JPH0768441A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH0768441A JPH0768441A JP24590993A JP24590993A JPH0768441A JP H0768441 A JPH0768441 A JP H0768441A JP 24590993 A JP24590993 A JP 24590993A JP 24590993 A JP24590993 A JP 24590993A JP H0768441 A JPH0768441 A JP H0768441A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置決めされる対象物を装置テーブル上の所
定位置に位置決めする際、対象物にワレ、カケなどを発
生することなく正確に所定位置に配置できる位置決め装
置を提供する。 【構成】 位置決め装置１０は液晶パネル３０を載置す
る装置テーブル１２と、テーブル上に固定される位置決
めプレート１６と、液晶パネル３０を位置決めプレート
１６に突き当てる可動部材１８と、可動部材１８を矢印
Ａ方向に移動させる駆動装置２１とを備える。可動部材
１８はプレート２２を介して駆動装置２１に連結され、
その先端部には一対のパッド２０が取り付けられる。可
動部材１８はプレート２２に対し連結部２４周りで揺動
可能に装着されることで、位置決めプレート１６に対し
曲がって置かれた液晶パネル３０との衝撃を緩和し、同
時に液晶パネル３０のテーブル上姿勢を矯正する。
定位置に位置決めする際、対象物にワレ、カケなどを発
生することなく正確に所定位置に配置できる位置決め装
置を提供する。 【構成】 位置決め装置１０は液晶パネル３０を載置す
る装置テーブル１２と、テーブル上に固定される位置決
めプレート１６と、液晶パネル３０を位置決めプレート
１６に突き当てる可動部材１８と、可動部材１８を矢印
Ａ方向に移動させる駆動装置２１とを備える。可動部材
１８はプレート２２を介して駆動装置２１に連結され、
その先端部には一対のパッド２０が取り付けられる。可
動部材１８はプレート２２に対し連結部２４周りで揺動
可能に装着されることで、位置決めプレート１６に対し
曲がって置かれた液晶パネル３０との衝撃を緩和し、同
時に液晶パネル３０のテーブル上姿勢を矯正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶パネルや半
導体チップなどの対象物（ワーク）を各種処理（加工や
配線、組付けなど）するにあたり、これら対象物を装置
テーブル上の所定位置に正確に配置する位置決め装置に
関する。
導体チップなどの対象物（ワーク）を各種処理（加工や
配線、組付けなど）するにあたり、これら対象物を装置
テーブル上の所定位置に正確に配置する位置決め装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば液晶パネルや半導体チップに代表
されるように、外力によって容易に破損し易く、取り扱
いに充分注意を要する部品などを各種処理するにあたっ
ては、通常、その処理装置は、搬送されてきた製品を装
置盤上の所定位置に位置決めする機構を備えている。図
４は、前工程より搬送されてきた液晶パネルをエージン
グボード（後のエージング工程で使用されるパネル保持
具）に装着するインサータ装置の外観図であり、図４は
このような処理装置に具備される代表的な位置決め機構
の概略図である。
されるように、外力によって容易に破損し易く、取り扱
いに充分注意を要する部品などを各種処理するにあたっ
ては、通常、その処理装置は、搬送されてきた製品を装
置盤上の所定位置に位置決めする機構を備えている。図
４は、前工程より搬送されてきた液晶パネルをエージン
グボード（後のエージング工程で使用されるパネル保持
具）に装着するインサータ装置の外観図であり、図４は
このような処理装置に具備される代表的な位置決め機構
の概略図である。
【０００３】図４に示すインサータ装置４０において、
前工程より搬入された液晶パネル３０は、その先端に吸
着ノズルを備えたクレーンタイプのロボットチャック４
２によってプラスチックケース４４から取り出され、装
置テーブル４６上の特定位置まで搬送され、この後、位
置決め機構４８によって装置テーブル４６上の所定位置
に正確に位置決めされた後、エージングボード５０に装
着される。
前工程より搬入された液晶パネル３０は、その先端に吸
着ノズルを備えたクレーンタイプのロボットチャック４
２によってプラスチックケース４４から取り出され、装
置テーブル４６上の特定位置まで搬送され、この後、位
置決め機構４８によって装置テーブル４６上の所定位置
に正確に位置決めされた後、エージングボード５０に装
着される。
【０００４】位置決め機構４８は、図５に示すような液
晶パネル３０を載置する装置テーブル４６上に、液晶パ
ネル３０を位置決めするための位置決めプレート５０
と、液晶パネル３０を挟む反対位置にパネル３０を位置
決めプレート５０に対して突き当てる可動部材５２とを
備えている。この可動部材４４は、その先端に一対の円
形パッド５４を備え、図中矢印Ｄに示すように、テーブ
ル４６上に固定された位置決めプレート５０に対し、例
えばエアシリンダ（図示せず）などの駆動装置によって
接近、離反可能に構成されている。
晶パネル３０を載置する装置テーブル４６上に、液晶パ
ネル３０を位置決めするための位置決めプレート５０
と、液晶パネル３０を挟む反対位置にパネル３０を位置
決めプレート５０に対して突き当てる可動部材５２とを
備えている。この可動部材４４は、その先端に一対の円
形パッド５４を備え、図中矢印Ｄに示すように、テーブ
ル４６上に固定された位置決めプレート５０に対し、例
えばエアシリンダ（図示せず）などの駆動装置によって
接近、離反可能に構成されている。
【０００５】そして、位置決めプレート５０への液晶パ
ネル３０突き当てにあたっては、一対のパッド５４の間
に液晶パネル３０の角部３０ｂを置くようにして、この
角部３０ｂを頂点として隣接し合う外周二辺３０ａに各
パッド５４接触させ、可動部材５２全体を位置決めプレ
ート５０に向かって接近させることにより、プレート５
０の支持腕部分５０ａに対向する液晶パネル３０の外周
二辺３０ａを、支持腕部分５０ａに密着させ、このよう
にして液晶パネル３０を位置決めプレート５０によって
設定された正規位置に配置するようになっている。
ネル３０突き当てにあたっては、一対のパッド５４の間
に液晶パネル３０の角部３０ｂを置くようにして、この
角部３０ｂを頂点として隣接し合う外周二辺３０ａに各
パッド５４接触させ、可動部材５２全体を位置決めプレ
ート５０に向かって接近させることにより、プレート５
０の支持腕部分５０ａに対向する液晶パネル３０の外周
二辺３０ａを、支持腕部分５０ａに密着させ、このよう
にして液晶パネル３０を位置決めプレート５０によって
設定された正規位置に配置するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た位置決め機構４８においては、ロボットチャック４２
によってテーブル４６上に液晶パネル３０を置いた時
に、図５に点線で示したように、位置決めプレート５０
の支持腕部分５０ａに対して液晶パネル３０の外周二辺
３０ａが平行にならない、いわゆる偏倚状態で置かれる
場合がある。そして、このまま可動部材５２を液晶パネ
ル３０に接触させると、パッド５４と液晶パネル角部３
０ｂが衝突して角部３０ｂにカケやワレを生じたりする
可能性がある。
た位置決め機構４８においては、ロボットチャック４２
によってテーブル４６上に液晶パネル３０を置いた時
に、図５に点線で示したように、位置決めプレート５０
の支持腕部分５０ａに対して液晶パネル３０の外周二辺
３０ａが平行にならない、いわゆる偏倚状態で置かれる
場合がある。そして、このまま可動部材５２を液晶パネ
ル３０に接触させると、パッド５４と液晶パネル角部３
０ｂが衝突して角部３０ｂにカケやワレを生じたりする
可能性がある。
【０００７】更に、この偏倚状態の姿勢でテーブル４６
上を並進した場合、液晶パネル３０の角部３０ｂが支持
腕部分５０ａに当たり、この接触部分から液晶パネル３
０にワレやカケなどが生じたり、この姿勢のままテーブ
ル４６に配置されたままとなる恐れがある。
