JP2001195987A - Member for plasma display and method of manufacturing the same, and plasma display - Google Patents

Member for plasma display and method of manufacturing the same, and plasma display

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JP2001195987A
JP2001195987A JP2000002455A JP2000002455A JP2001195987A JP 2001195987 A JP2001195987 A JP 2001195987A JP 2000002455 A JP2000002455 A JP 2000002455A JP 2000002455 A JP2000002455 A JP 2000002455A JP 2001195987 A JP2001195987 A JP 2001195987A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a member for plasma display and method of manufacturing the same which has a good coating property of a phosphor material to top parts of assistant barrier ribs and which prevents the stripping, the breaking of wire, the deformation of a shape after sintering in case that the assistant barrier ribs are larger than a width between barrier ribs. SOLUTION: In this member for plasma display, an address electrode and barrier ribs are formed on a substrate, and assistant barrier ribs are formed perpendicularly to the barrier ribs, and also stripe shapes of notches are formed at top parts of the assistant barrier ribs in parallel direction to the assistant barrier ribs.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、壁掛けテレビや大
型モニターに用いられるプラズマディスプレイ用部材お
よびプラズマディスプレイ用部材の製造方法に係り、特
にプラズマディスプレイパネルの輝度を向上し、パネル
の表示品位を高めたプラズマディスプレイ用部材および
その製造方法並びにプラズマディスプレイに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a member for a plasma display used for a wall-mounted television or a large monitor and a method for manufacturing the member for a plasma display, and more particularly to improving the brightness of a plasma display panel and improving the display quality of the panel. The present invention relates to a plasma display member, a method of manufacturing the same, and a plasma display.

【0002】[0002]

【従来の技術】薄型・大型テレビに使用できるディスプ
レイとして、プラズマディスプレイパネル(以下、PD
Pと略す)が注目されている。PDPは、例えば、表示
面となる前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサ
ステイン電極が銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等
の材料で形成されている。さらにサステイン電極を被覆
してガラスを主成分とする誘電体層が20〜50μm厚
みで形成され、誘電体層を被覆してMgO層が形成され
ている。一方、背面板側のガラス基板には、複数のアド
レス電極がストライプ状に形成され、アドレス電極を被
覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されてい
る。誘電体層上に放電セルを仕切るための隔壁が形成さ
れ、隔壁と誘電体層で形成された放電空間内に蛍光体層
が形成されてなる。フルカラー表示が可能なPDPにお
いては、蛍光体層は、RGBの各色に発光するものによ
り構成される。前面板側のガラス基板のサステイン電極
と背面板側のアドレス電極が互いに直交するように、前
面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリ
ウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封
入されPDPが形成される。スキャン電極とアドレス電
極の交点を中心として画素セルが形成されるので、PD
Pは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。
2. Description of the Related Art A plasma display panel (hereinafter referred to as PD) is used as a display which can be used for a thin and large-sized television.
P). In a PDP, for example, a plurality of pairs of sustain electrodes are formed of a material such as silver, chromium, aluminum, or nickel on a glass substrate on a front plate side serving as a display surface. Further, a dielectric layer mainly composed of glass is formed in a thickness of 20 to 50 μm to cover the sustain electrode, and an MgO layer is formed to cover the dielectric layer. On the other hand, a plurality of address electrodes are formed in a stripe shape on the glass substrate on the back plate side, and a dielectric layer mainly composed of glass is formed so as to cover the address electrodes. A partition for dividing discharge cells is formed on the dielectric layer, and a phosphor layer is formed in a discharge space formed by the partition and the dielectric layer. In a PDP capable of full-color display, the phosphor layer is formed of a material that emits light of each color of RGB. The front plate and the back plate are sealed so that the sustain electrodes of the glass plate on the front plate and the address electrodes on the back plate are orthogonal to each other, and are formed of helium, neon, xenon, etc. in the gap between those substrates. A rare gas is sealed to form PDP. Since the pixel cell is formed around the intersection of the scan electrode and the address electrode, PD
P has a plurality of pixel cells and can display an image.

【0003】PDPにおいて表示を行う際、選択された
画素セルにおいて、発光していない状態からサステイン
電極とアドレス電極との間に放電開始電圧以上の電圧を
印加すると電離によって生じた陽イオンや電子は、画素
セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の
電極へと向けて移動してMgO層の内壁に帯電し、内壁
の電荷はMgO層の抵抗が高いために減衰せずに壁電荷
として残留する。
When a display is performed on a PDP, when a voltage higher than a discharge starting voltage is applied between a sustain electrode and an address electrode in a selected pixel cell from a state where no light is emitted, cations and electrons generated by ionization are removed. Since the pixel cell is a capacitive load, it moves in the discharge space toward the electrode of the opposite polarity and is charged on the inner wall of the MgO layer, and the charge on the inner wall is not attenuated due to the high resistance of the MgO layer. It remains as wall charges.

【0004】次に、スキャン電極とサステイン電極の間
に放電維持電圧を印加する。壁電荷のあるところでは、
放電開始電圧より低い電圧でも放電することができる。
放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、14
7nmの紫外線が発生し、紫外線が蛍光体を励起するこ
とにより、発光表示が可能になる。
Next, a sustaining voltage is applied between the scan electrode and the sustain electrode. Where there is a wall charge,
It is possible to discharge even at a voltage lower than the discharge starting voltage.
The xenon gas in the discharge space is excited by the discharge,
Ultraviolet light of 7 nm is generated, and the ultraviolet light excites the fluorescent substance, thereby enabling light emission display.

【0005】このようなPDPにおいては蛍光面を発光
させた場合の輝度を高めることが重要となっている。こ
の輝度を高めるための手段として、特開平10−321
148号公報には、隔壁の他に補助隔壁を設け、補助隔
壁の表面にも蛍光面を形成することにより蛍光面の発光
面積を大きくし、紫外線を効率よく蛍光面に作用させ、
輝度を高めることが提案されている。
[0005] In such a PDP, it is important to increase the luminance when the fluorescent screen is illuminated. As means for increasing the luminance, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-321
No. 148, an auxiliary partition is provided in addition to the partition, and a fluorescent screen is also formed on the surface of the auxiliary partition to increase a light emitting area of the fluorescent screen, thereby allowing ultraviolet rays to efficiently act on the fluorescent screen.
It has been proposed to increase the brightness.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このような補助隔壁を
形成したものに蛍光体層を形成する場合、補助隔壁頂部
に所望量の蛍光体を塗着させることが重要になる。
When a phosphor layer is formed on such an auxiliary partition wall, it is important to apply a desired amount of phosphor on the top of the auxiliary partition wall.

【0007】しかし従来の補助隔壁を形成したプラズマ
ディスプレイ用部材に蛍光体ペーストを印刷あるいは塗
布した場合、補助隔壁頂部に印刷あるいは塗布された蛍
光体ペーストがだれやすく、所望量の蛍光体層の形成が
困難になる。また、隔壁と補助隔壁の幅に大きな差があ
ると、両者の焼成収縮の違いにより、隔壁が変形した
り、さらには断線してしまうという問題がある。
However, when a phosphor paste is printed or applied to a conventional plasma display member having an auxiliary partition formed thereon, the phosphor paste printed or applied on the top of the auxiliary partition tends to be dripped, and a desired amount of phosphor layer is formed. Becomes difficult. In addition, if there is a large difference between the width of the partition and the width of the auxiliary partition, there is a problem that the partition is deformed or broken due to a difference in firing shrinkage between the two.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、補助
隔壁頂部への蛍光体ペーストの塗着性が良好で、隔壁と
補助隔壁の幅が違う構造、具体的には補助隔壁が隔壁幅
より太い場合であっても、焼成後の剥がれ、断線、形状
変化が生じないプラズマディスプレイ用部材の製造方法
およびプラズマディスプレイ部材を提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the present invention provides a structure in which the phosphor paste is applied to the top of the auxiliary partition wall and the width of the partition wall is different from that of the auxiliary partition wall. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a member for a plasma display, which does not cause peeling, disconnection, or shape change after firing even when the thickness is large, and a plasma display member.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、基板
上にアドレス電極と隔壁を形成したプラズマディスプレ
イ用部材であって、隔壁と垂直方向に補助隔壁を形成
し、さらに補助隔壁頂部に、補助隔壁と平行方向にスト
ライプ状の切り込みを形成したことを特徴とするプラズ
マディスプレイ用部材を要旨とするものである。
That is, the present invention relates to a plasma display member having an address electrode and a partition formed on a substrate, wherein an auxiliary partition is formed in a direction perpendicular to the partition, and an auxiliary partition is formed on the top of the auxiliary partition. A gist of the present invention is a member for a plasma display, in which a stripe-shaped cut is formed in a direction parallel to a partition wall.

【0010】また本発明は、基板上に感光性ペーストを
塗布し、フォトマスクを介して露光する工程を含むプラ
ズマディスプレイ用部材の製造方法であって、フォトマ
スクが、ストライプ状透光パターンに少なくとも1本の
遮光ラインを有するフォトマスクAと直線状のストライ
プ状パターンを有するフォトマスクBを組み合わせるこ
とを特徴とする前記プラズマディスプレイ用部材の製造
方法を要旨とするものである。
The present invention also relates to a method for manufacturing a member for a plasma display, comprising a step of applying a photosensitive paste on a substrate and exposing through a photomask, wherein the photomask has at least a stripe-shaped translucent pattern. A gist of the method for manufacturing a member for a plasma display, wherein a photomask A having one light-shielding line and a photomask B having a linear stripe pattern are combined.

【0011】また本発明は、上記のプラズマディスプレ
イ用部材または得られたプラズマディスプレイ用部材を
背面板として用いたことを特徴とするプラズマディスプ
レイである。
The present invention also provides a plasma display using the above-described plasma display member or the obtained plasma display member as a back plate.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下に、本発明をPDPの作製手
順に沿って説明する。本発明のPDP用部材としての背
面板に用いる基板としては、ソーダガラスの他にPDP
用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“PD200”や日
本電気硝子社製の“PP8”を用いることができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in accordance with a PDP manufacturing procedure. As the substrate used for the back plate as the member for PDP of the present invention, in addition to soda glass, PDP
"PD200" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. or "PP8" manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., which is a heat-resistant glass for use.

