JP2001208535A - 回転体の回転角測定装置及び測定方法 - Google Patents

回転体の回転角測定装置及び測定方法

Info

Publication number
JP2001208535A
JP2001208535A JP2000222959A JP2000222959A JP2001208535A JP 2001208535 A JP2001208535 A JP 2001208535A JP 2000222959 A JP2000222959 A JP 2000222959A JP 2000222959 A JP2000222959 A JP 2000222959A JP 2001208535 A JP2001208535 A JP 2001208535A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotation angle
rotating body
shaft
angle sensor
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000222959A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3396464B2 (ja
Inventor
Entaku Go
淵宅 呉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2001208535A publication Critical patent/JP2001208535A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3396464B2 publication Critical patent/JP3396464B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/22Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転体の回転角を微細な角度まで正確に測定
し、その回転誤差を補正することでその回転体を高精度
作業に適用できるようにする回転体の回転角測定装置及
び測定方法を提供する。 【解決手段】 旋回可能な回転体に着脱可能に取付けら
れ共に旋回するホルダと、ホルダに設けられホルダに対
して相手回転動可能に備わったシャフトを含む回転角セ
ンサーと、回転角センサーのシャフトと共に回転するよ
うに結合されシャフトの回転角度を測定する基準になる
初期点を持つ水準器と、回転角センサーのシャフトを回
転させる作動手段とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は回転角測定装置及び
測定方法に係り、さらに詳しくは回転体の回転角を正確
に測定して誤差を補正できるようにした回転体の回転角
測定装置及び測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、回転角の精度を測定するための
装置としてオートコリメータ(autocollimator)1と回
転多面鏡(polygon mirror)2が使われるが、これを図
1を参照して説明する。
【0003】図1に示したように、回転多面鏡2には多
数の反射鏡面3が形成されており、相互隣接する反射鏡
面3の法線l、l’は回転中心部Rを中心に所定の分割
角(α)を成す。
【0004】このような回転多面鏡2は回転角の正確性
を測定しようとする回転体、例えばロボットのリンクに
載置されるが、この際は回転多面鏡2の回転中心部Rを
ロボットリンクの回転軸と正確に一致させるべきであ
る。また、測定光をオートコリメータ1から反射鏡面3
へ射出し、反射鏡面3から反射された測定光を読取って
オートコリメータ1の水平方向角がディスプレイ部(図
示せず)に現れるようになるが、初期にはこのようなオ
ートコリメータ1の水平方向角が正確に0゜にセットさ
れるようにオートコリメータ1を回転多面鏡2の反射鏡
面に垂直設置する。
【0005】このような状態で、ロボットのリンクを回
転多面鏡2の分割角(α)ずつ回転させ、回転時毎にオ
ートコリメータ1から回転多面鏡2の反射鏡面3に向か
って測定光を射出することによって、オートコリメータ
1の水平方向角を測定してリンクが正確に回転多面鏡2
の分割角(α)ほど回転したかを測定する。
【0006】即ち、ロボットのリンクが正確に回転多面
鏡2の分割角(α)ほど回転したならば、オートコリメ
ータ1の水平方向角は0゜と測定し続けられるべきであ
るが、そうでない場合はオートコリメータ1の水平方向
角がリンクの回転角誤差ほどの数値を表すようになる。
【0007】このような方法により、ロボットのリンク
