JP2001171829A - 物品移送装置およびその方法 - Google Patents
物品移送装置およびその方法Info
- Publication number
- JP2001171829A JP2001171829A JP36243899A JP36243899A JP2001171829A JP 2001171829 A JP2001171829 A JP 2001171829A JP 36243899 A JP36243899 A JP 36243899A JP 36243899 A JP36243899 A JP 36243899A JP 2001171829 A JP2001171829 A JP 2001171829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- article
- reversing
- opening
- articles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】保形性が比較的ない柔らかい物品でも、その形
をくずすことなく、簡単かつ迅速で確実に行うことがで
きる物品移送装置およびその方法を提供する。 【解決手段】上部に開口部6を有する容器1内に収容し
た物品bを移送する搬入手段2を設け、該搬入手段2に
容器1に物品bを収容させた状態で反転させる反転手段
3を隣接させて、該反転手段3に物品入り容器1を搬送
する搬出手段4を隣接させると共に、この搬出手段4に
容器1と物品bとを分離させる分離手段5を対応させ
る。
をくずすことなく、簡単かつ迅速で確実に行うことがで
きる物品移送装置およびその方法を提供する。 【解決手段】上部に開口部6を有する容器1内に収容し
た物品bを移送する搬入手段2を設け、該搬入手段2に
容器1に物品bを収容させた状態で反転させる反転手段
3を隣接させて、該反転手段3に物品入り容器1を搬送
する搬出手段4を隣接させると共に、この搬出手段4に
容器1と物品bとを分離させる分離手段5を対応させ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、物品の形状をくずすこ
となく移送することができる物品移送装置およびその方
法に関する。
となく移送することができる物品移送装置およびその方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】複数の工程を経て物品が製造されるとき
は、これら工程間の物品移動はコンベア等が用いられる
ことが一般的である。例えば、保形性が比較的ない柔ら
かい物品を、その形をくずすことなく包装等を行う場合
には、この包装機の処理速度に合わせて、前記コンベア
へ所定ピッチで連続的に供給しなければならない。
は、これら工程間の物品移動はコンベア等が用いられる
ことが一般的である。例えば、保形性が比較的ない柔ら
かい物品を、その形をくずすことなく包装等を行う場合
には、この包装機の処理速度に合わせて、前記コンベア
へ所定ピッチで連続的に供給しなければならない。
【0003】従来、この作業は、人手によるもので、前
記コンベアの側部へ多くの作業者が並んで、このコンベ
アの速度に合わせ、物品の形態を揃えて手作業により供
給していた。
記コンベアの側部へ多くの作業者が並んで、このコンベ
アの速度に合わせ、物品の形態を揃えて手作業により供
給していた。
【0004】そのため、作業者に対する労働負担が大き
く、長時間の連続作業を行うことはできず、生産効率を
高めることができないものであり、また、前記包装機は
高速により処理が行われているので、手作業による物品
の供給は一層困難となる。更に、コンベアに対して均一
で良好な整列状態に供給するのには、ベテランの作業者
が必要となるため、その確保が困難な上、前記包装機の
高速化に対応することができない。等の様々な問題点を
有するものであった。
く、長時間の連続作業を行うことはできず、生産効率を
高めることができないものであり、また、前記包装機は
高速により処理が行われているので、手作業による物品
の供給は一層困難となる。更に、コンベアに対して均一
で良好な整列状態に供給するのには、ベテランの作業者
が必要となるため、その確保が困難な上、前記包装機の
高速化に対応することができない。等の様々な問題点を
有するものであった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記した問題
点を解決するためになされたもので、上部に開口部を有
