JP2001178160A - 振動波駆動装置 - Google Patents
振動波駆動装置Info
- Publication number
- JP2001178160A JP2001178160A JP35579899A JP35579899A JP2001178160A JP 2001178160 A JP2001178160 A JP 2001178160A JP 35579899 A JP35579899 A JP 35579899A JP 35579899 A JP35579899 A JP 35579899A JP 2001178160 A JP2001178160 A JP 2001178160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration wave
- moving
- driving device
- valve body
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】振動波モータ利用して薄型の自動Ｚ軸ステージ
等として用いることのできる振動波駆動装置を提供す
る。 【解決手段】円環状の振動体１に対して円環状の移動体
５を加圧接触させ、振動体１の圧電素子３への駆動信号
の印加により、振動体１に形成される駆動振動により移
動体５を回転させる回転軸心部に貫通孔が形成された振
動波モータと、移動体５の回転を軸方向運動に変換する
前記貫通孔の周囲に設けられた変換手段（５ａ、１０、
１１、１１ｂ）と、前記変換手段により変換された軸方
向運動により軸方向に直進移動する移動部材１１とを有
する。
等として用いることのできる振動波駆動装置を提供す
る。 【解決手段】円環状の振動体１に対して円環状の移動体
５を加圧接触させ、振動体１の圧電素子３への駆動信号
の印加により、振動体１に形成される駆動振動により移
動体５を回転させる回転軸心部に貫通孔が形成された振
動波モータと、移動体５の回転を軸方向運動に変換する
前記貫通孔の周囲に設けられた変換手段（５ａ、１０、
１１、１１ｂ）と、前記変換手段により変換された軸方
向運動により軸方向に直進移動する移動部材１１とを有
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動波モータをア
クチュエータとした自動Ｚ軸ステージ等の振動波駆動装
置に関するものである。
クチュエータとした自動Ｚ軸ステージ等の振動波駆動装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の代表的な自動Ｚ軸ステージとして
は、図４と図５に示す２種類のものがある。
は、図４と図５に示す２種類のものがある。
【０００３】図４に示す自動Ｚ軸ステージは、ステッピ
ングモータ１０１のモータ軸の先端部に取りつけられた
歯車１０２がラック１０３とかみ合い、ラック１０３が
案内レール１０４に沿って上下方向に移動可能となって
おり、ラック１０３の上端に取り付けられたステージ１
０５がステッピングモータ１０１の駆動により上下方向
に移動できるようになっている。
ングモータ１０１のモータ軸の先端部に取りつけられた
歯車１０２がラック１０３とかみ合い、ラック１０３が
案内レール１０４に沿って上下方向に移動可能となって
おり、ラック１０３の上端に取り付けられたステージ１
０５がステッピングモータ１０１の駆動により上下方向
に移動できるようになっている。
【０００４】図５に示す自動Ｚ軸ステージは、ステッピ
ングモータ１１１のモータ軸の先端部に偏心カム１１２
が取り付けられ、不図示のガイド部材により上下方向の
移動が案内されるアタッチメント１１６の下部に設けら
れたカムフォロワー１１３が引っ張りコイルバネ１１４
によってこの偏心カム１１２に当接されていて、モータ
１１１の駆動により、アタッチメント１１６の上部のス
テージ１１５が上下に移動できるようになっている。
ングモータ１１１のモータ軸の先端部に偏心カム１１２
が取り付けられ、不図示のガイド部材により上下方向の
移動が案内されるアタッチメント１１６の下部に設けら
れたカムフォロワー１１３が引っ張りコイルバネ１１４
によってこの偏心カム１１２に当接されていて、モータ
１１１の駆動により、アタッチメント１１６の上部のス
テージ１１５が上下に移動できるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の自動Ｚ軸ステージでは、上面ステージの真下に
駆動モータの回転運動をＺ方向の直進運動に変換する複
雑な構造を設けているため、ステージ上面に置かれてい
る載置物のＺ調整しかできず、使用の自由度が限られて
いた。
た従来の自動Ｚ軸ステージでは、上面ステージの真下に
駆動モータの回転運動をＺ方向の直進運動に変換する複
雑な構造を設けているため、ステージ上面に置かれてい
