JP2001179616A - 加工用治具 - Google Patents
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 保持部の両端部近傍においても保持部を望む
形状に変形させることを可能として、長い加工対象物で
も精度よく加工できるようにする。 【解決手段】 治具５０は、加工装置に固定される本体
部５１と、１方向に長い加工対象物としてのバーを保持
するための１方向に長い保持部５２と、保持部５２と本
体部５１とを連結する４本の連結部５３Ａ〜５３Ｄと、
保持部５２に連結され、保持部５２を変形させるための
荷重が付加される３つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと、
荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと保持部５２とを連結する腕
部５５Ａ〜５５Ｃとを備えている。保持部５２は、外力
が加えられることによってたわむ細長い梁構造になって
いる。保持部５２の下端部には、バーが固定されるバー
固定部５８が設けられている。保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂは、本体部５１に連結されずに解放されてい
る。
形状に変形させることを可能として、長い加工対象物で
も精度よく加工できるようにする。 【解決手段】 治具５０は、加工装置に固定される本体
部５１と、１方向に長い加工対象物としてのバーを保持
するための１方向に長い保持部５２と、保持部５２と本
体部５１とを連結する４本の連結部５３Ａ〜５３Ｄと、
保持部５２に連結され、保持部５２を変形させるための
荷重が付加される３つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと、
荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと保持部５２とを連結する腕
部５５Ａ〜５５Ｃとを備えている。保持部５２は、外力
が加えられることによってたわむ細長い梁構造になって
いる。保持部５２の下端部には、バーが固定されるバー
固定部５８が設けられている。保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂは、本体部５１に連結されずに解放されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、加工装置によって
加工が施される対象物を保持するための加工用治具に関
する。
加工が施される対象物を保持するための加工用治具に関
する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置等に用いられる浮上型
薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後段部に薄膜磁気ヘッド
素子が形成されたスライダの形態をなしている。スライ
ダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング
面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部
近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部また
はステップ部より流入する空気流によってレール部が磁
気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するよ
うになっている。
薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後段部に薄膜磁気ヘッド
素子が形成されたスライダの形態をなしている。スライ
ダは、一般的に、表面が媒体対向面（エアベアリング
面）となるレール部を有すると共に、空気流入側の端部
近傍にテーパ部またはステップ部を有し、テーパ部また
はステップ部より流入する空気流によってレール部が磁
気ディスク等の記録媒体の表面からわずかに浮上するよ
うになっている。
【０００３】また、薄膜磁気ヘッド素子としては、書き
込み用の誘導型電磁変換素子と読み出し用の磁気抵抗
（以下、ＭＲ（Magneto Resistive ）と記す。）素子と
を積層した構造の複合型の薄膜磁気ヘッド素子が広く用
いられている。
込み用の誘導型電磁変換素子と読み出し用の磁気抵抗
（以下、ＭＲ（Magneto Resistive ）と記す。）素子と
を積層した構造の複合型の薄膜磁気ヘッド素子が広く用
いられている。
【０００４】スライダは、一般に、それぞれ薄膜磁気ヘ
ッド素子を含むスライダとなる部分（以下、スライダ部
分と言う。）が複数列に配列されたウェハを一方向に切
断して、スライダ部分が一列に配列された棒状の磁気ヘ
ッド用素材（以下、バーと言う。）を形成し、このバー
における媒体対向面となる面（以下、便宜上、媒体対向
面と言う。）に対して、ラッピング（研磨）等の加工を
行い、その後、バーを切断して各スライダに分離するこ
とによって製造される。
ッド素子を含むスライダとなる部分（以下、スライダ部
分と言う。）が複数列に配列されたウェハを一方向に切
断して、スライダ部分が一列に配列された棒状の磁気ヘ
ッド用素材（以下、バーと言う。）を形成し、このバー
における媒体対向面となる面（以下、便宜上、媒体対向
面と言う。）に対して、ラッピング（研磨）等の加工を
行い、その後、バーを切断して各スライダに分離するこ
とによって製造される。
【０００５】一般に、薄膜磁気ヘッドの出力特性を安定
化させるためには、薄膜磁気ヘッドの磁極部分と記録媒
体の表面との距離を、極小さな一定の値に保つことが重
要である。そのためには、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面
の平面度を所定の値に精度良く収め、浮上量の安定化を
図ると共に、薄膜磁気ヘッドのスロートハイトおよびＭ
Ｒハイトの値を所定の範囲内に収めることが、薄膜磁気
ヘッドの加工における重要な要件となっている。なお、
スロートハイトとは、誘導型電磁変換素子における磁極
部分の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ
（高さ）を言う。また、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒
体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）
を言う。
化させるためには、薄膜磁気ヘッドの磁極部分と記録媒
体の表面との距離を、極小さな一定の値に保つことが重
要である。そのためには、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面
の平面度を所定の値に精度良く収め、浮上量の安定化を
図ると共に、薄膜磁気ヘッドのスロートハイトおよびＭ
Ｒハイトの値を所定の範囲内に収めることが、薄膜磁気
ヘッドの加工における重要な要件となっている。なお、
スロートハイトとは、誘導型電磁変換素子における磁極
部分の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ
（高さ）を言う。また、ＭＲハイトとは、ＭＲ素子の媒
体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）
を言う。
【０００６】薄膜磁気ヘッドのスロートハイトおよびＭ
Ｒハイトの値を目標とする値となるように媒体対向面を
ラッピングする方法は種々あるが、高精度で行なうこと
ができ、且つ一般的に行われている方法は、以下のよう
な方法である。すなわち、この方法は、後述するような
機能を持った加工用治具と、この治具に適度な荷重を加
え、治具に接着されたバーを変形させながら、自動的に
ラッピングを行う機能を持ったラッピング装置とを使用
する方法である。
Ｒハイトの値を目標とする値となるように媒体対向面を
ラッピングする方法は種々あるが、高精度で行なうこと
ができ、且つ一般的に行われている方法は、以下のよう
な方法である。すなわち、この方法は、後述するような
機能を持った加工用治具と、この治具に適度な荷重を加
え、治具に接着されたバーを変形させながら、自動的に
ラッピングを行う機能を持ったラッピング装置とを使用
する方法である。
【０００７】この方法で使用される治具は、ラッピング
装置に固定される本体部と、バーを保持するための１方
向に長い保持部と、保持部に連結され、保持部を変形さ
せるための荷重が付加される複数の荷重付加部とを備え
ている。保持部は、外力が加えられることによってたわ
む細長い梁構造になっている。この治具では、外部より
荷重付加部に荷重を加えると、保持部がたわみ、この保
持部のたわみにより、保持部によって保持されたバーに
たわみを与えることができる。
装置に固定される本体部と、バーを保持するための１方
向に長い保持部と、保持部に連結され、保持部を変形さ
せるための荷重が付加される複数の荷重付加部とを備え
ている。保持部は、外力が加えられることによってたわ
む細長い梁構造になっている。この治具では、外部より
荷重付加部に荷重を加えると、保持部がたわみ、この保
持部のたわみにより、保持部によって保持されたバーに
たわみを与えることができる。
【０００８】以下、この治具を用いたバーのラッピング
方法について説明する。このラッピング方法では、ま
ず、バーにおけるラッピングしようとする面が表側とな
るように、治具の保持部に対してバーを接着剤等によっ
て固定する。
方法について説明する。このラッピング方法では、ま
ず、バーにおけるラッピングしようとする面が表側とな
るように、治具の保持部に対してバーを接着剤等によっ
て固定する。
【０００９】次に、治具に固定されたバーについて、バ
ー内の各薄膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよびＭ
Ｒハイトの値を光学的あるいは電気的な方法で測定し、
それらの測定値と目標値との偏差すなわち必要な研磨量
を計算する。
ー内の各薄膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよびＭ
Ｒハイトの値を光学的あるいは電気的な方法で測定し、
それらの測定値と目標値との偏差すなわち必要な研磨量
を計算する。
【００１０】次に、バー内の各薄膜磁気ヘッド素子に対
応するラッピング部分のうち、他の薄膜磁気ヘッド素子
に対応する部分に比べて、必要な研磨量が多い部分につ
いては、より多く研磨されるようにするために、その部
分における研磨面が凸状になるように荷重付加部に荷重
を加えてバーを変形させる。一方、バー内の各薄膜磁気
ヘッド素子に対応するラッピング部分のうち、他の薄膜
磁気ヘッド素子に対応する部分に比べて、必要な研磨量
が少ない部分については、なるべく研磨されないように
するために、その部分における研磨面が凹状になるよう
に荷重付加部に荷重を加えてバーを変形させる。そし
て、バーを変形させた状態のまま、バーの媒体対向面
を、回転するラッピングプレートに押し当てることによ
り、バーのラッピングが行われる。
応するラッピング部分のうち、他の薄膜磁気ヘッド素子
に対応する部分に比べて、必要な研磨量が多い部分につ
いては、より多く研磨されるようにするために、その部
分における研磨面が凸状になるように荷重付加部に荷重
を加えてバーを変形させる。一方、バー内の各薄膜磁気
ヘッド素子に対応するラッピング部分のうち、他の薄膜
磁気ヘッド素子に対応する部分に比べて、必要な研磨量
が少ない部分については、なるべく研磨されないように
するために、その部分における研磨面が凹状になるよう
