JP2001198436A - 難分解性有機ハロゲン化合物の分解方法 - Google Patents
難分解性有機ハロゲン化合物の分解方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】難分解性有機ハロゲン化合物を高い分解率で効
率的に分解可能な方法を提供する。 【解決手段】一部もしくは全体的にマイクロ波照射がな
される循環路内に難分解性有機ハロゲン化合物、水素ガ
スおよび酸素ガスを還流させる。
率的に分解可能な方法を提供する。 【解決手段】一部もしくは全体的にマイクロ波照射がな
される循環路内に難分解性有機ハロゲン化合物、水素ガ
スおよび酸素ガスを還流させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フロンガス等の難
分解性有機ハロゲン化合物の分解方法に関する。
分解性有機ハロゲン化合物の分解方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造工程においては、洗浄
用溶剤およびドライエッチングガスとして種々のフロン
ガス等の難分解性有機ハロゲン化合物が用いられてい
る。これら半導体製造工程等で用いられるフロンガス等
は非常に安定的であり、分解するには種々の困難を伴う
ことから、使用の後排気放出されているのが現状であ
る。
用溶剤およびドライエッチングガスとして種々のフロン
ガス等の難分解性有機ハロゲン化合物が用いられてい
る。これら半導体製造工程等で用いられるフロンガス等
は非常に安定的であり、分解するには種々の困難を伴う
ことから、使用の後排気放出されているのが現状であ
る。
【０００３】このような背景のもと、フロンガス等の難
分解性有機ハロゲン化合物を分解する方法として、触媒
を用いた熱分解法、化学薬品を用いる分解法、プラズマ
分解法等が報告されている。
分解性有機ハロゲン化合物を分解する方法として、触媒
を用いた熱分解法、化学薬品を用いる分解法、プラズマ
分解法等が報告されている。
【０００４】熱分解法は、難分解性有機ハロゲン化合物
を触媒の存在下で高温加熱して熱分解する方法である。
この方法においては、高温下にてハロゲン化水素が分解
生成するため、触媒の劣化が著しく進行するので、触媒
を頻繁に交換する必要があり、長期間安定的に処理する
ことが困難である。
を触媒の存在下で高温加熱して熱分解する方法である。
この方法においては、高温下にてハロゲン化水素が分解
生成するため、触媒の劣化が著しく進行するので、触媒
を頻繁に交換する必要があり、長期間安定的に処理する
ことが困難である。
【０００５】化学薬品を用いる分解法は、難分解性有機
ハロゲン化合物をアジ化ナトリウム、ナトリウムナフタ
レド等の化学薬品と接触させて分解する方法である。こ
の方法においては、上記のような化学薬品を大量に使用
するため、大量の廃液が発生する。このような大量の化
学薬品の使用および大量の廃液の処理のため、分解コス
トが大幅に上昇するおそれがある。
ハロゲン化合物をアジ化ナトリウム、ナトリウムナフタ
レド等の化学薬品と接触させて分解する方法である。こ
の方法においては、上記のような化学薬品を大量に使用
するため、大量の廃液が発生する。このような大量の化
学薬品の使用および大量の廃液の処理のため、分解コス
トが大幅に上昇するおそれがある。
【０００６】プラズマ分解法は、難分解性有機ハロゲン
化合物にプラズマ照射して分解する方法である。この方
法においては、装置の大規模化は避け難く、装置の高コ
スト化を免れ得ないので処理コストが大幅に上昇してし
まう問題がある。
化合物にプラズマ照射して分解する方法である。この方
法においては、装置の大規模化は避け難く、装置の高コ
スト化を免れ得ないので処理コストが大幅に上昇してし
まう問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、難分
解性有機ハロゲン化合物を高い分解率で効率的に分解す
ることが可能な方法を提供することにある。
解性有機ハロゲン化合物を高い分解率で効率的に分解す
ることが可能な方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的を達成するために以下の手段が提供される。
的を達成するために以下の手段が提供される。
【０００９】すなわち、本発明に係る難分解性有機ハロ
ゲン化合物の処理方法は、一部もしくは全体的にマイク
ロ波照射がなされる循環路内に難分解性有機ハロゲン化
合物、水素ガスおよび酸素ガスを還流させる方法であ
る。
ゲン化合物の処理方法は、一部もしくは全体的にマイク
ロ波照射がなされる循環路内に難分解性有機ハロゲン化
合物、水素ガスおよび酸素ガスを還流させる方法であ
る。
【００１０】前記循環路内においては、さらに加熱を行
なうことが好ましい。
なうことが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１２】本発明の方法によれば、一部もしくは全体
的にマイクロ波照射がなされる循環路内にガス状の難分
解性有機ハロゲン化合物を導入するとともに水素ガスお
よび酸素ガスを導入し、上記各ガスを循環路内を還流さ
せる。
的にマイクロ波照射がなされる循環路内にガス状の難分
解性有機ハロゲン化合物を導入するとともに水素ガスお
よび酸素ガスを導入し、上記各ガスを循環路内を還流さ
せる。
【００１３】上記難分解性有機ハロゲン化合物として
は、ＣＦＣ（クロロフルオロカーボン）、ＨＦＣ（ハイ
ドロクロロフルオロカーボン）、ＨＦＣ（ハイドロフル
オロカーボン）、ハロン等の名称で呼ばれている種々の
化合物を挙げることができ、これらのうち単体でもよ
く、複数種の混合体であってもよい。
は、ＣＦＣ（クロロフルオロカーボン）、ＨＦＣ（ハイ
ドロクロロフルオロカーボン）、ＨＦＣ（ハイドロフル
オロカーボン）、ハロン等の名称で呼ばれている種々の
化合物を挙げることができ、これらのうち単体でもよ
く、複数種の混合体であってもよい。
【００１４】上記した難分解性有機ハロゲン化合物、水
素ガスおよび酸素ガスは、各々循環路の異なる位置で導
入して、流通過程で混合された状態としてもよく、あら
かじめ各ガスを混合してなる混合ガスとして循環路内に
導入してもよい。
素ガスおよび酸素ガスは、各々循環路の異なる位置で導
入して、流通過程で混合された状態としてもよく、あら
かじめ各ガスを混合してなる混合ガスとして循環路内に
導入してもよい。
【００１５】難分解性有機ハロゲン化合物と混合される
水素ガスおよび酸素ガスの導入量は、少なくとも、難分
解性有機ハロゲン化合物に含有されたハロゲン元素をハ
ロゲン化水素とし、かつ難分解性有機ハロゲン化合物に
含有された炭素を二酸化炭素としてそれぞれ反応生成さ
せるための化学当量分であることが好ましい。具体的に
は、難分解性有機ハロゲン化合物がフロン１１３（Ｃ２
Ｃｌ３Ｆ３）単体である場合を例にとれば、１モルのフ
ロン１１３に対して、水素が少なくとも３モルおよび酸
素が少なくとも２モルであるような混合割合にする。ま
た、難分解性有機ハロゲン化合物が飽和パーフルオロカ
ーボン（ＣｎＦ２ｎ；ｎは自然数）単体である場合を例
にとると、１モルのＣｎＦ２ｎに対して、水素が少なく
とも（ｎ＋１）モルおよび酸素が少なくともｎモルであ
るような混合割合にする。なお、上記水素ガスおよび酸
素ガスの導入量は、上述した必要量よりも過剰であるこ
とがより好ましい。
水素ガスおよび酸素ガスの導入量は、少なくとも、難分
解性有機ハロゲン化合物に含有されたハロゲン元素をハ
ロゲン化水素とし、かつ難分解性有機ハロゲン化合物に
含有された炭素を二酸化炭素としてそれぞれ反応生成さ
せるための化学当量分であることが好ましい。具体的に
は、難分解性有機ハロゲン化合物がフロン１１３（Ｃ２
Ｃｌ３Ｆ３）単体である場合を例にとれば、１モルのフ
ロン１１３に対して、水素が少なくとも３モルおよび酸
素が少なくとも２モルであるような混合割合にする。ま
た、難分解性有機ハロゲン化合物が飽和パーフルオロカ
ーボン（ＣｎＦ２ｎ；ｎは自然数）単体である場合を例
にとると、１モルのＣｎＦ２ｎに対して、水素が少なく
とも（ｎ＋１）モルおよび酸素が少なくともｎモルであ
るような混合割合にする。なお、上記水素ガスおよび酸
素ガスの導入量は、上述した必要量よりも過剰であるこ
とがより好ましい。
【００１６】前記循環路内を流れる混合ガスの流速を遅
くすると、混合ガスへのマイクロ波照射が十分になされ
るので難分解性有機ハロゲン化合物を高い分解率で分解
できるものの、マイクロ波照射がなされる帯域を単位時
間当たりに通過する混合ガス量は減少するため、難分解
性有機ハロゲン化合物の分解量はそれだけ低下するおそ
れがある。逆に、速い流速にすると、上記帯域を単位時
間当たりに通過する混合ガス量は増大するが、上記帯域
での滞在時間が短くなるため、マイクロ波照射が十分に
なされず難分解性有機ハロゲン化合物を迅速に分解でき
ないおそれがある。本発明においては、これらを勘案し
て、循環路内を循環させる混合ガスの流速は１〜４リッ
トル毎分（Ｌ／ｍｉｎ）であることが好ましい。
くすると、混合ガスへのマイクロ波照射が十分になされ
るので難分解性有機ハロゲン化合物を高い分解率で分解
できるものの、マイクロ波照射がなされる帯域を単位時
間当たりに通過する混合ガス量は減少するため、難分解
性有機ハロゲン化合物の分解量はそれだけ低下するおそ
れがある。逆に、速い流速にすると、上記帯域を単位時
間当たりに通過する混合ガス量は増大するが、上記帯域
での滞在時間が短くなるため、マイクロ波照射が十分に
なされず難分解性有機ハロゲン化合物を迅速に分解でき
ないおそれがある。本発明においては、これらを勘案し
て、循環路内を循環させる混合ガスの流速は１〜４リッ
トル毎分（Ｌ／ｍｉｎ）であることが好ましい。
【００１７】上記したマイクロ波の照射において、低い
周波数にすると難分解性有機ハロゲン化合物が水素およ
び酸素と反応し得ないおそれがある。逆に、高い周波数
にするには、発振器のコストが上昇するばかりでなく実
用化の観点から現実的でない。これらを勘案して、マイ
クロ波の周波数としては９００〜２５００ＭＨｚである
ことが好ましい。
周波数にすると難分解性有機ハロゲン化合物が水素およ
び酸素と反応し得ないおそれがある。逆に、高い周波数
にするには、発振器のコストが上昇するばかりでなく実
用化の観点から現実的でない。これらを勘案して、マイ
クロ波の周波数としては９００〜２５００ＭＨｚである
ことが好ましい。
【００１８】また、マイクロ波の照射において、照射出
力が低いと効率的に分解できないおそれがある。逆に、
高出力にすればするほど難分解性有機ハロゲン化合物の
分解を効率よく行なうことができるものの、高出力にす
るための装置のコストが上昇するばかりでなく実用化の
観点から現実的でない。これらを勘案してマイクロ波照
射の出力は、３００〜１０００Ｗであることが好まし
い。
力が低いと効率的に分解できないおそれがある。逆に、
高出力にすればするほど難分解性有機ハロゲン化合物の
分解を効率よく行なうことができるものの、高出力にす
るための装置のコストが上昇するばかりでなく実用化の
観点から現実的でない。これらを勘案してマイクロ波照
射の出力は、３００〜１０００Ｗであることが好まし
い。
【００１９】本発明の方法においては、循環路内を加熱
することが好ましい。
することが好ましい。
【００２０】上記した加熱において、加熱温度を低くす
ると効率よく分解を行なわせることができず、逆に加熱
温度を高くすれば分解効率を高めることができるもの
の、それだけ装置の耐熱性等が要求されるばかりでなく
エネルギー消費が大きくなり経済的でない。また、高温
下での生成ハロゲン化水素による装置の急激な劣化も懸
念される。これらを勘案して、加熱温度としては５００
℃以下、より好ましくは４００〜５００℃であることが
望ましい。
ると効率よく分解を行なわせることができず、逆に加熱
温度を高くすれば分解効率を高めることができるもの
の、それだけ装置の耐熱性等が要求されるばかりでなく
エネルギー消費が大きくなり経済的でない。また、高温
下での生成ハロゲン化水素による装置の急激な劣化も懸
念される。これらを勘案して、加熱温度としては５００
℃以下、より好ましくは４００〜５００℃であることが
望ましい。
【００２１】上記循環操作は、循環路内のガスを例えば
サンプリング分析して難分解性有機ハロゲン化合物が十
分に分解されたことを確認することによって終了させ
る。このような確認を行なった後に、循環路内のガスを
系外に排出させる。
サンプリング分析して難分解性有機ハロゲン化合物が十
分に分解されたことを確認することによって終了させ
る。このような確認を行なった後に、循環路内のガスを
系外に排出させる。
【００２２】そして、循環路内のガスを系外に排出させ
るまでの一連の処理操作の後、再び循環路内に難分解性
有機ハロゲン化合物を導入するとともに水素ガスおよび
酸素ガスを導入し、上述した一連の処理操作を行なうこ
とにより、連続的に難分解性有機ハロゲン化合物の分解
を行なうことができる。
