JP2001200355A - 蒸着装置 - Google Patents
蒸着装置Info
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- JP2001200355A JP2001200355A JP2000011351A JP2000011351A JP2001200355A JP 2001200355 A JP2001200355 A JP 2001200355A JP 2000011351 A JP2000011351 A JP 2000011351A JP 2000011351 A JP2000011351 A JP 2000011351A JP 2001200355 A JP2001200355 A JP 2001200355A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 るつぼの上部部分周辺の高温化腐食を防止し
ながらも還流効率の低下を防止することができる蒸着装
置を提供する。 【解決手段】 供試体金属１００を保持するるつぼ１２
と、るつぼ１２内の供試体金属１００を加熱して金属蒸
気１００ａを発生させる電子銃１３と、るつぼ１２の上
方に配設される蒸着板１０１とるつぼ１２との間を連絡
する蒸気封入器１５と、るつぼ１２と蒸気封入器との間
を連絡する冷却ブロック１４とを備えてなる蒸着装置に
おいて、冷却ブロック１４の内壁面を水平方向に対して
５０°〜７０°の範囲の角度で傾斜させた。
ながらも還流効率の低下を防止することができる蒸着装
置を提供する。 【解決手段】 供試体金属１００を保持するるつぼ１２
と、るつぼ１２内の供試体金属１００を加熱して金属蒸
気１００ａを発生させる電子銃１３と、るつぼ１２の上
方に配設される蒸着板１０１とるつぼ１２との間を連絡
する蒸気封入器１５と、るつぼ１２と蒸気封入器との間
を連絡する冷却ブロック１４とを備えてなる蒸着装置に
おいて、冷却ブロック１４の内壁面を水平方向に対して
５０°〜７０°の範囲の角度で傾斜させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、供試体金属を加熱
して発生させた金属蒸気を被蒸着体に蒸着させる蒸着装
置に関する。
して発生させた金属蒸気を被蒸着体に蒸着させる蒸着装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】供試体金属を加熱して発生させた金属蒸
気を被蒸着体に蒸着させる従来の蒸着装置の一例の概略
構成を図４に示す。
気を被蒸着体に蒸着させる従来の蒸着装置の一例の概略
構成を図４に示す。
【０００３】図４に示すように、内部を吸引減圧される
真空容器１１１の内部下方には、供試体金属１００を保
持する銅製のるつぼ１１２が配置されている。真空容器
１１１の内部上方には、蒸着板１０１が配設されてい
る。真空容器１１１の外壁面には、前記るつぼ１１２内
の供試体金属１００へ電子ビーム１０２を照射する電子
銃１１３が取り付けられている。るつぼ１１２の上部に
は、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却ブロック１１
４が連結されており、当該冷却ブロック１１４は、その
開口面積を上方側ほど広くするように壁面が傾斜してい
る。冷却ブロック１１４の上部には、蒸気封入器１１５
が連結されている。蒸気封入器１１５の壁面には、ヒー
タ（図示省略）が設けられている。
真空容器１１１の内部下方には、供試体金属１００を保
持する銅製のるつぼ１１２が配置されている。真空容器
１１１の内部上方には、蒸着板１０１が配設されてい
る。真空容器１１１の外壁面には、前記るつぼ１１２内
の供試体金属１００へ電子ビーム１０２を照射する電子
銃１１３が取り付けられている。るつぼ１１２の上部に
は、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却ブロック１１
４が連結されており、当該冷却ブロック１１４は、その
開口面積を上方側ほど広くするように壁面が傾斜してい
る。冷却ブロック１１４の上部には、蒸気封入器１１５
が連結されている。蒸気封入器１１５の壁面には、ヒー
タ（図示省略）が設けられている。
【０００４】このような蒸着装置の作用を以下に説明す
る。
る。
【０００５】真空容器１１１内を吸引して真空にし、冷
却ブロック１１４内に冷却水を流通させて冷却ブロック
１１４を冷却すると共に、前記ヒータを作動して蒸気封
入器１１５の壁面を加熱した後、電子銃１１３からるつ
ぼ１１２内の供試体金属１００へ向けて電子ビーム１０
２を照射すると、当該供試体金属１００は、加熱され、
溶融気化して金属蒸気１００ａとなり、そのほとんどが
蒸着板１０１の表面に蒸着する。一方、金属蒸気１００
ａの一部は、蒸気封入器１１５の内壁面に付着固化して
しまうものの、前記ヒータで加熱溶融されることによ
り、液体金属１００ｂとなって蒸気封入器１１５の内壁
面に沿って流下し、るつぼ１１２内に還流して再利用さ
れる。
却ブロック１１４内に冷却水を流通させて冷却ブロック
１１４を冷却すると共に、前記ヒータを作動して蒸気封
入器１１５の壁面を加熱した後、電子銃１１３からるつ
ぼ１１２内の供試体金属１００へ向けて電子ビーム１０
２を照射すると、当該供試体金属１００は、加熱され、
溶融気化して金属蒸気１００ａとなり、そのほとんどが
蒸着板１０１の表面に蒸着する。一方、金属蒸気１００
ａの一部は、蒸気封入器１１５の内壁面に付着固化して
しまうものの、前記ヒータで加熱溶融されることによ
り、液体金属１００ｂとなって蒸気封入器１１５の内壁
面に沿って流下し、るつぼ１１２内に還流して再利用さ
れる。
【０００６】また、るつぼ１１２の上部部分周辺は、る
つぼ１１２内の供試体金属１００からの輻射熱および供
試体金属１００の溶融表面で反射された電子ビーム１０
２ａや電子銃１３の放電等の際の発停などにより、非常
に高い温度となってしまう。このため、供試体金属１０
０がるつぼ１１２の上部部分周辺の部材の材料と反応し
やすい材料の場合には、還流してきた前記液体金属１０
０ｂがるつぼ１１２の上部部分周辺の部材を高温化腐食
してしまう虞がある。そこで、るつぼ１１２の上部部分
を冷却ブロック１１４として当該部分を冷却することに
より、前記輻射熱および前記電子ビーム１０２ａによる
加熱を防止して腐食を抑えるようにしている。なお、供
試体金属１００が反応しにくい材料の場合には、加工性
や耐熱性に優れる金属またはグラファイト等の炭素系材
料をるつぼ１１２の上部部分周辺の部材に使用してい
る。
つぼ１１２内の供試体金属１００からの輻射熱および供
試体金属１００の溶融表面で反射された電子ビーム１０
２ａや電子銃１３の放電等の際の発停などにより、非常
に高い温度となってしまう。このため、供試体金属１０
０がるつぼ１１２の上部部分周辺の部材の材料と反応し
やすい材料の場合には、還流してきた前記液体金属１０
０ｂがるつぼ１１２の上部部分周辺の部材を高温化腐食
してしまう虞がある。そこで、るつぼ１１２の上部部分
を冷却ブロック１１４として当該部分を冷却することに
より、前記輻射熱および前記電子ビーム１０２ａによる
加熱を防止して腐食を抑えるようにしている。なお、供
試体金属１００が反応しにくい材料の場合には、加工性
や耐熱性に優れる金属またはグラファイト等の炭素系材
料をるつぼ１１２の上部部分周辺の部材に使用してい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の蒸着装置では、供試体金属１００がるつ
ぼ１１２の上部部分周辺の部材と反応しやすい材料の場
合において、るつぼ１１２の上部部分に冷却ブロック１
１４を用いることにより腐食を抑えているため、供試体
金属１００の溶融温度等の条件によっては、蒸気封入器
１１５の内壁面に沿って流下してきた液体金属１００ｂ
が冷却ブロック１１４の内壁面上で固化してしまい、還
流効率が低下してしまう場合があった。
たような従来の蒸着装置では、供試体金属１００がるつ
ぼ１１２の上部部分周辺の部材と反応しやすい材料の場
合において、るつぼ１１２の上部部分に冷却ブロック１
１４を用いることにより腐食を抑えているため、供試体
金属１００の溶融温度等の条件によっては、蒸気封入器
１１５の内壁面に沿って流下してきた液体金属１００ｂ
が冷却ブロック１１４の内壁面上で固化してしまい、還
流効率が低下してしまう場合があった。
【０００８】このようなことから、本発明は、るつぼの
上部部分周辺の高温化腐食を防止しながらも還流効率の
低下を防止することができる蒸着装置を提供することを
目的とした。
上部部分周辺の高温化腐食を防止しながらも還流効率の
低下を防止することができる蒸着装置を提供することを
目的とした。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、第一番目の発明による蒸着装置は、供試体金属
を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体金属を
加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記るつぼ
の上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間を連絡
する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器との間
を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置におい
て、前記冷却ブロックの内壁面が水平方向に対して５０
〜７０°の角度で傾斜していることを特徴とする。
ための、第一番目の発明による蒸着装置は、供試体金属
を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体金属を
加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記るつぼ
の上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間を連絡
する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器との間
を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置におい
て、前記冷却ブロックの内壁面が水平方向に対して５０
〜７０°の角度で傾斜していることを特徴とする。
【００１０】また、第二番目の発明による蒸着装置は、
供試体金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供
試体金属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、
前記るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼと
の間を連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封
入器との間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着
装置において、前記金属蒸気に対して高耐食性を有する
焼結体を前記冷却ブロックの内壁面に設けたことを特徴
とする。
供試体金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供
試体金属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、
前記るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼと
の間を連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封
入器との間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着
装置において、前記金属蒸気に対して高耐食性を有する
焼結体を前記冷却ブロックの内壁面に設けたことを特徴
とする。
【００１１】上述した蒸着装置において、前記冷却ブロ
ックの内壁面上にアンカを打設し、当該冷却ブロックの
内壁面上にキャスタブルの前記焼結体を流し込んで固化
させることにより、当該冷却ブロックの内壁面に前記焼
結体が設けられていることを特徴とする。
ックの内壁面上にアンカを打設し、当該冷却ブロックの
内壁面上にキャスタブルの前記焼結体を流し込んで固化
させることにより、当該冷却ブロックの内壁面に前記焼
結体が設けられていることを特徴とする。
【００１２】上述した蒸着装置において、前記焼結体が
Ａｌ2 Ｏ3 またはＺｎＯ2 からなることを特徴とする。
Ａｌ2 Ｏ3 またはＺｎＯ2 からなることを特徴とする。
【００１３】上述した蒸着装置において、前記焼結体の
厚さが５〜２０ｍｍであることを特徴とする。
厚さが５〜２０ｍｍであることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明による蒸着装置の実施の形
態を以下に説明するが、本発明は、これらの実施の形態
に限定されるものではない。
態を以下に説明するが、本発明は、これらの実施の形態
に限定されるものではない。
【００１５】［第一番目の発明の実施の形態］第一番目
の発明による蒸着装置の実施の形態を図１，２を用いて
説明する。図１は、蒸着装置の概略構成図、図２は、図
１の要部の抽出拡大図である。
の発明による蒸着装置の実施の形態を図１，２を用いて
説明する。図１は、蒸着装置の概略構成図、図２は、図
１の要部の抽出拡大図である。
【００１６】図１に示すように、内部を吸引減圧される
真空容器１１の内部下方には、供試体金属１００を保持
する銅製のるつぼ１２が配置されている。真空容器１１
の内部上方には、被蒸着体である蒸着板１０１が配設さ
れている。真空容器１１の外壁面には、前記るつぼ１２
内の供試体金属１００へ電子ビーム１０２を照射する加
熱手段である電子銃１３が取り付けられている。るつぼ
１２の上部には、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却
ブロック１４が連結されており、当該冷却ブロック１４
は、図２に示すように、その開口面積を上方側ほど広く
するように内壁面が水平方向に対して５０〜７０°の角
度で傾斜している。図１に示すように、冷却ブロック１
４の上部には、蒸気封入器１５が連結されている。蒸気
封入器１５の壁面には、ヒータ（図示省略）が設けられ
ている。
真空容器１１の内部下方には、供試体金属１００を保持
する銅製のるつぼ１２が配置されている。真空容器１１
の内部上方には、被蒸着体である蒸着板１０１が配設さ
れている。真空容器１１の外壁面には、前記るつぼ１２
内の供試体金属１００へ電子ビーム１０２を照射する加
熱手段である電子銃１３が取り付けられている。るつぼ
１２の上部には、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却
ブロック１４が連結されており、当該冷却ブロック１４
は、図２に示すように、その開口面積を上方側ほど広く
するように内壁面が水平方向に対して５０〜７０°の角
度で傾斜している。図１に示すように、冷却ブロック１
４の上部には、蒸気封入器１５が連結されている。蒸気
封入器１５の壁面には、ヒータ（図示省略）が設けられ
ている。
【００１７】このような蒸着装置の作用を以下に説明す
る。
る。
【００１８】真空容器１１内を真空にして、冷却ブロッ
ク１４内に冷却水を流通させて冷却ブロック１４を冷却
すると共に、前記ヒータを作動して蒸気封入器１５の壁
面を加熱した後、電子銃１３からるつぼ１２内の供試体
金属１００へ向けて電子ビーム１０２を照射すると、当
該供試体金属１００は、加熱され、溶融気化して金属蒸
気１００ａとなり、そのほとんどが蒸着板１０１の表面
に蒸着する。一方、金属蒸気１００ａの一部は、蒸気封
入器１５の内壁面に付着固化してしまうものの、前記ヒ
ータで加熱溶融されることにより、液体金属１００ｂと
なって蒸気封入器１５の内壁面に沿って流下し、冷却ブ
ロック１４の内壁面上に到達する。
ク１４内に冷却水を流通させて冷却ブロック１４を冷却
すると共に、前記ヒータを作動して蒸気封入器１５の壁
面を加熱した後、電子銃１３からるつぼ１２内の供試体
金属１００へ向けて電子ビーム１０２を照射すると、当
該供試体金属１００は、加熱され、溶融気化して金属蒸
気１００ａとなり、そのほとんどが蒸着板１０１の表面
に蒸着する。一方、金属蒸気１００ａの一部は、蒸気封
入器１５の内壁面に付着固化してしまうものの、前記ヒ
ータで加熱溶融されることにより、液体金属１００ｂと
なって蒸気封入器１５の内壁面に沿って流下し、冷却ブ
ロック１４の内壁面上に到達する。
【００１９】冷却ブロック１４の内壁面に到達した液体
金属１００ｂは、当該冷却ブロック１４が水平方向に対
して５０°以上の角度で傾斜しているため、当該冷却ブ
ロック１４で冷却固化される前に当該冷却ブロック１４
の内壁面を流下してるつぼ１２内に還流し、再利用され
る。
金属１００ｂは、当該冷却ブロック１４が水平方向に対
して５０°以上の角度で傾斜しているため、当該冷却ブ
ロック１４で冷却固化される前に当該冷却ブロック１４
の内壁面を流下してるつぼ１２内に還流し、再利用され
る。
【００２０】また、るつぼ１２内の供試体金属１００か
らの輻射熱および供試体金属１００の溶融表面で反射さ
れた電子ビーム１０２ａや電子銃１３の放電等の際の発
停などにより、るつぼ１２の上部部分周辺は、高温に加
熱されてしまうものの、冷却ブロック１４で冷却される
ので、前記輻射熱および前記電子ビーム１０２ａによる
加熱が防止されて腐食が抑制される。
らの輻射熱および供試体金属１００の溶融表面で反射さ
れた電子ビーム１０２ａや電子銃１３の放電等の際の発
停などにより、るつぼ１２の上部部分周辺は、高温に加
熱されてしまうものの、冷却ブロック１４で冷却される
ので、前記輻射熱および前記電子ビーム１０２ａによる
加熱が防止されて腐食が抑制される。
【００２１】したがって、このような蒸着装置によれ
ば、るつぼ１２の上部部分周辺の高温化腐食を防止しな
がらも、液体金属１００ｂの還流効率の低下を防止する
ことができる。
