JP2001248641A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- cable
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 必要な場合に制御特性の調整を自動的に実行
する磁気軸受装置を提供する。 【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体４を磁気浮上さ
せる電磁石５と、前記回転体の位置を検出する位置セン
サ６とを有する磁気軸受本体１と、前記磁気軸受本体と
接続され、前記位置センサの出力信号に基づいて前記電
磁石５を制御し、制御特性を電源投入時に調整するか否
かを選択する操作手段を有る制御装置２とを備えた。上
記のように構成された磁気軸受装置においては、操作手
段の操作により、制御特性を電源投入時に調整するよう
に選択されている場合は、電源投入時に毎回自動的に制
御特性の調整が行われる。一方、操作手段の操作によ
り、制御特性を電源投入時に調整しないように選択さて
いる場合は、制御特性の調整は実行されず、前回の制御
特性に基づく制御が行われる。
する磁気軸受装置を提供する。 【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体４を磁気浮上さ
せる電磁石５と、前記回転体の位置を検出する位置セン
サ６とを有する磁気軸受本体１と、前記磁気軸受本体と
接続され、前記位置センサの出力信号に基づいて前記電
磁石５を制御し、制御特性を電源投入時に調整するか否
かを選択する操作手段を有る制御装置２とを備えた。上
記のように構成された磁気軸受装置においては、操作手
段の操作により、制御特性を電源投入時に調整するよう
に選択されている場合は、電源投入時に毎回自動的に制
御特性の調整が行われる。一方、操作手段の操作によ
り、制御特性を電源投入時に調整しないように選択さて
いる場合は、制御特性の調整は実行されず、前回の制御
特性に基づく制御が行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気軸受装置に関
し、特にその制御特性の調整に関する。
し、特にその制御特性の調整に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ターボ分子ポンプ等に用いられ
ている磁気軸受を制御する制御装置においては、制御対
象であるターボ分子ポンプが変わるとその都度、位置セ
ンサの出力信号に対する電磁石の制御特性の調整（以
下、センサチューニングという。）を行う必要がある。
近年、制御装置のディジタル化が進んだため、このよう
なセンサチューニングは、ソフトウェアによって比較的
容易に行うことができるようになっている。また、ター
ボ分子ポンプと制御装置とは、ケーブルにより互いに接
続される。このケーブルを、異なる長さのものに取り替
えた場合、位置センサの出力信号レベルの変化等が生じ
る。従って、このような場合にも、センサチューニング
が必要となる。
ている磁気軸受を制御する制御装置においては、制御対
象であるターボ分子ポンプが変わるとその都度、位置セ
ンサの出力信号に対する電磁石の制御特性の調整（以
下、センサチューニングという。）を行う必要がある。
近年、制御装置のディジタル化が進んだため、このよう
なセンサチューニングは、ソフトウェアによって比較的
容易に行うことができるようになっている。また、ター
ボ分子ポンプと制御装置とは、ケーブルにより互いに接
続される。このケーブルを、異なる長さのものに取り替
えた場合、位置センサの出力信号レベルの変化等が生じ
る。従って、このような場合にも、センサチューニング
が必要となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上のことから、ユー
ザーが工場内設備のレイアウトを変更した場合などで、
ターボ分子ポンプと制御装置との組み合わせ変更や、ケ
ーブルの変更をした場合には、ユーザー側の管理責任に
おいて、センサチューニングが行われるべきである。と
