JP2001199065A - インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 色再現性を向上し、製造コストを低減したイ
ンクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装
置。 【解決手段】 ノズル開口２１Ａ、２１Ｂに連通する圧
力発生室１２Ａ、１２Ｂが形成される流路形成基板１０
と、振動板３０を介して圧力発生室１２Ａ、１２Ｂに対
向する領域に設けられて圧力発生室内１２Ａ、１２Ｂに
圧力変化を生じさせる圧電素子５０とを具備する。副走
査方向に並設された圧力発生室１２Ａ、１２Ｂの列の両
側にリザーバ１３Ａ、１３Ｂが形成され圧力発生室１２
Ａ、１２Ｂのそれぞれは、リザーバ１３Ａ、１３Ｂと連
通し、リザーバ１３Ａ、１３Ｂとの連通側とは反対側の
端部近傍でノズル開口２１Ａ、２１Ｂと連通し圧力発生
室１２Ａ、１２Ｂのそれぞれに連通するノズル開口２１
Ａ、２１Ｂの副走査方向の位置を同一となるように設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
るノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構
成し、この振動板を介して圧電素子を設けて、圧電素子
の変位によりインク滴を吐出させるインクジェット式記
録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インク滴を吐出するノズル開口と連通す
る圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧
電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧して
ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式
記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦
振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、た
わみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの
２種類が実用化されている。

【０００３】前者は圧電素子の端面を振動板に当接させ
ることにより圧力発生室の容積を変化させることができ
て、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反
面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛
歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられた
圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する作業が必
要となり、製造工程が複雑であるという問題がある。

【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼
成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電素子を作
り付けることができるものの、たわみ振動を利用する関
係上、ある程度の面積が必要となり、高密度配列が困難
であるという問題がある。

【０００５】一方、後者の記録ヘッドの不都合を解消す
べく、特開平５−２８６１３１号公報に見られるよう
に、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧
電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法に
より圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生
室毎に独立するように圧電素子を形成したものが提案さ
れている。

【０００６】これによれば圧電素子を振動板に貼付ける
作業が不要となって、リソグラフィ法という精密で、か
つ簡便な手法で圧電素子を作り付けることができるばか
りでなく、圧電素子の厚みを薄くできて高速駆動が可能
になるという利点がある。なお、この場合、圧電材料層
は振動板の表面全体に設けたままで少なくとも上電極の
みを各圧力発生室毎に設けることにより、各圧力発生室
に対応する圧電アクチュエータを駆動することができ
る。

【０００７】このようなインクジェット式記録ヘッド
は、色インクを用いることにより、カラープリンタとし
て一般的に普及し、これに伴って印刷品質及び記録密度
をさらに向上させることが要望されている。

【０００８】ここで、印刷品質の向上では、特に色再現
性を向上させることが課題となっており、各色のインク
に加えさらにインク濃度の異なるインクを使用するなど
インクを多色化して、色再現性を向上させるものが効果
的である。

【０００９】また、一般的にカラー印刷を行うインクジ
ェット式記録ヘッドは、各色毎にノズル開口をヘッドの
移動方向である主走査方向に交差する方向である副走査
方向に一列に設け、この一列に設けられたノズル列を主
走査方向に沿って並設するものや、各色に対応するノズ
ル列を副走査方向に沿って並設するものなどが実用化さ
れている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、何れの
ノズル開口の配置であっても、インクの多色化に伴って
記録ヘッドが大型となってしまい製造コストが高くなっ
てしまうという問題がある。