ば、るつぼ１２の上部部分周辺の高温化腐食を防止しな
がらも、液体金属１００ｂの還流効率の低下を防止する
ことができる。
【００２２】なお、冷却ブロック１４は、水平方向に対
して５０°以上の角度で傾斜していれば、液体金属１０
０ｂを冷却固化させることなくるつぼ１２内に還流させ
ることができるものの、水平方向に対して７０°以下の
角度で傾斜していることが望ましい。なぜなら、冷却ブ
ロック１４が水平方向に対して７０°を超える角度で傾
斜すると、冷却ブロック１４の上方の開口量が小さくな
り、供試体金属１００の蒸発する有効面積Ｓが狭くなっ
てしまうため、有効蒸発量を確保できるようにるつぼ１
２を大型化しなければならず、空間的に無駄を生じてし
まうだけでなく、高価な供試体金属１００を多く使用し
てしまい、経済的にも無駄を生じてしまうからである。
して５０°以上の角度で傾斜していれば、液体金属１０
０ｂを冷却固化させることなくるつぼ１２内に還流させ
ることができるものの、水平方向に対して７０°以下の
角度で傾斜していることが望ましい。なぜなら、冷却ブ
ロック１４が水平方向に対して７０°を超える角度で傾
斜すると、冷却ブロック１４の上方の開口量が小さくな
り、供試体金属１００の蒸発する有効面積Ｓが狭くなっ
てしまうため、有効蒸発量を確保できるようにるつぼ１
２を大型化しなければならず、空間的に無駄を生じてし
まうだけでなく、高価な供試体金属１００を多く使用し
てしまい、経済的にも無駄を生じてしまうからである。
【００２３】［第二番目の発明の実施の形態］第二番目
の発明による蒸着装置の実施の形態を図３を用いて説明
する。なお、図３は、蒸着装置の要部の概略構成図であ
る。ただし、前述した実施の形態と同様な部材について
は、前述した実施の形態の説明で用いた符号と同一の符
号を用いることにより、その説明を省略する。
の発明による蒸着装置の実施の形態を図３を用いて説明
する。なお、図３は、蒸着装置の要部の概略構成図であ
る。ただし、前述した実施の形態と同様な部材について
は、前述した実施の形態の説明で用いた符号と同一の符
号を用いることにより、その説明を省略する。
【００２４】図３に示すように、るつぼ１２の上部に
は、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却ブロック２４
が連結されており、当該冷却ブロック２４は、その開口
面積を上方側ほど広くするように壁面が水平方向に対し
て傾斜している。冷却ブロック２４の内壁面には、金属
蒸気１００ａに対して高耐食性を有する焼結体２６がア
ンカ２７を介して固着されている。
は、冷却水を内部に流通させる銅製の冷却ブロック２４
が連結されており、当該冷却ブロック２４は、その開口
面積を上方側ほど広くするように壁面が水平方向に対し
て傾斜している。冷却ブロック２４の内壁面には、金属
蒸気１００ａに対して高耐食性を有する焼結体２６がア
ンカ２７を介して固着されている。
【００２５】この焼結体２６としては、製鋼分野で用い
られているレンガ質系などが挙げられ、特に、液体金属
１００ｂがＦｅの場合にはＡｌ2 Ｏ3 等を適用し、液体
金属１００ｂがＴｉの場合にはＺｎＯ2 等を適用すると
好ましい。
られているレンガ質系などが挙げられ、特に、液体金属
１００ｂがＦｅの場合にはＡｌ2 Ｏ3 等を適用し、液体
金属１００ｂがＴｉの場合にはＺｎＯ2 等を適用すると
好ましい。
【００２６】このような焼結体２６は、冷却ブロック２
４の内壁面上にアンカ２７を打設し、当該冷却ブロック
２４の内壁面の周縁を木枠等で囲み、当該木枠等の内側
にキャスタブルの焼結体２６を徐々に流し込みながら固
化させていくことにより、冷却ブロック２４に対して良
好に密着させて取り付けることが簡単にできる。
４の内壁面上にアンカ２７を打設し、当該冷却ブロック
２４の内壁面の周縁を木枠等で囲み、当該木枠等の内側
にキャスタブルの焼結体２６を徐々に流し込みながら固
化させていくことにより、冷却ブロック２４に対して良
好に密着させて取り付けることが簡単にできる。
【００２７】なお、冷却ブロック２４の内壁面に定型品
の焼結体２６を取り付けるように施工することも可能で
ある。
の焼結体２６を取り付けるように施工することも可能で
ある。
【００２８】このような蒸着装置では、液体金属１００
ｂが蒸気封入器１５の内壁面に沿って流下して焼結体２
６上に到達すると、焼結体２６の熱伝導率が小さいこと
から、液体金属１００ｂの熱が焼結体２６を介して冷却
ブロック２４に奪われてしまう前に当該焼結体２６上を
流下してるつぼ１２に到達するようになる。このため、
液体金属１００ｂは、途中で冷却固化することなくるつ
ぼ１２内に還流して再利用されるようになる。
ｂが蒸気封入器１５の内壁面に沿って流下して焼結体２
６上に到達すると、焼結体２６の熱伝導率が小さいこと
から、液体金属１００ｂの熱が焼結体２６を介して冷却
ブロック２４に奪われてしまう前に当該焼結体２６上を
流下してるつぼ１２に到達するようになる。このため、
液体金属１００ｂは、途中で冷却固化することなくるつ
ぼ１２内に還流して再利用されるようになる。
【００２９】また、るつぼ１２内の供試体金属１００か
らの輻射熱および供試体金属１００の溶融表面で反射さ
れた電子ビーム１０２ａや電子銃１３の放電等の際の発
停などで焼結体２６に過剰な熱エネルギが加えられてし
まうものの、冷却ブロック２４で取り除かれてしまうの
で、焼結体２６が過剰に加熱されてしまうことはない。
このため、焼結体２６は、熱劣化が抑制され、損傷が防
止される。
らの輻射熱および供試体金属１００の溶融表面で反射さ
れた電子ビーム１０２ａや電子銃１３の放電等の際の発
停などで焼結体２６に過剰な熱エネルギが加えられてし
まうものの、冷却ブロック２４で取り除かれてしまうの
で、焼結体２６が過剰に加熱されてしまうことはない。
このため、焼結体２６は、熱劣化が抑制され、損傷が防
止される。
【００３０】したがって、このような蒸着装置によれ
ば、前述した実施の形態の場合と同様に、るつぼ１２の
上部部分周辺の高温化腐食を防止しながらも、液体金属
１００ｂの還流効率の低下を防止することができる。
ば、前述した実施の形態の場合と同様に、るつぼ１２の
上部部分周辺の高温化腐食を防止しながらも、液体金属
１００ｂの還流効率の低下を防止することができる。
【００３１】なお、焼結体２６の厚さは、その材質によ
る熱伝導率や施工性等に基づいて適宜選定すればよく、
一般的には５〜２０ｍｍの範囲が望ましい。なぜなら、
５ｍｍ未満であると、施工が難しくなる一方、２０ｍｍ
を超えると、冷却ブロック２４による冷却効果が不十分
となり、焼結体２６の寿命が短くなってしまうからであ
る。
る熱伝導率や施工性等に基づいて適宜選定すればよく、
一般的には５〜２０ｍｍの範囲が望ましい。なぜなら、
５ｍｍ未満であると、施工が難しくなる一方、２０ｍｍ
を超えると、冷却ブロック２４による冷却効果が不十分
となり、焼結体２６の寿命が短くなってしまうからであ
る。
【００３２】
【発明の効果】第一番目の発明による蒸着装置は、供試
体金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体
金属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記
るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間
を連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器
との間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置
において、前記冷却ブロックの内壁面が水平方向に対し
て５０°以上の角度で傾斜していることから、蒸気封入
器の内壁面に沿って流下してきた液体金属が冷却ブロッ
クで冷却固化する前に当該冷却ブロックの内壁面を流下
してるつぼ内に還流することができると同時に、るつぼ
の上部部分周辺を冷却ブロックで冷却することができ
る。その結果、るつぼの上部部分周辺の高温化腐食を防
止しながらも、液体金属の還流効率の低下を防止するこ
とができる。また、前記冷却ブロックの内壁面が水平方
向に対して７０°以下の角度で傾斜しているので、その
上方の開口面積を大きくして、金属蒸気の十分な流通有
効面積を確保することができる。その結果、るつぼを小
型化することができ、空間的および経済的に無駄を生じ
ることがない。
体金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体
金属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記
るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間
を連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器
との間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置
において、前記冷却ブロックの内壁面が水平方向に対し
て５０°以上の角度で傾斜していることから、蒸気封入
