JP2001185484A - 光学システムにおける回転非対称画像の欠陥を補正する光学システムおよび方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スロット状の画像フィールドまたは回転非対
称な照明を持つマイクロリソグラフィ投影プリンティン
グ装置を改善する。 【解決手段】 システムは、光源（３０）と少なくとも
１つの光学部材、特にレンズまたはミラーを含む。光源
（３０）の放射によって作用される少なくとも１つの表
面の領域で、光学部材は回転対称軸（５）に対して実質
的に対称である。光学部材またはそのハウジング（６）
は、少なくとも１つの軸受（８，９，１０）によってフ
レーム（７）に回転可能に連結される。アクチュエータ
（１８）は、光学部材（２５）またはそのハウジング
（６）を回転対称軸（５）に対して回転させる。制御装
置が、光学部材が照射にさらされている間、少なくとも
一時的に光学部材を回転するためにアクチュエータ（１
８）を起動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学システムに関
し、詳細には、スロット状の画像フィールドまたは回転
非対称な照明を持ち、更に、 ａ）光源を持ち、また、 ｂ）特に、レンズまたはミラーである少なくとも１つの
光学部材を持ち、それらは、 ｂａ）光源からの放射によって作用される少なくとも１
つの表面を含み、且つ、 ｂｂ）その基本的な形状が、放射に作用される少なくと
も１つの表面の少なくともその領域において、回転対称
軸線に対して実質的に対称であるようなマイクロリソグ
ラフィ投影プリンティング装置に特に関する。 本発明はさらに、光ビームが通過するそのような光学シ
ステムにおける回転非対称画像の欠陥を補正する方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】そのような光学システムの画像品質は、
多くの場合、回転非対称画像の欠陥のために損なわれ
る。そのような画像欠陥は、例えば光学システムの少な
くとも１つの光学部材の回転非対称な加熱の結果とし
て、または、例えばコンパクションなど、光学部材の相
当する回転非対称な膨張、及び／又は、屈折率分布をも
たらす別の効果による結果としても起こる。そのような
回転非対称な加熱は、照明が起因する可能性もあるが、
又は、例えば光学部材がその周辺で回転非対称に熱的連
結する場合、または光学部材がある別の回転非対称な熱
的影響を受ける場合など、別の原因も考えられる。回転
非対称画像の欠陥の他の原因は、例えば材料のばらつ
き、または光学部材の照らされた表面の形状変化も考え
られる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、画像
品質を改善するために、光学システムの少なくとも１つ
の光学部材の回転非対称画像の欠陥を補正すること、及
び／又は、対称にすることである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的は本発明により
下記のように達成される。すなわち、 ｃ）光学部材またはそのハウジングを、少なくとも１つ
の軸受を用いてフレームに回転可能に連結し、 ｄ）光学部材またはそのハウジングを、回転対称軸線に
関して回転させるアクチュエータを設け、更に ｅ）アクチュエータは、光学部材が放射にさらされてい
る間、光学部材を回転させるためにアクチュエータを少
なくとも一時的に起動させる制御装置と協働させる。

【０００５】回転非対称画像の欠陥が光または熱によっ
て生じる場合、特にその形成は、本発明の装置による光
学部材の回転によって防ぐか、少なくとも減らすことが
できる。回転させる場合、照射によって起こる画像欠陥
形成の時間に対して、短い時間内に回転させる必要があ
る。回転非対称な欠陥が光または熱によって起こらない
場合でも、回転が照射時間と比較して迅速に行われる本
発明の装置によって補正できる。このことは全体とし
て、少なくとも実質的に回転対称な画像特性をもたら
す。画像特性を前記の方法によって対称にすることによ
り、光学システムにそれ以上の補正の必要なく、また
は、追加の回転対称な光学補正部材を使って比較的簡単
な補正をするか、その何れかで適度に良好な画像品質を
得ることが可能となる。

