JP2001295786A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JP2001295786A JP2001295786A JP2000110074A JP2000110074A JP2001295786A JP 2001295786 A JP2001295786 A JP 2001295786A JP 2000110074 A JP2000110074 A JP 2000110074A JP 2000110074 A JP2000110074 A JP 2000110074A JP 2001295786 A JP2001295786 A JP 2001295786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spacer ring
- casing
- molecular pump
- fixed
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/522—Casings; Connections of working fluid for axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ロータが破損したときの衝撃をやわらげるこ
とができる、ターボ分子ポンプの提供。 【解決手段】 ターボ分子ポンプにおいて、ケーシング
１１の内部に、スペーサリング３０により固定翼１１ａ
を固定するとともに、スペーサリング３０はその外周曲
面に、高張力ファイバを巻回し、エポキシ等の接着剤で
固定することで、スペーサリング３０と固定翼１１ａに
作用する衝撃力を高張力ファイバで緩和する。
とができる、ターボ分子ポンプの提供。 【解決手段】 ターボ分子ポンプにおいて、ケーシング
１１の内部に、スペーサリング３０により固定翼１１ａ
を固定するとともに、スペーサリング３０はその外周曲
面に、高張力ファイバを巻回し、エポキシ等の接着剤で
固定することで、スペーサリング３０と固定翼１１ａに
作用する衝撃力を高張力ファイバで緩和する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高真空や超高真空
を得る真空ポンプに関し、特にターボ分子ポンプに関す
る。
を得る真空ポンプに関し、特にターボ分子ポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のターボ分子ポンプの一構成
例を示す図である。ケーシング１０１内には、ロータ１
０２が高速回転するシャフト１０５に連結され、ロータ
１０２の外周に突設した回転翼１０２ａと、ケーシング
１０１の内周であって積層型のスペーサリング１１０
（ステータスペーサ１１０ａ及びネジ溝スペーサ１１０
ｂ）により固定された固定翼１０１ａとの相互作用によ
りタービンを形成している。タービンは、吸気口部１０
３から吸入したガス分子を、排気口部１０４に向かって
圧縮排気する。
例を示す図である。ケーシング１０１内には、ロータ１
０２が高速回転するシャフト１０５に連結され、ロータ
１０２の外周に突設した回転翼１０２ａと、ケーシング
１０１の内周であって積層型のスペーサリング１１０
（ステータスペーサ１１０ａ及びネジ溝スペーサ１１０
ｂ）により固定された固定翼１０１ａとの相互作用によ
りタービンを形成している。タービンは、吸気口部１０
３から吸入したガス分子を、排気口部１０４に向かって
圧縮排気する。
【０００３】また、ケーシングの開口部である吸気口１
０３には、この真空ポンプを被排気室、たとえば成膜装
置における反応チャンバに接続された配管（図示せず）
に取り付けるためのフランジ部１０６が設けられてい
る。
０３には、この真空ポンプを被排気室、たとえば成膜装
置における反応チャンバに接続された配管（図示せず）
に取り付けるためのフランジ部１０６が設けられてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ターボ分子ポンプにおいて、ロータやシャフトが腐食や
疲労に伴い、予期せずしてその一部が破損することによ
って、回転翼がスペーサリングや固定翼に接触し、ロー
タの回転エネルギーが瞬間的に衝撃力として回転翼から
スペーサリングを介してケーシングに伝わることがあ
り、ケーシングのフランジを反応チャンバ側の配管へ固
定する取付ボルトを破損したり、配管や反応チャンバ側
へもその衝撃が伝わり歪みを与えたりする惧れがある。
ターボ分子ポンプにおいて、ロータやシャフトが腐食や
疲労に伴い、予期せずしてその一部が破損することによ
って、回転翼がスペーサリングや固定翼に接触し、ロー
タの回転エネルギーが瞬間的に衝撃力として回転翼から
スペーサリングを介してケーシングに伝わることがあ
り、ケーシングのフランジを反応チャンバ側の配管へ固
定する取付ボルトを破損したり、配管や反応チャンバ側
へもその衝撃が伝わり歪みを与えたりする惧れがある。
【０００５】そこで、本発明は、ロータ側が破損したと
き、容易にかつ確実に、ケーシング側へ伝わる衝撃をや
わらげることができる、ターボ分子ポンプの提供を目的
とする。
き、容易にかつ確実に、ケーシング側へ伝わる衝撃をや