るまでの一連の処理操作の後、再び循環路内に難分解性
有機ハロゲン化合物を導入するとともに水素ガスおよび
酸素ガスを導入し、上述した一連の処理操作を行なうこ
とにより、連続的に難分解性有機ハロゲン化合物の分解
を行なうことができる。
【００２３】以上説明したように、循環路内に難分解性
有機ハロゲン化合物を水素ガスおよび酸素ガスとともに
導入して循環させ、これら循環する混合ガスにマイクロ
波照射を行なう本発明の方法によれば、上記混合ガスは
循環によりマイクロ波照射がなされる帯域を繰り返し通
過するので、上記混合ガスのマイクロ波の照射機会を増
大させることができ、上記混合ガスを全体的にかつ一様
に照射することができる。その結果、難分解性有機ハロ
ゲン化合物を高い分解率で効率的に分解することができ
る。
有機ハロゲン化合物を水素ガスおよび酸素ガスとともに
導入して循環させ、これら循環する混合ガスにマイクロ
波照射を行なう本発明の方法によれば、上記混合ガスは
循環によりマイクロ波照射がなされる帯域を繰り返し通
過するので、上記混合ガスのマイクロ波の照射機会を増
大させることができ、上記混合ガスを全体的にかつ一様
に照射することができる。その結果、難分解性有機ハロ
ゲン化合物を高い分解率で効率的に分解することができ
る。
【００２４】また、本発明の方法において、循環させた
混合ガスにマイクロ波を照射するとともに加熱をも行な
うことによって、難分解性有機ハロゲン化合物をより高
い分解率でより効率的に分解することができる。
混合ガスにマイクロ波を照射するとともに加熱をも行な
うことによって、難分解性有機ハロゲン化合物をより高
い分解率でより効率的に分解することができる。
【００２５】このように高分解率かつ高効率で分解でき
るのは次に述べる理由によるものと考えられる。すなわ
ち、難分解性有機ハロゲン化合物の炭素−ハロゲン原子
間の結合は、マイクロ波のエネルギーと、好ましくは加
熱による熱エネルギーとを吸収して、当該結合の伸縮、
回転、振動の運動が激しくなり、結合が切断されやすく
なる。このような結合が切断されやすい状態は、循環に
よりマイクロ波照射と好ましくは加熱とが行なわれる帯
域を繰り返し通過させることによって増幅される。その
結果、反応開始の活性化エネルギーが大幅に低下するの
で、分解反応が迅速に進行するものと考えられる。
るのは次に述べる理由によるものと考えられる。すなわ
ち、難分解性有機ハロゲン化合物の炭素−ハロゲン原子
間の結合は、マイクロ波のエネルギーと、好ましくは加
熱による熱エネルギーとを吸収して、当該結合の伸縮、
回転、振動の運動が激しくなり、結合が切断されやすく
なる。このような結合が切断されやすい状態は、循環に
よりマイクロ波照射と好ましくは加熱とが行なわれる帯
域を繰り返し通過させることによって増幅される。その
結果、反応開始の活性化エネルギーが大幅に低下するの
で、分解反応が迅速に進行するものと考えられる。
【００２６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１に示す分解装置
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００２７】図１に示す分解装置１は、難分解性有機ハ
ロゲン化合物の導入およびその停止のための開閉弁Ｖ１
と難分解性有機ハロゲン化合物の流量を制御するための
マスフローコントローラＦ１とを介装したラインＬ１が
接続された循環ラインＬを備えている。この循環ライン
Ｌにおいて前記ラインＬ１の接続部の下流側には、酸素
の導入およびその停止のための開閉弁Ｖ２と酸素導入量
を制御するためのマスフローコントローラＦ２とを介装
したラインＬ２が接続されている。前記ラインＬ２の接
続部の下流側には、水素の導入およびその停止のための
開閉弁Ｖ３と水素導入量を制御するためのマスフローコ
ントローラＦ３とを介装したラインＬ３が接続されてい
る。
ロゲン化合物の導入およびその停止のための開閉弁Ｖ１
と難分解性有機ハロゲン化合物の流量を制御するための
マスフローコントローラＦ１とを介装したラインＬ１が
接続された循環ラインＬを備えている。この循環ライン
Ｌにおいて前記ラインＬ１の接続部の下流側には、酸素
の導入およびその停止のための開閉弁Ｖ２と酸素導入量
を制御するためのマスフローコントローラＦ２とを介装
したラインＬ２が接続されている。前記ラインＬ２の接
続部の下流側には、水素の導入およびその停止のための
開閉弁Ｖ３と水素導入量を制御するためのマスフローコ
ントローラＦ３とを介装したラインＬ３が接続されてい
る。
【００２８】前記循環ラインＬのさらに下流側には、順
に加熱器ＨＴ、循環ファンＦが設けられている。前記加
熱器ＨＴは、前記循環ラインＬと連通する図示しない電
気炉とこの電気炉内の温度を制御するための図示しない
温度制御器とを備えている。前記加熱器ＨＴにはさら
に、この加熱器ＨＴの電気炉内にマイクロ波をその出力
および周波数を可変可能に照射するマイクロ波発生器Ｍ
Ｗが設けられている。前記ラインＬ１の連結部の近傍で
前記循環ファンＦ側に位置する循環ラインＬ部分には、
開閉弁Ｖ４を介装したラインＬ４が接続され、このライ
ンＬ４の下流側には図示しないガス分析器が設けられて
いる。前記ラインＬ１の近傍部と前記ラインＬ４の連結
部の間に位置する循環ラインＬ部分には開閉弁Ｖ５が介
在されている。
に加熱器ＨＴ、循環ファンＦが設けられている。前記加
熱器ＨＴは、前記循環ラインＬと連通する図示しない電
気炉とこの電気炉内の温度を制御するための図示しない
温度制御器とを備えている。前記加熱器ＨＴにはさら
に、この加熱器ＨＴの電気炉内にマイクロ波をその出力
および周波数を可変可能に照射するマイクロ波発生器Ｍ
Ｗが設けられている。前記ラインＬ１の連結部の近傍で
前記循環ファンＦ側に位置する循環ラインＬ部分には、
開閉弁Ｖ４を介装したラインＬ４が接続され、このライ
ンＬ４の下流側には図示しないガス分析器が設けられて
いる。前記ラインＬ１の近傍部と前記ラインＬ４の連結
部の間に位置する循環ラインＬ部分には開閉弁Ｖ５が介
在されている。
【００２９】（実施例１，２）まず、ラインＬ１〜Ｌ４
の開閉弁Ｖ１〜Ｖ４をそれぞれ開くとともに循環ライン
Ｌの開閉弁Ｖ５を閉じる。つづいて難分解性有機ハロゲ
ン化合物としてのフロン１１３、水素ガスおよび酸素ガ
スを、それぞれラインＬ１〜Ｌ３のマスフローコントロ
ーラＦ１〜Ｆ３にて１００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状
態）、３０００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）、２０００
ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）に流量調整し、ラインＬ１
〜Ｌ３を通して循環ラインＬに導入した。これと同時に
循環ファンＦ（流量；４Ｌ／ｍｉｎ）を始動した。
の開閉弁Ｖ１〜Ｖ４をそれぞれ開くとともに循環ライン
Ｌの開閉弁Ｖ５を閉じる。つづいて難分解性有機ハロゲ
ン化合物としてのフロン１１３、水素ガスおよび酸素ガ
スを、それぞれラインＬ１〜Ｌ３のマスフローコントロ
ーラＦ１〜Ｆ３にて１００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状
態）、３０００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）、２０００
ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）に流量調整し、ラインＬ１
〜Ｌ３を通して循環ラインＬに導入した。これと同時に
循環ファンＦ（流量；４Ｌ／ｍｉｎ）を始動した。
【００３０】このような操作により上記各ガスを循環ラ
インＬに導入し、ラインＬ４を通して排気させ、循環ラ
インＬ中のガスを置換した。
インＬに導入し、ラインＬ４を通して排気させ、循環ラ
インＬ中のガスを置換した。
【００３１】次に、開閉弁Ｖ４を閉じ、開閉弁Ｖ５を開
いた後、開閉弁Ｖ１〜Ｖ３を開状態のままにし、循環フ
ァンＦの運転を継続させてからフロン１１３、水素ガス
および酸素ガスを上記各流量でそれぞれ循環ラインＬに
所定時間導入した。この後、開閉弁Ｖ１〜Ｖ３を閉じて
フロン１１３、水素ガスおよび酸素ガスの導入を停止し
た。
いた後、開閉弁Ｖ１〜Ｖ３を開状態のままにし、循環フ
ァンＦの運転を継続させてからフロン１１３、水素ガス
および酸素ガスを上記各流量でそれぞれ循環ラインＬに
所定時間導入した。この後、開閉弁Ｖ１〜Ｖ３を閉じて
フロン１１３、水素ガスおよび酸素ガスの導入を停止し
た。
【００３２】次に、循環ファンＦの運転を継続させ、加
熱器ＨＴの電気炉内の温度を常温（２５℃）のままと
し、マイクロ波発生器ＭＷから周波数２４５０ＭＨｚの
マイクロ波［（実施例１；出力４００Ｗ）、（実施例
２；出力８００Ｗ）］を加熱器ＨＴの電気炉内に５分間
照射した。こうして循環ラインＬ内の混合ガスを循環フ
ァンＦにより循環ラインＬを循環させ、マイクロ波照射
がなされる帯域である電気炉内を繰り返し通過させた。
熱器ＨＴの電気炉内の温度を常温（２５℃）のままと
し、マイクロ波発生器ＭＷから周波数２４５０ＭＨｚの
マイクロ波［（実施例１；出力４００Ｗ）、（実施例
２；出力８００Ｗ）］を加熱器ＨＴの電気炉内に５分間
照射した。こうして循環ラインＬ内の混合ガスを循環フ
ァンＦにより循環ラインＬを循環させ、マイクロ波照射
がなされる帯域である電気炉内を繰り返し通過させた。
【００３３】しかる後、マイクロ波の照射を停止した。
つづいて開閉弁Ｖ４を開け、循環ラインＬ内のガスの一
部をラインＬ４を通してガス分析器（ガスクロマトグラ
フ）に導入した。このガス分析器に導入したガスについ
て、以下の測定条件で分析を行ない、ガス中に含まれる
フロン１１３のピーク面積を求めた。
つづいて開閉弁Ｖ４を開け、循環ラインＬ内のガスの一
部をラインＬ４を通してガス分析器（ガスクロマトグラ
フ）に導入した。このガス分析器に導入したガスについ
て、以下の測定条件で分析を行ない、ガス中に含まれる
フロン１１３のピーク面積を求めた。
【００３４】（測定条件） キャリアガス；９９．９９９９ｖｏｌ％Ｈｅ、 使用カラム；Ｐｏｒａｐａｋ Ｑ（ジーエルサイエンス
社製）、 カラム温度；４０℃、 インジェクタ温度；１００℃、 検出器温度；８０℃。
社製）、 カラム温度；４０℃、 インジェクタ温度；１００℃、 検出器温度；８０℃。
【００３５】なお、上記したマイクロ波照射に先立ち、
循環ガスの一部を上記測定条件でガスクロマトグラフに
よる分析を行ない、得られたフロン１１３のピーク面積
の値を求めた。このマイクロ波照射前のガス中のフロン
１１３のピーク面積と、マイクロ波照射後のガス中のフ
ロン１１３のピーク面積とからフロン分解率を求めた。
その結果を下記表１に示す。
循環ガスの一部を上記測定条件でガスクロマトグラフに
よる分析を行ない、得られたフロン１１３のピーク面積
の値を求めた。このマイクロ波照射前のガス中のフロン
１１３のピーク面積と、マイクロ波照射後のガス中のフ
ロン１１３のピーク面積とからフロン分解率を求めた。
その結果を下記表１に示す。
【００３６】
【表１】
【００３７】上記表１に示すように、５分間と非常に短
い照射時間にもかかわらずそれぞれ１６％、２７％の分
解率でフロン１１３を分解できたことがわかった。ま
た、マイクロ波出力を上昇させるとより高い分解率で分
解できることが認められた。
い照射時間にもかかわらずそれぞれ１６％、２７％の分
解率でフロン１１３を分解できたことがわかった。ま
た、マイクロ波出力を上昇させるとより高い分解率で分
解できることが認められた。
【００３８】（実施例３〜１２）下記表２に示す条件で
マイクロ波照射および電気炉の加熱を行なった以外、実
施例１，２と同様な手法によってフロンの分解操作およ
びガス分析を行ない、フロン１１３の分解率を求めた。
その結果を下記表２に示す。
マイクロ波照射および電気炉の加熱を行なった以外、実
施例１，２と同様な手法によってフロンの分解操作およ
びガス分析を行ない、フロン１１３の分解率を求めた。
その結果を下記表２に示す。
【００３９】
【表２】
【００４０】上記表２に示すように、マイクロ波出力を
４００Ｗに固定した実施例３〜７ではいずれも、加熱温
度の上昇に伴ってフロン１１３の分解率は上昇している
ことが認められる。加熱温度５００℃とした実施例６で
は、５分間と非常に短い循環時間であるにもかかわらず
分解率８１％と高い値を示し、非常に効率的にフロン１
１３を分解できたことがわかった。
４００Ｗに固定した実施例３〜７ではいずれも、加熱温
度の上昇に伴ってフロン１１３の分解率は上昇している
ことが認められる。加熱温度５００℃とした実施例６で
は、５分間と非常に短い循環時間であるにもかかわらず
分解率８１％と高い値を示し、非常に効率的にフロン１
１３を分解できたことがわかった。
【００４１】また、マイクロ波出力８００Ｗに固定した
実施例８〜１２においても同様に、加熱温度の上昇に伴
ってフロン分解率は上昇し、かつこれら各分解率値は、
出力４００Ｗに固定した実施例３〜７における各加熱温
度での各分解率よりも高いことがわかる。マイクロ波出
力８００Ｗ、加熱温度５００℃とした実施例１２では、
５分間と非常に短い循環時間であるにもかかわらず分解
率９９％とほとんど全てのフロン１１３を極めて効率的
に分解できたことがわかった。
実施例８〜１２においても同様に、加熱温度の上昇に伴
ってフロン分解率は上昇し、かつこれら各分解率値は、
出力４００Ｗに固定した実施例３〜７における各加熱温
度での各分解率よりも高いことがわかる。マイクロ波出
力８００Ｗ、加熱温度５００℃とした実施例１２では、
５分間と非常に短い循環時間であるにもかかわらず分解
率９９％とほとんど全てのフロン１１３を極めて効率的
に分解できたことがわかった。
【００４２】（実施例１３，１４）フロン１１３、水素
ガスおよび酸素ガスの流量を、それぞれ１００ｃｍ3／
ｍｉｎ（標準状態）、３００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状
態）、２００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）にし、下記表
３に示す条件でマイクロ波照射および加熱を行なった以
外、実施例１，２と同様な手法によってフロン分解操作
およびガス分析を行ない、フロン分解率を求めた。その
結果を下記表３に示す。
ガスおよび酸素ガスの流量を、それぞれ１００ｃｍ3／
ｍｉｎ（標準状態）、３００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状
態）、２００ｃｍ3／ｍｉｎ（標準状態）にし、下記表
３に示す条件でマイクロ波照射および加熱を行なった以
外、実施例１，２と同様な手法によってフロン分解操作
およびガス分析を行ない、フロン分解率を求めた。その
結果を下記表３に示す。
【００４３】
【表３】
【００４４】上記表３に示されるように、マイクロ波照
射および加熱時に循環を行なった実施例１３，１４で
は、５分間と非常に短い照射時間でそれぞれ８０％およ
び９９％と極めて高い分解率で効率的に分解できたこと
がわかった。
射および加熱時に循環を行なった実施例１３，１４で
は、５分間と非常に短い照射時間でそれぞれ８０％およ
び９９％と極めて高い分解率で効率的に分解できたこと
がわかった。
【００４５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、難分解性有機ハロゲン化合物を極めて高い分解率
で効率的に、かつ簡単な構成の装置を用いて分解するこ
とが可能になる。また、本発明の方法においては、比較
的低温で分解を行なうため、分解生成するハロゲン化水
素による分解装置の劣化を低減させることができ、装置
メンテナンスの負荷を大幅に軽減することができる。そ
の結果、装置のランニングコストを大幅に節減できる。
れば、難分解性有機ハロゲン化合物を極めて高い分解率
で効率的に、かつ簡単な構成の装置を用いて分解するこ
とが可能になる。また、本発明の方法においては、比較
的低温で分解を行なうため、分解生成するハロゲン化水
素による分解装置の劣化を低減させることができ、装置
メンテナンスの負荷を大幅に軽減することができる。そ
の結果、装置のランニングコストを大幅に節減できる。
【図１】本発明の方法において難分解性有機ハロゲン化
合物を分解するために使用する分解装置の一例を概略的
に示す図。
合物を分解するために使用する分解装置の一例を概略的
に示す図。
１…分解装置、 Ｌ…循環ライン、 ＨＴ…加熱器、 ＭＷ…マイクロ波発生器、 Ｆ…循環ファン、 Ｌ１〜Ｌ４…ライン、 Ｆ１〜Ｆ３…マスフローコントローラ、 Ｖ１〜Ｖ５…開閉弁。
Claims (2)
- 【請求項１】 一部もしくは全体的にマイクロ波照射が
なされる循環路内に難分解性有機ハロゲン化合物、水素
ガスおよび酸素ガスを還流させることを特徴とする難分
解性有機ハロゲン化合物の分解方法。 - 【請求項２】 前記循環路内において、さらに加熱を行
なうことを特徴とする請求項１記載の難分解性有機ハロ
ゲン化合物の分解方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010549A JP2001198436A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | 難分解性有機ハロゲン化合物の分解方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000010549A JP2001198436A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | 難分解性有機ハロゲン化合物の分解方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001198436A true JP2001198436A (ja) | 2001-07-24 |
Family
ID=18538553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000010549A Pending JP2001198436A (ja) | 2000-01-19 | 2000-01-19 | 難分解性有機ハロゲン化合物の分解方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001198436A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013139033A (ja) * | 2002-12-23 | 2013-07-18 | Aldivia Sa | 再循環システムに組み込まれた、断続的な誘電加熱による熱処理を備えた化学合成法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03221121A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-30 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン化炭化水素類の分解方法 |
| JPH07299159A (ja) * | 1994-04-29 | 1995-11-14 | Motorola Inc | 化合物分解のための装置および方法 |
| JPH1176740A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-23 | Mitsui Chem Inc | 有機フッ素系排ガスの分解処理方法及び分解処理装置 |
-
2000
- 2000-01-19 JP JP2000010549A patent/JP2001198436A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03221121A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-30 | Central Glass Co Ltd | ハロゲン化炭化水素類の分解方法 |
| JPH07299159A (ja) * | 1994-04-29 | 1995-11-14 | Motorola Inc | 化合物分解のための装置および方法 |
| JPH1176740A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-23 | Mitsui Chem Inc | 有機フッ素系排ガスの分解処理方法及び分解処理装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2013139033A (ja) * | 2002-12-23 | 2013-07-18 | Aldivia Sa | 再循環システムに組み込まれた、断続的な誘電加熱による熱処理を備えた化学合成法 |
| JP2016120491A (ja) * | 2002-12-23 | 2016-07-07 | アルディヴィア エスアーＡｌｄｉｖｉａ Ｓａ | 再循環システムに組み込まれた、断続的な誘電加熱による熱処理を備えた化学合成法 |
| JP2018047458A (ja) * | 2002-12-23 | 2018-03-29 | アルディヴィア エスアーＡｌｄｉｖｉａ Ｓａ | 再循環システムに組み込まれた、断続的な誘電加熱による熱処理を備えた化学合成法 |
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