【0013】ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロ
ム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を形成す
る。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機
バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印
刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感
光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後
に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分
を現像工程で溶解除去し、さらに、400〜600℃に
加熱・焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト
法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロム
やアルミニウム等の金属をスパッタリングした後に、レ
ジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後
にエッチングにより、不要な部分の金属を取り除くエッ
チング法を用いることができる。電極厚みは1〜10μ
mが好ましく、2〜5μmがより好ましい。電極厚みが
薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動が困難となる
傾向にあり、厚すぎると材料が多く必要になり、コスト
的に不利な傾向にある。アドレス電極の幅は好ましくは
20〜200μm、より好ましくは30〜100μmで
ある。アドレス電極の幅が細すぎると抵抗値が高くなり
正確な駆動が困難となる傾向にあり、太すぎると隣合う
電極間の距離が小さくなるため、ショート欠陥が生じや
すい傾向にある。さらに、アドレス電極は表示セル(画
素の各RGBを形成する領域)に応じたピッチで形成さ
れる。通常のPDPでは100〜500μm、高精細P
DPにおいては100〜400μmのピッチで形成する
のが好ましい。
An address electrode is formed on a glass substrate by using a metal such as silver, aluminum, chromium or nickel. As a method of forming, a method of pattern-printing a metal paste containing these metal powders and an organic binder as main components by screen printing, or after applying a photosensitive metal paste using a photosensitive organic component as an organic binder, A photosensitive paste method in which pattern exposure is performed using a photomask, unnecessary portions are dissolved and removed in a developing step, and further, heating and baking at 400 to 600 ° C. to form a metal pattern can be used. In addition, an etching method in which a metal such as chromium or aluminum is sputtered on a glass substrate, a resist is applied, and the resist is subjected to pattern exposure / development, followed by etching to remove an unnecessary portion of the metal by etching. Electrode thickness is 1-10μ
m is preferable, and 2 to 5 μm is more preferable. If the electrode thickness is too thin, the resistance value tends to be large and accurate driving tends to be difficult. If the electrode thickness is too thick, a large amount of material is required, which tends to be disadvantageous in cost. The width of the address electrode is preferably 20 to 200 μm, more preferably 30 to 100 μm. If the width of the address electrode is too small, the resistance value tends to be high and accurate driving tends to be difficult. If the address electrode is too thick, the distance between adjacent electrodes is small, and short-circuit defects tend to occur. Further, the address electrodes are formed at a pitch corresponding to the display cell (the area where each RGB of a pixel is formed). 100-500 μm for normal PDP, high-definition P
DP is preferably formed at a pitch of 100 to 400 μm.

【0014】次いで誘電体層を好ましく形成する。誘電
体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラ
スペーストをアドレス電極を覆う形で塗布した後に、4
00〜600℃で焼成することにより形成できる。誘電
体層に用いるガラスペーストには、酸化鉛、酸化ビスマ
ス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも1種類以上を含有
し、これらを合計で10〜80重量%含有するガラス粉
末を好ましく用いることができる。10重量%以上とす
ることで、600℃以下での焼成が容易になり、80重
量%以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防
止する。これらのガラス粉末と有機バインダーと混練し
てペーストを作成できる。用いる有機バインダーとして
は、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表され
るセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチル
メタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルア
クリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレ
ート等のアクリル系化合物等を用いることができる。ま
た、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加
えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラ
クトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用
いることができる。また、可塑剤としてはジブチルフタ
レート、ジエチルフタレート等を用いることができる。
ガラス粉末以外にフィラー成分を添加することにより、
反射率が高く、輝度の高いPDPを得ることができる。
フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸
化ジルコニウム等が好ましく、粒子径0.05〜3μm
の酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの
含有量はガラス粉末:フィラーの比で、1:1〜10:
1が好ましい。フィラーの含有量をガラス粉末の10分
の1以上とすることで、輝度向上の実効を得ることがで
きる。また、ガラス粉末の等量以下とすることで、焼結
性を保つことができる。また、導電性微粒子を添加する
ことにより駆動時の信頼性の高いPDPを作成すること
ができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金
属粉末が好ましく、粒子径は1〜10μmが好ましい。
1μm以上とすることで十分な効果を発揮でき、10μ
m以下とすることで誘電体上の凹凸を抑え隔壁形成を容
易にすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体
層に含まれる含有量としては、0.1〜10重量%が好
ましい。0.1重量%以上とすることで実効を得ること
ができ、10重量%以下とすることで、隣り合うアドレ
ス電極間でのショートを防ぐことができる。誘電体層の
厚みは好ましくは3〜30μm、より好ましくは3〜1
5μmである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホール
が多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くな
り、消費電力が大きくなる傾向にある。
Next, a dielectric layer is preferably formed. The dielectric layer is formed by applying a glass paste containing glass powder and an organic binder as main components so as to cover the address electrodes.
It can be formed by firing at 00 to 600 ° C. As the glass paste used for the dielectric layer, a glass powder containing at least one kind of lead oxide, bismuth oxide, zinc oxide, and phosphorus oxide, and a total of 10 to 80% by weight of these can be preferably used. When the content is 10% by weight or more, baking at 600 ° C. or less is facilitated, and when the content is 80% by weight or less, crystallization is prevented and a decrease in transmittance is prevented. A paste can be prepared by kneading these glass powders with an organic binder. As the organic binder to be used, cellulose compounds such as ethyl cellulose and methyl cellulose, and acrylic compounds such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, and isobutyl acrylate can be used. Further, additives such as a solvent and a plasticizer may be added to the glass paste. As the solvent, general-purpose solvents such as terpineol, butyrolactone, toluene, and methylcellosolve can be used. Further, dibutyl phthalate, diethyl phthalate, or the like can be used as the plasticizer.
By adding filler components other than glass powder,
A PDP with high reflectance and high luminance can be obtained.
As the filler, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide and the like are preferable, and the particle diameter is 0.05 to 3 μm.
It is particularly preferable to use titanium oxide. The content of the filler is glass powder: filler ratio of 1: 1 to 10:
1 is preferred. By setting the content of the filler to one-tenth or more of the glass powder, it is possible to obtain the effect of improving the luminance. In addition, the sinterability can be maintained by setting the equivalent amount of the glass powder or less. Further, by adding the conductive fine particles, a PDP with high reliability at the time of driving can be manufactured. The conductive fine particles are preferably metal powders such as nickel and chromium, and the particle diameter is preferably 1 to 10 μm.
A sufficient effect can be exhibited by setting the thickness to 1 μm or more,
By setting it to m or less, irregularities on the dielectric can be suppressed to facilitate the formation of the partition walls. The content of these conductive fine particles in the dielectric layer is preferably 0.1 to 10% by weight. Effectiveness can be obtained by adjusting the content to 0.1% by weight or more, and short-circuiting between adjacent address electrodes can be prevented by setting the content to 10% by weight or less. The thickness of the dielectric layer is preferably 3 to 30 μm, more preferably 3 to 1 μm.
5 μm. If the thickness of the dielectric layer is too small, the number of pinholes tends to increase. If the thickness is too large, the discharge voltage tends to increase and the power consumption tends to increase.

【0015】本発明のプラズマディスプレイ用部材は、
基板上もしくは誘電体層上に、放電セルを仕切るための
隔壁および隔壁(あるいはアドレス電極)と垂直方向の
補助隔壁を形成する。図1は本発明で形成する隔壁およ
び補助隔壁の形状の一例を示す斜視図である。図1にお
いて、1A、1B、1Cは隔壁、2A、2B、2C、は
補助隔壁、3は誘電体層、4はアドレス電極、5はガラ
ス基板である。隔壁1A、1B、1Cは、アドレス電極
と平行方向に形成する。
The member for a plasma display of the present invention comprises:
On the substrate or the dielectric layer, partition walls for partitioning the discharge cells and auxiliary partition walls perpendicular to the partition walls (or address electrodes) are formed. FIG. 1 is a perspective view showing an example of the shape of a partition and an auxiliary partition formed in the present invention. In FIG. 1, reference numerals 1A, 1B and 1C denote partition walls, 2A, 2B and 2C, auxiliary partition walls, 3 a dielectric layer, 4 an address electrode, and 5 a glass substrate. The partition walls 1A, 1B, and 1C are formed in a direction parallel to the address electrodes.

【0016】隔壁の断面形状は台形や矩形に形成するこ
とができる。隔壁の高さは、80μm〜200μmが適
している。80μm以上とすることで蛍光体とスキャン
電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化
を防ぐことができる。また、200μm以下とすること
で、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十
分な輝度を得ることができる。またピッチ(P)は、1
00μm≦P≦500μmのものがよく用いられる。ま
た、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッ
チ(P)が、100μm≦P≦250μmである。10
0μm以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を
得ることができ、500μm以下とすることで画素の細
かいきれいな映像表示ができる。250μm以下にする
ことにより、HDTV(ハイビジョン)レベルの美しい
映像を表示することができる。
The cross-sectional shape of the partition can be trapezoidal or rectangular. The height of the partition wall is preferably 80 μm to 200 μm. When the thickness is 80 μm or more, it is possible to prevent the phosphor and the scan electrode from coming too close to each other, and to prevent the phosphor from being deteriorated due to discharge. When the thickness is 200 μm or less, the distance between the discharge at the scan electrode and the phosphor can be reduced, and sufficient luminance can be obtained. The pitch (P) is 1
Those having a size of 00 μm ≦ P ≦ 500 μm are often used. In the high definition plasma display, the pitch (P) of the partition walls is 100 μm ≦ P ≦ 250 μm. 10
When the thickness is 0 μm or more, a sufficient discharge space can be obtained and sufficient luminance can be obtained. When the thickness is 500 μm or less, fine and clear images with fine pixels can be displayed. By setting the thickness to 250 μm or less, a beautiful video at an HDTV (high definition) level can be displayed.

