求クリーン度によるカバーの脱着を可能にしてい
る。
所定の化学物質を除去するフィルタを備えたことによ
り、所定の化学物質で汚染されるのを防止できる。ま
た、カバーが取り外し可能に設けられていることによ
り、要求クリーン度によるカバーの脱着を可能にしてい
る。
【0009】また、製品受け治具は、製品のエッジ部と
接し、製品を保持するための、製品の内側に向かい下が
るテーパ部と、前記テーパー部からほぼ鉛直方向に設け
られた面を持つ段部とを備えた受け部を、少なくとも2
個、各段部で製品を挟むように配置したもので、各受け
部の段部間に搭載する製品を落とし込み、各受け部のテ
ーパ部にて製品のエッジ部と接し、製品を保持するもの
であることにより、保持や搬送によるパーティクルの発
生をほぼ防止できるものとしている。また、製品受け治
具の各受け部には、複数の製品サイズに対応し、製品を
保持するテーパ部、製品を落とし込む段部とを、それぞ
れ、複数組み設けていることにより、異種類サイズの製
品を同一ハンドで搬送できるものとしている。
接し、製品を保持するための、製品の内側に向かい下が
るテーパ部と、前記テーパー部からほぼ鉛直方向に設け
られた面を持つ段部とを備えた受け部を、少なくとも2
個、各段部で製品を挟むように配置したもので、各受け
部の段部間に搭載する製品を落とし込み、各受け部のテ
ーパ部にて製品のエッジ部と接し、製品を保持するもの
であることにより、保持や搬送によるパーティクルの発
生をほぼ防止できるものとしている。また、製品受け治
具の各受け部には、複数の製品サイズに対応し、製品を
保持するテーパ部、製品を落とし込む段部とを、それぞ
れ、複数組み設けていることにより、異種類サイズの製
品を同一ハンドで搬送できるものとしている。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を挙げて
説明する。図1(a)は本発明のロボットハンドの実施
の形態の第1の例の概略図で、図1(b)は製品を製品
受け治具に搭載した状態の断面図で、図2は本発明のロ
ボットハンドの実施の形態の第2の例の概略図で、図3
はカバー取り外し機構を説明するための図で、図4はバ
スケットからの製品取り出しを説明するための図であ
る。尚、図1(a)における製品180は、製品180
を製品受け治具132のに搭載する直前の状態を示して
いる。また、図4(b)は図4(a)のB1−B2から
見た図で、図4(a)は図4(b)のB3−B4から見
た図で、バスケット150、製品180との位置関係を
分かり易くするため、バスケット150内部部について
は透視して、製品180のみを示している。図1〜図4
中、110はロボット本体、120はアーム、130は
ロボットハンド、131はベース(基材)、131aは
嵌合凹部、132は製品受け治具、132A,132
B、132C,132Dは受け部、132aはテーパ
部、132bは段部、133はカバー、133Aは側面
カバー、133aは嵌合凸部、134はファンフィルタ
ユニット、136は隙間、150はバスケット、155
は支持部、180、180A、180Bは製品、181
は側面、182はエッジ部である。
説明する。図1(a)は本発明のロボットハンドの実施
の形態の第1の例の概略図で、図1(b)は製品を製品
受け治具に搭載した状態の断面図で、図2は本発明のロ
ボットハンドの実施の形態の第2の例の概略図で、図3
はカバー取り外し機構を説明するための図で、図4はバ
スケットからの製品取り出しを説明するための図であ
る。尚、図1(a)における製品180は、製品180
を製品受け治具132のに搭載する直前の状態を示して
いる。また、図4(b)は図4(a)のB1−B2から
見た図で、図4(a)は図4(b)のB3−B4から見
た図で、バスケット150、製品180との位置関係を
分かり易くするため、バスケット150内部部について
は透視して、製品180のみを示している。図1〜図4
中、110はロボット本体、120はアーム、130は
ロボットハンド、131はベース(基材)、131aは
嵌合凹部、132は製品受け治具、132A,132
B、132C,132Dは受け部、132aはテーパ
部、132bは段部、133はカバー、133Aは側面
カバー、133aは嵌合凸部、134はファンフィルタ
ユニット、136は隙間、150はバスケット、155
は支持部、180、180A、180Bは製品、181
は側面、182はエッジ部である。
【0011】本発明のロボットハンドの実施の形態の第
1の例を、以下、図1に基づいて説明する。本例は、ク
リーンルーム内において、フォトマスク、マスクブラン
クス、ガラス基板等の四角状の薄板製品を、ロボット搬
送するロボットハンドで、製品をその上に保持する、製
品受け治具132を備え、該製品受け治具132上に、
カバー133を設けているロボットハンドであり、ファ
ンとパーティクルを除去するフィルタ部を備えた、製品
180上部にクリーンなエアーを送るファンフィルタユ
ニット134を、製品受け治具132の上側のカバー1
33に設けている。
1の例を、以下、図1に基づいて説明する。本例は、ク
リーンルーム内において、フォトマスク、マスクブラン