上を並進した場合、液晶パネル３０の角部３０ｂが支持
腕部分５０ａに当たり、この接触部分から液晶パネル３
０にワレやカケなどが生じたり、この姿勢のままテーブ
ル４６に配置されたままとなる恐れがある。
【０００８】本発明は、このような問題点に鑑み、上述
した液晶パネル３０に限らず、位置決めされる対象物を
装置テーブル上の所定位置に配置するにあたり、仮に、
対象物が位置決め部材に対し正規の状態から偏倚した状
態で置かれたとしても、対象物にワレ、カケなどを発生
することなく正確に位置決めできる位置決め装置を提供
することを目的とする。
した液晶パネル３０に限らず、位置決めされる対象物を
装置テーブル上の所定位置に配置するにあたり、仮に、
対象物が位置決め部材に対し正規の状態から偏倚した状
態で置かれたとしても、対象物にワレ、カケなどを発生
することなく正確に位置決めできる位置決め装置を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による位置決め装置は、位置決めされる対象
物を載置する装置テーブルと、前記装置テーブル上の所
定位置に固定され前記対象物の少なくとも外形輪郭部分
に相補する支持部を備えた位置決め部材と、前記位置決
め部材に対し接近離反可能に装置テーブル上に取り付け
られる可動部材と、前記可動部材を位置決め部材に対し
て駆動する駆動手段とを備えており、前記可動部材は、
前記駆動手段に対して所定角度範囲内で揺動可能に装着
され、以て可動部材と位置決め部材との間に置かれた対
象物の外周を、可動部材を介して位置決め部材の支持部
に対して突き当てることにより対象物を装置テーブル
上、所定位置に配置する。
め、本発明による位置決め装置は、位置決めされる対象
物を載置する装置テーブルと、前記装置テーブル上の所
定位置に固定され前記対象物の少なくとも外形輪郭部分
に相補する支持部を備えた位置決め部材と、前記位置決
め部材に対し接近離反可能に装置テーブル上に取り付け
られる可動部材と、前記可動部材を位置決め部材に対し
て駆動する駆動手段とを備えており、前記可動部材は、
前記駆動手段に対して所定角度範囲内で揺動可能に装着
され、以て可動部材と位置決め部材との間に置かれた対
象物の外周を、可動部材を介して位置決め部材の支持部
に対して突き当てることにより対象物を装置テーブル
上、所定位置に配置する。
【００１０】また好ましい実施例では、前記対象物は、
接合された複数の基板からなる積層体であり、前記位置
決め部材の支持部は、前記積層体の最下層基板の厚さよ
り薄く形成され、対象物を複数基板からなる液晶パネル
とした場合の静電気によるパネル破壊を防止する。
接合された複数の基板からなる積層体であり、前記位置
決め部材の支持部は、前記積層体の最下層基板の厚さよ
り薄く形成され、対象物を複数基板からなる液晶パネル
とした場合の静電気によるパネル破壊を防止する。
【００１１】また、別の好ましい実施例では、前記位置
決め部材は電気的絶縁材料より形成され、液晶パネルの
持つ静電気による悪さを防止する。
決め部材は電気的絶縁材料より形成され、液晶パネルの
持つ静電気による悪さを防止する。
【００１２】
【作用】対象物をその両側から挟む位置決め部材と可動
部材の内、一方の可動部材を駆動手段に対して所定角度
範囲内にて揺動可能とし、位置決め部材に向かう移動に
遊びを持たせることで、仮に対象物が正規の状態から偏
倚した状態で装置テーブル上に配置されるような場合に
は、対象物との接触によって可動部材は自ら揺動し、よ
り安定した状態で対象物を支持しようとする姿勢に変化
し、接触衝撃を緩和する。また、対象物の方も同様に位
置決め部材までの移動過程で、より安定した状態で支持
されようと変位するため、位置決め部材と一点で接触す
ることはなくなる。
部材の内、一方の可動部材を駆動手段に対して所定角度
範囲内にて揺動可能とし、位置決め部材に向かう移動に
遊びを持たせることで、仮に対象物が正規の状態から偏
倚した状態で装置テーブル上に配置されるような場合に
は、対象物との接触によって可動部材は自ら揺動し、よ
り安定した状態で対象物を支持しようとする姿勢に変化
し、接触衝撃を緩和する。また、対象物の方も同様に位
置決め部材までの移動過程で、より安定した状態で支持
