JP2001220571A - 接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板 - Google Patents
接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板Info
- Publication number
- JP2001220571A JP2001220571A JP2000365185A JP2000365185A JP2001220571A JP 2001220571 A JP2001220571 A JP 2001220571A JP 2000365185 A JP2000365185 A JP 2000365185A JP 2000365185 A JP2000365185 A JP 2000365185A JP 2001220571 A JP2001220571 A JP 2001220571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- film
- stage
- adhesive
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
両立した、フィルム状接着剤を提供することを課題とす
る。 【解決手段】Bステージ状態で相分離する2種類の樹脂
A,Bの混合物を必須成分とする接着剤組成物であり、
樹脂Aは未硬化状態での重量平均分子量が1万以下で、
Bステージにおいて内部に分散相として不連続に分散
し、樹脂Bは未硬化状態での重量平均分子量が10万以
上で、Bステージにおいて連続相として連続的に存在
し、Bステージ状態での分散相と連続相との体積比率が
1:0.5〜5であることを特徴とする接着剤組成物を
使用する。
Description
着フィルム及び半導体搭載用配線基板に関する。
接着剤には、アクリロニトリルブタジエンゴムを主成分
とする系が多く用いられている。プリント配線板関連材
料として耐湿性を向上させたものとしては、特開昭60
−243180号公報に示されるアクリル系樹脂、エポ
キシ樹脂、ポリイソシアネート及び無機フィラーを含む
接着剤が有り、また特開昭61−138680号公報に
示されるアクリル系樹脂、エポキシ樹脂、分子中にウレ
タン結合を有する両末端が第1級アミン化合物及び無機
フィラーを含む接着剤がある。これらの接着剤には流動
性と低いタック性、硬化前後のフィルムの強度が求めら
れている。流動性を高くするためには低分子量の成分を
多く添加することが有効であるが、タック性が高くなる
という問題があった。また、フィルムの強度を向上させ
るためにフィラーを添加することが行われている。とこ
ろがフィラーを添加した場合には、溶融粘度が上昇し、
接着工程での流動性、ぬれ性が低下するほか、段差埋め
込み性が悪化するなどの問題が発生していた。以上のよ
うに流動性と低いタック性、硬化前後のフィルムの強度
の両立は難しく、十分になされてはいなかった。
強度、適度なタック性を両立した、フィルム状接着剤を
提供することを課題とする。
状態で流動性の高い相分離成分がCステージでは硬化
し、補強材として作用するため、Bステージ状態は高い
流動性を示し、Cステージでは強度が得られることを見
出した。
る。 (1)Bステージ状態で相分離する2種類の樹脂A,B
の混合物を必須成分とする接着剤組成物であり、樹脂A
は未硬化状態での重量平均分子量が1万以下で、Bステ
ージにおいて内部に分散相として不連続に分散し、樹脂
Bは未硬化状態での重量平均分子量が10万以上で、B
ステージにおいて連続相として連続的に存在し、Bステ
ージ状態での分散相と連続相との体積比率が1:0.5
〜5であることを特徴とする接着剤組成物。 (2)樹脂Aがエポキシ樹脂及び硬化剤であり、樹脂B
がアクリルゴムであることを特徴とする(1)記載の接
着剤組成物。 (3)(1)又は(2)に記載の接着剤組成物をフィル
ム状に形成して得られる接着フィルム。 (4)配線基板のチップ搭載面に(3)記載の接着フィ
ルムを備えた半導体搭載用配線基板。
均分子量は1万以下である必要がある。重量平均分子量
が1万超であると流動性が不足するため好ましくない。
さらに好ましくは重量平均分子量3000以下である。
Bステージで液状成分は島として内部にあるため、タッ
ク性が小さく、流動性が良い。なお本発明でいうBステ
ージとは接着フィルムをDSCを用いて、硬化発熱量を
測定した値が、未硬化状態での接着フィルムの硬化発熱
量の10〜40%である状態である。Cステージとは8
0%〜100%である状態である。
脂、シアネートエステル樹脂、シアネート樹脂、アクリ
ル共重合体などが挙げられるがこれらに限定されるもの
ではない。硬化後の耐熱性が良い点で特にエポキシ樹脂
が好ましい。エポキシ樹脂は硬化して接着作用を呈する
ものであればよい。二官能基以上で平均分子量が500
0未満が好ましく、平均分子量3000未満のエポキシ
樹脂がより好ましい。二官能エポキシ樹脂としては、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂やビスフェノールF型エ
ポキシ樹脂などが例示される。ビスフェノールA型また
はビスフェノールF型液状樹脂は、油化シェルエポキシ
株式会社から、エピコート807、エピコート827、
エピコート828という商品名で市販されている。ま
た、ダウケミカル日本株式会社からは、D.E.R.3
30、D.E.R.331、D.E.R.361という
商品名で市販されている。さらに、東都化成株式会社か
ら、YD8125、YDF8170という商品名で市販
されている。
移温度)化を目的に多官能エポキシ樹脂を加えてもよ
く、多官能エポキシ樹脂としてはフェノールノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