する容器内に収容した物品を移送する搬入手段を設け、
該搬入手段に前記容器に物品を収容させた状態で反転さ
せる反転手段を隣接させて、該反転手段に前記物品入り
容器を搬送する搬出手段を隣接させると共に、この搬出
手段に前記容器と物品とを分離させる分離手段を対応さ
せることにより、保形性が比較的ない柔らかい物品で
も、その形をくずすことなく、簡単かつ迅速で確実に行
うことができる物品移送装置およびその方法を提供する
ことを目的としている。
点を解決するためになされたもので、上部に開口部を有
する容器内に収容した物品を移送する搬入手段を設け、
該搬入手段に前記容器に物品を収容させた状態で反転さ
せる反転手段を隣接させて、該反転手段に前記物品入り
容器を搬送する搬出手段を隣接させると共に、この搬出
手段に前記容器と物品とを分離させる分離手段を対応さ
せることにより、保形性が比較的ない柔らかい物品で
も、その形をくずすことなく、簡単かつ迅速で確実に行
うことができる物品移送装置およびその方法を提供する
ことを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記した目的を達成する
ための本発明の手段は、上部に物品の出し入れを行う開
口部を有する容器と、該容器内に収容した物品を移送す
る搬入手段と、該搬入手段に隣接させて前記物品入り容
器を、この物品を収容させた状態で反転させる反転手段
と、該反転手段に隣接させて前記物品入り容器を搬送す
る搬出手段と、この搬出手段に対応させて前記容器と物
品とを分離させる分離手段とを備えさせた物品移送装置
の構成にある。
ための本発明の手段は、上部に物品の出し入れを行う開
口部を有する容器と、該容器内に収容した物品を移送す
る搬入手段と、該搬入手段に隣接させて前記物品入り容
器を、この物品を収容させた状態で反転させる反転手段
と、該反転手段に隣接させて前記物品入り容器を搬送す
る搬出手段と、この搬出手段に対応させて前記容器と物
品とを分離させる分離手段とを備えさせた物品移送装置
の構成にある。
【0007】また、反転手段は、容器を支承して円弧軌
跡を移動する容器支持部材と、この容器支持部材と連動
移動して前記容器の開口部を覆う押さえ部材とからな
る。
跡を移動する容器支持部材と、この容器支持部材と連動
移動して前記容器の開口部を覆う押さえ部材とからな
る。
【0008】そして、容器における上部の開口部から物
品を収容して搬入手段により、前記開口部を上方へ向け
た状態で反転手段へ送り込み、この反転手段により前記
物品を収容させた状態で前記容器を該容器の開口部が下
向きとなるように反転させ、該物品入り容器を搬出手段
へ移し替え、この搬出手段において前記容器と前記物品
とを分離させて物品のみを搬出手段により移送させる物
品移送方法にある。
品を収容して搬入手段により、前記開口部を上方へ向け
た状態で反転手段へ送り込み、この反転手段により前記
物品を収容させた状態で前記容器を該容器の開口部が下
向きとなるように反転させ、該物品入り容器を搬出手段
へ移し替え、この搬出手段において前記容器と前記物品
とを分離させて物品のみを搬出手段により移送させる物
品移送方法にある。
【0009】
【実施例】次に本発明に関する物品移送装置およびその
方法の一実施例を図面に基づいて説明する。図1および
図3においてAは物品移送装置で、容器1と、搬入手段
2と、反転手段3と、搬出手段4と、分離手段5とによ
り基本的に構成される。
方法の一実施例を図面に基づいて説明する。図1および
図3においてAは物品移送装置で、容器1と、搬入手段
2と、反転手段3と、搬出手段4と、分離手段5とによ
り基本的に構成される。
【0010】そして、前記した容器1は、上部に物品b
の出し入れを行う開口部6を有するもので、その内部に
物品bが安定よく収容されるものであって、外側部に、
後記する反転手段3に係合する係止体7を付設してあ
る。なお、前記した物品bは、硬いものはもちろんのこ
と、保形性が低い柔らかいものの処理もできることはも
ちろんである。
の出し入れを行う開口部6を有するもので、その内部に
物品bが安定よく収容されるものであって、外側部に、
後記する反転手段3に係合する係止体7を付設してあ
る。なお、前記した物品bは、硬いものはもちろんのこ
と、保形性が低い柔らかいものの処理もできることはも
ちろんである。
【0011】前記した搬入手段2は、容器1内に物品b
を収容して後記する反転手段3へ移送するもので、ベル
トコンベアあるいはチェーンコンベア等を用いて一方向
へ連続的または間欠的に走行する。この移送にあって
は、物品b入り容器1は、それぞれの容器1が所定間隔
の整列状態であっても、該間隔が不揃いのランダム状態
であってもよい。
を収容して後記する反転手段3へ移送するもので、ベル
トコンベアあるいはチェーンコンベア等を用いて一方向
へ連続的または間欠的に走行する。この移送にあって
は、物品b入り容器1は、それぞれの容器1が所定間隔
の整列状態であっても、該間隔が不揃いのランダム状態
であってもよい。
【0012】前記した反転手段3は、搬入手段2に隣接
させて物品b入り容器1を、この物品bを収容させた状
態で反転させるもので、半円形の回転円弧軌跡部Rを利
用するものであって、容器1を支承して円弧軌跡を移動
する容器支持部材8と、この容器支持部材8と連動移動
して、容器1の開口部6を覆う押さえ部材9とからな
る。
させて物品b入り容器1を、この物品bを収容させた状
態で反転させるもので、半円形の回転円弧軌跡部Rを利
用するものであって、容器1を支承して円弧軌跡を移動
する容器支持部材8と、この容器支持部材8と連動移動
して、容器1の開口部6を覆う押さえ部材9とからな
る。
【0013】このうち、容器支持部材8は、例えば、チ
ェーンコンベアを用いて、そのチェーンへ間隔的に多数
取り付けた押送体10を、容器1に付設した係止体7へ
係止させて該容器1を押送する。
ェーンコンベアを用いて、そのチェーンへ間隔的に多数
取り付けた押送体10を、容器1に付設した係止体7へ
係止させて該容器1を押送する。
【0014】なお、この押送体10は必ずしも必要では
なく、容器支持部材8と押さえ部材9とによる挟持状態
で該容器1を搬送してもよい。また、容器1の底部は、
機体11へ略水平に支承させた支軸12に取り付けた回
転体13に支持させてもよいもので、この回転体13は
容器支持部材8と同期回転する。
なく、容器支持部材8と押さえ部材9とによる挟持状態
で該容器1を搬送してもよい。また、容器1の底部は、
機体11へ略水平に支承させた支軸12に取り付けた回
転体13に支持させてもよいもので、この回転体13は
容器支持部材8と同期回転する。
【0015】前記した押さえ部材9は、例えば、ベルト
コンベアを用いて、半円形の回転円弧軌跡部Rにおい
て、容器支持部材8の外側に設けてあって、容器1の開
口部6を覆うことにより、容器支持部材8および回転体
13とこの押さえ部材9とにより該容器1が挟持され、
移送に際して容器1の妄動が防止されると共に、容器1
内の物品bの飛び出しが防止される。
コンベアを用いて、半円形の回転円弧軌跡部Rにおい
て、容器支持部材8の外側に設けてあって、容器1の開
口部6を覆うことにより、容器支持部材8および回転体
13とこの押さえ部材9とにより該容器1が挟持され、
移送に際して容器1の妄動が防止されると共に、容器1
内の物品bの飛び出しが防止される。
【0016】前記した搬出手段4は、反転手段3に隣接
させて物品b入り容器1を開口部6が下向きとなった状
態で受け取り、後記する分離手段5の作動により物品b
のみを次工程へ搬送するもので、例えば、ベルトコンベ
アを用いて、半円形の回転円弧軌跡部Rにおいてその終
端側に設けてある。
させて物品b入り容器1を開口部6が下向きとなった状
態で受け取り、後記する分離手段5の作動により物品b
のみを次工程へ搬送するもので、例えば、ベルトコンベ
アを用いて、半円形の回転円弧軌跡部Rにおいてその終
端側に設けてある。
【0017】前記した分離手段5は、搬出手段4に対応
させて容器1と物品bとを分離させるもので、例えば、
図1に示すように、搬出手段4に移し替えられた物品b
入り容器1を、吸着や把持,挟持等の任意の手段からな
る保持部材14によって保持し、該容器1を図示しない
昇降手段により上方へ引き上げることにより、容器1と
物品bとを分離させることができる。
させて容器1と物品bとを分離させるもので、例えば、
図1に示すように、搬出手段4に移し替えられた物品b
入り容器1を、吸着や把持,挟持等の任意の手段からな
る保持部材14によって保持し、該容器1を図示しない
昇降手段により上方へ引き上げることにより、容器1と
物品bとを分離させることができる。
【0018】なお、搬出手段4は、分離手段5におる容
器1の受け取り時に停止してもよいものであるが、該搬
出手段4を連続運転させて取り出しを行うこともできる
もので、この場合、保持部材14を搬出手段4と同期す
る走行部材15により操作するものであり、更に、この
分離手段5は、容器1の係止体7を利用して斜めに設置
したコンベアにより分離したりする任意の手段が採用し
得る。
器1の受け取り時に停止してもよいものであるが、該搬
出手段4を連続運転させて取り出しを行うこともできる
もので、この場合、保持部材14を搬出手段4と同期す
る走行部材15により操作するものであり、更に、この
分離手段5は、容器1の係止体7を利用して斜めに設置
したコンベアにより分離したりする任意の手段が採用し
得る。
【0019】したがって、前記したように構成される本
発明に係る一実施例の物品移送装置Aおよびその方法
は、以下に述べる作用を奏する。あらかじめ、容器1内
にはその上部の開口部6から物品bが収容されているも
ので、該物品b入り容器1は搬入手段2によりランダム
状態あるいは所定間隔で多数が送られてくるものであっ
て、容器1内の開口部6は上に、すなわち、物品bは容
器上部にあって露出状態にある。
発明に係る一実施例の物品移送装置Aおよびその方法
は、以下に述べる作用を奏する。あらかじめ、容器1内
にはその上部の開口部6から物品bが収容されているも
ので、該物品b入り容器1は搬入手段2によりランダム
状態あるいは所定間隔で多数が送られてくるものであっ
て、容器1内の開口部6は上に、すなわち、物品bは容
器上部にあって露出状態にある。
【0020】この搬入手段2は、板状の中継部材16を
介して半円形の回転円弧軌跡部Rにおいてその始端側に
臨ませてあるので、反転手段3における容器支持部材8
の押送体10が容器1の側部に付設してある係止体7に
係合する。
介して半円形の回転円弧軌跡部Rにおいてその始端側に
臨ませてあるので、反転手段3における容器支持部材8
の押送体10が容器1の側部に付設してある係止体7に
係合する。
【0021】すると、この容器支持部材8の走行に伴っ
て物品b入り容器1が半円形の回転円弧軌跡部Rにおけ
る始端側に入り込む。そして、反転手段3における回転
体13と押さえ部材9との間に挟まれ、かつ、物品bは
押さえ部材9により開口部6が覆われて外部への飛び出
しが防止されるもので、この状態で、物品b入り容器1
は回転円弧軌跡部Rを移動する。
て物品b入り容器1が半円形の回転円弧軌跡部Rにおけ
る始端側に入り込む。そして、反転手段3における回転
体13と押さえ部材9との間に挟まれ、かつ、物品bは
押さえ部材9により開口部6が覆われて外部への飛び出
しが防止されるもので、この状態で、物品b入り容器1
は回転円弧軌跡部Rを移動する。
【0022】そして、この回転円弧軌跡部Rの終端部に
達した物品b入り容器1は、その開口部6が下向きとな
った状態で搬出手段4へ臨み、該搬出手段4の駆動と共
にこの上部へ移し替えられる。
達した物品b入り容器1は、その開口部6が下向きとな
った状態で搬出手段4へ臨み、該搬出手段4の駆動と共
にこの上部へ移し替えられる。
【0023】次に、分離手段5が作動して、搬出手段4
上の物品b入り容器1を取り出すので、この搬出手段4
には物品bのみが残り、該物品bは次工程へと搬送され
る。このとき、搬出手段4の物品bは、搬入手段2にお
いて容器1内に収容されたそのままの形で表裏が入れ替
わっただけの移し替えが行われ、その姿、形が崩れてし
まう等の不都合を生じない。特に、軟らかな物品bを複
層に重ねて容器1内に収容させたときは、押さえ部材9
が弾性的に物品bに接して押さえるため、物品bを動か
すことなくその形通りに取り出されて、次工程に移送さ
れる。
上の物品b入り容器1を取り出すので、この搬出手段4
には物品bのみが残り、該物品bは次工程へと搬送され
る。このとき、搬出手段4の物品bは、搬入手段2にお
いて容器1内に収容されたそのままの形で表裏が入れ替
わっただけの移し替えが行われ、その姿、形が崩れてし
まう等の不都合を生じない。特に、軟らかな物品bを複
層に重ねて容器1内に収容させたときは、押さえ部材9
が弾性的に物品bに接して押さえるため、物品bを動か
すことなくその形通りに取り出されて、次工程に移送さ
れる。
【0024】しかも、搬入手段2へ供給する物品bは、
容器1に対して他の工程においてその供給を行った後、
搬入手段2へ送り込むことができるので、次工程への接
続スペースが十分にない場合や、次工程の処理速度が比
較的高速である場合であっても物品bの送り込み速度を
対応させることができる。
容器1に対して他の工程においてその供給を行った後、
搬入手段2へ送り込むことができるので、次工程への接
続スペースが十分にない場合や、次工程の処理速度が比
較的高速である場合であっても物品bの送り込み速度を
対応させることができる。
【0025】図3においてAは、本発明実施例に係る他
の例の物品移送装置で、基本的構成は前記した例と同様
であるが、異なる点は、前記実施例は、物品b入り容器
1が半円形の回転円弧軌跡部Rに対して上側から供給さ
れていたが、この例にあっては下方から上方へ移動する
ように構成されている。したがって、奏される作用効果
は前記実施例と同様であり、本例に対して同一の符号を
付して詳細な説明は省略する。
の例の物品移送装置で、基本的構成は前記した例と同様
であるが、異なる点は、前記実施例は、物品b入り容器
1が半円形の回転円弧軌跡部Rに対して上側から供給さ
れていたが、この例にあっては下方から上方へ移動する
ように構成されている。したがって、奏される作用効果
は前記実施例と同様であり、本例に対して同一の符号を
付して詳細な説明は省略する。
【0026】なお、容器1内の物品馬類はその開口部6
を覆う場合には、回転体13が利用できる。
を覆う場合には、回転体13が利用できる。
【0027】
【発明の効果】前述のように本発明に関する物品移送装
置は、容器における上部の開口部から物品を収容して搬
入手段により、前記開口部を上方へ向けた状態で反転手
段へ送り込み、この反転手段により前記物品を収容させ
た状態で前記容器を該容器の開口部が下向きとなるよう
に反転させ、該物品入り容器を搬出手段へ移し替え、こ
の搬出手段において前記容器と前記物品とを分離させて
物品のみを搬出手段により移送させることにより、保形
性が比較的ない柔らかい物品でも、その形をくずすこと
なく、簡単かつ迅速で確実に行うことができる。物品に
対する次工程の処理が高速化されても、容器へ定められ
た形態で物品を収容させておけば、単に、この物品入り
の容器を移送させるだけで、その高速性に対応すること
ができる。等の格別な効果を奏するものである。
置は、容器における上部の開口部から物品を収容して搬
入手段により、前記開口部を上方へ向けた状態で反転手
段へ送り込み、この反転手段により前記物品を収容させ
た状態で前記容器を該容器の開口部が下向きとなるよう
に反転させ、該物品入り容器を搬出手段へ移し替え、こ
の搬出手段において前記容器と前記物品とを分離させて
物品のみを搬出手段により移送させることにより、保形
性が比較的ない柔らかい物品でも、その形をくずすこと
なく、簡単かつ迅速で確実に行うことができる。物品に
対する次工程の処理が高速化されても、容器へ定められ
た形態で物品を収容させておけば、単に、この物品入り
の容器を移送させるだけで、その高速性に対応すること
ができる。等の格別な効果を奏するものである。
【図1】本発明に関する物品移送装置を概略的に示す正
面図である。
面図である。
【図2】図1における物品移送装置の要部を示す側面図
である。
である。
【図3】図1における物品移送装置の他の例を示す正面
図である。
図である。
b 物品 1 容器 2 搬入手段 3 反転手段 4 搬送手段 5 分離手段 6 開口部 8 容器支持部材 9 押さえ部材
Claims (3)
- 【請求項1】 上部に物品の出し入れを行う開口部を有
する容器と、該容器内に収容した物品を移送する搬入手
段と、該搬入手段に隣接させて前記物品入り容器を、こ
の物品を収容させた状態で反転させる反転手段と、該反
転手段に隣接させて前記物品入り容器を搬送する搬出手
段と、この搬出手段に対応させて前記容器と物品とを分
離させる分離手段とを備えさせたことを特徴とする物品
移送装置。 - 【請求項2】 反転手段は、容器を支承して円弧軌跡を
移動する容器支持部材と、この容器支持部材と連動移動
して前記容器の開口部を覆う押さえ部材とからなること
を特徴とする請求項1記載の物品移送装置。 - 【請求項3】 容器における上部の開口部から物品を収
容して搬入手段により、前記開口部を上方へ向けた状態
で反転手段へ送り込み、この反転手段により前記物品を
収容させた状態で前記容器を該容器の開口部が下向きと
なるように反転させ、該物品入り容器を搬出手段へ移し
替え、この搬出手段において前記容器と前記物品とを分
離させて物品のみを搬出手段により移送させることを特
徴とする物品移送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36243899A JP2001171829A (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 物品移送装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36243899A JP2001171829A (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 物品移送装置およびその方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001171829A true JP2001171829A (ja) | 2001-06-26 |
Family
ID=18476855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36243899A Pending JP2001171829A (ja) | 1999-12-21 | 1999-12-21 | 物品移送装置およびその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001171829A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107600990A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-19 | 盐城市丰特铸造机械有限公司 | 一种网带抛丸机的工件翻转装置 |
JP2020083616A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | シブヤパッケージングシステム株式会社 | 物品搬送装置 |
-
1999
- 1999-12-21 JP JP36243899A patent/JP2001171829A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107600990A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-19 | 盐城市丰特铸造机械有限公司 | 一种网带抛丸机的工件翻转装置 |
JP2020083616A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | シブヤパッケージングシステム株式会社 | 物品搬送装置 |
JP7244739B2 (ja) | 2018-11-30 | 2023-03-23 | シブヤパッケージングシステム株式会社 | 物品搬送装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109923238B (zh) | 成膜装置 | |
JP2004040089A (ja) | 基板処理装置 | |
TW354405B (en) | Processing apparatus | |
JP2006335514A (ja) | 容器搬送処理装置 | |
CA2347572A1 (en) | Method and apparatus for forming item groups | |
US20030113195A1 (en) | Method and unit for feeding elongated elements | |
TWI697065B (zh) | 真空處理裝置 | |
JPH11314753A (ja) | 物品の輸送方法および装置 | |
JPS61112312A (ja) | 真空連続処理装置 | |
JP2001171829A (ja) | 物品移送装置およびその方法 | |
JPH08143145A (ja) | 物品の保持体への着脱方法およびその装置 | |
JP2006131255A (ja) | 容器取り出し供給装置 | |
JP2002237512A (ja) | ウエハー枚葉搬送用コンベヤの移載装置 | |
WO2020144891A1 (ja) | 真空処理装置 | |
JPS6337023A (ja) | 昇降装置 | |
JPH0590388A (ja) | 移替装置 | |
JP4989174B2 (ja) | 物品の搬送装置 | |
KR200159654Y1 (ko) | 반도체 이송장치 | |
JPH05278855A (ja) | 物品供給装置 | |
JP3290667B2 (ja) | 流体容器にて基板を処理するための装置と方法 | |
JP2005311169A (ja) | 基板搬送処理装置及び基板搬送処理方法 | |
JP2006192509A (ja) | 搬送装置 | |
JP2006137587A (ja) | 気送管設備 | |
JPH036574Y2 (ja) | ||
JP2020050492A (ja) | ワーク搬送ユニット |