クス、ガラス基板等の四角状の薄板製品を、ロボット搬
送するロボットハンドで、製品をその上に保持する、製
品受け治具132を備え、該製品受け治具132上に、
カバー133を設けているロボットハンドであり、ファ
ンとパーティクルを除去するフィルタ部を備えた、製品
180上部にクリーンなエアーを送るファンフィルタユ
ニット134を、製品受け治具132の上側のカバー1
33に設けている。
【0012】ベース131は、ロボットハンドの一部で
あり、ロボットアーム120に取り付けられている。ベ
ース部131には、製品受け冶具132、カバー133
が取りつけられ、製品180を載せ、全体の荷重を支え
る。ベース部131には、製品180、製品受け治具1
32、カバー133の荷重が直接かかるため軽量、高剛
性が望ましい。軽量、高剛性化を考慮し、FRP(Fi
ber Reinforced Plasticの略)
などのガラス繊維強化プラスチックが望ましい。製品1
80が静電気などを嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混
ぜ込んで導電性を持たせても良い。
あり、ロボットアーム120に取り付けられている。ベ
ース部131には、製品受け冶具132、カバー133
が取りつけられ、製品180を載せ、全体の荷重を支え
る。ベース部131には、製品180、製品受け治具1
32、カバー133の荷重が直接かかるため軽量、高剛
性が望ましい。軽量、高剛性化を考慮し、FRP(Fi
ber Reinforced Plasticの略)
などのガラス繊維強化プラスチックが望ましい。製品1
80が静電気などを嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混
ぜ込んで導電性を持たせても良い。
【0013】製品受け治具132は、図1(b)に示す
ように、製品180のエッジ部182と接し、製品を保
持するための、製品の内側に向かい下がるテーパ部13
2aと、前記テーパー部からほぼ鉛直方向に設けられた
面を持つ段部132bとを備えた受け部132を、少な
くとも2個、各段部132bで製品180を挟むように
配置したもので、各受け部132の段部間に搭載する製
品を落とし込み、各受け部132のテーパ部132aに
て製品180のエッジ部182と接し、製品182を保
持するものである。本例の場合、図1(b)に示すよう
に、製品受け治具の各受け部132には、製品サイズに
対応した、製品を保持するテーパ部132aと段部13
2bとを、それぞれ、複数組み設けている。図1(b)
は大サイズの製品180Aを搭載した状態を示している
が、小サイズの製品180の場合は、点線で示すように
搭載される。製品180と接触する部分は算術平均粗さ
が(Ra=1. 6)以上であることが望ましい。製品1
80との支持をエッジ部182のみとし、製品との摩擦
によるパーティクルの発生を抑え、製品180へのパー
ティクル付着を防ぐ。製品受け冶具132の材料には、
軽量、耐磨耗性の高いPEEK(PolyEther
Ether Keton)が望ましい。製品180が静
電気などを嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混ぜ込んで
導電性を持たせても良い。
ように、製品180のエッジ部182と接し、製品を保
持するための、製品の内側に向かい下がるテーパ部13
2aと、前記テーパー部からほぼ鉛直方向に設けられた
面を持つ段部132bとを備えた受け部132を、少な
くとも2個、各段部132bで製品180を挟むように
配置したもので、各受け部132の段部間に搭載する製
品を落とし込み、各受け部132のテーパ部132aに
て製品180のエッジ部182と接し、製品182を保
持するものである。本例の場合、図1(b)に示すよう
に、製品受け治具の各受け部132には、製品サイズに
対応した、製品を保持するテーパ部132aと段部13
2bとを、それぞれ、複数組み設けている。図1(b)
は大サイズの製品180Aを搭載した状態を示している
が、小サイズの製品180の場合は、点線で示すように
搭載される。製品180と接触する部分は算術平均粗さ
が(Ra=1. 6)以上であることが望ましい。製品1
80との支持をエッジ部182のみとし、製品との摩擦
によるパーティクルの発生を抑え、製品180へのパー
ティクル付着を防ぐ。製品受け冶具132の材料には、
軽量、耐磨耗性の高いPEEK(PolyEther
Ether Keton)が望ましい。製品180が静
電気などを嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混ぜ込んで
導電性を持たせても良い。
【0014】カバー133は、製品搬送領域上からのパ
ーティクル付着を防止するための、上部を覆うヒサシ状
である。軽量、高剛性化を考慮し、FRPなどのガラス
繊維強化プラスチックが望ましい。製品が静電気などを
嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混ぜ込んで導電性を持
たせても良い。カバー133は、図3に示すように、は
め込み式で、クリーン度により脱着可能である。本例で
は、はめ込み式であるが、ベース部にネジ止めにより、
脱着可能としても良い。
ーティクル付着を防止するための、上部を覆うヒサシ状
である。軽量、高剛性化を考慮し、FRPなどのガラス
繊維強化プラスチックが望ましい。製品が静電気などを
嫌う場合は、炭素パウダ、繊維を混ぜ込んで導電性を持
たせても良い。カバー133は、図3に示すように、は
め込み式で、クリーン度により脱着可能である。本例で
は、はめ込み式であるが、ベース部にネジ止めにより、
脱着可能としても良い。
【0015】ファンフィルタユニット134は、フィル
タ部とファンから構成されている。要求クリーン度によ
りフィルタとファンの容量は変更できる。パーティクル
汚染に対しては、要求クリーン度によって、HEPAフ
ィルタ,ULPAフィルタを用いる。所定の化学物質の
汚染に対しては、ケミカルフィルタを用い、所定の化学
物質を除去することもできる。ケミカルフィルタとして
は、高砂熱学製TIOSフィルタ等が知られている。
タ部とファンから構成されている。要求クリーン度によ
りフィルタとファンの容量は変更できる。パーティクル
汚染に対しては、要求クリーン度によって、HEPAフ
ィルタ,ULPAフィルタを用いる。所定の化学物質の
汚染に対しては、ケミカルフィルタを用い、所定の化学
物質を除去することもできる。ケミカルフィルタとして
は、高砂熱学製TIOSフィルタ等が知られている。
【0016】バスケットに載置された製品の取り出しに
ついては、上側のカバー133がバスケット上外に出た
状態で、図5に示す従来のロボット搬送と、同様に行わ
れる。
ついては、上側のカバー133がバスケット上外に出た
状態で、図5に示す従来のロボット搬送と、同様に行わ
れる。
【0017】そして、例えば、ロボットハンド上に製品
が載置されると、カバー133に搭載されたファンフィ
ルタユニット134が動作し、高クリーン環境を保った
まま製品180を次工程へ搬送する。通常、工程間は遮
蔽ドア(図示していない)によって区切られているた
め、ドア等の仕切りをくぐる際に落下してくるパーティ
クルを上側のカバー133によって防ぐことができる。
また、ハンドのカバー133に囲まれる領域はファンフ
ィルタユニット134によって陽圧になっており、パー
ティクルは製品180に近づけない。ファンフィルタユ
ニット134はクリーン度を維持するため、搬送終了後
も動作を継続することができる。また搬送中のみクリー
ン度を維持したい場合は、搬送が終了した時点でファン
を停止することもできる。
が載置されると、カバー133に搭載されたファンフィ
ルタユニット134が動作し、高クリーン環境を保った
まま製品180を次工程へ搬送する。通常、工程間は遮
蔽ドア(図示していない)によって区切られているた
め、ドア等の仕切りをくぐる際に落下してくるパーティ
クルを上側のカバー133によって防ぐことができる。
また、ハンドのカバー133に囲まれる領域はファンフ
ィルタユニット134によって陽圧になっており、パー
ティクルは製品180に近づけない。ファンフィルタユ
ニット134はクリーン度を維持するため、搬送終了後
も動作を継続することができる。また搬送中のみクリー
ン度を維持したい場合は、搬送が終了した時点でファン
を停止することもできる。
【0018】本発明のロボットハンドの実施の形態の第
2の例を、以下、図2に基づいて説明する。第2の例
は、図1に示す第1の例のロボットハンドにおいて、図
2に示すように、カバー133に側面を覆うカバー部1
33Aを更に付け加えたものである。カバー133Aと
ベース131との間には、隙間136が設けられ、ファ
ンフィルタユニット134からの気体の流れを制御して
いる。本例のロボットハンドの場合の、バスケットに載
置された製品の取り出しを、図4に基づいて簡単に説明
する。ロボットハンドは、バスケットの製品180をそ
の対向する2辺部で保持する2つの支持部155の間を
通り、目的とする製品180の下側から、製品に触れず
に、ベース131をほぼ製品に平行な状態で所定の位置
まで、バスケット150内に入れ、ベース131を上側
に移動し、製品受け治具に落とし込む。本例のロボット
ハンドの場合、側面のカバー133Aとベース131の
側面との間に、バスケットへの出し入れができる隙間1
36が設けられており、この隙間136に、バスケット
150の支持部155を支える壁部を、接触せず嵌め込
むようにして、ベース131をバスケット150内に移
動できる。次いで、更に、ベース131を上側に移動
し、製品180をバスケット150の支持部155から
浮かせ、製品受け治具のみで製品を保持した状態とす
る。そして、この状態で、ベース部131全体をバスケ
ット150に触れないように、引き出す。このようにし
て、バスケット150からの製品の取り出しは行われ
る。この後、ロボットは、ロボットハンド部を移動し、
製品を所定の位置に移動する。他のバスケット中に製品
を移動する場合には、取り出し動作とほぼ逆の動作をロ
ボットを制御して行えば良い。
2の例を、以下、図2に基づいて説明する。第2の例