などが例示される。フェノールノボラック型エポキシ樹
脂は、日本化薬株式会社から、EPPN−201という
商品名で市販されている。クレゾールノボラック型エポ
キシ樹脂は、住友化学工業株式会社から、ESCN−1
90、CN−195という商品名で市販されている。ま
た、日本化薬株式会社から、EOCN1012、EOC
N1025、EOCN1027という商品名で市販され
ている。さらに、東都化成株式会社から、YDCN70
1、YDCN702、YDCN703、YDCN704
という商品名で市販されている。
硬化剤として通常用いられているものを使用でき、アミ
ン、ポリアミド、酸無水物、ポリスルフィド、三弗化硼
素及びフェノール性水酸基を1分子中に2個以上有する
化合物であるビスフェノールA、ビスフェノールF、ビ
スフェノールSなどが挙げられる。特に吸湿時の耐電食
性に優れるためフェノール樹脂であるフェノールノボラ
ック樹脂やビスフェノールノボラック樹脂等を用いるの
が好ましい。フェノールノボラック樹脂は、大日本イン
キ化学工業株式会社からバーカムTD−2090、バー
カムTD−2131、ビスフェノールノボラック樹脂は
大日本インキ化学工業株式会社からフェノライトLF2
882、フェノライトLF2822という商品名で市販
されている。硬化剤の使用量としては、エポキシ樹脂の
化学当量の0.8〜1.2倍の官能基を含む量が好まし
い。
が、硬化のための熱処理の時間を短縮できる点で好まし
い。硬化促進剤としては、2−メチルイミダゾール、2
−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル
−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−
フェニルイミダゾリウムトリメリテートといった各種イ
ミダゾール類等の塩基が使用できる。イミダゾール類
は、四国化成工業株式会社から、2E4MZ、2PZ−
CN、2PZ−CNSという商品名で市販されている。
また、フィルムの可使期間が長くなる点で、潜在性硬化
促進剤が好ましく、その代表例としてはジシアンジミ
ド、アジピン酸ジヒドラジド等のジヒドラジド化合物、
グアナミン酸、メラミン酸、エポキシ化合物とジアルキ
ルアミン類との付加化合物、アミンとチオ尿素との付加
化合物、アミンとイソシアネートとの付加化合物が挙げ
られる。硬化促進剤の配合量は好ましくは、エポキシ樹
脂及び硬化剤の合計100重量部に対して0.1〜20
重量部、より好ましくは0.5〜15重量部、さらに好
ましくは0.5〜5重量部である。0.1重量部未満で
あると硬化速度が遅くなる傾向にあり、また20重量部
を超えると可使期間が短くなる傾向がある。
エステルやメタクリル酸エステル及びアクリロニトリル
などの共重合体であるアクリルゴム、スチレンやアクリ
ロニトリルなどと共重合したブタジエンゴム、シリコー
ン樹脂、シリコーン変性ポリアミドイミドなどが挙げら
れ、重量平均分子量が10万以上である必要がある。重
量平均分子量が10万未満の場合、フィルムの強度が不
足する点で好ましくない。また、重量平均分子量が80
万以上の場合はフィルム強度が高い点で特に好ましい。
5の間である必要がある。分散相の割合がこの比率より
も高い場合、島が連続化し、流動性が高くなりすぎる点
で好ましくない。また、連続相の割合が高い場合、流動
性が小さくなる点で好ましくない。
ましく、また、グリシジルアクリレート又はグリシジル
メタクリレート2〜6重量%を含むTgが−10℃以上
でかつ重量平均分子量が80万以上であるアクリル系共
重合体は接着性、耐熱性が高い点で特に好ましい。
タクリレート2〜6重量%を含むTgが−10℃以上で
かつ重量平均分子量が80万以上であるアクリル系共重
合体は、帝国化学産業株式会社から市販されている商品
名HTR−860P−3を使用することができる。官能
基モノマーが、カルボン酸タイプのアクリル酸や、水酸
基タイプのヒドロキシメチルメタクリレートなどを用い
ると、架橋反応が進行しやすく、ワニス状態でのゲル
化、Bステージ状態での硬化度の上昇による接着力の低
下などの問題があるため好ましくない。また、官能基モ
ノマーとして用いるグリシジルアクリレート又はグリシ
ジルメタクリレートの量は、2〜6重量%の共重合体比
が好ましい。より高い接着力が得られるため、2重量%
以上が好ましく、ゴムのゲル化が低減されるため、6重
量%以下が好ましい。残部はメチルアクリレート、メチ
ルメタクリレートなどの、炭素数1〜8のアルキル基を
もつアルキルアクリレート、アルキルメタクリレート、
およびスチレンやアクリロニトリルなどの混合物を用い
ることができる。混合比率は、共重合体のTgを考慮し
て調整することが好ましい。Tgが−10℃未満である
とBステージ状態での接着フィルムのタック性が大きく
なる傾向がある。重合方法の例としてはパール重合、溶
液重合等が挙げられ、これらにより共重合体を得ること
ができる。
ラーを添加しても良い。このようなフィラーとしてはシ
リカ、アルミナ、アンチモン酸化物などがある。
するために、カップリング剤を配合することもできる。
カップリング剤としてはシランカップリング剤が好まし
い。
シドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプト
プロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリ
エトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシ
ラン、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン等が挙げられる。前記したシランカップ