器の内壁面に沿って流下してきた液体金属が冷却ブロッ
クで冷却固化する前に当該冷却ブロックの内壁面を流下
してるつぼ内に還流することができると同時に、るつぼ
の上部部分周辺を冷却ブロックで冷却することができ
る。その結果、るつぼの上部部分周辺の高温化腐食を防
止しながらも、液体金属の還流効率の低下を防止するこ
とができる。また、前記冷却ブロックの内壁面が水平方
向に対して７０°以下の角度で傾斜しているので、その
上方の開口面積を大きくして、金属蒸気の十分な流通有
効面積を確保することができる。その結果、るつぼを小
型化することができ、空間的および経済的に無駄を生じ
ることがない。
【００３３】第二番目の発明による蒸着装置は、供試体
金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体金
属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記る
つぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間を
連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器と
の間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置に
おいて、前記金属蒸気に対して高耐食性を有する焼結体
を前記冷却ブロックの内壁面に設けたことから、液体金
属が蒸気封入器の内壁面に沿って流下して焼結体上に到
達すると、焼結体の熱伝導率が小さいため、液体金属の
熱が焼結体を介して冷却ブロックに奪われてしまう前に
当該焼結体上を流下してるつぼに到達するようになるの
で、液体金属が途中で冷却固化してしまうことなくるつ
ぼ内に還流すると同時に、焼結体の過剰な加熱が冷却ブ
ロックで冷却され、焼結体２６の熱劣化を抑制すること
ができる。その結果、るつぼの上部部分周辺の高温化腐
食を防止しながらも、液体金属の還流効率の低下を防止
することができる。
金属を保持するるつぼと、前記るつぼ内の前記供試体金
属を加熱して金属蒸気を発生させる加熱手段と、前記る
つぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼとの間を
連絡する蒸気封入器と、前記るつぼと前記蒸気封入器と
の間を連絡する冷却ブロックとを備えてなる蒸着装置に
おいて、前記金属蒸気に対して高耐食性を有する焼結体
を前記冷却ブロックの内壁面に設けたことから、液体金
属が蒸気封入器の内壁面に沿って流下して焼結体上に到
達すると、焼結体の熱伝導率が小さいため、液体金属の
熱が焼結体を介して冷却ブロックに奪われてしまう前に
当該焼結体上を流下してるつぼに到達するようになるの
で、液体金属が途中で冷却固化してしまうことなくるつ
ぼ内に還流すると同時に、焼結体の過剰な加熱が冷却ブ
ロックで冷却され、焼結体２６の熱劣化を抑制すること
ができる。その結果、るつぼの上部部分周辺の高温化腐
食を防止しながらも、液体金属の還流効率の低下を防止
することができる。
【００３４】また、前記冷却ブロックの内壁面上にアン
カを打設し、当該冷却ブロックの内壁面上にキャスタブ
ルの前記焼結体を流し込んで固化させることにより、当
該冷却ブロックの内壁面に前記焼結体が設けられている
ので、冷却ブロックに対して焼結体が良好に密着して取
り付けられるようになる。
カを打設し、当該冷却ブロックの内壁面上にキャスタブ
ルの前記焼結体を流し込んで固化させることにより、当
該冷却ブロックの内壁面に前記焼結体が設けられている
ので、冷却ブロックに対して焼結体が良好に密着して取
り付けられるようになる。
【００３５】また、前記焼結体がＡｌ2 Ｏ3 またはＺｎ
Ｏ2 からなれば、上述した効果を顕著に得ることができ
る。
Ｏ2 からなれば、上述した効果を顕著に得ることができ
る。
【００３６】また、前記焼結体の厚さが５〜２０ｍｍで
あれば、焼結体を冷却ブロックに容易に施工することが
できると同時に、焼結体を冷却ブロックで必要十分に冷
却することができ、焼結体の寿命を延ばすことができ
る。
あれば、焼結体を冷却ブロックに容易に施工することが
できると同時に、焼結体を冷却ブロックで必要十分に冷
却することができ、焼結体の寿命を延ばすことができ
る。
【図１】第一番目の発明による蒸着装置の実施の形態の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】図１の要部の抽出拡大図である。
【図３】第一番目の発明による蒸着装置の実施の形態の
要部の概略構成図である。
要部の概略構成図である。
【図４】従来の蒸着装置の一例の概略構成図である。
１１ 真空容器 １２ るつぼ １３ 電子銃 １４，２４ 冷却ブロック １５ 蒸気封入器 ２６ 焼結体 ２７ アンカ １００ 供試体金属 １００ａ 金属蒸気 １００ｂ 液体金属 １０１ 蒸着板 １０２，１０２ａ 電子ビーム
Claims (5)
- 【請求項１】 供試体金属を保持するるつぼと、 前記るつぼ内の前記供試体金属を加熱して金属蒸気を発
生させる加熱手段と、 前記るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼと
の間を連絡する蒸気封入器と、 前記るつぼと前記蒸気封入器との間を連絡する冷却ブロ
ックとを備えてなる蒸着装置において、 前記冷却ブロックの内壁面が水平方向に対して５０〜７
０°の角度で傾斜していることを特徴とする蒸着装置。 - 【請求項２】 供試体金属を保持するるつぼと、 前記るつぼ内の前記供試体金属を加熱して金属蒸気を発
生させる加熱手段と、 前記るつぼの上方に配設される被蒸着体と当該るつぼと
の間を連絡する蒸気封入器と、 前記るつぼと前記蒸気封入器との間を連絡する冷却ブロ
ックとを備えてなる蒸着装置において、 前記金属蒸気に対して高耐食性を有する焼結体を前記冷
却ブロックの内壁面に設けたことを特徴とする蒸着装
置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の蒸着装置において、 前記冷却ブロックの内壁面上にアンカを打設し、当該冷
却ブロックの内壁面上にキャスタブルの前記焼結体を流
し込んで固化させることにより、当該冷却ブロックの内
壁面に前記焼結体が設けられていることを特徴とする蒸
着装置。 - 【請求項４】 請求項２または３に記載の蒸着装置にお
いて、 前記焼結体がＡｌ2 Ｏ3 またはＺｎＯ2 からなることを
特徴とする蒸着装置。 - 【請求項５】 請求項２から４のいずれかに記載の蒸着
装置において、 前記焼結体の厚さが５〜２０ｍｍであることを特徴とす
る蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011351A JP2001200355A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011351A JP2001200355A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001200355A true JP2001200355A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18539227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000011351A Withdrawn JP2001200355A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001200355A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012039524A1 (ko) * | 2010-09-20 | 2012-03-29 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 모노머 증착장치 |
-
2000
- 2000-01-20 JP JP2000011351A patent/JP2001200355A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012039524A1 (ko) * | 2010-09-20 | 2012-03-29 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 모노머 증착장치 |
| KR101188109B1 (ko) | 2010-09-20 | 2012-10-05 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 모노머 증착장치 |
| CN103119745A (zh) * | 2010-09-20 | 2013-05-22 | Snu精密股份有限公司 | 单体沉积设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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