【0017】補助隔壁を形成することにより、補助隔壁
の壁面にも蛍光体層を形成することができ、発光面積を
大きくとることができる。従って、紫外線が効率よく蛍
光面に作用するため輝度を高めることが可能である。ま
た、補助隔壁が存在することで、隔壁全体の結合面積が
広くなり、部材の構造的強度が得られる。その結果、隔
壁や補助隔壁の幅を小さくすることができ、表示セル部
における放電容積を大きくすることができ、放電効率を
さらによくすることができる。
By forming the auxiliary partition, the phosphor layer can also be formed on the wall surface of the auxiliary partition, and the light emitting area can be increased. Therefore, since the ultraviolet rays efficiently act on the fluorescent screen, the luminance can be increased. In addition, the presence of the auxiliary partition increases the bonding area of the entire partition, thereby obtaining structural strength of the member. As a result, the width of the partition and the auxiliary partition can be reduced, the discharge volume in the display cell portion can be increased, and the discharge efficiency can be further improved.

【0018】また、補助隔壁は、RGB各色の蛍光体層
を形成するそれぞれのセルに対して、選択的に形成して
も良い。つまり、プラズマディスプレイはRGBのうち
赤色の発色が比較的強く青色の発色が比較的弱いので、
例えば、GBに相当する隔壁間のみ、あるいはBに相当
する隔壁間にのみ補助隔壁を形成することも好ましい。
The auxiliary partition may be selectively formed for each cell forming the phosphor layer of each color of RGB. In other words, the plasma display has a relatively strong red color development of RGB and a relatively weak blue color development.
For example, it is also preferable to form an auxiliary partition only between partitions corresponding to GB or only between partitions corresponding to B.

【0019】補助隔壁の高さは隔壁の高さの1/10〜
1/1であること、さらには2/10〜9/10、さら
には2/10〜8/10であることが好ましい。補助隔
壁の高さを隔壁の高さの1/10以上とすることで、発
光面積を大きくとることによる輝度向上の効果を得るこ
とができる。また、蛍光体層の形成の際の混色や、プラ
ズマディスプレイの表示の際の他色間のクロストークの
発生を考慮すると、補助隔壁の高さは隔壁の高さの1/
1以下とすることが好ましい。
The height of the auxiliary partition is 1/10 to 1/10 of the height of the partition.
The ratio is preferably 1/1, more preferably 2/10 to 9/10, further preferably 2/10 to 8/10. By setting the height of the auxiliary partition walls to 1/10 or more of the height of the partition walls, an effect of improving luminance by increasing the light emitting area can be obtained. Also, in consideration of the color mixture at the time of forming the phosphor layer and the occurrence of crosstalk between other colors at the time of displaying on the plasma display, the height of the auxiliary partition is 1/1 of the height of the partition.
It is preferably set to 1 or less.

【0020】補助隔壁を形成する位置とピッチは、前面
板と合わせてプラズマディスプレイとした際に画素を区
切る位置に形成することが、ガス放電と蛍光体層の発光
の効率の点から好ましい。
The positions and pitches of the auxiliary partition walls are preferably formed at positions that separate pixels when a plasma display is combined with the front panel, from the viewpoints of gas discharge and emission efficiency of the phosphor layer.

【0021】補助隔壁の線幅は、頂部幅で、30μm〜
700μm、さらには40〜600μmが好ましい。補
助隔壁の頂部幅を30μm以上とすることで、補助隔壁
の形成工程や後工程に耐える強度を得ることができる。
また300μm以下とすることで、均質で強固な焼成を
行うことができる。また、補助隔壁の底部幅を補助隔壁
頂部幅の105〜2.0倍、さらには1.06〜1.8
倍、さらには1.06〜1.6倍とすることが、焼成収
縮により補助隔壁の跳ね上がりを防止する点で好まし
い。
The line width of the auxiliary partition is 30 μm to
700 μm, more preferably 40 to 600 μm. By setting the top width of the auxiliary partition wall to 30 μm or more, it is possible to obtain strength enough to withstand the auxiliary partition wall forming step and subsequent steps.
When the thickness is 300 μm or less, uniform and strong firing can be performed. In addition, the width of the bottom of the auxiliary partition is set to 105 to 2.0 times the width of the top of the auxiliary partition, and further, 1.06 to 1.8.
It is preferable that the ratio is set to 1.0 times, and more preferably 1.06 times to 1.6 times, in order to prevent the auxiliary partition walls from jumping up due to firing shrinkage.

【0022】本発明のプラズマディスプレイ用部材は、
補助隔壁の頂部に、補助隔壁の平行方向にストライプ状
の切り込みを形成することが必要である。図1におい
て、6は補助隔壁頂部に形成したストライプ状の切り込
みであり、この切り込みは補助隔壁頂部に少なくとも1
本以上、好ましくは2本以上、さらには3本以上形成す
ることが好ましい。このような切り込みを有することに
より、ディスペンサー法やスクリーン印刷法により隔壁
間に線状に蛍光体ペーストを塗布した際にも、補助隔壁
頂部への蛍光体ペースト塗着性が向上する。 ここでス
トライプ状の切り込みの断面形状は図2に示す通り、頂
部から深さ方向に対しその幅が減衰する形状であること
が好ましく、このような形状には例えば逆テーパー状が
挙げられる。
The member for a plasma display of the present invention comprises:
At the top of the auxiliary partition, it is necessary to form a stripe-shaped cut in the direction parallel to the auxiliary partition. In FIG. 1, reference numeral 6 denotes a stripe-shaped cut formed at the top of the auxiliary partition, and this cut has at least one cut at the top of the auxiliary partition.
It is preferable to form at least two, preferably at least two, and more preferably at least three. By having such cuts, even when the phosphor paste is linearly applied between the partition walls by the dispenser method or the screen printing method, the application of the phosphor paste to the top of the auxiliary partition wall is improved. Here, as shown in FIG. 2, the cross-sectional shape of the stripe-shaped cut is preferably a shape whose width is attenuated from the top to the depth direction, and such a shape includes, for example, an inverted taper shape.

【0023】本発明で補助隔壁頂部に形成される切り込
みの最大深さは、補助隔壁高さの1/10以上であるこ
とが好ましい。補助隔壁頂部に形成される切り込みの最
大深さを1/10以上とすることで、補助隔壁頂部への
蛍光体ペーストの塗着性が向上する。 また、切り込み
の最大深さの上限は特に限定されないが、焼成後均一に
補助隔壁を形成する理由から、9/10以下、さらには
8/10以下であることが好ましい。補助隔壁の頂部の
切り込みの最大幅は、補助隔壁頂部幅の1/50〜1/
2以上であることが好ましい。この範囲内とすることに
より蛍光体ペーストの塗着性を向上しやすくなる。
In the present invention, the maximum depth of the cut formed at the top of the auxiliary partition is preferably at least 1/10 of the height of the auxiliary partition. By making the maximum depth of the cut formed on the top of the auxiliary partition wall 1/10 or more, the coating property of the phosphor paste on the top of the auxiliary partition wall is improved. The upper limit of the maximum depth of the cut is not particularly limited, but is preferably 9/10 or less, more preferably 8/10 or less, for the reason that the auxiliary partition walls are formed uniformly after firing. The maximum width of the cut at the top of the auxiliary partition is 1/50 to 1/1 of the width of the top of the auxiliary partition.
It is preferably two or more. Within this range, the coating properties of the phosphor paste can be easily improved.

【0024】隔壁と補助隔壁の他に、接合補助壁なるも
のを形成することも好ましい。接合補助壁とは、補助隔
壁の並列パターンの両側部の外側であり隔壁の端部であ
る箇所に、隔壁と垂直方向に形成するものであり、これ
により隔壁端部の剥がれを防ぐことができる。隔壁が接
合補助壁に対して突出する端部の長さは0.5mm以下
とすることが、剥がれ防止の実効を得る上で好ましい。
It is also preferable to form a joining auxiliary wall in addition to the partition and the auxiliary partition. The joining auxiliary wall is formed outside the both sides of the parallel pattern of the auxiliary partition walls and at a position that is an end of the partition wall, in a direction perpendicular to the partition wall, thereby preventing peeling of the partition wall end portion. . It is preferable that the length of the end portion where the partition wall protrudes from the joining auxiliary wall be 0.5 mm or less in order to obtain the effect of preventing peeling.

【0025】次に、本発明における隔壁および補助隔壁
の形成方法について説明する。隔壁および補助隔壁は、
基板上に絶縁性無機成分と有機成分からなるペースト
を、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペー
スト法(フォトリソグラフィー法)、金型転写法、リフ
トオフ法等公知の技術により隔壁および補助隔壁パター
ンを形成し、焼成することで形成されるが、溝の形状制
御、均一性等の理由から、中でも感光性ペーストを基板
上に塗布、乾燥し感光性ペースト膜を形成し、フォトマ
スクを介して露光・現像するいわゆる感光性ペースト法
(フォトリソグラフィー法)が本発明では好ましく適用
される。
Next, a method for forming the partition and the auxiliary partition in the present invention will be described. The bulkhead and the auxiliary bulkhead are
A paste consisting of an insulating inorganic component and an organic component is formed on a substrate by a known technique such as a screen printing method, a sand blast method, a photosensitive paste method (photolithography method), a mold transfer method, and a lift-off method. It is formed by forming and baking, but for reasons such as groove shape control and uniformity, among other things, apply a photosensitive paste on the substrate, dry it, form a photosensitive paste film, and expose it through a photomask. A so-called photosensitive paste method (photolithography method) of developing is preferably applied in the present invention.

【0026】以下に本発明で適用する感光性ペースト法
について、詳述する。本発明で用いる感光性ペースト
は、無機微粒子と感光性有機成分を主成分とするもので
ある。
Hereinafter, the photosensitive paste method applied in the present invention will be described in detail. The photosensitive paste used in the present invention contains inorganic fine particles and a photosensitive organic component as main components.

