JP2000105948A - 光ディスクの原盤製造方法 - Google Patents

光ディスクの原盤製造方法

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JP2000105948A
JP2000105948A JP10276041A JP27604198A JP2000105948A JP 2000105948 A JP2000105948 A JP 2000105948A JP 10276041 A JP10276041 A JP 10276041A JP 27604198 A JP27604198 A JP 27604198A JP 2000105948 A JP2000105948 A JP 2000105948A
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Nobuhisa Yoshida
展久 吉田
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、グルーブのウォブル量の1パラ
メータを調整するだけで最適な位置関係を見出すことが
でき、カッティングの条件出しが容易になり、かつヘッ
ダ部のグルーブ用のヘッダ領域とランド用のヘッダ領域
のピット列を生成する際に、各ピットを全く同じ光路の
ビームでカッティングすることができ、同一のピットが
形成され、光ディスクの内周側と外周側とにウォブルし
た場合に問題となるピット形状のアンバランスを考慮す
る必要が無くなる。 【解決手段】 この発明は、光ディスク19の原盤の作
成時に、ビームの中心がヘッダ部の中心であり、1周ご
とに、グルーブ用のヘッダID3、ID4とランド用の
ヘッダID1、ID2とを生成し、グルーブ用のヘッダ
ID3、ID4の生成後、ビームを1/2トラックピッ
チ分外周側に変更した状態を基準(ウォブルの中心)と
してウォブルグルーブを生成するようにしたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、データを記録し
たり、記録されているデータが再生される光ディスクを
作成する際に用いる原盤を製造する光ディスクの原盤製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、大容量記録媒体の光ディスクとし
て、ディジタル・ビデオ・ディスク(DVD)が開発さ
れ、この光ディスクにデータを記録したり、この光ディ
スクに記録されているデータを再生する光ディスク装置
が開発されている。
【0003】また従来、光ディスクはグルーブかランド
の一方に記録が行われていたが、グルーブ深さを光学的
に調整する事でグルーブとランドの両方に記録が可能と
なっている。
【0004】上記ランド・グルーブ記録において、各セ
クタのヘッダ部をプリフォーマットで形成する場合に、
ランドとグルーブの両方のアドレスを有効に形成する方
法のーつに、光ディスク基板作製時にグルーブを接線方
向にウォブリングさせて、周波数変調によりアドレス情
報を記録する方法がある。(特開平7−161045号
公報) また、このグルーブウォブルの方式はアドレス情報を記
録するだけでなく、光ディスクに記録/再生を行う際の
基準クロックとなる周波数でウォブルさせる等、多種多
様なディスク固有の情報を持った変調信号でウォブルを
行い用いられる。グルーブウォブルは、現在急激に生産
量が増え主要なメディアとして成長しつつあるCD−R
やMDでも用いられている。
【0005】ランド・グルーブ記録を行う光ディスクの
ヘッダ生成方法は、千鳥プリピット方式となっている。
この場合、ヘッダ部は4つのID部を含んでおり、前半
の2つのID部(ヘッダ1領域:ID1、ヘッダ2領
域:ID2)はランド(グルーブ)のアドレスを、後半
の2つのID部(ヘッダ3領域:ID3、ヘッダ4領
域:ID4)はグルーブ(ランド)のアドレスを示す。
そして後ろに続くグルーブのセンタ部に対して、前半の
ID部は外(内)周側に、後半のID部は内(外)周側
に各々トラックピッチの半分だけずらして(ウォブルさ
せた位置に)プリピットを形成するフォーマット(CA
PAヘッダ)である。この方式により、ランド/グルー
ブのどちらにトラッキングしても、アドレスを読みとる
ことが可能となる。
【0006】現在次世代の可搬可能な大容量書き換え型
メディアとして注目されているDVD−RAMディスク
においても、1997年7月にまとめられたDVD−R
AM規格Ver.1.0により、図7に示すように、ラ
ンド・グルーブ記録が採用され、ヘッダ部は上記千鳥ヘ
ッダ方式が採用されている。またグルーブウォブルも用
い、データ部の記録/再生の時のクロックをグルーブウ
ォブルの周波数から抽出して利用する。
【0007】このフォーマットに適合したメディア(光
ディスク)を製造する場合に、ヘッダ部の各ピットを左
右対称に正確にウォブルする必要がある。ウォブル量が
ずれた場合に、ランドトラッキングとグルーブトラッキ
ングにおけるヘッダ信号振幅に差が生じて、ヘッダ読み
取りエラーが発生する。
【0008】図18の(a)(b)にウォブル量が大き
すぎた場合に観測されるランド/グルーブトラッキング
各々の信号波形を示す(和信号検出)。ウォブル量が大
きすぎる場合には、ピッ卜がランド側に近づくため、図
18の(b)に示すように、ランドトラッキングで信号
振幅の増加が生じ、図18の(a)に示すように、グル
ーブトラッキングで振幅の減少が生じる。
【0009】一方、グルーブも一定周波数でウォブルす
るため、左右のピットを含め3点のウォブル量に関する
パラメータの条件を細かく調整する必要があった。
【0010】ウォブルをさせるには、A.O.変調器も
しくはE.O.変調器を用いて光軸を偏向させる。例え
ばA.O.変調器を用いた場合には、中心周波数に対し
て周波数を上下にふることによって左右2方向(光ディ
スクの内周側と外周側)のウォブルを可能としている。
【0011】図19にA.O.変調器の動作例を示す
が、入射されたレーザ光は作用信号に制御された超音波
がA.O.変調器内に粗密状態を発生させ、それが回折
格子の役割を果たし入射光が偏光される。一般に一次回
折光を偏向に利用している。この時、周波数とウォブル
量の関係に完全な線形性がなく、中心周波数から同じ周
波数だけ動かしても左右のウォブル量が若干異なる。
【0012】そのため、左右の周波数を独立に設定する
必要がある。周波数の最適化は、テストディスクを作製
しAFMの測定や実際にドライブ装置による信号評価で
行うが、信号評価において正規のフォーマットになって
いるのか(図20)、信号評価においてグルーブに対す
る左右ピットの距離が異なっているのか(図21)、距