に荷重付加部に荷重を加えてバーを変形させる。そし
て、バーを変形させた状態のまま、バーの媒体対向面
を、回転するラッピングプレートに押し当てることによ
り、バーのラッピングが行われる。
【００１１】このように各薄膜磁気ヘッド素子における
スロートハイトおよびＭＲハイトの値を測定し、それら
の測定値と目標値との偏差すなわち必要な研磨量を計算
し、この必要な研磨量に応じてバーを変形させてバーの
ラッピングを行うという一連の動作を、自動的に繰り返
し実行することにより、各薄膜磁気ヘッド素子における
スロートハイトおよびＭＲハイトのばらつきが修正さ
れ、最終的には各薄膜磁気ヘッド素子におけるスロート
ハイトおよびＭＲハイトが所定の範囲内に収束する。
スロートハイトおよびＭＲハイトの値を測定し、それら
の測定値と目標値との偏差すなわち必要な研磨量を計算
し、この必要な研磨量に応じてバーを変形させてバーの
ラッピングを行うという一連の動作を、自動的に繰り返
し実行することにより、各薄膜磁気ヘッド素子における
スロートハイトおよびＭＲハイトのばらつきが修正さ
れ、最終的には各薄膜磁気ヘッド素子におけるスロート
ハイトおよびＭＲハイトが所定の範囲内に収束する。
【００１２】なお、米国特許第５，６２０，３５６号に
は、上述のようなバーのラッピングを行うためのラッピ
ング装置が示されている。また、米国特許第５，６０
７，３４０号には、磁気ヘッドのラッピング用の治具が
示されている。また、特開平２−９５５７２号公報に
は、ＭＲ素子の抵抗値を監視してスロートハイトを制御
するラッピング制御装置が示されている。
は、上述のようなバーのラッピングを行うためのラッピ
ング装置が示されている。また、米国特許第５，６０
７，３４０号には、磁気ヘッドのラッピング用の治具が
示されている。また、特開平２−９５５７２号公報に
は、ＭＲ素子の抵抗値を監視してスロートハイトを制御
するラッピング制御装置が示されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来は、ウェハから一
定の長さのバーを切り出して、このバーに対して上述の
ような加工用冶具を用いてラッピング等の加工を行って
いた。
定の長さのバーを切り出して、このバーに対して上述の
ような加工用冶具を用いてラッピング等の加工を行って
いた。
【００１４】ところで、加工効率を上げるため、すなわ
ち一度の加工によってできるだけ多くの製品を得ること
ができるようにするためには、できるだけ長いバーを用
いることが望ましい。そのため、バーの長さを変更した
い場合がある。このような場合、バーの長さに応じて、
加工用冶具の長さや高さを変更することも考えられる。
ち一度の加工によってできるだけ多くの製品を得ること
ができるようにするためには、できるだけ長いバーを用
いることが望ましい。そのため、バーの長さを変更した
い場合がある。このような場合、バーの長さに応じて、
加工用冶具の長さや高さを変更することも考えられる。
【００１５】しかしながら、加工用冶具は、ラッピング
に限らず複数の工程で使用される。各工程では、加工用
冶具を位置決め固定して使用する。従って、加工用冶具
の長さや高さを変更すると、各工程における加工用冶具
の位置決め固定部分を全て変更しなければならない。ま
た、長さや高さの異なる複数種類の加工用冶具が存在す
ると、各工程において、複数種類の加工用冶具に対応で
きるように、加工用冶具の位置決め固定部分を工夫する
必要が生じる。このような状況を考えると、バーの長さ
にかかわらず加工用冶具の形状は一定であることが望ま
しい。
に限らず複数の工程で使用される。各工程では、加工用
冶具を位置決め固定して使用する。従って、加工用冶具
の長さや高さを変更すると、各工程における加工用冶具
の位置決め固定部分を全て変更しなければならない。ま
た、長さや高さの異なる複数種類の加工用冶具が存在す
ると、各工程において、複数種類の加工用冶具に対応で
きるように、加工用冶具の位置決め固定部分を工夫する
必要が生じる。このような状況を考えると、バーの長さ
にかかわらず加工用冶具の形状は一定であることが望ま
しい。
【００１６】ところが、例えば前出の米国特許第５，６
０７，３４０号に示されるような従来の加工用冶具で
は、保持部の両端部が本体部に対して連結されている。
このような形状の加工用冶具では、両端部の近傍におい
て保持部の自由な変形が阻害される。そのため、従来の
加工用冶具では、特に保持部の両端部近傍の部分を望む
形状に変形させることが難しい。その結果、従来の加工
用冶具では、長いバーを用いる場合に、バーの両端部近
傍における薄膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよび
ＭＲハイトの目標値に対する偏差が増大するという問題
点がある。
０７，３４０号に示されるような従来の加工用冶具で
は、保持部の両端部が本体部に対して連結されている。
このような形状の加工用冶具では、両端部の近傍におい
て保持部の自由な変形が阻害される。そのため、従来の
加工用冶具では、特に保持部の両端部近傍の部分を望む
形状に変形させることが難しい。その結果、従来の加工
用冶具では、長いバーを用いる場合に、バーの両端部近
傍における薄膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよび
ＭＲハイトの目標値に対する偏差が増大するという問題
点がある。
【００１７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、１方向に長い加工対象物を保持する
保持部を有し、この保持部を変形させることにより加工
対象物を変形させる加工用治具であって、保持部の両端
部近傍においても保持部を望む形状に変形させることを
可能として、長い加工対象物でも精度よく加工できるよ
うにした加工用治具を提供することにある。
ので、その目的は、１方向に長い加工対象物を保持する
保持部を有し、この保持部を変形させることにより加工
対象物を変形させる加工用治具であって、保持部の両端
部近傍においても保持部を望む形状に変形させることを
可能として、長い加工対象物でも精度よく加工できるよ
うにした加工用治具を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明の加工用治具は、
１方向に長い加工対象物を保持し、加工対象物に加工を
施す加工装置に対して固定される加工用治具であって、
加工装置に固定される本体部と、加工対象物を保持する
ための１方向に長い保持部と、保持部と本体部とを連結
する複数の連結部と、保持部に連結され、保持部を変形
させるための荷重が付加される複数の荷重付加部とを備
え、保持部の両端部は、本体部に連結されずに解放され
ているものである。
１方向に長い加工対象物を保持し、加工対象物に加工を
施す加工装置に対して固定される加工用治具であって、
加工装置に固定される本体部と、加工対象物を保持する
ための１方向に長い保持部と、保持部と本体部とを連結
する複数の連結部と、保持部に連結され、保持部を変形
させるための荷重が付加される複数の荷重付加部とを備
え、保持部の両端部は、本体部に連結されずに解放され
ているものである。
【００１９】本発明の加工用治具では、保持部の両端部
が本体部に連結されずに解放されていることから、保持
部の両端部近傍においても保持部を望む形状に変形させ
ることが可能になる。
が本体部に連結されずに解放されていることから、保持
部の両端部近傍においても保持部を望む形状に変形させ
ることが可能になる。
【００２０】本発明の加工用治具において、複数の荷重
付加部のうちの２つは、それぞれ、保持部の長手方向の
中央よりも各端部側の位置に配置されて、保持部の各端
部から所定の距離だけ中央寄りの位置に連結され、複数
の連結部のうちの２つは、それぞれ、一端部が本体部に
接続され、他端部が２つの荷重付加部と保持部との連結
部分に接続されていてもよい。この場合、２つの連結部
は可撓性を有する板状をなしていてもよい。
付加部のうちの２つは、それぞれ、保持部の長手方向の
中央よりも各端部側の位置に配置されて、保持部の各端
部から所定の距離だけ中央寄りの位置に連結され、複数
の連結部のうちの２つは、それぞれ、一端部が本体部に
接続され、他端部が２つの荷重付加部と保持部との連結
部分に接続されていてもよい。この場合、２つの連結部
は可撓性を有する板状をなしていてもよい。
【００２１】本発明の加工用治具において、加工対象物
は、薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分が一
列に配列された棒状の磁気ヘッド用素材であってもよ
い。
は、薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダとなる部分が一
列に配列された棒状の磁気ヘッド用素材であってもよ
い。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。 ［第１の実施の形態］始めに、図３を参照して、本発明
の第１の実施の形態に係る加工用治具が使用される加工
装置の一例について説明する。図３は、この加工装置の
概略の構成を示す斜視図である。この加工装置１は、ス
ライダ部分が一列に配列された棒状の磁気ヘッド用素材
であるバーをラッピングする装置である。加工装置１
は、テーブル１０と、このテーブル１０上に設けられた
回転ラッピングテーブル１１と、この回転ラッピングテ
ーブル１１の側方において、テーブル１０上に設けられ
た支柱１２と、この支柱１２に対してアーム１３を介し
て取り付けられた素材支持部２０とを備えている。回転
ラッピングテーブル１１は、バーに当接するラッピング
プレート１１ａを有している。
て図面を参照して詳細に説明する。 ［第１の実施の形態］始めに、図３を参照して、本発明
の第１の実施の形態に係る加工用治具が使用される加工
装置の一例について説明する。図３は、この加工装置の
概略の構成を示す斜視図である。この加工装置１は、ス
ライダ部分が一列に配列された棒状の磁気ヘッド用素材
であるバーをラッピングする装置である。加工装置１
は、テーブル１０と、このテーブル１０上に設けられた
回転ラッピングテーブル１１と、この回転ラッピングテ
ーブル１１の側方において、テーブル１０上に設けられ
た支柱１２と、この支柱１２に対してアーム１３を介し
て取り付けられた素材支持部２０とを備えている。回転
ラッピングテーブル１１は、バーに当接するラッピング
プレート１１ａを有している。
【００２３】素材支持部２０は、冶具保持部２３と、こ
の治具保持部２３の前方位置に等間隔に配設された３本
の荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃとを有している。
本実施の形態に係る加工用冶具（以下、単に治具と言
う。）５０は、冶具保持部２３に固定されるようになっ
ている。後で詳しく説明するが、治具５０には、断面が
矩形の孔からなる３つの荷重付加部が設けられている。
荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃの各下端部には、そ
れぞれ、冶具５０の各荷重付加部（孔）に挿入される断
面が矩形の頭部を有する荷重付加ピンが設けられてい
る。各荷重付加ピンは、それぞれ図示しないアクチュエ
ータによって、上下方向、左右方向（治具５０の長手方
向）および回転方向に駆動されるようになっている。
の治具保持部２３の前方位置に等間隔に配設された３本
の荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃとを有している。
本実施の形態に係る加工用冶具（以下、単に治具と言
う。）５０は、冶具保持部２３に固定されるようになっ