【0027】感光性ペーストの無機微粒子としては、ガ
ラス、セラミック(アルミナ、コーディライトなど)な
どを用いることができる。特に、ケイ素酸化物、ホウ素
酸化物、または、アルミニウム酸化物を必須成分とする
ガラスやセラミックスが好ましい。
As the inorganic fine particles of the photosensitive paste, glass, ceramic (alumina, cordierite, etc.) and the like can be used. In particular, glass and ceramics containing silicon oxide, boron oxide, or aluminum oxide as an essential component are preferable.

【0028】無機微粒子の粒子径は、作製しようとする
パターンの形状を考慮して選ばれるが、体積平均粒子径
(D50)が、1〜10μmであることが好ましく、よ
り好ましくは、1〜5μmである。D50を10μm以
下とすることで、表面凸凹が生じるのを防ぐことができ
る。また、1μm以上とすることで、ペーストの粘度調
整を容易にすることができる。さらに、比表面積0.2
〜3m2/gのガラス微粒子を用いることが、パターン
形成において、特に好ましい。
The particle size of the inorganic fine particles is selected in consideration of the shape of the pattern to be produced. The volume average particle size (D50) is preferably from 1 to 10 μm, more preferably from 1 to 5 μm. It is. By setting D50 to 10 μm or less, it is possible to prevent the occurrence of surface irregularities. When the thickness is 1 μm or more, the viscosity of the paste can be easily adjusted. Furthermore, specific surface area 0.2
It is particularly preferable to use glass fine particles of up to 3 m 2 / g in pattern formation.

【0029】隔壁および補助隔壁は、好ましくは熱軟化
点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機
微粒子として、熱軟化温度が350℃〜600℃のガラ
ス微粒子を60重量%以上含む無機微粒子を用いること
が好ましい。また、熱軟化温度が600℃以上のガラス
微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼
成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、4
0重量%以下が好ましい。用いるガラス粉末としては、
焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨
脹係数が50×10-7〜90×10-7、更には、60×
10-7〜90×10-7のガラス微粒子を用いることが好
ましい。
Since the partition walls and the auxiliary partition walls are preferably patterned on a glass substrate having a low thermal softening point, inorganic fine particles containing glass fine particles having a thermal softening temperature of 350 ° C. to 600 ° C. in an amount of 60% by weight or more as inorganic fine particles. It is preferable to use Further, by adding glass fine particles or ceramic fine particles having a heat softening temperature of 600 ° C. or more, the shrinkage rate during firing can be suppressed, but the amount is 4%.
It is preferably 0% by weight or less. As the glass powder used,
In order to prevent the glass substrate from warping during firing, the coefficient of linear expansion should be 50 × 10 −7 to 90 × 10 −7 , and more preferably 60 × 10 −7 .
It is preferable to use glass particles of 10 −7 to 90 × 10 −7 .

【0030】隔壁を形成する素材としては、ケイ素およ
び/またはホウ素の酸化物を含有したガラス材料が好ま
しく用いられる。
As a material for forming the partition, a glass material containing an oxide of silicon and / or boron is preferably used.

【0031】酸化ケイ素は、3〜60重量%の範囲で配
合されていることが好ましい。3重量%以上とすること
で、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、
熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマ
ッチを防ぐことができる。また、60重量%以下にする
ことによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼
き付けが可能になるなどの利点がある。
The silicon oxide is preferably blended in the range of 3 to 60% by weight. By setting the content to 3% by weight or more, the denseness, strength and stability of the glass layer are improved, and
The coefficient of thermal expansion can be set within a desired range, and mismatch with the glass substrate can be prevented. Further, by setting the content to 60% by weight or less, there is an advantage that the heat softening point is lowered and baking on a glass substrate becomes possible.

【0032】酸化ホウ素は、5〜50重量%の範囲で配
合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、
絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上
することができる。50重量%以下とすることでガラス
の安定性を保つことができる。
By mixing boron oxide in the range of 5 to 50% by weight, electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion,
Electrical, mechanical, and thermal properties such as the denseness of the insulating layer can be improved. When the content is 50% by weight or less, the stability of the glass can be maintained.

【0033】さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛
のうちの少なくとも1種類を合計で5〜50重量%含有
させることによって、ガラス基板上にパターン加工する
のに適した温度特性を有するガラスペーストを得ること
ができる。特に、酸化ビスマスを5〜50重量%含有す
るガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが
長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子と
しては、次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ま
しい。 酸化ビスマス :10〜40重量部 酸化ケイ素 : 3〜50重量部 酸化ホウ素 :10〜40重量部 酸化バリウム : 8〜20重量部 酸化アルミニウム:10〜30重量部。
Further, by containing at least one of bismuth oxide, lead oxide and zinc oxide in a total amount of 5 to 50% by weight, a glass paste having a temperature characteristic suitable for pattern processing on a glass substrate can be obtained. Obtainable. In particular, when glass particles containing 5 to 50% by weight of bismuth oxide are used, advantages such as long pot life of the paste can be obtained. As the bismuth-based glass fine particles, it is preferable to use a glass powder having the following composition. Bismuth oxide: 10 to 40 parts by weight Silicon oxide: 3 to 50 parts by weight Boron oxide: 10 to 40 parts by weight Barium oxide: 8 to 20 parts by weight Aluminum oxide: 10 to 30 parts by weight

【0034】また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸
化カリウムのうち、少なくとも1種類を3〜20重量%
含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物
の添加量は、20重量%以下、好ましくは、15重量%
以下にすることによって、ペーストの安定性を向上する
ことができる。上記3種のアルカリ金属酸化物の内、酸
化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。
リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成
を含むガラス粉末を用いることが好ましい。 酸化リチウム : 2〜15重量部 酸化ケイ素 :15〜50重量部 酸化ホウ素 :15〜40重量部 酸化バリウム : 2〜15重量部 酸化アルミニウム: 6〜25重量部。
Further, at least one of lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide is 3 to 20% by weight.
Glass fine particles may be used. The addition amount of the alkali metal oxide is 20% by weight or less, preferably 15% by weight.
By doing so, the stability of the paste can be improved. Among the above three kinds of alkali metal oxides, lithium oxide is particularly preferable in view of the stability of the paste.
As the lithium-based glass fine particles, for example, it is preferable to use a glass powder having the following composition. Lithium oxide: 2 to 15 parts by weight Silicon oxide: 15 to 50 parts by weight Boron oxide: 15 to 40 parts by weight Barium oxide: 2 to 15 parts by weight Aluminum oxide: 6 to 25 parts by weight.

【0035】また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛の
ような金属酸化物と酸化リチウム,酸化ナトリウム、酸
化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有す
るガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量
で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールする
ことができる。
If glass fine particles containing both a metal oxide such as lead oxide, bismuth oxide and zinc oxide and an alkali metal oxide such as lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide are used, a lower alkali content is obtained. The amount can easily control the thermal softening temperature and the coefficient of linear expansion.

【0036】また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウ
ム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウ
ム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウムなど、特
に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化亜鉛を添加
することにより、加工性を改良することができるが、熱
軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、40重
量%以下が好ましく、より好ましくは25重量%以下で
ある。
The workability can be improved by adding aluminum oxide, barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide, zirconium oxide, etc., particularly, aluminum oxide, barium oxide, and zinc oxide to the glass fine particles. However, from the viewpoint of the thermal softening point and the coefficient of thermal expansion, the content is preferably 40% by weight or less, more preferably 25% by weight or less.

【0037】感光性有機成分としては、感光性モノマ
ー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なく
とも1種類から選ばれた感光性成分を含有することが好
ましく、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収
剤、増感剤、有機溶媒、増感助剤、重合禁止剤を添加す
る。
It is preferable that the photosensitive organic component contains a photosensitive component selected from at least one of a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer, and a photosensitive polymer. An initiator, a light absorber, a sensitizer, an organic solvent, a sensitization aid, and a polymerization inhibitor are added.

【0038】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単
官能および多官能性の(メタ)アクリレート類、ビニル
系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができ
る。これらは1種または2種以上使用することができ
る。
The photosensitive monomer is a compound containing a carbon-carbon unsaturated bond, and specific examples thereof include monofunctional and polyfunctional (meth) acrylates, vinyl compounds and allyl compounds. Etc. can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

【0039】感光性オリゴマー、感光性ポリマーとして
は、炭素−炭素2重結合を有する化合物のうちの少なく
とも1種類を重合して得られるオリゴマーやポリマーを
用いることができる。重合する際に、これらのモノマの
含有率が、10重量%以上、さらに好ましくは35重量
%以上になるように、他の感光性のモノマと共重合する
ことができる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン
酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後の
現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具
体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、
または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして
得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポ
リマ、もしくは、オリゴマーの酸価(AV)は、50〜
180の範囲が好ましく、70〜140の範囲がより好
ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対
して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させるこ
とによって、感光性をもつ感光性ポリマや感光性オリゴ
マーとして用いることができる。好ましい光反応性基
は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン
性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル
基、メタクリル基などが挙げられる。
As the photosensitive oligomer and photosensitive polymer, oligomers and polymers obtained by polymerizing at least one compound having a carbon-carbon double bond can be used. At the time of polymerization, these monomers can be copolymerized with other photosensitive monomers such that the content of these monomers is at least 10% by weight, more preferably at least 35% by weight. By copolymerizing the polymer or oligomer with an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid, the developability after exposure can be improved. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid,
Alternatively, these acid anhydrides and the like can be mentioned. The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group in the side chain thus obtained is 50 to 50.
A range of 180 is preferable, and a range of 70 to 140 is more preferable. By adding a photoreactive group to the side chain or molecular terminal of the polymer or oligomer shown above, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer having photosensitivity. Preferred photoreactive groups are those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include a vinyl group, an allyl group, an acryl group, and a methacryl group.

【0040】光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾ
フェノン、O-ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロ
ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニル
ケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジ
エトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フ
ェニル−2−フェニルアセトフェノンなどが挙げられ
る。これらを1種または2種以上使用することができ
る。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは
0.05〜10重量%の範囲で添加され、より好ましく
は、0.1〜5重量%の範囲で添加される。重合開始剤
の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光
重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さく
なり過ぎる傾向にある。
Specific examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, methyl O-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, and 4,4-dichlorobenzophenone. , 4-benzoyl-4-methylphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone and the like. One or more of these can be used. The photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 10% by weight, more preferably in the range of 0.1 to 5% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the polymerization initiator is too small, the photosensitivity tends to decrease, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to be too small.

