JP2001219020A

JP2001219020A - 集塵装置及び集塵方法、該集塵装置を備えた焼却設備

Info

Publication number: JP2001219020A
Application number: JP2000029442A
Authority: JP
Inventors: Masatake Ose; 正武小瀬
Original assignee: AIHO KOGYO KK
Current assignee: AIHO KOGYO KK
Priority date: 2000-02-07
Filing date: 2000-02-07
Publication date: 2001-08-14

Abstract

(57)【要約】【課題】効率的な集塵技術を提供する。【解決手段】集塵装置１の本体２の内部にはフェルト
フィルター１１を有する第１集塵部１０、ＨＥＰＡフィ
ルター２１を有する第２集塵部２０が設けられ、第１集
塵部１０と第２集塵部２０を直列的に配置することで粉
塵エアー中の粉塵を二段式で集塵するように構成されて
いる。また、本体２とは別体のエアダスター装置３０を
備えている。集塵後にＨＥＰＡフィルター２１を再生す
る場合は、エアダスター装置３０によって排気口９側か
ら高圧エアーを供給する。これにより、ＨＥＰＡフィル
ター２１の表面に付着した粉塵はほぼ完全に除去され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、塵埃等を集塵する
集塵技術に係り、特にダイオキシン類等の有害な粉塵を
吸気して集塵するのに好適に用いられる集塵技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境対策への積極的な取り組みが
進み、ごみ焼却設備で発生するダイオキシン類等の人体
に有害な粉塵が問題視されはじめている。中でも、ごみ
焼却設備の焼却炉の清掃、補修等を行う場合に、焼却炉
内に残留するダイオキシン類等の粉塵が作業者の作業環
境を悪化させ、特に作業者が高濃度のダイオキシン類に
ばく露されることが懸念されている。

【０００３】従来、例えばごみ焼却設備を停止して焼却
炉内で作業する場合には、所定の集塵装置を用いて焼却
炉内を換気しながら作業が行われる。この種の集塵装置
として、粗粉塵用のフィルター、例えばフェルトフィル
ターを備えた構成のものがあるが、この種のフィルター
ではダイオキシン類等の粉塵の補集効率に限界があっ
た。そこで、空気清浄の分野において、比較的粒子径の
微細な粉塵を補集するのに使用される超高性能フィルタ
ー、例えばＨＥＰＡフィルターを用いることが考えられ
るが、このＨＥＰＡフィルターはダイオキシン類等の粉
塵を集塵するのに大変有効である反面、粉塵によって目
詰りをおこし易いという問題があった。そして、ＨＥＰ
Ａフィルターが一旦目詰りすると、付着した粉塵を完全
に除去するのに手間がかかるため、通常は、このＨＥＰ
Ａフィルターは使用する度に廃棄処分していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＨＥＰ
Ａフィルターを用いてダイオキシン類等の粉塵を集塵し
たうえで、このＨＥＰＡフィルターを再使用することが
できれば、コスト面等でのメリットが大きいことから、
本発明者はＨＥＰＡフィルターを備えた集塵装置につい
て鋭意検討した。その結果、本発明者は、従来の集塵装
置を改良したうえで好適な条件を与えれば、ダイオキシ
ン類等の粉塵の補集効率が高いＨＥＰＡフィルターを用
いたうえで、このＨＥＰＡフィルターを再使用すること
ができることを見出す事に成功した。

【０００５】そこで、本発明では、効率的な集塵技術を
提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の集塵装置は、請求項１に記載の通りに構成
されている。ここで、請求項１、また他の請求項及び発
明の詳細な説明に記載した用語については、特に限定的
要件を加えない限り以下のように解釈する。（１）「塵埃等」には、塵埃自体はもちろん、各種の粉
塵や煤塵、花粉、ウイルス等の病原体、たばこの粒子等
も含む。（２）「集塵」には、例えば、製品の分離・回収、ある
いは大気汚染防止として用いられる工業用集塵だけでな
く、特定の空間、例えばクリーンルームや住居空間の空
気の浄化を目的としたいわゆる空気清浄の分野における
集塵もこれに含むものとする。（３）「ＨＥＰＡフィルター」とは、超高性能のエアー
フィルター（High Efficiency Particulate Air）であ
って、好ましくは、所定の風量において、０．３μｍの
ＤＯＰ粒子の補集効率が９９．９７％以上で、圧力損失
が２５０Ｐａ以下を保障する性能を有するフィルターを
いう。（４）「焼却設備」には、ごみ焼却設備以外に、種々の
被焼却物を対象として焼却する設備が含まれる。