る載置物のＺ調整しかできず、使用の自由度が限られて
いた。
【０００６】また、一般にＸ，Ｙステージに比べてＺ方
向にスペースをとるという問題があった。
向にスペースをとるという問題があった。
【０００７】本出願に係る第１の発明の目的は、振動波
モータを利用して薄型の自動Ｚ軸ステージ等として用い
ることのできる振動波駆動装置を提供するものである。
モータを利用して薄型の自動Ｚ軸ステージ等として用い
ることのできる振動波駆動装置を提供するものである。
【０００８】本出願に係る第２の発明の目的は、さらに
他の利用に適応できる振動波駆動装置を提供するもので
ある。
他の利用に適応できる振動波駆動装置を提供するもので
ある。
【０００９】本出願に係る第３の発明の目的は、ステー
ジの位置を検出することにより、外部制御を可能とする
より使い易い自動Ｚ軸ステージ等を得ることができる振
動波駆動装置を提供するものである。
ジの位置を検出することにより、外部制御を可能とする
より使い易い自動Ｚ軸ステージ等を得ることができる振
動波駆動装置を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する第１の構成は、円環状の振動体に対して円環
状の移動体を加圧接触させ、該振動体の電気−機械エネ
ルギー変換素子への駆動信号の印加により該振動体に形
成される駆動振動により該移動体を回転させる振動波モ
ータと、前記移動体の回転を軸方向運動に変換する回転
軸心の周囲に設けられた変換手段と、前記変換手段によ
り変換された軸方向運動により軸方向に直進移動する移
動部材を有することを特徴とする振動波駆動装置とする
ものである。
を実現する第１の構成は、円環状の振動体に対して円環
状の移動体を加圧接触させ、該振動体の電気−機械エネ
ルギー変換素子への駆動信号の印加により該振動体に形
成される駆動振動により該移動体を回転させる振動波モ
ータと、前記移動体の回転を軸方向運動に変換する回転
軸心の周囲に設けられた変換手段と、前記変換手段によ
り変換された軸方向運動により軸方向に直進移動する移
動部材を有することを特徴とする振動波駆動装置とする
ものである。
【００１１】本出願に係る発明の目的を実現する第２の
構成は、円環状の振動体に対して円環状の移動体を加圧
接触させ、該振動体の電気−機械エネルギー変換素子へ
の駆動信号の印加により該振動体に形成される駆動振動
により該移動体を回転させる回転軸心部に貫通孔が形成
された振動波モータと、前記移動体の回転を軸方向運動
に変換する前記貫通孔の周囲に設けられた変換手段と、
前記変換手段により変換された軸方向運動により軸方向
に直進移動する移動部材とを有することを特徴とする振
動波駆動装置とするものである。
構成は、円環状の振動体に対して円環状の移動体を加圧
接触させ、該振動体の電気−機械エネルギー変換素子へ
の駆動信号の印加により該振動体に形成される駆動振動
により該移動体を回転させる回転軸心部に貫通孔が形成
された振動波モータと、前記移動体の回転を軸方向運動
に変換する前記貫通孔の周囲に設けられた変換手段と、
前記変換手段により変換された軸方向運動により軸方向
に直進移動する移動部材とを有することを特徴とする振
動波駆動装置とするものである。
【００１２】本出願に係る発明の目的を実現する第３の
構成は、上記いずれかの構成で、前記振動波モータの回
転位置を検出する回転位置検出手段を有することを特徴
とするものである。
構成は、上記いずれかの構成で、前記振動波モータの回
転位置を検出する回転位置検出手段を有することを特徴
とするものである。
【００１３】本出願に係る発明の目的を実現する第４の
構成は、上記いずれかの構成で、前記移動部材はＺ軸ス
テージであることを特徴とする。
構成は、上記いずれかの構成で、前記移動部材はＺ軸ス
テージであることを特徴とする。
【００１４】本出願に係る発明の目的を実現する第５の
構成は、上記いずれかの構成で、前記貫通孔に貫通固定
される筒状の弁本体と、前記弁本体内を移動することに
より流量を調節する弁体とを有し、前記移動部材により
前記弁体を駆動することを特徴とする。
構成は、上記いずれかの構成で、前記貫通孔に貫通固定
される筒状の弁本体と、前記弁本体内を移動することに
より流量を調節する弁体とを有し、前記移動部材により
前記弁体を駆動することを特徴とする。
【００１５】本出願に係る発明の目的を実現する第６の
構成は、上記第５の構成で、前記弁本体は異径形状に形
成され、異径の内面に形成される段部を弁座としたこと
を特徴とする。
構成は、上記第５の構成で、前記弁本体は異径形状に形
成され、異径の内面に形成される段部を弁座としたこと
を特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は本発
明の第１の実施の形態を示す。
