JP2001184731A - 情報記録媒体、その製造方法、浮上ヘッド及び情報記録再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 情報をより高密度で記録することが可能な情
報記録媒体を提供することを課題とする。 【解決手段】 基板１上に記録膜４を有し、基板１表面
上に透明部（２、３）が存在する情報記録媒体におい
て、該情報記録媒体の表面がほぼ平坦であり、透明部
（２、３）がトラッキングサーボ情報用の部位及び／又
はアドレス情報を示す部位であることを特徴とする情報
記録媒体により上記の課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体、そ
の製造方法、浮上ヘッド及び情報記録再生方法に関す
る。更に詳しくは、本発明は、トラッキング性能が向上
した光ディスク、磁気ディスク等の情報記録媒体、その
製造方法、浮上ヘッド及び情報記録再生方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、情報記録媒体の一種である磁気デ
ィスクでは、サーボトラックライタ（ＳＴＷ）で、サー
ボライトする方式が主流であった。しかし、この方式で
は、磁気ディスクの記録容量が高くなるとサーボライト
に時間がかかるという問題があった。また、サーボライ
ト時間を短縮するために、ＳＴＷを複数台設けることも
可能であるが、それにより製造コストが上昇するという
問題があった。そこで、光ディスクで行われているよう
に、予め基板に凹凸を形成し、その凹凸を利用してトラ
ッキングサーボ情報やアドレス情報を作りこむ方法が提
案されている（日経エレクトロニクス、第１６９〜１８
１頁、Ｎｏ．５８６、１９９３年７月１９日発行）。

【０００３】一方、上記したように、光ディスクでは予
め基板に凹凸を形成し、その凹凸を利用してトラッキン
グサーボ情報やアドレス情報が作りこまれているが、更
に情報の高密度化のために、対物レンズのＮＡを上げた
り、浮上スライダにレンズを載せることによりソリッド
イマージョンレンズ（ＳＩＬ）を用いる方法が提案され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】磁気ディスクでは、ト
ラッキングサーボ情報やアドレス情報を基板に凹凸を形
成することで作りこむ場合、これら情報は連続的な凹凸
になる。具体的には、磁気ディスクは通常円盤状である
ので、アドレス情報は半径方向に対して連続的に凹凸が
形成されることととなる。

【０００５】磁気ディスクへ情報を高密度で記録する方
法として、記録ヘッドの浮上量を小さくする（即ち、デ
ィスクと記録ヘッドとの間隔をせまくする）方法があ
る。ところが、浮上量を小さくすると、基板上の前記凹
凸が無視できなくなり、浮上量を一定に保つことが困難
となる。そのため、トラッキングサーボ情報が正確に再
生できずトラッキングできなかったり、情報を正確に記
録再生することが困難となる問題が生じる。

【０００６】一方、光ディスクでも、情報を高密度で記
録する方法として、対物レンズのＮＡを上げて浮上スラ
イダの浮上量を小さくする方法がある。しかしながら、
上記磁気ディスクと同じ問題が生じる。更に、凹凸を軽
減するために樹脂膜で表面を被覆することも考えられる
が、樹脂膜は厚さが数μｍのオーダーとなるため、浮上
量を小さくすることによるメリットを生かすことができ
なかった。更に、樹脂膜は、一定の厚さに形成すること
が困難であるため、良好な集光特性を得ることが困難で
あるという問題もあった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かくして本発明によれ
ば、基板上に記録膜を有し、基板表面上に透明部が存在
する情報記録媒体において、該情報記録媒体の表面がほ
ぼ平坦であり、透明部がトラッキングサーボ情報用の部
位及び／又はアドレス情報を示す部位であることを特徴
とする情報記録媒体が提供される。更に、本発明によれ
ば、基板表面上に透明膜を成膜し、記録膜の形成予定領
域の透明膜を除去して透明部を形成した後、除去部に記
録膜を埋め込むことにより、該基板表面上に透明部が存
在し、かつ記録膜側の表面がほぼ平坦である情報記録媒
体を得ることを特徴とする情報記録媒体の製造方法が提
供される。

