JP2001172009A

JP2001172009A - 過酸化水素水溶液を精製する方法

Info

Publication number: JP2001172009A
Application number: JP2000327462A
Authority: JP
Inventors: Christine Devos; クリスティーヌ・デボー; Didier Demay; ディディエール・ドゥマイ; Herve Dulphy; エルベ・デュルフィー
Original assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Current assignee: Air Liquide SA; LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
Priority date: 1999-10-27
Filing date: 2000-10-26
Publication date: 2001-06-26
Also published as: EP1095905A1; FR2800366B1; US6540921B1; FR2800366A1

Abstract

(57)【要約】【課題】過酸化水素水溶液を現場で精製するための方法
を提供すること。【解決手段】過酸化水素溶液は、樹脂床に注入され、好
ましくは１０ｍ／ｈないし５０ｍ／ｈ、より好ましくは
１０ｍ／ｈないし２０ｍ／ｈのほぼ線速度で樹脂床を通
過し、一方、樹脂床は、溶液が樹脂と接触することによ
り精製される時間の少なくとも５０％の間実質的にコン
パクト化されたままである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオン交換樹脂を
用いて過酸化水素水溶液を精製する方法に関する。特
に、本発明は、きわめて少量の不純物、特に金属不純物
を含み、半導体の製造のために意図される過酸化水素水
溶液の製造のための方法に関し、この製造方法は水溶液
の使用のポイントにきわめて近くでかまたはそのポイン
トで実施される。

【０００２】本発明は極めて少量の不純物を含む過酸化
水素水溶液を製造するためのプラントにもまた関する。

【０００３】

【従来の技術】集積回路の形態で製造されるメモリーの
容量の増加は、集積回路が製造されるチップの製造のた
めに用いられる化学物質の純度の増加を伴って進む。

【０００４】１９８５年ないし１９９０年は、オンチッ
プメモリーの容量は、１．５μｍないし０．８μｍのエ
ッチングライン厚さについて１メガビットないし１６メ
ガビットであり、それぞれ１００ｐｐｂ未満でなければ
ならない不純物濃度の過酸化水素溶液が要求された。

【０００５】現在では、同じサイズのチップ上での６４
メガビットメモリーの製造はほぼ０．３５μｍのライン
幅を要求し、一般的に、それぞれ０．１から１ｐｐｂの
範囲で存在する不純物についての最大不純物含有度を有
する過酸化水素のグレードを用いる。

【０００６】半導体製造業者は、近い将来、０．１８μ
ｍ未満の最小エッチングジオメトリーの２５６メガビッ
トおよび１ギガビットメモリーを販売することを可能と
することを考えている。メモリー容量の増加は、それぞ
れの不純物の量が５０ｐｐｔ未満でなければならない製
品をこれから要求するであろう。

【０００７】過酸化水素は、一般的に、アントラキノン
誘導体またはその様な誘導体の混合物の自動的な酸化に
より製造される。前記アントラキノン誘導体は、エステ
ルまたはアルコールと混ぜられた芳香族炭化水素のよう
な複雑な混合物の有機溶媒の中に溶解されて用いられ
る。この溶液は、使用液を形成する。この使用液はまず
触媒の存在下で水素化され、このことはキノンをハイド
ロキノンに変換する。次いでそれは、空気または酸素富
化空気との接触にもたらすことにより酸化される。この
酸化の間に、ハイドロキノンは再びキノンに酸化され、
過酸化水素を同時に形成する。前記過酸化水素は水で抽
出され、使用液は、再び用いられる前に再生処理を受け
る。

【０００８】原料の過酸化水素水溶液は一般的に精留に
より濃縮され、アルミニウムまたはステンレス鋼蒸留塔
の中で精製される。

【０００９】この工程の後、過酸化水素水溶液はいま
だ、アントラキノン誘導体、溶剤並びにそれらの化合物
由来の分解産物に由来する有機物質、および用いられる
部材および管の表面に由来するアルミニウム、鉄、クロ
ムおよび亜鉛のような金属元素のような不純物を含む。
それゆえ、この過酸化水素溶液は、半導体産業により要
求される純度を達成するために続く処理を受けなければ
ならない。

【００１０】蒸留、結晶化、吸着樹脂および／またはイ
オン交換床の通過、逆浸透、ろ過、限外ろ過、等のよう
なさまざまの技術がその様な溶液を精製するために用い
られ得る。

【００１１】一般的に、有機物質は、蒸留プロセスおよ
び／または吸着性樹脂を含むプロセスにより良好に精製
される。それらのプロセスについてのより詳細について
は、特許ＦＲ−Ａ−２，７１０，０４５、ＥＰ−Ａ−８
３５，８４２、ＥＰ−Ａ−５０２，４６６および／また
はＦＲ−Ａ−１，５３９，８４３に参照がなされ得る。
マイクロエレクトロニクスにおける適用にためには無視
できない量で存在する金属元素、ならびに例えば硝酸塩
または硫酸塩のようなアニオンは一般的に、イオン交換
樹脂の床を通過させることにより除去される。

【００１２】イオン交換樹脂を用いて過酸化水素水溶液
を精製するさまざまの方法が文献中に提案されてきた。
一般的に、それらの方法は、溶液を、スチレンの重合お
よびジビニルベンゼンによる架橋、続いて硫酸処理によ
り得られる少なくとも１種のきわめて酸性のカチオン交
換樹脂、並びに、例えばポリクロロメチルスチレンとト
リメチルアミンのような第３級アミンの反応により得ら
れる少なくとも１種のきわめて塩基性のアニオン交換樹
脂との接触にもたらすことを含む。

【００１３】一般的に、当業者は、水酸化形態のアニオ
ン性樹脂は取り去られるべきであることを知っている。
というのは、過酸化水素は、それと接触するとき極めて
急速に分解するからである。より小さい塩基性の炭酸塩
ＣＯ₃ ^2-および重炭酸塩ＨＣＯ₃ ^-形態が用いられ得る
ものであり、例えば、ＵＳ−Ａ−３，２９４，４８８、
ＵＳ−Ａ−３，３０５，３１４および／またはＵＳ−Ａ
−３，２９７，４０４において記載されている。

【００１４】しかしながら、特にもし過酸化水素が室温
で数十分間樹脂と静的接触したままなら、過酸化水素が
この僅かに塩基性の支持体と接触するとき過酸化水素分
解反応はいまだ可能である。

【００１５】当業者は、この過酸化水素分解反応は、樹
脂それ自体の中に含まれ得、その合成のために用いられ
る材料に由来する鉄およびクロムのようなある種の材料
により加速されることを知っている。この目的のため
に、使用の前に樹脂を調製する特別の方法が開発され
た。このようにして、ＪＰ−Ａ−０８，３３７，４０５
は、鉱酸（例えばＨＣｌ）の超純水水溶液により使用の
前にアニオン性およびカチオン性樹脂を処理するための
方法を記載する。この酸処理の後、樹脂は、超純水の中
ですすがれる。次いで、アニオン性樹脂は水酸化ナトリ
ウム水溶液により処理され、次いで、超純水によりすす
がれる前に炭酸ナトリウムまたは重炭酸ナトリウム溶液
により処理される。それらの処理は一般的に長く、汚染
を防ぐように実施するとき特に注意が払われなければな
らない。

【００１６】過酸化水素分解は、樹脂により取りこまれ
る金属の増加により前記過酸化物の精製の間に徐々に増
加し得るものであり、過酸化水素溶液それ自体により進
行することもまた知られている。ＵＳ−Ａ−５，２０
０，１６６において記載されているようにアニオン性樹
脂と、またはＵＳ−Ａ−５，５３４，２３８において記
載されているようにカチオン性樹脂と接触する前に過酸
化水素溶液に鉱酸ＨＸを付加することは、過酸化水素分
解による酸素の発生を減少させることを可能とする。

【００１７】それらの方法は、樹脂のリットル当たり精
製され得る過酸化水素の体積を顕著に減少させる欠点を
有する。例えば、アニオン性樹脂の場合においては、部
位はＸにより占められ、Ｘは、過酸化水素において含ま
れるアニオン性金属不純物と比較して無視できない量で
加えられる。このポイントは、過酸化水素を製造するこ
とを意図する工業プラントの場合においては特に重要で
ある。このことは、同じ体積の過酸化水素については、
もしＨＸ樹脂が過酸化水素に加えられるならば、精製の
ために必要とされる樹脂の量がより大きくなるであろう
からである。

【００１８】ＥＰ−Ａ−８４６，６５４は、精製されて
いないかまたは部分的に精製された溶液が重力の下でア
ニオン性およびカチオン性樹脂を流動通過する過酸化水
素水溶液を精製するための方法および装置を開示する。
樹脂によるヘッドロスのために、操作流量は限定され
る。というのは、流れは重力によってのみ作り出され、
それにより製造能力を顕著に減少させるからである。こ
の方法の実施において、用いられるカチオン性樹脂は、
痕跡量の金属を除去するように酸であらかじめ処理され
る。

【００１９】更に、記載された装置は、ユニットの温度
が急激に上昇する場合にユニットを急速に停止すること
を可能とする安全機構から利益を得ず、常に過酸化水素
処理ユニットについて制御下になければならない爆発の
危険を伴う。

【００２０】従って、極端に純粋な過酸化水素の現場で
の生成は、あらかじめ精製された過酸化水素が用いられ
るときでさえ現時点では問題を残す。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、先行
技術の不利益を持たず、従って、危険なしに、半導体産
業のために意図される超純粋グレードの過酸化水素を製
造することが可能な過酸化水素溶液、特に予備精製され
た過酸化水素の付加的な精製のための方法を提供するこ
とである。本発明の好ましい形態によれば、過酸化水素
溶液は蒸留により予備精製される。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明は、過酸化水素溶
液を該溶液中に存在する不純物を少なくとも部分的に吸
着または吸収することが可能な樹脂床を通過させる過酸
化水素水溶液の現場での精製のための方法であって、過
酸化水素溶液を樹脂床に注入し、樹脂床を好ましくは１
０ｍ／ｈないし５０ｍ／ｈ、より好ましくは１０ｍ／ｈ
ないし２０ｍ／ｈのほぼ線速度で通過させること、該樹
脂床が、好ましくは該溶液が該樹脂と接触することによ
り精製される時間の少なくとも５０％の間実質的にコン
パクト化（compacted）されたままであることを特徴と
する過酸化水素の精製方法を提供する。

【００２３】

【発明の実施の形態】本発明によれば、好ましくは、少
なくとも２つのカラムが用いられ、それらは直列に設置
され、各カラムはイオン交換樹脂または吸着性樹脂を含
む（特にカラムがアニオン性および／またはカチオン性
樹脂の連続床を含むならば、単一カラムを有することが
可能である。）。好ましくは、スチレン−ジビニルベン
ゼンコポリマーのスルホン化により得られる強酸性カチ
オン性樹脂が用いられる。また、好ましくは、タイプ１
アニオン性樹脂が用いられ、それはクロロメチルスチレ
ン−ジビニルベンゼンコポリマーのアミノ化により得ら
れ、その樹脂のイオン形態は炭酸塩または重炭酸塩形態
である。有利には、それらの樹脂は、特に耐酸化性であ
る。

【００２４】用いられるイオン交換樹脂は、好ましく
は、ほぼ均一の直径により特徴付けられるボールからな
り、それにより１に近い均一性係数が得られ、ボールの
直径は好ましくは７００μｍ以下である。本発明を実施
する好ましい方法による樹脂ボールの粒子サイズは、通
常の樹脂を用いた場合よりも速い速度の交換反応を可能
とし、それゆえ、きわめて高い純度の過酸化水素溶液を
生成させる。

【００２５】本発明の別の側面によれば、乾燥樹脂のリ
ットル当たり５０ｍｇ未満の鉄および／または１０ｍｇ
未満の銅および／または５０ｍｇ未満のアルミニウムを
含む樹脂が用いられる。実際、上記のもののような低濃
度の金属元素を有するこれら小さな直径の樹脂は、特に
純粋な過酸化水素が得られることを可能とすることが見
いだされた。したがって特に、精製カラムに導入される
前に、先行技術の樹脂では必要とされる酸予備処理を無
しで済ますことが可能である。

【００２６】本発明の実施の好ましい方法によれば、ア
ニオン性樹脂および／またはカチオン性樹脂が使用さ
れ、それらは同一カラムまたは異なるカラムの中に順次
的に配置される床の中に置かれる。

【００２７】好ましくは、アニオン性樹脂は第１のカラ
ムの中に配置され（第１アニオン精製）、カチオン性樹
脂は任意に第２のカラムの中に配置される。

【００２８】好ましくは、液体は、例えば、樹脂の炭酸
塩または重炭酸塩イオンにより過酸化水素中に溶けてい
るアニオンの交換から到来する二酸化炭素のような気体
の除去を促進するように、カラム、特にアニオン性樹脂
を含むカラムを通って上方に流れる。

【００２９】有利には、本発明による装置は、カラムの
断面にわたって液体の均一な分布を可能とするように、
（例えば、漏斗形の）カラムのそれぞれの底部に液体を
分配するためのシステムを具備する。精製の有効性を減
少させるカラムの中の優先経路（preferred paths）の
形成はこのようにして回避される。

【００３０】有利には、本発明による装置は、樹脂床が
液体の上昇流により持ち上げられないようにカラムのそ
れぞれの中に樹脂ボールを保持するデバイスを具備す
る。このデバイスは更に、床上にわずかな圧力を及ぼす
ことにより樹脂をカラムの中でコンパクト化させつづけ
ることを可能とし得る。

【００３１】加えて、このデバイスは安全装置を構成す
る。これは、カラムの中で過剰圧力が起こったとき、デ
バイスがカラムの外側に向かって押し戻され、樹脂床が
膨張することを可能とし、過酸化水素分解により生成す
る酸素のような気体をより急速に放出させるためであ
る。従って、このデバイスが以下の図において記載され
るようにカラムの中のスライディングカバーからなるタ
イプのものであるとき、このスライディングカバーは、
一方では本発明によりコンパクト化されつづけるように
樹脂に圧力を維持し、他方では過酸化水素の分解により
生ずるカラムに過剰圧力が起こったとき上方にスライド
し、カラムから吐き出され得るという二重機能を有し、
従って安全機能を提供する。

【００３２】本発明の好ましい側面によれば、一方で、
樹脂床を（好ましくは上方に）通過する液体の速度がほ
ぼリニアであり（すなわち、速度ベクトルは本質的にヘ
ッドロスの範囲内までほぼ一定のモジュラスの垂直成分
を有する）、他方で、過酸化水素が通過する樹脂床が、
用いられる樹脂床の少なくとも１つの有意の部分にわた
って実質的にコンパクト化されつづけていれば、きわめ
て良好な過酸化水素生成が得られることが見いだされ
た。「実質的にコンパクト化される」という表現は、ボ
ールの上に存在する他のボールの重量に由来する力に加
えて、垂直成分を有する付加的な力が、各ボール上に及
ぼされることを意味するものとして理解されるべきであ
る。好ましくは、この付加的な力は、精製プロセスの実
施の持続時間のほぼ全体について適用され得る。

【００３３】もう１つの好ましい特徴によれば、カラム
の中の液体および／または気体は大気圧に近い圧力であ
る。このことは、過酸化水素分解が起こったときに装置
の安全性のために特に重要である。樹脂粒子のみが大気
圧より大きな圧力に少なくとも部分的に暴露され（少な
くとも部分的にコンパクト化された床）、一方、液体お
よび／または気体は大気圧に維持される。

【００３４】溶液の形態にある過酸化水素の精製を適切
に実施するために、樹脂床は、溶液が樹脂と接触するこ
とにより精製される時間の少なくとも５０％の間実質的
にコンパクト化されたままである。これは、樹脂粒子が
互いに分離しているとき（流動化されたかまたは部分的
に流動化された樹脂床を作る）、特に精製のほぼ５０％
未満がコンパクト化された樹脂と接触し生じるとき、す
なわち、粒子のほぼ５０％未満である樹脂が互いに接触
しているときはいつでも精製の効率は大きく減少するか
らである（コンパクト化された樹脂との接触により起こ
る精製の５０％未満もまた、本発明によれば、粒子の５
０％未満が平均して床の高さ全体にわたって互いに接触
する樹脂床を意味し、のみならず、例えば第１の床が流
動化された形態にあり、例えば、第２の床がコンパクト
化された形態にあり、またはその逆である床の連続をも
意味する）（一般的に、樹脂粒子の少なくとも一部が少
なくとも１の他の粒子と実質的に接触しているならば、
樹脂は実質的にコンパクト化されているとみなされ得
る。）。

【００３５】好ましくは、溶液が少なくとも部分的に床
を通過させるために床に上方に注入されるとき、樹脂床
は、床を形成する樹脂粒子またはボールに圧力を掛ける
ことにより実質的にコンパクト化されつづける。

【００３６】樹脂は、好ましい方法によれば、カラムの
中に貯蔵され、その上にほぼ平面の表面が樹脂から距離
ｄで配置される高さｈの床を形成し、比ｄ／ｈは、すべ
ての環境下で、ほぼ０．１未満、好ましくは＜０．０
５、より好ましくは＜０．０１に維持される。

【００３７】好ましくは、少なくとも１００パスカルの
相対圧力、好ましくは少なくとも２００パスカルが、
（アニオン性および／またはカチオン性）樹脂床の少な
くとも一部に掛けられる。

【００３８】好ましくは、樹脂床は、１０％以内でほぼ
同一である直径を有するモノスフェア（monosphere）か
らなる。

【００３９】本発明の１つの形態によれば、樹脂が１つ
のカラムの中の床の形態で配置されるものの中で、溶液
は、樹脂床の断面積の実質的に全体にわたって溶液を注
入するようにカラムの壁に実質的に結合する立体角で液
体を注入する注入ノズルを用いて前記カラムの基部に注
入される。

【００４０】好ましくは、溶液は、ポンピングシステム
を用いて、樹脂床の下方部分を介して樹脂床に注入され
る。幾つかの連続的なアニオン性および／またはカチオ
ン性樹脂床を提供することもまた可能である。

【００４１】１つの形態によれば、本発明による装置
は、溶液を精製するための幾つかの連続的なカラムを含
み、各カラムは少なくとも１つのアニオン性および／ま
たはカチオン性樹脂床を有し、前記床はほぼ同じ高さに
配置されている。

【００４２】好ましくは、バブルトラップが、ポンプと
液体が精製カラムに注入されるポイントとの間に取り付
けられる。

【００４３】本発明の１つの形態によれば、より大きな
安全性を提供するために、少なくとも１つの樹脂床の中
の液体の温度が、異常な温度上昇を検出するように測定
され、それは水回路の開放を生じさせ、水が樹脂床をあ
ふれさせる。１つの事例においては、水は一般的に樹脂
床の基部に注入され、樹脂床を通って上昇する。

【００４４】本発明の別形態によれば、窒素が樹脂床上
に注入される。一般的に、注入された窒素は、好ましく
は、半導体の製造において要求される気体純度に適合す
るいわゆる「エレクトロニック」純度を有し、特にそれ
は、液体溶液を用いて続いて製造される。好ましくは、
窒素は、周囲空気と液体との間のあらゆる接触を防ぐよ
うにすべてのカラムとバッファータンクに注入される。

【００４５】液体は、好ましくは、オーバーフローする
ことによりそれぞれのカラムからタンクに流入する。次
いで、液体は、このタンクから次のカラムにポンプ輸送
される。タンクが装置の最後のカラムの後に配置されて
いるとき、液体は、リジェクトポイントかまたは貯蔵タ
ンクかまたはループの中で循環するように装置の第１の
カラムの頂部にポンプ輸送され得る。有利には、過酸化
水素溶液は、貯蔵タンクが精製される過酸化水素溶液を
供給されることを可能とするためか、または貯蔵タンク
が精製された過酸化水素溶液について排水されることを
可能とするためにループの中を循環する。この方式にお
いて、ユニットの中での停止を回避し、それゆえ、製造
能力の減少を回避することが可能である。

【００４６】コントロールシステムは、システム全体の
一定流量を得ることを可能とする。具体的な流量は、１
ｈ^-1ないし１０ｈ^-1であり、より好ましくは１０ないし
２０ｈ^-1である。

【００４７】この方法は、好ましくは連続的に操業する
ことを特徴とする。例えば、オペレーターがメンテナン
ス操作を実施するようにシステムが止められるとき、そ
れは好ましくは超純水ですすがれる。用いられる水の抵
抗率は、好ましくは、２５℃で１８ＭΩ・ｃｍ以上であ
る。

【００４８】好ましくは、樹脂と接触する過酸化水素の
分解の危険を回避するために、本発明の方法は、０ない
し２５℃、好ましくは０ないし１５℃、さらにより好ま
しくは実質的に約５℃に等しい温度で実施される。

【００４９】樹脂劣化の問題を回避するために、処理さ
れる水溶液は、６０重量％を超える過酸化水素を含む過
酸化水素水溶液であることは稀である。本発明により処
理される溶液は、一般的に、１０から６０重量％の過酸
化水素を含む水溶液である。その方法は、特にエレクト
ロニクス産業において用いられることが意図されるもの
である３０重量％を含む水溶液の精製にとって極めて適
切である。

【００５０】本発明のもう１つの側面によれば、上記の
ように、水の殺到の下で樹脂床が急速にあふれることを
可能とするセーフティシステムが用いられる。

【００５１】セーフティシステムは、自動的にまたは手
動的に、樹脂が水で極めて急速にすすがれることを可能
とする。好ましくは、液体の流れが止められるとき、ま
たは流量が機能不全のために設定流量の５０％未満であ
るとき及び過酸化水素が樹脂の１種と接触しつづける傾
向があるとき、樹脂はすすがれるであろう。ユニットを
安全にするための装置は、過酸化水素精製のために用い
られるラインより大きな直径の別のラインからなる。有
利には、すすぎのための水は、カラムを通って上方に流
れるであろう。

【００５２】好ましくは、水の殺到は、不純物を導入し
ないように、そして異常を修復した後極めて急速にシス
テムを再起動することを可能とするように現場で入手可
能な極めて純粋な水でもたらされる。しかしながら、も
し超純水が入手できないならば、システムは、プラント
を安全にするように本管の水道水によりすすがれる。弁
とセンサーからなる装置が、超純水から本管の水道水に
切り換えるために用いられる。

【００５３】方法の１つの形態において、水道水は、例
えば、加圧されたコンテナのような水の貯蔵により置き
換えられ得る。好ましくは、このコンテナの体積は、カ
ラムの体積全体の少なくとも１０倍である。

【００５４】ユニットは、好ましくは、圧縮空気を供給
される空気ポンプを具備する。圧縮空気供給においては
中断が存在すべきであり、圧縮された空気がふたたび、
多くともユニットを自動的に管理するためのシステムに
おいてすでに設定された時間ｔの間入手可能となるまで
ポンプは次いで窒素、任意に「エレクトロニック」グレ
ードの窒素を供給される。この時間ｔの後、ユニット
は、上記説明された水の殺到によりすすがれる。

【００５５】本発明はまた、有機および／または金属不
純物を含む過酸化水素水溶液の精製のためのユニットお
よび装置にも関する。

【００５６】この装置は、好ましくは、−アニオン性樹
脂を含む少なくとも１つのカラム、−カチオン性樹脂を
含む少なくとも１つのカラム、−樹脂と接触して精製さ
れる液体、特に過酸化水素を含むタンク、−液体と過酸
化水素を第１のカラムの底部に送ることを可能とするポ
ンプ、好ましくは空気ポンプ、−好ましくは、タンクの
それぞれの液体レベルが調節される、それぞれのカラム
の後に配置されるバッファータンクおよびポンプ、を具
備する。

【００５７】アニオン性樹脂を含むカラムは、好ましく
は、カチオン性樹脂を含むカラムの前に配置され、カラ
ムは好ましくは上昇流が供給される。

【００５８】前記装置のカラムのそれぞれは、一般的
に、−樹脂ボールがコンパクト化されたままであること
を可能とする手段、−カラムの底部に位置する樹脂床の
中で液体の良好な分布を可能とする手段（例えば、漏斗
形注入システム）、−カラムの底部の過酸化水素溶液ま
たはすすぎ水が流動することを可能とするライン、−カ
ラムの頂部の過酸化水素溶液またはすすぎ水がバッファ
ータンクにオーバーフローにより流出することを可能と
するライン、を具備する。

【００５９】本発明は、図とともに、発明を限定しない
ものとして与えられる以下の例示のための例の補助によ
り、より明確に理解されるであろう。

【００６０】図１は本発明による装置全体を記載する図
である。

【００６１】図２は、本発明による装置のセーフティシ
ステムの詳細図である。

【００６２】図３は、本発明による樹脂上の圧力を維持
するためのシステムを具備する樹脂床上の精製のための
カラムの原理を示す図である。

【００６３】図４は、図１において記載された装置にお
いて用いられるカラムを例示する図である。

【００６４】図５は図４の断面図である。

【００６５】図６は図４の断面図である。

【００６６】図７は、図４の上部の詳細図である。

【００６７】図１において、脱イオン水ＤＩＷの供給源
１は、ライン２を介して、一方で、貯蔵コンテナ７（Ｔ
０）に接続されるライン３に、他方で、ポンプ５に、次
いでバブルトラップ６を介してカラム１３の基部に接続
されるライン４に接続される。コンテナ７（Ｔ０）は、
弁１０を介して過酸化水素Ｈ₂Ｏ₂の供給源１１により
供給され、また、供給ライン８を介して高純度窒素タン
ク２１から到来する高純度窒素を注入するための入口も
含み、コンテナ７はまた、弁５２およびライン２６を介
してポンプ４９の下流のリサイクルライン９に接続され
る。カラム１３は、その基部に、弁１４を介してカラム
１３の下方部分１６に接続される水が殺到するシステム
１２を有する。メッシュ１７はその下方部分で樹脂床７
１を支持し、その上には可動プレート７３が本発明の方
法により樹脂上にわずかの圧力（少なくとも１００パス
カル、相対圧力）を維持するように設けられ、この可動
プレートはカラムのスライディング部分１９の下方末端
に固定され、その上方部分は、それを通って窒素タンク
２１から到来する超純粋窒素を注入するためのパイプ２
３が通過し得るカバー７５により閉じられる。樹脂床の
中に存在するカラム１３のボディ１５の中に、温度がモ
ニターされ、もし温度が前もって設定されたスレショル
ドを超えるならば水の殺到が開始されることを可能とす
る温度プローブ１８が存在する。可動部分７３の上のカ
ラムの上方部分においては、弁２０を介してカラム１３
の上方部分１９のオーバーフローに接続されるドレン２
１が存在し（オーバーフローは図において示されていな
い）、一方、第１のカラム１３の樹脂床７１上をろ過さ
れ、精製される、例えば過酸化水素のような化学的液体
は、ライン３０を介してタンク４０（Ｔ１）に流れ、も
し液体がライン３０および貯蔵タンク４０に十分な量で
流れ得ないならば、上記オーバーフローは過剰な液体が
排出されることを可能とする。

【００６８】このタンク４０（Ｔ１）は、（例えばアニ
オン性樹脂のみであるかもしれない樹脂７１により）第
１段階で精製される過酸化水素を受け入れる。このタン
ク４０は、ライン４４を介してタンク４０の下方部分に
接続されるポンプ４３の操作を制御するレベルディテク
ター４１を有し、前記ポンプ４３は、ライン４５を介し
てすでに部分的に精製された化学的液体をバブルトラッ
プ４６に配送し、それはそれ自体カラム３３の底部にラ
イン４７を介して接続され、そのカラムはカラム１３と
同一であり得るしまたは異なり得る。このカラム３３は
また、その下方部分において、温度プローブ３７が位置
する樹脂７２を支持するメッシュ３６を有するカラム３
３の下方部分３５に弁３８を介して接続される水を殺到
させる機構３９をも有し、一方、この樹脂７２および可
動アセンブリ２７上に支えられている可動部分７４はそ
の上方部分において、窒素タンク２１に接続される窒素
注入パイプ２５が備えられているカバー７６により閉じ
られ、その下方部分において、一方で、第２のカラム３
２から精製された液体を引き出すためのライン３１およ
び弁２８を介してドレン２９に接続されるオーバーフロ
ーシステムを有する。ライン３１は、それ自体ポンプ４
９に接続され、パイプ５０を介してタンク５７を空にす
るようにポンプを制御するレベルディテクター４８を有
するタンク５７（Ｔ２）に接続されている。このポンプ
４９の出力サイドは、一方で、過酸化水素のような化学
的液体を貯蔵するためのタンク５５に弁５４を介して接
続され、他方で、最終的にタンク７（Ｔ０）に弁５２を
介してシステムをパージする必要が起こることか可能で
あるように弁５３を介してドレンシステム５６に接続さ
れる。

【００６９】図２は、例えば、温度が設定値を超える
と、図１におけるシステムのカラムの樹脂に洪水を起こ
すことを意図する水を殺到させる機構に接続されるセー
フティシステムを簡潔に記載する。すなわち、多量の水
をあふれさせるための水を殺到させるためのシステム７
８は、一方でライン８４を介して弁７９ＶＰ３に接続さ
れ、他方で、逆止弁７７を介して弁７６ＶＰ２に接続さ
れ、その他方の末端は逆止弁７２を介して弁７３ＶＰ１
に接続され、その出力サイドは脱イオン水ＤＩＷ７５の
容器に接続され、圧力測定システム７４は、脱イオン水
容器７５の中の脱イオン水の存在または欠如が検出され
ることを可能とする。水を殺到させるシステムに供給す
るライン８４は弁７９ＶＰ３の一方の末端に接続され、
その他方の末端は、一方で、ライン８３を介してドレン
システム８５を制御する弁ＶＰ４８１に接続され、他方
で、ライン８０ＶＰ５を介して逆止弁８６を介して、
例えば温度上昇の問題が存在するであろう脱イオン水の
欠如について補充することを意図する操業水の供給源で
あり得る第２の水の供給源８７に接続される。すすぎ水
のシステム７０は、弁７１（ＶＰ６）を介して、弁７６
（ＶＰ２）と逆止弁７７との間の共通ポイントに接続さ
れる。

【００７０】図３は、図１のカラム１３および３３の原
理を示す図である。

【００７１】カラム全体１００は、必要ではないが、好
ましくは円筒状のシェル１０１を備え、中実の下方部
分、例えば１０２は軸的に配置され、その中央には、漏
斗形部１０４の中に現れるダクト１０３が存在する。上
記漏斗の角度は例えば約１２０°である。その漏斗形部
上で、かつ漏斗１０４の末端がシェル１０１に連結する
ポイント近傍に、周囲にスクレーパーシール１４９を有
する第１の開孔プレート１４５が配置され、次いで、そ
のプレート１４５の上に樹脂ボールを保持するように所
望の寸法のメッシュを有するフィルター１４６が設けら
れ、次いで、そのフィルター１４６の上に載って、再び
開孔プレート１４７が存在し、それはプレート１４５と
同一であるかまたは異なり、その周囲にＯリングシール
１４８を有し、漏斗１０４と精製用樹脂１３３を含むカ
ラム１００の内側との間の完全な密封を保証することを
可能とする。プレート１４５、１４７およびフィルター
１４６は一般的にシェル１０１に固着されている、すな
わち、それらは固定されている。樹脂床１３３は、カラ
ム１００の中の所望の高さを占める。この床の上にある
のがプレート１０５、１０７およびフィルター１０６の
可動システムであり（それらはアセンブリ１４５、１４
７、１４６と同じタイプであるかまたは異なる）、この
可動システムはカラムのスライディング部分１１０に固
定され、Ｏリングシール１０８およびスクレーパーシー
ル１０９を有する。

【００７２】ボディ１１０は、その下方部分において、
液体が１１２に流出することを可能とする複数のスロッ
トまたはオリフィス１１１の形態の開口を有する。ブロ
ック１１３、１１４、１１５、１１６のシステムが、カ
ラムの中にある樹脂１３３上に圧力が存在することを保
証するように可動部分１１０のボディのまわりに備えら
れ、ブロックの前記システムは、この可動部分がシェル
１０１の内側にスライドし、樹脂１３３上に一定圧力を
保つことを可能とし、さらに開口１１１は、カラムの中
を流れる液体上の圧力が大気圧にほぼ等しいことを保証
する。可動ボディ１１０の上方部分は、好ましくは超純
粋（いわゆる「エレクトロニック」グレード）窒素の任
意注入のための中央開口１３１を有するディスク１２９
により閉じられ、周囲には、ピン１２５、１２６により
シリンダー１１７、１１８のロッド１２３、１２４に接
続されるＵ字形部品１２７、１２８を介してシリンダー
１１７に接続される破裂ボルト１３０を有する。保持ケ
ーブル１２１、１２２は、もしボルトに対してかかるあ
る程度の力によりボルトが壊れるような方式で補正され
ているボルトに破壊が起こるならば、上方部分１２９
が、シリンダー１１７および１１８がそれぞれの固定部
品１１９および１２０により固定されるシステムのボデ
ィ１０１上に保持されるように備えられる。

【００７３】図４〜図７は、図３において模式的に示さ
れるカラムの詳細な例示を示す。これらの図において、
ほぼ同じ機能を有する図３におけるものと同じ要素は、
図３における最初の数字１が図４〜図７において数字２
に置き換えられていることを除いて同じ参照番号を有す
る（従って、図３におけるカラムのボディ１０１は図４
〜図７においては２０１となる）。

【００７４】カラムのボディ２０１は、漏斗形中実部２
０２によりその底部で閉じられている。該中実部を通っ
て、円筒状カラム２０１の軸に沿って存在するオリフィ
ス２０３が設けられている。漏斗形部２０４は、約１２
０°の角度を有し、先の図において記載されているメッ
シュ２０７のそれ自体上にあるフィルター２０６の上に
あるメッシュ２０５の上に支えられている。このボディ
は、固定システム３０３によりライン３０２に沿って底
部で接続される同一のシリンダー状パート２０１により
その上方部分の中に伸び、２つの部分へのカラム２０１
の分離は、メッシュ２０５、２０７およびフィルター２
０６が中実底部に容易に導入されることを可能とする。
カラム２００のボディ２０１は、約１０ｃｍの直径で約
１メートルである高さを有し、樹脂は、メッシュ２０７
とカラムの頂部との間にカラム２０１の内側に配置され
る。

【００７５】このカラムの頂部に位置するのは、上記シ
ステム２０５、２０６、２０７と同じタイプかまたは異
なる、その間にフィルター３０６が配置されている開孔
メッシュ３０５、３０７のシステムをその下方部分に具
備する可動部分２１９である。本質的に、開孔メッシュ
は表面全体にわたって分布する複数の孔を含み、一方、
フィルター３０６は、（フィルター２０６のように）樹
脂ボールのサイズより小さな直径のポアを有する。この
メッシュ／フィルターアセンブリはボルト２７０のセッ
トにより可動部分２１９の下方部分に固定され、この可
動部分は多数のブロック２１３、２１４、２１５、２１
６を有し、この可動部分２１９がカラムのシェル２０１
の中にスライドすることを可能とする。この可動部分の
上方部分は、ボルト２３０（破裂ボルト）のセットによ
り上方部分２２９に接続されているＵ字形部品２２７、
２２８である周囲に配置されるシリンダー状部分２２９
により閉じられている。上方円形部分２２９は、ボルト
２７１のセットによりシリンダー状部分２１９に固定さ
れている。部品２２７、２２８のそれぞれに固定されて
いるのは、補正された圧力が本発明によるカラムの可動
部分２１９上に維持されることを可能とするシリンダー
２１７、２１８であり、従って、メッシュ３０５、３０
７を含むアセンブリが樹脂３３３上に支えられることを
可能とし、従って、補正された一定圧力を維持し、しか
しながら、カラムのボディ２０１の内側の樹脂は、特に
この樹脂が使用の間に膨潤し、従って開孔プレート３０
５を上方に圧迫するとき変化する。可動部分２１９はカ
ラムから到来する液体の通過および排出を可能とする開
孔３２０、３２１のシステムを有し、精製後の通常の操
作での液体は開孔３２０を介して流出し、一方、特にカ
ラムの中の水の殺到が作動したとき開孔３２１はオーバ
ーフローとして機能する。ケーブル２２１および２２２
は、ボルト３３０がプレート３０５上の樹脂の圧力によ
り破裂するときに上方部分２２９を保持するためのケー
ブルである。シリンダー２１７、２１８の底部は、それ
ぞれ３３１および３３２でカラムのボディ２０１に固定
される。

【００７６】本発明による装置の操作、特にカラムの中
の樹脂に対する圧力を維持するためのシステムは、これ
から以下で説明される。

【００７７】樹脂ボールは２つのシールを備えるフィル
ターによりカラムの頂部に保たれる。シールの１つはス
クレーパータイプであり、１つはＯリングタイプであ
る。このシステムは、カラムからの樹脂ボールの流出を
防ぐように良好なシーリングを提供する。

【００７８】精製の効率を向上させるために、コンパク
ト化された床で実施することが重要である。そうするた
めに、カラムの頂部は、上記フィルターおよび樹脂床上
に一定の保持力を掛けるための２つのシリンダーを備え
るピストンで構成されている。それらのシリンダーは好
ましくは空気圧タイプのものであり、保持力は、シリン
ダーに供給される圧縮空気の圧力により設定される。好
ましくは、安全上の理由のために、シリンダーは、ピス
トンが過酸化水素の分解が起こったときに完全にはずさ
れ得るように破裂ボルトを介してピストンに接続され
る。

【００７９】それぞれのカラムの底部は、カラムの断面
にわたって液体が均一に分布するように液体分配装置を
備える。

【００８０】好ましくは、この装置は、円形衝撃領域を
有する中実コーン（cone）を有するスプレーノズルから
なる。スプレー角度は、カラムの周囲に、および樹脂を
保持するフィルターのための支持物からノズルを分かつ
高さに、任意に決められる。

【００８１】本発明による精製ユニットは、好ましく
は、カラムの中に含まれる樹脂が、極めて短時間にそこ
から過酸化水素を除去するように水ですすがれることを
可能とするセーフティシステムを含む。

【００８２】それぞれのカラムは、好ましくは、ユニッ
トの通常の操作の役に立つラインとは異なる独立の水の
入口および出口ラインを備える。

【００８３】水の流入および流出は、好ましくは、安全
位置で通常開いている空気弁を介してなされる。樹脂の
１つで固定されている過酸化水素が検出された時又は特
にカラムの中でまたはカラムの出口で液体の温度の上昇
が存在するであろうときユニットは安全位置に切り換え
られるであろう。もし電気供給の消失、圧縮空気供給の
損失、装置のモニターおよび／または制御の消失がある
ならば、またはオペレーターがオペレーターにより選択
された理由のために緊急停止ボタンを作動させることに
より、安全位置もまた採用され得る。

【００８４】カラムを通るすすぎ水の流れは、好ましく
は、ユニットの中の通常の操作流より大きい。好ましく
は流量は、それぞれの樹脂が５分未満でその体積の少な
くとも３倍の水ですすがれるようにである。

【００８５】このシステムは図２において記載されてい
る。

【００８６】緊急位置においては、危険状況が検出され
たとき、弁ＶＰ１、ＶＰ２、ＶＰ３、ＶＰ５が開かれ、
弁ＶＰ４およびＶＰ６が閉じられ、超純水の圧力が水の
第２の供給源（水道水）の圧力より大きい限りそのとき
超純水が殺到する。

【００８７】もし超純水の圧力が減少したら、すなわち
超純水がもはや入手可能でないならば、水の第２の供給
源を経由して水が殺到する。

【００８８】通常の操作では、ユニットは超純水が供給
され、弁ＶＰ１、ＶＰ２、ＶＰ４およびＶＰ６が開き、
弁ＶＰ３およびＶＰ５が閉じられる。弁ＶＰ４は、弁Ｖ
Ｐ５の機能不全の際に第２の供給源からの水による脱イ
オン水ＤＩＷの汚染を回避するように開かれる。

【００８９】装置は好ましくは、液体の中の粒子のレベ
ルを低くするように最後のカラムの後に配置されるフィ
ルターを具備する。好ましくは、その装置は、最後のカ
ラムの後に配置されるサンプリングポイントを具備す
る。試料は、その開口が好ましくは足で制御される弁を
介して好ましくはエレクトロニックグレードの窒素の噴
出により区画から採取され、それによりオペレーターが
その両手を使用可能にすることを可能とする。この装置
は試料採取をより容易にする。

【００９０】

【実施例】例１図１において記載されているプラントは、いかに本発明
が実施されるかの例を示す。

【００９１】ユニットは、高密度ポリエチレン、ポリテ
トラフルオロエチレンなどのようなエレクトロニクス産
業において用いられる超純粋化学物質の製造のために適
切な材料で構築されている。

【００９２】カラムＣ１は、例えば、ＤＯＷカンパニー
により「ＤＯＷＥＸＭＯＮＯＳＨＥＲＥ５５０Ａ
ＬＣＮＧ」の商品名の下で販売されているようなアニ
オン性樹脂を含む。用いられているイオン性形態は、Ｈ
ＣＯ₃ ^-形態である。

【００９３】カラムＣ２は、ＤＯＷカンパニーにより
「ＤＯＷＥＸＭＯＮＯＳＨＥＲＥ５００ＣＮＧ」の
商品名の下で販売される樹脂のようなカチオン性樹脂を
含む。用いられるイオン形態はＨ⁺ 形態である。

【００９４】それぞれのカラムは、樹脂が適所に維持さ
れることを可能とする上記デバイスを備える。

【００９５】過酸化水素はタンク７（Ｔ０）の中に貯蔵
される。供給弁の開閉は、Ｔ０上に位置するレベルセン
サーにより制御されている。

【００９６】次いで、過酸化水素は、ポンプ５（Ｐ０）
によりカラムＣ１にポンプ輸送され、それを上方に通過
させる。液体は、重力の下でタンク４０（Ｔ１）に流
れ、次いで、ポンプ４３（Ｐ１）によりカラムＣ２に上
方にポンプ輸送される。それはタンク５７（Ｔ２）に流
出する。次いで液体は、リジェクトポイントに、または
貯蔵タンクに、使用のポイントに、または貯蔵場所Ｔ０
に送られるためにポンプ４９（Ｐ２）によりＴ２からポ
ンプ輸送される。

【００９７】上記装置は以下のように用いられた。

【００９８】３０００リットルの３０％蒸留過酸化水素
が２ｌ／ｍｉｎの流量でカラムＣ１およびＣ２を通過
することにより精製される。それぞれのカラムの中での
具体的な流量は、１５ｈ^-1である。

【００９９】以下の表は、精製の前後の過酸化水素の主
要不純物の値を示す。

【０１００】

【表１】例２この例によれば、本発明による化学物質の線速度の重要
性を例証するために樹脂床を通る液体化学物質（例え
ば、Ｈ₂Ｏ₂）の小流量と大流量との間の比較がなされ
た（線速度は好ましくは１０ｍ／ｈ以上である）。

【０１０１】Ｃ１カラムは、商標ＤＯＷＡ５５０Ｈ
ＣＯ３の下で販売される８リットルのアニオン性樹脂で
満たされ、Ｃ２カラムは、商標ＤＯＷ６５０の下で販売
されている８リットルのカチオン性樹脂で満たされる。

【０１０２】両方のカラムの中で、液体化学物質は、底
部から頂部に流れる。精製されていないＨ₂Ｏ₂からの
異なる流量での精製の後に得られた結果は、以下の表２
において要約されている。

【０１０３】

【表２】表３は、樹脂中の流量対線速度を示す。

【０１０４】

【表３】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による装置全体を記述する図である。

【図２】本発明による装置のセーフティシステムの詳細
な図である。

【図３】本発明による樹脂上の圧力を維持するためのシ
ステムを具備する樹脂床上の精製のためのカラムの原理
を示す図である。

【図４】図１において記載される装置において用いられ
るカラムを例示する図である。

【図５】図４の断面図である。

【図６】図４の断面図である。

【図７】図４の上部の詳細図である。

【符号の説明】

１…脱イオン水の供給源、５，４９…ポンプ、６…バブ
ルトラップ、７…貯蔵コンテナ、１１…過酸化水素の供
給源、１３，３２，３３…カラム、１７…メッシュ、１
８，３７…温度プローブ、２１…窒素タンク、２９，５
６…ドレン、４０…タンク、４１，４８…レベルディテ
クター、４６…バブルトラップ、７１，１３３…樹脂
床、７３…可動プレート、７４…圧力測定システム、７
５，７６…カバー、１０１…シェル、１０３…ダクト、
１０４…漏斗、１４５，１４７…開孔プレート、１０
８，１０９，１４８…シール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考） (72)発明者ディディエール・ドゥマイフランス国、75321 パリ・セデクス 07、カイ・ドルセイ 75 レール・リキード内 (72)発明者エルベ・デュルフィーフランス国、75321 パリ・セデクス 07、カイ・ドルセイ 75 レール・リキード内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】過酸化水素溶液を該溶液中に存在する不
純物を少なくとも部分的に吸着または吸収することが可
能な樹脂床を通過させることを含む過酸化水素水溶液の
現場での精製のための方法であって、過酸化水素溶液を
該樹脂床に注入し、好ましくは１０ｍ／ｈないし５０ｍ
／ｈ、より好ましくは１０ｍ／ｈないし２０ｍ／ｈのほ
ぼ線速度で該樹脂床を通過させ、該樹脂床は、該溶液が
該樹脂と接触することにより精製される時間の少なくと
も５０％の間実質的にコンパクト化されていることを特
徴とする方法。
【請求項２】溶液が少なくとも部分的に床を通過する
ために床に上方に注入されるとき、樹脂床は該床を形成
する樹脂ボールに圧力を掛けることにより実質的にコン
パクト化されることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】樹脂が、カラムの中に貯蔵され、その上
にほぼ平面の表面が樹脂から距離ｄで配置される高さｈ
の床を形成し、比ｄ／ｈがすべての環境の下でほぼ０．
１未満に維持されている請求項１または２記載の方法。
【請求項４】ｄ／ｈ＜０．０５であることを特徴とす
る請求項３記載の方法。
【請求項５】ｄ／ｈ＜０．０１であることを特徴とす
る請求項３記載の方法。
【請求項６】樹脂に掛けられる圧力が少なくとも１０
０パスカル（相対圧力）、好ましくは少なくとも２００
パスカルであることを特徴とする請求項２ないし５のい
ずれか１項記載の方法。
【請求項７】カラムの中の液体および／または気体圧
力が大気圧と等しいかそれに近いことを特徴とする請求
項１ないし６のいずれか１項記載の方法。
【請求項８】液体のほぼ線速度が実質的に垂直であ
り、上に向いていることを特徴とする請求項１ないし７
のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】樹脂床が、本質的に、ほぼ７００ミクロ
ン未満の直径を有するスフェアからなる少なくとも１種
の樹脂を含むことを特徴とする請求項１ないし８のいず
れか１項記載の方法。
【請求項１０】樹脂床が、１０％以内でほぼ同一であ
る直径を有するモノスフェアからなることを特徴とする
請求項９記載の方法。
【請求項１１】樹脂床を形成する樹脂の少なくとも１
種が、乾燥樹脂のリットル当たり５０ｍｇ未満の鉄、１
０ｍｇ未満のＣｕ、および／または５０ｍｇ未満のアル
ミニウムを含むことを特徴とする請求項１ないし１０の
いずれか１項記載の方法。
【請求項１２】樹脂を１つのカラムの中で床の形態で
配置し、樹脂床の断面全体にわたって実質的に溶液を注
入するようにカラムの壁を実質的に結合する立体角で液
体を注入する注入ノズルを用いて溶液をカラムの基部に
注入することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれ
か１項記載の方法。
【請求項１３】溶液を、ポンピングシステムを用いて
樹脂床の下方部分で樹脂床に注入することを特徴とする
請求項１ないし１２のいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】複数の連続的アニオン性および／また
はカチオン性樹脂床が設けられていることを特徴とする
請求項１ないし１３のいずれか１項記載の方法。
【請求項１５】溶液を精製するための複数の連続カラ
ムが設けられ、それぞれのカラムは、少なくとも１つの
アニオン性および／またはカチオン性樹脂床を有し、前
記床がほぼ同じ高さに配置されている請求項１３記載の
方法。
【請求項１６】ポンプとカラムへの注入のポイントと
の間にバブルトラップが設けられていることを特徴とす
る請求項１３ないし１５のいずれか１項記載の方法。
【請求項１７】床の中の液体の温度を、水の回路の開
放を開始させるいずれか異常な温度上昇を検出して水で
樹脂床をあふれさせるように、測定することを特徴とす
る請求項１ないし１６のいずれか１項記載の方法。
【請求項１８】水を樹脂床の基部に注入し、樹脂床中
を上昇させることを特徴とする請求項１７記載の方法。
【請求項１９】窒素を樹脂床の上に注入することを特
徴とする請求項１ないし１８のいずれか１項記載の方
法。
【請求項２０】注入される窒素が、半導体の製造にお
いて要求される気体純度に適合するいわゆる「エレクト
ロニック」純度を有することを特徴とする請求項１９記
載の方法。
【請求項２１】アニオン性樹脂を含む少なくとも１つ
のカラム、カチオン性樹脂を含む少なくとも１つのカラム、樹脂と接触して精製される液体、特に過酸化水素を含む
タンク、第１のカラムの底部に液体と過酸化水素を送ることを可
能とするポンプ、好ましくは空気ポンプ、好ましくは、各カラムに後続して配置される、液体レベ
ルが調節されるバッファータンクおよびポンプを具備す
ることを特徴とする化学溶液の現場での精製のための装
置。