JP2001170578A

JP2001170578A - 洗浄液吸引装置

Info

Publication number: JP2001170578A
Application number: JP35632899A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kimura; 崇木村; Hitoshi Ono; 仁史小野; Yuichi Yamamoto; 裕一山本
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1999-12-15
Filing date: 1999-12-15
Publication date: 2001-06-26
Anticipated expiration: 2019-12-15
Also published as: JP3538353B2

Abstract

(57)【要約】【課題】洗浄後の平板状の被洗浄物から残留する洗浄液
を吸引除去する洗浄液吸引装置を提供する。【解決手段】被洗浄物であるガラス基板２５に残留する
膜状の洗浄液２６は、吸引ノズル２２によって吸引され
て除去される。このとき、吸引ノズル２２の先端部２９
の面積Ａ２が、吸引孔３２の面積Ａ１の３倍以上である
ので、吸引時に吸引ノズルの先端面２９と、膜状の洗浄
液２６の上面との間の間隙が負圧となる。これによっ
て、吸引ノズル２２は、洗浄液２６に非接触で、洗浄液
を吸引することができる。このように、吸引ノズル２２
が、洗浄液２６に接触しないので、吸引ノズル２２が洗
浄液２６に含まれる汚染物によって汚染されることが防
止でき、吸引ノズル２２が、洗浄液およびガラス基板２
５の二次汚染の原因とならない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子およ
びプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などのフラッ
トパネルディスプレイあるいは半導体基板などの製造工
程で用いられ、被洗浄物の洗浄後に被洗浄物に残留する
洗浄液を吸引して除去する洗浄液吸引装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示素子の製造工程で使
用されている従来の洗浄液の除去方式について説明す
る。図５は、エアナイフ１を用いた洗浄液の除去方式を
示す模式図であり、図６は、ヘラ型の除去器９を用いた
洗浄液の除去方式を示す模式図である。被洗浄物である
ガラス基板２は、複数の搬送ローラ３によって搬送方向
Ｂに搬送され、洗浄装置５から噴射される洗浄液によっ
て洗浄される。このとき、ガラス基板の一表面１１上に
膜状の洗浄液８が残留したまま、搬送ローラ３によって
搬送方向Ｂに搬送される。

【０００３】図５に示すように、エアナイフ１は洗浄装
置５の搬送方向Ｂ下流側に配置される。このエアナイフ
１のスリット状の噴出口６からは、加圧された気体が噴
出されており、この気体の圧力によって気体カーテン７
が形成される。この気体カーテン７が、前述の膜状の洗
浄液８を堰止めることによってガラス基板２から洗浄液
が除去される。このエアナイフ１による除去方式では、
噴出される気体の圧力を調節することによって、除去す
る洗浄液の量を制御することが可能である。

【０００４】図６に示すように、ヘラ型の除去器９は、
洗浄装置５の搬送方向Ｂ下流側に配置され、シート状の
ゴムなどから成る。前述の気体カーテン７と同様に、こ
の除去器９が膜状の洗浄液８を堰止めることによってガ
ラス基板２から洗浄液が除去される。前述の膜状の洗浄
液８をガラス基板２から完全に除去する場合には、除去
器９の下端１０をガラス基板２の一表面１１に接触させ
る。すると、搬送ローラ３の搬送力と除去器９の変形に
よって生じる圧力とによって、除去器９はガラス基板２
に密着するので、膜状の洗浄液８を完全に拭い取ること
ができる。また、膜状の洗浄液８の一部だけを除去する
場合には、除去器９の下端１０とガラス基板２の一表面
１１との間に間隙を設ければよい。これによって、除去
器９の下端１０よりも高い位置にある洗浄液のみを堰止
めて除去することができる。このように、間隙の距離を
調節することによって、ガラス基板２上に残留する洗浄
液の膜厚さを制御することができる。

