JP2001215529A - 反射型液晶表示装置 - Google Patents
反射型液晶表示装置Info
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Abstract
FTアレイ基板裏面から特定でき、かつ高反射の明るい
反射型液晶表示装置を提供する。また、チャネル部を遮
光でき、かつ黒点化処理が可能である反射型液晶表示装
置を提供する。 【解決手段】 液晶層を挟持する2枚の基板1aの一方
の一主面上に、複数の薄膜トランジスタと、ゲート配線
群2と、ソース配線群7aと、複数の薄膜トランジスタ
のドレイン電極7bに各々接続された複数の反射画素電
極21とを有する。反射画素電極は、隣接する2本のソ
ース線に対して、一方のソース線とは重なりをもち、他
方のソース線とは間隙を有するように配置する。 ま
た、チャネル部およびその近傍を反射画素電極と同材料
の金属膜21aによって遮光し、かつゲート配線とドレ
インの交叉部分ではその金属膜を開口させる。
Description
ジスタが形成されたTFTアレイ基板を用いて液晶を駆
動する反射型液晶表示装置とその製造方法に関する。
上に複数の薄膜トランジスタ(以下、TFTと略称す
る)が形成されたTFTアレイ基板を用いて、カラーフ
ィルタ基板との間に介在する液晶を駆動し、その液晶に
より画像を表示する透過型の液晶表示装置が広く利用さ
れている。また、屋外や、屋内で使用できる対環境型で
あり、かつ低消費電力で表示動作を行う高画質で薄型・
軽量の反射型液晶表示装置が提案され、開発されてきて
いる。
ついて、図3〜図5を参照して説明する。図3(a)
は、従来の反射型液晶表示装置の画素構成を示す平面
図、図3(b)及び図4は、その要部の断面図である。
図5はチャネルおよびその近傍の拡大図である。
板T1の製造工程について説明する。まず、1枚の透明
ガラス基板1a上に、タンタルやクロム等からなるゲー
ト電極/ゲート配線2を形成する。次に、通常二層から
なるゲート絶縁膜3と4をスパッタリングおよび、気相
成長法を用いて堆積させる。次に、印加される電圧によ
ってその抵抗値が変化しTFTをスイッチとして機能さ
せる半導体膜(アモルファスシリコン膜)5を形成す
る。次に、後述するソース、および、ドレイン電極と半
導体膜5をオーミックコンタクトさせるための、n+a
−Si層6を形成する。そして、チタンや、タンタル
や、モリブデン等の金属からなるソース電極/ソース配
線7aとドレイン電極7bを同時に形成する。次に保護
膜8となるSiNxを堆積させた後、感光性樹脂9を塗
布する。続けて感光性樹脂9を円状開口パターンが不規
則に配列されたマスクを用いて露光および現像した後に
熱処理をおこない、複数の凹凸を形成する。そして、複
数の凹凸に沿うように感光性樹脂10を塗布し、所望の
拡散反射特性が得られるように凹凸を滑らかにする。そ
の上に金属膜から成る反射画素電極11を形成する。こ
のとき反射画素電極11と同材料の金属膜11aによっ
てチャネル部およびその近傍を覆うとにより、チャネル
部を遮光する構成とする。以上の製造工程により、TF
Tアレイ基板T1が完成する。
いて説明する。まず、もう一枚の透明ガラス基板1b
に、クロム等からなるブラックマトリクス12を形成し
た後、赤、緑または青のカラーフィルタ13を形成す
る。さらに、その上に対向画素電極14を形成すること
によって、カラーフィルタ基板F1が完成する。
ーフィルタ基板F1から、反射型液晶表示装置を製造す
る工程について説明する。まず、十分に洗浄した前述の
TFTアレイ基板T1にポリイミド配向膜(図示せず)
を印刷法によって塗布し、焼成させる。そして、ローラ
ーに巻き付いた布によってラビングし、一方向にポリイ
ミド分子を配向させる。次にカラーフィルタ基板F1に
も同様に配向膜(図示せず)を形成し、ラビングを行
う。
ール剤(図示せず)を塗布し、一定の直径を有するスペ
ーサー(図示せず)を散布する。これはTFTアレイ基
板T1とカラーフィルタ基板F1を貼り合わせる際に一
定のギャップを保たせるためである。シール剤を予備硬
化し、スペーサーを散布した後、TFTアレイ基板T1
とカラーフィルタ基板F1を貼り合わせ、シール剤を完
全に硬化させる。そして、真空状態で基板間に液晶15
を注入し、封止剤で基板間を封じ、透明ガラス基板1
a、1bの前後に偏光板(図示せず)を配置することに
よって反射型液晶表示装置が完成する。
おいて、フォトリソグラフィやドライエッチング前のゴ
ミによって隣接する画素間やソースとドレイン間でショ
ートする場合がある。このとき画素に正常の電位がかか
らなくなり、点欠陥となる。また、この点欠陥は、液晶
表示装置を完成させた後の検査工程でその位置が明らか
になる。前者の対策としては、画素間のショート箇所を
液晶表示装置のTFTアレイ基板側からレーザーによっ
てカットする。後者の対策としては、同様な条件でショ
ートが発生したトランジスタのゲートとドレインの交叉
部を、液晶表示装置の裏面からレーザー照射することに
よって、画素部の電位をゲートと同電位として画素に常
に電圧がかかる状態とし、黒点化するという方法がとら
れている。
トとドレインの交叉部をレーザー照射することによって
画素部の電位をゲートと同電位とし、黒点化することを
黒点化処理と称する。
表示の明るさを向上させるためには、反射画素電極11
はその表面積が大きいほど好ましい。図4に示すよう
に、ソース配線7aはゲート絶縁膜4上に、反射画素電
極11は非常に厚い感光性樹脂膜9上にそれぞれ形成さ
れており、ソース配線7aと画素間にはショートが発生
しないため、ソース配線7aと反射画素電極11間に、
面方向に間隔をもたせる必要がなく重ねることができ
る。
でショートが発生したときに、TFTアレイ基板T1の
裏面からみてショート箇所を特定できないという課題が
生じる。
びその近傍を反射画素電極と同材料の金属膜11aによ
って遮光すると、トランジスタのゲート電極2とドレイ
ン電極7bの交叉部も金属膜11aで覆われるため、ゲ
ート電極2とドレイン電極7bの交叉部にレーザー照射
したときに、その上のドレイン電極7bと金属膜11
a、更にその上のカラーフィルタ基板F1側のITOパ
ターンがショートしてしまう。その結果、当該画素がカ
ラーフィルタ基板F1側のITOと同電位となり、液晶
に電圧がかからなくなり輝点となってしまう。よって、
黒点化処理できないという不具合が生じる。
めに、本発明は、液晶層を挟持する2枚の基板の一方の
一主面上に、複数の薄膜トランジスタと、ゲート配線群
と、ソース配線群と、複数の薄膜トランジスタのドレイ
ン電極に各々接続された複数の反射画素電極とを有する
反射型液晶表示装置を改良するものである。すなわち、
本発明の反射型液晶表示装置は、反射画素電極を、隣接
する2本のソース線に対して、一方のソース線とは重な
りをもち、他方のソース線とは間隙を有するように配置
したこと特徴とする。
生した場合に、TFTアレイ基板の裏面側からショート
箇所を特定でき、レーザー処理することができるととも
にソース線の片側を画素と交叉させることによって反射
画素電極の表面積を大きくでき、高反射の明るい反射型
液晶表示装置を実現できる。
記と同様の基本構成を有し、薄膜トランジスタのチャネ
ル部およびその近傍が反射画素電極と同材料の金属膜に
よって遮光され、ゲート配線とドレイン電極の交叉部分
では金属膜を開口させた構成である。ゲートとドレイン
の交叉部を開口させておくことにより、黒点化処理が可
能となる。
ト配線とドレイン電極の交叉部分の金属膜開口の幅を、
1μm以上とすることが望ましい。1μm以上開口させ
ることによって、ゲートとドレインをレーザー照射によ
ってショートさせても、ドレインと遮光パターン、さら
には遮光パターンとITOパターンとをショートさせず
に、正常に黒点化処理ができる。
の形態である反射型液晶表示装置の画素構成を示す。図
1はその平面図、図2(a)および(b)は要部の拡大
断面図である。図2(c)は、チャネルおよびその近傍
の拡大図である。図3から図5に示した従来例と同様の
構成要素については、同一の参照符号を付した。図1お
よび図2に示された構成について、製造工程に従って説
明する。
a上に、タンタルやクロム等からなるゲート電極/ゲー
ト配線2を形成する。次に、二層からなるゲート絶縁膜
3及び4、半導体膜5、オーミック層(n+a−Si)
6を順次形成する。その上にソース電極/ソース配線7
aと、ドレイン電極7bを形成する。次に保護膜8とな
るSiNxを堆積させた後、感光性樹脂9を塗布する。
続けて感光性樹脂9を円状開口パターンが不規則に配列
されたマスクを用いて露光および現像した後に熱処理を
おこない、複数の凹凸(図示せず)を形成する。そし
て、複数の凹凸に沿うように感光性樹脂10を塗布し、
その上に金属膜から成る反射画素電極21を形成する。
に、隣接する2本のソース配線7aに対して、一方のソ
ース配線7aとは重なりをもたせ、他方のソース配線7
aとは間隔をもたせるようにして配置する。また反射画
素電極21を形成すると同時に、同じ材料からなる金属
膜21aで、チャネル部およびその近傍を覆うようにパ
タニングする。このとき、ゲート電極2とドレイン電極
7bの交叉部上は、金属膜21aを開口させておく。そ
の開口部分の拡大図が図2(c)に示される。図2
(c)における開口部分の幅Lは、L≧1μmとするこ
とが望ましい。
極21の表面積を大きくしつつ、隣接する反射画素電極
21間でショートが発生した場合に、TFTアレイ基板
T1の裏面側から、ショート箇所を特定することがで
き、ショート箇所をレーザーカットすることができる。
また、チャネル部近傍のゲートとドレインの交叉部で金
属膜21aを開口させることによってTFTアレイ基板
の裏面からの黒点化処理が可能となる。
間でショートが発生した場合に、ショート箇所を特定す
ることができるため、レスキューの簡略化、効率化をは
かることができる。また、ソースとドレイン間でのショ
ート発生などによって画素に正常な電位がかからない場
合でもチャネル部近傍のゲートとドレインの交叉部上の
金属膜を開口させた部分から黒点化処理をおこなうこと
ができるため、歩留まりの向上につながる。
置の画素構成を示す平面図
よび(b)は断面図、(c)はチャネルおよびその近傍
の部分拡大平面図
一例を示し、(a)はその平面図、(b)は要部の拡大
断面図
断面図
よびその近傍を示す部分拡大平面図
Claims (3)
- 【請求項1】 液晶層を挟持する2枚の基板の一方の一
主面上に、複数の薄膜トランジスタと、ゲート配線群
と、ソース配線群と、前記複数の薄膜トランジスタのド
レイン電極に各々接続された複数の反射画素電極とを有