リング剤は、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ランがNUC A−187、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシランがNUC A−189、γ−アミノプ
ロピルトリエトキシシランがNUC A−1100、γ
−ウレイドプロピルトリエトキシシランがNUC A−
1160、N−β−アミノエチル−γ−アミノプロピル
トリメトキシシランがNUC A−1120という商品
名で、いずれも日本ユニカ−株式会社から市販されてい
る。カップリング剤の配合量は、添加による効果や耐熱
性およびコストから、分散相と連続相のそれぞれを形成
する組成物の合計100重量部に対し0.1〜10重量
部を添加するのが好ましい。
時の絶縁信頼性をよくするために、イオン補足剤を配合
することができる。
各成分を溶剤に溶解ないし分散してワニスとし、キャリ
アフィルム上に塗布、加熱し溶剤を除去することによ
り、接着剤層をキャリアフィルム上に形成して得られ
る。接着フィルムを2層以上に分けて塗工した後、貼り
あわせることによって得ることも可能であるが、工程が
複雑になりコスト高になる傾向がある。1層塗工で表面
に樹脂相Bを多く析出する方法としては、各樹脂を樹脂
Aの水との接触角より樹脂Bの水との接触角が5度以上
大きくなるように選択し、水との接触角130度以上の
フィルムを使用することが有効である。キャリアフィル
ムとしては、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポ
リエチレンテレフタレートフィルム、また、離型処理し
た各種フィルム、例えばポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリイミドフィルム
などが使用できる。本発明で用いるフィルムの例として
は、離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム
が東レ、デュポン株式会社からルミラーという商品名
で、帝人株式会社からピューレックスという商品名で市
販されている。
ルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、
2−エトキシエタノール、トルエン、ブチルセロソル
ブ、メタノール、エタノール、2−メトキシエタノール
などを用いるのが好ましい。また、塗膜性を向上するな
どの目的で、高沸点溶剤を加えても良い。高沸点溶剤と
しては、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミ
ド、メチルピロリドン、シクロヘキサノン等が挙げられ
る。
びビーズミル等により、またこれらを組み合わせて行な
うことができる。また、ワニスとした後、真空脱気によ
りワニス中の気泡を除去することが好ましい。
10、平均分子量1200 東都化成株式会社製のYD
CN−703を使用)60重量部、エポキシ樹脂の硬化
剤としてフェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学
工業株式会社製のプライオーフェンLF2882を使用
平均分子量1000)40重量部、シランカップリン
グ剤としてγ―グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン(日本ユニカー株式会社製のNUC A−187を使
用)0.7重量部、グリシジルメタクリレート又はグリ
シジルアクリレート2〜6重量%を含むアクリルゴム
(平均分子量15万)150重量部、硬化促進剤として
1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール(四国化
成工業株式会社製のキュアゾール2PZ−CNを使用)
0.5重量部を添加し、攪拌モーターで30分混合し、
ワニスを得た。ワニスを厚さ75μmの離型処理したポ
リエチレンテレフタレートフィルムに塗布し、140℃
で5分間加熱乾燥して、膜厚が75μmのBステージ状
態の塗膜を形成し、キャリアフィルムを備えた接着フィ
ルムを作製した。なお、DSCを用いて硬化発熱量を測
定した値は未硬化状態での接着フィルムの硬化発熱量の
15%であった。
(ゲル パーミエーション クロマトグラフィーによる
重量平均分子量2000、Tgは5℃、アクリロニトリ
ル40モル%、グリシジルメタクリレート10モル%、エチ
ルアクリレート50GMAゴムモル%を重合させたもの)、
重量平均分子量3万以上の成分としてアクリルゴム(ゲ
ル パーミエーション クロマトグラフィーによる重量
平均分子量20万、Tgは−7℃、帝国化学産業株式会
社製商品名HTR-860を使用)66重量部、硬化促進剤と
してイミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業株式会社
製キュアゾール2PZ−CNを使用)0.5重量部から
なる組成物に、メチルエチルケトンを加えて撹拌混合
し、真空脱気した。この接着剤ワニスを、厚さ75μm
の離型処理したポリエチレンテレフタレートフィルム上
に塗布し、90℃20分間、さらに120℃で5分間加
熱乾燥して膜厚が30μmの塗膜とした。接着剤フィル
ムを作製した。DSCを用いて測定した硬化度は5%で
あった。この接着剤フィルムを170℃で1時間加熱硬
化させてその貯蔵弾性率を動的粘弾性測定装置(レオロ
ジ社製、DVE−V4)を用いて測定(サンプルサイ
ズ:長さ20mm、幅4mm、膜厚60μm、昇温速度
5℃/分、引張りモード、10Hz、自動静荷重)した
結果、25℃で600MPa、260℃で5MPaであ
った。
10、東都化成株式会社製のYDCN−703を使用)
60重量部の代わりに、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂(エポキシ当量190、油化シェルエポキシ株式会社
製のエピコート828を使用)60重量部を使用した他
