JP2001267397A - ワーク位置決め装置 - Google Patents
ワーク位置決め装置Info
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Abstract
対し非接触でワークの位置決めを行ない得るようにした
ワーク位置決め装置を提供する。 【解決手段】 互いに直交するx、yの二軸方向へ直線
的に移動し得ると共にx、yの二軸を含む面と平行な面
に対し旋回し得るようにした、ワークを支持するための
枠体25と、枠体25に支持されたワークを下面から吸
着して枠体25に対し固定し得るようにしたワーク吸着
装置34と、枠体25がx方向へ移動した際にワークの
x方向の先端部を検出し得るよう、y方向へ間隔を隔て
て配置されたワーク検出装置45,46と、枠体25が
y方向へ移動した際にワークの側縁を検出し得るように
したワーク検出装置47を備える。
Description
に対し接触することなくワークの位置決めを行ない得る
ようにしたワーク位置決め装置に関するものである。
ワークは、製造プロセスにおける各工程で加工や搬送の
ために、必要に応じその位置決めが行なわれるが、従来
の位置決め方法の一例は図11に示されている。
明するための平面図で、ロボット等の移載装置で搬送さ
れて作業テーブル等の所定の場所に載置、支持された基
板等のワークaは、位置決め治具bにより左右両側から
挟まれて左右方向(y方向)の位置決めが行なわれると
共に、位置決め治具cにより前後から挟まれて前後方向
(x方向)の位置決めが行なわれる。
決めは、上述のように位置決め治具b,cを使用して機
械的に行なっており、位置決め治具b,cは位置決めに
際し、ワークaの外周縁部に当接する。このため、各工
程ごとに何度も位置決めを行なうと、ワークaの外周縁
部には傷が付いたり、破損が生じたりする虞があり、製
品の品質が低下してしまう。
周縁部に当接する位置決め治具を用いることなくワーク
の位置決めを行ない得るようにしたワーク位置決め装置
を提供することを目的としてなしたものである。
装置は、互いに交叉する二軸方向へ移動し得ると共に前
記二軸を含む面と平行な面に対し旋回し得るようにし
た、ワークを支持するための枠体と、該枠体が移動する
際に枠体に支持されたワークが枠体に対し移動しないよ
う固定するワーク固定手段と、前記枠体が一方向へ移動
した際に前記ワークの移動方向の端部を検出し得るよ
う、前記移動方向と交叉する方向へ間隔を隔てて配置さ
れた第一、第二のワーク検出手段と、前記枠体が枠体の
前記移動方向に対し交叉する方向へ移動した際にワーク
の移動方向の端部を検出し得るようにした第三のワーク
検出手段を備えたものである。
ーク検出手段によりワークの端部が検出された後、第二
のワーク検出手段によりワークの端部が検出されるまで
のワーク移動方向のずれと、第一、第二のワーク支持手
段との間隔を基として、二軸を含む面に仮想した基準線
に対するワークの傾きを求め、前記枠体を旋回させる駆
動手段に傾きが所定の値となるよう旋回駆動指令を与
え、ワークの傾きが所定の値になったら、第三のワーク
検出手段により端部が検出されるまで、一方向に対し交
叉する方向へ枠体を移動させるための駆動手段に対し駆
動指令を与える演算制御手段を設けたものである。
クが枠体に支持されたことを検出する第四のワーク検出
手段を備える。
ては、ワーク支持手段が吸着パッドを備えており、更に
又、第一のワーク検出手段及び第二のワーク検出手段
は、二軸方向へ位置調整し得ると共に前記二軸を含む面
に対し交叉する方向へ位置調整し得るよう構成されてい
る。
体は一方向へ移動して第一のワーク検出手段によりワー
クの移動方向端部が検出されると共に、第二のワーク検
出手段によりワークの前記移動方向の端部が検出され、
第一のワーク検出手段によりワークの端部が検出された
後、第二のワーク検出手段によりワークの端部が検出さ
れるまでのワーク移動方向のずれと、第一、第二のワー
ク検出手段との間隔を基として、二軸を含む面に仮想し
た基準線に対するワークの傾きが求められ、ワークの傾
きが所定の値となるよう枠体が旋回してワークの一方向
の位置決めが行なわれ、次いで、ワークが支持された枠