ころが、現実には、ユーザー側で確実にセンサチューニ
ングが行われるとは限らず、設備の変更があったにも関
わらず、従前のセンサチューニングのままで使用される
可能性がある。このような場合には、ターボ分子ポンプ
の性能を最大限に発揮させることができないか、また
は、異常となって運転できない。
ザーが工場内設備のレイアウトを変更した場合などで、
ターボ分子ポンプと制御装置との組み合わせ変更や、ケ
ーブルの変更をした場合には、ユーザー側の管理責任に
おいて、センサチューニングが行われるべきである。と
ころが、現実には、ユーザー側で確実にセンサチューニ
ングが行われるとは限らず、設備の変更があったにも関
わらず、従前のセンサチューニングのままで使用される
可能性がある。このような場合には、ターボ分子ポンプ
の性能を最大限に発揮させることができないか、また
は、異常となって運転できない。
【０００４】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、必要な場合に制御特性の調整を自動的に実行する磁
気軸受装置を提供することを目的とする。
は、必要な場合に制御特性の調整を自動的に実行する磁
気軸受装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気軸受装置
は、回転体を磁気浮上させる電磁石と、前記回転体の位
置を検出する位置センサとを有する磁気軸受本体と、前
記磁気軸受本体と接続され、前記位置センサの出力信号
に基づいて前記電磁石を制御し、制御特性を電源投入時
に調整するか否かを選択する操作手段を有する制御装置
とを備えたものである（請求項１）。上記のように構成
された磁気軸受装置においては、操作手段の操作によ
り、制御特性を電源投入時に調整するように選択されて
いる場合は、電源投入時に毎回自動的に制御特性の調整
が行われる。一方、操作手段の操作により、制御特性を
電源投入時に調整しないように選択されている場合は、
制御特性の調整は実行されず、前回の制御特性に基づく
制御が行われる。
は、回転体を磁気浮上させる電磁石と、前記回転体の位
置を検出する位置センサとを有する磁気軸受本体と、前
記磁気軸受本体と接続され、前記位置センサの出力信号
に基づいて前記電磁石を制御し、制御特性を電源投入時
に調整するか否かを選択する操作手段を有する制御装置
とを備えたものである（請求項１）。上記のように構成
された磁気軸受装置においては、操作手段の操作によ
り、制御特性を電源投入時に調整するように選択されて
いる場合は、電源投入時に毎回自動的に制御特性の調整
が行われる。一方、操作手段の操作により、制御特性を
電源投入時に調整しないように選択されている場合は、
制御特性の調整は実行されず、前回の制御特性に基づく
制御が行われる。
【０００６】また、本発明は、回転体を磁気浮上させる
電磁石と、前記回転体の位置を検出する位置センサとを
有する磁気軸受本体と、前記磁気軸受本体と接続され、
前記位置センサの出力信号に基づいて前記電磁石を制御
する制御装置と、前記磁気軸受本体と前記制御装置とを
互いに接続するケーブルとを備えた磁気軸受装置におい
て、前記制御装置と接続される側の前記ケーブルの端部
に、ケーブルの長さに対応する複数の接点パターンを構
成可能な電気接点が設けられ、前記制御装置は、前記接
点パターンを読み取り、読み取った接点パターンが前回
読み取った接点パターンと異なる場合、新しい接点パタ
ーンに応じて制御特性を調整するものであってもよい
（請求項２）。上記のように構成された磁気軸受装置に
おいては、ケーブルの長さが変更されると制御装置によ
って自動的に制御特性の調整が行われる。また、ケーブ
ルの長さが前回と同じであれば、制御特性の調整は行わ
れず、前回の制御特性に基づく制御が行われる。
電磁石と、前記回転体の位置を検出する位置センサとを
有する磁気軸受本体と、前記磁気軸受本体と接続され、
前記位置センサの出力信号に基づいて前記電磁石を制御
する制御装置と、前記磁気軸受本体と前記制御装置とを
互いに接続するケーブルとを備えた磁気軸受装置におい
て、前記制御装置と接続される側の前記ケーブルの端部
に、ケーブルの長さに対応する複数の接点パターンを構