【０００５】また、特開平１０−１６３１５３号公報に
は、洗浄液を導入する導入口と、導入された洗浄液を被
洗浄物に噴射する噴射口と、噴射された洗浄液を回収す
る排出口とが一体的に形成された洗浄ノズルが記載され
ている。この洗浄ノズルによれば、洗浄に使用された後
の洗浄液を、被洗浄物上に残留させることなく回収でき
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図７は、一般的な洗浄
装置の洗浄のメカニズムを示す図である。洗浄の対象
物、たとえばガラス基板２に対して、圧力、振動および
熱などの物理的なエネルギ１２を与えることによって、
ガラス基板２の一表面１１から汚染物１３を洗浄液８中
に浮き上がらせる。その後、浮き上がらせた汚染物１３
を洗浄液８中に拡散させる。これによって、浮き上がら
せた汚染物１３が、再びガラス基板２に再付着すること
が防止され、ガラス基板２の一表面１１が洗浄される。
すなわち、ガラス基板２の洗浄効率を向上させるために
は、洗浄時に与える物理的なエネルギ１２を強くした
り、あるいは浮き上がった汚染物１３がガラス基板２に
再付着する前に汚染物１３を洗浄液８中に拡散させた
り、あるいは浮き上がった汚染物１３がガラス基板２に
再付着する前に、ガラス基板２から洗浄液８を除去すれ
ばよい。

【０００７】しかし、上述のようにして洗浄効率を向上
させたとしても、汚染物１３を含有する洗浄液８に洗浄
後のガラス基板２は接触しているので、ガラス基板２が
再び汚染されてしまうという問題が発生する。図５に示
すエアナイフ１による除去方式では、気体カーテン７に
よって洗浄液８が堰止められる堰止め部１４に、汚染さ
れた洗浄液が集中し、この堰止め部１４で汚染が進行す
る確率が高くなる。また、同様にヘラ型の除去器９によ
る除去方式では、除去器９が洗浄液８を堰止める堰止め
部１５で汚染が進行する確率が高くなる。この問題は、
洗浄液８を堰止めて除去する上述の２つの方式では解決
することはできない。

【０００８】一方、ガラス基板２の一表面１１を濡れた
状態で搬送方向Ｂに搬送することによって、残留した膜
状の洗浄液８が保護膜として機能し、ガラス基板２の一
表面１１が大気によって汚染されることが防止される。
しかしながら、残留する洗浄液８の量が少量であると、
搬送中に洗浄液が揮発してしまい、洗浄液８中の汚染物
１３などの溶解成分がシミとして残ってしまう恐れがあ
る。このため、ガラス基板２の一表面１１に残留する洗
浄液８は、搬送中に完全に揮発してしまわない程度の量
を残す必要がある。

【０００９】上述のように、汚染物１３の再付着を防止
し、かつ洗浄液を完全に揮発させないようにガラス基板
２の一表面１１に残留する洗浄液を所定量に制御する必
要がある。しかしながら、図５に示すエアナイフ１によ
る除去方式では、噴出口６から噴出される気体の圧力を
制御することは困難であるため、残留させる洗浄液８の
量を制御することも難しい。一方、図６に示すヘラ型の
除去器９による除去方式では、除去器９の下端１０とガ
ラス基板２の一表面１１との距離を制御することによっ
て残留させる洗浄液の量を容易に制御できる。しかし、
この方式では除去器９が汚染物１３を含む洗浄液８に常
に接触しているため、除去器９が汚染されてしまい、除
去器９が二次汚染の原因となってしまう。

【００１０】また、特開平１０−１６３１５３号公報に
開示される洗浄ノズルでは、洗浄液を被洗浄物から完全
に除去してしまうので、前述の洗浄液８による保護膜を
持たないため、大気による汚染が発生するといった問題
があった。