体は、第三のワーク検出手段により端部が検出されるま
で一方向と交叉する方向へ移動させられて一方向と交叉
する方向のワークの位置決めが行なわれる。
ワークの外周縁部に接触する位置決め治具を使用するこ
となく、非接触でワークの位置決めを行なうことができ
るため、位置決め作業によりワークの外周縁部に傷が付
いたり、破損が生じたりすることがなく、従って、良好
な品質の製品を得ることができる。
例と共に説明する。
であり、図1は本発明のワークの位置決め装置を含む設
備の全体側面図、図2は図1の平面図、図3は本発明の
ワーク位置決め装置の実施の形態の一例を示す正面図、
図4は図3のIV−IV方向矢視図、図5は図3のV−
V方向矢視図、図6は図3のVI−VI方向矢視図、図
7は本発明のワーク位置決め装置に使用するワーク支持
具の拡大正面図、図8は本発明のワーク位置決め装置に
使用するワーク吸着装置の縦断面図、図9は本発明のワ
ーク位置決め装置に使用する制御手段のブロック図、図
10は本発明のワーク位置決め装置において、ワークの
位置決めを行なう原理を説明するための平面図である。
形状が矩形状で薄板状のワーク2を所定の処理に際し位
置決めするための位置決め装置、3は位置決め装置1の
ワーク搬送方向D上流側に配置され、ワーク2を位置決
め装置1に送給するための産業用ロボット等の移載装
置、4は、位置決め装置1のワーク搬送方向D下流側に
配置され、位置決め装置1により位置決めされて図示し
てない手段により所定の処理が行なわれたワーク2を位
置決め装置1から搬出するための産業用ロボット等の移
載装置である。
いる。すなわち、床面5に支持された枠体6の上面には
支持プレート7が設置されており、支持プレート7にお
ける上部フラット面の略中心位置には、支持プレート7
に搭載された小面積の支持プレート8を介してワーク搬
送方向Dと平行な方向(x方向)へ延在するリニアレー
ル9が取付けられている。又、リニアレール9には、平
面軸受10を介してx方向へ往復動し得るよう支持プレ
ート11が設置されている。
12が水平配置されており、軸線がx方向と平行になる
ようサーボモータ12に接続したボールねじ13は、支
持プレート11下面に取付けたナット(図示せず)に螺
合されている。而して、サーボモータ12を駆動するこ
とによりボールねじ13が回転しナットを送り、その結
果、平面軸受10を介し支持プレート11がリニアレー
ル9に沿いx方向へ往復動し得るようになっている。
ト15を介し支持プレート16が設置されており、支持
プレート16の上面には、平面視でワーク搬送方向Dと
直交する方向(y方向)へ延在するリニアレール17が
取付けられている。又、リニアレール17には、平面軸
受18を介してy方向へ往復移動し得るよう支持プレー
ト19が設置されている。
タ20が水平配置されており、軸線がy方向と平行にな
るようサーボモータ20に接続したボールねじ21は、
支持プレート19下面に取付けたナット(図示せず)に
螺合されている。而して、サーボモータ20を駆動する
ことによりボールねじ21が回転しナットが送られ、そ
の結果、平面軸受18を介し支持プレート19がリニア
レール17に沿いy方向へ往復動し得るようになってい
る。
ーボモータ23が縦向きに配置されており、サーボモー
タ23の上端回転部24の上面には枠体25が取付けら
れている。而して、枠体25は図5に示すように、平面
視でy方向へ所定の間隔で、x方向へ平行且つ水平に延
在する複数の支持部材26,27を備えている。而し
て、支持部材26,27は厚さ方向がy方向に向いてい
る。又、支持部材26は枠体25の幅方向中心側に位置
し、支持部材27は枠体25の幅方向外側に位置してい
る。
中間部には、上面が支持部材26の下端に取付けられる
と共に下面が支持部材27の下端に一致するよう支持部
材27内側側面に取付けられた、平面形状が矩形板状の
接続部材28が接続されており、枠体25の幅方向中心
側に位置する左右の支持部材26,26は、x方向へ所
定の間隔で配設されると共に上面が支持部材26の上端
に一致するようにした接続部材29により接続されてい
る。而して、接続部材28の下面は、直接サーボモータ
23の上端回転部24に取付け得るようになっている。