わらげることができる、ターボ分子ポンプの提供を目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１発明のターボ分子ポ
ンプは、ケーシングの内部に、スペーサリングにより固
定翼を固定するとともに、スペーサリングにはその外周
面に、高張力ファイバが巻回されているので、スペーサ
リングや固定翼に作用する拡張力が高張力ファイバに吸
収され、スペーサリングや固定翼が拡張してケーシング
に当たるまでの時間が引き延ばされるので、ケーシング
に伝わる衝撃力が緩和される。さらに、具体的には、ス
ペーサリングに巻回された高張力ファイバをエポキシ等
の接着剤で固定する。
ンプは、ケーシングの内部に、スペーサリングにより固
定翼を固定するとともに、スペーサリングにはその外周
面に、高張力ファイバが巻回されているので、スペーサ
リングや固定翼に作用する拡張力が高張力ファイバに吸
収され、スペーサリングや固定翼が拡張してケーシング
に当たるまでの時間が引き延ばされるので、ケーシング
に伝わる衝撃力が緩和される。さらに、具体的には、ス
ペーサリングに巻回された高張力ファイバをエポキシ等
の接着剤で固定する。
【０００７】第２発明のターボ分子ポンプは、ケーシン
グの内部に、スペーサリングにより固定翼を固定すると
ともに、スペーサリングとケーシングとの間に、高張力
ファイバを外周に巻回した中間筒を備えているので、ス
ペーサリングや固定翼が拡張してケーシングに当たるま
での時間が引き延ばされるので、ケーシングに伝わる衝
撃力が緩和される。さらに、第１発明と同様に、中間筒
に巻回された高張力ファイバをエポキシ等の接着剤で固
定する。
グの内部に、スペーサリングにより固定翼を固定すると
ともに、スペーサリングとケーシングとの間に、高張力
ファイバを外周に巻回した中間筒を備えているので、ス
ペーサリングや固定翼が拡張してケーシングに当たるま
での時間が引き延ばされるので、ケーシングに伝わる衝
撃力が緩和される。さらに、第１発明と同様に、中間筒
に巻回された高張力ファイバをエポキシ等の接着剤で固
定する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について、
図１及び図２を参照して説明する。ケーシング１１は上
端に吸気口部１３を有しており、その内部には、スペー
サリング３０（ステータスペーサ３０ａ及びネジ溝スペ
ーサ３０ｂ）により位置決めされた固定翼１１ａが軸方
向に多段に固定されている。ケーシング１１の上端の外
周にはフランジ３２が設けられており、ポンプ本体がフ
ランジ３２を介して、図示しない、例えば成膜装置側の
反応チャンバに設けられた配管と固定ボルトで取り付け
られる。
図１及び図２を参照して説明する。ケーシング１１は上
端に吸気口部１３を有しており、その内部には、スペー
サリング３０（ステータスペーサ３０ａ及びネジ溝スペ
ーサ３０ｂ）により位置決めされた固定翼１１ａが軸方
向に多段に固定されている。ケーシング１１の上端の外
周にはフランジ３２が設けられており、ポンプ本体がフ
ランジ３２を介して、図示しない、例えば成膜装置側の
反応チャンバに設けられた配管と固定ボルトで取り付け
られる。
【０００９】また、固定翼１１ａと軸方向に対向して交
互に組み合わされ、タービンを構成する多段の回転翼１
２ａを有するロータ１２はシャフト１５に結合されてお
り、シャフト１５は、磁気軸受や玉軸受（図示省略）に
より、回転自在に支承されている。
互に組み合わされ、タービンを構成する多段の回転翼１
２ａを有するロータ１２はシャフト１５に結合されてお
り、シャフト１５は、磁気軸受や玉軸受（図示省略）に
より、回転自在に支承されている。
【００１０】シャフト１５はベース１９内のモータ（図
示省略）により回転駆動され、回転翼１２ａと固定翼１
１ａの相互作用により、吸気口部１３から吸い込んだガ
スを効率よく排気口部１４へ排気する構成になってい
る。
示省略）により回転駆動され、回転翼１２ａと固定翼１
１ａの相互作用により、吸気口部１３から吸い込んだガ
スを効率よく排気口部１４へ排気する構成になってい
る。
【００１１】固定翼１１ａを位置決めするためのスペー
サリング３０は組立性を良くするために、ケーシング１
１との間に隙間を設けており、最上端でケーシング１１
と接触し、最下端でベース１９と接触し、ケーシング１
１とスペーサリング３０とベース１９で一つの筒状空間
を形成している。スペーサリング３０はケーシング１１
とベース１９で軸方向に押さえられているだけなので、
スペーサリング３０に大きな回転力が加わると、スペー
サリング３０とケーシング１１及びスペーサリング３０
とベース１９との間に働く摩擦力に打ち勝って、スペー
サリング３０は滑って回ることができる。
サリング３０は組立性を良くするために、ケーシング１
１との間に隙間を設けており、最上端でケーシング１１
と接触し、最下端でベース１９と接触し、ケーシング１
１とスペーサリング３０とベース１９で一つの筒状空間
を形成している。スペーサリング３０はケーシング１１
とベース１９で軸方向に押さえられているだけなので、
スペーサリング３０に大きな回転力が加わると、スペー
サリング３０とケーシング１１及びスペーサリング３０
とベース１９との間に働く摩擦力に打ち勝って、スペー
サリング３０は滑って回ることができる。
【００１２】また、図２に示したように、ステータスペ
ーサ３０ａ（ねじ溝スペーサ３０ｂも同様）は、外周曲
面に、高張力ファイバ３１が巻回されている。高張力フ
ァイバ３１は、材質が炭素繊維で、径が７μｍであるも
のを使用しているが、これ以外に、アラミッド繊維、ガ
ラスファイバを使用してもよい。巻回の仕方は、高張力
ファイバ３１を密着させ、多層巻きにする。そして、巻
回された高張力ファイバ３１にエポキシ等の接着剤を使
用して、ステータスペーサ３０ａへ固定される。なお、
ステータスペーサ３０ａの外周面には、高張力ファイバ
３１を巻回するためのガイド溝を形成してもよい。
ーサ３０ａ（ねじ溝スペーサ３０ｂも同様）は、外周曲
面に、高張力ファイバ３１が巻回されている。高張力フ
ァイバ３１は、材質が炭素繊維で、径が７μｍであるも
のを使用しているが、これ以外に、アラミッド繊維、ガ
ラスファイバを使用してもよい。巻回の仕方は、高張力
ファイバ３１を密着させ、多層巻きにする。そして、巻
回された高張力ファイバ３１にエポキシ等の接着剤を使
用して、ステータスペーサ３０ａへ固定される。なお、
ステータスペーサ３０ａの外周面には、高張力ファイバ
３１を巻回するためのガイド溝を形成してもよい。
【００１３】さらに、図３に示したような構成も本発明
に含まれる。スペーサリング３０とケーシング１１の間
に中間筒４１があり、中間筒４１とケーシング１１との
間には隙間がある。中間筒４１はケーシング１１及びベ
ース１９に弱く固定されている。図４に示したように、
中間筒４１の外周に高張力ファイバ３１が巻回されてい
る。高張力ファイバ３１は、材質が炭素繊維で、径が７
μｍであるものを使用しているが、これ以外に、アラミ
ッド繊維、ガラスファイバを使用してもよい。巻回の仕
方は、高張力ファイバ３１を密着させ、多層巻きにす
る。そして、巻回された高張力ファイバ３１にエポキシ
等の接着剤を使用して、中間筒４１へ固定される。な
お、中間筒４１の外周面には、高張力ファイバ３１を巻
回するためのガイド溝を形成してもよい。
に含まれる。スペーサリング３０とケーシング１１の間
に中間筒４１があり、中間筒４１とケーシング１１との
間には隙間がある。中間筒４１はケーシング１１及びベ
ース１９に弱く固定されている。図４に示したように、
中間筒４１の外周に高張力ファイバ３１が巻回されてい
る。高張力ファイバ３１は、材質が炭素繊維で、径が７
μｍであるものを使用しているが、これ以外に、アラミ
ッド繊維、ガラスファイバを使用してもよい。巻回の仕
方は、高張力ファイバ３１を密着させ、多層巻きにす
る。そして、巻回された高張力ファイバ３１にエポキシ
等の接着剤を使用して、中間筒４１へ固定される。な
お、中間筒４１の外周面には、高張力ファイバ３１を巻
回するためのガイド溝を形成してもよい。
【００１４】次に、図１のターボ分子ポンプの動作につ
いて説明する。例えば、本実施例のターボ分子ポンプを
成膜装置に使用した場合、成膜装置の反応チャンバ内を
真空排気するため、このターボ分子ポンプを駆動する。
いて説明する。例えば、本実施例のターボ分子ポンプを
成膜装置に使用した場合、成膜装置の反応チャンバ内を
真空排気するため、このターボ分子ポンプを駆動する。
【００１５】ところが、ロータ１２やシャフト１５の一
部が腐食や疲労に伴い、予期せずして、破損する場合が
ある。このような場合、高速回転していたロータ１２
は、回転翼１２ａと共に高速回転を続けようとする。そ
の際、ロータ１２と回転翼１２ａがスペーサリング３０
と固定翼１１ａに接触すると、回転し続けようとするロ
ータ１２と回転翼１２ａの回転エネルギーが、瞬間的に
衝撃力となってスペーサリング３０と固定翼１１ａに伝
わる。
部が腐食や疲労に伴い、予期せずして、破損する場合が
ある。このような場合、高速回転していたロータ１２
は、回転翼１２ａと共に高速回転を続けようとする。そ
の際、ロータ１２と回転翼１２ａがスペーサリング３０
と固定翼１１ａに接触すると、回転し続けようとするロ
ータ１２と回転翼１２ａの回転エネルギーが、瞬間的に
衝撃力となってスペーサリング３０と固定翼１１ａに伝
わる。
【００１６】スペーサリング３０には、その外周に高張
力ファイバ３１が巻回されており、衝撃力のうち、拡張
力は高張力ファイバ３１に吸収され、この拡張力を受け
る時間を長くすることができ、さらにこのスペーサリン
グ３０からケーシング１１に伝わろうとする衝撃力のう
ち、回転力を時間的に長引かせて衝撃力を小さくするこ
とができる。
力ファイバ３１が巻回されており、衝撃力のうち、拡張
力は高張力ファイバ３１に吸収され、この拡張力を受け
る時間を長くすることができ、さらにこのスペーサリン
グ３０からケーシング１１に伝わろうとする衝撃力のう
ち、回転力を時間的に長引かせて衝撃力を小さくするこ
とができる。
【００１７】また、図３のターボ分子ポンプの動作につ
いて、スペーサリング３０と固定翼１１に伝わった衝撃
力はそのまま中間筒４１に伝わる。中間筒４１にはその
外周に高張力ファイバ３１が巻回されており、衝撃力の
うち拡張力は高張力ファイバに吸収され、その拡張力を
受ける時間を長くすることができ、さらにこの中間筒４
１からケーシング１１に伝わろうとする衝撃力のうち、
回転力を時間的に長引かせて衝撃力を小さくすることが
できる。
いて、スペーサリング３０と固定翼１１に伝わった衝撃
力はそのまま中間筒４１に伝わる。中間筒４１にはその
外周に高張力ファイバ３１が巻回されており、衝撃力の
うち拡張力は高張力ファイバに吸収され、その拡張力を
受ける時間を長くすることができ、さらにこの中間筒４
１からケーシング１１に伝わろうとする衝撃力のうち、
回転力を時間的に長引かせて衝撃力を小さくすることが
できる。
【００１８】したがって、ロータ１２等の破損時にケー
シング１１のフランジ３２や成膜装置の反応チャンバ等
へ伝わる衝撃力の影響を小さくすることができる。
シング１１のフランジ３２や成膜装置の反応チャンバ等
へ伝わる衝撃力の影響を小さくすることができる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明のターボ分子ポン
プによれば、ロータ側の部品が破損し、回転翼の回転力
がスペーサリングや固定翼に伝わっても、その回転エネ
ルギーによる衝撃は、固定翼を固定するスペーサリング
又は中間筒に巻回された高張力ファイバによって時間的
に長引かされるので、ケーシングのフランジ部まで伝わ
る力が低減されるので、例えば、成膜装置側の反応チャ
ンバやその配管は、ロータの破損に伴う影響を受けにく
くなる。
プによれば、ロータ側の部品が破損し、回転翼の回転力
がスペーサリングや固定翼に伝わっても、その回転エネ
ルギーによる衝撃は、固定翼を固定するスペーサリング
又は中間筒に巻回された高張力ファイバによって時間的
に長引かされるので、ケーシングのフランジ部まで伝わ
る力が低減されるので、例えば、成膜装置側の反応チャ
ンバやその配管は、ロータの破損に伴う影響を受けにく
くなる。
【図１】本発明の実施例のターボ分子ポンプの概略断面
図。
図。
【図２】図１のターボ分子ポンプのスペーサリングの部
分図。
分図。
【図３】本発明の他の実施例のターボ分子ポンプの概略
断面図。
断面図。
【図４】図３のターボ分子ポンプの中間筒の部分図。
【図５】従来のターボ分子ポンプの概略断面図。
１１ ケーシング １１ａ 固定翼 １１ｂ 回転翼 １２ ロータ １３ 吸気口部 １４ 排気口部 ３０ スペーサリング ３１ 高張力ファイバ ３２ フランジ ４１ 中間筒
Claims (2)
- 【請求項１】 ケーシングの内部に、スペーサリングに
より固定翼を固定したターボ分子ポンプにおいて、前記
スペーサリングの外周面に、高張力ファイバを巻回した
ことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 【請求項２】 ケーシングの内部に、スペーサリングに
より固定翼を固定したターボ分子ポンプにおいて、前記
スペーサリングとケーシングとの間に、高張力ファイバ
を外周に巻回した中間筒を備えたことを特徴とするター
ボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000110074A JP2001295786A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000110074A JP2001295786A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001295786A true JP2001295786A (ja) | 2001-10-26 |
Family
ID=18622656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000110074A Pending JP2001295786A (ja) | 2000-04-12 | 2000-04-12 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001295786A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102112751A (zh) * | 2008-08-04 | 2011-06-29 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵 |
| JP2015102039A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6291032U (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-10 | ||
| JPH1162879A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ分子ポンプ |
| JPH11280689A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-10-15 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
-
2000