【０００８】また、本発明によれば、基板表面の透明部
の形成予定領域をエッチングし、その領域に透明部を形
成した後、記録膜を透明部を含む基板上に成膜すること
により、該基板表面上に透明部が存在し、かつ記録膜側
の表面がほぼ平坦である情報記録媒体を得ることを特徴
とする情報記録媒体の製造方法が提供される。更に、本
発明によれば、記録ヘッド、再生ヘッド、光源、フォト
ディテクタを少なくとも備えた浮上ヘッドであって、浮
上ヘッドが全体又は一部に透明部材を備え、透明部材内
に前記光源及びフォトディテクタが位置することを特徴
とする浮上ヘッドが提供される。

【０００９】また、本発明によれば、上記情報記録媒体
への情報記録再生方法であって、基板の裏面から基板越
し又は基板の表面に光を照射することにより、情報記録
媒体のトラッキングサーボ情報及び／又はアドレス情報
を検出し、得られた検出結果を元に、情報記録再生のた
めの光ヘッドと磁気ヘッドの両方にトラッキングサーボ
をかけることを特徴とする情報記録再生方法が提供され
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の情報記録媒体は、例えば
図１に示すように、基板表面上に透明部が存在すること
を特徴の１つとしている。図１中、１は基板、２はトラ
ッキングサーボ情報用の透明部、３はアドレス情報用の
透明部、４は記録膜、５は複数のアドレス情報用の透明
部を備えたアドレス情報部、６は情報記録部（情報記録
トラック）を意味している。ここで、情報記録媒体が円
形の場合、トラッキングサーボ情報用の透明部２の長軸
方向が媒体の円周方向であり、短軸方向が媒体の半径方
向である。この構成により、後述するように、トラッキ
ングサーボ情報やアドレス情報を適切に得ることができ
る。

【００１１】本発明の情報記録媒体には、情報が磁気的
に又は近接場光を用いて記録再生される、磁気ディス
ク、相変化型光ディスク、光磁気ディスク等が含まれ
る。情報記録媒体は、基板、透明部と、磁性膜、光磁気
膜又は相変化膜等の記録膜とから主に構成される。透明
部を構成する材料は、特に限定されず、二酸化シリコン
（ＳｉＯ₂）、窒化シリコン（ＳｉＮ）、酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）等が挙げられる。窒化シリコンは、光の波長６８
０ｎｍに対する屈折率が１．７であり、二酸化シリコン
（屈折率１．５）より大きい屈折率を有する。また、酸
化亜鉛の屈折率は２．２である。そのため、二酸化シリ
コンと同じ位相深さを得るには、物理的な深さを浅くす
ることができる。

【００１２】また、透明部が複数群存在していてもよ
く、それら透明部が屈折率の互いに異なる２つ以上の群
からなっていてもよい。屈折率を異ならせることによ
り、物理的な深さが同じでも光学的深さを変えることが
でき、種類の異なる情報を形成することができる。ここ
で透明部とは、使用する光源（例えば、半導体レーザ）
の波長に対して透明という意味である。

【００１３】基板、記録膜は当該分野で公知の材料によ
り構成することができる。記録膜は、情報が記録される
部位であり、基板が円盤状の場合、同心円又はスパイラ
ル状の平面形状を有していてもよい。また、透明部と屈
折率を異ならせれば、透明な基板を使用することも可能
である。すなわち、基板としてシリコン、アルミニウ
ム、ガラス、樹脂等が使用可能である。情報記録媒体を
構成する透明部は、基板表面上に形成されている。一
方、記録膜は、透明部間に埋め込まれていてもよく、透
明部を含む基板上に形成されていてもよい。上記以外の
情報記録媒体を構成する部材として、保護膜等が挙げら
れる。透明部は、トラッキングサーボ情報用の部位又は
アドレス情報を示す部位として使用することが好まし
い。透明部の厚さは、記録膜の表面と、透明部の底面か
ら反射する光が干渉するように設定すれば、情報を検出
することができる。

【００１４】本発明の情報記録媒体は、記録膜側の表面
がほぼ平坦であることが必要である。平坦にすること
で、情報を記録再生する浮上ヘッドの浮上を安定に保
ち、良好なトラッキングのサーボ又は集光特性を実現す
ることができる。