幅方向外側の支持部材27とは、x方向両端部に位置す
ると共に上面が支持部材26の下端及び幅方向外側の支
持部材27の高さ方向中途部に位置するようにした接続
部材30により接続されており、支持部材26,27と
の間に形成される空間部には、図1、図2に示す移載装
置3,4のフオーク31,32が挿入されるようになっ
ている。
の間隔で、図7に拡大して示すように、樹脂製で上端が
半球状の複数のワーク支持具33が設置されている。而
して、ワーク支持具33の数量及び取付け位置は、位置
決め装置1で取扱うワーク2の大きさ等により決定され
る。
心部に位置するよう、夫々ワーク吸着装置34が配置さ
れている。すなわち、図8に示すように、各接続部材2
9には、下段が大径で上段が小径であり、中間の段が大
径と小径との間の中間径に形成された孔35が、接続部
材29を上下方向へ貫通するよう穿設されており、孔3
5の上段部には、中空円板状で下端外周に形成したフラ
ンジ36aが孔35の中間径から小径に移行する段部に
当接し得るようにした樹脂製の吸着パッド36が嵌合さ
れている。吸着パッド36の上端は、接続部材29の上
面から若干上方へ突出しており、ワーク支持具33の上
端位置よりも僅かに上方へ位置している。
36bの上端部近傍には、中空孔36bを塞ぐよう、中
空孔36bの径方向へ向けて水平な仕切り板36cが形
成されている。又、仕切り板36cの軸線部には、下方
へ突出する突起が形成されていると共に、突起には、上
下方向へ貫通する吸気孔37が穿設され、仕切り板36
cの突起が形成されていない薄肉部には、吸気孔37よ
りも若干大径の複数の吸気孔38が、仕切り板36cを
厚さ方向へ貫通するよう円周方向へ所定の間隔で穿設さ
れている。
材39が嵌合されていると共に、蓋部材39下端外周に
形成したフランジ39aは、孔35下端の大径部に嵌合
して段部に当接し、ボルト40により接続部材29に締
結されている。蓋部材39の上面は吸着パッド36の下
面に対し若干隙間が形成されている。
通し且つ蓋部材39の軸線部に形成された吸気孔41と
連通するようにした吸気孔42が形成されており、吸気
孔41は孔35側に連通し、吸気孔42には排気ホース
が接続されている。
切り板36cよりも下部の部分及び蓋部材39上面に形
成した凹部39bには、フッ素ゴム又はウレタン製で軟
質の補助パッド43が嵌合されている。この補助パッド
43は、上面が円弧状に凹んだ円形の皿状に形成されて
いると共に、下部は円筒状に形成されており、軸線部に
は、上段が大径で下段が小径の吸気孔43aが貫通して
いる。又、吸気孔43a内には吸着パッド36を上方へ
付勢してフランジ36a上面を孔35の段部に当接させ
るようにしたコイルばね44が収納されている。
周縁部は、吸着パッド36の中空孔36b内に嵌入され
て、仕切り板36cと中空孔36bの内周縁部により形
成されるコーナ部に当接されており、補助パッド43の
下端は蓋部材39の凹部39bの底部に当接している。
而して、吸着パッド36は補助パッド43を介し蓋部材
39によっても支持されるようになっており、吸着パッ
ド36が荷重を受けて傾いた場合には、補助パッド43
上端部の皿状の外周部が変形し、吸着パッド36の傾き
を受けるようになっている。
流側には、ワーク搬送方向Dを基準として左右両側に位
置するよう、2個のワーク検出装置45,46が配置さ
れていると共に、支持プレート7の上面には、ワーク搬
送方向Dを基準として左右の何れか一方(図示例では左
側)に位置するよう、ワーク検出装置47が配置されて
いる。ワーク検出装置45,46,47としては例えば
光センサが使用され、投射されてワーク2から反射して
きた光を検出することにより、ワーク2が所定の位置に
所定の状態で在るか否かを検出し得るようになってい
る。
5,46,47の配置位置は、最大のサイズのワーク2
を枠体25のワーク支持具33に支持させた際に、ワー
ク2の製作誤差、位置誤差により考えられる最大の仮想
の外形位置イよりもワーク搬送方向D下流側となってい
る。これは、移載装置3によりワーク2を停止している
枠体25に支持させた際に、ワーク検出装置45,4
6,47が作動しないようにするためである。