【００１１】また、後者のノズル開口の配置では、記録
媒体を副走査方向に移動させて色を重ねて２次色の作成
を行うため、記録媒体の副走査方向の送り精度によって
インク滴の着弾位置に誤差が生じ、色調ずれや色むらが
できてしまうという問題がある。また、特に記録媒体の
上下端に印刷する場合には、記録媒体が記録ヘッドの副
走査方向の前後に設けられたローラの一方のみで狭持さ
れた状態で印刷しなければならないため、記録媒体の紙
送り精度が悪くなるので、高精度に印刷可能な範囲が減
少してしまうという問題がある。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑み、インク
を多色化して色再現性を向上し、且つ記録ヘッドを小型
化すると共に製造コストを低減したインクジェット式記
録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供すること
を課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が
形成される流路形成基板と、前記圧力発生室の一部を構
成する振動板を介して前記圧力発生室に対向する領域に
設けられて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧
電素子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおい
て、ヘッドの移動方向である主走査方向に交差する方向
である副走査方向に並設された前記圧力発生室の列の両
側に各圧力発生室にインクを供給するリザーバが形成さ
れると共に、前記圧力発生室のそれぞれは、並び方向に
交互に長手方向で異なる端部で前記リザーバと連通し且
つ前記リザーバとの連通側とは反対側の端部近傍で前記
ノズル開口と連通しており、隣接して対をなす圧力発生
室のそれぞれに連通するノズル開口の副走査方向の位置
が同一となるように設けられていることを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッドにある。

【００１４】かかる第１の態様では、隣接して対をなす
圧力発生室のそれぞれに異なるインクを配置できると共
にそれぞれに連通するノズル開口の副走査方向の位置が
同一なため、吐出されるインク滴の着弾位置の誤差が抑
えられ、色再現性を保持したまま、小型化、低コスト化
を図ることができる。

【００１５】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記隣接して対をなす圧力発生室の一方の圧力発生
室には、長手方向の一端部側で他方の圧力発生室に向か
って延設された延設部が連通すると共に他方の圧力発生
室には長手方向の他端部側で前記一方の圧力発生室に向
かって延設された延設部が連通し、各圧力発生室は当該
延設部を介して前記ノズル開口と連通していることを特
徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。

【００１６】かかる第２の態様では、延設部を設けるこ
とにより、隣接して対をなす圧力発生室のそれぞれに延
設部を介して各ノズル開口が連通され、各ノズル開口の
副走査方向の位置が同一となる。

【００１７】本発明の第３の態様は、第１の態様におい
て、各圧力発生室は、前記隣接して対をなす圧力発生室
のそれぞれに連通する前記ノズル開口の副走査方向の位
置が同一となるようにその長手方向が主走査方向に対し
て傾いて設けられていることを特徴とするインクジェッ
ト式記録ヘッドにある。

【００１８】かかる第３の態様では、各圧力発生室の長
手方向を主走査方向に対して傾けて設けることにより、
隣接して対をなす圧力発生室のそれぞれに連通するノズ
ル開口の副走査方向の位置が同一となる。

【００１９】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基
板からなり前記圧力発生室及び前記リザーバが異方性エ
ッチングにより形成されていることを特徴とするインク
ジェット式記録ヘッドにある。

【００２０】かかる第４の態様では、圧力発生室及びノ
ズル開口を高密度に且つ容易に形成することができる。

【００２１】本発明の第５の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記流路形成基板が複数枚の積層板に
より形成されていることを特徴とするインクジェット式
記録ヘッドにある。

【００２２】かかる第５の態様では、圧力発生室及びノ
ズル開口を高密度に且つ容易に形成することができる。

【００２３】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、並設された前記圧力発生室の列に対応
して設けられた２列のノズル開口の列には、それぞれ同
色系のインクが配置されることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。

【００２４】かかる第６の態様では、隣接するノズル列
のそれぞれに同色系のインクが配置されるため、クリー
ニング時等にノズル開口近傍の混色による色調ずれ及び
色むらが抑えられる。

【００２５】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様において、前記振動板に前記圧電素子の端部が当
接して設けられると共に前記圧力発生室の各列に対して
並び方向に列設されていることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。

【００２６】かかる第７の態様では、各圧力発生室毎に
設けられた縦振動モードの圧電素子の駆動によりインク
滴が吐出される。

【００２７】本発明の第８の態様は、第１〜７の何れか
の態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを
特徴とするインクジェット式記録装置にある。