は実施例1と同様にフィルムを作製した。
ろ、実施例1及び実施例2は明確に海島の相分離が見ら
れたのに対して、比較例1は相分離が見られなかった。
また、動的粘弾性測定の結果などから、実施例1の島は
エポキシ樹脂及びその硬化剤からなっており、その島の
平均分子量は1200以下であった。実施例2のアクリ
ル共重合体からなっており、その島の平均分子量は30
00以下であった。また、島と海の面積比は3:1であ
った。得られた接着フィルムの両面に厚み50μmのポ
リイミドフィルムを、温度80℃、圧力0.3MPa、
速度0.3m/分の条件でホットロールラミネーターを
用いて貼りあわせた。
タック荷重を測定した。タック荷重が80gf以下をタ
ック性良好、80gf超をタック性過剰とした。
抜いた接着フィルムをPETフィルムで挟んだものをサ
ンプルとした。これを170℃、3分、1MPaの荷重
をかけ、樹脂が侵みだした量を測定した。侵みだし量が
0.3以上1.5mm以下を良好な範囲とした。侵みだ
し量が0.3未満を侵みだし不足、1.5mm超を侵み
だし箇条とした。その後170℃で1時間硬化した。こ
のサンプルについて、耐熱性、耐湿性を調べた。耐熱性
の評価方法には、吸湿はんだ耐熱試験(85℃/相対湿
度85%の環境下に48時間放置したサンプルを240
℃のはんだ槽中に浮かべ、40秒未満で膨れが発生した
ものを×、40秒以上120秒未満で膨れが発生したも
のを○、120秒以上膨れが発生しなかったっものを◎
とした。
しており、Bステージで相分離しているため、タック性
が小さく、流動性が大きい。比較例1はBステージで相
分離していないため、タック性が大きく、保護フィルム
がはがれにくいなど、作業性が悪化した。
着剤組成物を用いることで、流動性が大きく、タック性
が小さい接着部剤を製造することができる。この接着部
剤はタック性が小さいため、加工がしやすい。また、流
動性が高いため、ボイドなどが発生しにくく、信頼性が
高い。また、請求項2記載の接着剤組成物から製造可能
な接着部剤は、請求項1の発明の効果に加えてさらに耐
熱性がよく、かつ接着性が高い点で優れる。よって、請
求項3記載の接着フィルム及び、これを用いてなる請求
項4記載の半導体搭載用基板は取り扱い性に優れて、接
着後のボイドも発生しにくい。
Claims (4)
- 【請求項1】Bステージ状態で相分離する2種類の樹脂
A,Bの混合物を必須成分とする接着剤組成物であり、
樹脂Aは未硬化状態での重量平均分子量が1万以下で、
Bステージにおいて内部に分散相として不連続に分散
し、樹脂Bは未硬化状態での重量平均分子量が10万以
上で、Bステージにおいて連続相として連続的に存在
し、Bステージ状態での分散相と連続相との体積比率が
1:0.5〜5であることを特徴とする接着剤組成物。 - 【請求項2】樹脂Aがエポキシ樹脂及び硬化剤であり、
樹脂Bがアクリルゴムであることを特徴とする請求項1
記載の接着剤組成物。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の接着剤組成物をフ
ィルム状に形成して得られる接着フィルム。 - 【請求項4】配線基板のチップ搭載面に請求項3記載の
接着フィルムを備えた半導体搭載用配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000365185A JP3562465B2 (ja) | 1999-11-30 | 2000-11-30 | 接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11-339037 | 1999-11-30 | ||
JP33903799 | 1999-11-30 | ||
JP2000365185A JP3562465B2 (ja) | 1999-11-30 | 2000-11-30 | 接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001220571A true JP2001220571A (ja) | 2001-08-14 |
JP3562465B2 JP3562465B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=26576296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000365185A Expired - Lifetime JP3562465B2 (ja) | 1999-11-30 | 2000-11-30 | 接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3562465B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003096426A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着部材 |
JP2003206469A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-07-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物及びこれを用いた半導体装置 |
JP2003221573A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-08-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 接合材料及びこれを用いた半導体装置 |
WO2003052016A3 (en) * | 2001-12-14 | 2004-02-26 | Nat Starch Chem Invest | Dual cure b-stageable adhesive for die attach |
US6833629B2 (en) | 2001-12-14 | 2004-12-21 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Dual cure B-stageable underfill for wafer level |
JP2005154687A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着部材、半導体搭載用支持部材及び半導体装置 |
US7176044B2 (en) | 2002-11-25 | 2007-02-13 | Henkel Corporation | B-stageable die attach adhesives |
JP2008121005A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着剤組成物半硬化体、接着フィルム及び積層接着フィルム並びにそれらの製造方法 |
WO2008105169A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | 半導体用接着フィルムおよびそれを用いた半導体装置 |
WO2009113296A1 (ja) | 2008-03-14 | 2009-09-17 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体素子接着フィルム形成用樹脂ワニス、半導体素子接着フィルム、および半導体装置 |
WO2018225687A1 (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-13 | 日本発條株式会社 | 回路基板用積層板、金属ベース回路基板及びパワーモジュール |
-
2000
- 2000-11-30 JP JP2000365185A patent/JP3562465B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003096426A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着部材 |
JP2003206469A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-07-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物及びこれを用いた半導体装置 |
JP2003221573A (ja) * | 2001-11-12 | 2003-08-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 接合材料及びこれを用いた半導体装置 |
JP4507488B2 (ja) * | 2001-11-12 | 2010-07-21 | 日立化成工業株式会社 | 接合材料 |
US6833629B2 (en) | 2001-12-14 | 2004-12-21 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Dual cure B-stageable underfill for wafer level |
WO2003052016A3 (en) * | 2001-12-14 | 2004-02-26 | Nat Starch Chem Invest | Dual cure b-stageable adhesive for die attach |
JP2011063805A (ja) * | 2001-12-14 | 2011-03-31 | National Starch & Chemical Investment Holding Corp | ダイ取付用の二段硬化b−ステージ化可能な接着剤 |
CN1296451C (zh) * | 2001-12-14 | 2007-01-24 | 国家淀粉及化学投资控股公司 | 双固化可b-阶段的模头附着用粘合剂 |
JP2005513192A (ja) * | 2001-12-14 | 2005-05-12 | ナショナル スターチ アンド ケミカル インベストメント ホールディング コーポレーション | ダイ取付用の二段硬化b−ステージ化可能な接着剤 |
US7176044B2 (en) | 2002-11-25 | 2007-02-13 | Henkel Corporation | B-stageable die attach adhesives |
US7851254B2 (en) | 2002-11-25 | 2010-12-14 | Henkel Corporation | B-stageable die attach adhesives |
JP2005154687A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着部材、半導体搭載用支持部材及び半導体装置 |
JP2008121005A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-29 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着剤組成物、接着剤組成物半硬化体、接着フィルム及び積層接着フィルム並びにそれらの製造方法 |
WO2008105169A1 (ja) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | 半導体用接着フィルムおよびそれを用いた半導体装置 |
US8008124B2 (en) | 2007-02-28 | 2011-08-30 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Adhesive film for semiconductor and semiconductor device using the adhesive film |
WO2009113296A1 (ja) | 2008-03-14 | 2009-09-17 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体素子接着フィルム形成用樹脂ワニス、半導体素子接着フィルム、および半導体装置 |
WO2018225687A1 (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-13 | 日本発條株式会社 | 回路基板用積層板、金属ベース回路基板及びパワーモジュール |
JP2018207041A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 日本発條株式会社 | 回路基板用積層板、金属ベース回路基板及びパワーモジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3562465B2 (ja) | 2004-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1586615B1 (en) | Adhesive, adhesive member, interconnecting substrate for semiconductor mounting having adhesive member, and semiconductor device containing the same | |
JP3617417B2 (ja) | 接着剤、接着部材、接着部材を備えた半導体搭載用配線基板及びこれを用いた半導体装置 | |
JP4165072B2 (ja) | 接着剤組成物、接着フィルム、半導体搭載用配線基板及び半導体装置とその製造方法 | |
US20100266842A1 (en) | Adhesive sheet for semiconductor, and dicing tape integrated adhesive sheet for semiconductor | |
JP3562465B2 (ja) | 接着剤組成物、接着フィルム及び半導体搭載用配線基板 | |
JP3980810B2 (ja) | フレキシブルプリント配線板積層用接着剤組成物および接着フィルム | |
JP3498537B2 (ja) | 絶縁層用接着フィルム | |
JP4505769B2 (ja) | 接着フィルム、接着フィルムを備えた半導体搭載用配線基板、半導体装置及びその製造方法 | |
JP2002275433A (ja) | 接着フィルム | |
JP5109572B2 (ja) | 接着剤組成物、接着剤組成物半硬化体、接着フィルム及び積層接着フィルム並びにそれらの製造方法 | |
JP5340580B2 (ja) | 半導体用接着シート及びダイシング一体型半導体用接着シート | |
JP4618464B2 (ja) | 接着剤組成物、これを用いた接着フィルム、半導体チップ搭載用基板及び半導体装置 | |
JP2009235402A (ja) | 接着フィルム | |
JP3601443B2 (ja) | 接着フィルムとその製造方法、半導体搭載用配線基板及び半導体装置 | |
JP2003193021A (ja) | 高熱伝導接着フィルム | |
JP3615906B2 (ja) | 多層配線板用接着フィルム | |
JP3825247B2 (ja) | 接着剤組成物の製造方法、接着剤組成物、接着フィルム、半導体搭載用配線基板及び半導体装置 | |
JP4556472B2 (ja) | 接着剤、接着部材、接着部材を備えた半導体搭載用配線基板及びこれを用いた半導体装置 | |
JPH11246829A (ja) | 両面接着フィルム及び半導体装置 | |
JP4934895B2 (ja) | 接着剤組成物、接着フィルム、半導体搭載用配線基板及び半導体装置 | |
JP4763876B2 (ja) | 熱硬化型接着剤組成物及び接着シート類 | |
JP2005154687A (ja) | 接着剤組成物、接着部材、半導体搭載用支持部材及び半導体装置 | |
JP2000154360A (ja) | 接着剤、接着部材、接着部材を備えた半導体搭載用配線基板及びこれを用いた半導体装置 | |
JP2003147323A (ja) | 接着剤組成物、接着フィルム、半導体支持部材、半導体装置およびその製造方法 | |
JP2001181586A (ja) | 接着フィルム、半導体チップ搭載用基板及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040524 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 3562465 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080611 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090611 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100611 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110611 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120611 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 9 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |