JP2001168504A - 電子機器及びその製造方法 - Google Patents

電子機器及びその製造方法

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JP2001168504A
JP2001168504A JP35124799A JP35124799A JP2001168504A JP 2001168504 A JP2001168504 A JP 2001168504A JP 35124799 A JP35124799 A JP 35124799A JP 35124799 A JP35124799 A JP 35124799A JP 2001168504 A JP2001168504 A JP 2001168504A
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Japan
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wiring board
printed wiring
conductive film
anisotropic conductive
land
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JP35124799A
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Ryoji Osu
良二 大須
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NEC AccessTechnica Ltd
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子機器が備えているプリント配線板の配線
を高密度化することにより小型化及び軽量化が可能で、
且つこのプリント配線板上にLSIパッケージを高い信
頼性で実装することを課題とする。 【解決手段】 LSIパッケージと、このLSIパッケ
ージを実装するプリント配線板とを備えた電子機器にお
いて、LSIパッケージを、異方性導電フィルムを介し
て前記プリント配線板に実装する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器及びその
製造方法に係り、特に、LSIパッケージとこのLSI
パッケージを実装するプリント配線板とを備えた電子機
器及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、LSIの端子密度の向上のため、
従来のガルウイング式リード端子からボールグリッド状
に配列したBGA(Ball Grid Array)やCSP(Chip
Size Package)のLSIパッケージが電子機器に使用さ
れてきている。BGAやCSPは端子ピッチが小さいた
め、これらを実装するプリント配線板は、BGAやCS
Pのグリッド状端子からの配線引き回しが従来に比べ難
しくなっている。
【0003】例えば、図6は、端子ピッチが0.8〔m
m〕のCSPを実装するプリント配線板100の部分平
面図である。このプリント配線板100は、絶縁性基板
60を備えており、この絶縁性基板60上には、幅W6
0が0.1〔mm〕の配線パターン61と、直径W61
が0.35〔mm〕の円形のランド62が形成されてお
り、ランド62の中心間の距離P62は前述したCSP
の端子ピッチと同じ0.8〔mm〕である。
【0004】そして、配線パターン61及びランド62
が形成されている絶縁性基板60上の全面にわたって、
レジスト63が被覆されている。このレジスト63に
は、前述したCSPの端子とプリント配線板100側の
ランド62とを接続するために、直径W62が0.45
〔mm〕の円形の開口部63aが設けられている。
【0005】ここで、プリント配線板100の内周列の
配線パターン61を引き出す際は、図6に示すように、
外周列のランド62の間を通さなければならない。この
とき、プリント配線板100の配線幅及び配線パターン
間の間隙が100〔μm〕(0.1〔mm〕)の設計ツ
ールを用いると、外周列のランド62の間を通すことが
できる配線パターン61の数は1本であるので、プリン
ト配線板100の表層で引き出すことができる端子列数
は2列となる。
【0006】従って、CSPが3列以上の端子配列を有
する場合は、3列目から内周の端子配線はプリント配線
板100の内層を使用することになり、プリント配線板
100のコスト増加の要因となる。
【0007】更に、端子ピッチがより狭くなってくる
と、プリント配線板100の配線幅や配線間の間隙寸法
の縮小化が必要となり、プリント配線板100のコスト
が一層増加する。
【0008】このような問題を解決する手段として、特
開平11−26919号公報に開示されている発明で
は、内側ランドの幅に対して外側ランドの幅を小さくす
ることにより、内側ランドからの配線パターンを外側ラ
ンド間に通し易くした適切なプリント配線板を提供する
ことが考案されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、プリント配線板のランドの幅が配線パター
ンの幅よりも大きいため、この大きい分がランド間の配
線のデッドスペースとなるという問題がある。これは、
ランドとLSIパッケージのボール端子とを半田を用い
て接合するため、ランドの幅を配線パターンの幅と同じ
寸法とした場合、位置ずれにより接合の信頼性が低下す
る虞があることによる。
【0010】このため、LSIパッケージの端子列数が
多い場合は、上述したデッドスペースにより、外側ラン
ド間に複数の配線パターンを通すことができず、プリン
ト配線板の表層の高密度化が困難であるという不都合が
生じる。
【0011】更に、プリント配線板の表層で引き出せな
い配線パターンは内層に接続して配線することになるの
で、プリント配線板の層数の増加及びビアの穴径やビア
ランド径の縮小化が必要となり、コストが増加するとい
う不都合が生じる。
【0012】
【発明の目的】本発明は、係る従来技術が有する不都合
を改善し、特に、プリント配線板の配線を高密度化する
ことにより小型化及び軽量化が可能で、且つこのプリン
ト配線板上にLSIパッケージを高い信頼性で実装した
電子機器及びその製造方法を提供することを、その目的
とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明では、LSIパッケージと、こ
のLSIパッケージを実装するプリント配線板とを備え
た電子機器において、LSIパッケージを、異方性導電
フィルムを介してプリント配線板に実装する、という構
成を採用している。
【0014】このため、この請求項1記載の本発明で
は、異方性導電フィルム本体内に多数の導電性粒子が充
填されており、この導電性粒子がフィルム本体の膜厚程
度の大きさを有し且つ互いに接触しないようになってい
るため、LSIパッケージの端子とプリント配線板のラ
ンドとの両方に接触した導電性粒子によってこの端子と
ランドとが連結される。この場合、導電性粒子が微小で
あるため、LSIパッケージの端子やプリント配線板の
ランドが小さくても充分これに対応して端子とランドと
を連結することができる。
【0015】請求項2記載の発明では、前述した請求項
1記載の発明において、異方性導電フィルムは、フィル
ム本体をなすバインダーと、このバインダーの中にほぼ
均一に充填されている多数の導電性粒子とからなる、と
いう構成を採用している。
【0016】このため、この請求項2記載の本発明で
は、前述した請求項1記載の発明と同等の機能を有する
ほか更に、導電性粒子がほぼ均一に充填されているた
め、各々の端子とランドとがほぼ同数の導電性粒子によ
って連結され、そしてバインダーがこの連結状態を保持
する。
【0017】請求項3記載の発明では、前述した請求項
2記載の発明において、バインダーを樹脂製とした、と
いう構成を採用している。
【0018】このため、この請求項3記載の本発明で
は、前述した請求項2記載の発明と同等の機能を有する
ほか更に、樹脂製バインダーが加熱を施すことにより熱
硬化する(加熱により溶着し、その後の冷却により硬化
する)ことから、このバインダーが周囲の形状に合わせ
た状態で硬化することにより、LSIパッケージの端子
とランドとの位置関係が振動等により又は経時的にずれ
ることなく安定した連結状態が維持される。
【0019】請求項4記載の発明では、前述した請求項
2又は3記載の発明において、導電性粒子は弾力性を有
する、という構成を採用している。
【0020】このため、この請求項4記載の本発明で
は、前述した請求項2又は3記載の発明と同等の機能を
有するほか更に、導電性粒子が加圧により圧縮すること
から、当該箇所に凹凸があっても充分これに適合して密
着されると共に、接触箇所に損傷を与えることがない。
【0021】請求項5記載の発明では、LSIパッケー
ジが有する端子とプリント配線板が有するランドとを所
定の位置合わせをする第1の工程と、これらの位置合わ
せされたLSIパッケージとプリント配線板との間に異
方性導電フィルムを介装する第2の工程と、この介装さ
れた異方性導電フィルムをLSIパッケージとプリント
配線板とで挟んだ状態で圧縮し且つ固定する第3の工程
とを備えた、という構成を採用している。
【0022】このため、この請求項5記載の本発明で
は、LSIパッケージの各端子とプリント配線板の各ラ
ンドとの連結が異方性導電フィルムを介装し圧縮するこ
とによって一括して行われ、さらにこの連結状態が固定
されるので、作業が円滑且つ迅速に実行されて生産性を
向上させることができる。
【0023】請求項6記載の発明では、プリント配線板
のランドを有した面に異方性導電フィルムを貼付する第
1の工程と、この異方性導電フィルムが貼付されたプリ
ント配線板のランドとLSIパッケージが有する端子と
を位置合わせする第2の工程と、これらの位置合わせさ
れたLSIパッケージとプリント配線板の間に異方性導
電フィルムを挟んだ状態で当該異方性導電フィルムを圧
縮し且つ固定する第3の工程とを備えた、という構成を
採用している。
【0024】このため、この請求項6記載の本発明で
は、LSIパッケージの各端子とプリント配線板の各ラ
ンドとの連結がこれらの位置合わせの後に即異方性導電
フィルムを圧縮することによって一括して行われ、さら
にこの連結状態が固定されるので、作業が円滑且つ迅速
に実行されて生産性を向上させることができる。
【0025】請求項7記載の発明では、前述した請求項
5又は6記載の発明において、第3の工程の際には、同
時に異方性導電フィルムを加熱する、という構成を採用
している。
【0026】このため、この請求項7記載の本発明で
は、前述した請求項5又は6記載の発明と同等の機能を
有するほか更に、加熱により異方性導電フィルムは熱硬
化する(加熱により溶着し、その後の冷却により硬化す
る)ことから、端子とランドとの連結状態を有効に保持
することができる。
【0027】請求項8記載の発明では、前述した請求項
5,6又は7記載の発明において、第3の工程の際に
は、予め異方性導電フィルムの所定箇所に接着剤を塗布
する、という構成を採用している。
【0028】このため、この請求項8記載の本発明で
は、前述した請求項5,6又は7記載の発明と同等の機
能を有するほか更に、異方性導電フィルムの所定箇所に
塗布された接着剤により、異方性導電フィルムが端子と
ランドとの間に効果的に固定されるので、端子とランド
との連結状態をより有効に保持することができる。
【0029】
【発明の実施の形態】本発明に係る電子機器の一実施形
態を、以下に図1乃至図5を用いて説明する。図1は、
本実施形態の電子機器の部分断面図である。LSIパッ
ケージ10とプリント配線板11とを備えたこの電子機
器は、LSIパッケージ10を、異方性導電フィルム1
を介してプリント配線板11に実装したことを特徴とし
ている。
【0030】異方性導電フィルム1は、フィルム本体を
なす樹脂製バインダー1aと、この樹脂製バインダー1
aの中にほぼ均一に充填されている多数の導電性粒子
(導電性フィラー)1bとからなる。この導電性粒子1
bは、弾力性を有し、更にフィルム本体の膜厚程度の大
きさを有し且つ互いに接触しないようになっている微小
な粒子である。
【0031】LSIパッケージ10は、ベアチップ(L
SIチップ)10aと、このベアチップ10aを保持す
るインターポーザー10bとを備えている。符号10c
は、ベアチップ10aの所定の端子(図示せず)と前述
したインターポーザー10bに形成されている配線パタ
ーン(図示せず)とを接続する金属ワイヤーを示す。
【0032】また、インターポーザー10bの図1にお
ける下面には、複数の端子10dがマトリクス状に配置
されており、前述したインターポーザー10bに形成さ
れている配線パターンとインターポーザー10bの内部
を通して結線されている。この端子10dは、はんだ等
の被覆が施されていてもよい。あるいは、ボール端子で
あってもよい。
【0033】さらに、電気的な絶縁性確保と保護のた
め、レジスト10eが前述した端子10dの周囲を含ん
でインターポーザー10bの下面に施されており、これ
によって形成される開口部10fによって端子10dが
外部と電気的に接続されるようになっている。
【0034】そして、前述したベアチップ10aを保護
するため、モールド樹脂10gでベアチップ10aの全
体を被覆した構成になっている。
【0035】一方、プリント配線板11は、絶縁性基板
11aと、この上に形成されたランド11b及び配線パ
ターン11cとを備えている。
【0036】そして、これらのランド11b及び配線パ
ターン11cが形成された絶縁性基板11a上の全面に
わたって絶縁性樹脂であるレジスト11dが被覆されて
おり、更にこのレジスト11dにはランド11bとLS
Iパッケージ10の端子10dとを連結するための開口
部11eが設けられている。
【0037】図2は、このプリント配線板11の部分平
面図であり、端子列数が4列のLSIパッケージを実装
するものである。
【0038】前述したように、導電性粒子(導電性フィ
ラー)1bは微小な粒子であることから、ランド11b
が小さくても充分これに対応して当該ランド11bとL
SIパッケージ10の端子10dとを連結することがで
きる。
【0039】このため、図2より、ランド11bの幅は
配線パターン11cの幅と同じ寸法とすることができ
る。そして、LSIパッケージ10の端子10dとプリ
ント配線板11の他の部位とを電気的に接続するため、
内側のランドから配線パターンを外側ランドの間を通し
て外周に引き出すことが可能となっている。
【0040】ここで、本実施形態の電子機器の製造方法
について説明する。まず、第1の工程として、プリント
配線板11のランド11bを有した面に異方性導電フィ
ルム1を貼付する。続いて、第2の工程として、この異
方性導電フィルム1が貼付されたプリント配線板11の
ランド11bとLSIパッケージ10が有する端子10
dとを位置合わせする。そして、第3の工程として、こ
れらの位置合わせされたランド11bと端子10dとの
間に異方性導電フィルム1を挟んだ状態で当該異方性導
電フィルム1を圧縮及び同時に加熱し且つ固定する。
【0041】なお、異方性導電フィルム1を、LSIパ
ッケージ10の端子10dとプリント配線板11のラン
ド11bとを位置合わせした後でこれらの間に介装して
もよい。更に、異方性導電フィルム1の所定箇所に予め
接着剤を塗布することにより、異方性導電フィルム1を
より確実に固定してもよい。
【0042】次に、本実施形態の電子機器の機能及び作
用効果について説明する。この電子機器に用いられてい
る異方性導電フィルム1は、前述したようにフィルム本
体内に多数の導電性粒子(導電性フィラー)1bが充填
されており、この導電性粒子1bがフィルム本体の膜厚
程度の大きさを有し且つ互いに接触しないようになって
いるため、LSIパッケージ10の端子10dとプリン
ト配線板11のランド11bとの両方に接触した導電性
粒子1bによってこの端子10dとランド11bとが連
結される。このとき、導電性粒子1bが微小であるた
め、端子10dやランド11bが小さくても充分これに
対応してこれらを連結することができる。
【0043】また、導電性粒子(導電性フィラー)1b
がほぼ均一に充填されているため、各々の端子10dと
ランド11bとがほぼ同数の当該導電性粒子1bによっ
て連結される。そして、フィルム本体をなす樹脂製バイ
ンダー1aが加熱及び加圧を施すことにより周囲の形状
に合わせて熱硬化し(加熱により溶着し、その後の冷却
により硬化する)、上記連結状態を振動等により又は経
時的にずれることなく安定して保持する。
【0044】さらに、導電性粒子1bが加圧により圧縮
するので、当該箇所に凹凸があっても充分これに適合し
て密着すると共に、接触箇所に損傷を与えることがない
【0045】本実施形態の電子機器は、LSIパッケー
ジ10をプリント配線板11に実装するために用いられ
た異方性導電フィルム1が以上のように機能するため、
プリント配線板11のランド11aの幅が配線パターン
11bの幅と同じ寸法としても、このランド11aとL
SIパッケージ10の端子10dとの連結を高い信頼性
で実行することができる。
【0046】そして、プリント配線板11のランド11
aの幅と配線パターン11bの幅とが同じ寸法であるこ
とにより、ランド11b間の配線のデッドスペース(ラ
ンドの出っ張り部分)がなくなり、内側の配線パターン
11cをこのランド11b間により多く通すことができ
る。このため、プリント配線板11の内層に内側の配線
パターン11cを通す必要がなくなり、プリント配線板
の構造を高密度化でき且つ内層を用いる場合のコストを
削減できる。
【0047】次に、本実施形態の電子機器の具体例につ
いて説明する。実装するLSIパッケージ10は、端子
ピッチが0.8〔mm〕で、端子配列数が4列のマトリ
クスで構成される、224ピンCSPである。
【0048】図3は、このLSIパッケージ(CSP)
10の外形を示している。図3(a)は端子10dを有
する面の平面図であり、縦寸法W30及び横寸法W31
はともに16〔mm〕である。図3(b)は図3(a)
とは反対側の面の平面図である。図3(c)は側面図で
あり、インターポーザー10bの厚さW32は0.36
〔mm〕、LSIパッケージ(CSP)10本体の厚さ
W33は0.96〔mm〕である。
【0049】また、プリント配線板11の絶縁性基板1
1aは、コストをできるだけ抑えるため、従来から一般
的に使用されているガラスエポキシ素材を用い、層間接
続を貫通スルーホールにて行う銅貼り積層板の製造プロ
セスを前提とした。
【0050】図4は、プリント配線板11の具体例を示
している。レジスト11dの開口部11eは、中心位置
(この図における+印の位置)が前述したLSIパッケ
ージ(CSP)10の端子の中心位置と一致するように
この中心間距離P40及びP41を0.8〔mm〕と
し、これら各々の個所に長さL42が0.35〔m
m〕、幅W43が0.2〔mm〕の開口部11eを設け
る。
【0051】また、LSIパッケージ(CSP)10の
端子10dとプリント配線板11の他の部位とを電気的
に接続するために、各ランド11bから外周に向けて形
成される配線パターン11cの幅W44は、前述した銅
貼り積層板で回路形成が可能な0.1〔mm〕とすると
共に、ランド11bの幅W45をW44と同じ寸法とす
る。
【0052】そして、この配線パターン11cを絶縁性
基板11aの表層で全て外周に引き出すために、内側の
3本の配線パターン11cをそれらの中心間距離P46
を0.1〔mm〕の間隔として平行に配線する。
【0053】更に、配線パターン11cの末端は、絶縁
性基板11aへの密着強度を確保するために、L46を
0.1〔mm〕から0.2〔mm〕程度、レジスト11
dで押さえ込む。
【0054】なお、プリント配線板11のランド11b
の形状は、本実施形態での形状に限定されるものではな
く、その幅寸法が配線パターン11cよりも大きくなら
ない範囲であれば、どのような形状としてもよい。例え
ば、図5(a)に示す円形の開口部11f及びランド1
1gや図5(b)に示す正方形の開口部11h及びラン
ド11iである。
【0055】このプリント配線板11に前述したLSI
パッケージ(CSP)10を実装するときに用いる異方
性導電フィルム1は、樹脂製バインダー1a内に充填さ
れる導電性粒子(導電性フィラー)1bをニッケル又は
金のめっきを表面に施した弾力性のあるプラスチックで
構成し、その粒径を20〔μm〕以上とする。
【0056】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、異方性導
電フィルム本体内に充填された多数の導電性粒子が微小
であるため、LSIパッケージの端子やプリント配線板
のランドが小さくても充分これに対応して端子とランド
とを連結することができる。このため、ランドの幅を配
線パターンの幅と同じ寸法としてランド間の配線のデッ
ドスペース(ランドの出っ張り部分)をなくし、内側の
配線パターンを外側のランド間により多く通して引き出
して配線を高密度化することにより、小型化及び軽量化
が可能で、且つこのプリント配線板上にLSIパッケー
ジを高い信頼性で実装した電子機器を提供することがで
きる。
【0057】請求項2記載の発明によれば、前述した請
求項1の発明の効果に加えて、導電性粒子がほぼ均一に
充填されているため、各々の端子とランドとがほぼ同数
の導電性粒子によって連結され、そしてバインダーがこ
の連結状態を保持する。このため、導電性粒子による端
子とランドとの間の電気的抵抗を各々の端子とランドと
の連結箇所においてほぼ一様とすることができるので、
電子機器は安定して作動することができる。
【0058】請求項3記載の発明によれば、前述した請
求項2の発明の効果に加えて、樹脂製バインダーが加熱
を施すことにより熱硬化する(加熱により溶着し、その
後の冷却により硬化する)ことから、このバインダーは
周囲の形状に合わせた状態で硬化することにより、LS
Iパッケージの端子とランドとの位置関係が振動等によ
り又は経時的にずれることなく安定した連結状態が維持
される。このため、電子機器の信頼性を高め且つその信
頼性を長期間維持することができる。
【0059】請求項4記載の発明によれば、前述した請
求項2又は3の発明の効果に加えて、導電性粒子が加圧
により圧縮することから、当該箇所に凹凸があっても充
分これに適合して密着されると共に、接触箇所に損傷を
与えることがない。このため、導電性粒子の接触不良に
よる電気的な断絶や、レジストの損傷による電気的な短
絡を防ぐことができ、電子機器の信頼性をより高くする
ことができる。
【0060】請求項5記載の発明によれば、LSIパッ
ケージの各端子とプリント配線板の各ランドとの連結が
異方性導電フィルムを介装し圧縮することによって一括
して行われ、さらにこの連結状態が固定されるので、作
業が円滑且つ迅速に実行されて生産性を向上させること
ができる。このため、歩留まりが向上し、電子機器の製
造コストを低下させることができる。
【0061】請求項6記載の発明によれば、LSIパッ
ケージの各端子とプリント配線板の各ランドとの連結が
これらの位置合わせの後に即異方性導電フィルムを圧縮
することによって一括して行われ、さらにこの連結状態
が固定されるので、作業が円滑且つ迅速に実行されて生
産性を向上させることができる。このため、歩留まりが
向上し、電子機器の製造コストを低下させることができ
る。
【0062】請求項7記載の発明によれば、前述した請
求項5又は6の発明の効果に加えて、加熱により異方性
導電フィルムは熱硬化する(加熱により溶着し、その後
の冷却により硬化する)ことから、端子とランドとの連
結状態を有効に保持することができる。このため、端子
とランドとの位置関係が振動等や経時的にずれることな
く安定した連結状態が維持され、電子機器の信頼性を高
め且つその信頼性を長期間維持することが可能となる。
【0063】請求項8記載の発明によれば、前述した請
求項5又は6の発明の効果に加えて、異方性導電フィル
ムの所定箇所に塗布された接着剤により、異方性導電フ
ィルムが端子とランドとの間に効果的に固定されるの
で、端子とランドとの連結状態をより有効に保持するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電子機器の部分断面
図である。
【図2】本発明の一実施形態に係る電子機器が備えるプ
リント配線板の部分平面図である。
【図3】本発明の一実施形態に係る電子機器が備えるL
SIパッケージの外形図であり、(a)は端子10dを
有する面の平面図、(b)は(a)とは反対側の面の平
面図、(c)は側面図である。
【図4】本発明の一実施形態に係る電子機器が備えるプ
リント配線板の具体例の部分平面図である。
【図5】本発明の一実施形態に係る電子機器が備えるプ
リント配線板のランドの他の形状例を示した部分平面図
であり、(a)は円形の開口部及びランド、(b)は正
方形の開口部及びランドである。
【図6】従来の電子機器が備えるプリント配線板の一例
の部分平面図である。
【符号の説明】
1 異方性導電フィルム 1a 樹脂性バインダー 1b 導電性粒子 10 LSIパッケージ 10d 端子 11 プリント配線板 11b ランド

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 LSIパッケージと、このLSIパッケ
    ージを実装するプリント配線板とを備えた電子機器にお
    いて、前記LSIパッケージを、異方性導電フィルムを
    介して前記プリント配線板に実装したことを特徴とする
    電子機器。
  2. 【請求項2】 前記異方性導電フィルムは、当該フィル
    ム本体をなすバインダーと、このバインダーの中にほぼ
    均一に充填されている多数の導電性粒子とからなること
    を特徴とする請求項1記載の電子機器。
  3. 【請求項3】 前記バインダーを、樹脂製としたことを
    特徴とする請求項2記載の電子機器。
  4. 【請求項4】 前記導電性粒子は、弾力性を有すること
    を特徴とした請求項2又は3記載の電子機器。
  5. 【請求項5】 LSIパッケージが有する端子とプリン
    ト配線板が有するランドとを所定の位置合わせをする第
    1の工程と、これらの位置合わせされたLSIパッケー
    ジとプリント配線板との間に異方性導電フィルムを介装
    する第2の工程と、この介装された異方性導電フィルム
    を前記LSIパッケージと前記プリント配線板とで挟ん
    だ状態で圧縮し且つ固定する第3の工程とを備えたこと
    を特徴とする電子機器の製造方法。
  6. 【請求項6】 プリント配線板のランドを有した面に異
    方性導電フィルムを貼付する第1の工程と、この異方性
    導電フィルムが貼付されたプリント配線板の前記ランド
    とLSIパッケージが有する端子とを位置合わせする第
    2の工程と、これらの位置合わせされた前記LSIパッ
    ケージと前記プリント配線板との間に前記異方性導電フ
    ィルムを挟んだ状態で当該異方性導電フィルムを圧縮し
    且つ固定する第3の工程とを備えたことを特徴とする電
    子機器の製造方法。
  7. 【請求項7】 前記第3の工程の際には、同時に前記異
    方性導電フィルムを加熱することを特徴とした請求項5
    又は6記載の電子機器の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記第3の工程の際には、予め前記異方
    性導電フィルムの所定箇所に接着剤を塗布したことを特
    徴とする請求項5,6又は7記載の電子機器の製造方
    法。
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