【０００６】アクチュエータは、フレームに固定された
固定子と、光学部材に回転不能に連結された回転子を持
つ電気駆動装置によって形成することができ、回転子と
フレームに回転不能に連結された固定子との間に空隙を
残している。そのような電気駆動装置は、振動を生じる
ことなく光学部材を正確に回転させることができる。光
学部材と一緒に回転する電気機器は電線によって電源に
接続される。そのような電源は、光学部材が常に一方向
に回転しない場合のみ可能であるが、安価である。代わ
りに、光学部材と一緒に回転する電気機器は、誘導結合
装置によって電源に接続できる。そのような電源はま
た、常に一方向に回転し、且つ、そのような状況で同じ
ように使用できる滑り接触と違って摩耗しないような光
学部材と共に使用することもできる。振動が滑り接触を
介して光学部材に伝達され、その画像品質を低下させる
可能性も該当しない。

【０００７】少なくとも１つの軸受は磁気軸受である。
そのような軸受は、非接触支持のために使われ、回転中
の振動を同様に避けられる。代わりに、又は、追加とし
て、少なくとも１つの静圧軸受または空気軸受が準備さ
れる。そのような軸受を使用すると、同様に、回転中に
振動がほとんど伝達されないか、または、全く伝達され
ない。電気駆動装置の代わりに、アクチュエータは、歯
車を持つ機械的作動の駆動装置で形成することができ
る。そのようなアクチュエータは、安価で製造許容誤差
と無関係であり、同様に、光学部材を正確に回転させる
ことが可能である。歯車としてウォーム歯車を使用する
と、比較的高速の駆動速度によって、光学部材の遅い回
転を達成できる。これは光学部材を駆動による振動から
隔離するために有効である。

【０００８】代わりに、歯車をかさ歯車にすることがで
きる。そのような歯車を使用すると、光学部材が回転し
ている間、高速の回転速度を実現できるため、たとえ照
射時間が短い場合でも、本発明によって画像欠陥を対称
にすることができる。最良の構造形体において、共通の
ハウジングに他の光学部材と共に保持される少なくとも
１つの光学部材は、ハウジングに対して回転可能であ
る。回転非対称画像の欠陥を最も顕著に示す光学部材を
回転可能として選択できる。ハウジング内のその他の光
学部材は、回転不能に設計され、そのため前記光学部材
を含む光学システムの安定性は増す。特にハウジング
は、回転不能で設計されるため、回転するハウジングで
あったら起こるかもしれない電力供給ラインの接続問題
は避けられる。１つの光学部材の回転を通して他の非回
転光学部材の画像欠陥が補正できるということから追加
の利点が生じる。代わりに、回転可能にフレームに連結
された、複数の光学部材を包含するハウジングが設けら
れる。そのような場合、ハウジング内部の全ての光学部
材は、ハウジングと一緒に回転する。そのような光学部
材で構成される光学システムは、従って本質的に非常に
安定である。

【０００９】本発明の更なる目的は、回転非対称画像の
欠陥を特に効果的な方法で対称にするために、最初に説
明したような方法を開発することである。前記目的は、
次の処理段階により、本発明による方法の変形として達
成される。 ａ）光学部材を特定回転角まで回転させる。 ｂ）光学部材を逆方向の特定回転角まで逆回転させる。 ほとんどの場合、回転非対称画像の欠陥を対称にするた
めに光学部材を回転の一方向に連続回転させる必要はな
い。光学部材を単に特定回転角まで正逆回転させる場
合、光学システムは機械的に簡単な設計で済む。さら
に、光学部材と一緒に回転している電気機器への電力供
給は、基本的に垂下ケーブルを使用することができるの
で簡略化できる。