は、図1に示す第1の例のロボットハンドにおいて、図
2に示すように、カバー133に側面を覆うカバー部1
33Aを更に付け加えたものである。カバー133Aと
ベース131との間には、隙間136が設けられ、ファ
ンフィルタユニット134からの気体の流れを制御して
いる。本例のロボットハンドの場合の、バスケットに載
置された製品の取り出しを、図4に基づいて簡単に説明
する。ロボットハンドは、バスケットの製品180をそ
の対向する2辺部で保持する2つの支持部155の間を
通り、目的とする製品180の下側から、製品に触れず
に、ベース131をほぼ製品に平行な状態で所定の位置
まで、バスケット150内に入れ、ベース131を上側
に移動し、製品受け治具に落とし込む。本例のロボット
ハンドの場合、側面のカバー133Aとベース131の
側面との間に、バスケットへの出し入れができる隙間1
36が設けられており、この隙間136に、バスケット
150の支持部155を支える壁部を、接触せず嵌め込
むようにして、ベース131をバスケット150内に移
動できる。次いで、更に、ベース131を上側に移動
し、製品180をバスケット150の支持部155から
浮かせ、製品受け治具のみで製品を保持した状態とす
る。そして、この状態で、ベース部131全体をバスケ
ット150に触れないように、引き出す。このようにし
て、バスケット150からの製品の取り出しは行われ
る。この後、ロボットは、ロボットハンド部を移動し、
製品を所定の位置に移動する。他のバスケット中に製品
を移動する場合には、取り出し動作とほぼ逆の動作をロ
ボットを制御して行えば良い。
【0019】
【発明の効果】本発明は、上記のように、フォトマスク
等の製品をロボット搬送する際、パーティクルのフォト
マスク等の製品への付着が起こりずらい、更には、製品
の高クリーンが確保でき、設備投資が高コストとならな
い搬送が行える、ロボットハンドの提供を可能とした。
即ち、低クリーン環境においても、フォトマスク等の製
品をロボット搬送する際、製品を高クリーン度に維持で
きるロボットハンドの提供を可能とした。これにより、
ロボットが作業するクリーンルーム自体を高クリーンル
ームに維持する必要がないため、初期投資、ランニング
コストの低減が図れる。また、製品受け治具を交換せず
に、異種サイズの製品を扱うことができるため、治具交
換の手間が省ける。
等の製品をロボット搬送する際、パーティクルのフォト
マスク等の製品への付着が起こりずらい、更には、製品
の高クリーンが確保でき、設備投資が高コストとならな
い搬送が行える、ロボットハンドの提供を可能とした。
即ち、低クリーン環境においても、フォトマスク等の製
品をロボット搬送する際、製品を高クリーン度に維持で
きるロボットハンドの提供を可能とした。これにより、
ロボットが作業するクリーンルーム自体を高クリーンル
ームに維持する必要がないため、初期投資、ランニング
コストの低減が図れる。また、製品受け治具を交換せず
に、異種サイズの製品を扱うことができるため、治具交
換の手間が省ける。
【図1】図1(a)は本発明のロボットハンドの実施の
形態の第1の例の概略図で、図1(b)は製品を製品受
け治具に搭載した状態の断面図である。
形態の第1の例の概略図で、図1(b)は製品を製品受
け治具に搭載した状態の断面図である。
【図2】本発明のロボットハンドの実施の形態の第2の
例の概略図
例の概略図
【図3】カバー取り外し機構を説明するための図
【図4】バスケットからの製品取り出しを説明するため
の図
の図
【図5】図5(a)は従来のロボットハンドの概略図
で、図5(b)はバスケットからの製品取り出しを説明
するための図である。
で、図5(b)はバスケットからの製品取り出しを説明
するための図である。
110 ロボット本体 120 アーム 130 ロボットハンド 131 ベース(基材) 131a 嵌合凹部 132 製品受け治具 132A,132B、132C,132D 受け部 132a テーパ部 132b 段部 133 カバー 133A 側面カバー 133a 嵌合凸部 134 ファンフィルタユニッ
ト 136 隙間 150 バスケット 155 支持部 180、180A、180B 製品 181 側面 182 エッジ部
ト 136 隙間 150 バスケット 155 支持部 180、180A、180B 製品 181 側面 182 エッジ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志谷 佳久 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 Fターム(参考) 3C007 DS01 ES02 EV05 EV24 EW00 NS09 NS17 3F061 AA01 BA02 BE05 BE44 BF00 DB04 DB06 5F031 CA05 CA07 FA01 FA02 FA04 FA07 FA11 GA02 GA05 GA06 GA35 GA48 GA49 NA02 NA17 PA23 PA26
Claims (6)
- 【請求項1】 クリーンルーム内において、フォトマス