【００２８】かかる第８の態様では、ヘッドの色再現性
を向上すると共に高密度化したインクジェット式記録ヘ
ッドを実現することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施形態に基づい
て詳細に説明する。

【００３０】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図、図
２は流路形成基板の上面図、図３は、図２のＡ−Ａ′断
面図及びＢ−Ｂ′断面図である。

【００３１】図示するように、流路形成基板１０は、シ
リコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分に
は、例えば、異方性エッチングによって複数の隔壁１１
によって画成された圧力発生室１２（１２Ａ、１２Ｂ）
がその幅方向に並設されている。また、各圧力発生室１
２の列の両側には、各圧力発生室１２にインクを供給す
るためのリザーバ１３（第１リザーバ１３Ａ及び第２リ
ザーバ１３Ｂ）が、圧力発生室１２と同様に異方性エッ
チングによって流路形成基板を貫通して形成されてい
る。なお、詳しくは後述するが、圧力発生室１２Ａは第
１リザーバ１３Ａと連通し、圧力発生室１２Ｂは第２リ
ザーバ１３Ｂと連通している。

【００３２】ここで、異方性エッチングは、ウエットエ
ッチング又はドライエッチングの何れの方法を用いても
よく、シリコン単結晶板を厚さ方向に途中までエッチン
グ（ハーフエッチング）することにより圧力発生室１２
は貫通することなく浅く形成されている。なお、ハーフ
エッチングはエッチング時間の調整により行われる。

【００３３】また、本実施形態では、圧力発生室１２
は、長手方向端部の一方が第１リザーバ１３Ａもしくは
第２リザーバ１３Ｂと連通し、且つこの一方の端部の幅
方向略中央には島部１４（１４Ａ、１４Ｂ）が残るよう
にエッチングにより形成される。

【００３４】この島部１４を設けることによって、リザ
ーバ１３から各圧力発生室１２にインクを供給する２つ
のインク供給口１５（１５Ａ、１５Ｂ）が画成されてい
る。具体的には、インク供給口１５は、並設された各圧
力発生室１２に、交互に異なる端部に形成され、このイ
ンク供給口１５を介して各圧力発生室１２は第１のリザ
ーバ１３Ａ及び第２のリザーバ１３Ｂの一方と連通され
ている。すなわち、一つの圧力発生室１２の列毎に、半
分ずつの圧力発生室１２が第１及び第２のリザーバ１３
Ａ、１３Ｂにそれぞれ連通されている。

【００３５】ここで、並設された圧力発生室１２の列の
隣接して対をなす２つの圧力発生室１２Ａ、１２Ｂの形
状を詳しく説明する。

【００３６】一方の圧力発生室１２Ａのインク供給口１
５Ａとは反対側の長手方向端部には、流路形成基板の他
方面側まで貫通するインク連通路１６Ａが形成されてい
る。また、流路形成基板１０の他方面側には、インク連
通路１６Ａに面方向に連通し且つ他方の圧力発生室１２
Ｂに向かって後述するノズル開口２１Ａに対応する領域
まで延設された延設部１７Ａが形成されている。この延
設部１７Ａは、本実施形態では、他方の圧力発生室１２
Ｂに対向する領域まで延設され、他方の圧力発生室１２
Ｂと連通しないように圧力発生室１２Ａの形成された面
とは反対側から異方性エッチングすることにより浅い凹
部として形成されている。

【００３７】また、他方の圧力発生室１２Ｂのインク供
給口１５Ｂとは反対側の長手方向端部には、他方面側ま
で貫通するインク連通路１６Ｂが形成されており、さら
に、他方面側にはインク連通路１６Ｂに面方向に連通し
且つ一方の圧力発生室１２Ａに対向する領域まで延設さ
れた延設部１７Ｂが延設部１７Ａと同様に異方性エッチ
ングによって形成されている。なお、インク連通路１６
Ａ、１６Ｂも延設部１７Ａ、１７Ｂの形成された面から
異方性エッチングすることにより形成される。

【００３８】このような対をなす圧力発生室１２Ａ、１
２Ｂが、その幅方向に交互に並設されて圧力発生室１２
の列を構成しており、圧力発生室１２の列が形成された
流路形成基板１０の延設部１７Ａ、１７Ｂ側の面には、
各延設部１７Ａ、１７Ｂに連通するノズル開口２１Ａ、
２１Ｂが穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶
着フィルムを介して接着されている。

【００３９】ここで、対をなす２つの圧力発生室１２
Ａ、１２Ｂの各ノズル開口２１Ａ、２１Ｂは、圧力発生
室１２Ａ、１２Ｂの幅方向の位置が同一となるように、
圧力発生室１２Ａ、１２Ｂに挟まれた隔壁１１の幅方向
の略中央に設けられ、並設された圧力発生室１２の列に
は、圧力発生室１２Ａ及び１２Ｂにそれぞれ連通するノ
ズル開口２１Ａ、２１Ｂの列（ノズル列）２２Ａ、２２
Ｂが、長手方向に２列設けられる。

【００４０】そして、このような並設された圧力発生室
１２が圧力発生室１２の幅方向の位置が同一となるよう
に複数列設けられ、並設された圧力発生室１２に対応し
て設けられた複数の各ノズル列２２Ａ、２２Ｂにはそれ
ぞれ異なる色のインクカートリッジからインクが供給さ
れ、各色のインクが吐出されるようになっている。

【００４１】一方、流路形成基板１０の圧力発生室１２
側の面は振動板３０で封止され、この振動板３０上に
は、さらに図示しない複数インクカートリッジに接続さ
れるインク供給路４１を有するヘッドケース４０が固定
されており、このインク供給路４１と第１及び第２のリ
ザーバ１３Ａ、１３Ｂとはそれぞれ振動板３０に設けら
れたインク供給連通孔３１を介して連通されている。

【００４２】さらに、振動板３０上の各圧力発生室１２
の列に対応する領域には、圧電素子５０が各圧力発生室
１２毎に圧力発生室１２の数だけ列設されている。この
圧電素子５０は、その先端が振動板３０に設けられたア
イランド部３０ａに当接されている。これらの圧電素子
５０は、圧電材料５１と、電極形成材料５２及び５３と
を縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層され、振動に
寄与しない不活性領域が固定基板６０に固着されてい
る。なお、固定基板６０と、振動板３０、流路形成基板
１０及びノズルプレート２０とは、ヘッドケース４０を
介して一体的に固定されている。

【００４３】このように構成されたインクジェット式記
録ヘッドでは、インクカートリッジに連通されるインク
供給路４１を介してリザーバ１３Ａ、１３Ｂにインクが
供給され、インク供給口１５を介して各圧力発生室１２
に分配される。実際には、圧電素子５０に電圧を印加す
ることにより圧電素子５０を収縮させる。これにより、
振動板３０が圧電素子５０と共に引き上げられて圧力発
生室１２の容積が広げられ、圧力発生室１２内にインク
が引き込まれる。そして、ノズル開口２１Ａ、２１Ｂに
至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記
録信号に従い、圧電素子５０の電極形成材料５２及び５
３に印加していた電圧を解除すると、圧電素子５０が伸
張されて元の状態に戻る。これにより、振動板３０も変
位して元の状態に戻るため圧力発生室１２が収縮され、
内部圧力が高まりノズル開口２１Ａ、２１Ｂからインク
滴が吐出される。

【００４４】このようなインクジェット式記録ヘッド
は、各ノズル列２２Ａ、２２Ｂがヘッドの移動方向であ
る主走査方向に交差する方向である副走査方向に沿うよ
うにインクジェット式記録装置に搭載される。図４は、
そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図であ
る。

【００４５】図４に示すように、インクジェット式記録
ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、イ
ンク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着
脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１
Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けら
れたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられてい
る。

【００４６】この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、
例えば、それぞれブラックインク組成物及び複数色のカ
ラーインク組成物を吐出するものとしている。なお、本
実施形態では、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生
室１２の列が３列設けられており、全体として６列のノ
ズル列２２Ａ、２２Ｂを有し、各ノズル列２２Ａ、２２
Ｂは、それぞれ主走査方向に交互に配置されている。

【００４７】このように配置されたノズル列２２Ａ、２
２Ｂには、それぞれ異なる色のインクカートリッジ１Ａ
及び１Ｂからインクが供給され、６色のインク、本実施
形態では、ブラック（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、シアン
（Ｃ）、ライトシアン（ＬＣ）、マゼンダ（Ｍ）及びラ
イトマゼンダ（ＬＭ）の各色が吐出されるようになって
いる。

【００４８】また、本実施形態では、これら複数色のカ
ラーインクの内、同色系の濃いインクと淡いインクとが
それぞれ隣接するノズル列２２Ａ、２２Ｂのそれぞれか
ら吐出されるようにし、ブラックとイエローとが隣接す
るノズル列２２Ａ、２２Ｂのそれぞれから吐出するよう
にしている。

【００４９】そして、駆動モータ６の駆動力が図示しな
い複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリ
ッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及
び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿っ
て移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に
沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ロ
ーラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シ
ートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるように
なっている。

【００５０】なお、本実施形態では、キャリッジ３の移
動方向の端部であるプラテン８の側方にキャップ９が設
けられており、またこのキャップ９には、図示しない吸
引ポンプが連結され、いわゆるクリーニング操作が行わ
れるようになっている。なお、キャップ９はまた、所定
時間以上印刷待機しているインクジェット式記録ヘッド
のヘッド端面をキャッピングしてノズルの乾燥を防止す
る。

【００５１】このようなインクジェット式記録装置で
は、カラー印刷を行うために記録シートＳ上で色を重ね
て２次色を作成するようになっている。本実施形態で
は、各ノズル列２２Ａ、２２Ｂのノズル開口２１Ａ、２
１Ｂを副走査方向の位置が同一となるように設けている
ため、キャリッジ３を主走査方向に移動することで２次
色を作成することができ、紙送りによるインクの着弾位
置の誤差による色むら及び色調ずれを防止することがで
きる。

【００５２】また、並設された圧力発生室１２の隣接し
て対をなす圧力発生室１２Ａ、１２Ｂのそれぞれに延設
部１７Ａ、１７Ｂを設けることにより、それぞれの圧力
発生室１２Ａ、１２Ｂに連通するノズル開口２１Ａ、２
１Ｂの副走査方向の位置を同一とすることができ、色再
現性を向上することができると共にヘッドを小型化で
き、製造コストを低減することができる。

【００５３】なお、本実施形態では、延設部１７Ａ、１
７Ｂをそれぞれ対をなす圧力発生室１２Ａ、１２Ｂに対
向する領域まで延設したが、隔壁１１を厚くすること
で、圧力発生室１２Ａ、１２Ｂに対向する領域まで延設
しなくてもよい。この場合、隔壁１１の剛性を高めるこ
とができるが、ノズル開口２１Ａ、２１Ｂが低密度とな
ってしまう。

【００５４】（実施形態２）上述した実施形態１では、
隣接して対をなす圧力発生室１２Ａ、１２Ｂのそれぞれ
に延設部１７Ａ、１７Ｂを設けることによって、この延
設部１７Ａ、１８Ｂに連通するノズル開口２１Ａ、２１
Ｂを圧力発生室１２の幅方向（副走査方向）の位置が同
一となるようにしたが、本実施形態では、圧力発生室１
２に延設部１７Ａ、１７Ｂを設けずに、圧力発生室１２
の長手方向を主走査方向に対して傾けて設けることによ
り、対をなす圧力発生室１２Ａ、１２Ｂのそれぞれに連
通するノズル開口２１Ａ、２１Ｂの副走査方向の位置を
同一となるようにした例である。

【００５５】図５は、実施形態２に係るインクジェット
式記録ヘッドの流路形成基板の上面図、図６は、図５の
Ａ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。なお、前述
した実施形態１で説明したものと同様の機能を有する部
材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

【００５６】図示するように、本実施形態の圧力発生室
１２は、圧力発生室１２の一端部が隣接する圧力発生室
１２の他端部と副走査方向の位置が同一となる領域が形
成されるように、各圧力発生室１２の長手方向が主走査
方向に対して傾いて設けられている。

【００５７】この圧力発生室１２の長手方向の傾きは、
主走査方向に対して何れの方向に傾いていてもよく、本
実施形態では、各圧力発生室１２の第１リザーバ１３Ａ
側の端部が、図中上方向になるように傾いて設けられて
いる。また、傾斜角が大きければ隔壁１１を厚くできる
が、圧力発生室１２に伴ってノズル開口２１が低密度と
なってしまい、傾斜角を小さくすると隔壁１１が薄くな
り、隔壁１１の剛性の低下及びクロストークが発生して
しまうため、圧力発生室１２の傾斜角はノズル開口２１
Ａ、２１Ｂの密度及び隔壁１１の剛性等によって適宜設
定すればよい。

【００５８】このような各圧力発生室１２には、上述し
た実施形態と同様に、インク供給口１５が、並設された
各圧力発生室１２に、交互に異なる端部に形成されてい
る。

【００５９】また、隣接して対をなす圧力発生室１２
Ａ、１２Ｂのインク供給口１５Ａ、１５Ｂとは反対側の
端部近傍には、副走査方向の位置が同一となるように設
けられたノズル開口２１Ａ、２１Ｂが連通している。

【００６０】このように、本実施形態では、並設された
圧力発生室１２の長手方向を主走査方向に対して傾けて
設けることによりそれぞれの圧力発生室１２Ａ、１２Ｂ
に連通するノズル開口２１Ａ、２１Ｂの副走査方向の位
置を同一とすることができるため、色再現性を向上する
ことができると共にヘッドを小型化でき、製造コストを
低減することができる。

【００６１】（他の実施形態）以上、本発明の各実施形
態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的
構成は上述したものに限定されるものではない。

【００６２】例えば、上述した実施形態では、圧電素子
５０を縦振動型としたが、これに限定されず、たわみ振
動型の圧電素子としてもよい。

【００６３】また、上述した実施形態では、流路形成基
板１０に島部１４を設けることにより、インク供給口１
５の大きさを調整したが、これに限定されず、例えば、
インク供給口の幅及び深さを小さくしてもよい。

【００６４】このような例を図７に示す。なお、図７
は、実施形態１のインク供給口の他の例を示す流路形成
基板の上面図である。

【００６５】図７に示すように、本実施形態のインク供
給口１５Ａ、１５Ｂは、各圧力発生室１２Ａ、１２Ｂと
略同等の深さで、圧力発生室１２Ａ、１２Ｂの幅より狭
く形成されている。

【００６６】また、上述した実施形態では、流路形成基
板１０にシリコン単結晶基板を用いて、これを異方性エ
ッチングすることにより圧力発生室１２、インク供給口
１５Ａ、１５Ｂ及びリザーバ１３Ａ、１３Ｂ等を形成し
たが、流路形成基板１０を例えば、プレス加工等により
形成した複数の積層板を積層して流路形成基板としても
よい。

【００６７】このような例を図８に示す。なお、図８
は、実施形態１の他の例に係るインクジェット式記録ヘ
ッドの断面図である。

【００６８】図８に示すように、流路形成基板１０は、
圧力発生室１２及びインク供給口１５となる貫通孔７
１、７２が形成された積層板７０と、インク連通路１６
Ａ、１６Ｂの一部となる貫通孔８１が形成された積層板
８０と、延設部１７Ａ、１７Ｂとなる貫通孔９１が形成
された積層板９０とを順次積層することにより形成され
ている。また、各積層板７０，８０及び９０にはリザー
バの一部となる貫通孔１００が形成されている。この積
層板７０、８０及び９０は、特に限定されないが、例え
ば、ＳＵＳからなる３枚の積層板をそれぞれプレス加工
し、積層することにより、各貫通孔７１〜９１を形成し
ている。

【００６９】このように、流路形成基板１０を複数の積
層板７０、８０及び９０で形成しても、上述した実施形
態と同様の効果が得られる。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、隣接し
て対をなす圧力発生室のそれぞれに連通するノズル開口
が副走査方向の位置が同一になるように設けられている
ため、並設された圧力発生室の副走査方向に設けられた
各ノズル列のそれぞれから複数色のインクを吐出するこ
とにより、色再現性を向上すると共にヘッドを小型化す
ることができ、製造コストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの分解斜視図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの流路形成基板の上面図である。

【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの断面図である。

【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録装置の概略斜視図である。

【図５】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記
録ヘッドの流路形成基板の上面図である。

【図６】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記
録ヘッドの断面図である。

【図７】本発明の実施形態１のインク供給口の他の例を
示す流路形成基板の上面図である。

【図８】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式
記録ヘッドの断面図である。

【符号の説明】 １０ 流路形成基板 １２Ａ、１２Ｂ 圧力発生室 １３Ａ 第１リザーバ １３Ｂ 第２リザーバ １４Ａ、１４Ｂ 島部 １５Ａ、１５Ｂ インク供給口 １６Ａ、１６Ｂ インク連通路 １７Ａ、１７Ｂ 延設部 ２０ ノズルプレート ２１Ａ、２１Ｂ ノズル開口 ２２Ａ、２２Ｂ ノズル列 ３０ 振動板 ４０ ヘッドケース ４１ インク供給路 ５０ 圧電素子 ６０ 固定基板

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AF29 AF91 AF93 AG14 AG33 AG42 AG48 AG53 AG70 AG99 AH13 AN01 AP02 AP22 AP25 AP34 AQ02 BA03 BA14

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル開口に連通する圧力発生室が形成
   される流路形成基板と、前記圧力発生室の一部を構成す
   る振動板を介して前記圧力発生室に対向する領域に設け
   られて前記圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧電素
   子とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、 ヘッドの移動方向である主走査方向に交差する方向であ
   る副走査方向に並設された前記圧力発生室の列の両側に
   各圧力発生室にインクを供給するリザーバが形成される
   と共に、前記圧力発生室のそれぞれは、並び方向に交互
   に長手方向で異なる端部で前記リザーバと連通し且つ前
   記リザーバとの連通側とは反対側の端部近傍で前記ノズ
   ル開口と連通しており、隣接して対をなす圧力発生室の
   それぞれに連通するノズル開口の副走査方向の位置が同
   一となるように設けられていることを特徴とするインク
   ジェット式記録ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記隣接して対をな
   す圧力発生室の一方の圧力発生室には、長手方向の一端
   部側で他方の圧力発生室に向かって延設された延設部が
   連通すると共に他方の圧力発生室には長手方向の他端部
   側で前記一方の圧力発生室に向かって延設された延設部
   が連通し、各圧力発生室は当該延設部を介して前記ノズ
   ル開口と連通していることを特徴とするインクジェット
   式記録ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１において、各圧力発生室は、前
   記隣接して対をなす圧力発生室のそれぞれに連通する前
   記ノズル開口の副走査方向の位置が同一となるようにそ
   の長手方向が主走査方向に対して傾いて設けられている
   ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記流
   路形成基板がシリコン単結晶基板からなり前記圧力発生
   室及び前記リザーバが異方性エッチングにより形成され
   ていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記流
   路形成基板が複数枚の積層板により形成されていること
   を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかにおいて、並設さ
   れた前記圧力発生室の列に対応して設けられた２列のノ
   ズル開口の列には、それぞれ同色系のインクが配置され
   ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１〜６の何れかにおいて、前記振
   動板に前記圧電素子の端部が当接して設けられると共に
   前記圧力発生室の各列に対して並び方向に列設されてい
   ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項１〜７の何れかのインクジェット
   式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェッ
   ト式記録装置。