【００１１】本発明の目的は、洗浄後の平板状の被洗浄
物が、残留する洗浄液によって再び汚染されてしまうこ
とを防止する洗浄液吸引装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、平板状の被洗
浄物を洗浄液によって洗浄した後に、被洗浄物の一表面
上に膜状に残留する洗浄液を吸引ノズルによって吸引し
て除去する洗浄液吸引装置において、前記膜状の洗浄液
の上面に、前記吸引ノズルの先端面がわずかな間隙を開
けて配置され、吸引ノズルから洗浄液を吸い上げて除去
することを特徴とする洗浄液吸引装置である。

【００１３】本発明に従えば、平板状の被洗浄物は洗浄
液によって洗浄され、被洗浄物の一表面上に膜状の洗浄
液が残留する。この膜状の洗浄液は、吸引ノズルによっ
て吸引されて除去される。このとき、吸引ノズルの先端
面と、膜状の洗浄液の上面との間には、わずかな間隙が
設けられており、吸引ノズルは膜状の洗浄液に非接触で
洗浄液を吸引して除去する。このように、吸引ノズル
は、洗浄に使用された後の汚染物が含まれる洗浄液に接
触しないので、吸引ノズルが洗浄液中の汚染物によって
汚染されることが防止される。これによって、吸引ノズ
ルが洗浄液および被洗浄物の二次汚染の原因となること
はない。また、吸引ノズルが被洗浄物にあたって被洗浄
物に物理的な損傷を与えることがない。

【００１４】また本発明は、前記膜状の洗浄液の上面に
対向する前記吸引ノズルの先端面の面積が、吸引ノズル
の吸引孔の面積の３倍以上であることを特徴とする。

【００１５】本発明に従えば、吸引ノズルの先端面の面
積が、吸引孔の面積の３倍以上であれば、吸引時に吸引
ノズルの先端面と膜状の洗浄液の上面とによって挟まれ
るわずかな間隙に、負圧雰囲気の領域を形成することが
できるので、吸引ノズルが膜状の洗浄液に接触していな
い状態で、効率よく洗浄液を吸引することができる。こ
のようにして吸引された洗浄液は、吸引孔を通って排出
される。このとき吸引孔の面積よりも広い領域で洗浄液
の吸引を行うことができる。このように、吸引時に吸引
ノズルが洗浄に使用された後の膜状の洗浄液に接触する
ことがないので、吸引ノズルが洗浄液中の汚染物によっ
て汚染されることが防止される。また、吸引ノズルが洗
浄液および被洗浄物の二次汚染の原因となることがな
い。

【００１６】また本発明は、前記吸引ノズルによって吸
引された洗浄液を一時的に貯留する貯留空間を有し、貯
留空間に臨み、貯留空間内に排出された洗浄液を排出す
る排出孔が設けられる箱体を備え、前記吸引ノズルは、
その上端面が貯留空間内で、前記排出孔の上端部よりも
高い位置に配置されて箱体に接続されることを特徴とす
る。

【００１７】本発明に従えば、吸引ノズルは、その上端
部が箱体の底壁から貯留空間内に突出して箱体に接続さ
れ、この箱体には貯留空間内の空気を吸引する吸引ポン
プが接続される。吸引ポンプが駆動すると、貯留空間内
の空気が吸引されて負圧となり、洗浄液は吸引ノズルか
ら吸引される。吸引された洗浄液は、吸引ノズルの上端
面から箱体内部に排出される。箱体内部に排出された洗
浄液は、箱体内部の貯留空間に一時的に貯留され、排出
孔から吸引されて排出される。上述のように吸引ノズル
と吸引ポンプとの間に、箱体を介在させることによっ
て、吸引ポンプの吸引圧力が一時的に低下するなどとい
った不安定な状態になったとしても、貯留空間がバッフ
ァとなり、吸引ノズルからの吸引力を安定化することが
できる。

【００１８】また、箱体には、貯留された洗浄液を排出
する排出孔が形成される。吸引ノズルの上端面は、この
排出孔の上端よりも高い位置に配置されており、貯留空
間内の洗浄液の液面は、排出孔の上端より上になること
がないので、洗浄液の吸引中に、負圧の偏りが発生し
て、洗浄液を吸引できなくなったり、あるいは吸引ポン
プが停止したとしても、貯留空間に貯留されている洗浄
液が、被洗浄物に逆流することが防止される。これによ
って、被洗浄物に逆流する洗浄液は、吸引孔に残留する
量だけとなり、被洗浄物の再汚染を最小限にすることが
できる

【００１９】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態の
洗浄液吸引装置２１の模式図であり、図２は洗浄液吸引
装置２１の簡略化した断面図であり、図３は吸引ノズル
２２の先端面２９を示す図である。本発明の洗浄液吸引
装置２１は、たとえば液晶表示素子などの製造工程で使
用され、平板状の被洗浄物を洗浄液によって洗浄した後
に、被洗浄物の一表面上に膜状に残留する洗浄液を吸引
ノズル２２によって吸引して除去する装置である。

【００２０】図１に示すように、被洗浄物であるガラス
基板２５は、被洗浄面４１を上方に向けた状態で、複数
個の搬送ローラ２４によって搬送方向Ｂに搬送される。
ガラス基板２５の上方には、洗浄装置２３が配置され、
この洗浄装置２３は、被洗浄面４１に向けて洗浄液を噴
射して、ガラス基板２５を洗浄する。洗浄されたガラス
基板２５は、その被洗浄面４１上に洗浄に使用された後
の洗浄液が膜状に残留したまま、搬送ローラ２４によっ
て搬送方向Ｂに搬送される。この膜状の洗浄液２６は、
被洗浄面４１に付着していた汚れなどの汚染物を含有し
ており、洗浄後のガラス基板２５の搬送中に、この汚染
物が被洗浄面４１に再付着する恐れがある。このため、
被洗浄面４１から、この膜状の洗浄液２６を除去する必
要があり、洗浄装置２３の搬送方向Ｂ下流側で、かつガ
ラス基板２５の上方に、本発明の洗浄液吸引装置２１を
配置する。

【００２１】次に図２および図３を参照して、洗浄液吸
引装置２１について説明する。洗浄液吸引装置２１は、
１本または複数本の吸引ノズル２２と、この吸引ノズル
２２が接続される箱体３９と、箱体内部の貯留空間２８
を減圧するための吸引用配管２７とによって構成され
る。

【００２２】吸引ノズル２２は、たとえば長手円筒体で
あり、中央部には、長手方向（図２の上下方向）に貫通
する吸引孔３２が形成される。図３に示すように、先端
面２９の面積Ａ２は、吸引孔３２の面積Ａ１の３倍以上
（Ａ２≧３Ａ１）であり、好ましくは、１０倍以上１０
０倍以下とする。なお、本実施形態では、吸引孔３２の
直径Ｄ１は３ｍｍであり、面積Ａ１は２．２５πｍｍ²
である。また先端面２９の直径Ｄ２は１８ｍｍであり、
面積Ａ２は８１πｍｍ²である。すなわち、先端面２９
の面積Ａ２は、吸引孔３２の面積Ａ１の３６倍である。

【００２３】箱体３９の一側壁４３の下部には、排出孔
３３が形成され、この排出孔３３に、吸引用配管２７が
その一端部が貯留空間２８に配置した状態で接続され
る。この吸引用配管２７の他端部には、吸引ポンプ（図
示せず）が接続される。吸引ノズル２２は、その上端面
３０が貯留空間２８に突出し、先端面２９が箱体の下に
突出するように配置された状態で、箱体３９に取付けら
れる。このとき、上端面３０は吸引用配管２７の上端４
４よりも高い位置に配置され、先端面２９は膜状の洗浄
液４１に臨む。

【００２４】次に図２を参照して、洗浄液吸引装置２１
の洗浄液２６の吸引方法について説明する。ガラス基板
２上の膜状の洗浄液２６を吸引するとき、まず膜状の洗
浄液２６の上端面と、吸引ノズル２２の先端面２９とを
所定のわずかな間隙ｔ１を開けてそれぞれ対向させる。
本実施形態では、この所定のわずかな間隙ｔ１は、１ｍ
ｍ以上５ｍｍ以下の値が選ばれる。

【００２５】吸引ポンプ（図示せず）によって吸引用配
管２７を介して貯留空間２８が減圧されると、吸引孔３
２から吸引ノズル２２の外部の空気が貯留空間２８に吸
引される。このとき前述したように、吸引ノズル２２の
先端面２９の面積Ａ２が吸引孔３２の面積Ａ１の３倍以
上、本実施形態では３６倍も大きいために、吸引ノズル
２２の先端面２９と、膜状の洗浄液２６の上端面４９と
の間に負圧雰囲気の領域４０が発生する。このように負
圧雰囲気領域４０が発生すると、膜状の洗浄液の上端面
４９が、吸引ノズル２２の先端面２９側に吸い寄せられ
る。すると、吸い寄せられた洗浄液は、吸引孔３２に流
入し、吸引孔３２を通って上端面３０から貯留空間２８
に排出される。上述のように構成することによって、吸
引ノズル２２の先端面２９と、膜状の洗浄液２６との間
にわずかな間隙ｔ１を設けても、洗浄液を吸引すること
ができる。すなわち、吸引ノズル２２が、膜状の洗浄液
２６に非接触の状態で洗浄液を吸引することができるの
で、吸引ノズル２２が、汚染物を含有する洗浄液によっ
て汚染されることがない。これによって、吸引ノズル２
２がガラス基板２５の二次汚染の原因となることはな
い。また、吸引ノズル２２がガラス基板２５にあたって
ガラス基板２５が破損することもない。

【００２６】箱体内部に排出された洗浄液は、貯留空間
２８に一時的に貯留される。貯留空間２８に貯留された
洗浄液は、吸引ポンプ（図示せず）に吸引されて、矢符
４６に示すように吸引用配管２７を通って排出される。
排出された洗浄液は、廃棄処分されるか、あるいは循環
して再利用される。

【００２７】吸引ポンプ（図示せず）が故障して、貯留
空間２８の減圧が行われなくなったり、あるいは何らか
の要因で貯留空間２８の減圧状態が一時的に弱くなった
としても、貯留空間２８の気体の体積がバッファとな
り、吸引ノズル２２の吸引圧力を安定化することができ
る。

【００２８】また、前述したように、吸引ノズル２２の
上端面２９は、吸引用配管２７の上端４４よりも高い位
置に配置されており、かつ貯留された洗浄液の液面は、
この上端４４よりも上になることがないので、吸引ポン
プ（図示せず）による吸引力に偏りが発生して、負圧雰
囲気領域４０に洗浄液を吸引するのに必要な負圧が得ら
れなくなったとき、吸引ポンプ（図示せず）を停止した
とき、あるいは複数本のうちの一部の吸引ノズル２２が
吸引できなくなったときなどに、貯留空間２８に貯留さ
れている洗浄液がガラス基板２に逆流することが防止さ
れる。これによって、ガラス基板２に逆流する洗浄液
は、吸引孔３２に残留する量だけとなり、ガラス基板２
の再汚染を最小限に抑えることができる。

【００２９】また、吸引ポンプ（図示せず）の吸引圧力
を調節することによって、ガラス基板２上の洗浄液を所
定量だけ残すことができる。

【００３０】本件発明者は、洗浄液吸引装置２１の吸引
特性についての検討を行った。図４は、実験装置図であ
る。洗浄液吸引装置２１と、２台の吸引ポンプ３４ａ，
３４ｂとの間には、ドレインタンク３７が介在され、ド
レインタンク３７と洗浄液吸引装置２１とは、２本の吸
引用配管２７によって接続され、ドレインタンク３７
と、吸引ポンプ３４ａ，３４ｂとは配管３６によって接
続される。

【００３１】表１に、本実験で使用した吸引ポンプ３４
ａ，３４ｂの排気特性を示す。表１に示すように吸引用
配管２７の配管径が１インチのとき、第１吸引ポンプ３
４ａは、箱体内部の気体を毎分３００リットル排気で
き、第２吸引ポンプ３４ｂは、毎分５００リットル排気
でき、２台の吸引ポンプ３４ａ，３４ｂを同時に使用す
ると毎分６５０リットル排気できる。また吸引用配管２
７の配管径が１／２インチのとき、第１吸引ポンプ３４
ａは、箱体内部の気体を毎分３１５リットル排気でき、
第２吸引ポンプ３４ｂは毎分４００リットル排気でき、
２台の吸引ポンプ３４ａ，３４ｂを同時に使用すると、
毎分４５０リットル排気できる。

【００３２】

【表１】

【００３３】なお、実験は以下に述べる条件の下で行っ
た。洗浄液吸引装置２１には、全部で２９本の吸引ノズ
ル２２を接続した。そのうち約半数の１５本の吸引ノズ
ル２２を目止めすることができる。吸引用配管２７は、
その配管径が１／２インチまたは１インチのものを使用
した。配管３６のドレインタンク３７に接続される側の
配管径は約１００ｍｍであり、吸引ポンプ３４ａ，３４
ｂに接続される側の配管径は約４０ｍｍである。２台の
吸引ポンプ３４ａ，３４ｂは、第２吸引ポンプ３４ｂの
み使用するか、あるいは２台の吸引ポンプ３４ａ，３４
ｂをともに使用した。ガラス基板２５上に残留する洗浄
液２６の液膜厚さｔ２は２ｍｍとした。膜状の洗浄液２
６の上端面４９と、吸引ノズル２２の先端面２９との間
隙ｔ１を１〜７ｍｍのいずれかに変化させた。なお、本
実験では、洗浄液として水を使用した。

【００３４】上記の実験条件ををそれぞれ変化させて、
洗浄液吸引装置２１が、膜状の洗浄液２６を吸引したか
否かを観測した。その結果が表２に示される。表２にお
いて、記号○は、全ての吸引ノズル２２によって洗浄液
が吸引されたことを示し、記号△は、一部の吸引ノズル
２２によって洗浄液が吸引されたことを示し、記号×
は、洗浄液が吸引されなかったことを示す。

【００３５】

【表２】

【００３６】表２に示すように間隙距離ｔ１が、２ｍｍ
または３ｍｍのときは、どの条件においても全ての吸引
ノズル２２によって洗浄液が吸引されることが判った。
間隙距離ｔ１が４ｍｍで、吸引用配管２７の配管径が１
／２インチのときは、一部の吸引ノズル２２によって洗
浄液が吸引されており、間隙距離ｔ１が４ｍｍで吸引用
配管２７の配管径が１インチのときは、全ての吸引ノズ
ル２２へ洗浄液が吸引されることが判った。間隙距離ｔ
１が５ｍｍ、吸引用配管２７の配管径が１／２インチ
で、吸引ポンプ３４ｂのみを駆動したときは、洗浄液は
吸引されなかった。間隙距離ｔ１が５ｍｍ、吸引用配管
２７の配管径が１／２インチで、第１および第２吸引ポ
ンプ３４ａ，３４ｂをともに駆動したときは、一部の吸
引ノズル２２のみによって洗浄液が吸引されていること
が判った。間隙距離ｔ１が５ｍｍ、吸引用配管２７の配
管径が１インチで、第２吸引ポンプ３４ｂのみを駆動し
たときは、一部の吸引ノズル２２のみによって、洗浄液
が吸引されることが判った。間隙距離ｔ１が５ｍｍ、吸
引用配管２７の配管径が１インチで、第１および第２吸
引ポンプ３４ａ，３４ｂをともに駆動したときは、全て
の吸引ノズル２２によって洗浄液が吸引されていること
が判った。間隙距離ｔ１が、６ｍｍ以上になると、どの
条件下においても、洗浄液が吸引されていないことが判
った。

【００３７】上述の観測結果から、間隙距離ｔ１、すな
わち吸引ノズル２２の先端面２９と膜状の洗浄液２６の
上端面４９との距離が、３ｍｍ以下になると全ての条件
下において吸引が行われることが判った。また、洗浄液
吸引装置２１によって、洗浄液を吸引するためには、間
隙距離ｔ１は、少なくとも５ｍｍ以下にすると良いこと
が判った。

【００３８】次に、前記実験装置を用いて、膜状の洗浄
液２６を吸引し、箱体内部３１の貯留空間２８に貯留さ
れた洗浄液の水位が、所定の高さに達するまでの時間を
測定した。この測定結果から、洗浄液吸引装置２１の単
位時間あたりの洗浄液の吸引量を算出した。その結果を
表３に示す。なおこの実験において、吸引用配管２７
は、配管径が１インチのものを使用した。

【００３９】

【表３】

【００４０】表３に示すように、第２吸引ポンプ３４ｂ
のみを駆動し、２９本の全ての吸引ノズル２２で、膜状
の洗浄液を吸引したとき、間隙距離ｔ１が１ｍｍの場合
では、２３６２．６ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引すること
ができ、間隙距離ｔ１が２ｍｍの場合では、２８５０．
８ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引することができ、間隙距離
ｔ２が３ｍｍの場合では、５８３．６ｇ／ｍｉｎの洗浄
液を吸引できることが判った。またこのとき、負圧雰囲
気領域４０の圧力は、−３０ｍｍＨｇ（９．７３ｋＰ
ａ）であった。また、第１および第２吸引ポンプ３４
ａ，３４ｂを駆動し、２９本の全ての吸引ノズル２２で
膜状の洗浄液２６を吸引したとき、間隙距離ｔ１が１ｍ
ｍの場合では、２４３８．６ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引
することができ、間隙距離ｔ１が２ｍｍの場合では、２
４８０．８ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引することができ、
間隙距離ｔ１が３ｍｍの場合では、２４８７．９ｇ／ｍ
ｉｎの洗浄液を吸引できることが判った。またこのと
き、負圧雰囲気領域４０の圧力は−１００ｍｍＨｇ
（８．８０ｋＰａ）であった。また第１および第２吸引
ポンプ３４ａ，３４ｂを駆動し、かつ２９本のうちの１
５本の吸引ノズル２２を目止めして、残りの１４本の吸
引ノズル２２で膜状の洗浄液２６を吸引したとき、間隙
距離ｔ１が１ｍｍの場合では、１７７４．４ｇ／ｍｉｎ
の洗浄液を吸引することができ、間隙距離ｔ１が２ｍｍ
の場合では、１７３７．４ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引す
ることができ、間隙距離ｔ１が３ｍｍの場合では、１９
４２．８ｇ／ｍｉｎの洗浄液を吸引できることが判っ
た。このとき、負圧雰囲気領域４０の圧力は、−１２０
ｍｍＨｇ（８．５３ｋＰａ）であった。

【００４１】上述の結果から吸引用配管２７の配管径が
１／２インチのときの洗浄液の吸液量は、最大でも約１
リットル／ｍｉｎ（約１０００ｇ／ｍｉｎ）であったの
に対して、吸引用配管２７の配管径を１インチにする
と、洗浄液の吸液量は、間隙距離ｔ１および吸引ポンプ
３４の排気容量にかかわらず、約２．５リットル／ｍｉ
ｎ（約２５００ｇ／ｍｉｎ）と安定していることが判っ
た。

【００４２】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄後の平板状の被洗
浄物に残留する膜状の洗浄液は、吸引ノズルによって吸
引されて除去される。このとき、吸引ノズルの先端面
と、膜状の洗浄液の上端面との間には、わずかな間隙が
形成されており、吸引ノズルは、膜状の洗浄液に非接触
で洗浄液を吸引する。このように、吸引ノズルは、洗浄
に使用された後の汚染物を含有する洗浄液に接触せずに
洗浄液を吸引するので、吸引ノズルが、洗浄液中の汚染
物によって汚染されることが防止される。これによっ
て、吸引ノズルが洗浄液および被洗浄物の二次汚染の原
因となることはない。また、吸引ノズルが被洗浄物にあ
たって被洗浄物に物理的な損傷を与えることもない。

【００４３】また本発明によれば、吸引ノズルの先端面
の面積は、吸引孔の面積の３倍以上であるため、吸引時
には、吸引ノズルの先端面と膜状の洗浄液の上面との間
のわずかな間隙に、負圧雰囲気の領域が形成される。こ
れによって、吸引ノズルが膜状の洗浄液に接触しない状
態で、洗浄液を吸引することができる。このとき、吸引
孔の面積よりも広い領域で洗浄液の吸引を行うことがで
きる。

【００４４】また本発明によれば、吸引ノズルの上端面
は、貯留空間内で、排出孔の上端よりも高い位置に配置
されており、かつ貯留された洗浄液の液面は、この上端
よりも上になることがないので、洗浄液の吸引中に、負
圧の偏りが発生して、洗浄液を吸引できなくなったり、
あるいは吸引ポンプを停止したときに貯留空間に貯留さ
れている洗浄液が、被洗浄物に逆流することが防止され
る。これによって被洗浄物に逆流する洗浄液は、吸引孔
に残留する量だけとなり、被洗浄物の再汚染を最小限に
することができる。

【００４５】また本発明によれば、吸引ノズルと吸引ポ
ンプとの間に、箱体を介在させることによって、吸引ポ
ンプの吸引圧力が一時的に低下するなどといった不安定
な状態となったとしても、貯留空間内の気体の体積がバ
ッファとなって、吸引ノズルの吸引圧力を安定化するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態の洗浄液吸引装置２１を
用いた洗浄液の除去方式を示す模式図である。

【図２】洗浄液吸引装置２１の簡略化した断面図であ
る。

【図３】吸引ノズル２２の先端面２９を示す図である。

【図４】本発明の洗浄液吸引装置２１の吸引特性実験の
実験装置図である。

【図５】エアナイフ１を用いた従来の洗浄液の除去方式
を示す模式図である。

【図６】ヘラ型の除去器９を用いた従来の洗浄液の除去
方式を示す模式図である。

【図７】一般的な洗浄装置の洗浄のメカニズムを示す図
である。

【符号の説明】

５，２３洗浄装置８，２６洗浄液２１洗浄液吸引装置２２吸引ノズル２４搬送ローラ２５ガラス基板２７吸引用配管２８貯留空間２９先端面３０上端面３４吸引ポンプ３９箱体４０負圧雰囲気領域

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山本裕一大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内Ｆターム(参考） 3B201 AA02 AB14 BB22 BB33 BB77 CB01 CC21 3L113 AA02 AB10 AC23 BA34 5F046 LA18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平板状の被洗浄物を洗浄液によって洗浄
した後に、被洗浄物の一表面上に膜状に残留する洗浄液
を吸引ノズルによって吸引して除去する洗浄液吸引装置
において、前記膜状の洗浄液の上面に、前記吸引ノズルの先端面が
わずかな間隙を開けて配置され、吸引ノズルから洗浄液
を吸い上げて除去することを特徴とする洗浄液吸引装
置。
【請求項２】前記膜状の洗浄液の上面に対向する前記
吸引ノズルの先端面の面積が、吸引ノズルの吸引孔の面
積の３倍以上であることを特徴とする請求項１記載の洗
浄液吸引装置。
【請求項３】前記吸引ノズルによって吸引された洗浄
液を一時的に貯留する貯留空間を有し、貯留空間に臨
み、貯留空間内に排出された洗浄液を排出する排出孔が
設けられる箱体を備え、前記吸引ノズルは、その上端面が貯留空間内で、前記排
出孔の上端部よりも高い位置に配置されて箱体に接続さ
れることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄液吸
引装置。