整ねじ48,49,50を調整することにより、センサ
本体51,52,53をx方向へ微移動させて水平方向
位置を調整し得るようになっていると共に、各調整ねじ
54,55,56を調整することにより、センサ本体5
1,52,53をy方向へ微移動させて水平方向位置を
調整し得るようになっており、各調整ねじ57,58,
59を調整することにより、センサ本体51,52,5
3をz方向(上下方向)へ微移動させて高さ方向位置を
調整し得るようになっている。
方向へ微移動させるための基本的な構造は、従来公知で
あり、支持プレートの下面に固設したナットにねじを螺
合し、調整ねじを回転操作することによりねじを回転さ
せ、この回転によりナットを介し支持プレートに送りを
与え、これにより各支持プレートを微移動させることに
より、センサ本体51,52,53を三軸方向へ位置調
整し得るようになっている。
における左右の一側(図示例では右側)には、平面方向
(x−y方向)へ若干位置をずらして、ワーク2のサイ
ズを確認するためのワーク検出装置60,61が配置さ
れている。このワーク検出装置60,61はセンサ本体
51,52,53の位置調整を行なうことのない固定型
で、例えば光センサが使用され、投射されてワーク2に
当接し反射してきた光を検出することにより、ワーク2
のサイズを確認し得るようになっている。ワーク検出装
置60,61はワーク位置決め装置1で取扱うワーク2
の大きさの種類が増えれば、それに対応して設置する数
量を増やす必要がある。
61で検出した検出信号V1,V2,V3,V4,V5
は図9に示す演算制御装置62へ与え得るようになって
いると共に、サーボモータ12,20,23には、パル
ス検出器63,64,65が内蔵されており、パルス検
出器63,64,65で検出したパルス信号P1,P
2,P3は演算制御装置62へ与え得るようになってい
る。又、演算制御装置62からは、指令信号V6,V
7,V8をサーボモータ12,20,23に与え得るよ
うになっている。
吸着手段等により把持され、所定位置で待機している枠
体25のワーク支持具33の上面に載置され、支持され
る。この際、ワーク2は先ずワーク吸着装置34の吸着
パッド36上面に当接するが、吸着パッド36はワーク
2の自重により若干下方へ沈むため、ワーク2は何等支
障なくワーク支持具33に支持され且つ吸着パッド36
の上面はワーク2の下面に当接した状態になる。このと
き、ワーク検出装置60,61によりワーク2のサイズ
が確認される。
検出信号V4,V5が出力されて演算制御装置62へ与
えられた場合は、ワーク2は、例えば図5のロに示すよ
うに大型のものであることが確認され、ワーク検出装置
60から検出信号V4が出力されて演算制御装置62へ
与えられた場合は、ワーク2は、例えば図5のハに示す
ように小型のものであることが確認される。
面に載置され支持されたことが確認されると、演算制御
装置62から図示してない真空ポンプに指令が与えられ
て当該真空ポンプが駆動される。そうすると、吸着パッ
ド36の仕切り板36cよりも上部側の中空孔36b内
の空気は、仕切り板36cの吸気孔37,38、補助パ
ッド43の吸気孔43a、蓋部材39の吸気孔41,4
2を経て外部へ排気され、その結果、ワーク吸着装置3
4によりワーク2が吸着され、枠体25に対し固定され
る。
演算制御装置62からサーボモータ12に指令信号V6
が与えられてサーボモータ12が駆動され回転を開始す
る。この場合、サーボモータ20,23には指令信号V
7,V8は与えられないため、サーボモータ20,23
は停止している。
13が回転して支持プレート15をワーク搬送方向D下
流側へ送ると、サーボモータ23の上端回転部24に取
付けられている枠体25もワーク搬送方向D下流側へ移
動し、ワーク2は枠体25と一体でワーク搬送方向D下
流側へ移動する。而して、図10に示すように、平面視
でワーク2がワーク搬送方向D下流側先端部を基準とし
て反時計方向へ傾き、右側が左側よりも、図10に示す
ようにワーク搬送方向D下流側へ突出しているとする。
ク搬送方向D下流側へ移動すると、図10等に示すワー
ク検出装置45,46のうち先ずワーク検出装置46が
ワーク2の進行方向先端部を検出し、検出信号V2が演
算制御装置62へ与えられる。そうすると、サーボモー
タ12に内蔵されたパルス検出器63がカウントを開始
し、パルス信号P1は演算制御装置62へ与えられる。
而して、斯かる状態で継続してサーボモータ12を駆動
し、なおも枠体25と共にワーク2をワーク搬送方向D
下流側へ移動させると、図10等に示すワーク検出装置
45がワーク2の進行方向先端部を検出し、検出信号V
1が演算制御装置62へ与えられ、サーボモータ12へ
は指令信号V6が与えられなくなるため、サーボモータ
12は停止する。
置46からのパルス信号P1を基に、ワーク検出装置4
6がワーク2の先端部を検出してからワーク検出装置4
5がワーク2の先端部を検出するまでのパルス数Pが求
められると共に1パルス当りの枠体25の移動量sが掛
けられ、ワーク検出装置46がワーク2の先端部を検出
してからワーク検出装置45がワーク2の先端部を検出
するまでの枠体25延いてはワーク2のワーク搬送方向
D下流側への移動距離S(=P×s)が求められる。
ワーク搬送方向Dに対し直交する方向(y方向)の間隔
Lは既知であるため、平面視でワーク搬送方向Dに対し
直交する基準線A(図10参照)に対するワーク2の傾
きをθとすると、[数1]の関係が成立する。
る。
の旋回方向及び旋回角度が求まり、演算制御装置62か
らはサーボモータ23へ指令信号V7が出力され、サー
ボモータ23が駆動される。このため、サーボモータ2
3の上端回転部24に取付けられている枠体25延いて
はワーク2が図10において時計方向へ角度θだけ旋回
し、角度θ旋回すると停止する。その結果、ワーク2の
ワーク搬送方向Dに対し平行な方向への位置決めが行な
われる。枠体25延いてはワーク2が角度θだけ旋回し
たか否かは、サーボモータ23に内蔵したパルス検出器
65によりパルス信号P3を検出し、サーボモータ23
のパルス数をカウントすることにより行なわれる。
方向(x方向)の位置決めが終了すると、続いて演算制
御装置62からは指令信号V7がサーボモータ20に与
えられ、サーボモータ20が駆動される。このため、ボ
ールねじ21が回転して支持プレート19が、平面視で
ワーク搬送方向Dに対し直交し且つワーク検出装置47
へ近接する方向へ移動し、その結果、ワーク2の一側部
(図10において下側の端部)がワーク検出装置47に
より検出され、検出信号V3が演算制御装置62へ与え
られる。
号V7が出力されなくなってサーボモータ20は停止
し、これによりワーク2のワーク搬送方向Dと直交する
方向(y方向)の位置決めが終了し、その結果、ワーク
2のx,y両方向の位置決めが完了する。
接触する位置決め治具を使用することなく、非接触でワ
ーク2の位置決めを行なうことができるため、位置決め
作業によりワーク2の外周縁部に傷が付いたり、破損が
生じたりすることがなく、良好な品質の製品を得ること
ができる。
状の板をワークとして位置決めする場合について説明し
たが、矩形状のものに限らず、又、板材に限らず、種々
の形状のワークに対し適用することができること、その
他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え
得ること、等は勿論である。
〜5記載のワーク位置決め装置によれば、ワークの外周
縁部に接触する位置決め治具を使用することなく、非接
触でワークの位置決めを行なうことができるため、位置
決め作業によりワークの外周縁部に傷が付いたり、破損
が生じたりすることがなく、従って、良好な品質の製品
を得ることができるという優れた効果を奏し得る。
体側面図である。
例を示す正面図である。
支持具の拡大正面図である。
吸着装置の縦断面図である。
段のブロック図である。
クの位置決めを行なう原理を説明するための平面図であ
る。
の平面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 互いに交叉する二軸方向へ移動し得ると
共に前記二軸を含む面と平行な面に対し旋回し得るよう
にした、ワークを支持するための枠体と、該枠体が移動
する際に枠体に支持されたワークが枠体に対し移動しな
いよう固定するワーク固定手段と、前記枠体が一方向へ
移動した際に前記ワークの移動方向の端部を検出し得る
よう、前記移動方向と交叉する方向へ間隔を隔てて配置
された第一、第二のワーク検出手段と、前記枠体が枠体
の前記移動方向に対し交叉する方向へ移動した際にワー
クの移動方向の端部を検出し得るようにした第三のワー
ク検出手段を備えたことを特徴とするワーク位置決め装
置。 - 【請求項2】 第一のワーク検出手段によりワークの端
部が検出された後、第二のワーク検出手段によりワーク
の端部が検出されるまでのワーク移動方向のずれと、第
一、第二のワーク検出手段の間隔を基として、二軸を含
む面に仮想した基準線に対するワークの傾きを求め、前
記枠体を旋回させる駆動手段に傾きが所定の値となるよ
う旋回駆動指令を与え、ワークの傾きが所定の値になっ
たら、第三のワーク検出手段により端部が検出されるま
で、一方向に対し交叉する方向へ枠体を移動させるため
の駆動手段に対し駆動指令を与える演算制御手段を設け
た請求項1記載のワーク位置決め装置。 - 【請求項3】 ワークが枠体に支持されたことを検出す
る第四のワーク検出手段を設けた請求項1又は2記載の
ワーク位置決め装置。 - 【請求項4】 ワーク固定手段が吸着パッドを備えた請
求項1、2又は3記載のワーク位置決め装置。 - 【請求項5】 第一のワーク検出手段及び第二のワーク
検出手段を二軸方向へ位置調整し得るようにすると共に
前記二軸を含む面に対し交叉する方向へ位置調整し得る
よう構成した請求項1、2、3又は4記載のワーク位置
決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000074214A JP2001267397A (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | ワーク位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2000074214A JP2001267397A (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | ワーク位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001267397A true JP2001267397A (ja) | 2001-09-28 |
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Family Applications (1)
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JP2000074214A Pending JP2001267397A (ja) | 2000-03-16 | 2000-03-16 | ワーク位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2001267397A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009158875A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Nidec Tosok Corp | アライメント方法 |
JP2012191142A (ja) * | 2011-03-14 | 2012-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板搬送方法 |
WO2013011776A1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-01-24 | シャープ株式会社 | 基板処理装置、および薄膜太陽電池の製造装置 |
-
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- 2000-03-16 JP JP2000074214A patent/JP2001267397A/ja active Pending
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