JP2001291220A - 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents

磁気記録媒体及び磁気記憶装置

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JP2001291220A JP2000107073A JP2000107073A JP2001291220A JP 2001291220 A JP2001291220 A JP 2001291220A JP 2000107073 A JP2000107073 A JP 2000107073A JP 2000107073 A JP2000107073 A JP 2000107073A JP 2001291220 A JP2001291220 A JP 2001291220A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は低ノイズ化を図りつつより高
密度化した磁気記録媒体を提供することである。 【解決手段】 基板上に少なくとも非磁性の下地層とそ
の上方に形成される磁気記録層とを有する磁気記録媒体
であって、前記磁気記録層はCoを主成分として含む共
に、Crを10から18at%未満、Ptを5から12
at%及びBを10から20at%含んだ構成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置等
として使用される磁気記録媒体に関し、より詳しくは高
い信号対ノイズ比(S/N比)を図りしつつ、高密度化
を実現した磁気記録媒体の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ等で使用する磁気記録媒体
としてはランダムアクセスが可能な円板状の磁気ディス
クが広く用いられている。その中でも応答性が優れてい
ること、記憶容量が大きいこと等から、基板にアルミニ
ウムやガラス等の硬質材料を用いた磁気ディスク(HD
D:ハードディスク)が使用されている。従来、このア
ルミ基板等の非磁性基板上にCr下地層を介し、Coを
主成分とする磁性合金からなる磁気記録層を形成して磁
気ヘッドからの磁気的信号を記録するようにしている。
【0003】そして、近年の高度情報化に伴い、上記磁
気ディスク装置に対してますます高密度化への要求が高
くなっている。そのためには磁気記録媒体のノイズレベ
ルを下げること、すなわちS/N比を向上させることが
必要である。その対策としては、磁性粒径を小さくした
り、磁性粒子間の磁気的相互作用の切断等が必要であ
り、Coを主成分とした様々な組成の合金について研究
がなされている。10Gb/inchを越える高記録
密度な磁気記録媒体を実現するためには、磁気記録層を
高保磁力化すると共に低ノイズ化を図ることが必要であ
る。そのような条件を満たす材料として、例えば米国特
許第5523173号にはCo−Pt−Cr−B合金薄
膜が提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記提案においては、
磁気記録層について主成分であるCoの他、Ptが4か
ら12at%、Crが18から23at%、Bが2から
10at%であることが好適な組成範囲であると規定さ
れている。しかし、上述したように高記録密度への要求
に応えるべく長手記録において10Gb/inch
上の高記録密度を実現するには、充分な記録分解能が求
められる。そのためには、磁気記録層を薄膜化すること
が必要となる。
【0005】ところが、上記組成を有する磁気記録層に
おいては、Crを高濃度に維持して低ノイズ化を図るも
のであるため、これに起因して低い飽和磁化(Ms)と
なる傾向がある。よって、このような磁気記録層を有す
る従来の磁気記録媒体では、磁気記録層を薄膜化すると
再生信号の出力が不十分となる。
【0006】したがって、本発明の主な目的は低ノイズ
化を図りつつ、より高密度化させた磁気記録媒体を提供
することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項1に記
載される如く、基板上に少なくとも非磁性の下地層とそ
の上方に形成される磁気記録層とを有する磁気記録媒体
であって、前記磁気記録層は主成分としてCoを含む共
に、Crを10から18at%未満、Ptを5から12
at%及びBを10から20at%含む磁気記録媒体に
より達成される。請求項1記載の発明によれば、低ノイ
ズ化を図りつつ、より高密度化した磁気記録媒体を提供
できる。
【0008】また、請求項2に記載される如く、請求項
1記載の磁気記録媒体において、前記下地層はCrを主
成分とし、Mo、W、Ti、Ir、Ru及びReからな
る群から選択された少なくとも1種類の元素を含有する
合金として構成してもよい。また、請求項3に記載され
る如く、請求項2記載の磁気記録媒体において、前記下
地層はCrを除いた材料の含有量が5から30at%で
ある構成してもよい。
【0009】また、請求項4に記載される如く、請求項
2記載の磁気記録媒体において、前記下地層と前記磁気
記録層の間にhcp構造を有する非磁性金属中間層を有
する構成としてもよい。
【0010】さらに、本発明には請求項5に記載される
如く、請求項1から4いずれかに記載の磁気記録媒体を
含む磁気記録装置を提供することも含む。
【0011】
【発明の実施の形態】以下では本発明の磁気記録媒体を
より詳細に説明する。本発明の磁気記録媒体の磁気記録
層はCoを主成分とし、さらに少なくともCr、Pt、
B(ホウ素)の添加材料を含む構成である。そして、こ
れら添加材料の組成を所定範囲に規定することで従来に
おいては困難とされていた低ノイズ性を備えつつ、さら
に薄膜化し高記録密度化した磁気記録層を実現してい
る。
【0012】一般に、CoにCrを添加するとCoをコ
アとした磁性粒子の周り(粒界)にCrが析出し、Cr
濃度の高い領域を作ることが知られている。ここでCo
磁性粒子間に存在する非磁性のCr濃度の高い部分は磁
性粒子間の磁気的相互作用を低減するのに役立ち、磁気
記録媒体の記録再生特性を向上させる。そして、Bを含
まないCo−Cr系合金ではCr濃度を20at%以上
とすることで磁気的な相互作用が低減されるので低ノイ
ズ化が図られ、良好な記録再生特性が得られるとされて
いる。このCr濃度を高めに設定する傾向は前記米国特
許第5523173号にも表れており、Cr濃度が18
から23at%となっている。
【0013】しかし、本発明者等はCo−Pt−Cr−
Bを含む合金薄膜に関して、Bが上記Crの偏析を促進
させる機能を有することに着目して鋭意研究を行った。
その結果、Cr濃度が18at%未満となるような組成
においても磁気記録層の低ノイズ化を図りつつ、より高
記録密度化を実現できることを確認したものである。特
にBによる効果は、その濃度が高いところで顕著とな
る。Bの濃度は10at%以上、好ましくは10at%
から20at%、より好ましくは10at%から14a
t%である。その反対にCrの濃度は従来より低くな
り、その濃度は18at%未満、好ましくは10at%
から14at%とした場合にCo磁性粒子の孤立・微細
化させた磁気記録層を実現できる。この磁気記録層はC
r組成を高くすることによりCo磁気粒子の孤立・微細
化を行った従来の磁気記録層と比較して高いMsを有す
るのでより薄膜化することが可能となり、高記録密度領
域において高い信号出力を得ることを可能とする。よっ
て、本発明により高記録密度領域においても高いS/N
を得られる磁気記録媒体を得ることができる。また、磁
気記録情報の長期安定化に優れた磁気記録媒体となる。
【0014】次に本実施例にかかる磁気記録媒体10の
概要構成を示す図1に基づき、その製造方法の一例を説
明する。その表面が良く洗浄され、所望のテクスチャ処
理が施されているNiP−Al基板1上に、DCマグネ
トロンスパック装置によりCr90Mo10(原子比
率:at%)である下地層2、Co60PtllCr
14の組成を有する磁気記録層3、炭素(C)系保
護層4を順次積層する。下地層2の成膜前における成膜
室内の真空度を3×10−7Torr以下に排気し、基
板1の温度を220℃程度に加熱した。ここで、各層の
成膜は、成膜室の真空度を5mTorrに保つようにア
ルゴン(Ar)ガスを導入し、印可バイアスを−100
Vとして行なった。下地層2、磁気記録層3の膜厚はそ
れぞれ25nm、16nmとなるように制御した。
【0015】なお、上記下地層2についてはCr系の合
金を広く用いることができ、例えば上記Mo、W、T
i、Ir、Ru及びReから少なくとも1種を選択して
使用するとことが好ましい。この場合に、下地層2の組
成中でCrを除いたこれら材料の濃度は5から30at
%の範囲とし、そのときの下地層2の膜厚は5から30
nm程度に設定することが推奨される。
【0016】さらに、上記磁気記録層3をより望ましい
状態で形成するために下地層2との間に中間層を介して
もよい。この場合には下地層2上に例えばCo−Cr−
Mo等のhcp構造を有する非磁性金属中間層を形成
し、その上に上記磁気記録層3を形成する。また、上記
Moの他、W、Ti、Ta、Nb、Ir、Ru及びRe
から選択した材料を使用してもよく、さらにこれらを組
合せて使用してもよい。なお、この非磁性金属中間層は
1から8nm程度に形成することが推奨される。下記表
1には従来の磁気記録媒体と本実施例で製造した磁気記
録媒体の性能比較を示す。基板、下地層、保護層は双方
において同様の構成とした。すなわち、3.5インチN
iPメッキ付きAl基板(テクスチャ処理あり)、下地
層2としてCr90Mo10を25nm、炭素系の保護
層4を10nmとした。
【0017】それぞれの磁気記録媒体における磁気記録
層の膜厚は、媒体磁性層の残留磁化強度(Mr)と膜厚
の積が同じとなるように調整した。
【0018】従来例の構成では磁気記録層に含まれるC
rが22at%であり、Bが6at%である。一方、本
実施例の磁気記録層に含まれるCrは20at%よりか
なり低濃度の14at%であり、反対にBの濃度が14
at%と高くなっている。
【0019】その結果、磁気記録層3の膜厚が従来18
nmであるのと比較して、約17%も薄くなり、15n
mまで薄膜化が図られている。これと共に、周方向(磁
気ディスクにおけるトラック方向)で測定した保磁力H
cも3500Oeから4200Oeまで大幅に増加して
いる。
【0020】よって、本実施例の磁気記録媒体は従来の
磁気記録媒体よりも高記録密度化が実現されていること
が確認できる。
【0021】表1から明らかなように、孤立波S/N
(Siso/Nm)比こそ同じ値であるが、信号記録密
度270(kfci)におけるS/N(S/Nm)比は
本実施例の磁気記録媒体が従来の磁気記録媒体を1(d
B)以上、上回っている。
【0022】
【表1】 本実施例で示した製造例では、非磁性の支持体としてN
iP−Al基板を用いたが、ガラス基板を用いても同様
な結果を得ることができる。特にガラス基板にNiPを
スバッタリング法で成膜した基板を用いた場合、NiP
−Al基板を用いた場合と同等の結果が得られている。
【0023】なお、前述した製造工程において、NiP
−Al基板を採用する場合は上記磁気記録層3を成膜す
るときの温度を160から320℃程度とするのが好ま
しく、ガラス基板を採用する場合の温度は160から4
00℃程度とするのが好ましい。
【0024】次に、図2及び図3により、本実施例の磁
気記録媒体に関して、Cr濃度及びB濃度を順じ変更し
たときの磁気特性の変化について説明する。
【0025】図2はCr及びB濃度を揃えて変化させた
ときの保磁力Hcについて示す図であり、図3はCr及
びB濃度を揃えて変化させたときの、飽和磁化強度(M
s)と残留磁化強度(Mr)のそれぞれについて示す図
である。
【0026】図2はCo85Pt15にCrBを添加し
た時に、円板状基板の周方向での面内方向の保磁力(H
c;Oe)を示している。CrとBが10at%でHc
は極大値約5200(Oe)という高い値を示してい
る。Cr及びBの濃度が14at%においてもHcは4
000(Oe)以上の値を保持していることが示されて
いる。なお、ここでの保磁力評価にはKerr効果磁力
計を使用した。
【0027】図3はCo85Pt15にCrBを添加し
た時に、飽和磁化強度(Ms;emu/cc)、残留磁
化強度(Mr;emu/cc)それぞれについて示して
いる。Cr及びBの濃度が14at%においても飽和磁
化強度Msは340(emu/cc)を保持している。
【0028】ところで、Co、Ptに関する組成が同等
であり、Cr濃度が高く、Bの濃度が低い従来の低ノイ
ズを指向していた磁気記録媒体(例えばCo62Pt
10Cr22)の飽和磁化強度Msは280emu
/ccであった。本実施例の磁気記録媒体は従来の磁気
記録媒体と比較すると2割以上も高いMs値となる。よ
って、図2及び図3からも本実施例の磁気記録媒体が高
記録密度化に適したものであることが確認できる。
【0029】なお、上記図2及び図3に示した例では、
試験条件の便宜のため、CrとBとを同じ濃度として磁
気特性の確認を行ったが、これに限らず勿論CrとBと
を異なる濃度としてもよい。
【0030】次に、本発明になる磁気記憶装置の一実施
例を、図4及び図5と共に説明する。図4は磁気記憶装
置の一実施例の要部を示す断面図であり、図5は同装置
の要部を示す平面図である。
【0031】図4及び図5に示すように、磁気記憶装置
は大略ハウジング13からなる。ハウジング13内に
は、モータ14、ハブ15、複数の磁気記録媒体10、
複数の記録再生ヘッド17、複数のサスペンション1
8、複数のアーム19及びアクチュエータユニット20
が設けられている。磁気記録媒体10はモータ14によ
り回転されるハブ15に取付けられている。記録再生ヘ
ッド17は、MRヘッドやGMRヘッド等の再生ヘッド
と、インダクティブヘッド等の記録ヘッドとからな複合
型のヘッドである。各記録再生ヘッド17は、対応する
アーム19の先端にサスペンション18を介して取付け
られている。アーム19はアクチュエータユニット20
により駆動される。この磁気記憶装置の基本構成自体は
周知であり、その詳細な説明は本明細書では省略する。
【0032】上記磁気記憶装置の実施例は磁気記録媒体
10に特徴がある。各磁気記録媒体10は、図1から図
3で説明した構成を有する。勿論、磁気記録媒体10の
数は3枚には限定されず、1枚でも、2枚又は4枚以上
であってもよい。
【0033】本磁気記憶装置の基本構成は、図4及び図
5に示すものに限定されるものではない。また、本発明
で用いる磁気記憶媒体は磁気ディスクに限定されるもの
ではない。
【0034】以上本発明の好ましい実施例について詳述
したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【0035】
【発明の効果】以上詳述したところから明らかなように
本発明によれば、Coを主成分としてCr、Pt及びB
を含む組成で形成される磁気記録層を有する磁気記録媒
体おいて、従来と比較してBの濃度をより高くし、かつ
Crの濃度が低くなるようにしたので低ノイズ化を図り
つつ、より高密度化した磁気記録媒体を提供できる。
【0036】そして、このような磁気記録媒体を採用す
る磁気記憶装置は高密度化に対応し、記録再生を高感度
に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例にかかる磁気記録媒体の概要構成につ
いて示す図である。
【図2】実施例の磁気記録層のCr及びB濃度を揃えて
変化させたときの保磁力Hcについて示す図である。
【図3】実施例の磁気記録層のCr及びB濃度を揃えて
変化させたときの、飽和磁化強度(Ms)と残留磁化強
度(Mr)のそれぞれについて示す図である。
【図4】磁気記憶装置の一実施例の要部を示す断面図で
ある。
【図5】磁気記憶装置の一実施例の要部を示す平面図で
ある。
【符号の説明】 1 基板 2 下地層 3 磁気記録層 4 保護層 10 磁気記録媒体 13 ハウジング 17 記録再生ヘッド

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に少なくとも非磁性の下地層とそ
    の上方に形成される磁気記録層とを有する磁気記録媒体
    であって、 前記磁気記録層は主成分としてCoを含む共に、Crを
    10から18at%未満、Ptを5から12at%及び
    Bを10から20at%含む磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 前記下地層はCrを主成分とし、Mo、
    W、Ti、Ir、Ru及びReからなる群から選択され
    た少なくとも1種類の元素を含有する合金からなること
    を特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 前記下地層はCrを除いた材料の含有量
    が5から30at%であることを特徴とする請求項2記
    載の磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 前記下地層と前記磁気記録層の間にhc
    p構造を有する非磁性金属中間層を有することを特徴と
    する請求項1から3いずれかに記載の磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 請求項1から4いずれかに記載の磁気記
    録媒体を含む磁気記録装置。
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