【0041】光吸収剤を添加することも有効である。紫
外光や可視光の吸収効果が高い化合物を添加することに
よって、高アスペクト比、高精細、高解像度が得られ
る。光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ま
しく用いられる、具体的には、アゾ系染料、アミノケト
ン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アント
ラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシ
アノアクリレート系染料、トリアジン系染料、p−アミ
ノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼
成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁
膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中
でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。
有機染料の添加量は、0.05〜5重量%が好ましく、
より好ましくは、0.05〜1重量%である。添加量が
少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあ
り、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向に
ある。
It is also effective to add a light absorber. By adding a compound having a high effect of absorbing ultraviolet light or visible light, a high aspect ratio, high definition, and high resolution can be obtained. As the light absorber, those composed of organic dyes are preferably used.Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, anthraquinone dyes, benzophenone dyes, diphenyl cyanoacrylate dyes Dyes, triazine dyes, p-aminobenzoic acid dyes and the like can be used. Since the organic dye does not remain in the insulating film after firing, deterioration of the insulating film characteristics due to the light absorber can be reduced, which is preferable. Among these, azo dyes and benzophenone dyes are preferred.
The addition amount of the organic dye is preferably 0.05 to 5% by weight,
More preferably, it is 0.05 to 1% by weight. If the amount is too small, the effect of adding the light absorber tends to decrease, and if it is too large, the properties of the insulating film after firing tend to deteriorate.

【0042】増感剤は、感度を向上させるために添加さ
れる。増感剤の具体例としては、2,4−ジエチルチオ
キサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3−ビ
ス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、
2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘ
キサノンなどが挙げられる。これらを1種または2種以
上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添
加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常
0.05〜10重量%、より好ましくは0.1〜10重
量%である。増感剤の量が少な過ぎると光感度を向上さ
せる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が多過
ぎると、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。
A sensitizer is added to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone,
2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone and the like. One or more of these can be used. When a sensitizer is added to the photosensitive paste, the amount is usually 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity tends not to be exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion tends to decrease.

【0043】有機溶媒としては、例えば、メチルセロソ
ルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルエ
チルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノ
ン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスル
フォキシド、γ−ブチルラクトン、N−メチルピロリド
ン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブ
ロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、ク
ロロ安息香酸などやこれらのうちの1種以上を含有する
有機溶媒混合物が用いられる。
Examples of the organic solvent include methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ -Butyllactone, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, and one or more of these An organic solvent mixture containing is used.

【0044】感光性ペーストは、通常、上記の無機微粒
子や有機成分を所定の組成になるように調合した後、3
本ローラーや混練機で均質に混合分散し作製する。
The photosensitive paste is usually prepared by mixing the above-mentioned inorganic fine particles and organic components so as to have a predetermined composition.
It is manufactured by mixing and dispersing homogeneously with this roller or kneader.

【0045】次いで感光性ペーストの塗布、乾燥、露
光、現像等を行うが、これらの一連の工程の説明に先立
ち、本発明で適用する感光性ペースト法において、露光
で用いるフォトマスクには、ストライプ状透光パターン
に少なくとも1本の遮光ラインを有するフォトマスクA
と直線状のストライプ状のパターンを有するフォトマス
クBを組み合わせて用いることが好ましい。直線状と
は、有限の長さと幅を有する断続的あるいは連続的なス
リットを指す。通常は、連続的に延在する直線状のスリ
ットから頂部が平坦な隔壁等を得ることができるが、本
発明者等は、ストライプ状透光パターンに遮光ラインを
設けることで、補助隔壁頂部に、補助隔壁と平行方向に
ストライプ状の切り込みを形成できることを見出した。
Next, a photosensitive paste is applied, dried, exposed, developed, and the like. Before describing a series of these steps, in the photosensitive paste method applied in the present invention, a photomask used for exposure includes a stripe. A having at least one light-shielding line in a light-transmitting pattern
And a photomask B having a linear stripe pattern is preferably used in combination. Straight refers to an intermittent or continuous slit having a finite length and width. Usually, a partition having a flat top can be obtained from a linear slit extending continuously.However, the present inventors provide a light-shielding line in a stripe-shaped light-transmitting pattern, so that It has been found that a stripe-shaped cut can be formed in a direction parallel to the auxiliary partition.

【0046】つまり、フォトリソグラフィーにおいて露
光光はフォトマスク以降完全に鉛直方向に直進するわけ
ではなく、フォトマスクの遮光部の陰になる部分にも若
干露光光がまわり込む。従って、光硬化型の感光性ペー
ストを用い、遮光ラインの幅や露光条件を調節すると、
遮光部の直下は硬化されないが、塗布膜の深さ方向に進
んだ箇所では露光光のまわり込みにより硬化する。かく
して所望の寸法の切り込みを形成することができるので
ある。
That is, in the photolithography, the exposure light does not completely go straight in the vertical direction after the photomask, and the exposure light slightly wraps around the shaded portion of the photomask. Therefore, when using a photo-curable photosensitive paste and adjusting the width of the light-shielding line and the exposure conditions,
Immediately below the light-shielding portion is not cured, but is hardened by the sneak of the exposure light at a portion that proceeds in the depth direction of the coating film. Thus, a cut of desired dimensions can be formed.

【0047】切り込みの諸寸法(深さ、幅等)は、遮光
部の大きさ、露光光源の平行度、露光量、フォトマスク
と感光性ペーストの塗布膜の表面との距離(ギャップ
量)等を調整することで設定できる。例えば、遮光部分
の大きさを大きくすることで切り込みの最大幅を大きく
することができ、逆に遮光部分の大きさを小さくするこ
とで切り込みの最大幅を小さくすることができる。ま
た、露光光源の平行度を高くしたり、露光量を小さくす
ることで切り込みの最大深さを大きくすることができ、
また逆に露光光源の平行度を低くしたり、露光量を大き
くすることで切り込みの最大深さを小さくすることがで
きる。さらに、ギャップ量を大きくすることで切り込み
の深さを小さくすることができ、またギャップ量を小さ
くすることで切り込みの深さを小さくすることができ
る。
The various dimensions (depth, width, etc.) of the cut are the size of the light-shielding portion, the parallelism of the exposure light source, the exposure amount, the distance (gap amount) between the photomask and the surface of the photosensitive paste coating film, etc. Can be set by adjusting. For example, the maximum width of the cut can be increased by increasing the size of the light-shielding portion, and conversely, the maximum width of the cut can be reduced by decreasing the size of the light-shielding portion. Also, by increasing the parallelism of the exposure light source or reducing the amount of exposure, the maximum depth of the cut can be increased,
Conversely, the maximum depth of the cut can be reduced by lowering the parallelism of the exposure light source or increasing the amount of exposure. Further, the depth of the cut can be reduced by increasing the gap amount, and the depth of the cut can be reduced by reducing the gap amount.

【0048】以下に、隔壁と補助隔壁の高さ関係に応じ
て好ましく適用する、塗布から露光までの2種類の一連
の形成工程を示す。
Hereinafter, a series of two types of forming steps from application to exposure, which are preferably applied according to the height relationship between the partition and the auxiliary partition, will be described.

【0049】第1の形成工程は補助隔壁の高さがアドレ
ス電極と平行方向に形成される隔壁高さより低い場合に
好ましく適用される。まず乾燥・焼成による収縮分を考
慮した補助隔壁高さに相当する厚みの感光性ペーストを
塗布、乾燥し、ストライプ状透光パターンに少なくとも
1本の遮光ラインを有するフォトマスクAを、該遮光ラ
インが隔壁と隣接する隔壁の間になるように配置する。
The first forming step is preferably applied when the height of the auxiliary partition is lower than the height of the partition formed in the direction parallel to the address electrodes. First, a photosensitive paste having a thickness corresponding to the height of the auxiliary partition wall in consideration of the amount of shrinkage due to drying and baking is applied and dried, and a photomask A having at least one light-shielding line in a stripe-shaped light-transmitting pattern is formed on the light-shielding line. Is arranged between the partition and the adjacent partition.

【0050】尚、ここで用いる遮光ラインが形成された
ストライプ状透光パターンは、連続的に直線であっても
よいが、後記する隔壁を形成するための2回目の露光に
おいて、隔壁の露光量を合わせるという意味から、隔壁
形成用のストライプパターンに相当する部位を遮光し
た、破線状のものを用いてもよい。
The stripe-shaped light-transmitting pattern on which the light-shielding lines are formed may be continuous straight lines. However, in the second exposure for forming the partition described later, the light exposure of the partition From the meaning of matching, a portion corresponding to a stripe pattern for forming a partition wall, which is shielded from light, may be used as a broken line.

【0051】次いで、乾燥・焼成による収縮分を考慮し
た残りの隔壁の高さに相当する厚みとなるように、前記
補助隔壁パターンが露光された膜上に感光性ペーストを
塗布、乾燥し、直線状のストライプのパターンを有する
フォトマスクをアドレス電極と平行になるように配置し
再び露光する。
Next, a photosensitive paste is applied onto the film on which the auxiliary partition wall pattern has been exposed so as to have a thickness corresponding to the height of the remaining partition wall in consideration of the amount of shrinkage due to drying and baking, followed by drying, followed by straightening. A photomask having a stripe pattern is arranged in parallel with the address electrodes and exposed again.

【0052】第2の形成工程は、補助隔壁と隔壁の高さ
が同じ場合に好ましく適用される。まず収縮分を考慮し
た隔壁・補助隔壁の高さに相当する厚みの感光性ペース
トを塗布、乾燥し、少なくとも1本の遮光ラインを有す
るストライプと直線状のストライプが直交するパターン
を有するフォトマスクBを、直線状のストライプがアド
レス電極と直交するように配置し露光する。
The second forming step is preferably applied when the height of the auxiliary partition and that of the partition are the same. First, a photosensitive paste having a thickness corresponding to the height of the partition wall and the auxiliary partition wall in consideration of the shrinkage is applied and dried, and a photomask B having a pattern in which a stripe having at least one light-shielding line and a linear stripe are orthogonal to each other. Are exposed such that the linear stripes are orthogonal to the address electrodes.