明の第１の実施の形態を示す。
【００１７】図１において、１は振動波モータの振動体
で、円環状の金属等で形成された弾性体２の片面にリン
グ状の電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子
３を接着材等で固定したものである。この弾性体２は、
外径部側を駆動に用い、内径部側を固定に用いており、
両者は薄肉部を介して接続されて振動の影響が固定部に
伝達されないようになっており、円筒形状のベース部材
５１の軸心部に形成された軸孔５１ａの外周部に形成の
段部５１ｂに位置決め装着され、ビス４によりベース５
１に固定されている。
で、円環状の金属等で形成された弾性体２の片面にリン
グ状の電気−機械エネルギー変換素子としての圧電素子
３を接着材等で固定したものである。この弾性体２は、
外径部側を駆動に用い、内径部側を固定に用いており、
両者は薄肉部を介して接続されて振動の影響が固定部に
伝達されないようになっており、円筒形状のベース部材
５１の軸心部に形成された軸孔５１ａの外周部に形成の
段部５１ｂに位置決め装着され、ビス４によりベース５
１に固定されている。
【００１８】この振動波モータの駆動原理が公知なので
詳細に説明はしないが、圧電素子３は周方向に沿って多
数の分極領域が形成されていて、これらの分極領域を例
えば２つのグループに分け、形成する進行波の波長をλ
とすると、双方のグループ間には位置的に４分の１λの
奇数倍の位相差を設け、各グループ内では例えば２分の
１波長の間隔を有して配置されていて、前記双方のグル
ープの分極領域に位相の異なる交番信号としての交流電
圧を印加することにより、前記弾性体２に波長λの進行
性を振動波を形成する。そして、この弾性体２の他方面
（図中上面）に加圧接触した円盤状の移動体としてのロ
ータ５が駆動振動としての前記進行波により摩擦駆動
し、軸心を中心に回転する。その際、ロータ５の軸中心
回転を維持するために、本実施の形態では、ロータ５と
ベース５１の内周面との間にボールベアリング式のリン
グ形状に形成された回転支持部材８が設けられている。
詳細に説明はしないが、圧電素子３は周方向に沿って多
数の分極領域が形成されていて、これらの分極領域を例
えば２つのグループに分け、形成する進行波の波長をλ
とすると、双方のグループ間には位置的に４分の１λの
奇数倍の位相差を設け、各グループ内では例えば２分の
１波長の間隔を有して配置されていて、前記双方のグル
ープの分極領域に位相の異なる交番信号としての交流電
圧を印加することにより、前記弾性体２に波長λの進行
性を振動波を形成する。そして、この弾性体２の他方面
（図中上面）に加圧接触した円盤状の移動体としてのロ
ータ５が駆動振動としての前記進行波により摩擦駆動
し、軸心を中心に回転する。その際、ロータ５の軸中心
回転を維持するために、本実施の形態では、ロータ５と
ベース５１の内周面との間にボールベアリング式のリン
グ形状に形成された回転支持部材８が設けられている。
【００１９】本実施の形態のロータ５は軸心部が中空に
形成され、軸心部の周囲には軸部５ｂが形成され、軸部
５ｂの外周面にネジ部（多条ねじ等であっても良い）５
ａが形成されている。
形成され、軸心部の周囲には軸部５ｂが形成され、軸部
５ｂの外周面にネジ部（多条ねじ等であっても良い）５
ａが形成されている。
【００２０】一方、ベース５１の図中上端にはリング状
の蓋部材５１ｃが固定され、内面側の内周部側にリング
状のボールベアリング等の回転支持部材９が取り付けら
れ、さらにこの回転支持部材９の内側に皿ばね状の加圧
バネ６が設けられ、加圧ばね６の開放側先端部が加圧ム
ラを吸収するクッションゴム７を介してロータ５に当接
している。
の蓋部材５１ｃが固定され、内面側の内周部側にリング
状のボールベアリング等の回転支持部材９が取り付けら
れ、さらにこの回転支持部材９の内側に皿ばね状の加圧
バネ６が設けられ、加圧ばね６の開放側先端部が加圧ム
ラを吸収するクッションゴム７を介してロータ５に当接
している。
【００２１】また、ベース５１の内周壁面には、公知の
フォトインタラプタ１２が取り付けられていて、ロータ
５の上面にビス１４によりビス止めされたリング状のス
リット板１３とフォトインタラプタ１２によりロータ５
の回転を検出できるようになっている。
フォトインタラプタ１２が取り付けられていて、ロータ
５の上面にビス１４によりビス止めされたリング状のス
リット板１３とフォトインタラプタ１２によりロータ５
の回転を検出できるようになっている。
【００２２】一方、ロータ５の軸部５ｂに形成されたネ
ジ部５ａには、軸心部に孔部が形成された被駆動部材と
してのスライドテーブル１１のねじ部１１ａが螺合して
いる。そして、このスライドテーブル１１の外周部に形
成されたフランジ部に例えば等間隔に複数のスライド孔
１１ｂが形成されている。