ク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状
の製品を、ロボット搬送するロボットハンドであって、
製品をその上に保持する、製品受け治具を備え、該製品
受け治具上に、カバーを設けていることを特徴とするロ
ボットハンド。 - 【請求項2】 請求項1において、カバーに、製品上部
にクリーンなエアーを送るファンと、パーティクルを除
去するフィルタ部を備えていることを特徴とするロボッ
トハンド。 - 【請求項3】 請求項2において、フィルタ部に化学物
質を除去するフィルタを備えたことを特徴とするロボッ
トハンド。 - 【請求項4】 請求項1ないし3において、カバー取り
外し機構を設けていることを特徴とするロボットハン
ド。 - 【請求項5】 請求項1ないし4において、製品受け治
具は、製品のエッジ部と接し、製品を保持するための、
製品の内側に向かい下がるテーパ部と、前記テーパー部
からほぼ鉛直方向に設けられた面を持つ段部とを備えた
受け部を、少なくとも2個、各段部で製品を挟むように
配置したもので、各受け部の段部間に搭載する製品を落
とし込み、各受け部のテーパ部にて製品のエッジ部と接
し、製品を保持するものであることを特徴とするロボッ
トハンド。 - 【請求項6】 請求項5において、製品受け治具の各受
け部には、製品サイズに対応した、製品を保持するテー
パ部と段部とを、それぞれ、複数組み設けていることを
特徴とするロボットハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000114558A JP2001298066A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ロボットハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000114558A JP2001298066A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ロボットハンド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001298066A true JP2001298066A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=18626344
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000114558A Withdrawn JP2001298066A (ja) | 2000-04-17 | 2000-04-17 | ロボットハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001298066A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100900752B1 (ko) | 2007-10-10 | 2009-06-02 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
JP2009289867A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 搬送装置 |
JP4628496B1 (ja) * | 2010-02-10 | 2011-02-09 | 智雄 松下 | 薄板搬送装置 |
JP2011119347A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エッジグリップ装置、それを備える搬送ロボット及び半導体プロセス用ウエハの解放方法 |
-
2000
- 2000-04-17 JP JP2000114558A patent/JP2001298066A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100900752B1 (ko) | 2007-10-10 | 2009-06-02 | 세메스 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
JP2009289867A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 搬送装置 |
JP2011119347A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | エッジグリップ装置、それを備える搬送ロボット及び半導体プロセス用ウエハの解放方法 |
JP4628496B1 (ja) * | 2010-02-10 | 2011-02-09 | 智雄 松下 | 薄板搬送装置 |
JP2011184196A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-09-22 | Tomoo Matsushita | 薄板搬送装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070703 |