JP2001280309A - 揺動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボディの内部で揺動する揺動部材３と、揺動
部材３に従動するテーブル３１とを備えた揺動アクチュ
エータにおいて、テーブル３１が回転方向にガタついた
り、テーブル３１の揺動角度か変わってしまったりする
のを抑えることができ、もってテーブル３１を高精度に
揺動させることが可能な揺動アクチュエータを提供す
る。 【解決手段】 揺動部材３が、ボディに軸受を介して回
転自在に支持される軸方向一対の回転部３ｇと、この一
対の回転部３ｇの間に配置された軸部３ｃと、一対の回
転部３ｇの間であってかつ軸部３ｃの外周側円周上一箇
所に配置された可動翼３ｄとを一体に備えるとともに、
この揺動部材３にテーブル３１が一体成形されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、揺動アクチュエー
タに係り、更に詳しくは、ボディの内部で揺動する揺動
部材と、ワーク等を取り付けるテーブルとを備え、揺動
部材にテーブルを従動させる機能を備えた揺動アクチュ
エータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１１に示すように、公知の揺動アクチ
ュエータ５１においては、作動流体である圧縮空気の給
排により揺動する揺動部材５２が、可動翼５４を備えた
軸５３と、軸５３に固定されたストッパレバー５５と、
軸５３の上端部に固定されたプレート５６と、ストッパ
レバー５５およびプレート５６に複数のボルト５８によ
り固定されたテーブル５７とよりなる多数の部品群によ
り構成されており、これらの部品群にあって軸５３、プ
レート５６およびテーブル５７が軸方向一対の軸受５９
を介してボディ６０に回転自在に支持されている（実用
新案登録第２５２１７７８号公報参照）。

【０００３】しかしながら、この従来の揺動アクチュエ
ータ５１においては、揺動角度の調整部材６１に衝接す
るストッパレバー５５が上記したように軸５３に固定さ
れるとともに、このストッパレバー５５にテーブル５７
がボルト止めされているために、これらの部品の締結部
に緩みやへたり等が発生し易く、このように締結部に緩
みやへたり等が発生すると、テーブル５７が回転方向に
ガタついたり、テーブル５７の揺動角度が変わってしま
う等の不都合を生じることがある。また、締結部を構成
する構成部品によって製作コストが高いと云う不都合が
あり、上記構成の揺動角度の調整機構を備えているため
にアクチュエータ５１全体が軸方向に大きくなってしま
うと云う不都合もある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の点に鑑
みて、ワーク等の被取付部材を取り付けるテーブルが回
転方向にガタついたり、テーブルの揺動角度か変わって
しまったりするのを抑えることができ、もってテーブル
を高精度に揺動させることが可能な揺動アクチュエータ
を提供することを目的とする。また、部品点数が比較的
少なく、もって製作コストを低く抑えることが可能な揺
動アクチュエータを提供することを目的とする。

【０００５】また、揺動部材に設けられた可動翼が調整
部材に当接するときに大きな捩りモーメントが発生する
のを抑えることができ、もって揺動部材を回転可能に支
持する軸受に大きな負担がかかるのを防止することが可
能な揺動アクチュエータを提供することを目的とする。
また、揺動角度の調整機構を備えていてもアクチュエー
タが軸方向に大きくなることがなく、もってアクチュエ
ータを小型化することが可能な揺動アクチュエータを提
供することを目的とする。

【０００６】また、固定翼をボディに固定する手段を別
途設ける必要がなく、もってこの点からも部品点数を削
減し、製作コストを低く抑えることが可能な揺動アクチ
ュエータを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１による揺動アクチュエータは、ボ
ディの内部で揺動する揺動部材と、前記揺動部材に従動
するテーブルとを備えた揺動アクチュエータにおいて、
前記揺動部材が、前記ボディに軸受を介して回転自在に
支持される軸方向一対の回転部と、前記一対の回転部の
間に配置された軸部と、前記一対の回転部の間であって
かつ前記軸部の外周側円周上一箇所に配置された可動翼
とを一体に備えるとともに、前記揺動部材に前記テーブ
ルが一体成形されていることを特徴とするものである。