【００１０】制御装置は、２つの回転方向の逆転位置を
回転角範囲内で同一の相対頻度によって作動することが
できる。これは、光学部材が回転方向をいつも同じ逆転
位置で変え、そのため光学システムに片寄った負荷をも
たらすことを防ぐ。光学部材は、光ビームの放射力分布
の対称性に従った開始位置に対して、全回転の数分の１
程度回転される。対称の程度が高いほど画像欠陥を対称
にするのに必要な回転角は小さくなる。そして、それに
応じて光学システムの機械的設計と電源とは、より簡単
になる。

【００１１】本発明に従って、回転非対称画像の欠陥を
補正する別の方法は、次の処理段階を含む。すなわち、 ａ）光源の放射によって生じる画像欠陥形成の時間に比
して、特定回転角で光学部材を高速回転する、 ｂ）回転時間と比べて長く、光源の放射によって生じる
画像欠陥形成の時間と比べて短い休止時間の間、光学部
材の位置を維持する、及び ｃ）光源の放射によって生じる画像欠陥形成の時間に比
して、逆方向の特定回転角で光学部材を高速逆回転す
る。

【００１２】照射により生じる画像欠陥を補正するため
のそのような回転順序は、適切な画像欠陥の対称性を仮
定すれば、光学システムの実質的に回転対称画像特性を
作り出すのに必要な回転角をさらに小さくすることを可
能にする。光学部材を休止時間に比べて速い速度で回転
させて達成される効果は、回転中のみ照射される光学部
材の領域の照射によって起こる光学部材の画像変化が、
休止時間中に照射される光学部材の領域に生じる画像変
化に比べて全く重要ではなくなるということである。休
止時間および回転角の、照射によって生じる画像欠陥形
成の時間定数および画像欠陥の対称性に対する適切な適
応が、全体として実質的に回転対称画像特性がもたらさ
れるような方法で与えられれば、回転の間の極大位置に
おける休止時間中に生じる画像欠陥は、互いに打ち消し
合う。

【００１３】光学部材は、光ビームの放射力分布の対称
性に従った開始位置に対して、全回転の数分の１まで回
転される。また代替方法により、照射によって生じる画
像欠陥の多重オーダの対称性が与えられる場合、既に前
述した絶対回転角をさらに小さくできる。本発明による
回転非対称画像の欠陥を補正する更に別の方法におい
て、光学部材は、予め設定された回転速度で回転する。
そのような回転は、簡単な駆動制御装置を使用して可能
である。光ビームの作用を受けている間、光学部材は、
何回も回転することが可能である。比較的短い時間によ
り光線で形成されたか、または光線によらない方法で形
成された画像欠陥は、前記手段によって同様に対称にす
ることができる。複数の相互に独立した回転非対称画像
の欠陥でさえも、前記手段によって確実に対称にされ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態は、図面を参照
して以下に詳細に説明される。図１は、マイクロリソグ
ラフィ投影プリンティング装置の断面を示す。投影光ビ
ーム１は、一般に、例えばフッ化アルゴン・エキシマレ
ーザなどの放射波長が短いレーザによる光源３０によっ
て生成され、焦点用光学器械３１によって焦点合わせさ
れる。投影光ビーム１のビーム断面は、以下に更に説明
されるが、投影プリンティング装置のスロット状画像領
域を決めるために、焦点光学器械３１の下方に配置され
るマスク３２によって範囲が定められる。

【００１５】投影光ビーム１から照射され、マスク３２
の下方に配置され、そして、投影される構造情報を持つ
レチクル２がウエーハ３上に映される。マスク３２、レ
チクル２、及び、ウエーハ３は、図１において略図での
み示されている。投影レンズシステム４は、レチクル２
をウエーハ３上に映すための光学ユニットとして使用さ
れる。それは、投影レンズシステム４の光軸５に関して
回転対称的に配置され、レンズシステムハウジング６の
内部に取り付けられる複数のレンズ（図２のレンズ２５
を参照）を含む。前記レンズは、例えば石英ガラスやフ
ッ化カルシウムなど、紫外線に対して高度に透明な材料
から作られる。レンズシステムハウジング６は、光軸５
に関して回転可能にレンズシステム・フレーム７に支持
される。レンズシステムハウジング６およびレンズシス
テム・フレーム７は両方とも、それらの機械部品に関す
る限り、光軸５に関して回転対称的に配置されている。
レンズシステム・フレーム７は、その結果、図１に断面
的にのみ示されている支持フレーム１７によって支持さ
れる。

【００１６】上部ラジアル軸受８、下部ラジアル軸受９
及びスラスト軸受１０の３つの軸受は、レンズシステム
ハウジング６を回転可能的に支持するためのものであ
る。この３つの軸受ユニットは、様に光軸５に関して回
転対称的に配置されている。上部ラジアル軸受８は、レ
ンズシステムハウジング６に、レンズシステムハウジン
グ６内に入射する投影光ビーム１の入口平面近傍のレベ
ルに配置される。上部ラジアル軸受８は、レンズシステ
ムハウジング６の周りで回転不能に閉じる上部ハウジン
グリング１１によって、レンズシステムハウジング６に
接続される。上部ラジアル軸受８は、その半径方向の外
部領域をレンズシステム・フレーム７の受部１２に置か
れている。下部ラジアル軸受９は、レンズシステムハウ
ジング６に関して、レンズシステムハウジング６からの
投影光ビーム１の出口平面近傍のレベルに配置される。
上部ラジアル軸受８と同様に、下部ラジアル軸受９は、
レンズシステムハウジング６の周りで回転不能閉じる下
部ハウジングリング１３によってレンズシステムハウジ
ング６に接続される。下部ラジアル軸受９は、その半径
方向の外部領域をレンズシステム・フレーム７の受部１
４に置かれている。

【００１７】下部ハウジングリング１３は、レンズシス
テム・フレーム７の円周状肩部１５に対してスラスト軸
受１０によって軸線方向に支持される。円周状肩部１５
は、下部ハウジングリング１３の領域におけるレンズシ
ステム・フレーム７の内部側面の環状周囲リセス３２の
一部である。円周状肩部１５に形成されるのは受部１６
であり、そこにスラスト軸受１０が部分的に収容されて
いる。ほとんどの投影プリンティングの適用例にとっ
て、軸受ユニット８、９、１０としてボールベアリン
グ、または転がり接触軸受の手段によるレンズシステム
ハウジング６の回転による達成可能な位置決め精度は不
適当である。その理由のために軸受ユニット８、９、１
０として磁気軸受が使用される。それは非接触で作動
し、部品は、磁力によって互いに反発しながら支持され
る。代わりに、静圧軸受または空気軸受も使用すること
ができる。

【００１８】図１に図式的に示されている電気駆動装置
１８は、レンズシステムハウジング６を光軸５に対して
回転させるために使用される。前記目的のために、レン
ズシステム・フレーム７の受部１９は固定子リング２０
を収容し、固定子リングの内側に永久磁石を装着した回
転子リング２１が回転可能に配置されている。回転子リ
ングは、レンズシステムハウジング６に回転不能に連結
されている。固定子リング２０は、既知の方法により回
転子リング２１に対して同軸的に配置され、空隙２２が
それらの間に残って非接触駆動を生み出している。固定
子リング２０に形成されたケーブル巻線３３が図１に概
略で示されている。電気駆動装置１８は駆動制御装置２
３によって作動される。駆動制御装置２３は、プリンテ
ィング制御装置２４と通信リンクを持つ。

【００１９】前述の非接触電気駆動装置の可能な代替案
は、例えばウォーム歯車またはかさ歯車（どちらも図示
しない）を介して、レンズシステム・フレーム７におけ
るレンズシステムハウジング６の機械的に作動する駆動
装置である。そのようなウォーム歯車は、レンズシステ
ム・フレーム７に固定され、且つ、レンズシステムハウ
ジング６の円周の接線方向に延長するような回転軸を持
つウォームを含む。ウォームは、レンズシステムハウジ
ング６の周りのリングとして設計されレンズシステムハ
ウジングとしっかりと連結されるウォームホイールに係
合する。環状の誘導結合装置２８は、投影レンズシステ
ム４と共に回転する電気機器に電力供給するために使用
される。代わりに電力供給は、滑り接触を介してもたら
すことができる。

【００２０】図２に示す投影レンズシステム４を持つ光
学システムの部分の平面図によって、その回転対称構造
は明らかである。レンズシステムハウジング６内に投影
レンズシステム４のレンズ２５が配置されている。その
レンズは投影光ビーム１の光路における最初のレンズと
なる。投影光ビーム１は、図２において斜線部分で示さ
れる矩形断面区域２６を持ってレンズ２５を貫通する。
図２に示される断面区域２６は、長辺対短辺が約２対１
の比率を持つ。

【００２１】投影プリンティング装置は、以下の方法で
作動される。例えばレンズ２５などのレンズシステムハ
ウジングのレンズは、レンズを作る材料が投影光ビーム
１の波長領域内でまだ存在する残存吸収の結果として熱
を持つ。第１近似においてその温度分布がレンズの吸収
放射力分布に従う発熱は、材料の熱膨張と屈折率の変化
の両方をもたらし、従って、その変化する屈折特性のた
めに、レンズの画像特性の変化をもたらす。投影レンズ
システム４を回転させる目的は、レンズの投影光ビーム
１の吸収を対称にすることにより、時間平均でレンズの
温度分布を対称にすることである。得られる回転対称な
熱膨張は、無視できる位に小さいか、及び／又は、容易
に制御できる程度の画像欠陥となるだけである。

【００２２】プリンティング作動の間、レンズシステム
ハウジング６は、電気駆動装置１８によって回転させら
れるが、レンズシステムハウジング６の回転軸は、光軸
５と一致する。回転順序は、まだ説明されていないが、
プリンティング制御装置２４によって予め設定され、駆
動制御装置２３を介して制御される。時間平均による回
転のために、投影レンズシステム４の光軸５に対して回
転対称な領域を投影光ビーム１が透過することになる。
その回転対称領域の端部の輪郭は、図２の破線２７によ
って示される。断面区域２６にわたって投影光ビーム１
の放射力分布が鏡面対称であれば次のことが当てはま
る。すなわち、レンズが半回転する時、対応する時間に
わたって積分されたレンズに吸収された放射力分布は均
一である。投影光ビーム１の断面区域２６にわたって放
射力分布が均一でなくても、投影レンズシステム４の１
回転に相当する時間にわたる積分によって均一な照射と
なる。

【００２３】そのように均一な照射を達成するための投
影レンズシステム４を回転させるいくつかの可能な代替
方法がある。第１の構造形体としては、投影レンズシス
テム４を特定の回転角で正逆回転させることである。投
影レンズシステム４内のレンズは、投影光ビーム１の僅
かな部分だけ吸収するので、従って比較的ゆっくり発熱
する。その加熱に起因する画像欠陥も、ここではレンズ
の温度分布の十分に高度な対称性が既に達成されている
ために、比較的遅い回転よって十分に補正される。投影
光ビームの露光に伴うレンズの加熱が通常の１００秒の
時間であるとすると、特定の回転角に亘る回転の最終位
置、つまり極大位置間の時間間隔が通常３０秒あれば、
満足すべき程度の対称性を達成するのに十分である。断
面区域２６における鏡面対称放射力分布に対する回転角
は、前述したように１８０°である。

【００２４】放射力分布が２つの対称な直交平面に関し
て対称であるとすると、回転角は、代わりに、僅か９０
°である。９０°の回転は、その回転作動の間、投影レ
ンズシステム４のレンズ材料の吸収が、最終位置におけ
る吸収と比較して無視できるほど低くするために十分迅
速に成し遂げる必要がある。そのような回転用プログラ
ムの一般的な順序は、再度通常の１００秒の加熱時間定
数を仮定すれば、５秒間に９０°の回転、３０秒の投影
レンズシステムの休止、５秒間に９０°の逆回転、及
び、３０秒の投影レンズシステムの休止となるであろ
う。そのような順序によって吸収された放射力の分布
は、実は回転対称ではないが、投影レンズシステム４を
回転しないで吸収される放射力の分布よりも回転対称分
布に近くなる。図１に示すレンズ２５の投影光ビームの
断面区域２６の場合、十字形の放射力分布が生じる。対
応する方法において、前記方法で回転された投影レンズ
システム４の画像特性は、回転されないものに比べて改
善される。

【００２５】回転が特定の回転角に亘ってだけ実行され
る時、前述した誘導的電力供給の代わりに、または、そ
れに加えて、レンズシステムハウジング６への電力供給
ラインは、適切な遊びを持って布設される標準的な電線
の形を取ることができる。特定の回転角で回転する代わ
りに、レンズシステムハウジング６は、レンズシステム
フレーム７において特定の回転速度で回転することがで
きる。前述した投影レンズシステム４のレンズ加熱の時
間応答が与えられると、投影レンズシステム４のレンズ
における温度分布の適度な対称性を達成するには、３０
秒で１回転が同様に十分である。投影レンズシステム４
の回転速度をより速くすると、例えば投影レンズシステ
ムの調整とレンズの収差やばらつきとに起因する、別の
回転非対称画像の欠陥を補正する可能性をもたらす。そ
のような画像の欠陥を補正するために回転速度は、プリ
ンティング作動中にレンズシステムハウジング６が例え
ば５回転を超えるような複数回転できるように十分に速
くなければならない。

【００２６】投影レンズシステム４が特定の回転角で正
逆回転する場合には、前記の逆転作動の不動時間の間に
生じる機械的または熱的負荷をレンズシステムハウジン
グ６の可能な回転位置により均一に配分するために、回
転の逆転位置は、レンズシステム・フレーム７に対する
レンズシステムハウジング６の回転角位置といつも同じ
位置にならないように選択するのが有益である。前記最
終位置に対して、各々の回転角の選択は、逆転位置が予
め設定された回転角範囲内で変動するように駆動制御装
置２３によって行われる。できるだけ回転対称な放射力
分布を確実にするためには、前記回転角範囲は比較的小
さくすべきであり、例えば数度の回転角を持つべきであ
る。負荷を分散するために、前記回転角範囲内で可能な
逆転位置は、可能な限り同一の相対頻度で、例えば連続
する逆転動作中の回転角範囲における連続したラスタラ
イジングにより、起動されるべきである。加熱によって
誘発された画像欠陥の回転を利用するそのような補償
は、屈折光学部材に限定されるわけではなく、ミラーの
ような反射光学部材にも同様に適用される。反射は回転
とは無関係であるから、反射光学部材の回転軸は、その
回転対称軸と一致しなければならない。

【００２７】図１および図２に示す実施形態において、
その中に配置される全ての光学部材を含むレンズシステ
ムハウジング６は回転可能である。構造の代替形体にお
いては、投影レンズシステム内の選択された光学部材だ
けが回転可能である。どの光学部材を回転可能な設計に
するかの選択は、そこに誘発された回転非対称画像の欠
陥の程度に基づいて行われる。ある投影レンズシステム
において、回転可能に設計される光学部材としては、光
ビームによる単位面積当たりの高度に回転非対称な負荷
が比較的極端な回転非対称画像の欠陥をもたらすような
部材が選択される。

【００２８】個々のレンズは、投影レンズシステム内
に、例えば空気軸受上に回転可能に配置されるか、また
は適切な取付台があるという前提で磁気軸受上に回転可
能に配置される。前記実施形態のレンズシステムハウジ
ングは非回転の設計であり、従って、例えば投影レンズ
システムに準備されるマニプレータ用の接続リードは、
従来の設計で可能である。前記実施形態において、前述
の回転プログラムという意味での個々の光学部材の回転
もまた実行でき、従って例えば、回転可能なレンズは、
別のレンズの画像欠陥が補正される位置へと回転し、そ
の回転可能なレンズは、投影光ビームによる新しい単位
面積当たりの負荷よって補正効果が予め設定された許容
値から外れるまで前記位置に留まる。回転可能なレンズ
は、次に、新しい予め設定された位置へと更に回転され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光学システムにおける回転可能に
支持された投影レンズシステムの部分断面図である。

【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩによる投影レンズシステム
の平面図である。

【符号の説明】

１ 放射線 ５ 回転対称軸 ６ ハウジング ７ フレーム ８ 軸受 ９ 軸受 １０ 軸受 １８ アクチュエータ ２３ 制御装置 ２５ 光学部材 ３０ 光源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルドルフ・フォン ビュナウ ドイツ連邦共和国・ディ−73457・エシン ゲン・トイセンベルクヴェク・36／２ (72)発明者 クリスチアン・ヴァグナー ドイツ連邦共和国・ディ−73430・アーレ ン・ヴァイデンフェルト・８ (72)発明者 ヨヒェン・ベッカー ドイツ連邦共和国・ディ−73447・オーベ ルコヒェン・ユノヴェク・10 (72)発明者 シュテファン・ザルター ドイツ連邦共和国・ディ−73447・オーベ ルコヒェン・フリューリンクシュトラー セ・７ (72)発明者 ヴォルフガング・フメル ドイツ連邦共和国・ディ−73525・シュヴ ェビッシュ グミュント・ガルテンシュト ラーセ・21

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 詳細にはスロット状の画像フィールドま
   たは回転非対称な照明を持つ、特にマイクロリソグラフ
   ィ投影プリンティング装置である光学システムであっ
   て、 ａ）光源と、 ｂ） ｂａ）前記光源からの放射によって作用される少なくと
   も１つの表面を含み ｂｂ）且つ、基本的な形状が、放射に作用される前記少
   なくとも１つの表面の少なくともその領域において、回
   転対称軸に関して実質的に対称である光学部材、特にレ
   ンズまたはミラーとを含み、且つ、 ｃ）前記光学部材（２５）またはそのハウジング（６）
   は、少なくとも１つの軸受（８，９，１０）によってフ
   レーム（７）に回転可能に連結され、及び、 ｄ）前記光学部材（２５）またはそのハウジング（６）
   を前記回転対称軸に対して回転させるアクチュエータ
   （１８）が準備され、 ｅ）前記アクチュエータ（１８）は、前記光学部材（２
   ５）が照射にさらされている間、前記光学部材（２５）
   を回転させるために前記アクチュエータ（１８）を少な
   くとも一時的に起動する制御装置（２３）と協働するこ
   とを特徴とする光学システム。
2. 【請求項２】 前記アクチュエータは、フレームに固定
   された固定子（２０）と前記光学部材（２５）に回転不
   能に連結された回転子（２１）とを持つ電気駆動装置
   （１８）によって形成され、且つ、前記回転子（２１）
   と前記フレーム（７）に回転不能に連結された固定子
   （２０）との間に空隙（２２）が残ることを特徴とする
   請求項１に記載の光学システム。
3. 【請求項３】 前記光学部材（４）と共に回転する電気
   機器は、電源にケーブルによって接続されることを特徴
   とする請求項２に記載の光学システム。
4. 【請求項４】 前記光学部材（４）と共に回転する電気
   機器は、電源に誘導結合装置（２８）によって接続され
   ることを特徴とする請求項２に記載の光学システム。
5. 【請求項５】 少なくとも１つの軸受（８、９、１０）
   は、磁気軸受であることを特徴とする請求項１から請求
   項４のいずれか１つに記載の光学システム。
6. 【請求項６】 少なくとも１つの軸受（８、９、１０）
   は、静圧軸受であることを特徴とする請求項１から請求
   項５のいずれか１つに記載の光学システム。
7. 【請求項７】 少なくとも１つの軸受（８、９、１０）
   は、空気軸受であることを特徴とする請求項１から請求
   項６のいずれか１つに記載の光学システム。
8. 【請求項８】 前記アクチュエータは、歯車を持つ機械
   的駆動装置によって形成されることを特徴とする請求項
   １から請求項７のいずれか１項に記載の光学システム。
9. 【請求項９】 前記歯車は、ウォーム歯車であることを
   特徴とする請求項８に記載の光学システム。
10. 【請求項１０】 前記歯車は、かさ歯車であることを特
    徴とする請求項８に記載の光学システム。
11. 【請求項１１】 共通のハウジングに更に別の光学部材
    と共に保持される少なくとも１つの光学部材は、前記ハ
    ウジングに対して回転可能であることを特徴とする請求
    項１から請求項１０のいずれか１つに記載の光学システ
    ム。
12. 【請求項１２】 複数の光学部材を包含するハウジング
    （６）は、フレーム（７）と回転可能に連結されること
    を特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１つに
    記載の光学システム。
13. 【請求項１３】 請求項１から請求項１２のいずれか１
    つにおいて記載された光ビームが通過する光学システム
    における回転非対称画像の欠陥を補正する方法であっ
    て、 ａ）特定の回転角で前記光学部材（２５）を回転させる
    段階と、 ｂ）特定の逆方向の回転角で前記光学部材（２５）を逆
    回転させる段階とを含むことを特徴とする方法。
14. 【請求項１４】 回転角範囲内での２つの回転方向の間
    の前記逆転の位置は、前記制御装置（２３）によって同
    一の相対頻度で駆動されることを特徴とする請求項１３
    に記載の方法。
15. 【請求項１５】 前記光学部材（２５）は、前記光ビー
    ムの放射力分布の対称性に従った開始位置に対して全回
    転の数分の１程度回転されることを特徴とする請求項１
    ３または請求項１４のいずれか１つに記載の方法。
16. 【請求項１６】 請求項１から請求項１２のいずれか１
    つにおいて記載された光ビームが通過する光学システム
    における回転非対称画像の欠陥を補正する方法であっ
    て、 ａ）前記光源（３０）からの放射（１）によって生じる
    画像欠陥が形成される時間に比して、特定の回転角で前
    記光学部材（２５）を高速回転させる段階と、 ｂ）前記回転の時間と比べて長く、且つ、前記光源（３
    ０）の前記放射（１）によって生じる前記画像欠陥形成
    の前記時間と比べて短い休止時間の間、前記光学部材
    （２５）の位置を維持する段階と、 ｃ）前記光源（３０）の前記放射線（１）によって生じ
    る前記画像欠陥形成の前記時間に比して、特定の逆方向
    の回転角で前記光学部材（２５）を高速逆回転させる段
    階とを含むことを特徴とする方法。
17. 【請求項１７】 前記光学部材（２５）は、前記光ビー
    ムの放射力分布の前記対称性に従った開始位置に対して
    全回転の数分の１程度回転されることを特徴とする請求
    項１６に記載の方法。
18. 【請求項１８】 請求項１から請求項１２のいずれか１
    つにおいて記載された光ビームが通過する光学システム
    における回転非対称画像の欠陥を補正する方法であっ
    て、 前記光学部材（２５）は、予め設定された回転速度で回
    転されることを特徴とする方法。
19. 【請求項１９】 前記光学部材（２５）は、それが前記
    光ビーム（１）によって作用される間、複数の回転によ
    り回転されることを特徴とする請求項１８に記載の方
    法。