などのような回転体の回転角の誤差を測定し、これを補
正することで回転体の作動精度を高められるようにな
る。
【0008】しかし、上記の通り、オートコリメータ1
と回転多面鏡2よりなる従来の回転角測定装置におい
て、回転多面鏡2は精度などその製造上の限界により分
割角(α)が最小5゜までのみ製作が可能なので、5゜
未満の回転角を要する高精度作業に適用される回転体の
回転角測定には適用できない問題点があった。
【0009】さらに、回転多面鏡2を測定しようとする
回転体に設ける時、回転多面鏡2の回転中心部Rを回転
体の回転軸と正確に一致させるべき難しさがあった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決するために案出されたことで、本発明の目的は回転
体の回転角度を微細した角度まで正確に測定してその回
転誤差を補正することで、その回転体が高精度作業に適
用できるようにする回転体の回転角測定装置及び測定方
法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ための本発明に係る回転体の回転角測定装置は、旋回可
能な回転体に着脱自在に取付けられ共に旋回するホルダ
と、ホルダに設けられホルダに対して相手回転動可能に
備わったシャフトを含む回転角センサーと、回転角セン
サーのシャフトと共に回転するように結合され、シャフ
トの回転角を測定する基準になる初期点を持つ水準器
と、回転角センサーのシャフトを回転させる作動手段を
含み、回転体の旋回時変った水準器の値が初期点に復帰
されるまで回転角センサーのシャフトを作動手段により
回転させることによってシャフトの回転角を回転角セン
サーにより測定して回転体の回転角度を求める。
【0012】ホルダは回転体に直接に取付けられる取付
け板と、回転角センサーが固着される支持板と、取付け
板と支持板とを連結する多数の連結棒とから構成され
る。
【0013】作動手段はホルダに備わるウォームと、ウ
ォームと噛合い回転角センサーのシャフトがその中心部
に貫着されウォームの駆動により回転角センサーのシャ
フトと共に回転するウォームホイールとからなる。
【0014】ウォームホイールの前方には回転角センサ
ーのシャフトが貫着されウォームとウォームホイールの
駆動によりシャフトと共に回転し、一側面に水準器の固
着される回転板が備わる。
【0015】そして、ウォームの一端にはウォームを回
転させるための駆動板と、駆動板の一側面から突設され
た取っ手が備わる。
【0016】望ましくは、前記回転角センサーはロータ
リーエンコーダで具現される。
【0017】また、本発明に係る回転体の回転角測定方
法は、回転角センサーと回転角センサーのシャフトと共
に回転するように設けられた水準器を回転体に取付ける
段階と、取付け段階後に電子水準器の初期点をセットす
る段階と、初期点セット段階後に回転体を所定の目標回
転角ほど旋回させる段階と、旋回段階により変った水準
器の値を初期点に復帰させるように水準器を回転させる
段階と、初期点復帰段階時に水準器と共に回転する回転
角センサーのシャフトの回転角を回転角センサーが測定
して、回転体が実際に回転した角度を測定する段階とを
含む。
【0018】また、測定段階後に測定段階で測定された
回転体の実際回転角と旋回段階における目標回転角とを
比較分析し、目標回転角と実際回転角との偏差を補なう
ことで回転体の回転角を補正する段階をさらに含む。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して本
発明の望ましい実施形態を詳細に説明する。
【0020】本発明に係る回転体の回転角測定装置は、
精密作業に適用される回転体に着脱自在に取り付けて、
かなり微細な回転角まで正確に測定することによって、
その回転誤差を補正できるようにする装置であって、本
実施形態では本発明に係る回転角測定装置の測定対象物
としてロボットを適用して説明する。
【0021】図2は本発明に係る回転体の回転角測定装
置が装着される産業用ロボットを概略的に示した斜視図
であり、図3は図2のロボットの機構図である。
【0022】これらに示したように、産業用ロボットは
X軸、Y軸、Z軸を有し、ロボットのベース底面に原点
Oが設定されるベース座標系によりその位置と姿勢が定
義され得る。
【0023】前記ロボットは縦軸J1を持つベース10
と、ベース10の上部に設けられベース10の軸J1を
中心にX軸に対して所定の回転角θwに回転できる第1
リンク11を含む。また、第1リンク11の先端には第
1リンク11の横軸J2を中心にZ軸に対して所定の回
転角θsに旋回できる第2リンク12が設けられ、第2
リンク12の先端にはこれと垂直をなす第3リンク13
が設けられ、第3リンク13の先端には作業物を把持す
るグリッパー(gripper)や作業物を塗装するスプレー
ガン等よりなされるエンド効果器(end effector)14
が設けられる。前記エンド効果器14は第3リンク13
の中心軸J3を基準に所定の回転角θrに回転可能であ
り、エンド効果器14の先端位置は前記回転角θw,θ
s,θr及びリンク11,12,13の長さによりその座
標x,y,zが決まる。
【0024】一方、第1リンク11の軸J2には第2リ
ンク12を旋回させるためのDCモータ15と、第2リン
ク12の回転角θsを計測するためのロータリーエンコ
ーダ16が設けられ、これらDCモータ15とロータリー
エンコーダ16は制御部(図示せず)により制御され
る。一般にロボットに用いられるロータリーエンコーダ
16は1回転360゜に対して概略2000個のスリッ
ト(図示せず)を持つことによって、その分解能は0.
18゜(=360゜/2000)になる。しかし、高精度作業
に用いられるロボットの回転角を微細な角度まで正確に
測定して誤差を補正するためには、さらに多数のスリッ
トを持つエンコーダが装着されるべきであるが、エンコ
ーダはスリットの数が多いほど高価になるため、ロボッ
トの製造コストをアップさせる問題点を持つ。
【0025】このような問題点を解決するため、第2リ
ンク12の回転角θsまたはエンド効果器14の回転角
θrを精密に測定できる本発明に係る回転体の回転角測
定装置100がロボットに着脱自在に設けられるが、図
4乃至図6に基づき説明するようにする。
【0026】これらに示したように、本発明に係る回転
体の回転角測定装置100は、ロボットに取り付けられ
るホルダ101と、ホルダ101に結合されロボットの
実際回転角θs,θrを計測する回転角センサー110
と、回転角センサー110の作動基準になる水準器14
0と、回転角センサー110を作動させる作動手段とを
備える。
【0027】これを詳細に説明すれば、前記ホルダ10
1はロボットに直接取り付けられる取付け板102と、
回転角センサー110を固定させるための支持板103
と、取付け板102と支持板103とを連結する多数の
連結棒104とから構成される。
【0028】前記取付け板102は円板状よりなされ、
多数のボルト105が貫通して取付け板102の背面側
に突出する。これはロボット製作時、一般にリンク12
に形成される多数のホール12aのうち最適の大きさと
位置を持つホール12aにボルト105を挿着すること
によって本発明に係る回転角測定装置100をロボット
に取付けられるようにするためのものである。このた
め、取付け板102にはボルト105が貫通される多様
な大きさのねじ孔102aが多数形成されている。
【0029】前記支持板103に固定される回転角セン
サー110としては、ロータリーエンコーダや分圧計
(potentiometer)のように回転角を検出する一般的な
角度センサーが適用されうるが、本実施形態では回転角
センサー110としてロータリーエンコーダを適用し
た。このロータリーエンコーダ110は外観をなす円筒
状のハウジング111と、ハウジング111の先端から
外向きに折曲げられたフランジ部112とを備える。前
記ロータリーエンコーダ110のハウジング111を支
持板103の中心部に形成された結合孔103aに貫通
させた後、フランジ部112と支持板103に各々形成
されたねじ孔112a,103bにボルト118を締結
することによってロータリーエンコーダ110は支持板
103に固定される。
【0030】また、図6に示したように、ロータリーエ
ンコーダ110のハウジング111の内部には、多数の
スリット115が形成されている円板状の計測板114
と、前記ハウジングに対して相対的に回転動自在に設け
られて計測板114の中心部に結合されハウジング11
1の外部に延設されるシャフト113と、計測板114
の両側に各々設けられシャフト113の回転角を測定す
る発光素子116と、受光素子117とが設けられてい
る。望ましくは、本発明に係る回転角測定装置100に
適用されるロータリーエンコーダ110は計測板114
に、1回転360゜に対して概略20000個以上のス
リット115が形成され、その分解能が0.018゜
(=360゜/20000)以下になることによって高精度測定
が可能であり、その測定値はロータリーエンコーダ11
0と接続されているディスプレイ部(図示せず)に現れ
るようになる。このようなロータリーエンコーダ110
は既に周知の技術であるから、ロータリーエンコーダ1
10の作動原理に対する説明は省略する。
【0031】そして、取付け板102と支持板103と
を連結する連結棒104は、支持板103の背面に形成
された押込みホール103cに押込まれる大径部104
aと、取付け板102に形成されたねじ孔102bに螺
合されるように螺糸山が形成された小径部104bとか
らなっている。
【0032】一方、前記支持板103とエンコーダシャ
フト113とには、ロータリーエンコーダ110を作動
させるための手段が備わる。このため、エンコーダシャ
フト113の外周面にはウォームホイール121が結合
され、支持板103にはウォームホイール121と噛合
うウォーム122の形成されたロッド123が設けられ
る。
【0033】これを詳細に説明すれば、ウォームホイー
ル121の中心部にはロータリーエンコーダ110のシ
ャフト113が貫通して取り付けられるシャフトホール
121aが形成されており、ウォームホイール121の
背面にはシャフトホール121aの縁部に沿ってボス1
24が突設されている。また、ボス124の外周面には
ボルト124bを締結することによって、エンコーダシ
ャフト113をウォームホイール121のシャフトホー
ル121aに確実に結合させるねじ孔124aがシャフ
トホール121aまで延設されている。
【0034】そして、支持板103の前方上部にはウォ
ーム122の形成されたロッド123を挿着させる一対
の固定部材125が設けられる。
【0035】ロッド123の一端にはこれを回転させる
ための円板状の駆動板123aと、駆動板123aの一
側面の縁部から突設された取っ手123bとが設けられ
ている。
【0036】即ち、ロッド123の取っ手123bを回
転させれば、ウォーム122との噛合いによりウォーム
ホイール121が回転し、これによりウォームホイール
121のシャフトホール121aに結合されたエンコー
ダシャフト113が回転することで、ロータリーエンコ
ーダ110による角度計側が可能になるが、これは本装
置を用いた測定方法の説明において詳細に記述すること
にする。
【0037】前記ウォームホイール121の前方には円
板状の回転板130が設けられているが、この回転板1
30の上部にはエンコーダシャフト113が貫通して取
り付けられるようにシャフトホール130aが形成され
ており、回転板130の外周面にはボルト130cを締
結することによってエンコーダシャフト113を回転板
130のシャフトホール130aに確実に結合させるね
じ孔130bがシャフトホール130aまで延設されて
いる。
【0038】そして、回転板130の前方下部にはロー
タリーエンコーダ110の作動基準になる水準器140
を固定させるための支持台131が一体に結合されてい
る。
【0039】望ましくは、前記水準器140として電子
水準器(electronic level)を適用して精密で正確な測
定になるようにする。この電子水準器140は一対のセ
ンサー(図示せず)間の真ん中に設けられた減衰振動子
(図示せず)を備え、電子水準器140が設けられた対
象物の傾度によって減衰振動子の位置が可変され、セン
サーが減衰振動子との距離を電位差に出力することで、
対象物の傾度を測定する装置であって、前記ロータリー
エンコーダ110の作動基準になるが、これは次の測定
方法の説明で詳細に記述される。
【0040】このような電子水準器140はその下部に
形成されたねじ溝140aと支持台131に形成された
ねじ孔131aにボルト132を締結することによって
回転板130に固定される。
【0041】以下、上記の通り構成された本発明に係る
回転体の回転角測定装置100を用いた回転体の回転角
測定方法を図4及び図7〜9を参照して説明するように
する。
【0042】まず、ホルダ101をロボットに垂直に取
付ける取付け段階を行うべきであるが、このために図3
及び図7に示したように、取付け板102の後方に突出
したボルト105をリンク12に形成された多数のホー
ル12aのうち最適の大きさと位置を持つホール12a
に挿着することによって回転角測定装置100をロボッ
トに取付ける。
【0043】それから、ロータリーエンコーダ110の
作動基準を設定するように電子水準器140の初期点を
セットすべきであるが、一般に電子水準器140の値が
0になるようにゼロセットを行う。このような初期点セ
ット段階を行うために使用者がロッド123に設けられ
た取っ手123bを回転させてウォーム122と噛合う
ウォームホイール121を回転させれば、ウォームホイ
ール121と結合されたエンコーダシャフト113及び
エンコーダシャフト113と結合された回転板130が
共に回転する。従って、回転板130に固定された電子
水準器140もエンコーダシャフト113を軸にして回
転するようになる。上記の方法により電子水準器140
の減衰振動子が一対のセンサー間の真ん中に位置してセ
ンサーから発生する電位差が0になるようにセットす
る。このような電子水準器140のゼロセット状態がロ
ータリーエンコーダ110の測定基準になる。
【0044】このような状態で、図8に示したように、
ロボットの第2リンク12をZ軸を基準に使用者が目標
とする回転度θsほど旋回させる旋回段階を行うように
すれば、リンク12に設けられた電子水準器140のセ
ンサーから発生する電位差が0から所定値に変わるよう
になる。前記旋回段階後、使用者がロッド123の取っ
手123bを利用してウォーム122と噛合ったウォー
ムホイール121及び回転板130を回転させ図9のよ
うに電子水準器140を初期点、即ちゼロセット状態に
復帰させる初期点復帰動作を行う。このような初期点復
帰動作時、ウォームホイール121に結合されたエンコ
ーダシャフト113も電子水準器140がゼロセット状
態に復帰されるまで回転するようになり、この時のシャ
フト113の回転角をロータリーエンコーダ110が測
定してディスプレイ部に現す測定段階を経る。このよう
な測定段階においてロータリーエンコーダ110により
測定された角度値がまさに第2リンク12が実際に回転
した回転角を意味するのである。
【0045】言い換えれば、ロボットの第2リンク12
が目標回転角θsほど正確に旋回したならば、電子水準
器140をゼロセット状態に復帰させるまでロータリー
エンコーダ110で測定されたシャフト113の回転角
は第2リンク12の目標回転角θsと同一に現れるが、
第2リンク12が所定の誤差ほど目標回転角θsを外れ
て旋回したならば、ロータリーエンコーダ110は‘目
標回転角θs±誤差’の値を表すようになる。
【0046】その後、前記測定段階で測定された第2リ
ンク12の実際回転角を分析し、目標回転角と実際回転
角との偏差を計算して制御部によりその偏差を補うこと
で、第2リンク12の回転角θsを補正する補正段階を
実施するようになる。
【0047】このような本発明に係る回転体の回転角測
定方法によりロボットを高精度作業に適用できる。
【0048】一方、本発明に係る回転体の回転角測定装
置100は、前述したように取付け時取付け板102に
設けられたボルト105をロボットの第2リンク12に
形成されたホール12aに挿着することによってロボッ
トに取付けられるが、ロボットの形態に応じてボルト1
05の挿入されるホールが存しない場合が発生しうる。
このような場合は図10及び図11に示したように、第
3リンク13の前方にロータリーエンコーダ110、ウ
ォーム122、ウォームホイール121及び電子水準器
140が装着される支持板103を配置し、後方には取
付け板102を配置してこれらを連結棒104で連結す
ることによって、回転角測定装置100を第3リンク1
3にも取り付けることができる。このような取付け方式
はこれに適した長さを持つ連結棒104だけを適用すれ
ば簡単になされる得る。
【0049】また、本発明に係る回転体の回転角測定装
置100は前記のような測定方法により第2リンク12
の回転角θsだけでなく、エンド効果器14の回転角θr
も精密に測定できることは勿論である。
【0050】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明に係る回転体の
回転角測定装置及び測定方法によれば、回転角センサー
と水準器を利用してロボットのリンク及びエンド効果器
などのように精密な作業に適用される回転体の回転角を
従来の測定装置よりさらに微細な角度まで正確に測定す
ることによって回転角を正確に補正できる効果を奏で
る。
【0051】また、回転体の形状が変る場合も簡単に取
付けて回転角を測定できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の回転体の回転角測定装置を示す正面図
である。
【図2】 本発明に係る回転体の回転角測定装置が装着
されたロボットを示す斜視図である。
【図3】 図2のロボットの機構図である。
【図4】 本発明に係る回転体の回転角測定装置を示す
斜視図である。
【図5】 本発明に係る回転角測定装置を示す分解斜視
図である。
【図6】 本発明に係る回転角測定装置の断面図であ
る。
【図7】 本発明に係る回転角測定装置の測定過程の初
期点セット段階を示す正面図である。
【図8】 本発明に係る回転角測定装置の測定過程の旋
回段階を示す正面図である。
【図9】 本発明に係る回転角測定装置の測定過程の初
期点復帰段階を示す正面図である。
【図10】 本発明に係る回転角測定装置がロボットに
装着された他の実施形態を示す斜視図である。
【図11】 図10のA部分の拡大図である。
【符号の説明】
101 ホルダ 102 取付け板 103 支持板 104 連結棒 110 ロータリーエンコーダ 113 シャフト 121 ウォームホイール 122 ウォーム 130 回転板 140 電子水準器

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 旋回可能な回転体に着脱自在に取付けら
    れ、前記回転体と共に旋回するホルダと、 前記ホルダに設けられ、前記ホルダに対して相対的に回
    転可能に設けられたシャフトを有する回転角センサー
    と、 前記回転角センサーのシャフトと共に回転するように結
    合され、前記シャフトの回転角を測定する基準になる初
    期点をセットできる水準器と、 前記回転角センサーのシャフトを回転させる作動手段
    と、を備えてなり、 前記回転体の旋回時、変化された前記水準器の値が前記
    初期点に復帰されるまで前記回転角センサーのシャフト
    を前記作動手段により回転させることによって前記シャ
    フトの回転角を前記回転角センサーにより測定して前記
    回転体の回転角を求めることを特徴とする回転体の回転
    角測定装置。
  2. 【請求項2】 前記ホルダは、前記回転体に直接取付け
    られる取付け板と、前記回転角センサーが固定される支
    持板と、前記取付け板と前記支持板とを連結する多数の
    連結棒と、から構成されていることを特徴とする請求項
    1に記載の回転体の回転角測定装置。
  3. 【請求項3】 前記作動手段は、前記ホルダに設けられ
    るウォームと、前記ウォームと噛合い前記回転角センサ
    ーのシャフトがその中心部を貫通して取り付けられる前
    記ウォームの駆動により前記回転角センサーのシャフト
    と共に回転するウォームホイールと、からなることを特
    徴とする請求項1に記載の回転体の回転角測定装置。
  4. 【請求項4】 前記ウォームホイールの前方には、前記
    回転角センサーのシャフトが貫通して取り付けられ、前
    記ウォームと前記ウォームホイールの駆動により前記シ
    ャフトと共に回転し、一側面に前記水準器を取り付ける
    ことのできる回転板が設けられていることを特徴とする
    請求項3に記載の回転体の回転角測定装置。
  5. 【請求項5】 前記ウォームの一端には、前記ウォーム
    を回転させるための駆動板と、前記駆動板の一側面から
    突設された取っ手と、が設けられていることを特徴とす
    る請求項4に記載の回転体の回転角測定装置。
  6. 【請求項6】 前記回転角センサーは、ロータリーエン
    コーダであることを特徴とする請求項1に記載の回転体
    の回転角度測定装置。
  7. 【請求項7】 回転角センサーと該回転角センサーのシ
    ャフトと共に回転するように設けられた水準器を回転体
    に取付ける段階と、 前記取付け段階後に前記水準器の初期点をセットする段
    階と、 前記初期点セット段階後に前記回転体を所定の目標回転
    角ほど旋回させる段階と、 前記旋回段階により変った水準器の値を初期点に復帰さ
    せるように前記水準器を回転させる段階と、 前記初期点復帰段階時、前記水準器と共に回転する前記
    回転角センサーのシャフトの回転角を前記回転角センサ
    ーが測定して、前記回転体が実際に回転した角度を測定
    する段階と、を含むことを特徴とする回転体の回転角測
    定方法。
  8. 【請求項8】 前記測定段階後に前記測定段階で測定さ
    れた前記回転体の実際回転角と前記旋回段階における前
    記目標回転角とを比較分析し、前記目標回転角と実際回
    転角との偏差を補うことで前記回転体の回転角を補正す
    る段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項7に記
    載の回転体の回転角測定方法。
JP2000222959A 2000-01-26 2000-07-24 回転体の回転角測定装置及び測定方法 Expired - Fee Related JP3396464B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000003628A KR100598567B1 (ko) 2000-01-26 2000-01-26 회전체의 회전각도 측정장치 및 측정방법
KR20003628 2000-01-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001208535A true JP2001208535A (ja) 2001-08-03
JP3396464B2 JP3396464B2 (ja) 2003-04-14

Family

ID=19641525

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000222959A Expired - Fee Related JP3396464B2 (ja) 2000-01-26 2000-07-24 回転体の回転角測定装置及び測定方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6418629B1 (ja)
JP (1) JP3396464B2 (ja)
KR (1) KR100598567B1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333712A (ja) * 2006-06-19 2007-12-27 Tokyo Univ Of Agriculture & Technology 傾斜角測定装置、これを搭載した工作機械および工作機械の傾斜角校正方法
CN102252617A (zh) * 2011-04-06 2011-11-23 哈尔滨工业大学 一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法
KR101145599B1 (ko) * 2010-04-14 2012-05-15 순천향대학교 산학협력단 승강 구조를 가지는 가사도우미 로봇
CN104197887A (zh) * 2014-06-19 2014-12-10 绍兴绍力机电科技有限公司 空气主轴倾斜误差测量装置及测量方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6792688B2 (en) * 2000-08-09 2004-09-21 Prüftechnik Dieter Busch AG Process and device for determining the alignment of a body with regard to a reference direction
SE0200947L (sv) * 2002-03-27 2003-06-03 Digatech Ab Anordning för inställning av en riktning
CN100334428C (zh) * 2003-12-18 2007-08-29 天津鼎成高新技术产业有限公司 动态角度测量装置
JP3883544B2 (ja) * 2004-02-27 2007-02-21 株式会社東芝 ロボット制御装置およびロボットの制御方法
CN101358840B (zh) * 2007-08-01 2010-06-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 色轮参数检测系统和方法
CN101358841B (zh) * 2007-08-01 2010-06-16 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 色轮参数检测系统和方法
JP5300831B2 (ja) * 2010-12-24 2013-09-25 三菱電機株式会社 機械角度測定装置
JP6155780B2 (ja) * 2013-04-10 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム
CN103335620B (zh) * 2013-07-05 2015-12-02 北京慧智神光科技有限公司 断路器行程检测系统及其安装方法
CN104461949B (zh) * 2013-09-25 2017-07-04 纬创资通股份有限公司 可安全移除周边装置的电子装置
CN103673968B (zh) * 2013-11-29 2016-08-24 南通高盛机械制造有限公司 一种能测量转角的导叶臂
TWI606228B (zh) 2015-10-23 2017-11-21 財團法人工業技術研究院 自動角度量測裝置及其方法
CN109073371B (zh) 2016-04-19 2020-06-02 Abb瑞士股份有限公司 倾斜检测的设备及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5611147A (en) * 1993-02-23 1997-03-18 Faro Technologies, Inc. Three dimensional coordinate measuring apparatus
KR0130450B1 (ko) 1993-12-30 1998-04-07 석진철 로보트 암의 원점복귀 및 동작한계 검출방법
US6976266B1 (en) * 1994-12-23 2005-12-13 Thomson Licensing S.A. Apparatus and method for processing a program guide in a digital video system
US5689892A (en) * 1996-03-07 1997-11-25 Trimble Navigation Limited Two-speed continuous tangent screw

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333712A (ja) * 2006-06-19 2007-12-27 Tokyo Univ Of Agriculture & Technology 傾斜角測定装置、これを搭載した工作機械および工作機械の傾斜角校正方法
KR101145599B1 (ko) * 2010-04-14 2012-05-15 순천향대학교 산학협력단 승강 구조를 가지는 가사도우미 로봇
CN102252617A (zh) * 2011-04-06 2011-11-23 哈尔滨工业大学 一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法
CN102252617B (zh) * 2011-04-06 2013-01-16 哈尔滨工业大学 一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法
CN104197887A (zh) * 2014-06-19 2014-12-10 绍兴绍力机电科技有限公司 空气主轴倾斜误差测量装置及测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010076470A (ko) 2001-08-16
JP3396464B2 (ja) 2003-04-14
US6418629B1 (en) 2002-07-16
KR100598567B1 (ko) 2006-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2001208535A (ja) 回転体の回転角測定装置及び測定方法
JP3511359B2 (ja) レーザ加工装置
EP0407592A1 (en) Articulated robot for laser work
JP2009509789A (ja) 仮想ツールセンターポイントを決定する方法
JP6943742B2 (ja) 測量装置及びトータルステーションと2次元レーザスキャナとの組立て方法
JPH0126833B2 (ja)
JP2010079471A (ja) ロボットシステム
WO1985000548A1 (en) Method of and apparatus for determining reference position of industrial robot
JP2007127530A (ja) 光学式リニアエンコーダの組立調整システム及び調整方法
CN113324514B (zh) 转轴调试方法与调试组件
JP4085616B2 (ja) 内面形状計測方法及びその装置
TWI490077B (zh) 校準裝置及多軸機械之補償方法
JPH04122505A (ja) 多軸ボール盤等の回転軸間距離及び回転軸の角度表示装置
JP2887892B2 (ja) 反射板保持治具
JP2000180166A (ja) レーザ測量装置
JPH0933236A (ja) 光モジュールの光軸測定方法
JP6015400B2 (ja) 溶接部材の溶接位置決め方法及び該溶接位置決め方法に用いる溶接部材調整装置並びに溶接部材の溶接位置決め装置
JP2002144034A (ja) ロボットにおける作業具の基準位置チェック装置
JP2760934B2 (ja) 多関節型ロボットの原点校正方法
JP2538287B2 (ja) 水平関節型ロボットの原点調整方式
JPH1174330A (ja) 半導体ウエファの位置決め装置
JPH05187830A (ja) 円形基板の外形測定装置
JP3778754B2 (ja) 位置調整用測定装置
JPH0752569Y2 (ja) 表面三次元形状測定装置
JP4972568B2 (ja) 磁界測定装置と磁界測定値の補正方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080207

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090207

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100207

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110207

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120207

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130207

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140207

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees