JP2001198511A - 薄膜塗布装置 - Google Patents
薄膜塗布装置Info
- Publication number
- JP2001198511A JP2001198511A JP2000011802A JP2000011802A JP2001198511A JP 2001198511 A JP2001198511 A JP 2001198511A JP 2000011802 A JP2000011802 A JP 2000011802A JP 2000011802 A JP2000011802 A JP 2000011802A JP 2001198511 A JP2001198511 A JP 2001198511A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating liquid
- nozzle
- work
- thin film
- workpiece
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークに対して塗布液を薄く均一に塗布する
ことができ、かつ、ワークの大きさに対する自由度が大
きい薄膜塗布装置を提供する。 【解決手段】 粘度の高い熱良伝導材からなる塗布液を
高速スイッチングパワー素子やトランジスタ等の放熱部
に薄く塗布する薄膜塗布装置において、塗布液Ｅを入れ
吐出ノズル３の開口部から塗布液Ｅを押出すためのエア
ー注入口８を有するタンク７と、幅の異なるワークＷを
固定するための移動式ガイドレール２と、幅の異なるワ
ークＷの放熱部の前面に塗布液Ｅを薄く均一に塗布する
吐出ノズル３の開口部を調整するノズル幅調整プレート
４を有するノズルと、ワークＷ一定速度で送るシリンダ
ーとで構成するようにしたものである。
ことができ、かつ、ワークの大きさに対する自由度が大
きい薄膜塗布装置を提供する。 【解決手段】 粘度の高い熱良伝導材からなる塗布液を
高速スイッチングパワー素子やトランジスタ等の放熱部
に薄く塗布する薄膜塗布装置において、塗布液Ｅを入れ
吐出ノズル３の開口部から塗布液Ｅを押出すためのエア
ー注入口８を有するタンク７と、幅の異なるワークＷを
固定するための移動式ガイドレール２と、幅の異なるワ
ークＷの放熱部の前面に塗布液Ｅを薄く均一に塗布する
吐出ノズル３の開口部を調整するノズル幅調整プレート
４を有するノズルと、ワークＷ一定速度で送るシリンダ
ーとで構成するようにしたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、高速スイ
ッチングパワー素子（ＩＧＢＴ）やトランジスタ等の放
熱部に熱良伝導材からなる比較的粘度の高い液体（以
下、塗布液という）を薄く塗布する薄膜塗布装置に関す
るものである。
ッチングパワー素子（ＩＧＢＴ）やトランジスタ等の放
熱部に熱良伝導材からなる比較的粘度の高い液体（以
下、塗布液という）を薄く塗布する薄膜塗布装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の高速スイッチングパワー素子やト
ランジスタ等の被塗布物（以下、ワークという）の放熱
部に塗布液を塗布する場合、作業者がチューブから塗布
液を絞り出してワークに塗布したり、ローラに塗布液を
付けて塗布したりして手作業で行うか、同一幅のワーク
に対して塗布液をチューブ方式やローラ方式で塗布する
供給装置を用いて機械的に行うかしていた。
ランジスタ等の被塗布物（以下、ワークという）の放熱
部に塗布液を塗布する場合、作業者がチューブから塗布
液を絞り出してワークに塗布したり、ローラに塗布液を
付けて塗布したりして手作業で行うか、同一幅のワーク
に対して塗布液をチューブ方式やローラ方式で塗布する
供給装置を用いて機械的に行うかしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術においては、次のような問題があった。 (1) チューブ方式による手作業のものは、塗布された塗
布液の塗布厚がばらつき、ワークにおいて放熱作用の低
下や素子割れ等が生じるおそれがあった。 (2) ローラ方式による手作業のものにおいても、ローラ
に付着した不純物の混入等によりワークに素子割れ等が
生じるおそれがあった。 (3) 塗布装置を使用した機械作業のものにおいては、同
一幅のワークしか塗布できなかったり、塗布装置へ塗布
液を送り込むための供給ポンプ等が別に必要であったり
して、ワークの大きさに対する自由度が乏しく、かつ装
置が大型化していた。 本発明は、このような問題を解決するためになされたも
ので、ワークに対して塗布液を薄く均一に塗布すること
ができ、かつ、ワークの大きさに対する自由度が大きい
薄膜塗布装置を提供することを目的とするものである。
うな従来技術においては、次のような問題があった。 (1) チューブ方式による手作業のものは、塗布された塗
布液の塗布厚がばらつき、ワークにおいて放熱作用の低
下や素子割れ等が生じるおそれがあった。 (2) ローラ方式による手作業のものにおいても、ローラ
に付着した不純物の混入等によりワークに素子割れ等が
生じるおそれがあった。 (3) 塗布装置を使用した機械作業のものにおいては、同
一幅のワークしか塗布できなかったり、塗布装置へ塗布
液を送り込むための供給ポンプ等が別に必要であったり
して、ワークの大きさに対する自由度が乏しく、かつ装
置が大型化していた。 本発明は、このような問題を解決するためになされたも
ので、ワークに対して塗布液を薄く均一に塗布すること
ができ、かつ、ワークの大きさに対する自由度が大きい
薄膜塗布装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、粘度の高い熱良伝導材からなる塗布液を
高速スイッチングパワー素子やトランジスタ等の放熱部
に薄く塗布する薄膜塗布装置において、前記塗布液を入
れノズル開口部から塗布液を押出すためのエアー注入口
を有するタンクと、幅の異なる素子を固定するための移
動式ガイドレールと、幅の異なる素子の放熱部の前面に
塗布液を薄く均一に塗布するノズル開口部を調整するノ
ズル幅調整機構を有するノズルと、素子を一定速度で送
るシリンダーとで構成するようにしたものである。
め、本発明は、粘度の高い熱良伝導材からなる塗布液を
高速スイッチングパワー素子やトランジスタ等の放熱部
に薄く塗布する薄膜塗布装置において、前記塗布液を入
れノズル開口部から塗布液を押出すためのエアー注入口
を有するタンクと、幅の異なる素子を固定するための移
動式ガイドレールと、幅の異なる素子の放熱部の前面に
塗布液を薄く均一に塗布するノズル開口部を調整するノ
ズル幅調整機構を有するノズルと、素子を一定速度で送
るシリンダーとで構成するようにしたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例における薄膜塗布
装置を示すもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）はノズル部
の拡大断面図である。図２は図１における薄膜塗布装置
を示す正面図である。図３は本発明における薄膜塗布装
置の動作説明図で、（ａ）はワークセットした状態を示
す平面図、（ｂ）はその正断面図である。図４は本発明
における薄膜塗布装置の動作説明図で、（ａ）はワーク
への塗布を完了した状態を示す平面図で、（ｂ）はその
正断面図である。図１において、１は固定ガイドレー
ル、２は移動式ガイドレールで、前記固定ガイドレール
１に対して平行にスライドするようになっている。３は
吐出ノズルで、熱良伝導材からなる塗布液を吐出する。
４はノズル幅調整プレートであり、移動式ガイドレール
２と連動して移動し、吐出ノズル３の吐出部の幅を調整
できるようにしている。５はワーク押出しシリンダー
で、ワークＷを一定速度で吐出ノズル側へ押出す。６は
ワーク検出センサーで、７は塗布液Ｅを入れるタンク
で、塗布液Ｅが吐出されやすいように底が傾斜してい
る。前記ワークＷをセットしこのワーク検出センサー６
が作動すると、ワーク押出しシリンダー５がワークＷを
押出し、同時にタンク７内にエアー圧力がかかり吐出ノ
ズル３から塗布液Ｅが吐出される。８は塗布液Ｅを吐出
ノズル３から吐出させるためのエアーの注入口である。
９は移動式ガイドレール２をスライドさせる際、ノズル
調整プレート４を同時にスライドさせる連動プレートで
ある。なお、吐出ノズル３は、図１（ｂ）に示すよう
に、吐出ノズル３とノズル幅調整プレート４との間にパ
ッキン１０を設け、吐出ノズル３とノズル調整プレート
４の隙間から塗布液Ｅが漏れない構造としている また、移動式ガイドレール２は、図２に示すように、ワ
ークＷの幅に合せてスライドさせる際に、連動プレート
９を介してノズル幅調整プレート４も一緒にスライドさ
せる構造としている。前記ノズル幅調整プレート４は、
移動式ガイドレール２の塗布液Ｅの吐出側の端面から外
側に吐出ノズル３の吐出口を塞ぐ構造となっている。以
下、このような構成の薄膜塗布装置の作用について説明
する。図３（ａ）、（ｂ）において、前記ワークＷをセ
ットする際、固定ガイドレール１を基準としワークＷの
サイズに合せて移動式ガイドレール２をスライドさせ
る。このとき、移動式ガイドレール２に連動してノズル
調整プレート４が移動し、吐出ノズル３の吐出口の開口
幅をワークＷのサイズに合せて調整する。図４（ａ）、
（ｂ）において、前記ワークＷをセットするとワーク検
出センサー６が感知し、ワーク押出しシリンダー５が作
動して、ワークＷを吐出ノズル３側へ押出し始めると同
時に、タンク７内にエアー注入口８からエアーを送り込
む。送り込まれたエアーによってタンク７内の塗布液Ｅ
が押出され、吐出ノズル３から塗布液Ｅが吐出され、ワ
ークＷの放熱部に薄く、かつ均一な厚みで塗布される。
いて説明する。図１は本発明の実施例における薄膜塗布
装置を示すもので、（ａ）は斜視図、（ｂ）はノズル部
の拡大断面図である。図２は図１における薄膜塗布装置
を示す正面図である。図３は本発明における薄膜塗布装
置の動作説明図で、（ａ）はワークセットした状態を示
す平面図、（ｂ）はその正断面図である。図４は本発明
における薄膜塗布装置の動作説明図で、（ａ）はワーク
への塗布を完了した状態を示す平面図で、（ｂ）はその
正断面図である。図１において、１は固定ガイドレー
ル、２は移動式ガイドレールで、前記固定ガイドレール
１に対して平行にスライドするようになっている。３は
吐出ノズルで、熱良伝導材からなる塗布液を吐出する。
４はノズル幅調整プレートであり、移動式ガイドレール
２と連動して移動し、吐出ノズル３の吐出部の幅を調整
できるようにしている。５はワーク押出しシリンダー
で、ワークＷを一定速度で吐出ノズル側へ押出す。６は
ワーク検出センサーで、７は塗布液Ｅを入れるタンク
で、塗布液Ｅが吐出されやすいように底が傾斜してい
る。前記ワークＷをセットしこのワーク検出センサー６
が作動すると、ワーク押出しシリンダー５がワークＷを
押出し、同時にタンク７内にエアー圧力がかかり吐出ノ
ズル３から塗布液Ｅが吐出される。８は塗布液Ｅを吐出
ノズル３から吐出させるためのエアーの注入口である。
９は移動式ガイドレール２をスライドさせる際、ノズル
調整プレート４を同時にスライドさせる連動プレートで
ある。なお、吐出ノズル３は、図１（ｂ）に示すよう
に、吐出ノズル３とノズル幅調整プレート４との間にパ
ッキン１０を設け、吐出ノズル３とノズル調整プレート
４の隙間から塗布液Ｅが漏れない構造としている また、移動式ガイドレール２は、図２に示すように、ワ
ークＷの幅に合せてスライドさせる際に、連動プレート
９を介してノズル幅調整プレート４も一緒にスライドさ
せる構造としている。前記ノズル幅調整プレート４は、
移動式ガイドレール２の塗布液Ｅの吐出側の端面から外
側に吐出ノズル３の吐出口を塞ぐ構造となっている。以
下、このような構成の薄膜塗布装置の作用について説明
する。図３（ａ）、（ｂ）において、前記ワークＷをセ
ットする際、固定ガイドレール１を基準としワークＷの
サイズに合せて移動式ガイドレール２をスライドさせ
る。このとき、移動式ガイドレール２に連動してノズル
調整プレート４が移動し、吐出ノズル３の吐出口の開口
幅をワークＷのサイズに合せて調整する。図４（ａ）、
（ｂ）において、前記ワークＷをセットするとワーク検
出センサー６が感知し、ワーク押出しシリンダー５が作
動して、ワークＷを吐出ノズル３側へ押出し始めると同
時に、タンク７内にエアー注入口８からエアーを送り込
む。送り込まれたエアーによってタンク７内の塗布液Ｅ
が押出され、吐出ノズル３から塗布液Ｅが吐出され、ワ
ークＷの放熱部に薄く、かつ均一な厚みで塗布される。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ワ
ークの放熱部に塗布液を薄く、かつ均一な厚みで塗布す
ることができるとともに、ワークをセットするガイドレ
ールを移動式にし、吐出ノズルに開口部を調整するノズ
ル調整プレートを付けることにより、幅の異なるワーク
に対しても塗布液を塗布することが可能となる大きな効
果がある。
ークの放熱部に塗布液を薄く、かつ均一な厚みで塗布す
ることができるとともに、ワークをセットするガイドレ
ールを移動式にし、吐出ノズルに開口部を調整するノズ
ル調整プレートを付けることにより、幅の異なるワーク
に対しても塗布液を塗布することが可能となる大きな効
果がある。
【図１】 本発明の実施例における薄膜塗布装置を示す
もので、（ａ）は斜視図で、（ｂ）はノズル部の拡大断
面図である。
もので、（ａ）は斜視図で、（ｂ）はノズル部の拡大断
面図である。
【図２】 図１における薄膜塗布装置を示す正面図であ
る。
る。
【図３】 本発明における薄膜塗布装置の動作説明図
で、（ａ）はワークをセットした状態を示す平面図、
（ｂ）はその正断面図である。
で、（ａ）はワークをセットした状態を示す平面図、
（ｂ）はその正断面図である。
【図４】 本発明における薄膜塗布装置の動作説明図
で、（ａ）はワークへの塗布を完了した状態を示す平面
図で、（ｂ）はその正断面図である。
で、（ａ）はワークへの塗布を完了した状態を示す平面
図で、（ｂ）はその正断面図である。
１ 固定ガイドレール、 ２ 移動式ガイドレール、 ３ 吐出ノズル、 ４ ノズル調整プレート、 ５ ワーク押出しシリンダー、 ６ ワーク検出センサー、 ７ タンク、 ８ エアー注入口、 ９ 連動プレート、 １０ パッキン、 Ｗ ワーク、 Ｅ 塗布液
Claims (1)
- 【請求項１】 粘度の高い熱良伝導材からなる塗布液を
ワークの放熱部に薄く塗布する薄膜塗布装置において、 前記塗布液を入れノズル開口部から塗布液を押出すため
のエアー注入口を有するタンクと、幅の異なるワークを
固定するための移動式ガイドレールと、幅の異なるワー
クの放熱部の前面に塗布液を薄く均一に塗布するノズル
開口部を調整するノズル幅調整機構を有するノズルと、
ワークを一定速度で送るシリンダーとを有することを特
徴とする薄膜塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011802A JP2001198511A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 薄膜塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000011802A JP2001198511A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 薄膜塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001198511A true JP2001198511A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18539620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000011802A Pending JP2001198511A (ja) | 2000-01-20 | 2000-01-20 | 薄膜塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001198511A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101844127A (zh) * | 2010-06-02 | 2010-09-29 | 李荣根 | 垂直式pcb板自动双面涂布机 |
| CN106311559A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-01-11 | 信利光电股份有限公司 | 一种涂布装置和方法 |
| CN108607725A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-10-02 | 重庆积艺家俱有限责任公司 | 一种木门用具有高效喷漆干燥装置 |
-
2000
- 2000-01-20 JP JP2000011802A patent/JP2001198511A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101844127A (zh) * | 2010-06-02 | 2010-09-29 | 李荣根 | 垂直式pcb板自动双面涂布机 |
| CN101844127B (zh) * | 2010-06-02 | 2012-11-07 | 李荣根 | 垂直式pcb板自动双面涂布机 |
| CN106311559A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-01-11 | 信利光电股份有限公司 | 一种涂布装置和方法 |
| CN108607725A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-10-02 | 重庆积艺家俱有限责任公司 | 一种木门用具有高效喷漆干燥装置 |
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