ジ部５ａには、軸心部に孔部が形成された被駆動部材と
してのスライドテーブル１１のねじ部１１ａが螺合して
いる。そして、このスライドテーブル１１の外周部に形
成されたフランジ部に例えば等間隔に複数のスライド孔
１１ｂが形成されている。
【００２３】また、蓋部材５１ｃの上面には、上記スラ
イド孔１１ｂに対応して複数の回り止めロッド１０が設
けられ、この複数の回り止めロッド１０にスライドテー
ブル１１の各スライド孔１１ｂが軸方向にスライド自在
に嵌合している。
イド孔１１ｂに対応して複数の回り止めロッド１０が設
けられ、この複数の回り止めロッド１０にスライドテー
ブル１１の各スライド孔１１ｂが軸方向にスライド自在
に嵌合している。
【００２４】したがって、ロータ５が例えば正方向に回
転すると、このロータ５にねじ結合しているスライドテ
ーブル１１はスライド孔１１ｂに回り止めロッド１０が
嵌合しているので回転は規制され、軸方向例えば図中上
方に回り止めロッド１０に案内されて移動する。その
際、フォトインタラプタ１２の出力をモニターすること
により、スライドテーブルの位置制御が可能となる。
転すると、このロータ５にねじ結合しているスライドテ
ーブル１１はスライド孔１１ｂに回り止めロッド１０が
嵌合しているので回転は規制され、軸方向例えば図中上
方に回り止めロッド１０に案内されて移動する。その
際、フォトインタラプタ１２の出力をモニターすること
により、スライドテーブルの位置制御が可能となる。
【００２５】本実施の形態の振動波駆動装置は、被駆動
部材としてのスライドテーブル１１を円環型振動波モー
タの中心軸と同軸に配置でき、この中心軸の回りに、振
動波モータの回転を軸方向への直進移動に変換する変換
機構を設けたので、Ｚステージのコンパクト化を図るこ
とができる。
部材としてのスライドテーブル１１を円環型振動波モー
タの中心軸と同軸に配置でき、この中心軸の回りに、振
動波モータの回転を軸方向への直進移動に変換する変換
機構を設けたので、Ｚステージのコンパクト化を図るこ
とができる。
【００２６】なお、本実施の形態の振動波駆動装置は、
上記したＺステージ以外にも以下の実施の形態に示すよ
うなものに適用することができる。
上記したＺステージ以外にも以下の実施の形態に示すよ
うなものに適用することができる。
【００２７】（第２の実施の形態）図２は第２の実施の
形態を示す。
形態を示す。
【００２８】本実施の形態の振動波駆動装置は、流量制
御弁に適用したもので、上記した第１の実施の形態の振
動波駆動装置の構成を利用したもので、図１に示す部材
と同じ部材には同じ符号を付してその説明は省略する。
御弁に適用したもので、上記した第１の実施の形態の振
動波駆動装置の構成を利用したもので、図１に示す部材
と同じ部材には同じ符号を付してその説明は省略する。
【００２９】本実施の形態では、ベース５１の孔部５１
ａおよびロータ５の貫通孔５２に筒状の弁本体２１を挿
通し、弁本体の外周部に取り付けられたの固定フランジ
部材２６がベース５１の孔部５１ａに嵌合固定すること
により、弁本体２１がベース５１に対して固定される。
ａおよびロータ５の貫通孔５２に筒状の弁本体２１を挿
通し、弁本体の外周部に取り付けられたの固定フランジ
部材２６がベース５１の孔部５１ａに嵌合固定すること
により、弁本体２１がベース５１に対して固定される。
【００３０】弁本体２１には、回動レバー構成の複数の
弁体２３が支軸２５を支点として回動可能に配置され、
弁体２３の外部に突出する作動レバー部２３ａと直動部
材１１’との間に引っ張りばね２４が設けられ、弁体２
１を弁絞り側に常時付勢している。
弁体２３が支軸２５を支点として回動可能に配置され、
弁体２３の外部に突出する作動レバー部２３ａと直動部
材１１’との間に引っ張りばね２４が設けられ、弁体２
１を弁絞り側に常時付勢している。
【００３１】上記した第１の実施の形態において、被駆
動部材はスライドテーブルとしたが、本実施の形態で
は、弁体２３であり、第１の実施の形態でいうスライド
テーブル１１は本実施の形態では、振動波モータのロー
タ５の回転で軸方向に沿って直進運動する直動部材１
１’として機能し、この直動部材１１’の上面に周方向
に沿って複数形成された作動突起２２が弁体２３の作動
レバー部２３ａに当接するようになっている。
動部材はスライドテーブルとしたが、本実施の形態で
は、弁体２３であり、第１の実施の形態でいうスライド
テーブル１１は本実施の形態では、振動波モータのロー
タ５の回転で軸方向に沿って直進運動する直動部材１
１’として機能し、この直動部材１１’の上面に周方向
に沿って複数形成された作動突起２２が弁体２３の作動
レバー部２３ａに当接するようになっている。
【００３２】したがって、振動波モータを正方向に回転
すると、直動部材１１’が上方に移動し、弁体２３が引