されようと変位するため、位置決め部材と一点で接触す
ることはなくなる。
【００１３】
【実施例】図面を参照しながら本発明の実施例を以下、
説明する。図１は、位置決め対象物としての液晶パネル
を盤上の所定位置に配置する位置決め装置の各要部の位
置関係を示す上視図であり、図２はその外観斜視図であ
る。
説明する。図１は、位置決め対象物としての液晶パネル
を盤上の所定位置に配置する位置決め装置の各要部の位
置関係を示す上視図であり、図２はその外観斜視図であ
る。
【００１４】位置決め装置１０は、図示しない他の部所
から液晶パネル３０を吸着して装置テーブル１２上の予
め指定された場所に、本来、図１に実線で示したような
形で配置する吸着ノズル１４を備える。また、液晶パネ
ル３０が最初に置かれるテーブル１２上位置（以下、こ
れを初期位置と呼ぶ）の近傍には、この液晶パネル３０
をテーブル１２上の正規の場所に位置決めするための位
置決めプレート１６がテーブル１２上に固定される。
から液晶パネル３０を吸着して装置テーブル１２上の予
め指定された場所に、本来、図１に実線で示したような
形で配置する吸着ノズル１４を備える。また、液晶パネ
ル３０が最初に置かれるテーブル１２上位置（以下、こ
れを初期位置と呼ぶ）の近傍には、この液晶パネル３０
をテーブル１２上の正規の場所に位置決めするための位
置決めプレート１６がテーブル１２上に固定される。
【００１５】位置決めプレート１６は、矩形の液晶パネ
ル３０をより安定した状態でテーブル１２上に支持する
ため、直交する２つ支持腕部分１６ａを有し、各支持腕
部分１６ａの内側面部分１６ｂ同士は、液晶パネル３０
の隣接し合う外周二辺３０ａと密に接触するべく、液晶
パネル外周輪郭に部分的に相補して直交する。また、こ
の内側面部分１６ｂ同士が交わる部分１６ｃは、外周二
辺３０ａの頂点である角部３０ｂとの衝突を避けるた
め、円弧状に切り欠かれる。
ル３０をより安定した状態でテーブル１２上に支持する
ため、直交する２つ支持腕部分１６ａを有し、各支持腕
部分１６ａの内側面部分１６ｂ同士は、液晶パネル３０
の隣接し合う外周二辺３０ａと密に接触するべく、液晶
パネル外周輪郭に部分的に相補して直交する。また、こ
の内側面部分１６ｂ同士が交わる部分１６ｃは、外周二
辺３０ａの頂点である角部３０ｂとの衝突を避けるた
め、円弧状に切り欠かれる。
【００１６】図１からの視野において、外周二辺３０ａ
のなす角度を二等分する仮想線ｘ上であってかつ液晶パ
ネル３０を挟んで位置決めプレート１６の反対位置に
は、初期位置にある液晶パネル３０を位置決めプレート
１６に対して突き当てる可動部材１８が設けられる。こ
の可動部材１８は、Ｙ字状に二手に分岐された支持腕部
分１８ａと、各支持腕部分１８ａの下方に取り付けられ
液晶パネル３０の外周二辺３０ａ（位置決めプレート１
６に支持される外周二辺３０ａと対向する二辺）を支持
する円形パッド２０とを備える。
のなす角度を二等分する仮想線ｘ上であってかつ液晶パ
ネル３０を挟んで位置決めプレート１６の反対位置に
は、初期位置にある液晶パネル３０を位置決めプレート
１６に対して突き当てる可動部材１８が設けられる。こ
の可動部材１８は、Ｙ字状に二手に分岐された支持腕部
分１８ａと、各支持腕部分１８ａの下方に取り付けられ
液晶パネル３０の外周二辺３０ａ（位置決めプレート１
６に支持される外周二辺３０ａと対向する二辺）を支持
する円形パッド２０とを備える。
【００１７】可動部材１８は、例えば、エアシリンダや
油圧シリンダなどの駆動装置２１によって仮想線ｘ上を
矢印Ａ方向に移動可能であり、位置決めプレート１６に
対し接近、離反可能なように構成されている。しかし
て、本実施例では、この駆動装置２１からの付勢力は、
駆動装置２１に連動して矢印Ａ方向に変位する一片のプ
レート２２（駆動装置の一部）によって可動部材１８へ
と伝達されるが、可動部材１８はプレート２２に対し、
連結部２４を通る軸線Ｂ（図２）周りで旋回可能なよう
に枢着される。尚、この軸線Ｂは、プレート２２の図示
した方向Ａ（又は、仮想線ｘ）に対し直交する位置関係
にあり、更に可動部材１８はプレート２２に対し、図１
