JP2001253774A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2001253774A5
JP2001253774A5 JP2000063214A JP2000063214A JP2001253774A5 JP 2001253774 A5 JP2001253774 A5 JP 2001253774A5 JP 2000063214 A JP2000063214 A JP 2000063214A JP 2000063214 A JP2000063214 A JP 2000063214A JP 2001253774 A5 JP2001253774 A5 JP 2001253774A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
composition
forming
film
thin plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000063214A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2001253774A (ja
JP4266480B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2000063214A priority Critical patent/JP4266480B2/ja
Priority claimed from JP2000063214A external-priority patent/JP4266480B2/ja
Publication of JP2001253774A publication Critical patent/JP2001253774A/ja
Publication of JP2001253774A5 publication Critical patent/JP2001253774A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4266480B2 publication Critical patent/JP4266480B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2000063214A 2000-03-08 2000-03-08 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ Expired - Fee Related JP4266480B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000063214A JP4266480B2 (ja) 2000-03-08 2000-03-08 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000063214A JP4266480B2 (ja) 2000-03-08 2000-03-08 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2001253774A JP2001253774A (ja) 2001-09-18
JP2001253774A5 true JP2001253774A5 (https=) 2007-03-01
JP4266480B2 JP4266480B2 (ja) 2009-05-20

Family

ID=18583116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000063214A Expired - Fee Related JP4266480B2 (ja) 2000-03-08 2000-03-08 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4266480B2 (https=)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002047011A (ja) * 2000-08-02 2002-02-12 Mitsubishi Materials Corp 緻密質ペロブスカイト型金属酸化物薄膜の形成方法及び緻密質ペロブスカイト型金属酸化物薄膜
JP4580923B2 (ja) * 2003-04-15 2010-11-17 ニッコー株式会社 高周波用低温焼成磁器組成物、その製造方法及び電子部品
JP5177449B2 (ja) * 2007-07-24 2013-04-03 株式会社ニコン 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法
JP2009062564A (ja) 2007-09-05 2009-03-26 Fujifilm Corp ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置
JP5095315B2 (ja) 2007-09-05 2012-12-12 富士フイルム株式会社 ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置
JP4993294B2 (ja) 2007-09-05 2012-08-08 富士フイルム株式会社 ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置
JP2009064859A (ja) 2007-09-05 2009-03-26 Fujifilm Corp ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置
DE102010001246A1 (de) * 2010-01-27 2011-07-28 Robert Bosch GmbH, 70469 Verfahren und Stoffe zur Herstellung einer Piezokeramik für einen Piezoaktor oder ein Piezoaktormodul
JP5418843B2 (ja) * 2010-03-24 2014-02-19 独立行政法人産業技術総合研究所 刺激応答性無機材料粒子及びその製造方法
CN108455985B (zh) * 2018-03-21 2021-05-18 陕西学前师范学院 一种随温度改变颜色的陶瓷材料及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5649316B2 (ja) 圧電薄膜、圧電素子および圧電素子の製造方法
US8646180B2 (en) Method for producing electromechanical transducer, electromechanical transducer produced by the method, liquid-droplet jetting head, and liquid-droplet jetting apparatus
US6419849B1 (en) Method for manufacturing piezoelectric material
CN1514808B (zh) 压电体及其制造方法、具有该压电体的压电元件、喷墨头及喷墨式记录装置
JP3487068B2 (ja) 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
JPH11214763A (ja) 圧電体薄膜素子、これを用いたインクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンタ、並びに、圧電体薄膜素子の製造方法
JP3971279B2 (ja) 圧電体素子の製造方法
JPH09223830A (ja) 圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
JP5245107B2 (ja) 圧電素子、圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド
JP2014135504A (ja) 圧電素子、圧電アクチュエータおよびインクジェット式記録ヘッド
JP2001206769A5 (https=)
JP2011054716A (ja) 電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP2001253774A5 (https=)
JP2004107181A (ja) 圧電体素子形成用組成物、圧電体膜の製造方法、圧電体素子及びインクジェット記録ヘッド
JP2001196652A (ja) 圧電体素子およびその製造方法ならびにそれを用いたインクジェット式プリンタヘッド
JP2019522902A (ja) 優先電界駆動方向における圧電薄膜素子の分極
US20110228014A1 (en) Piezoelectric element, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus
JP2001026110A (ja) セラミック粉末とポリビニリデンフルオライドとの混合体を利用した圧電/電歪マイクロアクチュエータ及びその製造方法
JP3213295B2 (ja) 電気泳動成膜法を利用した圧電/電歪膜型素子の低温形成方法及びその圧電/電歪膜型素子
JP2004111835A (ja) 圧電体素子の製造方法、圧電体素子及びインクジェット式記録ヘッド
JP2004120809A (ja) 無機エレクトレットアクチュエータ及びその製造方法、液滴吐出ヘッド、光学デバイス、圧力センサ、発振器、モータ
JP5305027B2 (ja) 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子
JP2001302347A5 (https=)
JP4905640B2 (ja) 圧電素子、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置
JP6796242B2 (ja) 圧電体薄膜形成用塗工液、その製造方法、並びに圧電体薄膜、及びインクジェット記録ヘッド。