【００１５】上記情報記録媒体の製造方法としては、例
えば以下の方法が挙げられる。 （１）基板表面上に透明膜を成膜し、記録膜予定領域の
透明膜を除去して透明部を形成した後、除去部に記録膜
を埋め込むことにより得ることができる。 （２）基板表面の透明部の形成予定領域をエッチング
し、その領域に透明部を形成した後、記録膜を透明部を
含む基板上に成膜することにより得ることができる。更
に、本発明では、記録ヘッド、再生ヘッド、光源、フォ
トディテクタを少なくとも備えた浮上ヘッドであって、
浮上ヘッドが全体又は一部に透明部を備え、透明部内に
光源及びフォトディテクタが位置することを特徴とする
浮上ヘッドも提供できる。この浮上ヘッドによれば、透
明部を識別するための光源及びフォトディテクタが、磁
気ヘッドのような情報を記録再生するヘッド（記録ヘッ
ド、再生ヘッド）と併設されているので、装置の構成を
簡略化できる。

【００１６】また、本発明では、基板の裏面から基板越
し又は基板の表面に光を照射することにより、透明部で
光が回折し、基板から反射又は基板を透過する回折光
（例えば一次回折光）をフォトディテクタで検出するこ
とで、情報記録媒体のトラッキングサーボ情報及び／又
はアドレス情報を検出し、得られた検出結果を元に、情
報記録再生装置を構成する光ヘッドと磁気ヘッドの両方
にトラッキングサーボをかけることによる情報の記録再
生方法も提供できる。なお、基板に入射する光は、トラ
ッキングサーボ情報又はアドレス情報の検出に用いる以
外に、記録膜に熱を加えるために使用することができ
る。

【００１７】以下、実施の形態により本発明を更に具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。 実施の形態１ 本発明の情報記録媒体の製造方法の一例の概略断面図を
図２（ａ）〜（ｆ）に示す。以下、この図について説明
する。まず、直径２．５インチのシリコン（Ｓｉ）から
なる基板２１上に、５０ｎｍの厚さの二酸化シリコン膜
（屈折率ｎ＝１．５）２２を成膜する（図２（ａ）参
照）。

【００１８】次に、フォトレジストを塗布及びプリベー
クすることにより、１００ｎｍの厚さのフォトレジスト
層２３を二酸化シリコン膜２２上に形成する。次いで、
所定のパターンが形成されたフォトマスク（図示せず）
とマスクアライナー（図示せず）を用いて露光した後
（図２（ｂ）参照）、現像することによりパターン化し
たフォトレジスト層２４を得る（図２（ｃ）参照）。

【００１９】次に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）
法により、フォトレジスト層２４が形成されていない部
分の二酸化シリコン膜を除去して、基板２１を露出させ
ると共に透明部２５を形成する（図２（ｄ）参照）。

【００２０】次いで、５０ｎｍの厚さのＣｏＣｒＴａか
らなる磁性膜２６をスパッタ法により成膜する（図２
（ｅ）参照）。この後、フォトレジスト層２４上に形成
された磁性膜２６を、フォトレジスト層２４の除去と共
にリフトオフする（図２（ｆ）参照）。最後に、保護膜
として炭素をスパッタ法により５ｎｍの厚さで成膜する
ことにより、図３に示すごとき断面構造を有する情報記
録媒体を得ることができる。なお、炭素からなる保護膜
は薄いため、光を８０％程度透過する。図３中、３０は
浮上ヘッドで、以下に述べるように光学ヘッド、記録ヘ
ッド、再生ヘッドを搭載している。３１は支持バネであ
る。

【００２１】次に、上記情報記録媒体への情報の記録再
生に適する浮上ヘッド３０の概略斜視図を図４に示す。
図４中、４１は記録ヘッド、４２は再生ヘッド、４３は
波長６８０ｎｍのレーザ光を発生する光源としての半導
体レーザ、４４はレンズ、４５はフォトディテクタ、４
６はフォトポリマー、４７はスライダ、４８は半導体レ
ーザのためのヒートシンク、４９はセラミックである。
記録ヘッド４１、再生ヘッド４２及びレーザースポット
は、ほぼ直線状に揃えて配置されている。スライダ４７
は、フォトポリマー４６とセラミック４９とからなり、
ほぼ矩形状をしている。該スライダ４７は図示されない
支持バネでアクチュエータに支持されている。磁気信号
（情報）の記録再生は、記録ヘッドと再生ヘッドとで行
われる。

【００２２】上記浮上ヘッドを用いた情報記録再生方法
を説明する。まず、トラッキングサーボのために半導体
レーザ４３から出た光は、レンズ４４を通り、情報記録
媒体上に集光される。このとき、この実施の形態では、
集光したビームの直径は約１μｍで、情報記録媒体上の
トラックピッチは０．８μｍで、透明部の幅は０．２μ
ｍとしている。情報記録媒体の透明部から回折した反射
光は、フォトポリマー４６を通過してフォトディテクタ
４５に入る。フォトディテクタ４５にはプリアンプ（図
示せず）が付けられていて、光が電圧レベルとしてトラ
ッキングサーボ回路に送られる。

【００２３】図５にトラッキングサーボ回路のブロック
図を示す。フォトディテクタ５１と５２（図４の符号４
５に相当）からの出力は、Ｉ／Ｖ変換器５３と５４で電
圧値に変換される。得られた電圧値は増幅器５５と５６
で増幅され、差信号が減算器５７で、和信号が加算器５
８でそれぞれ作成される。差信号を分子、和信号を分母
として除算器５９で割り算し、得られた出力が、オフセ
ット注入器５１０を介して、位相補償器５１１を通っ
て、駆動回路５１２に送られる。駆動回路５１２は、得
られた値を元に、浮上ヘッドが所定のトラックにトラッ
キングされるように、図示しないアクチュエータのコイ
ルに電流を流す。また、加算器５８による和信号から情
報記録媒体の反射率を検出して、セクタのアドレス情報
が得られる。なお、図５中、５１３は位置情報検出器を
意味する

【００２４】図６（１）に、情報記録媒体上のビームの
位置と２つのフォトディテクタ上の回折光強度パターン
を示す。ビームスポット６１がトラック６２の中心にあ
る場合（図６（１）−（ｂ）参照）、左右のフォトディ
テクタ上での回折光強度は同一となる。しかし、ビーム
スポット６１がトラック６２の右や左にずれると片側の
回折光強度が強くなる（図６（１）−（ａ）及び（ｃ）
参照）。図６（１）−（ａ）及び（ｃ）中、斜線は右又
は左のフォトディテクタの回折光強度が強いことを示し
ている。即ち、トラックとビームすっポットの位置関係
により、左右の回折光強度が変わるが、左右の回折光強
度が等しくなるように調整すれば、トラックの中心に浮
上ヘッドがトラッキングされることとなる。

【００２５】回路上では、除算器５９の出力が、図６
（２）のようになるようトラッキングサーボをかけるこ
とで、記録領域の中心にトラッキングをかけることがで
きる。また、例えば、ディスクの内周や外周では、ビー
ムスポット、記録ヘッド、再生ヘッドとトラックの接線
が平行でなくなる。その場合、記録ヘッドや再生ヘッド
がトラック中心にあるとき、ビームスポットはトラック
中心からはずれるが、この際、除算器５９と位相補償器
５１１の間に設けられたオフセット注入器５１０で、所
定のオフセット電圧を加えることで、記録ヘッドや再生
ヘッドをトラックの中心にトラッキングをかけることも
可能である。

【００２６】ここで、実際にトラッキングが問題なく掛
かったのは、透明部の厚さが２０ｎｍより大きい場合で
あった。但し、この実施の形態の磁気ディスクは、可換
変媒体ではないので、フォトディテクタ等のトラッキン
グサーボ系を調整することにより、２０ｎｍでもトラッ
キングをかけることが可能である。なお、情報記録媒体
が、可換媒体である光ディスクの場合は、３５ｎｍ程度
であることが好ましい。

【００２７】実施の形態２ 本発明の情報記録媒体の製造方法の一例の概略断面図を
図７（ａ）〜（ｅ）に示す。以下、この図について説明
する。まず、直径２．５インチのＳｉからなる基板７１
上に、フォトレジストを塗布及びプリベークすることに
より、１００ｎｍの厚さのフォトレジスト層を形成す
る。次いで、予め所定のパターンが形成されたフォトマ
スクとマスクアライナー（図示せず）を用いて露光した
後、現像することによりパターン化したフォトレジスト
層７２を得る（図７（ａ）参照）。

【００２８】次に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）
法により、フォトレジスト層７２の形成されていない部
分の基板７１を５０ｎｍの深さエッチングする（図７
（ｂ）参照）。次に、厚さ５５ｎｍの窒化シリコン層７
３をスパッタ法により全面に積層する（図７（ｃ）参
照）。フォトレジスト層７２を除去しつつ、フォトレジ
スト層７２上の窒化シリコン層７３をリフトオフして除
去することで、透明部７４を形成する（図７（ｄ）参
照）。

