JP2001221902A

JP2001221902A - 光学素子の加工方法

Info

Publication number: JP2001221902A
Application number: JP2000031313A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Yano; 敦矢野; Kaoru Morimitsu; 薫森光; Kazuya Yamada; 和也山田; Taiji Togawa; 泰二外川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2000-02-09
Filing date: 2000-02-09
Publication date: 2001-08-17

Abstract

(57)【要約】【課題】レンズ等の光学素子の研削研磨加工、心取加
工、コート処理、接合処理等の各加工処理工程および各
工程間の光学素子の清浄検査工程において、光学素子の
加工処理作業の効率向上と加工コストを削減する。【解決手段】レンズＬに対する研削研磨加工、心取加
工、コート処理等の各加工処理や各工程間のレンズの洗
浄、検査を行なうレンズの加工方法において、レンズＬ
を収容可能なレンズ収容孔３ａを多数設けたレンズパレ
ット片２ａに多数のレンズＬを収納保持して、研削研磨
装置や心取装置等に投入し、また、レンズの洗浄検査や
コート処理等に際しては、多数のレンズＬを収納したレ
ンズパレット片２ａに他のレンズパレット片２ｂを重ね
合わせて両レンズパレット片２ａ、２ｂ間に多数のレン
ズＬを保持固定し、この状態で一括してレンズの洗浄、
検査やコート処理を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カメラ、ビデオカ
メラ、ピックアップレンズ、半導体機器等に用いられる
レンズ等の光学素子の加工方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カメラ、ビデオカメラ、ピックアップレ
ンズあるいは半導体機器等に用いられるレンズ等の光学
素子（以下、単にレンズともいう）の加工工程あるいは
処理工程は、レンズを鏡面に仕上げる研削研磨工程と、
研磨終了後のレンズ両鏡面の曲率中心を結ぶレンズ光軸
を一致させるためにレンズの外径を研削する心取工程
と、レンズの光量制御、表面保護、反射防止等の目的
で、表面に薄膜処理を施すコート処理工程と、レンズの
光学設計上の色収差の除去、フレアー、ゴースト防止等
の目的で凹レンズと凸レンズを貼り合わせる接合処理工
程に大別され、これらの研削研磨工程、心取工程、コー
ト処理工程、接合処理工程の工程間でのレンズの移動や
レンズを運搬するときの荷姿は、通常、レンズを直接収
納した部品箱により行なわれていた。また、レンズの研
磨加工後や心取り加工後、さらにレンズ同士を貼り合わ
せる接合前に、レンズの清浄化の目的で、レンズの表面
の脱脂や汚れ等を除去する洗浄工程が必要不可欠であ
り、この洗浄工程でのレンズの荷姿は、レンズの形状別
に対応した専用の洗浄用カゴにレンズを直接収容した状
態で、各工程間でレンズの超音波洗浄が実施され、さら
に、洗浄後にレンズの品質を確認する検査が行なわれて
いる。

【０００３】以下に、上述した従来のレンズの加工処理
工程を図６ないし図９を参照してさらに説明する。

【０００４】図６にレンズの加工処理工程の概要を示
し、研削研磨工程は、研削装置あるいは研磨装置により
レンズ表面を機械加工する工程であって、レンズプレス
ブランクを投入し、粗研削加工、精研削加工および研磨
（みがき）加工で段階的にレンズの表面を加工し、各加
工によりレンズを所望の形状精度と球面精度、さらに鏡
面精度に仕上げる工程である。レンズブランク投入から
粗研削加工、精研削加工、研磨加工の各加工間における
レンズの移動やレンズを運搬するときの荷姿あるいは各
加工を行なうときのレンズの荷姿は、図７に示すように
レンズＬを直接収納する部品箱１０１ａにより行なわれ
ていた。すなわち、レンズの機械加工に際しては、レン
ズＬを部品箱１０１ａから直接人手により１つ１つ取り
出し、粗研削装置、精研削装置、研磨装置の各加工装置
それぞれにレンズＬを装着して加工を行ない、加工終了
後に各加工装置から人手によりレンズＬを１つ１つ部品
箱１０１ａに戻されていた。また、半自動化さらに自動
化された粗研削装置、精研削装置、研磨装置等の各加工
装置においては、オートハンド等により、レンズＬを部
品箱１０１ａから１つ１つ自動的に取り出し、各加工装
置それぞれにレンズＬを装着して加工を行ない、そし
て、加工終了後に各加工装置からオートハンド等により
レンズＬを取り外して１つ１つ自動的に部品箱１０１ａ
に戻されている。以上のように研削研磨工程において
は、粗研削加工、精研削加工により、レンズの両曲率面
を所望の形状精度と所望の球面精度に加工し、次いで、
研磨加工によって、レンズの両曲率面を所望の鏡面精度
に加工する。これらの研削研磨加工が終了したレンズＬ
は、研磨加工直後に、図８に示すような専用の洗浄用カ
ゴ１０２ａに人手により１つ１つ収納され、レンズ鏡面
の品質が損なわないように、ある一定量、液中等にレン
ズを一時保管している。

【０００５】洗浄用カゴ１０２ａに収納されて液中等に
一時保管されたレンズＬは、研磨終了後の品質確認と研
磨加工時の汚れ等の除去のために、超音波洗浄によりレ
ンズ表面を洗浄しその後乾燥させている。そして、研磨
加工終了後の検査工程においては、洗浄および乾燥され
たレンズＬを洗浄用カゴ１０２ａから人手により１つ１
つ取り出し、研磨加工後の品質確認のための外観上の検
査を行なっている。外観検査の終了と同時にレンズＬ
を、レンズの外観上の品質を損なわないように、他の綺
麗な部品箱１０１ｂ（図７）に人手により１つ１つ移し
替え、綺麗な部品箱１０１ｂに収納されたレンズＬは、
形状精度と曲率精度の最終的な検査を行なう。そして、
最終検査がなされ綺麗な部品箱１０１ｂに収納された研
磨完了後のレンズＬは、次工程の心取工程へ移動運搬さ
れる。

【０００６】心取工程は、前工程の研削研磨工程で既に
レンズ両面を鏡面研磨したレンズＬを、心取加工装置に
より所望の精度にレンズの外径を研削する工程であっ
て、心取加工前のレンズＬは、外観上の検査後に使用し
た綺麗な部品箱１０１ｂから、心取加工専用の部品箱１
０１ｃ（図７）に人手により１つ１つ規則正しく並ぶよ
うに移し替えられる。心取加工専用の部品箱１０１ｃ内
に規則正しく並べられて収納されたレンズＬは、自動化
された心取加工装置のオートハンドにより部品箱１０１
ｃからレンズＬを取り出し、心取加工装置にレンズＬを
装着し、レンズＬの外径を研削加工する。外径研削加工
すなわち心取加工後に、レンズＬは装置から取り出さ
れ、部品箱１０１ｃへ自動的に収納される。

【０００７】心取加工後の洗浄工程は、心取加工時にレ
ンズＬに付着する研削油等の汚れの除去と次工程のコー
ト処理工程でレンズの表面に薄膜処理を施すためにレン
ズの表面を清浄化する工程である。洗浄するレンズＬ
は、心取加工で自動的に部品箱１０１ｃに収納されたレ
ンズＬを人手により１つ１つ（心取加工後の）洗浄用カ
ゴ１０２ｂ（図８）へと移し替え、専用の洗浄用カゴに
収納されたレンズＬを洗浄装置に投入して超音波洗浄
し、洗浄したレンズＬを乾燥させて仕上げる。洗浄装置
で洗浄および乾燥されたレンズＬは、レンズの清浄度や
レンズの品質確認のために人手による検査を行ない、同
時にコート装置にレンズＬを装着するために、レンズＬ
は人手により１つ１つ専用の洗浄用カゴ１０２ｂから図
９に示すコート装置の専用ヤトイ（以下、単にヤトイと
もいう。）１０３に移し替えてレンズＬを固定する。

【０００８】コート処理工程は、前記洗浄工程でヤトイ
１０３に収納されたレンズＬをコート装置に装着し、レ
ンズ表面に薄膜処理を施す工程であり、ヤトイ１０３に
固定されたレンズＬの片面に薄膜処理を施し、そして、
コート装置の反転機能によりヤトイ１０３に固定された
レンズＬが反転され、もう一方のレンズ面に薄膜処理が
施される。薄膜処理後、コート装置からヤトイ１０３を
外し、ヤトイ１０３に固定されたレンズＬを人手により
１つ１つ部品箱１０１ｄ（図７）に移し替える。

【０００９】コート処理工程後の洗浄工程は、薄膜処理
後レンズＬに付着した大気中のごみや汚れ等を除去し、
レンズＬの接合表面を清浄化する工程である。接合する
レンズＬは、凹レンズと凸レンズそれぞれを心取工程で
外径を研削しさらにコート処理工程で薄膜処理後、部品
箱１０１ｄに収納されたレンズを、人手により凹レンズ
と凸レンズ１つ１つを組み合わせて洗浄用カゴ１０２ｃ
（図８）へと移し替え、洗浄用カゴ１０２ｃに収納され
たペアの凹レンズと凸レンズを洗浄装置に投入してレン
ズＬを超音波洗浄し、レンズＬを乾燥させて仕上げてい
る。

【００１０】接合処理工程は、洗浄装置で洗浄、乾燥さ
れたペアのレンズＬの接合面を、例えば紫外線硬化性の
接着剤等で貼り合わせ、接着剤を硬化させている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
レンズの加工、処理工程においては、研削研磨工程では
レンズを収納するために部品箱１０１を使用し、レンズ
洗浄時にはレンズ個別の専用の洗浄用カゴ１０２を使用
しているために、研磨加工終了直後に、レンズを加工装
置から洗浄用カゴ１０２に人手により１つ１つ移し替え
る作業を必要としている。さらに、コート処理工程の薄
膜処理後にレンズを収納するために部品箱１０１を使用
し、薄膜処理前あるいは接合処理工程のレンズ同士の貼
り合わせ前のレンズ洗浄時にレンズ個別の専用の洗浄用
カゴ１０２を使用するために、部品箱１０１から専用の
洗浄用カゴ１０２へ人手によりレンズを１つ１つ移し替
える作業を必要としている。また、コート処理工程前の
レンズ洗浄後には、専用の洗浄用カゴ１０２から専用ヤ
トイ１０３へ人手によりレンズを１つ１つ移し替える作
業を必要とし、コート処理工程の薄膜処理後に、専用ヤ
トイ１０３から部品箱１０１へ人手によりレンズを１つ
１つ移し替える作業が必要となる。

【００１２】このように人手によりレンズを１つ１つ移
し替える作業は、作業者の労力と時間を費やし、さら
に、レンズ個別各々に専用の洗浄用カゴや専用のヤトイ
を必要とする。すなわち、各工程において専用の工具を
保有しなくてはならないために、専用工具の保管スペー
スの確保と専用工具の工具費用が膨大なものとなってい
た。

【００１３】そこで、本発明は、上記の従来技術の有す
る未解決の課題に鑑みてなされたものであって、レンズ
等の光学素子の加工処理における研削研磨加工、心取加
工、コート処理、接合処理等の各加工処理工程および各
加工処理工程間の光学素子の清浄検査工程において、光
学素子の加工処理作業の効率向上と加工コストを削減す
ることができる光学素子の加工方法を提供することを目
的とするものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光学素子の加工方法は、光学素子に対し
て、研削研磨加工、心取加工およびコート処理、さらに
必要に応じて接合処理を行ない、また、前記の各加工処
理工程間に光学素子の洗浄、検査を行なうことにより、
光学素子を作製する光学素子の加工方法において、前記
光学素子の研削研磨加工および心取加工に際しては、多
数の光学素子収容孔を備えた光学素子パレット片の光学
素子収容孔にそれぞれ光学素子を収納して、該光学素子
に対して前記加工を行ない、前記光学素子のコート処理
または接合処理、および前記各加工処理工程間の洗浄、
検査に際しては、前記光学素子を前記光学素子収容孔に
それぞれ収納保持する前記光学素子パレット片に該光学
素子パレット片と略同様に形成された他の光学素子パレ
ット片を重ね合わせて、前記両光学素子パレット片間に
前記光学素子を挟み込んで保持固定して、該両光学素子
パレット片間に保持固定された光学素子に対して前記処
理および前記洗浄、検査を行なうことを特徴とする。

【００１５】本発明の光学素子の加工方法において、前
記光学素子の洗浄に際して、前記多数の光学素子を挟み
込んで保持固定する両光学素子パレット片を立てた状態
で複数収納できる洗浄用パレットカゴを用いて前記光学
素子の洗浄を行なうことが好ましい。