成可能な電気接点が設けられ、前記制御装置は、前記接
点パターンを読み取り、読み取った接点パターンが前回
読み取った接点パターンと異なる場合、新しい接点パタ
ーンに応じて制御特性を調整するものであってもよい
（請求項２）。上記のように構成された磁気軸受装置に
おいては、ケーブルの長さが変更されると制御装置によ
って自動的に制御特性の調整が行われる。また、ケーブ
ルの長さが前回と同じであれば、制御特性の調整は行わ
れず、前回の制御特性に基づく制御が行われる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は、ターボ分子ポンプ（ＴＭ
Ｐ）等の磁気軸受本体１、これを制御する制御装置２、
及び、これらを互いに接続するケーブル３を示すブロッ
ク図である。磁気軸受本体１は、回転体４を非接触支持
する電磁石５及び、回転体４の位置を検出する位置セン
サ６を有している。電磁石５及び位置センサ６への入出
力線はコネクタ（雌）７に導出されている。コネクタ７
には、ケーブル３の一端のコネクタ（雄）８が接続され
ている。ケーブル３の他端のコネクタ（雄）９は、制御
装置２のコネクタ（雌）１０に接続されている。制御装
置２は、ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ）を内
蔵しており、プログラムに基づいて磁気軸受の制御動作
を行う。
Ｐ）等の磁気軸受本体１、これを制御する制御装置２、
及び、これらを互いに接続するケーブル３を示すブロッ
ク図である。磁気軸受本体１は、回転体４を非接触支持
する電磁石５及び、回転体４の位置を検出する位置セン
サ６を有している。電磁石５及び位置センサ６への入出
力線はコネクタ（雌）７に導出されている。コネクタ７
には、ケーブル３の一端のコネクタ（雄）８が接続され
ている。ケーブル３の他端のコネクタ（雄）９は、制御
装置２のコネクタ（雌）１０に接続されている。制御装
置２は、ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ）を内
蔵しており、プログラムに基づいて磁気軸受の制御動作
を行う。
【０００８】図２は、制御装置２の操作パネルレイアウ
トを示す図である。これは、既知の操作パネルに、セン
サチューニングを実行するか否かを選択する操作手段と
しての操作スイッチ１１及び、センサチューニングの表
示灯１２を追加したものである。操作スイッチ１１は、
オルタネート型のランプ付き押しボタンであり、オンで
点灯、オフで消灯する。
トを示す図である。これは、既知の操作パネルに、セン
サチューニングを実行するか否かを選択する操作手段と
しての操作スイッチ１１及び、センサチューニングの表
示灯１２を追加したものである。操作スイッチ１１は、
オルタネート型のランプ付き押しボタンであり、オンで
点灯、オフで消灯する。
【０００９】図３は、上記制御装置２によって実行され
るセンサチューニングに関する動作を示すフローチャー
トである。図において、制御装置２の電源がオンになる
と、制御装置２は、ステップ１０１において、操作スイ
ッチ１１がオンか否かを確認する。ここで、オンであれ
ば、制御装置２はステップ１０２においてセンサチュー
ニングを実行する。センサチューニング中は表示灯１２
（図２）が点灯する。チューニングが成功すれば、制御
装置２はステップ１０３から１０４に進み、磁気浮上を
実行して処理を終える。万一、チューニングが失敗に終
われば、制御装置２はステップ１０３から１０５に進
み、異常の表示灯１３（図２参照）を点灯させて、処理
を終える。一方、上記ステップ１０１において、操作ス
イッチ１１がオフであれば、制御装置２はセンサチュー
ニングを実行することなく、前回のセンサチューニング
に基づく制御特性により、磁気浮上（ステップ１０４）
を実行して、処理を終える。
るセンサチューニングに関する動作を示すフローチャー
トである。図において、制御装置２の電源がオンになる
と、制御装置２は、ステップ１０１において、操作スイ
ッチ１１がオンか否かを確認する。ここで、オンであれ
ば、制御装置２はステップ１０２においてセンサチュー
ニングを実行する。センサチューニング中は表示灯１２
（図２）が点灯する。チューニングが成功すれば、制御
装置２はステップ１０３から１０４に進み、磁気浮上を
実行して処理を終える。万一、チューニングが失敗に終
われば、制御装置２はステップ１０３から１０５に進
み、異常の表示灯１３（図２参照）を点灯させて、処理
を終える。一方、上記ステップ１０１において、操作ス
イッチ１１がオフであれば、制御装置２はセンサチュー
ニングを実行することなく、前回のセンサチューニング
に基づく制御特性により、磁気浮上（ステップ１０４）
を実行して、処理を終える。
【００１０】上記の動作によれば、ユーザーが操作スイ
ッチ１１をオンにしているときは、制御装置２の電源オ
ンと同時に毎回センサチューニングが行われ、ハードウ
ェア（磁気軸受本体１、ケーブル３）の変更の有無に関
わらず、現在のハードウェアに対する最適な磁気軸受制
御が確保される。一方、制御装置２に対して磁気軸受本
体１及びケーブル３が変わらない場合のように、電源オ
ンと同時に毎回センサチューニングを行う必要がないこ
とが明らかである場合には、ユーザーの意思により、操
作スイッチ１１をオフにすれば、センサチューニングは
常に実行されない。従って、無駄なセンサチューニング
を行うことなく、迅速に運転を開始することができる。
ッチ１１をオンにしているときは、制御装置２の電源オ
ンと同時に毎回センサチューニングが行われ、ハードウ
ェア（磁気軸受本体１、ケーブル３）の変更の有無に関
わらず、現在のハードウェアに対する最適な磁気軸受制
御が確保される。一方、制御装置２に対して磁気軸受本
体１及びケーブル３が変わらない場合のように、電源オ
ンと同時に毎回センサチューニングを行う必要がないこ
とが明らかである場合には、ユーザーの意思により、操
作スイッチ１１をオフにすれば、センサチューニングは
常に実行されない。従って、無駄なセンサチューニング
を行うことなく、迅速に運転を開始することができる。
【００１１】次に、上記操作スイッチ１１等と併設又は
単独で設けることができるセンサチューニングシステム
を有する磁気軸受装置について説明する。図４は、図１
におけるケーブル３のコネクタ９と、制御装置２のコネ
クタ１０との接続部の詳細を示す回路図である。コネク
タ９には、磁気軸受制御等のための所定本数の電線（心
線）１４及びこれらと接続されたピン１５が設けられて
いる他、５本のピン１６〜２０が設けられている。これ
ら５本のピン１６〜２０は、複数の接点パターン（詳細
後述）を構成可能な３個のスイッチ２２，２３，２４が
実装された基板２１と図示のように接続されている。す
なわち、各スイッチ２２，２３，２４の一方の接点（左
上側）はピン１６に、他方の接点（左下側）はピン２０
にそれぞれ接続され、各スイッチ２２，２３，２４の共
通接点（右側）はそれぞれピン１７，１８，１９に接続
されている。
単独で設けることができるセンサチューニングシステム
を有する磁気軸受装置について説明する。図４は、図１
におけるケーブル３のコネクタ９と、制御装置２のコネ
クタ１０との接続部の詳細を示す回路図である。コネク
タ９には、磁気軸受制御等のための所定本数の電線（心
線）１４及びこれらと接続されたピン１５が設けられて
いる他、５本のピン１６〜２０が設けられている。これ
ら５本のピン１６〜２０は、複数の接点パターン（詳細
後述）を構成可能な３個のスイッチ２２，２３，２４が
実装された基板２１と図示のように接続されている。す
なわち、各スイッチ２２，２３，２４の一方の接点（左
上側）はピン１６に、他方の接点（左下側）はピン２０
にそれぞれ接続され、各スイッチ２２，２３，２４の共
通接点（右側）はそれぞれピン１７，１８，１９に接続
されている。
【００１２】一方、制御装置２のコネクタ１０には、ピ
ン１５に対する所定本数のコンタクト２５の他、ピン１
６〜２０に対するコンタクト２６〜３０が設けられてい
る。コネクタ２５及び２７〜２９は、ＤＳＰ等を内蔵す
る磁気軸受制御部３１と接続されている。また、コネク
タ２６は、抵抗器３２を介して所定の電源（例えばＤＣ
５Ｖ）と接続され、コネクタ３０は、接地されている。
なお、電源は磁気軸受制御部３１から提供してもよい。
ピン１５〜２０がコネクタ２５〜３０に接続されると、
ピン１５及び１７〜１９が磁気軸受制御部３１に接続さ
れるとともに、ピン１６にはＤＣ５Ｖの電圧が付与さ
れ、ピン２０は接地される。ピン１７〜１９の電位は、
スイッチ２２〜２４の接点パターンによってＨレベル
（５Ｖ）又はＬレベル（０Ｖ）となる。スイッチ２２〜
２４の接点パターンは、ケーブル３の長さに対応して以
下の表１のように決められている。
ン１５に対する所定本数のコンタクト２５の他、ピン１
６〜２０に対するコンタクト２６〜３０が設けられてい
る。コネクタ２５及び２７〜２９は、ＤＳＰ等を内蔵す
る磁気軸受制御部３１と接続されている。また、コネク
タ２６は、抵抗器３２を介して所定の電源（例えばＤＣ
５Ｖ）と接続され、コネクタ３０は、接地されている。
なお、電源は磁気軸受制御部３１から提供してもよい。
ピン１５〜２０がコネクタ２５〜３０に接続されると、
ピン１５及び１７〜１９が磁気軸受制御部３１に接続さ
れるとともに、ピン１６にはＤＣ５Ｖの電圧が付与さ
れ、ピン２０は接地される。ピン１７〜１９の電位は、
スイッチ２２〜２４の接点パターンによってＨレベル
（５Ｖ）又はＬレベル（０Ｖ）となる。スイッチ２２〜
２４の接点パターンは、ケーブル３の長さに対応して以
下の表１のように決められている。
【００１３】
【表１】
【００１４】例えば、ケーブル３の長さが２０ｍである
場合には、スイッチ２２，２３，２４の接点はそれぞ
れ、Ｈ側，Ｌ側，Ｌ側であるから、図４に示すように設
定してからコネクタ９を閉じる。磁気軸受制御部３１に
は予め表１に示すテーブルが記憶されており、従って、
接点パターン、すなわちコネクタ２７〜２９の電位から
ケーブル３の長さを識別することができる。
場合には、スイッチ２２，２３，２４の接点はそれぞ
れ、Ｈ側，Ｌ側，Ｌ側であるから、図４に示すように設
定してからコネクタ９を閉じる。磁気軸受制御部３１に
は予め表１に示すテーブルが記憶されており、従って、
接点パターン、すなわちコネクタ２７〜２９の電位から
ケーブル３の長さを識別することができる。
【００１５】図５は、上記制御装置２（磁気軸受制御部
３１）によって実行されるセンサチューニングに関する
動作を示すフローチャートである。但し、当該制御装置
２には、操作スイッチ１１を設けていないものとする。
図において、制御装置２の電源がオンになると、制御装
置２は、ステップ２０１において、接点パターンを読み
取る。ここで、接点パターンが前回から変更されている
場合は、制御装置２はステップ２０２からステップ２０
３に進み、センサチューニングを実行する。チューニン
グが成功すれば、制御装置２はステップ２０４から２０
５に進み、磁気浮上（ステップ２０５）を実行して処理
を終える。万一、チューニングが失敗に終われば、制御
装置２はステップ２０４から２０６に進み、異常の表示
灯１３（図２）を点灯させて、処理を終える。一方、上
記ステップ２０２において、接点パターンの変更がなけ
れば、制御装置２はセンサチューニングを実行すること
なく、磁気浮上（ステップ２０５）を実行して、処理を
終える。
３１）によって実行されるセンサチューニングに関する
動作を示すフローチャートである。但し、当該制御装置
２には、操作スイッチ１１を設けていないものとする。
図において、制御装置２の電源がオンになると、制御装
置２は、ステップ２０１において、接点パターンを読み
取る。ここで、接点パターンが前回から変更されている
場合は、制御装置２はステップ２０２からステップ２０
３に進み、センサチューニングを実行する。チューニン
グが成功すれば、制御装置２はステップ２０４から２０
５に進み、磁気浮上（ステップ２０５）を実行して処理
を終える。万一、チューニングが失敗に終われば、制御
装置２はステップ２０４から２０６に進み、異常の表示
灯１３（図２）を点灯させて、処理を終える。一方、上
記ステップ２０２において、接点パターンの変更がなけ
れば、制御装置２はセンサチューニングを実行すること
なく、磁気浮上（ステップ２０５）を実行して、処理を
終える。
【００１６】上記のような処理によれば、ケーブル３の
長さが変更されると自動的にセンサチューニングが実行
される。従って、ユーザーの注意力に依存することな
く、常に最適な磁気軸受制御が実行される。また、ケー
ブル３の長さが同じであれば、センサチューニングは実
行されず、直ちに磁気浮上の状態となる。従って、無駄
なセンサチューニングを行うことなく、迅速に運転を開
始することができる。上記スイッチ２２，２３，２４を
実装した基板２１は、接点パターンによって使い分ける
ため、ハードウェアとしては共通の部材である。従っ
て、長さの異なる各ケーブルごとに回路素子（例えば抵
抗器）を変える構成等に比べて、製造が容易であり、部
材を誤って取り付けることがない。また、接点パターン
は目視によって容易に確認できるため、接点パターンの
誤設定も生じにくい。また、万一、誤設定をした場合で
も、検査時に容易にこれを修正することができる。
長さが変更されると自動的にセンサチューニングが実行
される。従って、ユーザーの注意力に依存することな
く、常に最適な磁気軸受制御が実行される。また、ケー
ブル３の長さが同じであれば、センサチューニングは実
行されず、直ちに磁気浮上の状態となる。従って、無駄
なセンサチューニングを行うことなく、迅速に運転を開
始することができる。上記スイッチ２２，２３，２４を
実装した基板２１は、接点パターンによって使い分ける
ため、ハードウェアとしては共通の部材である。従っ
て、長さの異なる各ケーブルごとに回路素子（例えば抵
抗器）を変える構成等に比べて、製造が容易であり、部
材を誤って取り付けることがない。また、接点パターン
は目視によって容易に確認できるため、接点パターンの
誤設定も生じにくい。また、万一、誤設定をした場合で
も、検査時に容易にこれを修正することができる。
【００１７】なお、操作スイッチ１１（図２）に基づく
センサチューニングと、接点２２，２３，２４の接点パ
ターンに基づくセンサチューニングとを併用することも
できる。図６は、そのような場合における制御装置２の
動作の一例を示すフローチャートである。図において、
制御装置２の電源がオンになると、制御装置２は、ステ
ップ１０１において、操作スイッチ１１がオンか否かを
確認する。ここで、オンであれば、制御装置２はステッ
プ１０２においてセンサチューニングを実行する。チュ
ーニングが成功すれば、制御装置２はステップ１０３か
ら１０４に進み、磁気浮上を実行して処理を終える。万
一、チューニングが失敗に終われば、制御装置２はステ
ップ１０３から１０５に進み、異常の表示灯１３（図
２）を点灯させて、処理を終える。一方、上記ステップ
１０１において、操作スイッチ１１がオフであれば、制
御装置２は、ステップ２０１において、接点パターンを
読み取る。ここで、接点パターンが前回から変更されて
いる場合は、制御装置２はステップ２０２からステップ
１０２に進み、センサチューニングを実行する。接点パ
ターンが変更されていない場合は、センサチューニング
を実行することなく、磁気浮上（ステップ１０４）を実
行して、処理を終える。このような動作によれば、操作
スイッチ１１がオフであっても、ケーブル３が変更され
ている場合にはセンサチューニングが実行される。
センサチューニングと、接点２２，２３，２４の接点パ
ターンに基づくセンサチューニングとを併用することも
できる。図６は、そのような場合における制御装置２の
動作の一例を示すフローチャートである。図において、
制御装置２の電源がオンになると、制御装置２は、ステ
ップ１０１において、操作スイッチ１１がオンか否かを
確認する。ここで、オンであれば、制御装置２はステッ
プ１０２においてセンサチューニングを実行する。チュ
ーニングが成功すれば、制御装置２はステップ１０３か
ら１０４に進み、磁気浮上を実行して処理を終える。万
一、チューニングが失敗に終われば、制御装置２はステ
ップ１０３から１０５に進み、異常の表示灯１３（図
２）を点灯させて、処理を終える。一方、上記ステップ
１０１において、操作スイッチ１１がオフであれば、制
御装置２は、ステップ２０１において、接点パターンを
読み取る。ここで、接点パターンが前回から変更されて
いる場合は、制御装置２はステップ２０２からステップ
１０２に進み、センサチューニングを実行する。接点パ
ターンが変更されていない場合は、センサチューニング
を実行することなく、磁気浮上（ステップ１０４）を実
行して、処理を終える。このような動作によれば、操作
スイッチ１１がオフであっても、ケーブル３が変更され
ている場合にはセンサチューニングが実行される。
【００１８】
【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の磁気軸受装置によれば、制御
特性を電源投入時に調整するように選択されている場合
には、電源投入時に毎回自動的に制御特性の調整が行わ
れるので、制御装置に接続されているハードウェアの変
更の有無に関わらず、現在のハードウェアに対する最適
な磁気軸受制御を行うことができる。一方、制御特性を
電源投入時に調整しないように選択されている場合は、
制御特性の調整が行われないので、迅速に磁気浮上を実
行して、運転を開始することができる。
効果を奏する。請求項１の磁気軸受装置によれば、制御
特性を電源投入時に調整するように選択されている場合
には、電源投入時に毎回自動的に制御特性の調整が行わ
れるので、制御装置に接続されているハードウェアの変
更の有無に関わらず、現在のハードウェアに対する最適
な磁気軸受制御を行うことができる。一方、制御特性を
電源投入時に調整しないように選択されている場合は、
制御特性の調整が行われないので、迅速に磁気浮上を実
行して、運転を開始することができる。
【００１９】請求項２の磁気軸受装置によれば、ケーブ
ルの長さが変更されると制御装置によって自動的に制御
特性の調整が行われるので、ケーブルを変更した場合で
も、ユーザーの注意力に依存することなく、最適な磁気
軸受制御を行うことができる。また、ケーブルの長さが
前回と同じであれば、制御特性の調整は行われないの
で、迅速に磁気浮上を実行して、運転を開始することが
できる。
ルの長さが変更されると制御装置によって自動的に制御
特性の調整が行われるので、ケーブルを変更した場合で
も、ユーザーの注意力に依存することなく、最適な磁気
軸受制御を行うことができる。また、ケーブルの長さが
前回と同じであれば、制御特性の調整は行われないの
で、迅速に磁気浮上を実行して、運転を開始することが
できる。
【図１】ターボ分子ポンプ等の磁気軸受本体、これを制
御する制御装置、及び、これらを互いに接続するケーブ
ルを示すブロック図である。
御する制御装置、及び、これらを互いに接続するケーブ
ルを示すブロック図である。
【図２】上記制御装置の操作パネルレイアウトを示す図
である。
である。
【図３】上記制御装置によって実行される制御特性の調
整に関する動作を示すフローチャートである。
整に関する動作を示すフローチャートである。
【図４】図１におけるケーブルのコネクタと、制御装置
のコネクタとの接続部の詳細を示す回路図である。
のコネクタとの接続部の詳細を示す回路図である。
【図５】図４における制御装置（磁気軸受制御部）によ
って実行される制御特性の調整に関する動作を示すフロ
ーチャートである。
って実行される制御特性の調整に関する動作を示すフロ
ーチャートである。
【図６】制御装置によって実行される制御特性の調整に
関する動作の他の例を示すフローチャートである
関する動作の他の例を示すフローチャートである
１ 磁気軸受本体 ２ 制御装置 ３ ケーブル ４ 回転体 ５ 電磁石 ６ 位置センサ ８，９ コネクタ １１ 操作スイッチ ２２，２３，２４ スイッチ
Claims (2)
- 【請求項１】回転体を磁気浮上させる電磁石と、前記回
転体の位置を検出する位置センサとを有する磁気軸受本
体と、 前記磁気軸受本体と接続され、前記位置センサの出力信
号に基づいて前記電磁石を制御し、制御特性を電源投入
時に調整するか否かを選択する操作手段を有する制御装
置とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。 - 【請求項２】回転体を磁気浮上させる電磁石と、前記回
転体の位置を検出する位置センサとを有する磁気軸受本
体と、 前記磁気軸受本体と接続され、前記位置センサの出力信
号に基づいて前記電磁石を制御する制御装置と、 前記磁気軸受本体と前記制御装置とを互いに接続するケ
ーブルとを備えた磁気軸受装置において、 前記制御装置と接続される側の前記ケーブルの端部に、
ケーブルの長さに対応する複数の接点パターンを構成可
能な電気接点が設けられ、 前記制御装置は、前記接点パターンを読み取り、読み取
った接点パターンが前回読み取った接点パターンと異な
る場合、新しい接点パターンに応じて制御特性を調整す
ることを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000058843A JP2001248641A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000058843A JP2001248641A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 磁気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001248641A true JP2001248641A (ja) | 2001-09-14 |
Family
ID=18579378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000058843A Pending JP2001248641A (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001248641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200049761A (ko) * | 2017-11-03 | 2020-05-08 | 그리 그린 리프리저레이션 테크놀로지 센터 컴퍼니 리미티드 오브 주하이 | 자기 서스펜션 베어링의 와이어링 구조, 압축기 및 에어컨 |
-
2000
- 2000-03-03 JP JP2000058843A patent/JP2001248641A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200049761A (ko) * | 2017-11-03 | 2020-05-08 | 그리 그린 리프리저레이션 테크놀로지 센터 컴퍼니 리미티드 오브 주하이 | 자기 서스펜션 베어링의 와이어링 구조, 압축기 및 에어컨 |
| JP2021508363A (ja) * | 2017-11-03 | 2021-03-04 | グリー グリーン リフリッジレイション テクノロジー センター カンパニー リミテッド オブ チューハイ | 磁気軸受、圧縮機、および空気調整器の接続ワイヤー構造体 |
| US11174898B2 (en) | 2017-11-03 | 2021-11-16 | Gree Green Refrigeration Technology Center Co., Ltd. Of Zhuhai | Wiring structure of magnetic suspension bearing, compressor and air conditioner |
| KR102366043B1 (ko) | 2017-11-03 | 2022-02-23 | 그리 그린 리프리저레이션 테크놀로지 센터 컴퍼니 리미티드 오브 주하이 | 자기 서스펜션 베어링의 와이어링 구조, 압축기 및 에어컨 |
| JP7214711B2 (ja) | 2017-11-03 | 2023-01-30 | グリー グリーン リフリッジレイション テクノロジー センター カンパニー リミテッド オブ チューハイ | 磁気軸受、圧縮機、および空気調整器の接続ワイヤー構造体 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050811 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060627 |