【0053】これらの一連の形成工程において、感光性
ペーストを塗布する方法としては、スクリーン印刷法、
バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレー
ドコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗
布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶ
ことによって調整できる。
In these series of forming steps, the method of applying the photosensitive paste includes screen printing,
A bar coater, a roll coater, a die coater, a blade coater and the like can be used. The coating thickness can be adjusted by selecting the number of coatings, the screen mesh, and the viscosity of the paste.

【0054】また、塗布後の乾燥は、通風オーブン、ホ
ットプレート、IR炉などを用いることができる。
For drying after coating, a ventilation oven, a hot plate, an IR furnace or the like can be used.

【0055】露光で使用される活性光源は、例えば、可
視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線、レーザ光な
どが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、
その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用でき
る。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光
条件は、塗布厚みによって異なるが、1〜100mW/
cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて0.1〜10分間
露光を行う。
The active light source used in the exposure includes, for example, visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, laser light and the like. Of these, ultraviolet rays are most preferred,
As the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a halogen lamp, a germicidal lamp, and the like can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferred. Exposure conditions vary depending on the coating thickness, but 1 to 100 mW /
Exposure is performed for 0.1 to 10 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of cm 2 .

【0056】ここで、フォトマスクと感光性ペーストの
塗布膜表面との距離、すなわちギャップ量は50〜50
0μm、さらには70〜400μmに調整することが好
ましい。ギャップ量を50μm以上さらには70μm以
上とすることにより、感光性ペースト塗布膜とフォトマ
スクの接触を防ぎ、双方の破壊や汚染を防ぐことができ
る。また500μm以下さらには400μm以下とする
ことにより、適度にシャープなパターニングが可能とな
る。
Here, the distance between the photomask and the surface of the coating film of the photosensitive paste, that is, the gap amount is 50 to 50.
It is preferable to adjust the thickness to 0 μm, more preferably 70 to 400 μm. When the gap amount is 50 μm or more, and more preferably 70 μm or more, contact between the photosensitive paste coating film and the photomask can be prevented, and destruction and contamination of both can be prevented. By setting the thickness to 500 μm or less, or 400 μm or less, moderately sharp patterning becomes possible.

【0057】現像は、露光部分と非露光部分の現像液に
対する溶解度差を利用して、現像を行う。現像は、浸漬
法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。
The development is performed by utilizing the difference in solubility between the exposed part and the non-exposed part in the developing solution. The development can be performed by an immersion method, a spray method, a brush method, or the like.

【0058】現像液は、感光性ペースト中の溶解させた
い有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペー
スト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存
在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水
溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭
酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使
用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時に
アルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカ
リとしては、一般的なアミン化合物を用いることができ
る。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサ
イド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイ
ド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが
挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、0.01
〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重量%であ
る。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾
向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥
離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向にある。ま
た、現像時の現像温度は、20〜50℃で行うことが工
程管理上好ましい。
As the developing solution, a solution in which the organic component to be dissolved in the photosensitive paste can be dissolved is used. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive paste, development can be performed with an aqueous alkali solution. As the aqueous alkali solution, sodium hydroxide, sodium carbonate, an aqueous sodium carbonate solution, an aqueous calcium hydroxide solution, or the like can be used. However, it is preferable to use an organic alkali aqueous solution because the alkaline component can be easily removed during firing. As the organic alkali, a general amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine, diethanolamine and the like. The concentration of the aqueous alkali solution is usually 0.01
10 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble portion tends not to be removed, while if the alkali concentration is too high, the pattern portion tends to peel off or corrode the non-soluble portion. The development temperature during development is preferably from 20 to 50 ° C. from the viewpoint of process control.

【0059】次に、現像により得られた隔壁・補助隔壁
のパターンは焼成炉にて焼成される。焼成雰囲気や温度
は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、
窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉として
は、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成
炉を用いることができる。焼成温度は、400〜800
℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場
合は、450〜620℃の温度で10〜60分間保持し
て焼成を行うと良い。
Next, the pattern of the partition walls and auxiliary partition walls obtained by the development is fired in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of paste and substrate, but in air,
It is fired in an atmosphere such as nitrogen or hydrogen. As the firing furnace, a batch type firing furnace or a roller hearth type continuous firing furnace can be used. The firing temperature is 400-800
It is good to carry out at ° C. When partition walls are formed directly on a glass substrate, firing is preferably performed at a temperature of 450 to 620 ° C. for 10 to 60 minutes.

【0060】この焼成時に、隔壁と補助隔壁の幅が極端
に違う場合、具体的には補助隔壁の幅が隔壁幅より極端
に太い場合、隔壁と補助隔壁の焼成収縮挙動の違いによ
り、両者の界面で隔壁が断線したり、補助隔壁に亀裂が
生じたりする。
When the width of the partition and the auxiliary partition is extremely different during firing, specifically, when the width of the auxiliary partition is extremely larger than the width of the partition, the firing shrinkage behavior of the partition and the auxiliary partition causes a difference between the two. The partition walls are disconnected at the interface, or the auxiliary partition walls are cracked.

【0061】この問題に対し、本発明のように補助隔壁
頂部にストライプ状の切り込みを形成することにより、
補助隔壁の焼成収縮を緩和することができ、補助隔壁と
隔壁界面での隔壁断線を抑制することができる。
To solve this problem, by forming a stripe-shaped cut at the top of the auxiliary partition as in the present invention,
The firing shrinkage of the auxiliary partition can be reduced, and disconnection of the partition at the interface between the auxiliary partition and the partition can be suppressed.

【0062】次いで所定のアドレス電極と平行方向に形
成された隔壁間に、R(赤)G(緑)B(青)各色に発
光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、
有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペ
ーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じ
て焼成することにより形成することができる。
Next, phosphor layers that emit R (red), G (green), and B (blue) colors are formed between the partition walls formed in a direction parallel to the predetermined address electrodes. The phosphor layer includes phosphor powder,
It can be formed by applying a phosphor paste containing an organic binder and an organic solvent as main components between predetermined partition walls, drying, and firing as necessary.

【0063】蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ
る方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印
刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体
ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、
蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を
有する有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の
蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができる
が、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサ
ー法が本発明では好ましく適用される。
As a method of applying the phosphor paste between the predetermined partition walls, a screen printing method in which a pattern is printed using a screen printing plate, a dispenser method in which the phosphor paste is ejected from the tip of an ejection nozzle, or a dispenser method,
The phosphor paste of each color can be applied to a predetermined place by the photosensitive paste method using the above-described photosensitive organic component as an organic binder of the phosphor paste. However, for cost reasons, a screen printing method and a dispenser are used. The method is preferably applied in the present invention.

【0064】R蛍光体層の厚みをTr、G蛍光体層の厚
みをTg、および、B蛍光体層の厚みをTbとしたと
き、好ましくは、 10μm≦Tr≦Tb≦50μm 10μm≦Tg≦Tb≦50μm なる関係を有することにより、より本発明の効果を発揮
できる。つまり、発光輝度の低い青色について、厚みを
緑色、赤色よりも厚くすることにより、より色バランス
に優れた(色温度の高い)プラズマディスプレイを作製
できる。蛍光体層の厚みとしては、10μm以上とする
ことで十分な輝度を得ることができる。また、50μm
以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得るこ
とができる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔
壁の中間点での形成厚みとして測定する。つまり、放電
空間(セル内)の底部に形成された蛍光体層の厚みとし
て測定する。
When the thickness of the R phosphor layer is Tr, the thickness of the G phosphor layer is Tg, and the thickness of the B phosphor layer is Tb, preferably 10 μm ≦ Tr ≦ Tb ≦ 50 μm 10 μm ≦ Tg ≦ Tb By having a relationship of ≦ 50 μm, the effects of the present invention can be more exhibited. In other words, by making the thickness of blue light having a low emission luminance larger than that of green or red, a plasma display having more excellent color balance (higher color temperature) can be manufactured. Sufficient luminance can be obtained by setting the thickness of the phosphor layer to 10 μm or more. Also, 50 μm
By setting it as follows, it is possible to widen the discharge space and obtain high luminance. In this case, the thickness of the phosphor layer is measured as a thickness formed at an intermediate point between adjacent partition walls. That is, it is measured as the thickness of the phosphor layer formed at the bottom of the discharge space (in the cell).

【0065】本発明では補助隔壁状にストライプ状の切
り込みが形成されているため、補助隔壁頂部への蛍光体
ペーストの塗着性が良好である。
In the present invention, the stripe-shaped cuts are formed in the auxiliary partition walls, so that the phosphor paste can be easily applied to the tops of the auxiliary partition walls.

【0066】補助隔壁頂部への蛍光体ペーストの塗着量
は、隔壁および補助隔壁高さにより異なるが、隔壁高さ
Aと補助隔壁B、補助隔壁頂部の蛍光体焼成後厚みCの
関係が A−B−10≧C≧A−B−50 となるように調整することが、PDPとした場合の輝度
確保、補助隔壁としての発光効率向上の点から好まし
い。
The amount of the phosphor paste applied to the top of the auxiliary partition depends on the height of the partition and the auxiliary partition, but the relationship between the partition height A, the auxiliary partition B, and the thickness C of the top of the auxiliary partition after firing of the phosphor is A. It is preferable to adjust so as to satisfy −B−10 ≧ C ≧ A−B−50 from the viewpoints of securing the luminance in the case of a PDP and improving the luminous efficiency as an auxiliary partition.

【0067】上記のように塗着させた蛍光体層を必要に
応じて、400〜550℃で焼成する事により、本発明
のプラズマディスプレイ用部材を作製することができ
る。
The member for a plasma display of the present invention can be manufactured by firing the phosphor layer coated as described above at 400 to 550 ° C. as necessary.

【0068】このプラズマディスプレイ用部材を背面板
として用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形
成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから
構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラ
ズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所
定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜
(MgO)を形成した部材である。背面板上に形成され
たRGB各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルタ
ー層を形成しても良い。また、コントラストを向上する
ために、ブラックストライプを形成しても良い。
Using this plasma display member as a back plate, after sealing with the front plate, a discharge gas composed of helium, neon, xenon, or the like is filled in a space formed between the front and rear substrates, and A plasma display can be manufactured by installing a drive circuit. The front plate is a member in which a transparent electrode, a bus electrode, a dielectric, and a protective film (MgO) are formed in a predetermined pattern on a substrate. A color filter layer may be formed at a portion corresponding to the RGB phosphor layers formed on the back plate. Further, a black stripe may be formed to improve the contrast.

【0069】[0069]

【実施例】以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に
説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。な
お、実施例、比較例中の濃度(%)は重量%である。 (実施例1)まず前面板を作製した。
The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to this. The concentration (%) in the examples and comparative examples is% by weight. (Example 1) First, a front plate was manufactured.

【0070】旭硝子社製ガラス基板”PD200”上
に、ITOを用いて、ピッチ360μm、線幅150μ
mのスキャン電極を形成した。また、その基板上に感光
性銀ペーストを塗布した後に、フォトマスクを介したマ
スク露光、0.3%炭酸ナトリウム水溶液を用いた現
像、580℃15分間の焼成工程を経て、線幅50μ
m、厚み3μmのバス電極を形成した。次に、酸化鉛を
75重量%含有する低融点ガラスの粉末を70%、エチ
ルセルロース20%、テルピネオール10%を混練して
得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示
部分のバス電極が覆われるように50μmの厚みで塗布
した後に、570℃15分間の焼成を行って誘電体を形
成した。誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着によ
り保護膜として、厚み0.5μmの酸化マグネシウム層
を形成して前面板を作製した。
On a glass substrate “PD200” manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., a pitch of 360 μm and a line width of 150 μm were formed using ITO.
m scan electrodes were formed. Further, after applying a photosensitive silver paste on the substrate, a mask exposure through a photomask, a development using a 0.3% sodium carbonate aqueous solution, a baking process at 580 ° C. for 15 minutes, and a line width of 50 μm were performed.
A bus electrode having a thickness of m and a thickness of 3 μm was formed. Next, a glass paste obtained by kneading 70% of powder of low melting point glass containing 75% by weight of lead oxide, 20% of ethylcellulose and 10% of terpineol is screen-printed so as to cover the bus electrode at the display portion. Was applied at a thickness of 50 μm, and baked at 570 ° C. for 15 minutes to form a dielectric. A 0.5 μm-thick magnesium oxide layer was formed as a protective film on the substrate on which the dielectric was formed by electron beam evaporation to produce a front plate.

【0071】次に、背面板を作製した。ガラス基板PD
200上に感光性銀ペースト用いてアドレス電極を作成
した。感光性銀ペーストを塗布、乾燥、露光、現像、焼
成工程を経て、線幅50μm、厚み3μm、ピッチ36
0μmのアドレス電極を形成した。次に、酸化ビスマス
を75重量%含有する低融点ガラスの粉末を60%、平
均粒子径0.3μmの酸化チタン粉末を10重量%、エ
チルセルロース15%、テルピネオール15%を混練し
て得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表
示部分のバス電極が覆われるように20μmの厚みで塗
布した後に、570℃15分間の焼成を行って誘電体層
を形成した。
Next, a back plate was manufactured. Glass substrate PD
An address electrode was formed on 200 using a photosensitive silver paste. After applying a photosensitive silver paste, drying, exposing, developing, and baking steps, the line width is 50 μm, the thickness is 3 μm, and the pitch is 36.
An address electrode of 0 μm was formed. Next, a glass obtained by kneading 60% of a low melting point glass powder containing 75% by weight of bismuth oxide, 10% by weight of a titanium oxide powder having an average particle diameter of 0.3 μm, 15% of ethyl cellulose, and 15% of terpineol. The paste was applied by screen printing to a thickness of 20 μm so as to cover the bus electrode at the display portion, and then baked at 570 ° C. for 15 minutes to form a dielectric layer.

【0072】誘電体層上に、1層目の感光性ペーストを
塗布した。感光性ペーストはガラス粉末と感光性成分を
含む有機成分から構成され、ガラス粉末としては、酸化
リチウム10重量%、酸化珪素25重量%、酸化硼素3
0重量%、酸化亜鉛15重量%、酸化アルミニウム5重
量%、酸化カルシウム15重量%からなる組成のガラス
を粉砕した平均粒子径2μmのガラス粉末を用いた。感
光性成分を含む有機成分としては、カルボキシル基を含
有するアクリルポリマー30重量%、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート30重量%、光重合開始剤であ
る“イルガキュア369”(チバガイギー社製)10重
量%、γ−ブチロラクトン30重量%からなるものを用
いた。
The first layer of photosensitive paste was applied on the dielectric layer. The photosensitive paste is composed of a glass powder and an organic component including a photosensitive component. The glass powder includes lithium oxide 10% by weight, silicon oxide 25% by weight, boron oxide 3
Glass powder having an average particle diameter of 2 μm was used by pulverizing glass having a composition of 0% by weight, 15% by weight of zinc oxide, 5% by weight of aluminum oxide, and 15% by weight of calcium oxide. As the organic components including the photosensitive component, 30% by weight of an acrylic polymer having a carboxyl group, 30% by weight of trimethylolpropane triacrylate, 10% by weight of a photopolymerization initiator “Irgacure 369” (manufactured by Ciba Geigy), γ -Butyrolactone consisting of 30% by weight was used.

【0073】感光性ペーストは、これらのガラス粉末と
感光性成分を含む有機成分をそれぞれ70:30の重量
比率で混合した後に、ロールミルで混練して作製した。
次にこの感光性ペーストをダイコーターを用いて乾燥後
厚み170μmになるように塗布した。乾燥は、クリー
ンオーブン(ヤマト科学社製)で行った。乾燥後、ピッ
チ1.08mm、透光部のトータル線幅200μmであ
り、該透光部内に幅30μmの遮光ラインが3本等間隔
で配列された、破線状(パターン長さ300μm、遮光
部60μmの繰り返し)ストライプパターンを有するフ
ォトマスクを用いて、アドレス電極と垂直方向に露光し
た。なおこのときギャップ量を150μm、露光量を5
00mJ/cm2とした。露光後、上記感光性ペースト
をさらに前記露光膜上に塗布し、合計厚みが200μm
の塗布膜を得た。
The photosensitive paste was prepared by mixing the glass powder and the organic component including the photosensitive component at a weight ratio of 70:30, and kneading the mixture with a roll mill.
Next, this photosensitive paste was applied to a thickness of 170 μm after drying using a die coater. Drying was performed in a clean oven (manufactured by Yamato Kagaku). After drying, the pitch is 1.08 mm, the total line width of the light-transmitting portion is 200 μm, and three light-shielding lines having a width of 30 μm are arranged at equal intervals in the light-transmitting portion. The exposure was performed in the direction perpendicular to the address electrodes using a photomask having a stripe pattern. At this time, the gap amount was set to 150 μm, and the exposure amount was set to 5
00 mJ / cm 2 . After exposure, the photosensitive paste was further applied on the exposed film, and the total thickness was 200 μm.
Was obtained.

【0074】次に、ピッチ360μm、線幅60μmの
ストライプパターンを有するフォトマスクを用いて、ア
ドレス電極と平行方向に露光した。なお、このときのギ
ャップ量は150μm、露光量は600mJ/cm2
した。露光後、0.5重量%のエタノールアミン水溶液
中で現像し、さらに、560℃で15分間焼成すること
により、表1に示す構造の隔壁および補助隔壁を形成し
た。
Next, using a photomask having a stripe pattern with a pitch of 360 μm and a line width of 60 μm, exposure was performed in a direction parallel to the address electrodes. At this time, the gap amount was 150 μm and the exposure amount was 600 mJ / cm 2 . After exposure, development was carried out in a 0.5% by weight aqueous solution of ethanolamine, followed by baking at 560 ° C. for 15 minutes to form partition walls and auxiliary partition walls having the structures shown in Table 1.

【0075】次に、隣り合う隔壁間に蛍光体を塗布し
た。蛍光体の塗布は、256カ所の穴(口径:130μ
m)が形成されたノズル先端から蛍光体ペーストを吐出
するディスペンサー法により形成した。蛍光体は隔壁側
面に焼成後厚み25μm、誘電体上に焼成後厚み25μ
mになるように塗布した後に、500℃で10分間の焼
成を行った。さらに、補助隔壁頂部に形成された蛍光体
層の厚みをレーザー変異計により測定した。かくしてP
DP用部材として、背面板を作製した。このとき隣り合
う蛍光体の混入、すなわち混色はなかった。
Next, a phosphor was applied between adjacent partition walls. The phosphor was applied in 256 holes (130 μm in diameter).
m) was formed by a dispenser method in which a phosphor paste was discharged from the tip of the nozzle formed. The phosphor has a thickness of 25 μm after firing on the side wall of the partition and a thickness of 25 μm after firing on the dielectric.
m, and baked at 500 ° C. for 10 minutes. Further, the thickness of the phosphor layer formed on the top of the auxiliary partition was measured by a laser mutation meter. Thus P
A back plate was produced as a DP member. At this time, there was no mixing of adjacent phosphors, that is, no color mixing.

【0076】さらに、作製した前面基板と背面基板を封
着ガラスを用いて封着して、Xe5%含有のNeガスを
内部ガス圧66500Paになるように封入した。さら
に、駆動回路を実装してPDPを作製した。PDPのス
キャン電極に電圧を印加して発光させた。その輝度計を
用いて輝度を測定したところ、250cd/m2であ
り、高い輝度の表示特性を得ることができた。また、混
色によるコントラストの低下や色スジや余点の発生も無
かった。
Further, the prepared front substrate and rear substrate were sealed with a sealing glass, and a Ne gas containing 5% of Xe was sealed so as to have an internal gas pressure of 66500 Pa. Further, a driving circuit was mounted to produce a PDP. A voltage was applied to the scan electrode of the PDP to emit light. When the luminance was measured using the luminance meter, the luminance was 250 cd / m 2 , and high luminance display characteristics could be obtained. Also, there was no reduction in contrast due to color mixing, and no generation of color streaks or extra points.

【0077】(実施例2〜4)実施例1において、1回
目の露光に使用したフォトマスクの、透光部内に配列さ
れた遮光ラインの幅を変更(40、50、60μm)に
変更した他は同一手法により表1に示す構造の隔壁およ
び補助隔壁を得た。さらに実施例1と同様の手法で蛍光
体層を形成し、補助隔壁頂部に形成された蛍光体層の厚
みをレーザー変位計により測定し、結果を表1に記載し
た。また、PDPを作製し、輝度を測定し結果を表1に
記載した。かくして得られたPDPは表1に示す通り高
い輝度を有するものであった。
(Examples 2 to 4) In Example 1, the width of the light-shielding lines arranged in the translucent portion of the photomask used for the first exposure was changed to (40, 50, 60 μm). A partition wall and an auxiliary partition wall having the structure shown in Table 1 were obtained by the same method. Further, a phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1, and the thickness of the phosphor layer formed on the top of the auxiliary partition was measured with a laser displacement meter. The results are shown in Table 1. In addition, a PDP was manufactured, the luminance was measured, and the results are shown in Table 1. The PDP thus obtained had high brightness as shown in Table 1.

【0078】(実施例5)実施例1において、1回目の
露光に使用したフォトマスクの線幅を80μm、遮光ラ
イン本数を2本に変更し、露光量を250mJ/cm2
に変更した他は同一手法により表1および図3に示す隔
壁および補助隔壁を得た。さらに実施例1と同様の手法
で蛍光体層を形成し、補助隔壁頂部に形成された蛍光体
層の厚みをレーザー変位計により測定し、結果を表1に
記載した。また、PDPを作製し、輝度を測定し、その
結果を表1に記載した。かくして得られたPDPは表1
に示す通り高い輝度を有するものであった。
Example 5 In Example 1, the line width of the photomask used for the first exposure was changed to 80 μm, the number of light-shielding lines was changed to 2, and the exposure amount was set to 250 mJ / cm 2.
The partition and auxiliary partition shown in Table 1 and FIG. Further, a phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1, and the thickness of the phosphor layer formed on the top of the auxiliary partition was measured with a laser displacement meter. The results are shown in Table 1. In addition, a PDP was manufactured, the luminance was measured, and the results are shown in Table 1. Table 1 shows the PDP thus obtained.
As shown in FIG.

【0079】(比較例1)実施例1において、1回目の
露光に用いたフォトマスクを、ピッチ1.08mm、線
幅300μmのストライプ状パターンを有するフォトマ
スクを用いた他は同一手法により隔壁および補助隔壁を
形成した。得られた隔壁および補助隔壁の構造を表1に
示す。また、実施例1同様に蛍光体層を形成し、焼成後
の補助隔壁頂部の蛍光体層厚みをレーザー変異計で測定
し、結果を表1に記載した。また、実施例1同様PDP
を作成し、発光させ輝度を測定したところ180cd/
2と実施例1と比較して低いものであった。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 In Example 1, the photomask used for the first exposure was a photomask having a stripe pattern with a pitch of 1.08 mm and a line width of 300 μm. An auxiliary partition was formed. Table 1 shows the structures of the obtained partition walls and auxiliary partition walls. Further, a phosphor layer was formed in the same manner as in Example 1, and the thickness of the phosphor layer at the top of the auxiliary partition wall after firing was measured with a laser mutameter. The results are shown in Table 1. Also, as in the first embodiment, the PDP
Was formed and emitted light to measure the luminance.
m 2 was lower than that of Example 1.

【0080】[0080]

【表1】 [Table 1]

【0081】[0081]

【発明の効果】本発明によれば、補助隔壁頂部への蛍光
体ペーストの塗着性が良好で、隔壁と補助隔壁の幅が違
う構造、具体的には補助隔壁が隔壁幅より太い場合であ
っても、焼成後の剥がれ、断線、形状変化が生じないプ
ラズマディスプレイ用部材の製造方法およびプラズマデ
ィスプレイ部材を提供することができる。
According to the present invention, the phosphor paste can be easily applied to the top of the auxiliary partition wall, and the partition wall and the auxiliary partition wall have different widths, specifically, when the auxiliary partition wall is wider than the partition wall width. Even if it does, it is possible to provide a method for manufacturing a plasma display member and a plasma display member which do not cause peeling, disconnection, or shape change after firing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のプラズマディスプレイ部材における隔
壁および補助隔壁の一例を示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a partition and an auxiliary partition in a plasma display member of the present invention.

【図2】本発明のプラズマディスプレイ部材における補
助隔壁の他の一例の概略断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of another example of the auxiliary partition in the plasma display member of the present invention.

【図3】本発明の実施例5で得られる補助隔壁の模式断
面図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view of an auxiliary partition obtained in Example 5 of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1A、1B、1C 隔壁 2A、2B、2C 補助隔壁 3 誘電体層 4 アドレス電極 5 ガラス基板 6 切り込み 1A, 1B, 1C Partition 2A, 2B, 2C Auxiliary partition 3 Dielectric layer 4 Address electrode 5 Glass substrate 6 Notch

フロントページの続き Fターム(参考) 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF02 GF12 GF19 JA15 JA32 MA03 MA23 5C094 AA05 AA10 AA36 AA43 BA31 CA19 DA13 EA04 EB02 EC10 FA01 FA02 FB01 FB02 FB15 GB10 JA01 Continued on the front page F term (reference) 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF02 GF12 GF19 JA15 JA32 MA03 MA23 5C094 AA05 AA10 AA36 AA43 BA31 CA19 DA13 EA04 EB02 EC10 FA01 FA02 FB01 FB02 FB15 GB10 JA01

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上にアドレス電極と隔壁を形成したプ
ラズマディスプレイ用部材であって、隔壁と垂直方向に
補助隔壁を形成し、さらに補助隔壁頂部に、補助隔壁と
平行方向にストライプ状の切り込みを形成したことを特
徴とするプラズマディスプレイ用部材。
1. A plasma display member comprising an address electrode and a partition formed on a substrate, wherein an auxiliary partition is formed in a direction perpendicular to the partition, and a stripe-shaped cut is formed at the top of the auxiliary partition in a direction parallel to the auxiliary partition. A member for a plasma display, comprising:
【請求項2】補助隔壁の頂部のストライプ状の切り込み
の深さが、補助隔壁高さの1/10以上であることを特
徴とする請求項1記載のプラズマディスプレイ用部材。
2. The plasma display member according to claim 1, wherein the depth of the stripe-shaped cut at the top of the auxiliary partition is at least 1/10 of the height of the auxiliary partition.
【請求項3】補助隔壁の高さが、隔壁の高さの、1/1
0〜1/1であることを特徴とする請求項1または2記
載のプラズマディスプレイ用部材。
3. The height of the auxiliary partition is 1/1 of the height of the partition.
3. The member for a plasma display according to claim 1, wherein the ratio is 0 to 1/1.
【請求項4】補助隔壁頂部のストライプ状の切り込みの
断面形状が、深さ方向に対しその幅が減衰する形状であ
ることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載のプラ
ズマディスプレイ用部材。
4. The member for a plasma display according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of the stripe-shaped cut at the top of the auxiliary partition wall has a shape whose width is attenuated in a depth direction. .
【請求項5】補助隔壁の頂部のストライプ状の切り込み
の最大幅が、補助隔壁頂部幅の1/50〜1/2である
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレ
イ用部材。
5. The member for a plasma display according to claim 4, wherein the maximum width of the stripe-shaped cut at the top of the auxiliary partition is 1/50 to 1/2 of the width of the top of the auxiliary partition.
【請求項6】補助隔壁底部幅が補助隔壁頂部幅の1.0
5〜2.0倍であることを特徴とする請求項1〜5のい
ずれかに記載のプラズマディスプレイ用部材。
6. The auxiliary partition wall bottom width is 1.0 width of the auxiliary partition top width.
The member for a plasma display according to any one of claims 1 to 5, wherein the ratio is 5 to 2.0 times.
【請求項7】基板上に感光性ペーストを塗布し、フォト
マスクを介して露光する工程を含むプラズマディスプレ
イ用部材の製造方法であって、フォトマスクが、ストラ
イプ状透光パターンに少なくとも1本の遮光ラインを有
するフォトマスクAと直線状のストライプ状パターンを
有するフォトマスクBを組み合わせることにより請求項
1記載のプラズマディスプレイ部材を製造することを特
徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
7. A method for manufacturing a member for a plasma display, comprising a step of applying a photosensitive paste on a substrate and exposing through a photomask, wherein the photomask has at least one striped light-transmitting pattern. A method for manufacturing a member for a plasma display, comprising: manufacturing a plasma display member according to claim 1 by combining a photomask A having a light-shielding line and a photomask B having a linear stripe pattern.
【請求項8】基板上に、補助隔壁を形成するのに必要な
量だけ塗布、乾燥した感光性隔壁ペースト塗布膜をフォ
トマスクAを介してアドレス電極と垂直方向に露光し、
次いでその上に隔壁を形成するのに必要な量だけ塗布・
乾燥した感光性ペースト塗布膜をフォトマスクBを介し
てアドレス電極と平行方向に露光し、一括現像すること
を特徴とする請求項7記載のプラズマディスプレイ用部
材の製造方法。
8. A photosensitive partition wall paste coating film applied and dried in an amount necessary to form an auxiliary partition wall on a substrate is exposed through a photomask A in a direction perpendicular to an address electrode.
Next, apply only the amount necessary to form partitions on it.
8. The method for manufacturing a member for a plasma display according to claim 7, wherein the dried photosensitive paste coating film is exposed through a photomask B in a direction parallel to an address electrode and is collectively developed.
【請求項9】請求項1〜5のいずれか記載のプラズマデ
ィスプレイ用部材を背面板として用いたことを特徴とす
るプラズマディスプレイ。
9. A plasma display using the plasma display member according to claim 1 as a back plate.
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