JP2001253774A5 - - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 48
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 11
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Chemical class 0.000 description 6
- 229910052751 metal Chemical class 0.000 description 6
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000063214A JP4266480B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000063214A JP4266480B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001253774A JP2001253774A (ja) | 2001-09-18 |
| JP2001253774A5 true JP2001253774A5 (https=) | 2007-03-01 |
| JP4266480B2 JP4266480B2 (ja) | 2009-05-20 |
Family
ID=18583116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000063214A Expired - Fee Related JP4266480B2 (ja) | 2000-03-08 | 2000-03-08 | 圧電体磁器組成物およびその製造方法、圧電体素子およびその製造方法、ならびに、それを用いたインクジェット式プリンタヘッドおよび超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4266480B2 (https=) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002047011A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-12 | Mitsubishi Materials Corp | 緻密質ペロブスカイト型金属酸化物薄膜の形成方法及び緻密質ペロブスカイト型金属酸化物薄膜 |
| JP4580923B2 (ja) * | 2003-04-15 | 2010-11-17 | ニッコー株式会社 | 高周波用低温焼成磁器組成物、その製造方法及び電子部品 |
| JP5177449B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2013-04-03 | 株式会社ニコン | 移動体駆動方法及び移動体駆動システム、パターン形成方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
| JP2009062564A (ja) | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
| JP5095315B2 (ja) | 2007-09-05 | 2012-12-12 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
| JP4993294B2 (ja) | 2007-09-05 | 2012-08-08 | 富士フイルム株式会社 | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
| JP2009064859A (ja) | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜とその製造方法、強誘電体素子、及び液体吐出装置 |
| DE102010001246A1 (de) * | 2010-01-27 | 2011-07-28 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Verfahren und Stoffe zur Herstellung einer Piezokeramik für einen Piezoaktor oder ein Piezoaktormodul |
| JP5418843B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2014-02-19 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 刺激応答性無機材料粒子及びその製造方法 |
| CN108455985B (zh) * | 2018-03-21 | 2021-05-18 | 陕西学前师范学院 | 一种随温度改变颜色的陶瓷材料及其制备方法 |
-
2000
- 2000-03-08 JP JP2000063214A patent/JP4266480B2/ja not_active Expired - Fee Related
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