ている。後で詳しく説明するが、治具５０には、断面が
矩形の孔からなる３つの荷重付加部が設けられている。
荷重付加棒２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃの各下端部には、そ
れぞれ、冶具５０の各荷重付加部（孔）に挿入される断
面が矩形の頭部を有する荷重付加ピンが設けられてい
る。各荷重付加ピンは、それぞれ図示しないアクチュエ
ータによって、上下方向、左右方向（治具５０の長手方
向）および回転方向に駆動されるようになっている。
【００２４】次に、図１を参照して、本実施の形態に係
る治具の構成について説明する。図１は、本実施の形態
に係る治具を表し、（ａ）は治具の正面図、（ｂ）は治
具の右側面図、（ｃ）は治具の平面図、（ｄ）は治具の
底面図である。これらの図に示したように、本実施の形
態に係る治具５０は、例えば図３に示したような加工装
置１に固定される本体部５１と、１方向に長い加工対象
物としてのバーを保持するための１方向に長い保持部５
２と、保持部５２と本体部５１とを連結する４本の連結
部５３Ａ〜５３Ｄと、保持部５２に連結され、保持部５
２を変形させるための荷重が付加される３つの荷重付加
部５４Ａ〜５４Ｃと、荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと保持
部５２とを連結する腕部５５Ａ〜５５Ｃとを備えてい
る。
る治具の構成について説明する。図１は、本実施の形態
に係る治具を表し、（ａ）は治具の正面図、（ｂ）は治
具の右側面図、（ｃ）は治具の平面図、（ｄ）は治具の
底面図である。これらの図に示したように、本実施の形
態に係る治具５０は、例えば図３に示したような加工装
置１に固定される本体部５１と、１方向に長い加工対象
物としてのバーを保持するための１方向に長い保持部５
２と、保持部５２と本体部５１とを連結する４本の連結
部５３Ａ〜５３Ｄと、保持部５２に連結され、保持部５
２を変形させるための荷重が付加される３つの荷重付加
部５４Ａ〜５４Ｃと、荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃと保持
部５２とを連結する腕部５５Ａ〜５５Ｃとを備えてい
る。
【００２５】本体部５１には、長手方向の中央で、且つ
上下方向の中央よりも上側の位置に、固定用孔５６が形
成されている。この固定用孔５６には、加工装置１の冶
具保持部２３に設けられた図示しない治具固定用ピンに
対して本体部５１を固定するためのボルトが挿通される
ようになっている。冶具５０は、固定用孔５６の位置で
ある１箇所でのみ加工装置１に対して固定されるように
なっている。
上下方向の中央よりも上側の位置に、固定用孔５６が形
成されている。この固定用孔５６には、加工装置１の冶
具保持部２３に設けられた図示しない治具固定用ピンに
対して本体部５１を固定するためのボルトが挿通される
ようになっている。冶具５０は、固定用孔５６の位置で
ある１箇所でのみ加工装置１に対して固定されるように
なっている。
【００２６】また、本体部５１には２つの係合部５７，
５７が形成されている。この係合部５７，５７には、加
工装置１の冶具保持部２３に設けられた図示しない２つ
のガイドピンが係合するようになっている。この係合部
５７，５７は、固定用孔５６を中心にして冶具５０が回
転することを防止するために設けられる。
５７が形成されている。この係合部５７，５７には、加
工装置１の冶具保持部２３に設けられた図示しない２つ
のガイドピンが係合するようになっている。この係合部
５７，５７は、固定用孔５６を中心にして冶具５０が回
転することを防止するために設けられる。
【００２７】保持部５２は、外力が加えられることによ
ってたわむ細長い梁構造になっている。保持部５２の下
端部には、バーが固定されるバー固定部５８が設けられ
ている。バー固定部５８には、バーを切断する際に、バ
ー切断用のブレードが入り込む複数の溝が形成されてい
る。保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂは、本体部５１
に連結されずに解放されている。
ってたわむ細長い梁構造になっている。保持部５２の下
端部には、バーが固定されるバー固定部５８が設けられ
ている。バー固定部５８には、バーを切断する際に、バ
ー切断用のブレードが入り込む複数の溝が形成されてい
る。保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂは、本体部５１
に連結されずに解放されている。
【００２８】治具５０は、例えば、ステンレス鋼や、ジ
ルコニア（ＺｒＯ2 ），アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等のセ
ラミックによって形成される。
ルコニア（ＺｒＯ2 ），アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等のセ
ラミックによって形成される。
【００２９】本実施の形態では、２つの荷重付加部５４
Ａ，５４Ｃは、保持部５２の長手方向の中央よりも各端
部５２ａ，５２ｂ側の位置で且つ上下方向の略中央の位
置に配置されて、腕部５５Ａ，５５Ｃを介して、保持部
５２の各端部５２ａ，５２ｂから所定の距離だけ中央寄
りの位置に連結されている。他の１つの荷重付加部５４
Ｂは、本体部５１の長手方向の中央で、且つ上下方向の
中央よりも下側の位置に配置されている。
Ａ，５４Ｃは、保持部５２の長手方向の中央よりも各端
部５２ａ，５２ｂ側の位置で且つ上下方向の略中央の位
置に配置されて、腕部５５Ａ，５５Ｃを介して、保持部
５２の各端部５２ａ，５２ｂから所定の距離だけ中央寄
りの位置に連結されている。他の１つの荷重付加部５４
Ｂは、本体部５１の長手方向の中央で、且つ上下方向の
中央よりも下側の位置に配置されている。
【００３０】２つの連結部５３Ａ，５３Ｄは、それぞ
れ、一端部が本体部５１に接続され、他端部が荷重付加
部５４Ａ，５４Ｃと保持部５２との連結部分である腕部
５５Ａ，５５Ｃに接続されている。また、連結部５３
Ａ，５３Ｄは、可撓性を有する板状をなしている。
れ、一端部が本体部５１に接続され、他端部が荷重付加
部５４Ａ，５４Ｃと保持部５２との連結部分である腕部
５５Ａ，５５Ｃに接続されている。また、連結部５３
Ａ，５３Ｄは、可撓性を有する板状をなしている。
【００３１】他の２つの連結部５３Ｂ，５３Ｃは、それ
ぞれ、一端部が本体部５１に接続され、他端部が保持部
５２に接続されている。また、連結部５３Ｂ，５３Ｃ
は、可撓性を有する板状をなしている。
ぞれ、一端部が本体部５１に接続され、他端部が保持部
５２に接続されている。また、連結部５３Ｂ，５３Ｃ
は、可撓性を有する板状をなしている。
【００３２】次に、図２を参照して、本実施の形態に係
る冶具５０の作用について説明する。図２は、本実施の
形態に係る冶具５０の使用状態を示す正面図である。こ
の図に示したように、バー７０は、治具５０のバー固定
部５８に対して、バー７０の媒体対向面が表側（下側）
となるように接着等により固定される。バー７０を保持
した治具５０は、加工装置１に対して固定されると、バ
ー７０の被加工面が回転ラッピングテーブル１１のラッ
ピングプレート１１ａに当接するように配置される。こ
の状態で、加工装置１の荷重付加ピンを上下方向、左右
方向、回転方向の３方向に駆動することにより、治具５
０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対してそれぞ
れ３方向の荷重を付加することができる。
る冶具５０の作用について説明する。図２は、本実施の
形態に係る冶具５０の使用状態を示す正面図である。こ
の図に示したように、バー７０は、治具５０のバー固定
部５８に対して、バー７０の媒体対向面が表側（下側）
となるように接着等により固定される。バー７０を保持
した治具５０は、加工装置１に対して固定されると、バ
ー７０の被加工面が回転ラッピングテーブル１１のラッ
ピングプレート１１ａに当接するように配置される。こ
の状態で、加工装置１の荷重付加ピンを上下方向、左右
方向、回転方向の３方向に駆動することにより、治具５
０の荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対してそれぞ
れ３方向の荷重を付加することができる。
【００３３】上述のようにして、治具５０の荷重付加部
５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対して種々の方向の荷重を付
加することにより、保持部５２、バー固定部５８および
バー７０が変形される。これにより、バー７０内の各薄
膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトの
値を目標とする値となるように制御しながら、バー７０
の媒体対向面をラッピングすることが可能となる。
５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃに対して種々の方向の荷重を付
加することにより、保持部５２、バー固定部５８および
バー７０が変形される。これにより、バー７０内の各薄
膜磁気ヘッド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトの
値を目標とする値となるように制御しながら、バー７０
の媒体対向面をラッピングすることが可能となる。
【００３４】本実施の形態に係る冶具５０では、保持部
５２の両端部５２ａ，５２ｂが本体部５１に連結されず
に解放されていることから、保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂの近傍において、自由な変形が阻害されるこ
となく、片持ち梁構造と同等のたわみ形状を得ることが
できる。従って、本実施の形態に係る冶具５０によれ
ば、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂの近傍において
も保持部５２を望む形状に変形させることが可能にな
る。その結果、長いバー７０を用いる場合であっても、
バー７０を精度よく加工することが可能になり、その結
果、長いバー７０に含まれる多くの薄膜磁気ヘッド素子
のスロートハイトおよびＭＲハイトの目標値に対する偏
差を小さくすることができる。
５２の両端部５２ａ，５２ｂが本体部５１に連結されず
に解放されていることから、保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂの近傍において、自由な変形が阻害されるこ
となく、片持ち梁構造と同等のたわみ形状を得ることが
できる。従って、本実施の形態に係る冶具５０によれ
ば、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂの近傍において
も保持部５２を望む形状に変形させることが可能にな
る。その結果、長いバー７０を用いる場合であっても、
バー７０を精度よく加工することが可能になり、その結
果、長いバー７０に含まれる多くの薄膜磁気ヘッド素子
のスロートハイトおよびＭＲハイトの目標値に対する偏
差を小さくすることができる。
【００３５】また、本実施の形態に係る冶具５０によれ
ば、各荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃがそれぞれ３
方向の荷重を受けることができるので、保持部５２を複
雑な形状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッ
ド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトの高精度な制
御が可能になる。