っ張りばね２４の付勢力に抗して流れ方向下流側に回動
し、流量を大きくする。
すると、直動部材１１’が上方に移動し、弁体２３が引
っ張りばね２４の付勢力に抗して流れ方向下流側に回動
し、流量を大きくする。
【００３３】なお、筒状の弁本体２１に対する弁体２３
の回動支点２５の固定は、不図示の柱と弁押えによって
止められており、また弁体２３が回動する際に、弁体の
周囲に弁本体２１の内外に隙間ができないように、不図
示のジャバラぶざいにより塞いでいる。
の回動支点２５の固定は、不図示の柱と弁押えによって
止められており、また弁体２３が回動する際に、弁体の
周囲に弁本体２１の内外に隙間ができないように、不図
示のジャバラぶざいにより塞いでいる。
【００３４】（第３の実施の形態）本実施の形態は、第
２の実施の形態と同様に振動波駆動装置を弁に適用した
もので、筒形状の弁本体２１を異径形状に形成し、その
異径段部を弁座とし、この弁座に弁シートであって、砲
弾形状の弁体３２を支える支えゴム３１を取り付けてい
る。
２の実施の形態と同様に振動波駆動装置を弁に適用した
もので、筒形状の弁本体２１を異径形状に形成し、その
異径段部を弁座とし、この弁座に弁シートであって、砲
弾形状の弁体３２を支える支えゴム３１を取り付けてい
る。
【００３５】本実施の形態の直動部材１１’は、内径側
に形成された複数の支持部材１１’ａが弁本体２１の周
壁に軸方向に沿って形成されたスリット状の孔部を貫通
して弁体３２の外周部と係合し、直動部材１１’の上下
移動と一体に軸方向に移動できるようになっている。な
お、この孔部は第２の実施の形態と同様にジャバラで塞
がれている。
に形成された複数の支持部材１１’ａが弁本体２１の周
壁に軸方向に沿って形成されたスリット状の孔部を貫通
して弁体３２の外周部と係合し、直動部材１１’の上下
移動と一体に軸方向に移動できるようになっている。な
お、この孔部は第２の実施の形態と同様にジャバラで塞
がれている。
【００３６】なお、弁体３２は不図示の固定部材に支え
られた圧縮コイルばね３３によって流れ方向下流側から
上流側に向けて付勢され、、支えゴム３１に適当な圧力
で押え付けられている。
られた圧縮コイルばね３３によって流れ方向下流側から
上流側に向けて付勢され、、支えゴム３１に適当な圧力
で押え付けられている。
【００３７】本実施の形態は、振動波モータを正方向に
回転することにより、直動部材１１’と一体に弁体３２
が流れ方向下流側に移動し、弁が開いて流量が増す。
回転することにより、直動部材１１’と一体に弁体３２
が流れ方向下流側に移動し、弁が開いて流量が増す。
【００３８】なお、上記した第２の実施の形態および第
３の実施の形態において、弁内に流れる物質は、気体、
液体、固体を問わない。また、振動波駆動装置の回転中
心の周囲に形成される中空部の断面形状は、実施の形態
のような円形に限らず、多角形形状であっても良い。
３の実施の形態において、弁内に流れる物質は、気体、
液体、固体を問わない。また、振動波駆動装置の回転中
心の周囲に形成される中空部の断面形状は、実施の形態
のような円形に限らず、多角形形状であっても良い。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、薄型で多用途な振動波
駆動装置を提供できるだけでなく、薄型でコンパクトな
自動Ｚ軸ステージ、バルブ等も提供することができる。
駆動装置を提供できるだけでなく、薄型でコンパクトな
自動Ｚ軸ステージ、バルブ等も提供することができる。
【００４０】また、モータの回転を検出できることによ
り、Ｚ軸ステージの位置決め等を行うことができる。
り、Ｚ軸ステージの位置決め等を行うことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す振動波駆動装
置の断面図。
置の断面図。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す振動波駆動装
置の断面図。
置の断面図。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す振動波駆動装
置の断面図。
置の断面図。
【図４】従来の自動Ｚ軸ステージの概略図。
【図５】従来の他の自動Ｚ軸ステージの概略図。
１ 振動体 ２ 弾性体 ３ 圧電素子 ４ ビス ５ ロータ ６ 加圧バネ ７ クッションゴム ８、９ 回転支持部材 １０ 回り止めロッド １１ 被駆動部材（スライドテーブル） １１’ 直動部材 １２ フォトインタラプタ １３ スリット板 ２１ 弁本体 ２３ 弁体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H062 AA02 AA04 AA15 BB30 CC05 EE06 HH02 HH03 HH10 5H607 AA11 AA12 BB01 BB08 CC03 EE31 5H680 AA19 BB03 BB13 BB16 BC00 BC10 CC07 DD02 DD15 DD23 DD27 DD35 DD75 DD85 EE02 EE03 EE12 EE20 EE22 FF33 GG01 GG20
Claims (6)
- 【請求項１】 円環状の振動体に対して円環状の移動体
を加圧接触させ、該振動体の電気−機械エネルギー変換
素子への駆動信号の印加により該振動体に形成される駆
動振動により該移動体を回転させる振動波モータと、前
記移動体の回転を軸方向運動に変換する回転軸心の周囲
に設けられた変換手段と、前記変換手段により変換され
た軸方向運動により軸方向に直進移動する移動部材を有
することを特徴とする振動波駆動装置。 - 【請求項２】 円環状の振動体に対して円環状の移動体
を加圧接触させ、該振動体の電気−機械エネルギー変換
素子への駆動信号の印加により該振動体に形成される駆
動振動により該移動体を回転させる回転軸心部に貫通孔
が形成された振動波モータと、前記移動体の回転を軸方
向運動に変換する前記貫通孔の周囲に設けられた変換手
段と、前記変換手段により変換された軸方向運動により
軸方向に直進移動する移動部材とを有することを特徴と
する振動波駆動装置。 - 【請求項３】 前記振動波モータの回転位置を検出する
回転位置検出手段を有することを特徴とする請求項１ま
たは２に記載の振動波駆動装置。 - 【請求項４】 前記移動部材はＺ軸ステージであること
を特徴とする請求項１、２または３に記載の振動波駆動
装置。 - 【請求項５】 前記貫通孔に貫通固定される筒状の弁本
体と、前記弁本体内を移動することにより流量を調節す
る弁体とを有し、前記移動部材により前記弁体を駆動す
ることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに
記載の振動波駆動装置。 - 【請求項６】 前記弁本体は異径形状に形成され、異径
の内面に形成される段部を弁座としたことを特徴とする
請求項５に記載の振動波駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35579899A JP2001178160A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 振動波駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35579899A JP2001178160A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 振動波駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001178160A true JP2001178160A (ja) | 2001-06-29 |
Family
ID=18445811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35579899A Pending JP2001178160A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 振動波駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001178160A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006094674A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
| JP2015136278A (ja) * | 2013-12-16 | 2015-07-27 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
| JP2019213255A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 回転直動変換装置 |
-
1999
- 1999-12-15 JP JP35579899A patent/JP2001178160A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006094674A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ |
| JP4729897B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-07-20 | 株式会社ニコン | 振動アクチュエータ |
| JP2015136278A (ja) * | 2013-12-16 | 2015-07-27 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
| US10075101B2 (en) | 2013-12-16 | 2018-09-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration type actuator |
| JP2019213255A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 回転直動変換装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1665336B1 (en) | Ultrasonic lead screw motor | |
| KR101258309B1 (ko) | 초음파 리드 스크류 모터를 포함하는 기구 | |
| US7514845B2 (en) | Vibrational actuator and method for driving vibrational actuator | |
| TW200847607A (en) | Miniature piezoelectric motor and method of driving elements using same | |
| JP3107933B2 (ja) | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた装置 | |
| US6384515B1 (en) | Multidirectional motors | |
| KR101107915B1 (ko) | 초음파 리드 스크류 모터를 포함한 장치 | |
| JP2001178160A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPH09201081A (ja) | 振動アクチュエータを用いた駆動装置、及び振動アクチュエータを用いた駆動方法 | |
| JP4497594B2 (ja) | 超音波モータを用いた直動機構およびそれを用いた電子機器 | |
| JP2629176B2 (ja) | 振動モータ | |
| JP2975072B2 (ja) | アクチュエータの駆動方法及びこの駆動方法を実現した超音波アクチュエータ | |
| JP3207550B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH07163165A (ja) | 超音波モータ及び該モータを有する装置 | |
| JP2001145376A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPS61262091A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JP2692571B2 (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JP2000262077A (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPH112752A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置とレンズ鏡筒 | |
| JP2000249894A (ja) | 振動型駆動装置、振動型駆動装置を備えた機器およびレンズ鏡筒 | |
| JP2003348862A (ja) | 振動波モ−タ | |
| JPH05161370A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH05146174A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2692571C (ja) | ||
| JPH11155289A (ja) | 振動アクチュエータ駆動装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050224 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080218 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20080226 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080303 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140307 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |