JP2001184665A - 光記録媒体用基板及び光記録媒体並びに露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内周偏向と外周偏向のプリピット列が異なる
パターンでウォブルした新規なランドグルーブ型基板及
びその原盤の露光方法を提供する。 【解決手段】 プリピットに相当する凹凸パターンの露
光時に、ウォブル信号に基づいてＡＯ偏向器で露光光を
ディスク半径方向に偏向させつつ原盤上に照射する。ま
た、露光光をオンオフさせるためのピット信号のパター
ンを外周偏向時と内周偏向時で異ならせる。露光光がオ
フになったときに偏向時間が内周偏向時と外周偏向時で
等しくなるようにウォブル信号を変調する。これにより
ドリフト現象が防止されるとともに外周偏向と内周偏向
で異なるパターンで原盤が露光される。かかる原盤から
は外周偏向と内周偏向でプリピットパターンが異なる基
板が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ランドグルーブ型
の光記録媒体及びその基板並びに原盤露光方法に関し、
更に詳細には、アドレス情報を含むプリピットがトラッ
ク幅方向にウォブルして形成される光記録媒体及びその
基板並びに原盤露光方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】音楽や動画像などの大量のデータを取り
扱うことが可能な情報記録媒体として光記録媒体が知ら
れている。光記録媒体は、記憶容量をより一層増大させ
ることが望まれており、これを実現するための方法とし
て、例えば、トラッキングに使用されるグルーブと、隣
り合うグルーブによって画成されるランドとの両方を記
録領域として使用して効率良く情報を記録するランドグ
ルーブ記録方式が知られている。ランドグルーブ記録方
式に従う光記録媒体（以下、ランドグルーブ型光記録媒
体と称する）では、例えば記録膜として磁性膜や相変化
膜が用いられている。

【０００３】ランドグルーブ型光記録媒体では、光記録
媒体を作製する段階でアドレス情報がプリピット列とし
て予め基板上に形成されている。このプリピット列は、
通常、トラック幅方向において、ランドの中心位置とグ
ルーブの中心位置から互いに同じ距離だけ離れた位置に
形成される。例えば、プリピット列の中心線がランドと
グルーブの境界に位置し、すなわち、プリピット列がラ
ンドまたはグルーブの中心線から外周側または内周側に
偏位して配置されている。かかるプリピットを再生する
際には、再生ビームをランド上またはグルーブ上で走査
させて、プリピット列の中心線よりも内周側半分または
外周側半分を検出する。これにより、ランドとグルーブ
のアドレス情報を取得することができ、フォーマット効
率を高めることができる。このようなプリピット列が偏
位されて形成されたフォーマットを採用した光記録媒体
としては、例えばＤＶＤ−ＲＡＭが知られている。

【０００４】このような偏位したプリピット列を基板に
形成するには、通常、マスタリングの際に、露光光とし
てのレーザービームをディスク半径方向に偏向させる。
レーザービームを偏向させるには、通常、音響光学素子
（ＡＯ素子）を備えるＡＯＤ(Acousto-Optic Deflecto
r)が用いられる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ランドグル
ーブ型の光記録媒体、例えばＤＶＤ−ＲＡＭにおいて
は、内周側に偏向して形成されるプリピットと外周側に
偏向して形成されるプリピット列は互いに等しいパター
ンで形成されている。しかしながら、内周側と外周側で
互いに等しいパターンで形成されたプリピット列におい
ては付与可能な情報量も制限されてしまい、更なる高密
度記録化のためには、内外周のプリピット列を異なるピ
ットパターンで形成することが必要となるであろう。

【０００６】また、従来の光磁気記録媒体においては、
規格として、偶数番目と奇数番目のセクタマークが異な
るパターンで形成されている。それゆえ、かかるフォー
マットパターンを踏襲しつつランドグルーブ型の光磁気
記録媒体を実現するには、セクタマーク等を含むプリピ
ット列を異なるピットパターンで形成することが必要に
なると考えられる。

【０００７】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、ランドグルーブ記録方式に好適で
且つ新規なプリフォーマットパターンを有する基板及び
それを備える光記録媒体並びにその原盤の製造に好適な
原盤露光方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に従
えば、ランド及びグルーブを情報トラックとして用いる
ランドグルーブ記録方式の光記録媒体に用いられる基板
において、情報トラックのセクタ内のヘッダ領域に形成
されるプリピットが、トラック幅方向において情報トラ
ック中心から内周側に偏位して形成される第１プリピッ
ト列と、外周側に偏位して形成される第２プリピット列
とから構成され、第１プリピット列及び第２プリピット
列が互いに異なるピットパターンで形成されていること
を特徴とする光記録媒体用基板が提供される。

【０００９】本発明のランドグルーブ型基板には、ヘッ
ダ領域のセクタ内に形成されるアドレス情報やセクタマ
ーク等を示すプリピット列が、トラック幅方向（ディス
ク半径方向）においてトラック中心から内周側と外周側
で異なるピットパターンで偏位して形成されている。す
なわち、トラック方向において、ヘッダ領域内のプリピ
ット列の前方部分におけるピットパターンと、後方部分
におけるピットパターンとがグルーブ（またはランド）
の中心線に対して互いに非対称に形成されている。

【００１０】本発明では、セクタ内に含まれるプリピッ
ト列を、例えば、トラック幅方向（ディスク半径方向）
においてトラック中心から内周側のピット列と外周側の
ピット列の長さが互いに異なるように形成し得る。ま
た、トラック幅方向（ディスク半径方向）でトラック中
心から内周側のピット列と外周側のプリピット列の偏向
量（偏位量）が互いに異なるように形成することも可能
である。

【００１１】従来のランドグルーブ型基板においては、
外周側と内周側にそれぞれ偏向して形成されるプリピッ
ト列はともに等しいピットパターンを有しており、本発
明者らの知る限りにおいては、プリピット列が異なるピ
ットパターンで形成されたランドグルーブ型基板は存在
しない。

【００１２】本発明の基板が、例えばＣＡＶ方式のディ
スクフォーマットに従う光記録媒体用基板として使用さ
れる場合には、セクタマークのピットパターンを偶数ト
ラックと奇数トラックとで異なるように形成し得る。ま
た、ディスク半径方向において、外周側、中周、内周側
でセクタマークのピットパターンをそれぞれ変更して、
それぞれのピットパターン自体にディスク半径方向の位
置を特定する情報を付与することもできる。これにより
アクセス速度が向上する。

【００１３】また、ＺＣＡＶ方式のディスクフォーマッ
トに従う場合には、例えば、図５に示すように、偶数ゾ
ーンのセクタマーク列と奇数ゾーンのセクタマーク列を
互いに異なるパターンにするとともに、それらセクタマ
ーク列を外周側及び内周側に偏位させて形成することが
できる。また、各ゾーン毎のプリピット列のパターンに
情報を付与することもできる。例えば各ゾーンのプリピ
ット列の長さの違いを利用して情報を付与することもで
きる。すなわち、かかるプリピット列上をヘッドがシー
クしたときに、各ゾーンにおいてプリピット列から得ら
れる反射光量に差が生じるため、半径方向においてヘッ
ドが何れの位置に配置されているかの情報を容易に取得
可能となり、アクセス速度が一層向上する。

【００１４】本発明の第２の態様に従えば、ランド及び
グルーブを情報トラックとして用いるランドグルーブ記
録方式の光記録媒体に用いられる基板において、情報ト
ラックのセクタ内のヘッダ領域に形成されるプリピット
が、トラック幅方向において情報トラック中心から内周
側に偏位して形成される第１プリピット列と、外周側に
偏位して形成される第２プリピット列とから構成され、
情報トラック中心からの第１プリピット列の偏位量と、
情報トラック中心からの第２プリピット列の偏位量とが
互いに異なることを特徴とする光記録媒体用基板が提供
される。

【００１５】本発明の第３の態様に従えば、ピット信号
に基づいてトラック方向における露光光の照射位置を制
御するとともにウォブル信号に基づいてトラック幅方向
における露光光の照射位置を制御し、当該制御した露光
光をディスク原盤上に照射することによって、セクタ内
のヘッダ領域に形成されるプリピットに相当するパター
ンをトラック中心からディスク内周側及び外周側に偏向
させて露光する露光方法において、露光光を内周側に偏
向するときのピット信号パターンと外周側に偏向すると
きのピット信号パターンとを互いに異ならせて露光する
ことを特徴とする露光方法が提供される。

【００１６】本発明の露光方法では、ヘッダ領域に形成
されるプリピットパターンの露光時に、露光光を内周側
に偏向するときのピット信号パターンと外周側に偏向す
るときのピット信号パターンとを互いに異ならせて露光
光を原盤上に照射する。これにより、外周側に偏向して
形成されるプリピットパターンと内周側に偏向して形成
されるピットパターンとがそれぞれ異なるピットパター
ンで露光されるので、かかる原盤を用いて製造された基
板は、アドレス情報等のプリフォーマット情報を含むプ
リピット列のピットパターンがディスク半径方向におい
て内周側と外周側で異なっている。それゆえ、本発明の
第３の態様の露光方法は、本発明の第１及び第２の態様
の基板を製造するために用いられる原盤の露光方法とし
て極めて好適である。

【００１７】本発明の露光方法において、露光光をディ
スク半径方向に偏向するための偏向器としては、例えば
ＡＯＤやＥＯＤ（Electoro-Optic Deflector）を用いる
ことができる。以下、ＡＯＤを用いた場合の原理につい
て図面を参照しながら説明する。

【００１８】図４において、ＡＯＤドライバには、レー
ザービームを偏向するためのウォブル信号が入力され
る。ウォブル信号は電圧制御発信器(ＶＣＯ；Voltage C
ontrolled Oscillator)によって周波数の変化に変換さ
れる。この周波数の平均値は、通常、ＡＦＣ(Auto Freq
uency Controller)によって一定の中心周波数に安定化
されており、このウォブル信号による周波数の変化分が
偏向角に反映される。この高周波信号はＲＦアンプによ
り増幅された後、トランスデューサーによってＴｅＯ_２
などの結晶からなる音響光学素子を伝播する音波に変換
される。このとき、結晶に入射したレーザービームは音
波の周波数に対応する方向に偏向される。図４では、変
調されたウォブル信号が入力されていない時は１次回折
光がｆ１の方向に出射されている。そして、ウォブル信
号が入力されると、中心周波数からの周波数の変化分に
対応した分だけ、即ちｆ１からｆ２にΔθだけ偏向され
た方向にレーザービームが出射されることになる。一般
に偏向角変化分Δθは、 Δθ＝λ・Δｆ／ｖ・・・（１） で表される。ここで、λはレーザービームの波長、Δｆ
は駆動周波数変化分、ｖは用いている音響光学媒体中に
発生する音波の音速である。

【００１９】図６に、かかるＡＯＤによってディスク上
に偏向されて形成されるピット列と、ディスク原盤作製
時にフォーマッター（信号発生器）から出力されるウォ
ブル信号のタイミングを示した。図６においては、紙面
左から右に向かう方向がビームの進行方向である。原盤
露光の際には、ウォブル信号により露光光の偏向位置
（トラック幅方向の露光位置）が制御され、露光信号に
より露光光の照射タイミング（トラック方向の露光位
置）が制御される。

【００２０】まず、フォーマッターからグルーブ終端部
分の露光を示す露光信号を出力した後、ＡＯＤドライバ
ーにマイナス（外周偏向）のウォブル信号が入力される
と、それまでグルーブ上に存在したレーザービーム（露
光光）は、ＡＯＤによりグルーブの中心から外周側に照
射位置が偏向される。このときのレーザービームの偏向
量はウォブル信号の振幅（電圧）に依存するので、ウォ
ブル信号の振幅は、通常、トラック幅方向においてラン
ド中心とグルーブ中心とにそれぞれレーザービームが配
置されるように予め決定されている。次いで、ＡＯＤド
ライバーにプラスのウォブル信号が入力されると、レー
ザービームは内周側に照射位置が偏向される。なお、ウ
ォブル信号の振幅をマイナスまたはプラスに変更したと
きに、レーザービームがグルーブ中心（またはランド中
心）からディスク半径方向外周側と内周側の何れの方向
に偏向されるかは、使用する露光装置に依存する。ここ
ではウォブル信号がマイナスのときレーザービームは外
周側に偏向し、プラスのとき内周側に偏向するものとし
て示した。図６に示したようなプリピットパターンで露
光する場合には、トラック中心から外周側にレーザービ
ームを偏向した時間とレーザービームの偏向量は、内周
側に偏向するときと同じであるために、駆動周波数変化
分Δｆは内周偏向時と外周偏向時で共に等しくなってい
る。

【００２１】つぎに、図１に示すような、ヘッダ領域に
形成されるプリピット列のピットパターンがトラック中
心から外周側と内周側で異なる場合を考える。すなわ
ち、トラック方向において、プリピット列の前半部分が
トラック中心から外周側に偏向され、後半部分がトラッ
ク中心から内周側に偏向されている場合を考える。

【００２２】かかるピットパターンで露光を行いたい場
合には、従来はウォブル信号を図１の中段に示したよう
なタイミングで発生させていた。なお、図１において露
光光の照射タイミングはピット信号によって制御されて
いる。この場合、トラック中心からの偏向量は互いに等
しいが、プリピット列の長さが外周偏向と内周偏向で異
なるために、かかるプリピット列全体のパターンを露光
する際に発生させるウォブル信号においては、露光光を
内周側に偏向するのに要した信号発振時間と外周側に偏
向するのに要した信号発振時間が異なってくる。これ
は、外周偏向と内周偏向では、上記式の駆動周波数変化
分Δｆの時間が互いに異なることを意味する。ＡＯＤ偏
向器を用いた場合には、通常、偏向は駆動周波数の変化
分として偏向角に反映される。ところが、内周偏向時と
外周偏向時に異なるパターンでウォブル信号を出力する
と、ウォブル信号出力後のＡＯＤは、ウォブル信号を出
力する前の安定化された中心周波数からずれた周波数を
中心周波数として有した状態になっている。そのため、
プリピットパターンを露光する毎に、ＡＦＣにより、中
心周波数が常にずれた周波数に安定化されて露光光が次
第にシフトしていくことになる。その結果、プリピット
列領域のウォブル信号の発振が終了した直後の、グルー
ブ部を露光する段階において、中心周波数のずれにより
露光光が所望の位置からディスク半径方向内周側または
外周側にシフトしていくために、グルーブ部が所望の位
置から偏向されて露光されてしまうという現象が生じ
る。かかる現象はドリフト現象と呼ばれる。このような
ＡＯＤの中心周波数のドリフト現象は、製造される光デ
ィスクのプリグルーブやプリピットパターンに位置ずれ
を生じさせ、それによりディスクノイズが発生し、光デ
ィスクの記録再生特性を劣化させる一因となる。

【００２３】そこで、本発明では、露光光を偏向するた
めのウォブル信号を、図１の下段に示すように、内周側
偏向時と外周側偏向時で異なるウォブル信号パターンで
発生させる。すなわち、本発明の原盤露光方法において
例えば図４に示すような構成を有するＡＯＤを用いる場
合には、露光光を外周側に偏向する際に発生させるウォ
ブル信号の偏向時間と、内周側に偏向する際に発生させ
るウォブル信号の偏向時間とを等しくする。また、内周
側と外周側で偏向量が異なる場合には、偏向量の変化分
が内周側と外周側で等しくなるようにする。例えば、露
光信号がオフとなった領域において、ウォブル信号を変
調することによって内周及び外周の偏向時間を互いに一
致させる。図１では内周偏向のプリピット列が短いため
に、内周側に露光光を偏向させるためのプラスのウォブ
ル信号の発振時間が短くなってしまう。本発明では、プ
リピット列の先頭のスペース領域（ピットを形成しない
領域）Ａにおいて、プラスのウォブル信号を発振するこ
とによって、ヘッダ領域中で発生させる内周側偏向と外
周側偏向のウォブル時間をともに等しく揃えている。こ
のとき、図１に示したように、最初のプラスのウォブル
信号を発振した区間Ａではピット信号が入力されていな
いために、露光光はディスク原盤上に照射されていな
い。それゆえ、この区間Ａにおいてウォブル信号を変調
して内周偏向のウォブル信号の発振時間と外周偏向のウ
ォブル信号の発振時間を揃えても、製造されるディスク
原盤に影響を与えることはない。また、内周偏向のウォ
ブル信号の発振時間と外周偏向のウォブル信号の発振時
間を等しくしたことにより、中心周波数からのズレを原
理的にゼロにすることができる。その結果、ヘッダ領域
におけるプリピット列に相当するプリピットパターンの
露光後にドリフト現象は発生せず、所望の形状で原盤を
露光することができる。かかる原盤を用いて製造される
光ディスクは、ドリフト現象に起因するノイズが無く、
記録再生特性も極めて良好である。

【００２４】つぎに、図２に示すように、プリピット列
の長さ及びトラック中心からの偏向量が、内周側偏向と
外周側偏向で異なる場合を考える。かかる場合において
も従来のウォブル信号の発生方法では同様のドリフト現
象の問題が生じる。

【００２５】図２においては、プリピット列が外周側と
内周側で異なるパターンで形成されているのみならず、
トラック幅方向においてグルーブの中心線から外周側偏
向のプリピット列の中心線までの距離（偏向量）と内周
側偏向のプリピット列の中心線までの距離（偏向量）と
が異なっている。かかるピットパターンを露光する際に
は、従来は、図２の中段に示すように、ウォブル信号の
マイナス側の振幅がプラス側の振幅よりも大きくなるよ
うにウォブル信号を発生させるとともに、マイナス側の
信号発振時間をプラス側よりも大きくしていた。しかし
ながら、このようにウォブル信号を発生させてしまう
と、駆動周波数の変化分Δｆが外周偏向と内周偏向で異
なるために、プリピットパターンを露光した後には、結
果として中心周波数からのずれが生じたままとなり、上
述のドリフト現象が生じる。

【００２６】本発明では、図２の下段に示すように、内
周側に偏向するときのウォブル信号パターンと外周側に
偏向するときのウォブル信号パターンとが互いに異なる
ようにウォブル信号を発生させ、ウォブル信号の偏向時
間と偏向量の積の合計（積分値）を内周偏向時と外周偏
向時で等しくする。すなわち、図２の下段に示すよう
に、ウォブル信号の発生時間（偏向時間）を横軸、偏向
量（振幅）を縦軸にしたときに、内周偏向時における偏
向時間と偏向量により区画される面積の合計が、外周偏
向時における偏向時間と偏向量により区画される面積の
合計と等しくなるようにウォブル信号パターンを生成す
る。これにより、ＡＯＤにおいて中心周波数にずれが生
じることが防止される。ヘッダ領域のプリピット列に対
応するピットパターンを露光した後にドリフト現象が発
生することがなくなり、記録再生特性の良好な光記録媒
体用基板を作製することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従う基板及び当該
基板を有する光記録媒体並びに基板を製造するための原
盤の露光方法について説明するが、本発明はこれに限定
されるものではない。

【００２８】

【実施例１】図３に、原盤を露光するための露光装置
（レーザービームレコーダー）の光学系の概略構成図を
示す。レーザービームレコーダーは、図３に示すよう
に、レーザー光源３１、固定光学系３２、可動光学系３
３及びヘッド部３４から主に構成される。固定光学系３
２は、ピット信号に基づいてレーザービーム（露光光）
を変調するためのＡＯＭ（Acousto-Optic Modulator）
４６と、レーザー光源からのレーザービームをＡＯＭ４
６に導くためのビームスプリッターＢＳ１及び光学素子
Ｌ１と、ＡＯＭ４６で変調されたレーザービームを可動
光学系３３に導くためのビームスプリッターＢＳ２及び
光学素子Ｌ２とから主に構成されている。可動光学系３
３は、固定光学系３２からのレーザービームをトラック
幅方向に偏向してトラック中心からのプリピットの位置
を調整するためのＡＯＤ（Acousto-Optic Deflector）
４７と、固定光学系３２からのレーザー光をＡＯＤ４７
に導くための光学素子ＣＬ１と、ＡＯＤで偏向されたレ
ーザー光をヘッド部に導くための光学素子ＣＬ２、Ｌ３
とから主に構成される。

【００２９】ＡＯＤ４７は、図４に示すように、フォー
マッター４１、ＶＣＯ（Voltage Controlled Oscillato
r；電圧制御発振器）４２、ＡＦＣ（Auto Frequency Co
ntroller）４３、ＲＦアンプ４４及び音響光学素子４５
とから主に構成されている。図４において、フォーマッ
ター４１から出力されたウォブル信号は、ＶＣＯ４２に
入力し、周波数の変化に変換される。ＡＦＣ４３は、こ
の周波数の平均値が一定の中心周波数に安定化されるよ
うに制御することができる。中心周波数に安定化された
高周波信号は、ＲＦアンプ４４により増幅された後、ト
ランスデューサーによって音響光学素子４５を伝播する
音波に変換される。

【００３０】図３においてヘッド部３４は、ＡＯＤ４７
にてトラック中心からの偏位量に応じて偏向されたレー
ザービームを、ヘッド部３４に設けられた集光レンズ３
５によって、所定の速度で回転している原盤１００上に
集光して照射することができる。

【００３１】かかるレーザービームレコーダー（ＬＢ
Ｒ）を用いて原盤を露光する方法について以下に説明す
る。

【００３２】まず、表面を研磨したガラス基板上にフォ
トレジストを一定の膜厚で塗布した。次いで、かかるガ
ラス基板を上述のレーザービームレコーダーに装填して
フォトレジストの露光を行なった。このとき、ランドグ
ルーブフォーマットに従うように露光し且つヘッダ領域
内のプリピット列がウォブルしているフォーマット形式
にした。トラックピッチは１．３μｍとし、ダブルスパ
イラル方式でグルーブを露光した。また、ランドの幅及
びグルーブの幅が、共に６５０ｎｍになるようにレーザ
ービームを制御してフォトレジストを露光した。アドレ
スを記述するＩＤ部のビットピッチを０．６μｍにし
て、（１，７）変調方式のプリピット列を作製した。か
かる変調方式の最短２Ｔマーク（ピット）長は８００ｎ
ｍであり、トラック方向において６Ｔマーク（ピット）
とスペース、及び１２Ｔマーク（ピット）とスペースが
配置されるプリピット列とした。ここで、Ｔは、変調方
式により定められるチャネルビット長である。また、ト
ラック方向において、外周側に偏向するプリピット列が
７０％、内周側に偏向するプリピット列が３０％になる
ようにプリピット列を配置した。かかるプリピット列を
露光する際には、外周側に偏向する部分のスペース部に
おいて内周側に偏向するようにウォブル信号の極性を反
転させた。かかるプリピット列を露光する際には、図４
のフォーマッターにて、露光光の外周側への偏向と内周
側への偏向の偏向時間が互いに等しくなるようにウォブ
ル信号を調整した。

【００３３】その後、露光されたガラス原盤をアルカリ
溶液で現像し、所定の溝幅とプリピットパターンを有す
るガラス原盤を得た。

【００３４】次いで、かかるガラス原盤にニッケル電鋳
を行うことにより、ニッケルからなるスタンパを作製し
た。そして、作製したスタンパを射出成形機（不図示）
の金型に装着し、ポリカーボネート樹脂を金型内に射出
充填することにより基板を作製した。こうして得られた
基板上に光磁気記録膜（ＭＯ膜）を成膜して光磁気ディ
スクを作製した。

【００３５】作製した光磁気ディスクを不図示の再生装
置に装填し、プッシュプル法でグルーブのトラッキング
エラー信号をチェックし、不要な雑音がないことを確認
した。また、スペクトラムアナライザーを用いてノイズ
チェックを行い、ディスク起因のノイズが出ていないこ
とを確認した。

【００３６】

【実施例２】本実施例では、ヘッダ領域内のセクタマー
クのパターン（ピット列）が、内周側、中周、外周側で
異なるディスク基板を作製した。図７（ａ）〜（ｃ）
に、ディスク基板の外周、中周及び内周におけるピット
パターン（マークパターン）を示した。６Ｔのピット
（マーク）及びスペース並びに１２Ｔのピット及びスペ
ースの４種類のパターンで作成した。

【００３７】まず、ディスク外周のピットパターンで
は、図７（ａ）に示すように、外周偏向のピット長の総
数と内周偏向のピット長の総数との割合、すなわち非対
称性が、２４Ｔ：４８Ｔ＝１：２になるようにピット及
びスペースを配置した。ディスク中周のピットパターン
では、図７（ｂ）に示すように、外周偏向と内周偏向と
のピット長総数の割合が４８Ｔ：３６Ｔ＝４：３になる
ように、ディスク内周のピットパターンでは、図７
（ｃ）に示すように、外周偏向と内周偏向とのピット長
総数の割合が７２Ｔ：２４Ｔ＝３：１になるようにピッ
ト及びスペースを配置した。基板を製造するための原盤
を露光する際には、ピットが存在しないスペース部分に
おいてウォブル信号を入力し、外周偏向と内周偏向でウ
ォブル信号の偏向時間と偏向量が等しくなるように調整
した。

【００３８】図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、ディス
クの半径位置によって偏向パターンを変えてピット列の
非対称性を変更すれば、ヘッドが高速にディスク上を移
動（シーク）していても、ピット列からの反射光をモニ
ターして光強度変化を検出することにより、ヘッドがデ
ィスクのどの位置上に配置されているかを大まかに知る
ことができる。シーク中にヘッドの位置を更に詳細に知
りたいのであれば、偏向パターンを、半径位置に応じて
異なる３種類以上のパターンに更に増やせばよい。ま
た、正確なアドレス情報を取得したい場合は、それぞれ
のヘッドの位置においてトラッキングを行なってアドレ
ス情報を読み出せば良い。なお、図７においては、説明
の便宜上、セクタマークパターンだけを記載したが、偏
向したセクタマークに続いて、例えば、各セクタ毎に異
なるＩＤ部（アドレス情報などを示すピットパターン）
が形成されていても良い。

【００３９】以上、本発明の基板及びそれを備える光記
録媒体並びに露光方法について実施例により説明した
が、本発明はこれらに限定されるものではない。例え
ば、実施例１では、本発明の基板を備える光記録媒体と
して光磁気ディスクを作製したが、これに限らず、記録
層に相変化材料を用いた相変化型の光ディスクや記録層
に有機色素材料を用いた追記型の光ディスクを製造する
ことも可能である。また、外周側と内周側に偏向したプ
リピット列を異なるピットパターンで形成したが、外周
側のプリピット列と内周側のプリピット列を同じピット
パターンで形成するとともに、トラック幅方向において
グルーブ中心（またはランド中心）からの偏向量（変位
量）のみが互いに異なるように形成することも可能であ
る。また、上記露光装置（レーザービームレコーダー）
では、露光光をディスク半径方向に偏向するためにＡＯ
Ｄを用いたが、電圧によって屈折率が変化する電気光学
素子を備えるＥＯＤ（Electoro-Optic Deflector）を用
いることも可能である。

【００４０】

【発明の効果】本発明のランドグルーブ型基板は、アド
レス情報やセクタマークなどを示すプリピットがグルー
ブ中心（またはランド中心）から外周側及び内周側に異
なるピットパターンで偏向して形成されているので、ヘ
ッダ領域の高密度化を実現することができ、かかる基板
を用いて製造される光記録媒体は、その容量を一層増大
させることが可能となる。

【００４１】本発明の露光方法によれば、既存の露光装
置を用いて、内周側と外周側で異なるピットパターンを
有する基板を容易に製造することができるので本発明の
第１及び第２の態様の基板を製造するための原盤を露光
する方法として極めて好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】外周側と内周側でプリピット列のパターンが異
なる場合のプリピットパターンを露光する際に発生させ
るウォブル信号パターンを示す図である。

【図２】外周側と内周側でプリピット列のパターンと偏
向量が異なる場合のプリピットパターンを露光する際に
発生させるウォブル信号のパターンを示す図である。

【図３】レーザービームレコーダーの光学系の概略構成
図である。

【図４】ＡＯＤ（Acousto-Optic Deflector）偏向器の
構成の概略模式図である。

【図５】ＺＣＡＶ方式フォーマットのセクタマークを示
す図であり、セクタマークが偶数ゾーンと奇数ゾーンで
異なるパターンで形成されている様子を示す。

【図６】外周側と内周側でプリピット列のパターンと偏
向量が同一の場合のプリピットパターンを露光する際に
発生させるウォブル信号のパターンを示す図である。

【図７】実施例２で作製したディスク基板のヘッダ領域
内のセクタマークパターンを示し、図７（ａ）〜（ｃ）
は、それぞれ、ディスク基板の外周、中周及び内周にお
けるピットパターンを示す。

【符号の説明】

３１ レーザー光源 ３２ 固定光学系 ３３ 可動光学系 ３４ ヘッド部 ４６ ＡＯＭ ４７ ＡＯＤ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 11/105 ５４６ Ｇ１１Ｂ 11/105 ５４６Ｄ 20/12 20/12 (72)発明者 杉山 寿紀 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 渡辺 均 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内 Ｆターム(参考） 5D029 KA24 WA02 WA17 WC03 5D044 BC06 CC04 DE02 DE77 5D075 AA03 BB04 DD01 EE03 FF02 FG13 5D090 BB01 CC14 DD03 DD05 EE02 FF15 FF31 GG03 GG10 5D121 BA01 BB01

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ランド及びグルーブを情報トラックとし
   て用いるランドグルーブ記録方式の光記録媒体に用いら
   れる基板において、 情報トラックのセクタ内のヘッダ領域に形成されるプリ
   ピットが、トラック幅方向において情報トラック中心か
   ら内周側に偏位して形成される第１プリピット列と、外
   周側に偏位して形成される第２プリピット列とから構成
   され、 第１プリピット列及び第２プリピット列が互いに異なる
   ピットパターンで形成されていることを特徴とする光記
   録媒体用基板。
2. 【請求項２】 トラック方向において、第１プリピット
   列の長さと第２プリピット列の長さが互いに異なること
   を特徴とする請求項１に記載の光記録媒体用基板。
3. 【請求項３】 第１プリピット列のパターンと第２プリ
   ピット列のパターンに情報を付与することを特徴とする
   請求項２に記載の光記録媒体用基板。
4. 【請求項４】 情報トラック中心からの第１プリピット
   列の変位量と、情報トラック中心からの第２プリピット
   列の変位量が互いに異なることを特徴とする請求項１〜
   ３のいずれか一項に記載の光記録媒体用基板。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか一項に記載の基
   板を備えることを特徴とする光記録媒体。
6. 【請求項６】 上記光記録媒体は、基板上に磁性材料か
   らなる記録層を有する光磁気記録媒体であることを特徴
   とする請求項５に記載の光記録媒体。
7. 【請求項７】 ＺＣＡＶフォーマットに従うことを特徴
   とする請求項５または６に記載の光記録媒体。
8. 【請求項８】 ランド及びグルーブを情報トラックとし
   て用いるランドグルーブ記録方式の光記録媒体に用いら
   れる基板において、 情報トラックのセクタ内のヘッダ領域に形成されるプリ
   ピットが、トラック幅方向において情報トラック中心か
   ら内周側に偏位して形成される第１プリピット列と、外
   周側に偏位して形成される第２プリピット列とから構成
   され、 情報トラック中心からの第１プリピット列の偏位量と、
   情報トラック中心からの第２プリピット列の偏位量とが
   互いに異なることを特徴とする光記録媒体用基板。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の基板を備えることを特
   徴とする光記録媒体。
10. 【請求項１０】 上記光記録媒体は、基板上に磁性材料
    からなる記録層を有する光磁気記録媒体であることを特
    徴とする請求項９に記載の光記録媒体。
11. 【請求項１１】 ＺＣＡＶフォーマットに従うことを特
    徴とする請求項８または９に記載の光記録媒体。
12. 【請求項１２】 ピット信号に基づいてトラック方向に
    おける露光光の照射位置を制御するとともにウォブル信
    号に基づいてトラック幅方向における露光光の照射位置
    を制御し、当該制御した露光光をディスク原盤上に照射
    することによって、セクタ内のヘッダ領域に形成される
    プリピットに相当するパターンをトラック中心からディ
    スク内周側及び外周側に偏向させて露光する露光方法に
    おいて、 露光光を内周側に偏向するときのピット信号パターンと
    外周側に偏向するときのピット信号パターンとを互いに
    異ならせて露光することを特徴とする露光方法。
13. 【請求項１３】 露光光を内周側に偏向するときのウォ
    ブル信号の発生時間と偏向量の積の合計と、露光光を外
    周側に偏向するときのウォブル信号の発生時間と偏向量
    の積の合計とがそれぞれ等しくなるようにウォブル信号
    を変調することを特徴とする請求項１２に記載の露光方
    法。
14. 【請求項１４】 内周側に偏向するときのウォブル信号
    パターンと外周側に偏向するときのウォブル信号パター
    ンとが互いに異なることを特徴とする請求項１２または
    １３に記載の露光方法。
15. 【請求項１５】 内周偏向のプリピットパターン露光時
    及び外周偏向プリピットパターン露光時の少なくとも一
    方において、露光する部分及び露光しない部分で発生さ
    せるウォブル信号のパターンが互いに異なることを特徴
    とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の露光方
    法。
16. 【請求項１６】 露光光をトラック幅方向に偏向するた
    めに、音響光学素子または電気光学素子を備える偏向器
    を用いることを特徴とする請求項１２〜１５のいずれか
    一項に記載の露光方法。
17. 【請求項１７】 内周側に偏向したプリピットパターン
    と外周側に偏向したプリピットパターンが互いに異なる
    パターンで露光されていることを特徴とする請求項１２
    〜１６のいずれか一項に記載の露光方法。