ば、各荷重付加部５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｃがそれぞれ３
方向の荷重を受けることができるので、保持部５２を複
雑な形状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッ
ド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトの高精度な制
御が可能になる。
【００３６】ところで、バー７０は、薄膜磁気ヘッド素
子を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハを一
方向に切断して形成されたものである。このバー７０
は、スライダ部分が一列に配列されたものである。
子を含むスライダ部分が複数列に配列されたウェハを一
方向に切断して形成されたものである。このバー７０
は、スライダ部分が一列に配列されたものである。
【００３７】ここで、図４を参照して、薄膜磁気ヘッド
素子の構成の一例について説明する。図４は、薄膜磁気
ヘッド素子における媒体対向面に垂直な断面を示す断面
図である。本例は、書き込み用の誘導型電磁変換素子と
読み出し用のＭＲ素子とを積層した構造の複合型の薄膜
磁気ヘッド素子の例である。
素子の構成の一例について説明する。図４は、薄膜磁気
ヘッド素子における媒体対向面に垂直な断面を示す断面
図である。本例は、書き込み用の誘導型電磁変換素子と
読み出し用のＭＲ素子とを積層した構造の複合型の薄膜
磁気ヘッド素子の例である。
【００３８】本例における薄膜磁気ヘッド素子７１は、
アルティック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料
よりなる基板７２と、この基板７２の上に形成されたア
ルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の絶縁材料よりなる絶縁層７３
と、この絶縁層７３の上に形成された磁性材料よりなる
下部シールド層７４と、この下部シールド層７４の上に
形成されたアルミナ等の絶縁材料よりなる下部シールド
ギャップ膜７５と、一端部が媒体対向面（図４における
左側の面）に配置されるように、下部シールドギャップ
膜７５の上に形成された再生用のＭＲ素子７６と、下部
シールドギャップ膜７５の上に形成され、ＭＲ素子７６
に電気的に接続された一対の電極層７７と、下部シール
ドギャップ膜７５、ＭＲ素子７６および電極層７７を覆
うように形成された上部シールドギャップ膜７８と、こ
の上部シールドギャップ膜７８の上に形成された磁性材
料よりなる上部シールド層兼下部磁極層（以下、下部磁
極層と記す。）７９とを備えている。ＭＲ素子７６に
は、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大
磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗
効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子
を用いることができる。
アルティック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料
よりなる基板７２と、この基板７２の上に形成されたア
ルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の絶縁材料よりなる絶縁層７３
と、この絶縁層７３の上に形成された磁性材料よりなる
下部シールド層７４と、この下部シールド層７４の上に
形成されたアルミナ等の絶縁材料よりなる下部シールド
ギャップ膜７５と、一端部が媒体対向面（図４における
左側の面）に配置されるように、下部シールドギャップ
膜７５の上に形成された再生用のＭＲ素子７６と、下部
シールドギャップ膜７５の上に形成され、ＭＲ素子７６
に電気的に接続された一対の電極層７７と、下部シール
ドギャップ膜７５、ＭＲ素子７６および電極層７７を覆
うように形成された上部シールドギャップ膜７８と、こ
の上部シールドギャップ膜７８の上に形成された磁性材
料よりなる上部シールド層兼下部磁極層（以下、下部磁
極層と記す。）７９とを備えている。ＭＲ素子７６に
は、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大
磁気抵抗効果）素子あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗
効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子
を用いることができる。
【００３９】薄膜磁気ヘッド素子は、更に、下部磁極層
７９の上に形成されたアルミナ等の絶縁材料よりなる記
録ギャップ層８０と、この記録ギャップ層８０の上に形
成され、例えば熱硬化させたフォトレジストよりなる絶
縁層８１によって囲われた薄膜コイル８２と、絶縁層８
１の上に形成された磁性材料よりなる上部磁極層８３
と、この上部磁極層８３を覆うように形成されたアルミ
ナ等の絶縁材料よりなる保護層８４とを備えている。図
示しないが、保護層８４の上面には、ＭＲ素子７６と薄
膜コイル８２に接続された複数のパッド状の電極が形成
されている。
７９の上に形成されたアルミナ等の絶縁材料よりなる記
録ギャップ層８０と、この記録ギャップ層８０の上に形
成され、例えば熱硬化させたフォトレジストよりなる絶
縁層８１によって囲われた薄膜コイル８２と、絶縁層８
１の上に形成された磁性材料よりなる上部磁極層８３
と、この上部磁極層８３を覆うように形成されたアルミ
ナ等の絶縁材料よりなる保護層８４とを備えている。図
示しないが、保護層８４の上面には、ＭＲ素子７６と薄
膜コイル８２に接続された複数のパッド状の電極が形成
されている。
【００４０】上部磁極層８３の媒体対向面側の一部であ
る磁極部分と、下部磁極層７９の媒体対向面側の一部で
ある磁極部分は、記録ギャップ層８０を介して互いに対
向している。上部磁極層８３の磁極部分は、記録トラッ
ク幅に等しい幅を有している。また、上部磁極層８３の
媒体対向面とは反対側の端部は、記録ギャップ層８０に
形成されたコンタクトホールを介して下部磁極層７９に
接続され、磁気的に連結されている。
る磁極部分と、下部磁極層７９の媒体対向面側の一部で
ある磁極部分は、記録ギャップ層８０を介して互いに対
向している。上部磁極層８３の磁極部分は、記録トラッ
ク幅に等しい幅を有している。また、上部磁極層８３の
媒体対向面とは反対側の端部は、記録ギャップ層８０に
形成されたコンタクトホールを介して下部磁極層７９に
接続され、磁気的に連結されている。
【００４１】図４に示した薄膜磁気ヘッド素子７１にお
いて媒体対向面（図における左側の面）が、図３に示し
た加工装置１によってラッピングされる面である。ラッ
ピングの際、加工装置１は、バー７０に含まれる各薄膜
磁気ヘッド素子７１におけるスロートハイトＴＨおよび
ＭＲハイトＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるよう
に制御を行う。このような制御は、例えば、特開平２−
９５５７２号公報に示されるように、電気的ラッピング
ガイド（Electrical Lapping Guide：ELG）とＭＲ素子
７６の抵抗値を監視することによって行われる。電気的
ラッピングガイドは、例えば、バー７０の長手方向の両
端部に配置されるように、薄膜磁気ヘッド素子７１の形
成の際に、基板７２上に形成される。
いて媒体対向面（図における左側の面）が、図３に示し
た加工装置１によってラッピングされる面である。ラッ
ピングの際、加工装置１は、バー７０に含まれる各薄膜
磁気ヘッド素子７１におけるスロートハイトＴＨおよび
ＭＲハイトＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるよう
に制御を行う。このような制御は、例えば、特開平２−
９５５７２号公報に示されるように、電気的ラッピング
ガイド（Electrical Lapping Guide：ELG）とＭＲ素子
７６の抵抗値を監視することによって行われる。電気的
ラッピングガイドは、例えば、バー７０の長手方向の両
端部に配置されるように、薄膜磁気ヘッド素子７１の形
成の際に、基板７２上に形成される。
【００４２】図５は、上述のように、電気的ラッピング
ガイドとＭＲ素子の抵抗値を監視してラッピングを制御
する加工装置の回路構成の一例を示すブロック図であ
る。この例の加工装置は、バー７０内の電気的ラッピン
グガイド（図では、ＥＬＧと記す。）８５とＭＲ素子７
６の抵抗値を監視して、治具５０の荷重付加部５４Ａ，
５４Ｂ，５４Ｃにそれぞれ３方向の荷重を付加するため
の９つアクチュエータ９１〜９９を制御する制御装置８
６と、図示しないコネクタを介して、バー７０内の複数
の電気的ラッピングガイド８５および複数のＭＲ素子７
６に接続され、これらの電気的ラッピングガイド８５お
よびＭＲ素子７６のいずれかを選択的に制御装置８６に
接続するマルチプレクサ８７とを備えている。
ガイドとＭＲ素子の抵抗値を監視してラッピングを制御
する加工装置の回路構成の一例を示すブロック図であ
る。この例の加工装置は、バー７０内の電気的ラッピン
グガイド（図では、ＥＬＧと記す。）８５とＭＲ素子７
６の抵抗値を監視して、治具５０の荷重付加部５４Ａ，
５４Ｂ，５４Ｃにそれぞれ３方向の荷重を付加するため
の９つアクチュエータ９１〜９９を制御する制御装置８
６と、図示しないコネクタを介して、バー７０内の複数
の電気的ラッピングガイド８５および複数のＭＲ素子７
６に接続され、これらの電気的ラッピングガイド８５お
よびＭＲ素子７６のいずれかを選択的に制御装置８６に
接続するマルチプレクサ８７とを備えている。
【００４３】この加工装置では、制御装置８６は、マル
チプレクサ８７を介して、バー７０内の電気的ラッピン
グガイド８５およびＭＲ素子７６の抵抗値を監視して、
アクチュエータ９１〜９９を制御する。制御装置８６
は、始めは、電気的ラッピングガイド８５の抵抗値を監
視することによって、粗仕上げを行い、その後、各ＭＲ
素子７６の抵抗値を監視することによって、各薄膜磁気
ヘッド素子７１におけるスロートハイトＴＨおよびＭＲ
ハイトＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるように制
御を行う。
チプレクサ８７を介して、バー７０内の電気的ラッピン
グガイド８５およびＭＲ素子７６の抵抗値を監視して、
アクチュエータ９１〜９９を制御する。制御装置８６
は、始めは、電気的ラッピングガイド８５の抵抗値を監
視することによって、粗仕上げを行い、その後、各ＭＲ
素子７６の抵抗値を監視することによって、各薄膜磁気
ヘッド素子７１におけるスロートハイトＴＨおよびＭＲ
ハイトＭＲ−ｈが全て許容誤差の範囲内となるように制
御を行う。
【００４４】次に、図６ないし図１０を参照して、本実
施の形態に係る冶具５０を用いて加工が施されるバー７
０をウェハより切り出す方法の例について説明する。以
下の例では、薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダ部分が
複数列に配列された円板状のウェハより、互いに幅の異
なる複数種類のブロックを形成する。各ブロックは、複
数列に配列されたスライダ部分を含み一定の幅を有す
る。バーは、ブロックを１方向に切断して形成される。
施の形態に係る冶具５０を用いて加工が施されるバー７
０をウェハより切り出す方法の例について説明する。以
下の例では、薄膜磁気ヘッド素子を含むスライダ部分が
複数列に配列された円板状のウェハより、互いに幅の異
なる複数種類のブロックを形成する。各ブロックは、複
数列に配列されたスライダ部分を含み一定の幅を有す
る。バーは、ブロックを１方向に切断して形成される。
【００４５】以下の例において、円板状のウェハの直径
は、例えば、７６．２ｍｍ（３インチ）、１５２．４ｍ
ｍ（６インチ）または２０３．２ｍｍ（８インチ）であ
る。以下、直径が７６．２ｍｍ（３インチ）、１５２．
４ｍｍ（６インチ）、２０３．２ｍｍ（８インチ）のウ
ェハを、それぞれ、３インチウェハ、６インチウェハ、
８インチウェハと言う。
は、例えば、７６．２ｍｍ（３インチ）、１５２．４ｍ
ｍ（６インチ）または２０３．２ｍｍ（８インチ）であ
る。以下、直径が７６．２ｍｍ（３インチ）、１５２．
４ｍｍ（６インチ）、２０３．２ｍｍ（８インチ）のウ
ェハを、それぞれ、３インチウェハ、６インチウェハ、
８インチウェハと言う。
【００４６】図６は、３インチウェハより３種類のブロ
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。この例では、３インチウェハ１０１ａ
より、３種類のブロック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ
を切り出している。なお、図６ないし図１０では、ブロ
ック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃを、それぞれ簡略的
に符号Ａ，Ｂ，Ｃでも表している。図６において、スラ
イダ部分の列は左右方向に延び、このスライダ部分の列
が上下方向に複数並んでいる。また、ブロック１１１
Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの幅とは、図６においてブロッ
ク１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの左右方向の長さであ
る。ブロック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの中では、
ブロック１１１Ａの幅が最も大きく、次にブロック１１
１Ｂの幅が大きく、ブロック１１１Ｃの幅が最も小さく
なっている。
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。この例では、３インチウェハ１０１ａ
より、３種類のブロック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ
を切り出している。なお、図６ないし図１０では、ブロ
ック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃを、それぞれ簡略的
に符号Ａ，Ｂ，Ｃでも表している。図６において、スラ
イダ部分の列は左右方向に延び、このスライダ部分の列
が上下方向に複数並んでいる。また、ブロック１１１
Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの幅とは、図６においてブロッ
ク１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの左右方向の長さであ
る。ブロック１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃの中では、
ブロック１１１Ａの幅が最も大きく、次にブロック１１
１Ｂの幅が大きく、ブロック１１１Ｃの幅が最も小さく
なっている。
【００４７】図６に示した例では、３インチウェハ１０
１ａ内の上下方向の中央部分よりブロック１１１Ａが切
り出され、ブロック１１１Ａの上側および下側よりそれ
ぞれブロック１１１Ｂが切り出され、更にその上側およ
び下側よりそれぞれブロック１１１Ｃが切り出されてい
る。３インチウェハ１０１ａの外周から内側へ向かって
所定の幅の領域は、ブロックとする部分から除いてい
る。
１ａ内の上下方向の中央部分よりブロック１１１Ａが切
り出され、ブロック１１１Ａの上側および下側よりそれ
ぞれブロック１１１Ｂが切り出され、更にその上側およ
び下側よりそれぞれブロック１１１Ｃが切り出されてい
る。３インチウェハ１０１ａの外周から内側へ向かって
所定の幅の領域は、ブロックとする部分から除いてい
る。
【００４８】ブロック１１１Ａの幅は、例えば６９．６
ｍｍ±５％とする。ブロック１１１Ｂの幅は、例えば５
７．６ｍｍ±５％とする。ブロック１１１Ｃの幅は、例
えば３８．４ｍｍ±５％とする。各ブロック１１１Ａ，
１１１Ｂ，１１１Ｃにおいて、幅方向の両端から内側へ
向かって所定（スライダ部分２個分程度）の幅の領域内
のスライダ部分は無効とし、残りのスライダ部分を有効
とする。
ｍｍ±５％とする。ブロック１１１Ｂの幅は、例えば５
７．６ｍｍ±５％とする。ブロック１１１Ｃの幅は、例
えば３８．４ｍｍ±５％とする。各ブロック１１１Ａ，
１１１Ｂ，１１１Ｃにおいて、幅方向の両端から内側へ
向かって所定（スライダ部分２個分程度）の幅の領域内
のスライダ部分は無効とし、残りのスライダ部分を有効
とする。
【００４９】図７は、３インチウェハより２種類のブロ
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。この例では、３インチウェハ１０１ａ
より、２種類のブロック１１１Ａ，１１１Ｂを切り出し
ている。３インチウェハ１０１ａ内におけるブロック１
１１Ａ，１１１Ｂの位置は、図６に示した例と同様であ
る。
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。この例では、３インチウェハ１０１ａ
より、２種類のブロック１１１Ａ，１１１Ｂを切り出し
ている。３インチウェハ１０１ａ内におけるブロック１
１１Ａ，１１１Ｂの位置は、図６に示した例と同様であ
る。
【００５０】図８は、６インチウェハより２種類のブロ
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。図８に示した例では、６インチウェハ
１０１ｂ内の上下方向の中央部分より、左右に方向に並
ぶ２つのブロック１１１Ａ1が切り出されている。ま
た、各ブロック１１１Ａ1の上側および下側ではブロッ
ク１１１Ｂが切り出されている。また、上下の各ブロッ
ク１１１Ｂの上側および下側ではブロック１１１Ａ2が
切り出されている。なお、ブロック１１１Ａ1,１１１Ａ
2はブロック１１１Ａと同じ種類に属し、その幅はブロ
ック１１１Ａと同じである。
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。図８に示した例では、６インチウェハ
１０１ｂ内の上下方向の中央部分より、左右に方向に並
ぶ２つのブロック１１１Ａ1が切り出されている。ま
た、各ブロック１１１Ａ1の上側および下側ではブロッ
ク１１１Ｂが切り出されている。また、上下の各ブロッ
ク１１１Ｂの上側および下側ではブロック１１１Ａ2が
切り出されている。なお、ブロック１１１Ａ1,１１１Ａ
2はブロック１１１Ａと同じ種類に属し、その幅はブロ
ック１１１Ａと同じである。
【００５１】図９は、８インチウェハより２種類のブロ
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。図９に示した例では、８インチウェハ
１０１ｃ内の上下方向の中央部分において、左右方向の
中央部分よりブロック１１１Ｂ11が切り出され、その左
右両側よりそれぞれブロック１１１Ａ11が切り出されて
いる。また、ブロック１１１Ａ11，１１１Ｂ11の上側お
よび下側では、左右方向の中央部分よりブロック１１１
Ａ12が切り出され、その左右両側よりそれぞれブロック
１１１Ｂ12が切り出されている。また、上下の各ブロッ
ク１１１Ａ12，１１１Ｂ12の上側および下側では、左右
方向に並ぶ３つのブロック１１１Ｂ13が切り出されてい
る。また、上下の各ブロック１１１Ｂ13の上側および下
側では、左右方向に並ぶ２つのブロック１１１Ａ13が切
り出されている。また、上下の各ブロック１１１Ａ13の
上側および下側では、左右方向に並ぶ２つのブロック１
１１Ｂ14が切り出されている。また、上下の各ブロック
１１１Ｂ14の上側および下側ではブロック１１１Ａ14が
切り出されている。
ックを切り出す場合におけるブロックの配置の一例を示
す説明図である。図９に示した例では、８インチウェハ
１０１ｃ内の上下方向の中央部分において、左右方向の
中央部分よりブロック１１１Ｂ11が切り出され、その左
右両側よりそれぞれブロック１１１Ａ11が切り出されて
いる。また、ブロック１１１Ａ11，１１１Ｂ11の上側お
よび下側では、左右方向の中央部分よりブロック１１１
Ａ12が切り出され、その左右両側よりそれぞれブロック
１１１Ｂ12が切り出されている。また、上下の各ブロッ
ク１１１Ａ12，１１１Ｂ12の上側および下側では、左右
方向に並ぶ３つのブロック１１１Ｂ13が切り出されてい
る。また、上下の各ブロック１１１Ｂ13の上側および下
側では、左右方向に並ぶ２つのブロック１１１Ａ13が切
り出されている。また、上下の各ブロック１１１Ａ13の
上側および下側では、左右方向に並ぶ２つのブロック１
１１Ｂ14が切り出されている。また、上下の各ブロック
１１１Ｂ14の上側および下側ではブロック１１１Ａ14が
切り出されている。
【００５２】なお、ブロック１１１Ａ11,１１１Ａ12,１
１１Ａ13,１１１Ａ14は、ブロック１１１Ａと同じ種類
に属し、その幅はブロック１１１Ａと同じである。同様
に、ブロック１１１Ｂ11,１１１Ｂ12,１１１Ｂ13,１１
１Ｂ14はブロック１１１Ｂと同じ種類に属し、その幅は
ブロック１１１Ｂと同じである。
１１Ａ13,１１１Ａ14は、ブロック１１１Ａと同じ種類
に属し、その幅はブロック１１１Ａと同じである。同様
に、ブロック１１１Ｂ11,１１１Ｂ12,１１１Ｂ13,１１
１Ｂ14はブロック１１１Ｂと同じ種類に属し、その幅は
ブロック１１１Ｂと同じである。
【００５３】図１０は、８インチウェハより２種類のブ
ロックを切り出す場合におけるブロックの配置の他の例
を示す説明図である。図１０に示した例では、８インチ
ウェハ１０１ｃ内の上下方向の中央部分において、左右
方向の中央部分よりブロック１１１Ａ21が切り出され、
その左右両側よりそれぞれブロック１１１Ｂ21が切り出
されている。また、ブロック１１１Ａ21，１１１Ｂ21の
上側および下側では、左右方向に並ぶ３つのブロック１
１１Ｂ22が切り出されている。また、上下の各ブロック
１１１Ｂ22の上側および下側では、左右方向に並ぶ２つ
のブロック１１１Ａ22が切り出されている。また、上下
の各ブロック１１１Ａ22の上側および下側では、左右方
向に並ぶ２つのブロック１１１Ｂ23が切り出されてい
る。また、上下の各ブロック１１１Ｂ23の上側および下
側ではブロック１１１Ａ23が切り出されている。
ロックを切り出す場合におけるブロックの配置の他の例
を示す説明図である。図１０に示した例では、８インチ
ウェハ１０１ｃ内の上下方向の中央部分において、左右
方向の中央部分よりブロック１１１Ａ21が切り出され、
その左右両側よりそれぞれブロック１１１Ｂ21が切り出
されている。また、ブロック１１１Ａ21，１１１Ｂ21の
上側および下側では、左右方向に並ぶ３つのブロック１
１１Ｂ22が切り出されている。また、上下の各ブロック
１１１Ｂ22の上側および下側では、左右方向に並ぶ２つ
のブロック１１１Ａ22が切り出されている。また、上下
の各ブロック１１１Ａ22の上側および下側では、左右方
向に並ぶ２つのブロック１１１Ｂ23が切り出されてい
る。また、上下の各ブロック１１１Ｂ23の上側および下
側ではブロック１１１Ａ23が切り出されている。
【００５４】なお、ブロック１１１Ａ21,１１１Ａ22,１
１１Ａ23は、ブロック１１１Ａと同じ種類に属し、その
幅はブロック１１１Ａと同じである。同様に、ブロック
１１１Ｂ21,１１１Ｂ22,１１１Ｂ23は、ブロック１１１
Ｂと同じ種類に属し、その幅はブロック１１１Ｂと同じ
である。
１１Ａ23は、ブロック１１１Ａと同じ種類に属し、その
幅はブロック１１１Ａと同じである。同様に、ブロック
１１１Ｂ21,１１１Ｂ22,１１１Ｂ23は、ブロック１１１
Ｂと同じ種類に属し、その幅はブロック１１１Ｂと同じ
である。
【００５５】図６ないし図１０に示した例のようにして
ウェハより切り出された２種類または３種類のブロック
を切断してバーを形成することにより、長さが６９．６
ｍｍ±５％と５７．６ｍｍ±５％の２種類のバー、また
は、これらに長さが３８．４ｍｍ±５％のバーを加えた
３種類のバーが得られる。本実施の形態に係る冶具５０
は、このような複数種類のバーに対して共通に使用され
る。
ウェハより切り出された２種類または３種類のブロック
を切断してバーを形成することにより、長さが６９．６
ｍｍ±５％と５７．６ｍｍ±５％の２種類のバー、また
は、これらに長さが３８．４ｍｍ±５％のバーを加えた
３種類のバーが得られる。本実施の形態に係る冶具５０
は、このような複数種類のバーに対して共通に使用され
る。
【００５６】以下、構造解析シミュレーションの結果を
参照して、本実施の形態に係る冶具５０の作用および効
果について詳しく説明する。
参照して、本実施の形態に係る冶具５０の作用および効
果について詳しく説明する。
【００５７】まず、構造解析シミュレーションにおいて
本実施の形態に係る冶具５０と比較するために用いた２
つの比較例の冶具について説明する。図１１は第１の比
較例の冶具１５１を示す正面図、図１２は第２の比較例
の冶具１５２を示す正面図である。
本実施の形態に係る冶具５０と比較するために用いた２
つの比較例の冶具について説明する。図１１は第１の比
較例の冶具１５１を示す正面図、図１２は第２の比較例
の冶具１５２を示す正面図である。
【００５８】図１１に示した第１の比較例の冶具１５１
では、保持部５２の両端部が連結部５３Ａ，５３Ｄを介
して本体部５１に連結されている。また、この冶具１５
１における保持部５２およびバー固定部５８は、長さが
約５０ｍｍのバーについて使用するのに適するように設
計されており、本実施の形態に係る冶具５０における保
持部５２およびバー固定部５８に比べて短くなってい
る。また、この冶具１５１では、保持部５２が短い分、
連結部５３Ａ，５３Ｄが長くなっている。
では、保持部５２の両端部が連結部５３Ａ，５３Ｄを介
して本体部５１に連結されている。また、この冶具１５
１における保持部５２およびバー固定部５８は、長さが
約５０ｍｍのバーについて使用するのに適するように設
計されており、本実施の形態に係る冶具５０における保
持部５２およびバー固定部５８に比べて短くなってい
る。また、この冶具１５１では、保持部５２が短い分、
連結部５３Ａ，５３Ｄが長くなっている。
【００５９】図１２に示した第２の比較例の冶具１５２
における保持部５２およびバー固定部５８は、長さが約
７０ｍｍのバーについて使用できるように、第１の比較
例の冶具１５１における保持部５２およびバー固定部５
８よりも長く、本実施の形態に係る冶具５０における保
持部５２およびバー固定部５８と同程度の長さになって
いる。また、この冶具１５２においても、保持部５２の
両端部は連結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連
結されている。また、この冶具１５２では、第１の比較
例の冶具１５１に比べて、保持部５２が長い分、連結部
５３Ａ，５３Ｄが短くなっている。
における保持部５２およびバー固定部５８は、長さが約
７０ｍｍのバーについて使用できるように、第１の比較
例の冶具１５１における保持部５２およびバー固定部５
８よりも長く、本実施の形態に係る冶具５０における保
持部５２およびバー固定部５８と同程度の長さになって
いる。また、この冶具１５２においても、保持部５２の
両端部は連結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連
結されている。また、この冶具１５２では、第１の比較
例の冶具１５１に比べて、保持部５２が長い分、連結部
５３Ａ，５３Ｄが短くなっている。
【００６０】図１３は、図１１に示した第１の比較例の
冶具１５１に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。このシミュレーションでは、冶具１
５１の荷重付加部５４Ａ，５４Ｃにそれぞれ上方向に
９．８Ｎ（＝１ｋｇｆ）の荷重を付加し、荷重付加部５
４Ｂに下方向に９．８Ｎ（＝１ｋｇｆ）の荷重を付加し
ている。このシミュレーションの結果では、保持部５２
においてほぼ理想的なたわみが得られている。これは、
保持部５２の両端部近傍において保持部５２の自由な変
形が阻害されない程度に、連結部５３Ａ，５３Ｄが十分
長いためである。
冶具１５１に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。このシミュレーションでは、冶具１
５１の荷重付加部５４Ａ，５４Ｃにそれぞれ上方向に
９．８Ｎ（＝１ｋｇｆ）の荷重を付加し、荷重付加部５
４Ｂに下方向に９．８Ｎ（＝１ｋｇｆ）の荷重を付加し
ている。このシミュレーションの結果では、保持部５２
においてほぼ理想的なたわみが得られている。これは、
保持部５２の両端部近傍において保持部５２の自由な変
形が阻害されない程度に、連結部５３Ａ，５３Ｄが十分
長いためである。
【００６１】図１４は、図１２に示した第２の比較例の
冶具１５２に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。荷重の付加の条件は、図１３の場合
と同様である。このシミュレーションの結果では、保持
部５２の両端部近傍において保持部５２の自由な変形が
阻害されている。このように、保持部５２の両端部を連
結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連結した構造
では、保持部５２を長くすると、その分、連結部５３
Ａ，５３Ｄが短くなり、その結果、保持部５２の両端部
近傍において保持部５２の自由な変形が阻害されて、保
持部５２の両端部近傍において理想的なたわみが得られ
ないことが分かる。
冶具１５２に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。荷重の付加の条件は、図１３の場合
と同様である。このシミュレーションの結果では、保持
部５２の両端部近傍において保持部５２の自由な変形が
阻害されている。このように、保持部５２の両端部を連
結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連結した構造
では、保持部５２を長くすると、その分、連結部５３
Ａ，５３Ｄが短くなり、その結果、保持部５２の両端部
近傍において保持部５２の自由な変形が阻害されて、保
持部５２の両端部近傍において理想的なたわみが得られ
ないことが分かる。
【００６２】また、構造解析シミュレーションにより、
第１の比較例や第２の比較例のように保持部５２の両端
部を連結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連結し
た構造では、保持部５２の長さが本体部５１の長さの約
６５％以内の場合には保持部５２においてほぼ理想的な
たわみが得られるが、保持部５２の長さが本体部５１の
長さの約６５％を超えると保持部５２の両端部近傍にお
いて理想的なたわみが得られないことが分かった。
第１の比較例や第２の比較例のように保持部５２の両端
部を連結部５３Ａ，５３Ｄを介して本体部５１に連結し
た構造では、保持部５２の長さが本体部５１の長さの約
６５％以内の場合には保持部５２においてほぼ理想的な
たわみが得られるが、保持部５２の長さが本体部５１の
長さの約６５％を超えると保持部５２の両端部近傍にお
いて理想的なたわみが得られないことが分かった。
【００６３】図１５は、図１に示した本実施の形態に係
る冶具５０に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。荷重の付加の条件は、図１３の場合
と同様である。このシミュレーションの結果では、保持
部５２において理想的なたわみが得られている。このよ
うに、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂが本体部５１
に連結されずに解放された構造とすることにより、保持
部５２を長くしても、保持部５２において理想的なたわ
みが得られることが分かる。また、構造解析シミュレー
ションにより、本実施の形態に係る冶具５０では、保持
部５２の長さが本体部５１の長さの約８５％以内の場合
に、保持部５２においてほぼ理想的なたわみが得られる
ことが分かった。
る冶具５０に対する構造解析シミュレーションの結果を
示したものである。荷重の付加の条件は、図１３の場合
と同様である。このシミュレーションの結果では、保持
部５２において理想的なたわみが得られている。このよ
うに、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂが本体部５１
に連結されずに解放された構造とすることにより、保持
部５２を長くしても、保持部５２において理想的なたわ
みが得られることが分かる。また、構造解析シミュレー
ションにより、本実施の形態に係る冶具５０では、保持
部５２の長さが本体部５１の長さの約８５％以内の場合
に、保持部５２においてほぼ理想的なたわみが得られる
ことが分かった。
【００６４】次に、図１６ないし図２５を参照して、本
実施の形態に係る冶具５０が、図１２に示した第２の比
較例の冶具１５２に比べて、保持部５２においてより理
想的なたわみが得られることを定量的に示す２つのシミ
ュレーションの結果について説明する。
実施の形態に係る冶具５０が、図１２に示した第２の比
較例の冶具１５２に比べて、保持部５２においてより理
想的なたわみが得られることを定量的に示す２つのシミ
ュレーションの結果について説明する。
【００６５】図１６ないし図２０は第１のシミュレーシ
ョンに係るものである。図１６は、第１のシミュレーシ
ョンにおいて作りたい保持部５２の変位曲線（以下、理
想曲線と言う。）を示したものである。図１６におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は保持部５２の垂直方向の変位を表している。
ョンに係るものである。図１６は、第１のシミュレーシ
ョンにおいて作りたい保持部５２の変位曲線（以下、理
想曲線と言う。）を示したものである。図１６におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は保持部５２の垂直方向の変位を表している。
【００６６】図１７は、第２の比較例の冶具１５２で得
られる保持部５２の変位曲線を実線で示し、理想曲線を
破線で示したものである。図１７における横軸と縦軸は
図１６と同様である。図１８は、図１７に示した第２の
比較例の冶具１５２で得られる保持部５２の変位曲線と
理想曲線との偏差を示したものである。図１８におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は偏差を表している。
られる保持部５２の変位曲線を実線で示し、理想曲線を
破線で示したものである。図１７における横軸と縦軸は
図１６と同様である。図１８は、図１７に示した第２の
比較例の冶具１５２で得られる保持部５２の変位曲線と
理想曲線との偏差を示したものである。図１８におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は偏差を表している。
【００６７】図１９は、本実施の形態に係る冶具５０で
得られる保持部５２の変位曲線を示したものである。図
１９における横軸と縦軸は図１６と同様である。図２０
は、図１９に示した本実施の形態に係る冶具５０で得ら
れる保持部５２の変位曲線と図１６に示した理想曲線と
の偏差を示したものである。図２０における横軸と縦軸
は図１８と同様である。
得られる保持部５２の変位曲線を示したものである。図
１９における横軸と縦軸は図１６と同様である。図２０
は、図１９に示した本実施の形態に係る冶具５０で得ら
れる保持部５２の変位曲線と図１６に示した理想曲線と
の偏差を示したものである。図２０における横軸と縦軸
は図１８と同様である。
【００６８】図１８と図２０を比較すると、本実施の形
態に係る冶具５０が、第２の比較例の冶具１５２に比べ
て、保持部５２においてより理想的なたわみが得られる
ことがよく分かる。
態に係る冶具５０が、第２の比較例の冶具１５２に比べ
て、保持部５２においてより理想的なたわみが得られる
ことがよく分かる。
【００６９】図２１ないし図２５は第２のシミュレーシ
ョンに係るものである。図２１は、第２のシミュレーシ
ョンにおいて作りたい保持部５２の変位曲線（理想曲
線）を示したものである。図２１において、横軸は保持
部５２における長手方向の位置を表し、縦軸は保持部５
２の垂直方向の変位を表している。
ョンに係るものである。図２１は、第２のシミュレーシ
ョンにおいて作りたい保持部５２の変位曲線（理想曲
線）を示したものである。図２１において、横軸は保持
部５２における長手方向の位置を表し、縦軸は保持部５
２の垂直方向の変位を表している。
【００７０】図２２は、第２の比較例の冶具１５２で得
られる保持部５２の変位曲線を実線で示し、理想曲線を
破線で示したものである。図２２における横軸と縦軸は
図２１と同様である。図２３は、図２２に示した第２の
比較例の冶具１５２で得られる保持部５２の変位曲線と
理想曲線との偏差を示したものである。図２３におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は偏差を表している。
られる保持部５２の変位曲線を実線で示し、理想曲線を
破線で示したものである。図２２における横軸と縦軸は
図２１と同様である。図２３は、図２２に示した第２の
比較例の冶具１５２で得られる保持部５２の変位曲線と
理想曲線との偏差を示したものである。図２３におい
て、横軸は保持部５２における長手方向の位置を表し、
縦軸は偏差を表している。
【００７１】図２４は、本実施の形態に係る冶具５０で
得られる保持部５２の変位曲線を示したものである。図
２４における横軸と縦軸は図２１と同様である。図２５
は、図２４に示した本実施の形態に係る冶具５０で得ら
れる保持部５２の変位曲線と図２１に示した理想曲線と
の偏差を示したものである。図２５における横軸と縦軸
は図２３と同様である。
得られる保持部５２の変位曲線を示したものである。図
２４における横軸と縦軸は図２１と同様である。図２５
は、図２４に示した本実施の形態に係る冶具５０で得ら
れる保持部５２の変位曲線と図２１に示した理想曲線と
の偏差を示したものである。図２５における横軸と縦軸
は図２３と同様である。
【００７２】図２３と図２５を比較すると、本実施の形
態に係る冶具５０が、第２の比較例の冶具１５２に比べ
て、保持部５２においてより理想的なたわみが得られる
ことが分かる。
態に係る冶具５０が、第２の比較例の冶具１５２に比べ
て、保持部５２においてより理想的なたわみが得られる
ことが分かる。
【００７３】以上説明したように、本実施の形態に係る
冶具５０によれば、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂ
が本体部５１に連結されずに解放されているので、保持
部５２の両端部５２ａ，５２ｂの近傍において自由な変
形が阻害されることがなく、保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂの近傍においても保持部５２を望む形状に変
形させることが可能になる。従って、本実施の形態によ
れば、長いバー７０を用いる場合であっても、バー７０
を精度よく加工することが可能になる。その結果、長い
バー７０に含まれる多くの薄膜磁気ヘッド素子のスロー
トハイトおよびＭＲハイトの目標値に対する偏差を小さ
くでき、薄膜磁気ヘッドの歩留りを向上させることがで
きる。
冶具５０によれば、保持部５２の両端部５２ａ，５２ｂ
が本体部５１に連結されずに解放されているので、保持
部５２の両端部５２ａ，５２ｂの近傍において自由な変
形が阻害されることがなく、保持部５２の両端部５２
ａ，５２ｂの近傍においても保持部５２を望む形状に変
形させることが可能になる。従って、本実施の形態によ
れば、長いバー７０を用いる場合であっても、バー７０
を精度よく加工することが可能になる。その結果、長い
バー７０に含まれる多くの薄膜磁気ヘッド素子のスロー
トハイトおよびＭＲハイトの目標値に対する偏差を小さ
くでき、薄膜磁気ヘッドの歩留りを向上させることがで
きる。
【００７４】［第２の実施の形態］次に、図２６を参照
して、本発明の第２の実施の形態に係る加工用冶具につ
いて説明する。図２６は、本実施の形態に係る加工用冶
具２５０の使用状態を示す正面図である。本実施の形態
に係る冶具２５０では、荷重付加部５４Ｂと連結部５３
Ｂとの間の位置に、荷重付加部５４Ｄと、この荷重付加
部５４Ｄと保持部５２とを連結する腕部５５Ｄとが設け
られ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｃとの間の位置
に、荷重付加部５４Ｅと、この荷重付加部５４Ｅと保持
部５２とを連結する腕部５５Ｅとが設けられている。ま
た、本実施の形態に係る冶具２５０では、荷重付加部５
４Ａ〜５４Ｅは、断面がほぼ円形の孔によって構成され
ている。これらの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｅは上下方向
に駆動されるようになっている。なお、この冶具２５０
を使用する加工装置は、５つの荷重付加部５４Ａ〜５４
Ｅに独立に荷重を付加できる５本の荷重付加棒を有する
ものとする。
して、本発明の第２の実施の形態に係る加工用冶具につ
いて説明する。図２６は、本実施の形態に係る加工用冶
具２５０の使用状態を示す正面図である。本実施の形態
に係る冶具２５０では、荷重付加部５４Ｂと連結部５３
Ｂとの間の位置に、荷重付加部５４Ｄと、この荷重付加
部５４Ｄと保持部５２とを連結する腕部５５Ｄとが設け
られ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｃとの間の位置
に、荷重付加部５４Ｅと、この荷重付加部５４Ｅと保持
部５２とを連結する腕部５５Ｅとが設けられている。ま
た、本実施の形態に係る冶具２５０では、荷重付加部５
４Ａ〜５４Ｅは、断面がほぼ円形の孔によって構成され
ている。これらの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｅは上下方向
に駆動されるようになっている。なお、この冶具２５０
を使用する加工装置は、５つの荷重付加部５４Ａ〜５４
Ｅに独立に荷重を付加できる５本の荷重付加棒を有する
ものとする。
【００７５】本実施の形態では、荷重付加部５４Ａ〜５
４Ｅは上下方向に変位するだけであるが、第１の実施の
形態に係る冶具５０に比べて荷重付加部の数が多いの
で、第１の実施の形態と同様に、保持部５２を複雑な形
状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッド素子
のスロートハイトおよびＭＲハイトの高精度な制御が可
能になる。
４Ｅは上下方向に変位するだけであるが、第１の実施の
形態に係る冶具５０に比べて荷重付加部の数が多いの
で、第１の実施の形態と同様に、保持部５２を複雑な形
状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッド素子
のスロートハイトおよびＭＲハイトの高精度な制御が可
能になる。
【００７６】本実施の形態におけるその他の構成、作用
および効果は、第１の実施の形態と同様である。
および効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００７７】［第３の実施の形態］次に、図２７を参照
して、本発明の第３の実施の形態に係る加工用冶具につ
いて説明する。図２７は、本実施の形態に係る加工用冶
具３５０の使用状態を示す正面図である。本実施の形態
に係る冶具３５０では、荷重付加部５４Ａと連結部５３
Ｂとの間の位置に、荷重付加部１５４Ａと、この荷重付
加部１５４Ａと保持部５２とを連結する腕部１５５Ａと
が設けられ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｂとの間の
位置に、荷重付加部１５４Ｂと、この荷重付加部１５４
Ｂと保持部５２とを連結する腕部１５５Ｂとが設けら
れ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｃとの間の位置に、
荷重付加部１５４Ｃと、この荷重付加部１５４Ｃと保持
部５２とを連結する腕部１５５Ｃとが設けられ、荷重付
加部５４Ｂと連結部５３Ｄとの間の位置に、荷重付加部
１５４Ｄと、この荷重付加部１５４Ｄと保持部５２とを
連結する腕部１５５Ｄとが設けられている。また、本実
施の形態に係る冶具３５０では、荷重付加部５４Ａ〜５
４Ｃ，１５４Ａ〜１５４Ｄは、断面がほぼ円形の孔によ
って構成されている。これらの荷重付加部５４Ａ〜５４
Ｃ，１５４Ａ〜１５４Ｄは上下方向に駆動されるように
なっている。なお、この冶具３５０を使用する加工装置
は、７つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃ，１５４Ａ〜１５
４Ｄに独立に荷重を付加できる７本の荷重付加棒を有す
るものとする。
して、本発明の第３の実施の形態に係る加工用冶具につ
いて説明する。図２７は、本実施の形態に係る加工用冶
具３５０の使用状態を示す正面図である。本実施の形態
に係る冶具３５０では、荷重付加部５４Ａと連結部５３
Ｂとの間の位置に、荷重付加部１５４Ａと、この荷重付
加部１５４Ａと保持部５２とを連結する腕部１５５Ａと
が設けられ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｂとの間の
位置に、荷重付加部１５４Ｂと、この荷重付加部１５４
Ｂと保持部５２とを連結する腕部１５５Ｂとが設けら
れ、荷重付加部５４Ｂと連結部５３Ｃとの間の位置に、
荷重付加部１５４Ｃと、この荷重付加部１５４Ｃと保持
部５２とを連結する腕部１５５Ｃとが設けられ、荷重付
加部５４Ｂと連結部５３Ｄとの間の位置に、荷重付加部
１５４Ｄと、この荷重付加部１５４Ｄと保持部５２とを
連結する腕部１５５Ｄとが設けられている。また、本実
施の形態に係る冶具３５０では、荷重付加部５４Ａ〜５
４Ｃ，１５４Ａ〜１５４Ｄは、断面がほぼ円形の孔によ
って構成されている。これらの荷重付加部５４Ａ〜５４
Ｃ，１５４Ａ〜１５４Ｄは上下方向に駆動されるように
なっている。なお、この冶具３５０を使用する加工装置
は、７つの荷重付加部５４Ａ〜５４Ｃ，１５４Ａ〜１５
４Ｄに独立に荷重を付加できる７本の荷重付加棒を有す
るものとする。
【００７８】本実施の形態では、第２の実施の形態に係
る冶具２５０に比べて荷重付加部の数が多いので、第２
の実施の形態に係る冶具２５０よりも、保持部５２を複
雑な形状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッ
ド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトのより高精度
な制御が可能になる。
る冶具２５０に比べて荷重付加部の数が多いので、第２
の実施の形態に係る冶具２５０よりも、保持部５２を複
雑な形状に変形させることが可能になり、薄膜磁気ヘッ
ド素子のスロートハイトおよびＭＲハイトのより高精度
な制御が可能になる。
【００７９】本実施の形態におけるその他の構成、作用
および効果は、第１または第２の実施の形態と同様であ
る。
および効果は、第１または第２の実施の形態と同様であ
る。
【００８０】なお、本発明は、上記各実施の形態に限定
されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明は、
加工として、ラッピング以外の加工、例えばポリシング
や、グラインディングを行う場合にも適用することがで
きる。また、本発明は、加工が施される加工対象物が薄
膜磁気ヘッド以外の場合にも適用することができる。
されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明は、
加工として、ラッピング以外の加工、例えばポリシング
や、グラインディングを行う場合にも適用することがで
きる。また、本発明は、加工が施される加工対象物が薄
膜磁気ヘッド以外の場合にも適用することができる。
【００８１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の加工用治具
によれば、保持部の両端部が本体部に連結されずに解放
されているので、保持部の両端部近傍においても保持部
を望む形状に変形させることが可能になり、長い加工対
象物でも精度よく加工することが可能になるという効果
を奏する。
によれば、保持部の両端部が本体部に連結されずに解放
されているので、保持部の両端部近傍においても保持部
を望む形状に変形させることが可能になり、長い加工対
象物でも精度よく加工することが可能になるという効果
を奏する。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る治具を示す図
である。
である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る治具の使用状
態を示す正面図である。
態を示す正面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る治具が使用さ
れる加工装置の一例を示す斜視図である。
れる加工装置の一例を示す斜視図である。
【図４】薄膜磁気ヘッド素子の構成の一例を示す断面図
である。
である。
【図５】加工装置の回路構成の一例を示すブロック図で
ある。
ある。
【図６】３インチウェハより３種類のブロックを切り出
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
【図７】３インチウェハより２種類のブロックを切り出
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
【図８】６インチウェハより２種類のブロックを切り出
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
【図９】８インチウェハより２種類のブロックを切り出
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
す場合におけるブロックの配置の一例を示す説明図であ
る。
【図１０】８インチウェハより２種類のブロックを切り
出す場合におけるブロックの配置の他の例を示す説明図
である。
出す場合におけるブロックの配置の他の例を示す説明図
である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態に係る治具に対す
る第１の比較例の冶具を示す正面図である。
る第１の比較例の冶具を示す正面図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態に係る治具に対す
る第２の比較例の冶具を示す正面図である。
る第２の比較例の冶具を示す正面図である。
【図１３】第１の比較例の冶具に対する構造解析シミュ
レーションの結果を示す説明図である。
レーションの結果を示す説明図である。
【図１４】第２の比較例の冶具に対する構造解析シミュ
レーションの結果を示す説明図である。
レーションの結果を示す説明図である。
【図１５】本発明の第１の実施の形態に係る冶具に対す
る構造解析シミュレーションの結果を示す説明図であ
る。
る構造解析シミュレーションの結果を示す説明図であ
る。
【図１６】第１のシミュレーションにおいて作りたい保
持部の変位曲線を示す説明図である。
持部の変位曲線を示す説明図である。
【図１７】第１のシミュレーションにおいて第２の比較
例の冶具で得られる保持部の変位曲線を示す説明図であ
る。
例の冶具で得られる保持部の変位曲線を示す説明図であ
る。
【図１８】第１のシミュレーションにおいて第２の比較
例の冶具で得られる保持部の変位曲線と理想曲線との偏
差を示す説明図である。
例の冶具で得られる保持部の変位曲線と理想曲線との偏
差を示す説明図である。
【図１９】第１のシミュレーションにおいて本発明の第
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
を示す説明図である。
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
を示す説明図である。
【図２０】第１のシミュレーションにおいて本発明の第
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
と理想曲線との偏差を示す説明図である。
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
と理想曲線との偏差を示す説明図である。
【図２１】第２のシミュレーションにおいて作りたい保
持部の変位曲線を示す説明図である。
持部の変位曲線を示す説明図である。
【図２２】第２のシミュレーションにおいて第２の比較
例の冶具で得られる保持部の変位曲線を示す説明図であ
る。
例の冶具で得られる保持部の変位曲線を示す説明図であ
る。
【図２３】第２のシミュレーションにおいて第２の比較
例の冶具で得られる保持部の変位曲線と理想曲線との偏
差を示す説明図である。
例の冶具で得られる保持部の変位曲線と理想曲線との偏
差を示す説明図である。
【図２４】第２のシミュレーションにおいて本発明の第
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
を示す説明図である。
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
を示す説明図である。
【図２５】第２のシミュレーションにおいて本発明の第
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
と理想曲線との偏差を示す説明図である。
１の実施の形態に係る冶具で得られる保持部の変位曲線
と理想曲線との偏差を示す説明図である。
【図２６】本発明の第２の実施の形態に係る加工用冶具
の使用状態を示す正面図である。
の使用状態を示す正面図である。
【図２７】本発明の第３の実施の形態に係る加工用冶具
の使用状態を示す正面図である。
の使用状態を示す正面図である。
５０…加工用治具、５１…本体部、５２…保持部、５３
Ａ〜５３Ｄ…連結部、５４Ａ〜５４Ｃ…荷重付加部、５
５Ａ〜５５Ｃ…腕部、５６…固定用孔、５７…係合部、
５８…バー固定部。
Ａ〜５３Ｄ…連結部、５４Ａ〜５４Ｃ…荷重付加部、５
５Ａ〜５５Ｃ…腕部、５６…固定用孔、５７…係合部、
５８…バー固定部。
Claims (4)
- 【請求項１】 １方向に長い加工対象物を保持し、前記
加工対象物に加工を施す加工装置に対して固定される加
工用治具であって、 前記加工装置に固定される本体部と、 前記加工対象物を保持するための１方向に長い保持部
と、 前記保持部と前記本体部とを連結する複数の連結部と、 前記保持部に連結され、前記保持部を変形させるための
荷重が付加される複数の荷重付加部とを備え、 前記保持部の両端部は、前記本体部に連結されずに解放
されていることを特徴とする加工用治具。 - 【請求項２】 複数の荷重付加部のうちの２つは、それ
ぞれ、前記保持部の長手方向の中央よりも各端部側の位
置に配置されて、前記保持部の各端部から所定の距離だ
け中央寄りの位置に連結され、 複数の連結部のうちの２つは、それぞれ、一端部が前記
本体部に接続され、他端部が前記２つの荷重付加部と前
記保持部との連結部分に接続されていることを特徴とす
る請求項１記載の加工用治具。 - 【請求項３】 前記２つの連結部は可撓性を有する板状
をなすことを特徴とする請求項２記載の加工用治具。 - 【請求項４】 前記加工対象物は、薄膜磁気ヘッド素子
を含むスライダとなる部分が一列に配列された棒状の磁
気ヘッド用素材であることを特徴とする請求項１ないし
３のいずれかに記載の加工用治具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36218899A JP3628571B2 (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 加工用治具 |
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| SG200006505A SG91888A1 (en) | 1999-12-21 | 2000-11-10 | Processing jig |
| CNB001354965A CN1220572C (zh) | 1999-12-21 | 2000-12-20 | 加工夹具 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36218899A JP3628571B2 (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 加工用治具 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=18476210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36218899A Expired - Fee Related JP3628571B2 (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 加工用治具 |
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| Country | Link |
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| CN (1) | CN1220572C (ja) |
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- 2000-11-09 US US09/708,536 patent/US6447367B1/en not_active Expired - Fee Related
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- 2000-12-20 CN CNB001354965A patent/CN1220572C/zh not_active Expired - Lifetime
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