離は同じだがウォブル量が適当でないのか(図22)判
断が難しい。さらに評価時のトラッキングオフセット
量、チルト量によっても信号が変化するため、最適化に
は時間を要する。
【0013】一方、ディスクの高密度化に伴いヘッダ部
のピット形状の制御を正確に行う必要がある。ウォブル
したビームでピットを形成する際に、ビームはウォブル
されただけ光軸がシフトして対物レンズの中心に入ら
ず、また幾らか斜めに入射される。
【0014】そのため、対物レンズの収差の影響でピッ
トが変形したり左右のピット形状に違いが生じかねな
い。DVD−RAMフォーマットでは、ドライブの検出
ビームがピットの中心を通らずエッジ部分を中心に検出
するため(図23)ピット形状の若干の変形が信号に大
きく影響してしまう。
【0015】さらに、ピットを左右(光ディスクの内周
側と外周側とに)にウォブルさせる場合、前半のID部
(ID1、2)から後半のID部(ID3、4)に移る
短時間にビームの移動が完了しなければいけない。ID
1、2とID3、4の間にはポストアンブルが1バイト
あるがピットのない区間は高々10チャネルピット分し
かない。カッティング作業時間の短縮のため、原盤の回
転数は早くしてカッティングを行うとウォブルにかけら
れる時間がさらに短くなり、変調器の応答速度を上げて
も対応できない可能性がある。
【0016】この場合、カッティングを行う際のフォー
マッタからのカッティングデータのデータ構成は、図4
の(b)に示すようになっており、グルーブトラックの
生成時、ヘッダ部ごとにID1、2、3、4とグルーブ
の露光すべき全てのデータを出力し、次トラックのラン
ドトラックの生成時、全く露光しないデータを出力する
ようになっている。
【0017】この際、上記グルーブトラックの生成時
に、A.O.変調器に供給されるウォブル用のゲー卜信
号は、図5の(b)に示すようになっている。
【0018】以上の方法により作成した基板の形状をA
FMにて測定すると、基板は図24に示すように、ID
1、2のピットの内周側に収差の影響と見られる膨らみ
が生じていた。さらにID1、2よりもID3、4のピ
ットが若干大きくなっていた。
【0019】この基板に成膜を行い作製したディスクA
を、光ディスク評価装置(図示しない)にかけて信号評
価を行った。ディスクAにおいて、観測されるヘッダ部
の波形はID1、2の振幅がID3、4よりも小さく、
さらにランドトラッキングの方が振幅が大きくなってい
た。
【0020】ディスクAにおける各ID毎のVFO振幅
の変調度を、図15に示し、同時にヘッダ部のジッタを
測定した結果を図16に示す。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、グルーブ
のウォブル量の1パラメータを調整するだけで最適な位
置関係を見出すことができ、カッティングの条件出しが
容易になる光ディスクの原盤製造方法を提供することを
目的としている。
【0022】さらに、ヘッダ部のグルーブ用のヘッダ領
域とランド用のヘッダ領域のピット列を生成する際に、
各ピットを全く同じ光路のビームでカッティングするこ
とができ、同一のピットが形成され、光ディスクの内周
側と外周側とにウォブルした場合に問題となるピット形
状のアンバランスを考慮する必要が無くなる光ディスク
の原盤製造方法を提供することを目的としている。
【0023】また、原盤製造装置において、ウォブルし
たビームは光軸が曲げられているため、レンズを通過す
るときに収差の影響を受けやすいので、グルーブの形成
に比べて精密な制御が必要となるピットに対しては、収
差の影響のない対物レンズの中心を通りビーム成形も容
易なビームを用いて製造することで、ピット形状の最適
化が容易となる光ディスクの原盤製造方法を提供するこ
とを目的としている。
【0024】また、グルーブ用のヘッダ領域とランド用
のヘッダ領域との間は、ピットのない範囲が狭くウォブ
ルに要する時間が不足しており、特に外周においてピッ
トクロックが短くなるため厳しくなるという従来の欠点
に対して、グルーブの生成時にのみビーム光をウォブル
させるため、ヘッダ部の最終ピットとグルーブの開始位
置との間の時間が着目されるが、ヘッダ部の後には長い
ミラー部があり、グルーブの終了位置と次セクタのヘッ
ダとの間隔も余裕があるので問題とならない光ディスク
の原盤製造方法を提供することを目的としている。
【0025】
【課題を解決するための手段】この発明の光ディスクの
原盤製造方法は、データが記録されるスパイラル状ある
いは同心円状のトラックを有し、このトラックが1周交
替でグルーブとランドとからなり、所定のトラック長か
らなり、かつ同期コードとトラック上における位置を示
すアドレスデータが複数のプリピット列により記録され
るヘッダ領域とデータが記録される記録領域とを含む複
数の連続したセクタ領域を、複数個有し、上記ヘッダ領
域がランド用の第1のヘッダ領域とグルーブ用の第2の
ヘッダ領域とから構成され、上記第1のヘッダ領域と上
記第2のヘッダ領域とが上記トラックの方向に対して交
差する方向にずれて千鳥状に設けられている光ディスク
に対する原盤を製造する原盤製造装置において、光学系
を用いてレーザ光を照射することにより、上記ヘッダ領
域とグルーブとを生成する際に、上記光学系の中心を用
いてウォブルすることなくトラックごとに上記ランド用
の第1のヘッダ領域と上記グルーブ用の第2のヘッダ領
域とを生成し、上記グルーブ用の第2のヘッダ領域を生
成した後、上記レーザ光を外周側へ1/2トラック分偏
向した状態でウォブルすることによりグルーブトラック
を生成するものである。
【0026】この発明の光ディスクの原盤製造方法は、
データが記録されるスパイラル状あるいは同心円状のト
ラックを有し、このトラックが1周交替でグルーブとラ
ンドとからなり、所定のトラック長からなり、かつ同期
コードとトラック上における位置を示すアドレスデータ
が複数のプリピット列により記録されるヘッダ領域とデ
ータが記録される記録領域とを含む複数の連続したセク
タ領域を、複数個有し、上記ヘッダ領域がランド用の第
1のヘッダ領域とグルーブ用の第2のヘッダ領域とから
構成され、上記第1のヘッダ領域と上記第2のヘッダ領
域とが上記トラックの方向に対して交差する方向にずれ
て千鳥状に設けられている光ディスクに対する原盤を製
造する原盤製造装置において、ガラス板上にフォトレジ
スト層を有するレジスト板を生成し、このレジスト板に
光学系を用いてレーザ光を照射して上記ヘッダ領域とグ
ルーブとに対する露光を行う際に、光学系の中心を用い
てウォブルすることなくトラックごとに上記ランド用の
第1のヘッダ領域と上記グルーブ用の第2のヘッダ領域
とを生成し、上記グルーブ用の第2のヘッダ領域を生成
した後、上記レーザ光を外周側へ1/2トラック分偏向
した状態でウォブルすることによりグルーブトラックを
露光し、この露光がなされた後、上記露光部を現像する
ことにより上記ヘッダ領域とグルーブとを生成するもの
である。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を示す光ディスクの原盤製造装置を説明す
る。
【0028】図1は、スタンパを作成する際のガラス原
盤を作成(マスタリング工程)するカッテング装置を示
すものである。図1において、カッテング装置は、記
録、再生用の光ディスク(RAM)に対するガラス原盤
を作成する際、凹凸の無いガラス基板1上にフォトレジ
ストが塗布された状態で、レーザパワーのオン、オフに
よりフォトレジストを感光/現像することにより、トラ
ックの凹部(グルーブ)と微小な凹形状の記録マーク
(ピット)を形成するようになっている。
【0029】まず、図2の(a)〜(e)を用いて、ガ
ラス原盤を作成する方法について説明する。
【0030】表面精度を保証するため厚み6mmで直径
220mmの強化ガラスで作られたガラス板1をスピン
ドルモータ2の上に乗せ(図2の(a))特定の回転数
で回転させる。その上から有機溶媒に溶かされた感光性
フォトレジスト液を滴下、ガラス板1の回転による遠心
力を利用してフォトレジスト液を均一に広げる。この塗
布法をスピナーコーティング法と一般には呼ばれてい
る。その後ガラス板1ごと60〜300゜Cに高温放置
して有機溶媒を蒸発させ、均一な厚みdr(約800オ
ームストロング)のフォトレジスト層3を形成する(図
2の(b))。露光用のレジスト盤の作製。
【0031】後述する図3の(f)〜(k)の工程で転
写効率が低下するが、仮に全行程での転写効率が100
%だった場合にはこのフォトレジスト層3の厚みdrが
最終的な光ディスクの記録膜4上でのピット深さまたは
プリグルーブ深さになる。
【0032】その後、後述する原盤記録装置によりレー
ザ光5を対物レンズ6により集光させてフォトレジスト
層3を断続的に露光し、露光部4を作成する(図2の
(c))。全周に渡る露光が完了するとガラス板1ごと
原盤記録装置から外し、図2の(d)に示すようにガラ
ス板1を回転させながら現像液7を特定時間滴下。
【0033】すると図2の(e)のように露光部4が融
けて欠落し、段差drの微小凹凸が出来上がる。このよ
うにして出来上がったガラス板1とフォトレジスト層3
を光ディスクの原盤8と呼んでいる。
【0034】次に、図3の(f)〜(k)を用いて、上
記作成されたガラス原盤8を用いて光ディスク(DVD
−RAM)19を製造する方法について説明する。
【0035】すなわち、上記のようにして作成した原盤
8をスピンドルモータ2からはずし、Niによる無電解
メッキ、電解メッキ(電鋳メッキ)により原盤8の凹凸
形状のレプリカを取る。図3の(f)に示すようにこの
ようにして形成したレプリカをマスター板9と呼んでい
る。マスター板9作成が完了するとアセトンなどの有機
溶剤中に付けてフォトレジスト層4を溶かしてマスター
板9を原盤8から剥離する。その後マスター板9を元に
電解メッキ(電鋳メッキ)によりマザー板10を作成し
た後(図3の(g))、マザー板10をマスター板9か
ら剥離する。再度マザー板10を元にして電解メッキ
(電鋳メッキ)によりスタンパ11を作成する(図3の
(h))。
【0036】一般に光ディスクの透明プラスチック基板
14は“射出成形”と言う方法を用いて作成する。すな
わち図3の(i)の用に金型A12、金型B13を配置
し、その間の隙間に高温でどろどろに溶かした樹脂材
(一般に使用材料としてポリカーボネート、PMMAや
ABSを用いる場合が多い)を押し込む。上記の工程で
作成したスタンパ11は金型A12に取り付けて有るの
で、樹脂材が押し込まれた段階でスタンパ11の微小な
凹凸形状が樹脂材に転写される。その後、数分放置して
金型A12、金型B13ごと樹脂材を常温まで冷やし、
樹脂材が冷えて固まった頃金型A12、金型B13の間
を広げてプラスチック基板14(上記の冷えて固まり・
凹凸形状が転写された樹脂材をプラスチック基板14と
呼んでいる)を取り出す。
【0037】このようにして得たプラスチック基板14
を真空中に配置し、スパッタ蒸着や真空蒸着やイオンプ
レーティングなどの蒸着により記録膜15をプラスチッ
ク基板14上に形成し、図3の(j)のような構造を作
る。このようにして作成した物を2枚記録膜15、17
が内側になるように配置し、その間を接着膜16で充填
して図3の(k)のような光ディスク19を完成させ
る。
【0038】図2の(c)で示したフォトレジスト層3
を局所的に露光させる原盤記録装置の構造を図1に示
す。前述したようにガラス板1はスピンドルモータ2上
で特定の回転数で回転する。レーザ光5は折り返しミラ
ー21で反射後対物レンズ6によりフォトレジスト層3
上に集光する。折り返しミラー21と対物レンズ6は可
動部22として一体になってガラス板1の半径方向に移
動する。この可動部22は送りモータ23と送りギヤ2
4により移動する。図示していないがガラス板1上の集
光スポット位置を光学的にモニタするモニタ部分を持
ち、このモニタ出力に応じてスピンドルモータ2の回転
数が変化し、ガラス板1上での相対的集光スポットの移
動速度(線速)が常に一定になるように原盤記録制御部
25がコントロールしている。
【0039】レーザ光源26から出たレーザ光(例えば
ArレーザもしくはKrレーザ)5はE.O.変調器2
7とA.O.変調器28を通過後折り返しミラー21へ
到達する。微小な凹凸ピット形状であるプリピット信号
はプリピッ卜信号発生器29の信号に応じて高速スイッ
チ30をオン/オフして可変電圧発生器31の電圧を
E.O.変調器27に対して印加したり、解放する。こ
のE.O.変調器27に対する印加電圧を変えるとE.
O.変調器27を通過するレーザ光量が変化する。この
ようにしてフォトレジスト層3へ到達するレーザ光量を
変化させてフォトレジスト層3上の露光部4、非露光部
を作る。
【0040】この際、フォーマッタからのカッティング
データのデータ構成は、図4の(a)に示すようになっ
ており、グルーブトラックの生成時、ヘッダ部51ごと
にヘッダ3領域(ID3)、ヘッダ4領域(ID4)の
データとグルーブのデータ「1、…」を出力し、次トラ
ックのランドトラックの生成時、ヘッダ部51ごとにヘ
ッダ1領域(ID1)、ヘッダ2領域(ID2)のデー
タとランドのデータ「0、…」を出力するようになって
いる。
【0041】特定周波数発振器32により特定周波数の
電圧をA.O.変調器28に加えることによりA.O.
変調器28内の特定の距離的周期を持った定在波(A.
O.変調器28素子内の分子間の粗密波)が発生する。
この定在波によりレーザ光5がブラック(Bragg)
反射を受け、特定の方向に曲げられる。従ってこの定在
波の距離的周期が変わることによりブラック(Brag
g)条件が変わり、レーザ光5の曲がる角度も変化す
る。つまり特定周波数発振器32の出力周波数を変える
ことによりレーザ光5の進行方向が変化し、その結果フ
ォトレジスト層3上で集光点位置が半径方向に移動す
る。
【0042】上記対物レンズ6を用いてレーザ光を照射
することにより、上記ヘッダ領域とグルーブとを生成す
る際に、上記対物レンズ6の中心を用いてウォブルする
ことなくトラックごとに上記ランド用の第1のヘッダ領
域と上記グルーブ用の第2のヘッダ領域とを生成し、上
記グルーブ用の第2のヘッダ領域を生成した後、上記レ
ーザ光を外周側へ1/2トラック分偏向した状態でウォ
ブルすることによりグルーブトラックを生成する。この
場合にはトラックピッチ(ランド・グルーブ間のピッ
チ)の半分だけ集光スポットがフォトレジスト層3上で
半径方向(外周方向)にずれるように特定周波数発振器
32の周波数を変化させる。
【0043】プリグルーブが特定周期蛇行する構造を有
する光ディスクの場合にはウォーブル・グルーブ発生器
/グルーブ・ピット切替器33の出力に応じて特定の周
期で周波数発振器32の周波数が変化している。
【0044】上記ウォーブル・グルーブ発生器/グルー
ブ・ピット切替器33の出力を、本願に合わせて変更し
ている。
【0045】すなわち、後述する各ヘッダ部51におけ
るゲート信号が、図5の(a)に示すように、ヘッダ部
51とヘッダ部51間のグルーブに対応している。これ
により、ヘッダ部51はウォブルされず、グルーブに対
してウォブルされる。
【0046】ただし、グルーブを生成している1周のト
ラックにおける、上記ヘッダ部51としては、ヘッダ3
領域(ID3)、ヘッダ4領域(ID4)が生成され、
グルーブを生成しないランドに対する1周のトラックに
おける、上記ヘッダ部51としては、ヘッダ1領域(I
D1)、ヘッダ2領域(ID2)が生成される。
【0047】次に、上記作成された光ディスク40の構
造について説明する。
【0048】上記光ディスク40は、例えば厚さ0.6
mmのポリカーボネイトあるいはアクリル等の透明樹脂
からなる円盤状基板、相変化形の記録膜、反射膜、保護
膜および張り合わせのためのシートや接着剤から構成さ
れる。透明基板に凹凸形状で溝やヘッダ情報を記録し、
凹凸面に記録膜などを成膜したのち凹凸面どうしを張り
合わせ、両面において記録再生が可能な構成とする。
【0049】上記光ディスク19は、図6、図7に示す
ように、あらかじめトラッキング用のウォブルされてい
るグルーブとトラックアドレス等を示すプリピット(エ
ンボスピット)列からなるヘッダ部51から構成されて
いる。
【0050】すなわち、データ記録時の基準となる信号
を得るため、トラッキング用のグルーブを一定周期でウ
ォブルさせている。
【0051】ヘッダ部51は、ランド用の第1のヘッダ
領域(ヘッダ1領域(ID1)、ヘッダ2領域(ID
2))とグルーブ用の第2のヘッダ領域(ヘッダ3領域
(ID3)、ヘッダ4領域(ID4))とが1トラック
ピッチ分半径方向に離間した状態で設けられるようにな
っている。
【0052】上記光ディスク19は、図8、図9に示す
ように、内側から順に、リードインエリア42のエンボ
スデータゾーン45と書換え可能なデータゾーン46、
データエリア43のゾーン43a、…43x、およびリ
ードアウトエリア44のデータゾーンからなり、それぞ
れのゾーンに対するクロック信号は同一であり、各ゾー
ンに対する光ディスク19の回転数(速度)と1トラッ
クずつのセクタ数とがそれぞれ異なったものとなってい
る。
【0053】リードインエリア42は、複数(189
6)のトラックからなるエンボスデータゾーン45と複
数のトラックからなる書換え可能なデータゾーン46と
からなる。エンボスデータゾーン45は、ブランクゾー
ン、リファレンスシグナルゾーン、ブランクゾーン、コ
ントロールデータゾーン、ブランクゾーンからなる。エ
ンボスデータゾーン45には、リファレンスシグナルや
コントロールデータが製造時に記録されている。書換え
可能なデータゾーン46は、ガードトラック用のゾー
ン、ディスクテスト用のゾーン、ドライブテスト用のゾ
ーン、ディスク識別データ用のゾーン、および交替管理
エリアとしての交替管理ゾーンにより構成されている。
【0054】データエリア43は、半径方向に複数(1
888)のトラックからなる複数たとえば24のゾーン
43a、…43xにより構成されている。ただし、ゾー
ン43aだけは書換え可能なデータゾーン46を含めて
1888トラックとなっている。
【0055】リードアウトエリア44は、複数(144
6)のトラックからなり、上記書換え可能なデータゾー
ン46と同様に、書換え可能なデータゾーンであり、デ
ータゾーン46の記録内容と同じものが記録できるよう
になっている。
【0056】データエリア43のゾーン43a、…43
xでは、光ディスク19の内周側から外周側に向かうの
にしたがって、回転数(速度39.78〜16.91H
z)が遅くなり、1トラックずつのセクタ数(17〜4
0)が増加するようになっている。
【0057】上記データエリア43のゾーン43a、…
43xのトラックには、図8、図9に示すように、デー
タの記録の単位としてのECC(error correction cod
e )ブロックデータ単位(たとえば38688バイト)
ごとに、データが記録されるようになっている。
【0058】ECCブロックは、2Kバイトのデータが
記録される16個のセクタからなり、各セクタごとにア
ドレスデータとしての4バイト(32ビット)構成のセ
クタID(識別データ)1〜ID16が2バイト構成の
エラー検知コード(IED:IDエラーディテクション
コード)とともにメインデータ(セクタデータ)に付与
され、ECCブロックに記録されるデータを再生するた
めのエラー訂正コードとしての横方向のECC(error
correction code )1と縦方向のECC2が記録される
ようになっている。このECC1、2は、光ディスク1
9の欠陥によりデータが再生できなくなることを防止す
るために冗長語としてデータに付与されるエラー訂正コ
ードである。
【0059】各セクタは、172バイトで12行のデー
タにより構成され、各行(ライン)ごとに10バイト構
成の横方向のECC1が付与されているとともに、18
2バイト構成の1行分の縦方向のECC2が付与されて
いる。これにより、後述するエラー訂正回路92は、横
方向のECC1を用いて各ラインごとのエラー訂正処理
を行うとともに、縦方向のECC2を用いて各列ごとの
エラー訂正処理を行うようになっている。
【0060】上記ECCブロックが光ディスク19に記
録される際には、各セクタの所定のデータ量ごと(所定
データ長さ間隔ごとたとえば91バイト:1456チャ
ネルビットごと)にデータを再生する際にバイト同期を
取るための同期コード(2バイト:32チャネルビッ
ト)が付与されている。
【0061】各セクタは、第0フレームから第25フレ
ームの26個のフレームから構成され、各フレームごと
に付与されている同期コード(フレーム同期信号)が、
フレーム番号を特定するための特定コード(1バイト:
16チャネルビット)と、各フレーム共通の共通コード
(1バイト:16チャネルビット)とから構成されてい
る。
【0062】上記データエリア43のゾーン43a、…
43xのトラックには、図7、図8に示すように、各セ
クタごとに、それぞれアドレス等が記録されているヘッ
ダ部51、…があらかじめプリフォーマッティングされ
ている。
【0063】上記ヘッダ部51は、グルーブの形成時
に、形成されるようになっている。このヘッダ部51
は、図10、図11に示すように、複数のピットからな
る複数のヘッダ領域52により構成されており、グルー
ブ53に対して図のようにプリフォーマットされてお
り、各ヘッダ領域52のピット列の中心は、グルーブ5
3とランド54の境界線の振幅の中心の同一線上の位置
に存在する。図10は、各トラックの先頭のセクタに付
与されるヘッダ部51であり、図11は、各トラックの
途中のセクタに付与されるヘッダ部51である。
【0064】この場合、グルーブ用の第2のヘッダ領域
(ヘッダ3領域、ヘッダ4領域)とランド用の第1のヘ
ッダ領域(ヘッダ1領域、ヘッダ2領域)とが1トラッ
クごとに形成されることにより、結果として交互(千鳥
状)に形成されている。
【0065】上記1セクタごとのフォーマットが、図1
2に示されている。
【0066】図12において、1セクタは、2697バ
イト(bytes)で構成され、128バイトのヘッダ領域
(ヘッダ部51に対応)51、2バイトのミラー領域5
7、2567バイトの記録領域58から構成されてい
る。
【0067】上記セクタに記録されるチャネルビット
は、8ビットのデータを16ビットのチャネルビットに
8−16コード変調された形式になっている。
【0068】ヘッダ領域51は、光ディスク19を製造
する際に所定のデータが記録されているエリアである。
このヘッダ領域51は、4つのヘッダ1領域、ヘッダ2
領域、ヘッダ3領域、ヘッダ4領域により構成されてい
る。
【0069】ヘッダ1領域〜ヘッダ4領域は、46バイ
トあるいは18バイトで構成され、36バイトあるいは
8バイトの同期コード部VFO(Variable Frequency O
scillator )、3バイトのアドレスマークAM(Addres
s Mark)、4バイトのアドレス部PID(Position Ide
ntifier )、2バイトの誤り検知コードIED(ID Err
or Detection Code)、1バイトのポストアンブルPA
(Postambles)により構成されている。
【0070】ヘッダ1領域、ヘッダ3領域は、36バイ
トの同期コード部VFO1を有し、ヘッダ領域2、ヘッ
ダ4領域は、8バイトの同期コード部VFO2を有して
いる。
【0071】ただし、ヘッダ1領域の先頭の同期コード
部VFO1の十数個のピット列(約10μsec分)が
ウォブルされず、対応するグルーブ53の中心に対応し
た位置に形成されている。このウォブルされないピット
列の長さは、1ピットから64ピット内であれば幾つで
も良く、PLLの引き込みが行えるピット列が残ってい
れば良い。
【0072】また、ヘッダ3領域の先頭の同期コード部
VFO1の1個のピット(約0.6μsec分)がウォ
ブルされず、対応するヘッダ2領域に対応した位置に形
成されている。
【0073】同期コード部VFO1、2は、PLLの引
き込みを行うための領域で、同期コード部VFO1はチ
ャネルビットで“0001…”の連続を“36”バイト
(チャネルビットで576ビット)分記録(一定間隔の
パターンを記録)したものであり、同期コード部VFO
2はチャネルビットで“0001…”の連続を“8”バ
イト(チャネルビットで128ビット)分記録したもの
である。
【0074】アドレスマークAMは、どこからセクタア
ドレスが始まるかを示す“3”バイトの同期コードであ
る。このアドレスマークAMの各バイトのパターンは
“0100100000000100”というデータ部分には現れない特
殊なパターンが用いられる。
【0075】アドレス部PID1〜4は、4バイトのア
ドレス情報としてのセクタアドレス(ID番号を含む)
が記録されている領域である。セクタアドレスは、トラ
ック上における物理的な位置を示す物理アドレスとして
の物理セクタ番号であり、この物理セクタ番号はマスタ
リング工程で記録されるため、書き換えることはできな
いようになっている。
【0076】ID番号は、例えばPID1の場合は
“1”で、1つのヘッダ部51で4回重ね書きしている
内の何番目かを表す番号である。
【0077】誤り検知コードIEDは、セクタアドレス
(ID番号含む)に対するエラー(誤り)検知符号で、
読み込まれたPID内のエラーの有無を検知することが
できる。
【0078】ポストアンブルPAは、復調に必要なステ
ート情報を含んでおり、ヘッダ部51がスペースで終了
するよう極性調整の役割も持つ。
【0079】ミラー領域57は、トラッキングエラー信
号のオフセット補正、ランド/グルーブ切り替え信号の
タイミング発生等に利用される。
【0080】記録領域58は、10〜26バイトのギャ
ップ領域、20〜26のガード1領域、35バイトのV
FO3領域、3バイトのプレ−シンクロナスコード(P
S)領域、2418バイトのデータ領域、1バイトのポ
ストアンブル3(PA3)領域、48〜55バイトのガ
ード2領域、および9〜25バイトのバッファ領域によ
り構成されている。
【0081】この記録領域58は、先頭に設けられてい
るウォブルしない領域58aとこの領域に続いて設けら
れている所定の周波数に基づいて所定のウォブル振幅量
でウォブルする領域とから構成されている。
【0082】ギャップ領域は、何も書かない領域であ
る。
【0083】ガード1領域は、相変化記録媒体特有の繰
り返し記録時の終端劣化がVFO3領域にまで及ばない
ようにするために設けられた領域である。
【0084】VFO3領域もPLLロック用の領域では
あるが、同一パターンの中に同期コードを挿入し、バイ
ト境界の同期をとることも目的とする領域である。
【0085】PS(pre-synchronous code)領域は、デ
ータ領域につなぐための同調用の領域である。
【0086】データ領域は、データID、データIDエ
ラー訂正コードIED(Data ID Error Detection Cod
e)、同期コード、ECC(Error Correction Code
)、EDC(Error Detection Code)、ユーザデータ
等から構成される領域である。データIDは、各セクタ
の4バイト(32チャネルビット)構成のセクタID1
〜ID16である。データIDエラー訂正コードIED
は、データID用の2バイト(16ビット)構成のエラ
ー訂正コードである。
【0087】上記セクタID(1〜16)は、1バイト
(8ビット)のセクタ情報と、3バイトのセクタ番号
(トラック上における論理的な位置を示す論理アドレス
としての論理セクタ番号)から構成されている。セクタ
情報は、1ビットのセクタフォーマットタイプ領域、1
ビットのトラッキング方法領域、1ビットの反射率領
域、1ビットのリザーブ領域、2ビットのエリアタイプ
領域、1ビットのデータタイプ領域、1ビットのレイヤ
番号領域により構成されている。
【0088】論理セクタ番号は、初期欠陥によるスリッ
プ交替処理により、物理セクタ番号と異なったものとな
る。
【0089】PA(postamble )3領域は、復調に必要
なステート情報を含んでおり、前のデータ領域の最終バ
イトの終結を示す領域である。
【0090】ガード2領域は、相変化記録媒体特有の繰
り返し記録時の終端劣化がデータ領域にまで及ばないよ
うにするために設けられた領域である。
【0091】バッファ領域は、データ領域が次のヘッダ
部51にかからないように、光ディスク19を回転する
モータの回転変動などを吸収するために設けられた領域
である。
【0092】ギャップ領域が、10+J/16バイトと
いう表現になっているのは、ランダムシフトを行うから
である。ランダムシフトとは相変化記録媒体の繰り返し
記録劣化を緩和するため、データの書き始めの位置をず
らすことである。ランダムシフトの長さはデータ領域の
最後尾に位置するバッファ領域の長さで調整され、1つ
のセクタ全体の長さは2697バイト一定である。
【0093】上述した原盤も上記した光ディスク19と
同じ構成となっている。
【0094】以上の方法により作成した光ディスク19
(基板)の形状をAFM(原子間力顕微鏡)にて測定す
ると、光ディスク19は当然のことながらヘッダ1領
域、ヘッダ2領域とヘッダ3領域、ヘッダ4領域が全く
同じ形状を有するのに対して、従来の光ディスク(基
板)は図24のモデル図に示すように、ヘッダ1領域、
ヘッダ2領域のピットの外周側に収差の影響と見られる
膨らみが生じていた。さらにヘッダ1領域、ヘッダ2領
域よりもヘッダ3領域、ヘッダ4領域のピットが若干大
きくなっていた。
【0095】次に、上記作成された光ディスク19のヘ
ッダ部51の生成状態を読取信号により評価する光ディ
スク評価装置を図13に示す。
【0096】この光ディスク評価装置は、スピンドルモ
ータ61に光ディスク18を固定して光ディスク18を
所定の方向に回転させる。半導体レーザ62から出射し
た光はコリメータレンズ63を通り平行光に変換され、
偏光ビームスプリッタ64で入射面に平行な光波の振動
のみが通過し、λ/4波長板65を通り円偏光された後
で、対物レンズ66によって光ディスク18上に集光さ
れる。一方、光ディスク18上で反射された光は、λ/
4波長板65で円偏光から直線偏光に変わり、偏光ビー
ムスプリッタ64で進行方向が90度曲げられる。受光
された光は光電変換され、フィードバック信号として信
号処理系69とサーボ系70に送られる。信号処理系6
9では記録及び再生を行う。
【0097】上述したように構成したヘッダ部51を評
価した場合の波形の一例を図14の(a)(b)に示
す。図14の(a)はグルーブトラッキング時のヘッダ
部51の和信号波形であり、図14の(b)はランドト
ラッキング時のヘッダ部51の和信号波形である。
【0098】したがって、グルーブトラッキング、ラン
ドトラッキングともヘッダ1領域、ヘッダ2領域とヘッ
ダ3領域、ヘッダ4領域のバランスがとれている。
【0099】これに対して、従来の光ディスクでは、ヘ
ッダ1領域、ヘッダ2領域の振幅がヘッダ3領域、ヘッ
ダ4領域よりも小さく、さらにランドトラッキングの方
が振幅が大きくなっていた。
【0100】図15に本発明の光ディスク19(ディス
クB)と従来の光ディスク(ディスクA)のVFO振幅
の変調度をヘッダ1領域、ヘッダ2領域とヘッダ3領
域、ヘッダ4領域とで比較した結果を示す。
【0101】これにより、本発明の光ディスク19は従
来の光ディスクに比べ、ヘッダ1領域、ヘッダ2領域と
ヘッダ3領域、ヘッダ4領域との振幅のバランスが良く
取れていることがわかる。
【0102】また、同時に本発明の光ディスク19(デ
ィスクB)と従来の光ディスク(ディスクA)のヘッダ
部51のジッタを測定した結果を、図16にまとめた。
図16により、本発明の光ディスク19はヘッダ1領
域、ヘッダ2領域とヘッダ3領域、ヘッダ4領域とでジ
ッタが「9%」前後に落ち着いているが、従来の光ディ
スクはピットの小さいヘッダ1領域、ヘッダ2領域でジ
ッタが悪くなっている。
【0103】リファレンス信号を用いた評価の一例とし
てジッタ測定を行う場合には、図13の信号処理系69
にて適当な出力に増幅されたヘッド信号が、イコライザ
71による波形等価、2値化回路72による2値化信号
の生成を行う。この2値化信号とピットクロック信号を
タイムインターバルアナライザ73にいれて、データと
クロックのジッタを測る。このジッタ値からピット形成
の安定性を確認でき、さらにジッタを最小になる状態に
合わせることでチルト・フォーカスの調整が行われる。
【0104】次に、上記光ディスク19を扱う光ディス
ク装置について説明する。
【0105】図17は、光ディスク装置を示すものであ
る。この光ディスク装置は、光ディスク(DVD−RA
M)19へのデータの記録及びこの光ディスク19から
データを再生するものである。
【0106】この光ディスク装置は、DVD−RAMの
みならず他のDVDディスクやCDディスクからもデー
タの読み出しが可能で、書換可能なDVDディスクに対
してデータの書き込みが可能な装置として構成されてい
る。
【0107】したがって、光ピック・アップ82は、D
VD用の対物レンズ83及びCD用の対物レンズ84を
有している。光ピック・アップ82内には、DVD用の
対物レンズ83及びCD用の対物レンズ84に対応して
DVD用及びCD用の半導体レーザ・ユニット(図示せ
ず)が設けられ、装填された光ディスク19がDVDデ
ィスク或いはCDディスクかに応じてこの半導体レーザ
・ユニットの一方が選択され、レーザ制御ユニット85
によって付勢され、それぞれ対応する波長のレーザ・ビ
ームを発生する。DVD用及びCD用の半導体レーザ・
ユニットのいずれかが選択されて付勢されると、光ディ
スク19に対応するレーザ・ビームが対応する対物レン
ズ83、84に向けられ、この対物レンズ83、84に
よって光ディスク19に収束される。この収束されたレ
ーザ・ビームで光ディスク19にデータが書き込まれ、
或いは、再生される。
【0108】レーザ制御ユニット85は、DVDデータ
処理ユニット86によってその設定がセットされるが、
その設定は、再生信号を得る再生モード、データを記録
する記録モード及びデータを消去する消去モード並びに
DVDディスクに対するデータ処理を実行するDVDモ
ード及びCDディスクに対するデータ処理を実行するC
Dモードで異なっている。即ち、DVDモードでは、D
VD用の半導体レーザ・ユニットが選択されて付勢さ
れ、また、CDモードでは、CD用の半導体レーザ・ユ
ニットが選択されて付勢される。DVD用或いはCD用
のレーザ・ビームは、再生モード、記録モード及び消去
モードの3つのモードでそれぞれ異なるレベルのパワー
を有し、そのモードに対応したパワーのレーザビームが
発生されるように半導体レーザ・ユニットがレーザ制御
ユニット85によって付勢される。
【0109】DVD用の対物レンズ83及びCD用の対
物レンズ84に対向してDVDディスク1或いはCDデ
ィスクが配置されるように、このDVDディスク或いは
CDディスクは、直接或いはディスク・カートリッジ1
9aに収納されてトレー87によって装置内に搬送され
る。このトレー87を駆動する為のトレーモータ88が
装置内に設けられている。また、装填されたDVDディ
スク19或いはCDディスクは、スタンパ89によって
回転可能にスピンドル・モータ90上に保持され、この
スピンドル・モータ90によって回転される。光ピック
・アップ82は、送りモータ91によって駆動される送
り機構(図示せず)上に載置され、この送り機構によっ
て光ディスク19の半径方向に移動される。
【0110】光ピックアップ82は、その内にレーザビ
ームを検出する光検出器(図示せず)を有している。こ
の光検出器は、光ディスク19で反射されて対物レンズ
83、84を介して戻されたレーザ・ビームを検出して
いる。光検出器からの検出信号(電流信号)は、電流/
電圧変換器(I/V)92で電圧信号に変換され、この
信号は、リファレンス・アンプ93及びサーボ・アンプ
94に供給される。リファレンス・アンプ93からは、
後述するヘッダ部51のデータの再生用としてのトラッ
キングエラー信号と記録領域58のデータの再生用とし
ての加算信号がDVDデータ処理ユニット86に出力さ
れる。サーボ・アンプ94からのサーボ信号(トラック
エラー信号、フォーカス信号)は、DVDモードでは、
DVDサーボ・シーク制御ユニット95に出力され、C
Dモードでは、CDサーボ・シーク制御並びにCDデー
タ処理ユニット96に出力される。
【0111】フォーカスずれ量を光学的に検出する方法
としては、たとえば次のようなものがある。
【0112】[非点収差法] 光ディスク19の光反射
膜または光反射性記録膜で反射されたレーザ光の検出光
路に非点収差を発生させる光学素子(図示せず)を配置
し、光検出器上に照射されるレーザ光の形状変化を検出
する方法である。光検出領域は対角線状に4分割されて
いる。各検出領域から得られる検出信号に対し、DVD
サーボ・シーク制御ユニット95内で対角和間の差を取
ってフォーカスエラー検出信号(フォーカス信号)を得
る。
【0113】[ナイフエッジ法] 光ディスク19で反
射されたレーザ光に対して非対称に一部を遮光するナイ
フエッジを配置する方法である。光検出領域は2分割さ
れ、各検出領域から得られる検出信号間の差を取ってフ
ォーカスエラー検出信号を得る。
【0114】通常、上記非点収差法あるいはナイフエッ
ジ法のいずれかがが採用される。
【0115】光ディスク19はスパイラル状または同心
円状のトラックを有し、トラック上に情報が記録され
る。このトラックに沿って集光スポットをトレースさせ
て情報の再生または記録/消去を行う。安定して集光ス
ポットをトラックに沿ってトレースさせるため、トラッ
クと集光スポットの相対的位置ずれを光学的に検出する
必要がある。
【0116】トラックずれ検出方法としては一般に、次
の方法が用いられている。
【0117】[位相差検出(Differential Phase Detec
tion)法] 光ディスク19の光反射膜または光反射性
記録膜で反射されたレーザ光の光検出器上での強度分布
変化を検出する。光検出領域は対角線上に4分割されて
いる。各検出領域から得られる検出信号に対し、DVD
サーボ・シーク制御ユニット95内で対角和間の差を取
ってトラックエラー検出信号(トラッキング信号)を得
る。
【0118】[プッシュプル(Push-Pull )法] 光デ
ィスク19で反射されたレーザ光の光検出器上での強度
分布変化を検出する。光検出領域は2分割され、各検出
領域から得られる検出信号間の差を取ってトラックエラ
ー検出信号を得る。
【0119】[ツインスポット(Twin-Spot )法] 半
導体レーザ素子と光ディスク1間の送光系に回折素子な
どを配置して光を複数に波面分割し、光ディスク19上
に照射する±1次回折光の反射光量変化を検出する。再
生信号検出用の光検出領域とは別に+1次回折光の反射
光量と−1次回折光の反射光量を個々に検出する光検出
領域を配置し、それぞれの検出信号の差を取ってトラッ
クエラー検出信号を得る。
【0120】DVDモードでは、DVDサーボ・シーク
制御ユニット95からフォーカス信号、トラッキング信
号及び送り信号がフォーカス及びトラッキング・アクチ
ュエータ・ドライバ並びに送りモータドライバ97に送
られ、このドライバ97によって対物レンズ83、84
がフォーカス・サーボ制御され、また、トラッキング・
サーボ制御される。更に、アクセス信号に応じてドライ
バ97から付勢信号が送りモータ91に供給され光ピッ
ク・アップ82が搬送制御される。このDVDサーボ・
シーク制御ユニット95は、DVDデータ処理ユニット
86によって制御される。例えば、DVDデータ処理ユ
ニット86からアクセス信号がDVDサーボ・シーク制
御ユニット95に供給されて送り信号が生成される。ま
た、DVDデータ処理ユニット86からの制御信号でス
ピンドル・モータ・ドライバ98及びトレー・モータ・
ドライバ99が制御され、スピンドルモータ90及びト
レー・モータ88が付勢され、スピンドル・モータ90
が所定回転数で回転され、トレーモータ88がトレーを
適切に制御することとなる。DVDデータ処理ユニット
86に供給されたヘッダ部51のデータに対応する再生
信号は、後述するCPU105に供給される。これによ
り、上記CPU105は、その再生信号によりヘッダ部
51のアドレスを判断し、アクセスするアドレスとの比
較を行うようになっている。DVDデータ処理ユニット
86に供給された記録領域58のデータに対応する再生
信号は、RAM100に必要なデータが格納され、再生
信号がこのDVDデータ処理ユニット86で処理されて
バッファとしてのRAM101を有するSCSIインタ
フェース制御部並びにCD−ROMデコーダ102に供
給され、SCSIを介して他の装置、例えば、パーソナ
ル・コンピュータに再生処理信号が供給される。
【0121】CDモードでは、CDサーボ・シーク制御
並びにCDデータ処理ユニット96からフォーカス信
号、トラッキング信号及び送り信号がフォーカス及びト
ラッキング・アクチュエータ・ドライバ並びに送りモー
タドライバ97に送られ、このドライバ97によって対
物レンズ83、84がフォーカス・サーボ制御され、ま
た、トラッキング・サーボ制御される。更に、アクセス
信号に応じてドライバ97から付勢信号が送りモータ9
1に供給され光ピック・アップ82が搬送制御される。
このCDサーボ・シーク制御並びにCDデータ処理ユニ
ット96からの制御信号でスピンドル・モータ・ドライ
バ98及びトレー・モータ・ドライバ99が制御され、
スピンドルモータ90が付勢され、スピンドル・モータ
90が所定回転数で回転されることとなる。CDデータ
処理ユニット96に供給された再生信号は、この処理ユ
ニット96で処理されてCDデータ出力アンプ103を
介して出力される。
【0122】図17に示す各部は、ROM104に格納
された手順に従って、CPU105によって制御され
る。RAM106はCPU105のメモリとして用いら
れる。なお、上述した実施形態では、上記グルーブ用の
第2のヘッダ領域(ヘッダ3領域、ヘッダ4領域)を生
成した後、上記レーザ光を外周側へ1/2トラック分偏
向した状態でウォブルすることによりグルーブトラック
を生成するものであったが、これに限らず、上記ランド
用の第1のヘッダ領域(ヘッダ1領域、ヘッダ2領域)
を生成した後、上記レーザ光を内周側へ1/2トラック
分偏向した状態でウォブルすることによりグルーブトラ
ックを生成するようにしても良い。
【0123】この場合、フォーマッタからのカッティン
グデータのデータ構成は、図25に示すようになってお
り、ランドトラックの生成時、ヘッダ部51ごとにヘッ
ダ3領域(ID3)、ヘッダ4領域(ID4)のデータ
とランドのデータ「0、…」を出力し、次トラックのグ
ルーブトラックの生成時、ヘッダ部51ごとにヘッダ1
領域(ID1)、ヘッダ2領域(ID2)のデータとグ
ルーブのデータ「1、…」を出力するようになってい
る。
【0124】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、グルーブのウォブル量の1パラメータを調整するだ
けで最適な位置関係を見出すことができ、カッティング
の条件出しが容易になる光ディスクの原盤製造方法を提
供することを目的としている。
【0125】さらに、ヘッダ部のグルーブ用のヘッダ領
域とランド用のヘッダ領域のピット列を生成する際に、
各ピットを全く同じ光路のビームでカッティングするこ
とができ、同一のピットが形成され、光ディスクの内周
側と外周側とにウォブルした場合に問題となるピット形
状のアンバランスを考慮する必要が無くなる光ディスク
の原盤製造方法を提供できる。
【0126】また、原盤製造装置において、ウォブルし
たビームは光軸が曲げられているため、レンズを通過す
るときに収差の影響を受けやすいので、グルーブの形成
に比べて精密な制御が必要となるピットに対しては、収
差の影響のない対物レンズの中心を通りビーム成形も容
易なビームを用いて製造することで、ピット形状の最適
化が容易となる光ディスクの原盤製造方法を提供でき
る。
【0127】また、グルーブの生成時にのみビーム光を
ウォブルさせるため、ヘッダ部の最終ピットとグルーブ
の開始位置との間の時間が着目されるが、ヘッダ部の後
には長いミラー部があり、グルーブの終了位置と次セク
タのヘッダとの間隔も余裕があるので問題とならない光
ディスクの原盤製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施態様を説明するためのカッティ
ング装置の概略構成を示すブロック図。
【図2】DVD−RAMの製造方法を説明するための
図。
【図3】DVD−RAMの製造方法を説明するための
図。
【図4】フォーマッタのデータ構成を説明するための
図。
【図5】ゲート信号を説明するための図。
【図6】光ディスクの概略構成を示す平面図。
【図7】光ディスクのヘッダ部とグルーブ部のウォブル
状況を示す図。
【図8】光ディスクの概略構成を示す平面図。
【図9】光ディスクの概略構成を示す平面図。
【図10】光ディスクのヘッダ部のプリフォーマットデ
ータと周辺のグルーブとランドの状態を説明するための
図。
【図11】光ディスクのヘッダ部のプリフォーマットデ
ータと周辺のグルーブとランドの状態を説明するための
図。
【図12】ECCブロックのセクタフォーマットを示す
図。
【図13】光ディスク評価装置の概略構成を示す図。
【図14】ヘッダ部を評価した場合の波形の一例を示す
図。
【図15】本発明の光ディスクと従来の光ディスクのV
FO振幅の変調度の測定結果の一例を示す図。
【図16】本発明の光ディスクと従来の光ディスクのジ
ッタを測定した結果の一例を示す図。
【図17】光ディスクシステムの概略構成を示すブロッ
ク図。
【図18】従来のウォブル量が大きすぎた場合に観測さ
れるランド/グルーブトラッキング各々の信号波形を示
す図。
【図19】A.O.変調器の動作例を示す図。
【図20】信号評価における正規のフォーマットを説明
するためのピット配置図。
【図21】信号評価におけるグルーブに対する左右ピッ
トのウォブル量が異なっているピット配置図。
【図22】信号評価におけるピットのウォブル量が大き
すぎたピット配置図。
【図23】ドライブの検出ビームとピットの関係を説明
するための図。
【図24】従来の作成した基板におけるヘッダ部のピッ
ト形状を説明するための図。
【図25】他の実施形態におけるフォーマッタのデータ
構成を説明するための図。
【符号の説明】
19…光ディスク 28…A.O.変調器 33…ウォーブル・グルーブ発生器/グルーブ・ピット
切替器 51…ヘッダ部 52…ヘッダ1領域、ヘッダ2領域、ヘッダ3領域、ヘ
ッダ4領域 53…グルーブ 58…記録領域

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 データが記録されるスパイラル状あるい
    は同心円状のトラックを有し、このトラックが1周交替
    でグルーブとランドとからなり、 所定のトラック長からなり、かつ同期コードとトラック
    上における位置を示すアドレスデータが複数のプリピッ
    ト列により記録されるヘッダ領域とデータが記録される
    記録領域とを含む複数の連続したセクタ領域を、複数個
    有し、 上記ヘッダ領域がランド用の第1のヘッダ領域とグルー
    ブ用の第2のヘッダ領域とから構成され、上記第1のヘ
    ッダ領域と上記第2のヘッダ領域とが上記トラックの方
    向に対して交差する方向にずれて千鳥状に設けられてい
    る光ディスクに対する原盤を製造する原盤製造装置にお
    いて、 光学系を用いてレーザ光を照射することにより、上記ヘ
    ッダ領域とグルーブとを生成する際に、上記光学系の中
    心を用いてウォブルすることなくトラックごとに上記ラ
    ンド用の第1のヘッダ領域と上記グルーブ用の第2のヘ
    ッダ領域とを生成し、上記グルーブ用の第2のヘッダ領
    域を生成した後、上記レーザ光を外周側へ1/2トラッ
    ク分偏向した状態でウォブルすることによりグルーブト
    ラックを生成することを特徴とする光ディスクの原盤製
    造方法。
  2. 【請求項2】 上記第1のヘッダ領域が、上記ランドの
    トラックのデータ領域に対するアドレスデータを有し、
    上記第2のヘッダ領域が、上記グルーブのトラックのデ
    ータ領域に対するアドレスデータを有し、上記ランドの
    トラックの中心が、対応する第1のヘッダ領域に対して
    上記光ディスクの外周方向へ1 /2 トラック分ずれ、上
    記グルーブのトラックの中心が、対応する第2のヘッダ
    領域に対して上記光ディスクの外周方向へ1 /2 トラッ
    ク分ずれていることを特徴とする請求項1に記載の光デ
    ィスクの原盤製造方法。
  3. 【請求項3】 データが記録されるスパイラル状あるい
    は同心円状のトラックを有し、このトラックが1周交替
    でグルーブとランドとからなり、 所定のトラック長からなり、かつ同期コードとトラック
    上における位置を示すアドレスデータが複数のプリピッ
    ト列により記録されるヘッダ領域とデータが記録される
    記録領域とを含む複数の連続したセクタ領域を、複数個
    有し、 上記ヘッダ領域がランド用の第1のヘッダ領域とグルー
    ブ用の第2のヘッダ領域とから構成され、上記第1のヘ
    ッダ領域と上記第2のヘッダ領域とが上記トラックの方
    向に対して交差する方向にずれて千鳥状に設けられてい
    る光ディスクに対する原盤を製造する原盤製造装置にお
    いて、 ガラス板上にフォトレジスト層を有するレジスト板を生
    成し、 このレジスト板に光学系を用いてレーザ光を照射して上
    記ヘッダ領域とグルーブとに対する露光を行う際に、光
    学系の中心を用いてウォブルすることなくトラックごと
    に上記ランド用の第1のヘッダ領域と上記グルーブ用の
    第2のヘッダ領域とを生成し、上記グルーブ用の第2の
    ヘッダ領域を生成した後、上記レーザ光を外周側へ1/
    2トラック分偏向した状態でウォブルすることによりグ
    ルーブトラックを露光し、 この露光がなされた後、上記露光部を現像することによ
    り上記ヘッダ領域とグルーブとを生成することを特徴と
    する光ディスクの原盤製造方法。
  4. 【請求項4】 上記第1のヘッダ領域が、上記ランドの
    トラックのデータ領域に対するアドレスデータを有し、
    上記第2のヘッダ領域が、上記グルーブのトラックのデ
    ータ領域に対するアドレスデータを有し、上記ランドの
    トラックの中心が、対応する第1のヘッダ領域に対して
    上記光ディスクの外周方向へ1 /2 トラック分ずれ、上
    記グルーブのトラックの中心が、対応する第2のヘッダ
    領域に対して上記光ディスクの外周方向へ1 /2 トラッ
    ク分ずれていることを特徴とする請求項3に記載の光デ
    ィスクの原盤製造方法。
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