に実線で示す、位置決めプレート１６との正対位置か
ら、例えば±２°以内というような所定角度範囲内に亙
って旋回できるように、その旋回範囲を連結部２４に設
けたストッパ（図示せず）などによって規制されてい
る。
油圧シリンダなどの駆動装置２１によって仮想線ｘ上を
矢印Ａ方向に移動可能であり、位置決めプレート１６に
対し接近、離反可能なように構成されている。しかし
て、本実施例では、この駆動装置２１からの付勢力は、
駆動装置２１に連動して矢印Ａ方向に変位する一片のプ
レート２２（駆動装置の一部）によって可動部材１８へ
と伝達されるが、可動部材１８はプレート２２に対し、
連結部２４を通る軸線Ｂ（図２）周りで旋回可能なよう
に枢着される。尚、この軸線Ｂは、プレート２２の図示
した方向Ａ（又は、仮想線ｘ）に対し直交する位置関係
にあり、更に可動部材１８はプレート２２に対し、図１
に実線で示す、位置決めプレート１６との正対位置か
ら、例えば±２°以内というような所定角度範囲内に亙
って旋回できるように、その旋回範囲を連結部２４に設
けたストッパ（図示せず）などによって規制されてい
る。
【００１８】この結果、図１の点線で示したように、仮
に、位置決めプレート１６の各支持腕部分１６ａに対し
て、液晶パネル３０’の外周二辺３０ａ’がそれぞれ平
行にならないような、所謂、正規の初期位置（実線）か
ら若干曲がった形に液晶パネル３０’がテーブル１２上
に置かれた場合、一方の円形パッド２０と外周一辺３０
ａ’との最初の接触の際、可動部材１８は液晶パネル３
０’からの反力を逃がす方向に旋回し、これにより、特
定円形パッド２０と液晶パネル３０’の外周一辺３０
ａ’との局部的な接触による衝撃が緩和される。
に、位置決めプレート１６の各支持腕部分１６ａに対し
て、液晶パネル３０’の外周二辺３０ａ’がそれぞれ平
行にならないような、所謂、正規の初期位置（実線）か
ら若干曲がった形に液晶パネル３０’がテーブル１２上
に置かれた場合、一方の円形パッド２０と外周一辺３０
ａ’との最初の接触の際、可動部材１８は液晶パネル３
０’からの反力を逃がす方向に旋回し、これにより、特
定円形パッド２０と液晶パネル３０’の外周一辺３０
ａ’との局部的な接触による衝撃が緩和される。
【００１９】また、これに伴い液晶パネル３０’側も同
様に、位置決め部材１６までの搬送過程で、パッド２０
からの押圧力を逃がす方向（図１の場合、時計周り方
向）に回転することになり、点線で示した状態から外周
各辺３０ａ’が各支持腕部分１６ａに平行となる位置関
係に徐々に近づき、最終的には各辺３０ａ’が各パッド
２０に支持される最も安定した支持状態で位置決めプレ
ート１６に突き当てられることになる。そして、この可
動部材１８の液晶パネル姿勢矯正作用によって、液晶パ
ネル３０’の角部３０ｂ’と支持腕部分１６ａとの衝突
は回避され、円弧状に切り欠かれた部分１６ｂ内に収め
られることになる。
様に、位置決め部材１６までの搬送過程で、パッド２０
からの押圧力を逃がす方向（図１の場合、時計周り方
向）に回転することになり、点線で示した状態から外周
各辺３０ａ’が各支持腕部分１６ａに平行となる位置関
係に徐々に近づき、最終的には各辺３０ａ’が各パッド
２０に支持される最も安定した支持状態で位置決めプレ
ート１６に突き当てられることになる。そして、この可
動部材１８の液晶パネル姿勢矯正作用によって、液晶パ
ネル３０’の角部３０ｂ’と支持腕部分１６ａとの衝突
は回避され、円弧状に切り欠かれた部分１６ｂ内に収め
られることになる。
【００２０】テーブル１２上において、図２矢印Ｃ方向
より液晶パネル３０及び位置決めプレート１６を見た外
観図を図３に示す。
より液晶パネル３０及び位置決めプレート１６を見た外
観図を図３に示す。
【００２１】ところで、本実施例において位置決め対象
物とされた液晶パネルの中には、図２に示すように、Ｔ
ＦＴ（薄膜トランジスタ）と呼ばれる基板３１上にＣＦ
（カラーフィルタ）と呼ばれるもう１枚の基板３２を接
合したものがあり、このような複数の基板３１，３２を
積層するタイプの液晶パネル３０においては、製造過程
でいずれか一方の基板３１又は３２側に静電気が集中し
て帯電する傾向にある。従って、仮に帯電状態にある液
晶パネル３０を、厚みのある位置決めプレート１６を以
てに位置決めしようとすると、プレート１６が導電性材
料から形成されている場合などは、一方の基板３１（又
は、３２）が持っている静電気がプレート１６を介して
他方の基板３２（又は、３１）へと流れ、液晶パネル３
０自体を電気的に破壊してしまう恐れがある。
物とされた液晶パネルの中には、図２に示すように、Ｔ
ＦＴ（薄膜トランジスタ）と呼ばれる基板３１上にＣＦ
（カラーフィルタ）と呼ばれるもう１枚の基板３２を接
合したものがあり、このような複数の基板３１，３２を
積層するタイプの液晶パネル３０においては、製造過程
でいずれか一方の基板３１又は３２側に静電気が集中し
て帯電する傾向にある。従って、仮に帯電状態にある液
晶パネル３０を、厚みのある位置決めプレート１６を以
てに位置決めしようとすると、プレート１６が導電性材
料から形成されている場合などは、一方の基板３１（又
は、３２）が持っている静電気がプレート１６を介して
他方の基板３２（又は、３１）へと流れ、液晶パネル３
０自体を電気的に破壊してしまう恐れがある。
【００２２】従って、本実施例においては、静電気によ
る液晶パネル破壊に対処するため、図３に示すように、
位置決めプレート１６の厚さＴは、テーブル１２に接す
るＴＦＴ基板３１の厚さｔを越えないように設定され
（Ｔ＜ｔ）、位置決めプレート１６への突き当て時に、
一方の基板３１（又は、３２）から他方の基板３２（又
は３１）への電荷の流れを防止している。尚、この液晶
パネル破壊防止策としては、上述した実施例とは別に、
位置決めプレート１６自体をセラミック、デルリン（絶
縁性樹脂）などの絶縁材料より形成し、位置決めプレー
ト１６の部分で静電気が伝導されないようにしても良
い。この場合には、当然ながら上述したような厚さの規
定はない。
る液晶パネル破壊に対処するため、図３に示すように、
位置決めプレート１６の厚さＴは、テーブル１２に接す
るＴＦＴ基板３１の厚さｔを越えないように設定され
（Ｔ＜ｔ）、位置決めプレート１６への突き当て時に、
一方の基板３１（又は、３２）から他方の基板３２（又
は３１）への電荷の流れを防止している。尚、この液晶
パネル破壊防止策としては、上述した実施例とは別に、
位置決めプレート１６自体をセラミック、デルリン（絶
縁性樹脂）などの絶縁材料より形成し、位置決めプレー
ト１６の部分で静電気が伝導されないようにしても良
い。この場合には、当然ながら上述したような厚さの規
定はない。
【００２３】以上説明したように、本実施例によれば、
液晶パネル３０を位置決めプレート１６に対して移動さ
せる可動部材１８を、プレート２２に対して旋回可能に
接続したため、正規配置状態にない液晶パネル３０との
接触時の衝撃を、可動部材１８の旋回により吸収でき、
ワレやカケ発生を抑制することができる。加えてその旋
回機能により、位置決めプレート１６までの移動過程に
おいて液晶パネル３０の姿勢を正規位置関係に矯正する
ことができ、液晶パネル角部３０ｂとプレート１６との
接触が回避され、同様にワレ、角部カケ発生を防止する
ことができる。更に、本実施例によれば、位置決めプレ
ート１６の厚さをＴＦＴ基板３１の厚さより小さくした
ため、静電気による液晶パネル破壊を防止することがで
きる。尚、位置決めされる対象物は、本実施例の液晶パ
ネルに限定されず、半導体チップやその他の損傷し易い
部品に対しても本位置決め装置は適用可能である。
液晶パネル３０を位置決めプレート１６に対して移動さ
せる可動部材１８を、プレート２２に対して旋回可能に
接続したため、正規配置状態にない液晶パネル３０との
接触時の衝撃を、可動部材１８の旋回により吸収でき、
ワレやカケ発生を抑制することができる。加えてその旋
回機能により、位置決めプレート１６までの移動過程に
おいて液晶パネル３０の姿勢を正規位置関係に矯正する
ことができ、液晶パネル角部３０ｂとプレート１６との
接触が回避され、同様にワレ、角部カケ発生を防止する
ことができる。更に、本実施例によれば、位置決めプレ
ート１６の厚さをＴＦＴ基板３１の厚さより小さくした
ため、静電気による液晶パネル破壊を防止することがで
きる。尚、位置決めされる対象物は、本実施例の液晶パ