【０００７】請求項１に記載の集塵装置によれば、第１
集塵部の下流には第１集塵部よりも補集効率が高い第２
集塵部を備え、少なくとも第２集塵部に対応して集塵部
の再生を行う再生手段を備えている。また、この再生手
段は、第２集塵部の集塵方向と反対の方向へ再生ガスを
供給することで、第２集塵部で集塵された塵埃等を除塵
することができる。これにより、第１集塵部によって第
２集塵部が目詰りしにくくなるうえに、再生手段によっ
て第２集塵部に補集された塵埃等は容易に除塵される。
また、少なくとも第２集塵部を本体から取外すことな
く、効率的に第２集塵部を再生することができる。ま
た、このような集塵装置の第２集塵部には、請求項２に
記載した通りのＨＥＰＡフィルターを備えていることが
好ましい。これにより、塵埃等の補集効率がほぼ１００
％に近いうえに、補集された塵埃等をほぼ完全に除塵す
ることができ、ＨＥＰＡフィルターを再使用することが
できる。

【０００８】また、本発明の集塵装置は、請求項３に記
載の通りに構成されている。請求項３に記載の集塵装置
によれば、自在に移動を可能とする自走手段を備えてい
るため、必要に応じて集塵装置を移動させることができ
る。従って、集塵装置が種々の設備において必要になっ
た時には、比較的容易に移動して使用することができ
る。

【０００９】また、本発明の集塵装置を備えた焼却設備
は、請求項４に記載の通りに構成されている。請求項４
に記載の焼却設備は、塵埃等を含む焼却ガスが流通する
箇所に、第１集塵部、第２集塵部、再生手段を備えた集
塵装置が設けられているため、焼却設備を停止した場合
のみならず、焼却設備の運転中において発生する焼却ガ
ス中の塵埃等の集塵を行うことができる。例えば、ごみ
焼却設備の運転中において発生する焼却ガス中の塵埃等
は、既設の集塵装置によってその一部が集塵され、集塵
された後の排ガスは煙突等の排気設備から排気されてい
る。このようなごみ焼却設備において、本発明の集塵装
置を既設の集塵装置に替えて設置したり、あるいは既設
の集塵装置の下流に設置することによって、焼却ガス中
の塵埃等をＨＥＰＡフィルターによって既設の集塵装置
よりも高い効率で補集することができる。従って、ごみ
焼却の際に発生する焼却ガスをクリーンエアーとして排
気することができるため、従来のごみ焼却設備の煙突等
の排気設備を設置する必要がない。

【００１０】また、本発明の集塵方法は、請求項５に記
載の通りに構成されている。請求項５に記載の集塵方法
によれば、第１集塵部の下流には第１集塵部よりも補集
効率が高い第２集塵部を設け、少なくとも第２集塵部に
対応して集塵部の再生を行う再生手段を設ける。そし
て、塵埃等を含むガスを順に第１集塵部及び第２集塵部
へ流入させ、塵埃等を集塵することができる。また、再
生手段によって第２集塵部の集塵方向と反対の方向へ再
生ガスを供給することで第２集塵部に補集された塵埃等
の除塵を行うことができる。これにより、第１集塵部に
よって第２集塵部が目詰りしにくくなるうえに、再生手
段によって第２集塵部に補集された塵埃等は容易に除塵
される。また、少なくとも第２集塵部を本体から取外す
ことなく、効率的に第２集塵部を再生することができ
る。また、このような集塵方法において、第２集塵部に
は請求項６に記載した通りのＨＥＰＡフィルターを備え
ていることが好ましい。これにより、塵埃等の補集効率
がほぼ１００％に近いうえに、補集された塵埃等をほぼ
完全に除塵することができ、ＨＥＰＡフィルターを再使
用することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施の形態の
集塵装置の構成を図面を用いて説明する。図１は本実施
の形態の集塵装置の正面図である。また、図２は図１の
集塵装置の側面図を示し、図３は図１の集塵装置の背面
図を示している。なお、本実施の形態では、焼却炉にお
いてダイオキシン類等の有害な粉塵を含有するエアーを
集塵装置で吸気して集塵することでクリーンエアーとし
て排気し、さらに集塵装置を再生する場合について記載
する。

【００１２】図１〜図３に示すように、集塵装置１は箱
型状に形成され、本体２の底面の四箇所にはキャスター
３が取り付けられている。また、本体２の背面側には移
動用のハンドル７が取り付けられている。従って、作業
者は、ハンドル７を操作することによって集塵装置１を
容易に移動させることができる。なお、キャスター３は
本発明の自走手段に対応している。

【００１３】また、本体２の内部には、（図２中の）左
方から右方に向かって順に第１集塵部１０、第２集塵部
２０が設けられ、第１集塵部１０と第２集塵部２０を直
列的に配置することで、粉塵を含むエアー（以下、「粉
塵エアー」という）中の粉塵を二段式で集塵するように
構成されている。本体２の正面には、粉塵エアーを吸気
するための吸気口４が設けられ、本体２の背面には、集
塵後のクリーンエアーを排気するための排気口９が設け
られている。そして、吸気口４からファン式の送風機
（図示省略）によって矢印４０方向へ吸気された粉塵エ
アーは、第１集塵部１０、第２集塵部２０を矢印４２，
４４方向へ通過して、排気口９から矢印４６方向へ排気
されるように構成されている。この間に、第１集塵部１
０と第２集塵部２０とによって粉塵エアー中の粉塵が集
塵される。また、本体２の両側面には点検扉８が設けら
れており、この点検扉８を開放して第１集塵部１０内を
点検することができる。

【００１４】次に、第１集塵部１０、第２集塵部２０の
構成について説明する。第１集塵部１０には、比較的粒
子径の粗い粗粉塵を集塵するフェルトフィルター１１が
２つ並列に配置されている。なお、フェルトフィルター
１１は、一般に粗粉塵を集塵する際に用いられる既知の
構成のものであるため、詳細な説明は省略する。フェル
トフィルター１１の近傍には、レバー６を操作すること
によってフィルターに付着した集塵を叩き落とす除塵機
１４が設けられている。また、本体２の正面側の二箇所
には、フェルトフィルター１１の圧力損失（差圧）を表
示する第１差圧計５ａが設置されている。また、フェル
トフィルター１１の吸気口４側には、金属メッシュ製の
プレフィルター１３が設けられている。また、第１集塵
部１０の（図１及び図２中の）下方には、取っ手１２ａ
を有する粗粉塵回収用ダストトレイ１２が設置されてい
る。

【００１５】第２集塵部２０には、比較的粒子径の微細
な微粉塵を集塵するＨＥＰＡフィルター２１が設置され
ている。従って、第１集塵部１０のフェルトフィルター
１１で集塵されなかった粉塵はＨＥＰＡフィルター２１
によって集塵される。なお、ＨＥＰＡフィルター２１
は、一般に空気清浄の分野において微粉塵の集塵に用い
られる既知の構成のものであるため、詳細な説明は省略
する。この、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate
Air）フィルター２１は、例えば、極微細繊維層からな
り、所定の風量において、０．３μｍのＤＯＰ（Diocty
l Phthalate）粒子の補集効率が９９．９７％以上で、
圧力損失が２５０Ｐａ以下を保障する超高性能のフィル
ターである。ＨＥＰＡフィルター２１の排気口９側に
は、ＨＥＰＡフィルター２１を保護するためのパンチン
グプレート２３（プレート孔２３ａ）が取付けられてい
る。また、本体２にはＨＥＰＡフィルター２１の圧力損
失（差圧）を表示する第２差圧計５ｂが設置されてい
る。また、第２集塵部２０の（図２及び図３中の）下方
には、取っ手２２ａを有する微粉塵回収用ダストトレイ
２２が設置されている。

【００１６】また、集塵装置１は本体２とは別体のエア
ダスター装置３０を備えている。このエアダスター装置
３０は、使用時に排気口９の出口側に設置され、後述す
る再生行程においてＨＥＰＡフィルター２１を再生する
のに用いられる。エアダスター装置３０は、排気口９の
全面を覆う接続部３０ａと、接続部３０ａを介してＨＥ
ＰＡフィルター２１へ高圧エアー（集塵行程における粉
塵エアーよりも高い圧力のエアー）を供給するエアー供
給部３０ｂとを有している。接続部３０ａは、エアー供
給部３０ｂから供給された高圧エアーを排気口９の全面
にほぼ均一に供給するように構成されている。そして、
エアー供給部３０ｂから供給された高圧エアーは、接続
部３０ａによって排気口９の全面にほぼ均一に供給さ
れ、ＨＥＰＡフィルター２１を矢印４４及び４６と反対
の方向へ通過するように構成されている。なお、エアダ
スター装置３０が本発明における再生手段に対応してい
る。また、高圧エアーが本発明の再生ガスに対応してい
る。

【００１７】以下に、上記構成の集塵装置１による集塵
方法について図４及び図５を参照しながら説明する。こ
こで、図４は集塵行程を示す概略図である。また、図５
は再生行程を示す概略図である。まず、集塵行程におい
ては、送風機（図示省略）及び所定の接続ホース等を介
して、吸気口４を焼却炉内と接続する。そして、送風機
を起動することで焼却炉内の粉塵の集塵を開始する。こ
れにより、第１集塵部１０及び第２集塵部２０には、図
２中の矢印４０，４２，４４，４６方向の粉塵エアーの
流れが形成される。そして、図４に示すように、焼却炉
内の粉塵エアーは、まず、第１集塵部１０のプレフィル
ター１３、フェルトフィルター１１の方向へ誘導され
る。そして、粉塵エアーはプレフィルター１３、次いで
フェルトフィルター１１に衝突し、フェルトフィルター
１１によって比較的粒子径の粗い粗粉塵が集塵される。
プレフィルター１３及びフェルトフィルター１１を通過
しない粉塵は、プレフィルター１３やフェルトフィルタ
ー１１の表面に付着するか、自重によりダストトレイ１
２内に落下する。また、フェルトフィルター１１の表面
に付着した粉塵は、除塵機１４を作動させることによっ
て叩き落とされ、ダストトレイ１２に回収される。

【００１８】次に、第１集塵部１０を通過した粉塵エア
ーは、第２集塵部２０へ流入しＨＥＰＡフィルター２１
の方向へ誘導される。そして、粉塵エアーはＨＥＰＡフ
ィルター２１に衝突し、ＨＥＰＡフィルター２１によっ
て比較的粒子径の微細な微粒粉塵が集塵される。ＨＥＰ
Ａフィルター２１を通過しない粉塵は、ＨＥＰＡフィル
ター２１の表面に付着するか、自重によりダストトレイ
２２内に落下する。そして、第２集塵部２０を通過した
エアーは、排気口９から図２中の矢印４６方向へクリー
ンエアーとして排気される。

【００１９】なお、集塵装置１における集塵エアーの処
理条件（処理量、処理温度等）は、使用するフェルトフ
ィルター１１及びＨＥＰＡフィルター２１の使用範囲内
において適宜変更可能である。例えば、吸気口４の内径
が３００ｍｍφで、５０〜６０ｍ³／ｍｉｎのエアーを
吸気可能な集塵装置において、幅３．６ｍ、高さ３．６
ｍ、長さ９ｍの範囲（１１６．６４ｍ³）を１時間換気
した場合は、その換気回数は約３０回となる。この種の
データに基づいて、使用する環境における集塵装置１の
設置台数等を決めることができる。

【００２０】第２集塵部２０のＨＥＰＡフィルター２１
の圧力損失が上昇し、所定値以上になると、集塵行程を
一旦終了し、ＨＥＰＡフィルター２１の再生を行う。以
下に、第２集塵部２０に設置されたＨＥＰＡフィルター
２１の再生方法について図５を参照しながら説明する。

【００２１】第２差圧計５ｂの指示値が適宜決められた
値以上になった場合には、まず送風機を停止する。そし
て、排気口９側に設けられたパンチングプレート２３を
取外し、排気口９を覆うようにエアダスター装置３０を
取付ける。また、第１集塵部１０と第２集塵部２０との
間に、図２中の二点鎖線で示す仕切板２４を設置する。
これにより、第１集塵部１０と第２集塵部２０とが仕切
られる。次に、エアダスター装置３０のエアー供給部３
０ｂから高圧エアーを供給する。これにより、高圧エア
ーは排気口９の全面にほぼ均一に供給され、ＨＥＰＡフ
ィルター２１を矢印４４及び４６（本発明における集塵
方向に対応している）と反対の方向に通過する。そし
て、集塵行程においてＨＥＰＡフィルター２１の表面に
付着した粉塵は、高圧エアーによって吹き飛ばされダス
トトレイ２２へ落下する。この際、第１集塵部１０と第
２集塵部２０との間に仕切板２４を設けるため、第１集
塵部１０への高圧エアーの流入を防止することができ
る。斯くして、ＨＥＰＡフィルター２１の表面に付着し
た粉塵は、フィルターからほぼ完全に除去され、ダスト
トレイ２２へ回収される。このようにして、ＨＥＰＡフ
ィルター２１を集塵装置本体から取外すことなく、ＨＥ
ＰＡフィルター２１に付着した粉塵をほぼ完全に除去す
ることで、ＨＥＰＡフィルター２１を再生することがで
きる。そして、ＨＥＰＡフィルター２１の再生行程が終
了すると、再び集塵行程を行うことができる。

【００２２】なお、高圧エアーによるＨＥＰＡフィルタ
ー２１の再生は、特に、粉塵エアーがドライガスである
ほど効果がある。これは、ドライな条件下では、ＨＥＰ
Ａフィルター２１に付着した粉塵が高圧エアーによって
吹き飛ばされ易いからである。また、高圧エアーの設定
圧力は、粉塵の種類等により適宜決定される。また、本
実施の形態では、エアダスター装置３０は、排気口９側
に取付けるタイプとしたが、エアダスター装置として高
圧エアーを供給可能なエアーガン等を用い、作業者がエ
アーガンを操作することによって、ＨＥＰＡフィルター
２１の再生を行うように構成することもできる。このよ
うにして、上記の集塵行程と再生行程とを交互に繰り返
すことによって、ダイオキシン類等の粉塵を効率的に集
塵することができる。

【００２３】以上のように構成した集塵装置１及び該集
塵装置を用いた集塵方法によれば、粗い粒子径の粉塵は
第１集塵部１０のフェルトフィルター１１で除去され、
微細な粒子径の粉塵は第２集塵部のＨＥＰＡフィルター
２１で除去される。従って、フェルトフィルター１１に
よって、ＨＥＰＡフィルター２１の目詰まりをおこりに
くくすることができ、ダイオキシン類等の粉塵を効率的
に集塵することができる。また、補集効率の高いＨＥＰ
Ａフィルター２１を用いたため、ダイオキシン類等の粉
塵を含む粉塵エアーを吸気し、空気清浄の分野における
クリーンルームに相当するクリーンエアーとして排気す
ることができる。

【００２４】また、集塵行程においてＨＥＰＡフィルタ
ー２１に付着したダイオキシン類等の粉塵を、再生行程
においてほぼ完全に除去することができるため、ＨＥＰ
Ａフィルター２１を繰り返し再使用することができる。
しかも、ＨＥＰＡフィルター２１を集塵機本体から取外
す必要がないため、再生行程を効率的に行うことができ
る。従って、ランニングコストが安価である。

【００２５】また、ＨＥＰＡフィルター２１が設置され
る位置に、他の集塵装置で目詰りしたフィルター等種々
のフィルターが取付けられるように構成することによ
り、集塵装置１を別のフィルターの再生用としても使用
することができる。

【００２６】また、本体２の底面にキャスター３を取付
けたため、集塵装置１を比較的容易に移動して使用する
ことができる。

【００２７】なお、本発明は上記の実施の形態のみに限
定されるものではなく、種々の応用や変形が考えられ
る。上記実施の形態では、フェルトフィルター１１を有
する第１集塵部１０と、ＨＥＰＡフィルター２１を有す
る第２集塵部２０とを備えた集塵装置について記載した
が、集塵部の数や、各集塵部に設けられるフィルターの
種類、数等は、被集塵物に応じて種々変更可能である。
例えば、第１集塵部１０のフェルトフィルター１１及び
第２集塵部２０のＨＥＰＡフィルター２１の設置数を増
やすことによって、より大容量の粉塵エアーを処理可能
な集塵装置を実現することができる。

【００２８】また、上記実施の形態では、第２集塵部２
０に対応してエアダスター装置３０を設けたが、エアダ
スター装置は第２集塵部２０のみならず、第１集塵部１
０に対応して設けることができる。このように構成する
ことによって、第１集塵部１０及び第２集塵部２０を、
必要に応じて効率的に再生することができる。

【００２９】また、上記実施の形態では、焼却炉におい
て粉塵エアー中のダイオキシン類等の粉塵を集塵する集
塵装置１について記載したが、各種の設備おいてガス中
の種々の塵埃等を集塵する集塵装置に適用することもで
きる。例えば、建物内に浮遊する塵埃、雑菌等の除去を
目的とした空気清浄に、本発明を適用することもでき
る。その場合には、フェルトフィルター１１及びＨＥＰ
Ａフィルター２１の種類、数等を必要に応じて適宜変更
することにより対応することができる。

【００３０】また、上記実施の形態では、第１集塵部１
０と第２集塵部２０からなる系列がい１系列であり、集
塵行程と再生行程を交互に繰り返す場合について記載し
たが、第１集塵部１０と第２集塵部２０からなる系列を
２系列設け、一方の系列が集塵行程の場合に、他方の系
列が再生行程となるように構成することもできる。この
ように構成すれば、さらに効率的な集塵方法を実現する
ことができる。

【００３１】また、上記実施の形態では、第１集塵部１
０の吸気口４側に、粉塵エアーを吸気するためのファン
式の送風機を設けたが、粉塵エアーを吸気する手段は必
要に応じて種々変更可能である。例えば、電気集塵式で
あってもよい。また、送風機は排気口９側に設置しても
よい。

【００３２】また、本体２の底面にキャスター３を取付
けて集塵装置１を自在に移動可能に構成したが、集塵装
置１を移動する手段は限定されない。例えば、モーター
等の駆動手段を搭載した車輪等であってもよい。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
効率的な集塵技術を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の集塵装置の正面図であ
る。

【図２】図１の集塵装置の側面図である。

【図３】図１の集塵装置の背面図である。

【図４】集塵行程を示す概略図である。

【図５】再生行程を示す概略図である。

【符号の説明】

１…集塵装置２…本体３…キャスター４…吸気口５ａ，５ｂ…差圧計９…排気口１０…第１集塵部１１…フェルトフィルター２０…第２集塵部２１…ＨＥＰＡフィルター３０…エアダスター装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塵埃等を含むガスを流入させることで該
塵埃等の集塵を行う集塵装置であって、第１集塵部と、前記第１集塵部の下流に配置される第２
集塵部と、少なくとも前記第２集塵部に対応して設けら
れる再生手段とを備え、前記第２集塵部は、前記第１集塵部よりも補集効率が高
くなるように構成され、前記再生手段は、集塵部の再生
を行う際に前記第２集塵部の集塵方向と反対の方向へ再
生ガスを供給することで、前記第２集塵部で集塵された
塵埃等を除塵するように構成されていることを特徴とす
る集塵装置。
【請求項２】請求項１に記載した集塵装置であって、前記第２集塵部には、ＨＥＰＡフィルターを備えている
ことを特徴とする集塵装置。
【請求項３】請求項１または２に記載した集塵装置で
あって、自在に移動を可能とする自走手段を備えていることを特
徴とする集塵装置。
【請求項４】請求項１または２に記載した集塵装置
を、塵埃等を含む焼却ガスが流通する箇所に備えた焼却
設備。
【請求項５】第１集塵部と、前記第１集塵部の下流に
配置される第２集塵部と、少なくとも前記第２集塵部に
対応した再生手段とを設け、前記第２集塵部が前記第１集塵部よりも補集効率が高く
なるように構成し、塵埃等を含むガスを順に第１集塵部
及び第２集塵部へ流入させ、前記塵埃等を集塵する集塵
行程と、前記再生手段によって前記第２集塵部の集塵方
向と反対の方向へ再生ガスを供給し、前記第２集塵部で
集塵した塵埃等の除塵を行い、集塵部の再生を行う再生
行程とを備えていることを特徴とする集塵方法。
【請求項６】請求項５に記載した集塵方法であって、前記第２集塵部にＨＥＰＡフィルターを設けることを特
徴とする集塵方法。