【００２９】更に、基板７１表面を研磨してほぼ平坦に
し、全面に厚さ２０ｎｍのＣｏＣｒＴａからなる磁性膜
７５をスパッタ法により成膜する（図７（ｅ）参照）。
最後に、保護膜として炭素をスパッタ法により５ｎｍの
厚さで成膜することにより、図８に示すごとき断面構造
を有する情報記録媒体を得ることができる。なお、炭素
からなる保護膜は薄いため光を８０％程度透過し、磁性
膜は４０％程度透過するので、トラッキングサーボ情報
やアドレス情報の再生には支障がなかった。

【００３０】実施の形態３ 図９は、浮上ヘッドの別な構成を示す斜視図である。図
４の浮上ヘッド３０では、半導体レーザ４３が光源とし
て使用されているが、図９では、半導体レーザを稼動部
である浮上ヘッド９０に設けず、アクチュエータを固定
する基盤（図示せず）に配置している。半導体レーザか
ら出た光は、光ファイバー９３により浮上ヘッド９０ま
で導かれ、カップリングレンズを兼ねたレンズ９４で情
報記録媒体上に照射される。この浮上ヘッド９０を用い
ても、実施の形態１と同様にトラッキングをかけること
ができる。なお、図９中、９１は記録ヘッド、９２は再
生ヘッド、９５はフォトディテクタ、９６はフォトポリ
マー、９７はスライダ、９９はセラミックを意味し、そ
れぞれ図４の４１、４２、４５、４６、４７、４９に対
応している。

【００３１】実施の形態４ 本発明の情報記録媒体の製造方法の一例の概略断面図を
図１０（ａ）〜（ｌ）に示す。以下、この図について説
明する。まず、直径２．５インチのＳｉからなる基板１
０１上に、フォトレジストを塗布及びプリベークするこ
とにより、１００ｎｍの厚さのフォトレジスト層１０２
を形成する（図１０（ａ）参照）。

【００３２】次いで、アドレス情報用の透明部を形成す
るための所定のパターンが形成されたフォトマスク（図
示せず）とマスクアライナー（図示せず）を用いて露光
した後（図１０（ｂ）参照、図中、Ｘが露光された箇
所）、現像することによりパターン化したフォトレジス
ト層１０２ａを得る（図１０（ｃ）参照）。次に、反応
性イオンエッチング（ＲＩＥ）法により、フォトレジス
ト層１０２ａの形成されていない部分の基板１０１を所
望深さエッチングする（図１０（ｄ）参照）。更に、Ｃ
ＶＤ法により、エッチングした深さと同じ厚さの二酸化
シリコン膜１０３を成膜する（図１０（ｅ）参照）

【００３３】次に、フォトレジスト層１０２ａとその上
に存在する二酸化シリコン膜１０３を除去し、全面に二
酸化シリコン膜１０４を堆積させる（図１０（ｆ）参
照）。この工程により、透明部１０５ａが基板の表面に
形成される。次に、二酸化シリコン膜１０４上に、フォ
トレジスト層１０６を形成する（図１０（ｇ）参照）。
次いで、予めトラッキングサーボ情報用の透明部を形成
するための所定のパターンが形成されたフォトマスク
（図示せず）とマスクアライナー（図示せず）を用いて
露光した後、現像することによりパターン化したフォト
レジスト層１０６ａを得る（図１０（ｈ）参照）。

【００３４】フォトレジスト層１０６ａをマスクとして
二酸化シリコン膜１０４をエッチングして基板１０１を
露出させる（図１０（ｉ）参照）。この工程により、透
明部１０５ｂが基板上に形成される。以上の工程によ
り、トラッキングサーボ情報用の透明部１０５ｂと、こ
れより厚い膜のアドレス情報用の透明部（１０５ａ＋１
０５ｂ）が形成されたことになる。

【００３５】次に、全面に厚さ２０ｎｍの磁性膜１０７
をスパッタ法により成膜する（図１０（ｊ）参照）。更
に、フォトレジスト層１０６ａを除去すると共に、その
上に形成された磁性膜１０７をリフトオフする（図１０
（ｋ）参照）。最後に、保護膜１０８として炭素をスパ
ッタ法により５ｎｍの厚さで成膜することにより、図１
１に示すごとき斜視構造を有する情報記録媒体を得るこ
とができる。この情報記録媒体は、アドレス情報用とト
ラッキングサーボ情報用に最適な位相深さになるような
厚さの透明部を形成しているので、両信号を十分大きく
得ることができる。

【００３６】実施の形態５ 上記実施の形態４では、トラッキングサーボ情報用の透
明部の厚さを、アドレス情報用の透明部の厚さより薄く
した。しかし、トラッキングサーボ情報用の透明部を二
酸化シリコン膜とし、アドレス情報用の透明部を窒化シ
リコンや酸化亜鉛とすることで、両透明部をほぼ同一の
膜厚とすることができる。この状態を実施の形態５に示
す。この実施の形態の情報記録媒体の製造方法の概略断
面図を図１２（ａ）〜（ｌ）に示す。以下、この図につ
いて説明する。まず、直径２．５インチのＳｉからなる
基板１２１上に、フォトレジストを塗布及びプリベーク
することにより、１００ｎｍの厚さのフォトレジスト層
１２２を形成する（図１２（ａ）参照）。

【００３７】次いで、トラッキングサーボ情報用の透明
部を形成するための所定のパターンが形成されたフォト
マスク１２３ａとマスクアライナー（図示せず）を用い
て露光した後（図１２（ｂ）参照）、現像することによ
りパターン化したフォトレジスト層１２２ａを得る（図
１２（ｃ）参照）。次に、ＲＩＥ法により、フォトレジ
スト層１２２ａの形成されていない部分の基板１２１を
所望深さエッチングする（図１２（ｄ）参照）。更に、
スパッタ法により、エッチングした深さと同じ厚さの二
酸化シリコン膜１２４を成膜する（図１２（ｅ）参照）

【００３８】次に、フォトレジスト層１２２ａとその上
に存在する二酸化シリコン膜１２４を除去する（図１２
（ｆ）参照）。なお、この工程により、トラッキングサ
ーボ情報用の透明部１２５ａが基板の表面層に形成され
る。次に、全面に、フォトレジスト層１２６を形成する
（図１２（ｇ）参照）。次いで、アドレス情報用の透明
部を形成するための所定のパターンが形成されたフォト
マスク１２３ｂとマスクアライナー（図示せず）を用い
て露光する（図１２（ｈ）参照）。

【００３９】この後、現像することによりパターン化し
たフォトレジスト層１２６ａを得る。次に、ＲＩＥ法に
より、フォトレジスト層１２６ａの形成されていない部
分の基板１２１を所望深さエッチングする（図１２
（ｉ）参照）。更に、スパッタ法により、エッチングし
た深さと同じ厚さの酸化亜鉛膜１２７を成膜する（図１
２（ｊ）参照）。次に、フォトレジスト層１２６ａとそ
の上に存在する酸化亜鉛膜１２７を除去する（図１２
（ｋ）参照）。なお、この工程により、アドレス情報用
の透明部１２５ｂが基板の表面層に形成される。

【００４０】次に、全面に厚さ２０ｎｍの磁性膜１２８
をスパッタ法により成膜する（図１２（ｌ）参照）。最
後に、保護膜１２９として炭素をスパッタ法により５ｎ
ｍの厚さで成膜することにより、情報記録媒体を得るこ
とができる。この情報記録媒体を図１３の情報記録装置
で記録再生した。

【００４１】図１３は、情報記録装置の内、トラッキン
グサーボ系を中心に簡単に示た図である。以下、この図
を説明する。レーザ１３０１から出た光は、ビーム整形
器で平行な真円ビームに整形され、１３０２のビームス
プリッタを通過し、１３０３の立ち上げミラーで光路を
曲げられ、対物レンズ１３０４を通り情報記録媒体１３
０５に照射される。情報記録媒体１３０５中のグルーブ
による変調を受けた光は、再び対物レンズ１３０４を通
り、１３０２のビームスプリッタで反射し、１３０６の
２分割ディテクタに入る。

【００４２】この２分割ディテクタで光が電気信号に変
換され、それぞれの信号は１３０７、１３０８のＩ／Ｖ
回路で電圧に変換される。次に、増幅器１３０９、１３
１０で増幅され、１３１１の減算器で差信号と１３１２
の加算器で和信号が作られる。更に、１３１３の除算器
で差信号を和信号で割り算してＴＥＳ信号が作られる。
１３１４の位相補償器で位相を進ませ、１３１５の駆動
回路を経て１３１６のアクチュエータで、１３０４の対
物レンズによるトラッキングを行う。また、除算器１３
１３の出力は別な位相補償器１３１７で位相を進ませ、
１３１８の駆動回路を経て１３１９のアクチュエータ
で、１３２０の浮上ヘッドによるトラッキングを行う。