する反射型液晶表示装置において、前記反射画素電極
を、隣接する2本のソース線に対して、一方のソース線
とは重なりをもち、他方のソース線とは間隙を有するよ
うに配置したことを特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項2】 液晶層を挟持する2枚の基板の一方の一
主面上に、複数の薄膜トランジスタと、ゲート配線群
と、ソース配線群と、前記複数の薄膜トランジスタのド
レイン電極に各々接続された複数の反射画素電極とを有
する反射型液晶表示装置において、前記薄膜トランジス
タのチャネル部およびその近傍が反射画素電極と同材料
の金属膜によって遮光され、前記ゲート配線と前記ドレ
イン電極の交叉部分では前記金属膜を開口させたことを
特徴とする反射型液晶表示装置。 - 【請求項3】 チャネル部近傍のゲート配線とドレイン
電極の交叉部分の金属膜開口の幅を1μm以上としたこ
とを特徴とする請求項2に記載の反射型液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000026450A JP2001215529A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 反射型液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000026450A JP2001215529A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 反射型液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001215529A true JP2001215529A (ja) | 2001-08-10 |
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ID=18552181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000026450A Pending JP2001215529A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 反射型液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001215529A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100476052B1 (ko) * | 2001-09-05 | 2005-03-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 반사형 액정표시장치 |
JP2005128084A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置及び電子機器 |
FR2864703A1 (fr) * | 2002-07-11 | 2005-07-01 | Lg Philips Lcd Co Ltd | Dispositif a diode photoemettrice organique, transistor a film mince pour celui-ci et leurs procedes de fabrication |
US7084940B2 (en) | 2002-09-30 | 2006-08-01 | Seiko Epson Corporation | Electro-optic device comprising a recess/projection pattern obtained by rotating a reference pattern about a predetermined position |
US7136116B2 (en) | 2001-02-28 | 2006-11-14 | Nec Corporation | Liquid crystal display with control electrodes for preventing lateral leak of electric field |
US7157739B2 (en) | 2002-09-30 | 2007-01-02 | Seiko Epson Corporation | Active matrix type electro-optical device with patterns of contact hole formation-positions and electronic apparatus |
-
2000
- 2000-02-03 JP JP2000026450A patent/JP2001215529A/ja active Pending
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JP4501403B2 (ja) * | 2003-10-21 | 2010-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶表示装置及び電子機器 |
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