【０００８】また、本発明の請求項２による揺動アクチ
ュエータは、ボディと、前記ボディの軸方向の略中央に
穿設され、少なくとも一端が外部に開口する円筒孔と、
前記円筒孔に固定された固定翼と、前記円筒孔内に往復
揺動自在に支持された揺動部材と、前記揺動部材に設け
られた可動翼とを備え、前記円筒孔内に固定翼と可動翼
により仕切られた一対の圧力室に圧縮空気を給排するこ
とにより前記揺動部材を揺動させる揺動アクチュエータ
において、前記揺動部材の一端に前記ボディの一端面よ
り外部に突出するテーブルを一体的に形成するととも
に、前記テーブルの端面に複数のねじ手段を螺設したこ
とを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明の請求項３による揺動アクチ
ュエータは、ボディと、前記ボディの軸方向の略中央に
穿設され、少なくとも一端が外部に開口する円筒孔と、
前記円筒孔に固定された固定翼と、前記円筒孔内に往復
揺動自在に支持された揺動部材と、前記揺動部材に設け
られた可動翼とを備え、前記円筒孔内に固定翼と可動翼
により仕切られた一対の圧力室に圧縮空気を給排するこ
とにより前記揺動部材を揺動させる揺動アクチュエータ
において、前記揺動部材に前記可動翼を一体的に形成す
るとともに、先端が前記可動翼の軸方向略中央に当接可
能に前記一対の圧力室内に突出する一対の調整部材を前
記ボディに進退可能に設けたことを特徴とするものであ
る。

【００１０】また、本発明の請求項４による揺動アクチ
ュエータは、上記した請求項３の揺動アクチュエータに
おいて、ボディを貫通して一対の圧力室内に突出する一
対の調整部材を固定翼に進退可能に螺合したことを特徴
とするものである。

【００１１】上記構成を備えた本発明の請求項１による
揺動アクチュエータにおいては、ボディの内部で揺動す
る揺動部材が、ボディに軸受を介して回転自在に支持さ
れる軸方向一対の回転部と、この一対の回転部の間に配
置された軸部と、一対の回転部の間であってかつ軸部の
外周側円周上一箇所に配置された可動翼とを一体に備え
るとともに、この揺動部材にテーブルが一体成形されて
いるために、この揺動部材は上記構成要素が全て一体物
であって、この揺動部材には部品の締結部が存在しな
い。したがって、上記従来技術のように部品締結部に緩
みやへたり等が発生することがないために、この緩みや
へたり等を原因としてテーブルが回転方向にガタついた
り、テーブルの揺動角度が変わってしまうのを防止する
ことが可能となる。また、部品点数が削減されるため、
製作コストを低減させることが可能となる。

【００１２】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
による揺動アクチュエータにおいては、ボディの円筒孔
内に揺動自在に支持された揺動部材の一端にテーブルが
一体形成されているために、揺動部材とテーブルの間に
部品締結部が存在しない。したがって、上記従来技術の
ように部品締結部に緩みやへたり等が発生することがな
いために、この緩みやへたり等を原因としてテーブルが
回転方向にガタついたり、テーブルの揺動角度が変わっ
てしまうのを防止することが可能となる。また部品点数
が削減されるため、製作コストを低減させることが可能
となる。

【００１３】また、上記構成を備えた本発明の請求項３
による揺動アクチュエータにおいては、揺動部材に可動
翼が一体形成されているために、部品点数を削減するこ
とができ、これにより製作コストを低減させることが可
能となる。また、一対の調整部材の先端が、揺動部材に
設けられた可動翼の軸方向略中央に当接するように構成
されているために、揺動部材に圧縮空気の押圧による捩
りモーメントが発生せず、これにより揺動部材を揺動可
能に支持している軸受に捩りモーメントによる力が作用
するのを防止することが可能となる。また、圧力室内で
調整部材が可動翼に当接するために、揺動角度の調整機
構を備えていてもアクチュエータが軸方向に大きくなる
ことがない。

【００１４】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項４による揺動アクチュエータにおいては、ボ
ディを貫通して一対の圧力室内に突出する一対の調整部
材が固定翼に進退可能に螺合されているために、固定翼
をボディに固定する手段を別途設ける必要がない。

【００１５】

【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施例を図面にし
たがって説明する。

【００１６】図１は、本発明の実施例に係る揺動アクチ
ュエータ１の正面図、図２は右側面図、図３は左側面
図、図４は背面図、図５は平面図、図６は底面図をそれ
ぞれ示している。また、図７は図１におけるＡ−Ａ線断
面図、図８は図２におけるＢ−Ｂ線断面図、図９は図１
におけるＣ−Ｃ線断面図であり、図１０は揺動部材３お
よび一方の調整部材１５の分解斜視図である。

【００１７】当該実施例に係る揺動アクチュエータ１は
ベーン形揺動アクチュエータであって、先ず、軽量でか
つ耐食性および加工性に優れたアルミ合金によって成形
された角筒状のボディ２を有しており、この非磁性体製
のボディ２の軸方向（図１における上下方向）に沿って
略中央に穿設された円筒状の円筒孔（貫通孔とも称す
る）２ａに同じく円筒状の揺動部材（揺動体とも称す
る）３が内挿されている。揺動部材３の軸方向両端部に
形成された一対の縮径部３ａと円筒孔２ａの内面との間
にそれぞれ深溝玉軸受４が配設されており、この一対の
軸受４を介して揺動部材３がボディ２に対して回転自在
に支持されている。

【００１８】円筒孔２ａの上端部に孔用止め輪５が配設
されるとともに、ボディ２の下端面２ｂに円筒孔２ａを
塞ぐ蓋板６が皿小ネジ７によって取り付けられており、
蓋板６が一対の軸受４を孔用止め輪５に押圧することに
より軸方向の隙間が取り除かれている。すなわち、互い
に対向する蓋板６とボディ２の下端面との間に隙間が設
けられて、一対の軸受４の外輪が蓋板６および孔用止め
輪５に圧接しているために、揺動部材３が軸方向にガタ
つくのが防止されている。皿小ネジ７の締付トルクを一
定にすれば、軸受４の内部隙間を一定にすることが可能
である。皿小ネジ７の代わりに蓋板６の外周にねじ手段
を設けて、蓋板６をボディ２に直接ねじ込むようにして
も良い。

【００１９】上記構成により、円筒孔２ａの内径寸法に
略等しい外径寸法を有する比較的大きな一対の軸受４が
ボディ２の軸方向両端に配設されているために、当該ア
クチュエータ１は比較的大きなモーメントを支えること
が可能とされている。すなわち、円筒孔２ａに深溝玉軸
受４を取り付けることで、この深溝玉軸受４は径が大き
くなり、大きな荷重を支えることができる。また、揺動
部材３はボディ２の両端で許容荷重の大きい一対の深溝
玉軸受４に支持されているので、大きな偏心荷重を作用
させることができる。また、深溝玉軸受４はラジアル方
向の荷重の他にスラスト方向の荷重を負荷することがで
きるので、揺動部材３は大きなスラスト荷重を作用させ
ることもできる。一対の深溝玉軸受４の代わりに対向す
る一対のアンギュラ玉軸受を使えば、更に大きなスラス
ト荷重を作用させることもできる。

【００２０】図１０に示すように、円筒形の揺動部材３
は、ボディ２と同様、軽量でかつ耐食性および加工性に
優れたアルミ合金により一体的に成形されており、一対
の縮径部３ａの軸方向内側に一対のフランジ部３ｂを介
して軸部（中心軸部とも称する）３ｃが設けられてお
り、この軸部３ｃから可動翼３ｄが一対のフランジ部３
ｂの外周面まで半径方向に延設されている。縮径部３ａ
およびフランジ部３ｂはこの両者３ａ，３ｂにより円板
状の回転部３ｇを構成しており、軸方向一対の回転部３
ｇの間に軸部３ｃおよび可動翼３ｄが一体成形されてい
る。縮径部３ａは比較的小径の円板形状、フランジ部３
ｂは比較的大径の円板形状であって、この大小の円板体
が同軸上に配置されており、小径部３ａの外周に軸受４
の内輪が嵌合されている。また、一対のフランジ部３ｂ
および可動翼３ｄには円筒孔２ａの内面との間で気密を
保持するシール手段８が設けられており、一対のフラン
ジ部３ｂにはそれぞれ圧縮空気の外部漏れを防ぐＯリン
グ等のシール手段９が設けられている。前者のシール手
段８は、各フランジ部３ｂの外周面に沿って配置された
軸方向一対の周方向部分８ａと、可動翼３ｄの外周面の
周方向両縁部においてそれぞれ軸方向に沿って配置され
た周方向一対の軸方向部分８ｂとを一体に有しており、
これらの部分８ａ，８ｂが一本のエンドレス線をなして
いる。尚、当該実施例では、このシール手段８としてゴ
ム状弾性部材を揺動部材３に焼き付けているが、揺動部
材３に装着溝を形成してこの装着溝にゴム状弾性部材で
製作したトラックシール等を装着するようにしても良
い。

【００２１】ボディ２の円筒孔２ａ内に、固定翼１０が
揺動部材３の一対のフランジ部３ｂに挟まれた状態で配
設されており、この固定翼１０に円筒孔２ａの内面なら
びに揺動部材３の軸部３ｃおよび一対のフランジ部３ｂ
との間で気密を保持するシール手段１１が設けられてい
る。尚、当該実施例では、シール手段１１としてゴム状
弾性部材で製作したトラックシールを装着溝に装着して
いるが、固定翼１０にゴム状弾性部材を焼き付けるよう
にしても良い。

【００２２】揺動部材３の軸部３ｃと一対のフランジ部
３ｂとが交わる角部には滑らかな曲面３ｅが設けられて
おり、固定翼１０のこれに対応する部分にも前記曲面３
ｅに合う滑らかな曲面１０ａが設けられている。したが
ってシール手段８のシール性が高められている。

【００２３】以上の構成により、ボディ２の円筒孔２ａ
内に、揺動部材３の可動翼３ｄおよび固定翼１０により
仕切られた一対の圧力室１２が形成されている。

【００２４】ボディ２の正面２ｃに一対の配管ポート１
３が設けられており、この一対の配管ポート１３が流路
１４を介して一対の圧力室１２に連通している。また同
じくボディ２の正面２ｃに、一対の圧力室１２に開口す
る一対の貫通孔（差込み孔とも称する）２ｄが設けられ
ており、この一対の貫通孔２ｄに一対の調整部材（揺動
部材停止位置調整部材とも称する）１５が差し込まれて
いる。この一対の調整部材１５はそれぞれ圧力室１２内
で固定翼１０に対して進退自在に螺合されており、ボデ
ィ２の外部で固定用ナット１６に螺合している。また、
このナット１６とボディ２との間には、調整部材１５と
貫通孔２ｄの内面との間の気密を保持するシールワッシ
ャ１７が装着されている。

【００２５】この調整部材１５は固定翼１０から圧力室
１２内に突出しており、この調整部材１５の先端部に可
動翼３ｄが揺動時に当接することにより揺動部材３の揺
動が停止せしめられるとともに、この調整部材１５の進
退具合に応じて揺動部材３の揺動角度が調整される。ま
た、この調整部材１５は固定翼１０をボディ２に固定す
る機能を兼ね備えており、これにより固定翼１０をボデ
ィ２に固定する手段を別途必要としないために、製作コ
ストを低く抑えることができるだけでなく、当該アクチ
ュエータ１をコンパクトに構成することが可能とされて
いる。また、この調整部材１５が、配管ポート１３が設
けられたボディ２の正面２ｃに配設されているために、
揺動角度の調整と揺動速度の調整とをボディ２の同一面
で行なうことができ、作業性が頗る良い。また、揺動角
度の調整機構を備えていてもアクチュエータ１が大きく
なったり、アクチュエータ１の取付けに制約が生じたり
することもなく、更には調整部材１５が可動翼３ｄにそ
の軸方向中央ないし略中央で当接するために、当接の際
に捩りモーメントが発生することもない。したがって、
軸受４に捩りモーメントによる力が作用することがな
い。

【００２６】揺動部材３に、その外周面に開口する穴部
３ｆが設けられており、この穴部３ｆ内に被検出体１８
であるマグネットが配設されて接着剤で固定されてい
る。したがって、この被検出体１８は当該アクチュエー
タ１の作動流体である圧縮空気によって脱落したり、揺
動部材３の揺動端で他の部材と衝突して破損したりする
ことがない。

【００２７】ボディの両側面２ｅ，２ｅ’にそれぞれ、
その長手方向に沿ってかつ揺動部材３の揺動中心軸線０
と平行にセンサ取付溝２１が延設されており、このセン
サ取付溝２１にそれぞれ位置検出センサ２２が収容され
ている。この位置検出センサ２２は固定具２５およびね
じ部材２６によりセンサ取付溝２１内で所望の位置に移
動可能に固定されている。また、この位置検出センサ２
２は、センサケース２３内に収容された磁気近接スイッ
チを備えており、揺動部材３の外周面に配設された被検
出体１８であるマグネットの接近によって信号を出力
し、所望の箇所に伝達する。

【００２８】また、ボディ２には、その正面２ｃから背
面２ｇに貫通する複数の貫通孔２ｈが設けられており、
背面２ｇには貫通孔２ｈと同軸に複数の雌ねじ状のねじ
手段２ｉが設けられている。また、ボディ２の背面２ｇ
には、位置決めピンを嵌入する丸孔２ｊおよび長孔２ｋ
がそれぞれ高精度に仕上げられており、これらによりボ
ディ２の取付再現性ないし取付位置の正確性が確保され
ている。

【００２９】また、ボディ２には、その右側面２ｅから
左側面２ｅ’に貫通する複数の貫通孔２ｍが設けられて
おり、右側面２ｅおよび左側面２ｅ’にはそれぞれ貫通
孔２ｍと同軸に複数の雌ねじ状のねじ手段２ｎが設けら
れている。また、右側面２ｅおよび左側面２ｅ’にはそ
れぞれ、位置決めピンを嵌入する丸孔２ｐおよび長孔２
ｑが高精度に仕上げられており、これらによりボディ２
の取付再現性ないし取付位置の正確性が確保されてい
る。

【００３０】また、ボディ２には、その上面２ｆから下
面２ｂに貫通する複数の貫通孔２ｒが設けられており、
上面２ｆおよび下面２ｂにはそれぞれ貫通孔２ｒと同軸
に複数の雌ねじ状のねじ手段２ｓが設けられている。ま
た、下面２ｂにはそれぞれ位置決めピンを嵌入する丸孔
２ｔおよび長孔２ｕが、上面２ｆには円筒孔２ａの端部
および、位置決めピンを嵌入する長孔２ｖがそれぞれ高
精度に仕上げられており、これらによりボディ２の取付
再現性ないし取付位置の正確性が確保されている。

【００３１】尚、上記貫通孔２ｈ，２ｍ，２ｒおよびね
じ手段２ｉ，２ｎ，２ｓは、ボディ２をロボットのヘッ
ドや設備の架台等へ取り付ける取付手段として選択的に
利用される。

【００３２】また、このように当該アクチュエータ１
は、ボディ２の取付面として正面２ｃを除く５面を選択
することができるために、取付自由度が非常に大きいも
のであり、特に上面２ｆを取付面として使用すると、フ
ランジ等の連結部材（図示せず）を１枚介在させるだけ
でボディ２をロボットのヘッドに対して同軸に固定する
ことが容易にでき、設備の製造コストを低く抑えること
ができる。尚、この場合には、ボディ２の上面２ｆから
位置検出センサ２２のリード線２４が延出しているの
で、連結部材には必要な逃げ加工を施すことになる。ま
た、センサケース２３が僅かに飛び出る場合にも同様に
逃げ加工を施すことになる。

【００３３】また、ボディ２内部の揺動部材３には、ボ
ディ２の下面２ｂより外部に突出するテーブル３１が一
体的に設けられており、このテーブルの端面３１ａに、
ワークやツールを取り付けるための複数の雌ねじ状のね
じ手段３１ｂが設けられている。また、位置決めピンを
嵌入する長孔３１ｃや、ワークやツール等を取り付ける
連結板（図示せず）に形成された孔部と嵌合することに
なるテーブル３１の外周面３１ｄが高精度に仕上げられ
ており、これらにより取付再現性ないし取付位置の正確
性が確保されている。

【００３４】この揺動部材３において、軸受４を嵌合す
る一対の縮径部３ａとテーブル３１とはこれらを容易に
同軸加工することが可能である。また、ボディ２の円筒
孔２ａが圧力室１２、軸受４の外輪のハウジングおよび
位置決め孔を兼ね備えているために、上面２ｆ側の円筒
孔２ａの端部開口を基準としたテーブル３１の円周振れ
量を著しく小さくすることができる。また、上記したよ
うに一対の軸受４の外径寸法が円筒孔２ａの内径寸法に
略等しく設定されているために、比較的大きなモーメン
トを支えることができる。更に、テーブル３１と可動翼
３ｄとが一体に成形されているために、テーブル３１と
可動翼３ｄとの間で緩み等が生じることがない。したが
って、これらにより高精度でかつ高剛性の揺動アクチュ
エータ１を提供することができる。

【００３５】つぎに上記構成の揺動アクチュエータ１の
作動について説明する。

【００３６】すなわち先ず、図示しない圧縮空気供給源
および切換弁から一方の配管ポート１３および流路１４
を介して一方の圧力室１２に作動流体である圧縮空気を
供給するとともに、他方の流路１４、配管ポート１３お
よび図示しない切換弁を介して他方の圧力室１２を大気
に開放すると、揺動部材３の可動翼３ｄが圧縮空気によ
り押圧されて揺動部材３が一方向に回転し、可動翼３ｄ
が、固定翼１０から他方の圧力室１２内に突出している
一方の調整部材１５の端部に当接すると、揺動部材３の
回転が停止する。揺動部材３の停止位置ないし揺動角度
の大きさは、調整部材１５の突出量を変更することによ
り容易に調整することが可能である。調整部材１５の端
部が固定翼１０から突出していない場合には、可動翼３
ｄが固定翼１０の端面に直接当接することにより揺動部
材３が停止する。一対の調整部材１５はそれぞれ可動翼
３ｄの軸方向中央ないし略中央に配設されているため
に、当接の際に捩りモーメントが発生することはなく、
軸受４に捩りモーメントによる力が作用することがな
い。ボディ２内部の揺動部材３の可動翼３ｄが揺動範囲
の一方の端限に達したことは、ボディ２外面の一方のセ
ンサ取付溝２１に取付固定された一方の位置検出センサ
２２に内蔵された磁気近接スイッチが被検出体１８であ
るマグネットの磁界を検出することにより検知され、磁
気近接スイッチからリード線２４を介してシーケンサ等
に信号が送られる。

【００３７】すなわち、当該アクチュエータ１において
は、ボディ２外面の両側面２ｅ，２ｅ’に設けられたセ
ンサ取付溝２１にそれぞれ位置検出センサ２２が一つず
つ取り付けられ、揺動部材３がその揺動の両端限で停止
したときにそれぞれ位置検出センサ２２が被検出体１８
のマグネットの磁界を検出して外部に信号を送る。上記
したように揺動部材３は調整部材１５により揺動角度を
調整され、調整の際には揺動部材３の穴部３ｆに配設さ
れた被検出体１８の停止位置も同時に変更される。した
がって、このように被検出体１８の停止位置が変更され
ても位置検出センサ２２が正確に作動するように、位置
検出センサ２２の取付固定位置をセンサ取付溝２１内で
溝幅方向に変更する。

【００３８】つぎに、図示しない切換弁を切り換えて、
他方の配管ポート１３および流路１４を介して他方の圧
力室１２に作動流体である圧縮空気を供給するととも
に、一方の流路１４、配管ポート１３および図示しない
切換弁を介して一方の圧力室１２を大気に開放すると、
揺動部材３の可動翼３ｄが圧縮空気により反対方向に押
圧されて揺動部材３が反対方向に回転し、可動翼３ｄ
が、固定翼１０から一方の圧力室１２内に突出している
他方の調整部材１５の端部に当接すると、揺動部材３の
回転が停止する。揺動部材３の停止位置ないし揺動角度
の大きさは、調整部材１５の突出量を変更することによ
り容易に調整することが可能である。調整部材１５の端
部が固定翼１０から突出していない場合には、可動翼３
ｄが固定翼１０の端面に直接当接することにより揺動部
材３が停止する。ボディ２内部の揺動部材３の可動翼３
ｄが揺動範囲の他方の端限に達したことは、ボディ２外
面の他方のセンサ取付溝２１に取付固定された他方の位
置検出センサ２２に内蔵された磁気近接スイッチが被検
出体１８であるマグネットの磁界を検出することにより
検知され、磁気近接スイッチからリード線２４を介して
シーケンサ等に信号が送られる。

【００３９】

【発明の効果】本発明は、以下の効果を奏する。

【００４０】すなわち先ず、上記構成を備えた本発明の
請求項１による揺動アクチュエータにおいては、ボディ
の内部で揺動する揺動部材が、ボディに軸受を介して回
転自在に支持される軸方向一対の回転部と、この一対の
回転部の間に配置された軸部と、一対の回転部の間であ
ってかつ軸部の外周側円周上一箇所に配置された可動翼
とを一体に備えるとともに、この揺動部材にテーブルが
一体成形されているために、この揺動部材は上記構成要
素が全て一体物であって、この揺動部材には部品の締結
部が存在しない。したがって、上記従来技術のように部
品締結部に緩みやへたり等が発生することがないため
に、この緩みやへたり等を原因としてテーブルが回転方
向にガタついたり、テーブルの揺動角度が変わってしま
うのを防止することができ、これによりテーブルを精度
良く揺動させることができる。また部品点数が削減され
るために、製作コストを低減させることができる。

【００４１】また、上記構成を備えた本発明の請求項２
による揺動アクチュエータにおいては、ボディの円筒孔
内に揺動自在に支持された揺動部材の一端にテーブルが
一体形成されているために、揺動部材とテーブルの間に
やはり部品の締結部が存在しない。したがって、上記従
来技術のように部品締結部に緩みやへたり等が発生する
ことがないために、この緩みやへたり等を原因としてテ
ーブルが回転方向にガタついたり、テーブルの揺動角度
が変わってしまうのを防止することができ、これにより
テーブルを精度良く揺動させることができる。また、部
品点数が削減されるために、製作コストを低減させるこ
とができる。

【００４２】また、上記構成を備えた本発明の請求項３
による揺動アクチュエータにおいては、揺動部材に可動
翼が一体形成されているために、やはり部品点数を削減
することができ、これにより製作コストを低減させるこ
とができる。また、一対の調整部材の先端が、揺動部材
に設けられた可動翼の軸方向略中央に当接するように構
成されているために、揺動部材に圧縮空気の押圧による
捩りモーメントが発生せず、これにより揺動部材を揺動
可能に支持している軸受に捩りモーメントによる力が作
用するのを防止することができ、軸受に大きな負担がか
かるのを防止することができる。また、圧力室内で調整
部材が可動翼に当接するように構成されているために、
揺動角度の調整機構を備えていてもアクチュエータが軸
方向に大きくなることがなく、アクチュエータを小型化
することができる。

【００４３】またこれに加えて、上記構成を備えた本発
明の請求項４による揺動アクチュエータにおいては、ボ
ディを貫通して一対の圧力室内に突出する一対の調整部
材が固定翼に進退可能に螺合されているために、固定翼
をボディに固定する手段を別途設ける必要がなく、この
点からも部品点数を削減して、製作コストを低減させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に揺動アクチュエータの正面図

【図２】同アクチュエータの右側面図

【図３】同アクチュエータの左側面図

【図４】同アクチュエータの背面図

【図５】同アクチュエータの平面図

【図６】同アクチュエータの底面図

【図７】図１におけるＡ−Ａ線断面図

【図８】図２におけるＢ−Ｂ線断面図

【図９】図１におけるＣ−Ｃ線断面図

【図１０】揺動部材および調整部材の分解斜視図

【図１１】従来例に係る揺動アクチュエータの断面図

【符号の説明】

１ 揺動アクチュエータ ２ ボディ ２ａ 円筒孔 ３ 揺動部材 ３ａ 縮径部 ３ｂ フランジ部 ３ｃ 軸部 ３ｄ 可動翼 ３ｇ 回転部 ４ 軸受 ５ 孔用止め輪 ６ 蓋板 ７ 皿小ネジ ８，９，１１ シール手段 １０ 固定翼 １２ 圧力室 １３ 配管ポート １４ 流路 １５ 調整部材 １６ ナット １７ シールワッシャ １８ 被検出体 ２１ センサ取付溝 ２２ 位置検出センサ ２３ センサケース ２４ リード線 ２５ 固定具 ２６ ねじ部材 ３１ テーブル ３１ａ 端面 ３１ｂ ねじ手段 ３１ｃ 長孔 ３１ｄ 外周

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ボディ（２）の内部で揺動する揺動部材
   （３）と、前記揺動部材（３）に従動するテーブル（３
   １）とを備えた揺動アクチュエータ（１）において、 前記揺動部材（３）が、前記ボディ（２）に軸受（４）
   を介して回転自在に支持される軸方向一対の回転部（３
   ｇ）と、前記一対の回転部（３ｇ）の間に配置された軸
   部（３ｃ）と、前記一対の回転部（３ｇ）の間であって
   かつ前記軸部（３ｃ）の外周側円周上一箇所に配置され
   た可動翼（３ｄ）とを一体に備えるとともに、前記揺動
   部材（３）に前記テーブル（３１）が一体成形されてい
   ることを特徴とする揺動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 ボディ（２）と、前記ボディ（２）の軸
   方向の略中央に穿設され、少なくとも一端が外部に開口
   する円筒孔（２ａ）と、前記円筒孔（２ａ）に固定され
   た固定翼（１０）と、前記円筒孔（２ａ）内に往復揺動
   自在に支持された揺動部材（３）と、前記揺動部材
   （３）に設けられた可動翼（３ｄ）とを備え、前記円筒
   孔（２ａ）内に固定翼（１０）と可動翼（３ｄ）により
   仕切られた一対の圧力室（１２）に圧縮空気を給排する
   ことにより前記揺動部材（３）を揺動させる揺動アクチ
   ュエータ（１）において、 前記揺動部材（３）の一端に前記ボディ（２）の一端面
   より外部に突出するテーブル（３１）を一体的に形成す
   るとともに、前記テーブル（３１）の端面（３１ａ）に
   複数のねじ手段（３１ｂ）を螺設したことを特徴とする
   揺動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 ボディ（２）と、前記ボディ（２）の軸
   方向の略中央に穿設され、少なくとも一端が外部に開口
   する円筒孔（２ａ）と、前記円筒孔（２ａ）に固定され
   た固定翼（１０）と、前記円筒孔（２ａ）内に往復揺動
   自在に支持された揺動部材（３）と、前記揺動部材
   （３）に設けられた可動翼（３ｄ）とを備え、前記円筒
   孔（２ａ）内に固定翼（１０）と可動翼（３ｄ）により
   仕切られた一対の圧力室（１２）に圧縮空気を給排する
   ことにより前記揺動部材（３）を揺動させる揺動アクチ
   ュエータ（１）において、 前記揺動部材（３）に前記可動翼（３ｄ）を一体的に形
   成するとともに、先端が前記可動翼（３ｄ）の軸方向略
   中央に当接可能に前記一対の圧力室（１２）内に突出す
   る一対の調整部材（１５）を前記ボディ（２）に進退可
   能に設けたことを特徴とする揺動アクチュエータ。
4. 【請求項４】 ボディ（２）を貫通して一対の圧力室
   （１２）内に突出する一対の調整部材（１５）を固定翼
   （１０）に進退可能に螺合したことを特徴とする請求項
   ３記載の揺動アクチュエータ。