【００４３】実施の形態６ 実施の形態１と同じ工程を用い、サンプルサーボ方式に
適した媒体を作成した。図１４にその情報記録媒体の斜
視図を示す。図１４中、１４１は基板、１４２はサンプ
ルサーボのための透明部（ピット）、１４３はクロック
情報のための透明部（ピット）、１４４はアドレス情報
のための透明部をそれぞれ意味している。１４２〜１４
４の透明部は、基板１４１の表面層に形成されている。
この基板上には、窒化シリコンからなる下地層（図示せ
ず）とＴｂ₂₀（Ｆｅ₉₀Ｃｏ₁₀）₈₀からなる光磁気記録層
としての磁性膜１４５が積層されている。更に、磁性膜
１４５上には、厚さ５ｎｍの炭素からなる保護膜１４６
が成膜されている。

【００４４】図１５に、サンプルピットとクロックピッ
トを備えた情報記録媒体のトラッキングのために使用さ
れるＳＩＬを搭載した浮上スライダを用いた情報記録再
生装置の概略構成図を示す。レーザ１５０１から出た光
は、ビーム整形器（図示せず）で平行な真円形状のビー
ムに整形され、１５０２のビームスプリッタを通過す
る。通過したビームは、１５０３の立ち上げミラーで光
路を曲げられ、対物レンズ１５０４と浮上ＳＩＬレンズ
１５０５を通り情報記録媒体１５０６に照射される。

【００４５】情報記録媒体で反射した光は、再び対物レ
ンズ１５０４を通り、ビームスプリッタ１５０２で反射
し、１５０７のフォトディテクタに入射する。フォトデ
ィテクタ１５０７に入射した光をＩ／Ｖ変換器１５０８
で電圧に変化し、クロックピットから図示しない回路に
よりＰＬＬを掛けてクロックを作り、サンプルピット上
でゲートを開ける。サンプルピットからの反射光量を検
出し、そのレベルをホールド回路１５０９と１５１０に
よりホールドし、２回路によりホールドされた信号を減
算器１５１１により差信号に変換する。この差信号はト
ラッキングエラー信号に対応し、この信号が、位相補償
器１５１２、駆動回路１５１３及びアクチュエータ１５
１４介して対物レンズにフィードバックされる。

【００４６】ここで、２つのサンプルピットの中心を光
が通ると、反射光量は図１６（１）のようになる。光が
中心からずれると図１６（２）のように、反射光量が変
動するため、変動量を測定することでトラッキングエラ
ー信号を得ることができる。なお、上記ＳＩＬを用いた
情報の記録再生方法では、透明部の厚さが３５ｎｍ以上
必要であった。浮上ＳＩＬレンズの浮上量は１５０ｎｍ
である。サンプルピットは図１４のように情報記録媒体
の半径方向に並べて形成されているが、基板の表面は略
平坦であるため、浮上ＳＩＬレンズを安定に浮上させる
ことができる。

【００４７】

【発明の効果】透明部を含む情報記録媒体の表面を略平
坦にすることにより、浮上ヘッドを安定に浮上させるこ
とができ、精度の高いトラッキングが可能となり、より
安定して情報の記録再生を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の情報記録媒体の概略斜視図である。

【図２】本発明の情報記録媒体の製造方法の概略工程断
面図である。

【図３】本発明の情報記録媒体の概略断面図である。

【図４】本発明の浮上ヘッドの概略斜視図である。

【図５】本発明の情報記録再生装置を構成するトラッキ
ングサーボ回路のブロック図である。

【図６】本発明の情報記録媒体上のビームの位置と２つ
のフォトディテクタ上の回折光強度パターン及び除算器
４９の出力結果である。

【図７】本発明の情報記録媒体の製造方法の概略工程断
面図である。

【図８】本発明の情報記録媒体の概略断面図である。

【図９】本発明の浮上ヘッドの概略斜視図である。

【図１０】本発明の情報記録媒体の製造方法の概略工程
断面図である。

【図１１】本発明の情報記録媒体の概略斜視図である。

【図１２】本発明の情報記録媒体の製造方法の概略工程
断面図である。

【図１３】本発明の情報記録再生装置の概略構成図であ
る。

【図１４】本発明の情報記録媒体の概略斜視図である。

【図１５】本発明の情報記録再生装置の概略構成図であ
る。

【図１６】本発明の情報記録媒体の反射光量を示すグラ
フである。

【符号の説明】 １、２１、７１、１０１、１２１、１４１ 基板 ２、３、２５、７４、１０５ａ、１０５ｂ、１２５ａ、
１２５ｂ、１４２、１４３、１４４ 透明部 ４、７５ 記録膜 ５ アドレス情報部 ６ 情報記録部 ２２、１０３、１０４、１２４ 二酸化シリコン膜 ２３、２４、７２、１０２、１０２ａ、１０６、１０６
ａ、１２２、１２２ａ、１２６、１２６ａ フォトレジ
スト層 ２６、７５、１０７、１２８、１４５ 磁性膜 ３０、９０、１３２０ 浮上ヘッド ３１ 支持バネ ４１、９１ 記録ヘッド ４２、９２ 再生ヘッド ４３ 半導体レーザ ４４、９４ レンズ ４５、５１、５２、９５、１５０７ フォトディテクタ ４６、９６ フォトポリマー ４７、９７ スライダ ４８ ヒートシンク ４９、９９ セラミック ５３、５４、１３０７、１３０８、１５０８ Ｉ／Ｖ変
換器 ５５、５６、１３０９、１３１０ 増幅器 ５７、１３１１、１５１１ 減算器 ５８、１３１２ 加算器 ５９、１３１３ 除算器 ５１０ オフセット注入器 ５１１、１３１４、１３１７、１５１２ 位相補償器 ５１２、１３１５、１３１８、１５１３ 駆動回路 ５１３ 位置情報検出器 ６１ ビームスポット ６２ トラック ７３ 窒化シリコン層 ９３ 光ファイバー １０８、１２９、１４６ 保護膜 １２３ａ、１２３ｂ フォトマスク １２７ 酸化亜鉛膜 １３０１、１５０１ レーザ １３０２、１５０２ ビームスプリッタ １３０３、１５０３ 立ち上げミラー １３０４、１５０４ 対物レンズ １３０５、１５０６ 情報記録媒体 １３０６ ２分割ディテクタ １３１６、１３１９、１５１４ アクチュエータ １５０５ 浮上ＳＩＬレンズ １５０９、１５１０ ホールド回路 Ｘ 露光された箇所

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に記録膜を有し、基板表面上に透
   明部が存在する情報記録媒体において、該情報記録媒体
   の表面がほぼ平坦であり、透明部がトラッキングサーボ
   情報用の部位及び／又はアドレス情報を示す部位である
   ことを特徴とする情報記録媒体。
2. 【請求項２】 透明部が複数個存在し、複数個の透明部
   が屈折率の異なる透明部からなる群を少なくとも２つ以
   上備えている請求項１に記載の情報記録媒体。
3. 【請求項３】 基板表面上に透明膜を成膜し、記録膜の
   形成予定領域の透明膜を除去して透明部を形成した後、
   除去部に記録膜を埋め込むことにより、該基板表面上に
   透明部が存在し、かつ記録膜側の表面がほぼ平坦である
   情報記録媒体を得ることを特徴とする情報記録媒体の製
   造方法。
4. 【請求項４】 基板表面の透明部の形成予定領域をエッ
   チングし、その領域に透明部を形成した後、記録膜を透
   明部を含む基板上に成膜することにより、該基板表面上
   に透明部が存在し、かつ記録膜側の表面がほぼ平坦であ
   る情報記録媒体を得ることを特徴とする情報記録媒体の
   製造方法。
5. 【請求項５】 記録ヘッド、再生ヘッド、光源、フォト
   ディテクタを少なくとも備えた浮上ヘッドであって、浮
   上ヘッドが全体又は一部に透明部材を備え、透明部材内
   に前記光源及びフォトディテクタが位置することを特徴
   とする浮上ヘッド。
6. 【請求項６】 光源が、浮上ヘッドに一体化された半導
   体レーザ又は光ファイバーを介して浮上ヘッド外に設置
   された半導体レーザである請求項５に記載の浮上ヘッ
   ド。
7. 【請求項７】 請求項１又は２に記載の情報記録媒体へ
   の情報記録再生方法であって、基板の裏面から基板越し
   又は基板の表面に光を照射することにより、情報記録媒
   体のトラッキングサーボ情報及び／又はアドレス情報を
   検出し、得られた検出結果を元に、情報記録再生のため
   の光ヘッドと磁気ヘッドの両方にトラッキングサーボを
   かけることを特徴とする情報記録再生方法。