ネルに限定されず、半導体チップやその他の損傷し易い
部品に対しても本位置決め装置は適用可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
位置決め装置において対象物を位置決め部材に突き当て
る可動部材を揺動可能とし、位置決め部材に向かう移動
に遊びを持たせることで、可動部材と曲がった状態にあ
る対象物との接触衝撃が緩和され、ワレやカケの発生を
抑えることができる。また、可動部材の揺動により対象
物の曲がった姿勢も矯正され、位置決め精度が向上す
る。
位置決め装置において対象物を位置決め部材に突き当て
る可動部材を揺動可能とし、位置決め部材に向かう移動
に遊びを持たせることで、可動部材と曲がった状態にあ
る対象物との接触衝撃が緩和され、ワレやカケの発生を
抑えることができる。また、可動部材の揺動により対象
物の曲がった姿勢も矯正され、位置決め精度が向上す
る。
【図１】本発明による位置決め装置の上視図である。
【図２】図１の位置決め装置の外観斜視図である。
【図３】図２の矢印ｃ方向より見た装置側方図である。
【図４】従来の位置決め機構を備えたインサータ機の外
観斜視図である。
観斜視図である。
【図５】図４の位置決め機構の上視図である。
１０…位置決め装置 １２…装置テーブル １６…位置決めプレート（位置決め部材） １６ａ…支持腕部分（支持部） １８…可動部材 ２０…円形パッド ２１…駆動装置（駆動手段） ２２…プレート（駆動手段） ２４…連結部 ３０…液晶パネル（対象物） Ａ…可動部材の移動方向 Ｂ…軸線
Claims (3)
- 【請求項１】 位置決めされる対象物を載置する装置テ
ーブルと、前記装置テーブル上の所定位置に固定され前
記対象物の少なくとも外形輪郭部分に相補する支持部を
備えた位置決め部材と、前記位置決め部材に対し接近離
反可能に装置テーブル上に取り付けられる可動部材と、
前記可動部材を位置決め部材に対して駆動する駆動手段
とを備え、可動部材と位置決め部材との間に置かれた対
象物の外周を、可動部材を介して位置決め部材の支持部
に対して突き当てることにより対象物を装置テーブル
上、所定位置に配置する位置決め装置において、 前記可動部材を、前記駆動手段に対して所定角度範囲内
で揺動可能に装着したことを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項２】 前記対象物は、接合された複数の基板か
らなる積層体であり、前記位置決め部材の支持部は、前
記積層体の最下層基板の厚さより薄く形成されることを
特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。 - 【請求項３】 前記位置決め部材は電気的絶縁材料より
形成されることを特徴とする請求項１に記載の位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24590993A JPH0768441A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24590993A JPH0768441A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0768441A true JPH0768441A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=17140639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24590993A Pending JPH0768441A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0768441A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1993
- 1993-09-06 JP JP24590993A patent/JPH0768441A/ja active Pending
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