- 2000-04-12 JP JP2000110074A patent/JP2001295786A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6291032U (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-10 | ||
| JPH11280689A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-10-15 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
| JPH1162879A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ターボ分子ポンプ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102112751A (zh) * | 2008-08-04 | 2011-06-29 | 爱德华兹有限公司 | 真空泵 |
| JP2011530041A (ja) * | 2008-08-04 | 2011-12-15 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ |
| JP2015102039A (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3961273B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP5738869B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP3098139B2 (ja) | 複合分子ポンプ | |
| JP2002327698A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2008298287A (ja) | 回転流体機械のロータ用の固定システム | |
| US8727751B2 (en) | Vacuum pumping arrangement | |
| JP2006046074A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2002138987A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2001295786A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH1162879A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4147042B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2008286013A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| KR102450928B1 (ko) | 진공 펌프와 이에 이용되는 스테이터 칼럼과 그 제조 방법 | |
| CN113557360B (zh) | 真空泵、壳及吸气口凸缘 | |
| JPWO2009122506A1 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| US7896625B2 (en) | Vacuum pumping system and method of operating a vacuum pumping arrangement | |
| JP6752945B2 (ja) | ロータ、真空ポンプ、及び、真空ポンプの組立方法 | |
| JP2011027049A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP5136262B2 (ja) | 回転真空ポンプ | |
| US20060099094A1 (en) | Vacuum pumping arrangement and method of operating same | |
| JP3141204U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2008240571A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2002195188A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH10246195A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP4560933B2 (ja) | ターボ分子ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060725 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090121 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090623 |