【００１６】本発明の光学素子の加工方法において、接
合処理を行なう対の光学素子の加工に際しては、前記対
の光学素子のそれぞれの心取加工が終了した後に、対と
なる光学素子間に一枚の光学素子パレット片を介装させ
て、前記対の光学素子を三枚の光学素子パレット片の間
に保持固定することが好ましい。

【００１７】本発明の光学素子の加工方法において、前
記光学素子パレット片の光学素子収容孔は、収納する光
学素子の心取加工前の外径と心取加工後の外径にそれぞ
れ対応しうる２段溝構造を有していることが好ましい。

【００１８】

【作用】本発明の光学素子の加工方法によれば、レンズ
等の光学素子の研削研磨加工、心取加工等の各加工処理
工程において、多数のレンズ収容孔を備えたレンズパレ
ット片のレンズ収容孔にそれぞれレンズを収納保持し、
また、コート処理、接合処理等の各加工処理工程および
各加工処理工程間の洗浄検査工程において、レンズを収
納保持するレンズパレット片に他のレンズパレット片を
重ね合わせて固定することにより、両レンズパレット片
間にレンズを保持固定し、洗浄検査およびコート処理や
接合処理を多数のレンズに対して一括して行なうように
し、レンズの加工処理の各工程で多数のレンズを収納可
能なレンズパレットを共通して使用する。これにより、
レンズの加工処理の各工程におけるレンズの移し替え作
業に関わる作業効率を大きく向上させることができ、さ
らに、加工処理工程で必要とする工具のコストの削減お
よび工具保管スペースの大幅な削減を可能にする。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２０】（実施例１）本発明に基づくレンズの加工
方法の一実施例を図１、図２および図６を参照して説明
する。

【００２１】先ず、レンズに対する研削研磨加工、心取
加工、コート処理、接合処理等の各加工処理工程および
各加工処理工程間において、共通して使用することがで
きるレンズパレットについて図１を参照して説明する。

【００２２】図１において、レンズパレット１は、複数
のレンズＬを挟み込んで保持固定することができるよう
に形成された一対のレンズパレット片２ａ、２ｂからな
り、レンズパレット片２ａは、レンズＬを収納保持する
ための複数のレンズ収容孔３ａが所望の精度で加工形成
された厚み３ｍｍの金属製で１１０ｍｍ×１１０ｍｍの
大きさに形成され、レンズ収容孔３ａは、それぞれ、収
容するレンズＬの外形に相当する大きさに形成されたレ
ンズ保持部分４ａが一方の面に設けられ、このレンズ保
持部分４ａから反対側の面に向けてテーパー状に拡開さ
れており、レンズ保持部分４ａは、収容するレンズＬの
心取工程前のレンズ外径ｄ₁ とレンズＬの心取工程後の
レンズ外径ｄ₂ の違いにも対応できるように２段溝構造
５ａを有している。なお、レンズ収容孔３ａの大きさと
その数については、収容するレンズＬの外径寸法の違い
に応じてその大きさが適宜替えられ、またレンズＬの外
径寸法の違いに応じてレンズ収容孔数も異なってそれぞ
れ設定される。

【００２３】他方のレンズパレット片２ｂは、レンズパ
レット片２ａと同様に、複数のレンズ収容孔３ｂが所望
の精度寸法をもって同じ大きさに加工形成されており、
レンズ収容孔３ｂは、レンズパレット片２ａのレンズ収
容孔３ａと同様に、２段溝構造５ｂに形成されたレンズ
保持部分４ｂを有し、そして外方に向けてテーパー状に
拡開されている。なお、レンズ収容孔３ｂは、収容する
レンズＬの表面の曲率半径の違い、あるいは凸レンズや
凹レンズ等の形状の違いに応じて、レンズパレット片２
ａのレンズ収容孔３ａの形状と微妙に異なる形状に適宜
形成される。

【００２４】また、図１の（ａ）および（ｂ）におい
て、７は位置決めピンであって、両レンズパレット片２
ａ、２ｂを重ね合わせた際に、両レンズパレット片２
ａ、２ｂのレンズ収容孔３ａ、３ｂがそれぞれ対応する
ように両レンズパレット片２ａ、２ｂの位置出しをする
ためのものであり、さらに、両レンズパレット片２ａ、
２ｂを対応させた状態で固定させる機能もする。

【００２５】以上のように形成された両レンズパレット
片２ａ、２ｂを用いてレンズＬを挟み込み保持した状態
を図１の（ｃ）に図示する。両レンズパレット片２ａ、
２ｂのそれぞれのレンズ収容孔３ａ、３ｂにレンズＬを
収納するようにして両レンズパレット片２ａ、２ｂを固
定することにより、レンズＬは、両レンズパレット片２
ａ、２ｂの間に隙間を介在させて確実に挟み込まれて保
持される。したがって、レンズＬの洗浄時等において
も、レンズＬは両レンズパレット片２ａ、２ｂのレンズ
収容孔３ａ、３ｂで両面を露出した状態で両レンズパレ
ット片２ａ、２ｂに確実に保持固定されているので、レ
ンズＬを脱落させることなくレンズＬの洗浄を行なうこ
とができ、さらに、レンズパレット片２ａ、２ｂは、レ
ンズＬの両表面を露出させた状態で保持固定できるの
で、レンズの洗浄後の外観検査においては、レンズＬを
両レンズパレット片２ａ、２ｂに保持固定した状態で行
なうことができ、さらに、コート工程の薄膜処理加工時
に使用するヤトイの役割を果たすこともできる。

【００２６】図２に示すレンズパレット専用の洗浄用カ
ゴ（以下、単にパレットカゴという。）１１は、レンズ
パレット片２ａおよび２ｂからなるレンズパレット１内
に挟み込んだレンズＬを洗浄するときに用いるための洗
浄用カゴであり、パレットカゴ１１は、レンズパレット
１を立てた状態で２列に並列して複数収容できる大きさ
に形成された矩形状の枠体１２と、枠体１２の相対向す
る両側枠に固定されてレンズパレット１を保持する凹部
を所定の間隔をもって複数形成された保持ガイド１３、
１４とから構成され、保持ガイド１３はレンズパレット
１の下面側を保持するためのものであり、レンズパレッ
トの１列に対して２個形成され、また、保持ガイド１４
はレンズパレット１の側面を保持するためのものであ
り、枠体１２の中央部に固定された保持ガイド１４ａは
その両側にそれぞれレンズパレット１を保持する凹部が
形成され、枠体１２の両端部に固定された保持ガイド１
４ｂ、１４ｂは保持ガイド１４ａに形成された凹部にそ
れぞれ対向するように凹部が形成されている。したがっ
て、パレットカゴ１１は、複数のレンズＬを挟み込んだ
レンズパレット１を保持ガイド１３と１４のそれぞれの
凹部に係合させて収納することにより、レンズパレット
１を立てた状態で保持することができ、図示する例で
は、１１枚のレンズパレット１を２列で合計２２枚のレ
ンズパレット１を収納できるように構成されている。

【００２７】次に、本発明に基づくレンズの加工方法に
つき、接合処理を必要としない単体レンズの加工処理に
ついて、レンズの研削研磨加工工程から心取加工工程、
コート処理工程、および各加工処理工程間での洗浄検査
工程において、前述したレンズパレットおよびパレット
カゴを使用する態様について説明する。なお、接合処理
を必要としない単体レンズＬとして、図１の（ｃ）に示
すような、Φ５の両凸レンズを例にとって説明する。

【００２８】Φ５の両凸レンズＬを保持し固定して収納
する１１０ｍｍ×１１０ｍｍの大きさで金属製のレンズ
パレット片２ａには、図１の（ａ）に示すように、Φ５
の両凸レンズＬを収容するためのレンズ収容孔３ａが８
×８＝６４個、規則正しく配列されており、収納できる
レンズＬの数量は６４個である。レンズパレット片２ｂ
も、同様に、６４個のレンズＬを収容できるようにレン
ズパレット片２ａのレンズ収容孔３ａに対応してレンズ
収容孔３ｂが設けられており、レンズパレット片２ｂ
は、レンズＬが収納されたレンズパレット片２ａ上に被
せられ、レンズパレット片２ａとレンズパレット片２ｂ
は位置決めピン７により確実に位置決めされ、両レンズ
パレット片２ａ、２ｂは合致した状態で固定される。ま
た、レンズパレット１内に収納されたレンズＬの洗浄
は、図２に示すように、レンズパレット１を２２枚収容
できるレンズパレット専用のパレットカゴ１１にレンズ
が収納されたレンズパレット１を立てた状態で収容して
行なう。

【００２９】先ず、Φ５の両凸レンズＬを研削研磨する
研削研磨加工工程においては、従来の部品箱を使用して
レンズの曲率面を研削研磨加工する自動生産設備を前述
したレンズパレット仕様に置き換えることにより、レン
ズパレット片２ａを用いたレンズの加工を可能にした自
動生産設備を用いる。Φ５の両凸レンズＬの収容可能な
レンズ収容孔３ａにそれぞれレンズブランクを収納し、
６４個のレンズブランクを収納したレンズパレット片２
ａを前記の自動生産設備に投入し、粗研削装置および精
研削装置でΦ５の両凸レンズＬの両曲率面をそれぞれの
所望の形状精度と曲率精度に仕上げる。さらに、研磨装
置によりΦ５の両凸レンズＬの両曲率面を所望の形状精
度と曲率精度に仕上げ、研磨加工終了後、６４個収納可
能なレンズパレット片２ａのレンズ収容孔３ａにレンズ
Ｌが自動的に戻され、研磨工程を終了する。このとき、
研磨加工の終了したレンズＬは、研磨加工直後、研磨加
工時に使用した研磨液で濡れており、研磨液に濡れたレ
ンズＬは６４個加工が終了するまで、大気中に放置され
ると、レンズＬの表面が乾燥し、レンズＬの表面に欠陥
を発生させてしまうため、液中保管する必要がある。レ
ンズパレット片２ａは金属製であることから、レンズパ
レット片２ａおよびレンズＬを直接液中等に浸して保管
することが可能であるため、レンズＬの表面に欠陥を発
生させることがない。液中等に浸されたレンズパレット
片２ａ内の６４個のレンズＬの研磨加工が全て終了する
と、研磨加工を終了したレンズＬをそれぞれのレンズ収
容孔３ａに収容しているレンズパレット片２ａにレンズ
パレット片２ｂを被せ、レンズパレット片２ａとレンズ
パレット片２ｂを合致させた状態で固定する。このと
き、両レンズパレット片２ａ、２ｂは位置決めピン７に
より確実に位置出しできそして固定することができる。
これによって、研磨加工された複数（６４個）のレンズ
Ｌはレンズパレット片２ａ、２ｂのレンズ収容孔３ａ、
３ｂ内にそれぞれ確実にしっかりと保持固定され、レン
ズパレット片２ａ、２ｂ内に挟み込まれて保持固定され
たレンズＬは、洗浄工程に搬送される。

【００３０】研磨加工後の洗浄工程において、従来は、
研磨加工の終了したレンズはレンズ個別の専用の洗浄用
カゴに人手により１つ１つ入れ替えられていたが、本発
明においては、レンズパレット片２ａ、２ｂ内に保持固
定されたレンズＬは、レンズパレット片２ａ、２ｂに保
持固定された状態で、図２に示すパレットカゴ１１に収
納される。すなわち、研磨終了後の６４個のΦ５の両凸
レンズＬを同時に一括して、レンズパレット片２ａ、２
ｂを立てた状態でパレットカゴ１１に収納することがで
きる。研磨完了のレンズを従来のように１つ１つ洗浄カ
ゴへ６４個移し替えた場合と、本発明の６４個収納可能
なレンズパレットをパレットカゴ１１へ移し替えた場合
とを比較すると、作業効率が約２５倍（従来技術では１
４０秒要していたのに対し本発明では５．５秒でおこな
うことができる。以下、これを本発明５．５秒／従来１
４０秒のように記載する。）の向上となった。

【００３１】研磨加工後の洗浄工程は、研磨加工された
レンズＬが収納されたパレットカゴ１１を洗浄液槽に浸
漬して超音波洗浄により行ない、研磨加工時等において
汚れたレンズの表面を綺麗に洗浄し乾燥させて終了す
る。このようにパレットカゴ１１を用いて洗浄すること
により、一カゴ当りのレンズの収納数は６４個×２２＝
１４０８個であるのに対して従来の一カゴ当りの収納数
は約１２０個であるから、約１１．７倍の洗浄作業効率
となる。

【００３２】レンズ洗浄後の検査工程は、パレットカゴ
１１からレンズパレット１を取り出し、レンズパレット
片２ａ、２ｂ内に保持固定された６４個のΦ５の両凸レ
ンズＬを、レンズパレット片２ａ、２ｂのレンズ収容孔
３ａ、３ｂを介して、同時に検査作業することができ
る。レンズの外観検査作業は、従来のように洗浄用カゴ
から６４個のレンズを１つ１つ取り出して検査し、別の
綺麗な部品箱に移し替えた場合と、６４個のレンズを収
容する一枚のレンズパレット１をパレットカゴ（洗浄用
カゴ）から取り出して同時に６４個検査した場合とで比
較すると、従来例では２２４秒を要していたのに対し、
本発明では約７．５秒で終了し、作業効率が約３０倍
（本発明７．５秒／従来２２４秒）の向上となった。

【００３３】外観検査終了後、レンズＬは、形状精度と
球面精度を確認して、研磨完了後の検査を終了するが、
この形状精度と球面精度の検査は、本発明においては、
レンズＬを保持固定するレンズパレット１からレンズパ
レット片２ｂを外し、レンズパレット片２ａからレンズ
Ｌを人手により１つ１つ取り出して検査を行ない、検査
終了後、レンズパレット２ａのレンズ収容孔３ａに戻す
作業となる。このため、この検査作業についての作業効
率は、殆ど従来と同様で変わりはない。

【００３４】以上の研削研磨工程後の洗浄および検査が
終了すると、レンズ両鏡面の曲率中心を結ぶレンズ光軸
を一致させるために、外径を研削する心取加工工程を行
なう。心取加工工程は、従来の部品箱を用い外径を研削
する自動生産設備を前述したレンズパレット仕様に置き
換えることにより、レンズパレットを用いたレンズの心
取加工を可能にした自動生産設備を用いる。この自動生
産設備に、研磨終了し洗浄検査を終えたレンズＬを収納
したレンズパレット２ａを投入する。このとき、レンズ
Ｌは既にレンズパレット２ａのレンズ収容孔３ａにそれ
ぞれ収納されているから、従来の技術で説明したように
心取加工専用の部品箱にレンズを人手により１つ１つ移
し替える作業は全く必要としない。すなわち、従来の心
取加工専用の部品箱に６４個のレンズを移し替えていた
作業（４８秒／１箱当り）が、本発明ではゼロとなる。
このように、心取加工はレンズパレット片２ａを用いた
加工を可能とした自動生産設備によりレンズＬの外径を
研削し、心取加工が終了すると、レンズＬは自動的に再
びレンズパレット片２ａに戻される。

【００３５】心取加工後のレンズＬの洗浄工程は、レン
ズ表面に心取加工時に付着した研削油等の除去と、次の
コート処理工程で薄膜処理を施すためのレンズ表面の清
浄化のための超音波洗浄工程である。超音波洗浄は、心
取加工後にレンズパレット片２ａに収納されているレン
ズＬにレンズパレット片２ｂを被せ、心取加工したレン
ズＬをしっかりと保持し固定する。レンズパレット１内
に収納されたレンズＬを図２に示すパレットカゴ１１に
納め、同様に超音波洗浄し、乾燥させて終了する。従来
のように洗浄時前に心取加工専用の部品箱からレンズ個
別専用の洗浄用カゴに６４個のレンズを人手により１つ
１つ入れた場合と、本発明の６４個収納のレンズパレッ
ト２ａ、２ｂをパレットカゴ１１へ移し替えた場合とで
比較すると、作業効率が約１１．５倍（本発明５．３秒
／従来６１秒）の向上となった。

【００３６】コート処理工程は、前記洗浄後のレンズＬ
の外観上の検査をし、検査後のレンズＬ両面に薄膜処理
を施す工程である。外観検査は、洗浄後パレットカゴ１
１からレンズパレット１を取り出し、レンズパレット片
２ａ、２ｂ内にレンズＬを挟み込んだ状態で、レンズパ
レット片２ａ、２ｂのレンズ収容孔３ａ、３ｂを介し
て、レンズＬの検査作業を行なう。すなわち、レンズパ
レット片２ａ、２ｂ内に収納された、心取完了後のΦ５
の両凸レンズＬをレンズ収容孔３ａ、３ｂを介して６４
個同時に外観検査することができる。

【００３７】検査完了後、レンズＬは、レンズパレット
片２ａ、２ｂ内に挟み込まれた状態で、コート装置のヤ
トイに固定する。レンズＬの外観検査からコート装置の
ヤトイに固定するまでの作業について、従来のように６
４個のレンズを１つ１つ洗浄カゴから取り出して検査し
その後ヤトイに取り付けた場合と、本発明の６４個収納
の一枚のレンズパレット１をパレットカゴ（洗浄カゴ）
１１から取り出し同時に検査しその後にヤトイに取り付
けた場合とで比較すると、作業効率が約６．４倍（本発
明１３．５秒／従来８７秒）の向上となった。

【００３８】薄膜処理は、コート装置のヤトイに固定さ
れたレンズＬの片面に所望の薄膜処理を施し、そして、
レンズの片面に薄膜処理されたレンズＬは、コート装置
の反転機能によりレンズパレット１内に挟み込まれた状
態でレンズＬが反転され、もう一方のレンズ面の薄膜処
理を施し、レンズ両面の薄膜処理を終了する。薄膜処理
終了後、本発明のレンズパレット１内にしっかりと保持
固定され挟み込まれた状態でレンズ両面に薄膜処理され
たレンズＬをヤトイから取り出し、レンズパレット１内
にレンズＬが挟み込まれた状態で部品箱に移し終了す
る。前記薄膜処理後に部品箱に移し替える作業を、従来
のレンズを１つ１つヤトイから部品箱に移し替えた場合
と、本発明の６４個収納の一枚のレンズパレット１をヤ
トイから部品箱に移し替える場合とで比較すると、作業
効率が約１３倍（本発明４．８秒／従来６１秒）の向上
となった。

【００３９】以上、本発明のレンズ加工方法に基づい
て、複数のレンズを収納することができるレンズパレッ
ト片を使用し、レンズパレット片に６４個のΦ５の両凸
レンズを収納して、研削研磨加工工程、心取加工工程、
コート処理工程でそれぞれレンズに対する各種の加工処
理を行ない、そして、各加工処理工程間でレンズを超音
波洗浄した場合の各工程におけるレンズの移し替え作業
についての作業効率の向上について説明したけれども、
本発明は、Φ５の両凸レンズに限らず、それ以外の他の
形状のレンズにおいても、レンズの移し替え作業の作業
効率の向上を得ることができ、表１に示すように、種々
の形状のレンズの移し替え作業においても、レンズ形状
別に従来のものに比較して、数倍から１０数倍の作業効
率を向上させることができた。

【００４０】さらに、本発明は、研削研磨加工工程から
コート処理工程までの間のレンズ洗浄に際して、前述し
たΦ５の両凸レンズに限らず、表２に示すように、それ
以外の他の種々の形状のレンズにおいても、洗浄効率を
向上させることができ、レンズ形状別に従来のものに比
較して、約５倍から１２倍の洗浄効率を向上させること
ができた。

【００４１】さらに、本発明においては、レンズ洗浄用
のカゴとして、レンズの収納数を大きく向上させたパレ
ットカゴを用いることにより、従来個別にそれぞれ必要
であった洗浄用カゴを必要とせず、各工程で必要とする
工具費の削減効果を得られ、前述したΦ５の両凸レンズ
の加工処理に関しては、約１／３の削減効果となり、表
１や表２に示すΦ２３の凹メニスレンズにおいては、５
％と微少ではあるが工具費の削減となり、Φ１５の凸メ
ニスレンズやΦ１１の凹メニスレンズにおいても、工具
費の削減は明確であった。また、従来個別に必要であっ
た洗浄用カゴに代えてレンズの収納数を大きく向上させ
たパレットカゴを用いることにより、工具保管スペース
の削減効果も得られ、前述したΦ５の両凸レンズでは、
約１／４の削減効果となり、前記表１や表２に示すΦ２
３の凹メニスレンズにおいても同様に１／４の削減とな
り、Φ１５の凸メニスレンズやΦ１１の凹メニスレンズ
においても、工具保管スペースの削減は明確であった。

【００４２】

【表１】

【００４３】

【表２】

【００４４】（実施例２）次に、接合処理工程を必要と
する凹レンズと凸レンズの加工処理工程につき、レンズ
の研削研磨工程から心取工程、コート処理工程、接合処
理工程、さらに工程間の洗浄工程について、本発明のレ
ンズパレットを使用した場合の実施例について詳細に説
明する。本実施例において接合処理を必要とするレンズ
として、図３の（ｃ）に示すような、Φ１５の凹メニス
カスレンズＬ₁ とΦ１２の凸レンズＬ₂ を例にとって説
明する。

【００４５】Φ１５の凹メニスカスレンズＬ₁ とΦ１２
の凸レンズＬ₂ を保持固定し収納する１１０ｍｍ×１１
０ｍｍの大きさに形成されたレンズパレット２１は、金
属製の３枚のレンズパレット片２２ａ、２２ｂ、２２ｃ
からなり、レンズパレット片２２ａ、２２ｂ、２２ｃに
は、レンズを収容するためのレンズ収容孔２３ａ、２３
ｂ、２３ｃがそれぞれ対応するように規則正しく配列し
て形成され、図示する例では、レンズを収納できるレン
ズ収容孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃは５×５＝２５個それ
ぞれ形成されている。レンズパレット片２２ａ、２２ｂ
のレンズ収容孔２３ａ、２３ｂは、前述した実施例１に
おけるレンズパレット片２ａ、２ｂのレンズ収容孔３
ａ、３ｂと同様に、収容するレンズＬの外形に相当する
大きさに形成されたレンズ保持部分２４ａ、２４ｂが一
方の面に設けられ、このレンズ保持部分２４ａ、２４ｂ
から反対側の面に向けてテーパー状に拡開されており、
レンズ保持部分２４ａ、２４ｂは、それぞれに収容する
レンズＬ₁ 、Ｌ₂ の心取工程前のレンズ外径とレンズＬ
₁ 、Ｌ₂ の心取工程後のレンズ外径の違いにも対応でき
るように２段溝構造２５ａ、２５ｂを有している。ま
た、レンズパレット片２２ｃは、両レンズパレット片２
２ａ、２２ｂの間に挿入されて、レンズパレット片２２
ａとの間にレンズＬ₁ を保持し、レンズパレット片２２
ｂとの間にレンズＬ₂ を保持するためのものであり、レ
ンズ収容孔２３ｃの両側面にレンズ保持部分２４ｃ、２
４ｃが設けられている。また、図３の（ａ）において、
２７は位置決めピンであって、レンズパレット片２２
ａ、２２ｂ、２２ｃを重ね合わせた際に、レンズパレッ
ト片２２ａ、２２ｂ、２２ｃのレンズ収容孔２３ａ、２
３ｂ、２３ｃがそれぞれ対応するようにレンズパレット
片２２ａ、２２ｂ、２２ｃの位置出しをするためのもの
であり、さらに、レンズパレット片２２ａ、２２ｂ、２
２ｃを対応させた状態で固定させる機能もする。

【００４６】前述したレンズパレット片２２ａ、２２
ｂ、２２ｃにおいて、レンズパレット片２２ａ、２２ｂ
は、Φ１５の凹メニスカスレンズＬ₁ とΦ１２の凸レン
ズＬ₂のそれぞれの研削研磨工程、研磨加工後の洗浄検
査、心取工程、心取加工後の洗浄工程において、レンズ
形状の違いはあるものの前述した実施例１で説明したの
と同様にΦ１５の凹メニスカスレンズＬ₁ とΦ１２の凸
レンズＬ₂ をそれぞれ保持固定するために用いられ、ま
た、３枚のレンズパレット片２２ａ、２２ｂ、２２ｃ
は、心取加工後の洗浄工程からコート工程の薄膜処理時
あるいは接合工程でのレンズ同士の貼り合わせ時に、Φ
１５の凹メニスカスレンズＬ₁ およびΦ１２の凸レンズ
Ｌ₂ を同時に確実に保持固定する役割をする。

【００４７】レンズＬ₁ とレンズＬ₂ のそれぞれの研削
研磨工程、研磨加工後の洗浄検査、心取加工工程、心取
加工後の洗浄工程等の加工処理方法においては、レンズ
形状の違いはあるものの前述した実施例１で説明したの
と同様であるのでその説明は省略するが、いずれのレン
ズＬ₁ とレンズＬ₂ もレンズパレット片２２ａ、２２ｂ
を使用した場合、研磨終了レンズを洗浄用カゴへ移し替
えの作業の作業効率は約８．５倍（本発明１３秒／従来
１１０秒）、検査時レンズを洗浄用カゴから綺麗な部品
箱への移し替えの作業効率は約１１．３倍（本発明１６
秒／従来１８０秒）、心取加工時にレンズを綺麗な部品
箱から心取専用箱への移し替えは１箱当り４０秒である
が、本発明ではゼロとなった。このように、本実施例に
おいても、従来のレンズを人手により１つ１つ移し替え
ていた場合と比較して、前述した実施例１と同様に作業
効率を向上させることができた。

【００４８】心取加工後の洗浄に際しては、図３の
（ｃ）に示すように、Φ１５の凹メニスカスレンズＬ₁
とΦ１２の凸レンズＬ₂ は、レンズパレット片２２ａと
２２ｃの間とレンズパレット片２２ｂと２２ｃの間にそ
れぞれ位置付けられるように、そして、両レンズＬ₁ 、
Ｌ₂ のそれぞれの接合面Ｌｉ、Ｌｉを内側に向けて互い
に対向するように、レンズパレット２１内に挟み込まれ
保持固定される。これらのペアのレンズＬ₁ 、Ｌ₂ を、
レンズパレット２１内に挟み込まれ保持固定された状態
で、図４に示すパレットカゴ３１に収納し、レンズＬ
₁ 、Ｌ₂ を超音波洗浄および乾燥して仕上げる。なお、
図４に示すパレットカゴ３１は、レンズパレット片２２
ａ、２２ｂおよび２２ｃからなるレンズパレット２１内
に挟み込んだレンズＬ₁ 、Ｌ₂ を洗浄するときに用いる
ためのレンズパレット専用の洗浄用カゴであり、パレッ
トカゴ３１は、前述したレンズパレット１１と略同様に
形成されており、レンズパレット２１を立てた状態で２
列に並列して複数収容できる大きさに形成された矩形状
の枠体３２と、枠体３２の相対向する両側枠に固定され
てレンズパレット２１を保持する凹部を所定の間隔をも
って複数形成された保持ガイド３３、３４とから構成さ
れ、保持ガイド３３はレンズパレット２１の下面側を保
持するためのものであり、レンズパレットの１列に対し
て２個形成され、また、保持ガイド３４はレンズパレッ
ト２１の側面を保持するためのものであり、枠体３２の
中央部に固定された保持ガイド３４ａはその両側にそれ
ぞれレンズパレット２１を保持する凹部が形成され、枠
体３２の両端部に固定された保持ガイド３４ｂ、３４ｂ
は保持ガイド３４ａに形成された凹部にそれぞれ対向す
るように凹部が形成されている。したがって、パレット
カゴ３１は、複数のレンズＬ₁、Ｌ₂ を挟み込んだレン
ズパレット２１を保持ガイド３３と３４のそれぞれの凹
部に係合させて収納することにより、レンズパレット２
１を立てた状態で保持することができ、図示する例で
は、９枚のレンズパレット２１を２列で合計１８枚のレ
ンズパレット２１を収納できるように構成されている。
このようなパレットカゴ３１にペアのレンズＬ₁ 、Ｌ₂
を保持固定するレンズパレット２１を収納してレンズＬ
₁ 、Ｌ₂ を洗浄することにより、従来レンズ個別に部品
箱から洗浄用カゴにレンズを１つ１つ移し替えていた場
合と比較して、作業効率は約４．２倍（本発明１２秒／
従来５０秒）の向上となった。

【００４９】コート処理前の検査は、レンズパレット２
１内に挟み込まれ洗浄、乾燥されたペアのレンズＬ₁ 、
Ｌ₂ を外観検査するが、従来レンズを１つ１つ洗浄カゴ
から取り出して検査しそしてコート装置のヤトイに取り
付けた場合と、本発明の２５対のレンズがペアで収納さ
れた一枚のレンズパレット２１をパレットカゴ３１から
取り出して検査しコート装置のヤトイに取り付けた場合
とで比較すると、作業効率が約６．４倍（本発明１１秒
／従来７０秒）の向上となった。

【００５０】外観検査後、コート装置のヤトイに固定
し、レンズの一方のコート面、例えばレンズＬ₁ の外側
の面Ｌｏに薄膜処理を施し、コート装置の反転機能によ
りレンズを保持固定するレンズパレット２１を反転し、
もう一方のレンズＬ₂ のコート面Ｌｏに薄膜処理を施
し、ペアのレンズの凹メニスカスレンズＬ₁ と凸レンズ
Ｌ ₂ のコート面（Ｌｏ、Ｌｏ）の薄膜処理が終了する。
薄膜処理終了後、レンズパレット２１内にしっかりと保
持固定され挟み込まれた状態でレンズ両面に薄膜処理さ
れたレンズＬ₁ 、Ｌ₂ をヤトイから取り外し、レンズパ
レット片２２ａ、２２ｂ、２２ｃ内にレンズＬ₁ 、Ｌ₂
が挟み込まれた状態で部品箱に移し終了するが、従来レ
ンズを１つ１つヤトイから部品箱に移し替えた場合と、
本発明の２５対のレンズがペアで収納された一枚のレン
ズパレット２１をヤトイから部品箱に移し替えた場合と
で比較すると、作業効率が約１３倍（本発明４．８秒／
従来６１秒）の向上となった。

【００５１】コート処理後の洗浄は、ペアのレンズＬ
₁ 、Ｌ₂ のそれぞれの接合面Ｌｉ、Ｌｉに付着した汚れ
等を除去し清浄化するために、コート完了後のペアのレ
ンズＬ ₁ 、Ｌ₂ が収納されたレンズパレット２１をパレ
ットカゴ３１に移し替えて、レンズＬ₁ 、Ｌ₂ を超音波
洗浄し乾燥して仕上げる。従来のように部品箱からペア
のレンズを１つ１つ専用の洗浄用カゴに収納した場合
と、本発明の２５対のレンズがペアで収納されたレンズ
パレット２１を部品箱からパレットカゴ３１に移し替え
た場合とで比較すると、作業効率が約１４．５倍（本発
明４．８秒／従来７０秒）の向上となった。コート処理
後の接合処理は、凹メニスカスレンズＬ₁ と凸レンズＬ
₂ のペアのレンズが収納されたレンズパレット２１をパ
レットカゴ３１から取り出し、自動化された接合装置に
装着し、レンズＬ₁ 、Ｌ₂ のそれぞれの接合面Ｌｉ、Ｌ
ｉに接着剤を吐出し、２５対のレンズＬ₁ 、Ｌ₂ を同時
に貼り付けられることのできる接合装置でレンズを貼り
合わせ、貼付後、接着剤を硬化させて終了する。従来の
ようにレンズを１つ１つ洗浄用カゴから取り出し人手に
よってレンズを貼り付けた場合と、本発明の２５ペアの
レンズが収納された一枚のレンズパレットを自動化され
た接合装置に装着し貼付した場合と比較し、作業効率が
約９．７倍（本発明１８秒／従来１７５秒）の向上とな
った。

【００５２】以上、実施例１および２で説明したよう
に、１１０ｍｍ×１１０ｍｍのレンズパレット１、２１
を使用した場合の加工方法について述べたが、本発明の
レンズパレットを実状に合わせて自由に設計し各工程で
使用することも可能である。例えば、１１０ｍｍ四方形
状のレンズパレットの他に、図５に示すように六角形の
形状をしたレンズパレット４１と六角形状のレンズパレ
ット４１を収納することができるように形成されたパレ
ットカゴ５１を使用してレンズの加工を実施しても、前
述した実施例１および２と同様の効果を得ることができ
る。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レンズの加工処理に際して、多数のレンズを収納可能な
レンズパレット片を各加工処理工程で共通して使用しう
るようにし、レンズの研削研磨加工、心取加工等の各加
工処理工程においては、レンズパレット片の多数のレン
ズ収容孔にそれぞれレンズを収納保持し、また、コート
処理、接合処理等の各加工処理工程および各加工処理工
程間の洗浄検査工程においては、レンズを収納保持する
レンズパレット片に他のレンズパレット片を重ね合わせ
て固定することにより、両レンズパレット片間にレンズ
を保持固定し、洗浄検査およびコート処理や接合処理を
一括して行なうことができる。これにより、レンズの加
工処理の各工程におけるレンズの移し替え作業に関わる
作業効率を大きく向上させることができ、さらに、加工
処理工程で必要とする工具コストの削減および工具保管
スペースの大幅な削減を可能にする。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のレンズの加工方法に用いるレンズパレ
ットの一例を示す図であり、（ａ）はレンズパレットの
平面図、（ｂ）はレンズパレットのＡ−Ａ線に沿った断
面図、（ｃ）はレンズパレットの部分拡大断面図であ
る。

【図２】本発明のレンズの加工方法に用いるパレットカ
ゴの一例を示す図であり、（ａ）はパレットカゴの平面
図、（ｂ）はパレットカゴの一部を破断して示す側面図
である。

【図３】本発明のレンズの加工方法に用いるレンズパレ
ットの他の例を示す図であり、（ａ）はレンズパレット
の平面図、（ｂ）はレンズパレットのＢ−Ｂ線に沿った
断面図、（ｃ）はレンズパレットの部分拡大断面図であ
る。

【図４】本発明のレンズの加工方法に用いるパレットカ
ゴの他の例を示す図であり、（ａ）はパレットカゴの平
面図、（ｂ）はパレットカゴの一部を破断して示す側面
図である。

【図５】本発明のレンズの加工方法に用いるレンズパレ
ットおよびパレットカゴの他の例を示す図であり、
（ａ）はパレットカゴにレンズパレットを収納した状態
を示す平面図、（ｂ）はパレットカゴにレンズパレット
を収納した状態を示す側面図である。

【図６】レンズの加工処理工程の概要を示す図である。

【図７】従来のレンズ加工処理に際して用いられている
部品箱を示し、（ａ）は概略的な平面図、（ｂ）は概略
的な断面図である。

【図８】従来のレンズ加工処理に際して用いられている
洗浄用カゴを示し、（ａ）は概略的な平面図、（ｂ）は
一部を破断して示す概略的な側面図である。

【図９】従来のレンズ加工処理に際して用いられている
ヤトイの概略的な平面図である。

【符号の説明】

Ｌレンズ（両凸レンズ）Ｌ₁ レンズ（凹メニスカスレンズ）Ｌ₂ レンズ（両凸レンズ）１レンズパレット２ａ、２ｂレンズパレット片３ａ、３ｂレンズ収容孔４ａ、４ｂレンズ保持部分５ａ、５ｂ２段溝構造７位置決めピン１１パレットカゴ１２枠体１３保持ガイド１４（１４ａ、１４ｂ）保持ガイド２１レンズパレット２２ａ、２２ｂ、２２ｃレンズパレット片２３ａ、２３ｂ、２３ｃレンズ収容孔２４ａ、２４ｂ、２４ｃレンズ保持部分２５ａ、２５ｂ２段溝構造２７位置決めピン３１パレットカゴ３２枠体３３保持ガイド３４（３４ａ、３４ｂ）保持ガイド４１レンズパレット５１パレットカゴ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山田和也東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者外川泰二東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 2H006 DA06 3B201 AA03 AB44 BB02 BB83 3C049 AB04 AB08 AC01 CA01 CB03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学素子に対して、研削研磨加工、心取
加工およびコート処理、さらに必要に応じて接合処理を
行ない、また、前記の各加工処理工程間に光学素子の洗
浄、検査を行なうことにより、光学素子を作製する光学
素子の加工方法において、前記光学素子の研削研磨加工および心取加工に際して
は、多数の光学素子収容孔を備えた光学素子パレット片
の光学素子収容孔にそれぞれ光学素子を収納して、該光
学素子に対して前記加工を行ない、前記光学素子のコート処理または接合処理、および前記
各加工処理工程間の洗浄、検査に際しては、前記光学素
子を前記光学素子収容孔にそれぞれ収納保持する前記光
学素子パレット片に該光学素子パレット片と略同様に形
成された他の光学素子パレット片を重ね合わせて、前記
両光学素子パレット片間に前記光学素子を挟み込んで保
持固定して、該両光学素子パレット片間に保持固定され
た光学素子に対して前記処理および前記洗浄、検査を行
なうことを特徴とする光学素子の加工方法。
【請求項２】前記光学素子の洗浄に際して、前記多数
の光学素子を挟み込んで保持固定する両光学素子パレッ
ト片を立てた状態で複数収納できる洗浄用パレットカゴ
を用いて前記光学素子の洗浄を行なうことを特徴とする
請求項１記載の光学素子の加工方法。
【請求項３】接合処理を行なう対の光学素子の加工に
際しては、前記対の光学素子のそれぞれの心取加工が終
了した後に、対となる光学素子間に一枚の光学素子パレ
ット片を介装させて、前記対の光学素子を三枚の光学素
子パレット片の間に保持固定することを特徴とする請求
項１または２記載の光学素子の加工方法。
【請求項４】前記光学素子パレット片の光学素子収容
孔は、収納する光学素子の心取加工前の外径と心取加工
後の外径にそれぞれ対応しうる２段溝構造を有している
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記
載の光学素子の加工方法。