JP2001165924A - フッ素を含む混合ガス中のフッ素濃度測定方法およびその装置 - Google Patents
フッ素を含む混合ガス中のフッ素濃度測定方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素含有混合ガス中のフッ素の分析。
【解決手段】 フッ素濃度未知のフッ素含有混合ガス中
のフッ素濃度を測定する方法であって、（１） アルミ
ナ充填層に該混合ガスを通す工程、（２） ＫＣｌに該
混合ガスを通し、及び発生したハロゲンを吸着する物質
に該混合ガスを通す工程、（３） （１）で発生した酸
素を酸素分析計で分析し、（４） （２）で発生した酸
素を酸素分析計で分析し、そして（５） （３）及び
（４）で分析した酸素濃度を比較することにより該混合
ガス中のフッ素濃度の測定方法。
のフッ素濃度を測定する方法であって、（１） アルミ
ナ充填層に該混合ガスを通す工程、（２） ＫＣｌに該
混合ガスを通し、及び発生したハロゲンを吸着する物質
に該混合ガスを通す工程、（３） （１）で発生した酸
素を酸素分析計で分析し、（４） （２）で発生した酸
素を酸素分析計で分析し、そして（５） （３）及び
（４）で分析した酸素濃度を比較することにより該混合
ガス中のフッ素濃度の測定方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フッ素を含有する混合
ガス中のフッ素の測定方法及び装置に関する。
ガス中のフッ素の測定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガス中のフッ素濃度を分析する方
法としては、種々の方法が知られているが、一般的に
は、湿式法および乾式法の二つの方法が知られている。
法としては、種々の方法が知られているが、一般的に
は、湿式法および乾式法の二つの方法が知られている。
【０００３】湿式法としては、（１）ＬｉＣｌ溶液中に
フッ素ガスを通して塩素を酸化させ、これを電極により
分析する方法等が知られている。 〔Ｓ．Ｋａｙｅ．Ｍ．Ｇｒｉｇｇｓ：Ａｎａｌ．Ｃｈｅ
ｍ．，４０，２２１７，（１９６８）〕 また、乾式方法としては、（２）ＮａＦペレットにより
資料ガス中のＨＦを取り除いた後、ＮａＣｌ層を通して
フッ素と反応させ、発生した塩素ガスをＮａＯＨ溶液に
吸収させて、生成した次亜塩素酸をヨウ素滴定により求
める方法〔Ａ．Ｍ．Ｇ．Ｍａｃｄｏｎａｌｄｅｔ ａ
ｌ，“Ｆｌｕｏｌｉｎｅ”，Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ
ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ａ
ｎａｌｓｉｓ，Ｖｏｌ．１３，Ｎｅｗｙｏｒｋ−Ｌｏｎ
ｄｏｎ−Ｓｙｄｎｅｙ−Ｔｒｏｎｔｏ，１９７１〕、
（３）クロマトグラフ法として、試料が接触する部分に
ニッケルなどの特殊な材質を用い、熱電導度セルはＰＴ
ＦＥで被覆したものを用いて直接フッ素ガスを分析する
方法〔Ｅ．Ｒｕｄｚｉｔｉｓ：Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．３
５，４６５．（１９６３）〕、等が知られている。
フッ素ガスを通して塩素を酸化させ、これを電極により
分析する方法等が知られている。 〔Ｓ．Ｋａｙｅ．Ｍ．Ｇｒｉｇｇｓ：Ａｎａｌ．Ｃｈｅ
ｍ．，４０，２２１７，（１９６８）〕 また、乾式方法としては、（２）ＮａＦペレットにより
資料ガス中のＨＦを取り除いた後、ＮａＣｌ層を通して
フッ素と反応させ、発生した塩素ガスをＮａＯＨ溶液に
吸収させて、生成した次亜塩素酸をヨウ素滴定により求
める方法〔Ａ．Ｍ．Ｇ．Ｍａｃｄｏｎａｌｄｅｔ ａ
ｌ，“Ｆｌｕｏｌｉｎｅ”，Ｅｎｃｙｃｌｏｐｅｄｉａ
ｏｆ Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ａ
ｎａｌｓｉｓ，Ｖｏｌ．１３，Ｎｅｗｙｏｒｋ−Ｌｏｎ
ｄｏｎ−Ｓｙｄｎｅｙ−Ｔｒｏｎｔｏ，１９７１〕、
（３）クロマトグラフ法として、試料が接触する部分に
ニッケルなどの特殊な材質を用い、熱電導度セルはＰＴ
ＦＥで被覆したものを用いて直接フッ素ガスを分析する
方法〔Ｅ．Ｒｕｄｚｉｔｉｓ：Ａｎａｌ．Ｃｈｅｍ．３
５，４６５．（１９６３）〕、等が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】フッ素混合ガス中に初
めから存在する酸素分を測定する方法において、直接フ
ッ素を補足する物質、たとえばＳｉ，Ｇｅなどを用いる
場合、それらの物質の中に不純物としてＳｉＯ２ など
が存在した場合、フッ素と反応して酸素を放出する。
めから存在する酸素分を測定する方法において、直接フ
ッ素を補足する物質、たとえばＳｉ，Ｇｅなどを用いる
場合、それらの物質の中に不純物としてＳｉＯ２ など
が存在した場合、フッ素と反応して酸素を放出する。
【０００５】このような場合、もともと存在しないフッ
素混合ガス中の酸素として検出され、測定誤差を生じ
る。また、これらの不純物を除去するために水素などを
用いて還元するなどの操作が必要である。
素混合ガス中の酸素として検出され、測定誤差を生じ
る。また、これらの不純物を除去するために水素などを
用いて還元するなどの操作が必要である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるフッ素濃
度測定方法および装置においては、一方で周期律表の３
族の金属の化合物の充填層でフッ素を酸素に置換するこ
とにより、試料ガス中のフッ素と酸素の合計を求め、も
う一方で試料中のフッ素を酸素以外のハロゲン成分に置
換し、ハロゲン成分を吸着する事により酸素計にダメー
ジを与えることなく、もとの試料ガス中に含まれる酸素
分のみを求めて、その差分からフッ素濃度を算出するよ
うにした。後者の具体的な方法は、フッ素ガスを酸素以
外の成分に置換するフッ素以外のハロゲン化合物を含む
充填層とフッ素と反応したハロゲン成分を吸着する物質
を含む充填層を通し、試料ガス中に初めから存在する酸
素のみを測定する方法である。
度測定方法および装置においては、一方で周期律表の３
族の金属の化合物の充填層でフッ素を酸素に置換するこ
とにより、試料ガス中のフッ素と酸素の合計を求め、も
う一方で試料中のフッ素を酸素以外のハロゲン成分に置
換し、ハロゲン成分を吸着する事により酸素計にダメー
ジを与えることなく、もとの試料ガス中に含まれる酸素
分のみを求めて、その差分からフッ素濃度を算出するよ
うにした。後者の具体的な方法は、フッ素ガスを酸素以
外の成分に置換するフッ素以外のハロゲン化合物を含む
充填層とフッ素と反応したハロゲン成分を吸着する物質
を含む充填層を通し、試料ガス中に初めから存在する酸
素のみを測定する方法である。
【０００７】本発明は、フッ素濃度未知のフッ素含有混
合ガス中のフッ素濃度を測定する方法であって、（１）
前記フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して酸素を
発生する周期律表の３族の金属の化合物を含む充填層に
該混合ガスを通す工程、（２） 該混合ガス中のフッ素
を他のハロゲン成分に置換できる化合物の充填層及び該
ハロゲン成分を吸着する物質の充填層に該混合ガスを通
す工程、（３） （１）で発生した酸素を酸素分析計で
分析し、（４） （２）で発生した酸素を酸素分析計で
分析し、そして（５） （３）及び（４）で分析した酸
素濃度を比較することにより該混合ガス中のフッ素濃度
の測定方法に関する。
合ガス中のフッ素濃度を測定する方法であって、（１）
前記フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して酸素を
発生する周期律表の３族の金属の化合物を含む充填層に
該混合ガスを通す工程、（２） 該混合ガス中のフッ素
を他のハロゲン成分に置換できる化合物の充填層及び該
ハロゲン成分を吸着する物質の充填層に該混合ガスを通
す工程、（３） （１）で発生した酸素を酸素分析計で
分析し、（４） （２）で発生した酸素を酸素分析計で
分析し、そして（５） （３）及び（４）で分析した酸
素濃度を比較することにより該混合ガス中のフッ素濃度
の測定方法に関する。
【０００８】本発明は又、フッ素濃度未知のフッ素含有
混合ガス中のフッ素濃度を測定する装置であって、その
装置は前記フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して酸
素を発生する周期律表の３族の金属の化合物を含む充填
層、該混合ガス中のフッ素を他のハロゲン成分に置換で
きる化合物の充填層、該ハロゲン成分を吸着する物質の
充填層、前記酸素濃度を測定する酸素分析計、該酸素分
析計にパージ用不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラ
イン及び前記酸素分析計のスパンを調整する酸素濃度既
知の標準ガスを供給するラインを含む装置にも関する。
混合ガス中のフッ素濃度を測定する装置であって、その
装置は前記フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して酸
素を発生する周期律表の３族の金属の化合物を含む充填
層、該混合ガス中のフッ素を他のハロゲン成分に置換で
きる化合物の充填層、該ハロゲン成分を吸着する物質の
充填層、前記酸素濃度を測定する酸素分析計、該酸素分
析計にパージ用不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラ
イン及び前記酸素分析計のスパンを調整する酸素濃度既
知の標準ガスを供給するラインを含む装置にも関する。
【０００９】前記酸素分析計は標準ガスなどによりＺｅ
ｒｏ−Ｓｐａｎ調整することが可能なジルコニア式、磁
気式あるいはガルバニ電池式などの酸素濃度を絶対測定
する分析計、あるいはＧＣ／ＴＣＤ、ＧＣ／ＭＳなどの
ガスクロマトグラフィー法により酸素成分を分離し標準
ガスとの対比測定する分析計であることが好ましい。
ｒｏ−Ｓｐａｎ調整することが可能なジルコニア式、磁
気式あるいはガルバニ電池式などの酸素濃度を絶対測定
する分析計、あるいはＧＣ／ＴＣＤ、ＧＣ／ＭＳなどの
ガスクロマトグラフィー法により酸素成分を分離し標準
ガスとの対比測定する分析計であることが好ましい。
【００１０】フッ素と反応して酸素を発生する周期律表
ＩＩＩ族の金属の化合物はアルミナであることが好まし
い。以下に本発明の好ましい装置の図面によって本発明
をさらに説明する。
ＩＩＩ族の金属の化合物はアルミナであることが好まし
い。以下に本発明の好ましい装置の図面によって本発明
をさらに説明する。
【００１１】図１は本発明の装置である。１はフッ素含
有混合ガス、２は減圧弁、３、４は弁、５は標準ガス、
６はマスフローコントローラ、７、８は弁、９はフッ素
含混有混合ガス中のフッ素を酸素に置換できる周期律表
３族の金属の化合物の充填層、１０は充填層９用の温調
器、１１は、フッ素を他のハロゲンに置換できる化合物
の充填層、１２は１１で発生したそのハロゲンを吸着す
る物質の充填層、１３及び１４は弁、１５はパージ用不
活性ガス用の弁、１６は酸素分析計である。
有混合ガス、２は減圧弁、３、４は弁、５は標準ガス、
６はマスフローコントローラ、７、８は弁、９はフッ素
含混有混合ガス中のフッ素を酸素に置換できる周期律表
３族の金属の化合物の充填層、１０は充填層９用の温調
器、１１は、フッ素を他のハロゲンに置換できる化合物
の充填層、１２は１１で発生したそのハロゲンを吸着す
る物質の充填層、１３及び１４は弁、１５はパージ用不
活性ガス用の弁、１６は酸素分析計である。
【００１２】図２は一定の濃度のフッ素ガスを分析する
ための装置のフローシートである。２１は５％フッ素含
有混合ガスである。２２は減圧弁、２３及び２４は弁、
２５は希釈用のネオンガス、２６はマスフローコントロ
ーラー、２７はフッ素を酸素に置換する化合物の充填
層、２８は温調器、２９及び３０は弁、３１は酸素分析
計である。
ための装置のフローシートである。２１は５％フッ素含
有混合ガスである。２２は減圧弁、２３及び２４は弁、
２５は希釈用のネオンガス、２６はマスフローコントロ
ーラー、２７はフッ素を酸素に置換する化合物の充填
層、２８は温調器、２９及び３０は弁、３１は酸素分析
計である。
【００１３】図４はフッ素含有混合ガスから酸素を発生
させずにフッ素を除去し、その混合ガス中の酸素を分析
する装置のフローシートである。４１はフッ素含有混合
ガス、４２は減圧弁、４３及び４４は弁、４５は酸素標
準ガス、４６はマスフローコントローラー、４７はフッ
素を他のハロゲン成分に置換できる化合物の充填層、４
８はそのハロゲンを吸着する物質の充填層、４９は弁、
５０は不活性ガス用弁、４１はＧＣ／ＭＳである。
させずにフッ素を除去し、その混合ガス中の酸素を分析
する装置のフローシートである。４１はフッ素含有混合
ガス、４２は減圧弁、４３及び４４は弁、４５は酸素標
準ガス、４６はマスフローコントローラー、４７はフッ
素を他のハロゲン成分に置換できる化合物の充填層、４
８はそのハロゲンを吸着する物質の充填層、４９は弁、
５０は不活性ガス用弁、４１はＧＣ／ＭＳである。
【００１４】
【実施例１】本発明の原理を化学反応式を用いて簡単に
説明すると、以下の式により表される。
説明すると、以下の式により表される。
【００１５】 ６Ｆ2 ＋２Ａｌ2 Ｏ3 →４ＡｌＦ3 ＋３Ｏ2 ・・・・・（１） この反応によりガス中のフッ素６分子に対し、酸素３分
子当量の割合で定量的に酸素に置換される。この反応は
室温においても十分に完全反応を起こすが、反応効率を
考えると１００〜２００℃に一定に保つことが望まし
い。
子当量の割合で定量的に酸素に置換される。この反応は
室温においても十分に完全反応を起こすが、反応効率を
考えると１００〜２００℃に一定に保つことが望まし
い。
【００１６】充填層としてフッ素によるパッシベーショ
ンを施した直径１／２ｉｎｃｈ×０．３ｍの金属製の配
管に活性アルミナ約１０ｇを充填したものを用い、フッ
素が酸素に完全に置換されるかを調べた。
ンを施した直径１／２ｉｎｃｈ×０．３ｍの金属製の配
管に活性アルミナ約１０ｇを充填したものを用い、フッ
素が酸素に完全に置換されるかを調べた。
【００１７】フッ素濃度を１％に調整されたネオンガス
を温度条件、流量条件を表１の条件で充填層に流通し、
充填層出口のガス中にフッ素が検出されるかどうかを調
べた。検出はヨウ化カリ水溶液を含浸させた布を用い、
布の色が変化するかどうかで調べた。予めこの方法によ
りフッ素濃度０．１ｐｐｍ以上で検出することが判って
いる。結果を表１．に示す。
を温度条件、流量条件を表１の条件で充填層に流通し、
充填層出口のガス中にフッ素が検出されるかどうかを調
べた。検出はヨウ化カリ水溶液を含浸させた布を用い、
布の色が変化するかどうかで調べた。予めこの方法によ
りフッ素濃度０．１ｐｐｍ以上で検出することが判って
いる。結果を表１．に示す。
【００１８】この結果、表１．で示すように酸素濃度を
測定するために必要なガス流量域で、カラム温度が室温
（２０℃）から２００℃までの全ての条件においてフッ
素が完全に酸素に置換されていることが判った。
測定するために必要なガス流量域で、カラム温度が室温
（２０℃）から２００℃までの全ての条件においてフッ
素が完全に酸素に置換されていることが判った。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【実施例２】図２に示す測定系でフッ素濃度を５％に調
整したネオンガス１と希釈用に１００％ネオンガス５を
用い、それぞれのガスの流量を制御するマスフローコン
トローラー６を用いて、流量比により５％のフッ素濃度
を希釈し数種類の濃度のフッ素混合ガスを発生させる。
マスフローコントローラーはあらかじめ石鹸膜流量計を
用いて実流量を測定し校正されたものを用いた。ガスの
流量はトータルで２００ＣＣＭになるように設定し、上
記希釈したガスを充填層に流通し、その時の酸素濃度を
酸素濃度既知の標準ガスにより校正されたジルコニア式
酸素分析計を用いて測定を行った。
整したネオンガス１と希釈用に１００％ネオンガス５を
用い、それぞれのガスの流量を制御するマスフローコン
トローラー６を用いて、流量比により５％のフッ素濃度
を希釈し数種類の濃度のフッ素混合ガスを発生させる。
マスフローコントローラーはあらかじめ石鹸膜流量計を
用いて実流量を測定し校正されたものを用いた。ガスの
流量はトータルで２００ＣＣＭになるように設定し、上
記希釈したガスを充填層に流通し、その時の酸素濃度を
酸素濃度既知の標準ガスにより校正されたジルコニア式
酸素分析計を用いて測定を行った。
【００２１】結果を表２．及び図３．に示す。この結果
より導入したガスのフッ素濃度に対し、ジルコニア式酸
素計の酸素濃度指示値をフッ素濃度に換算（酸素濃度の
２倍値）した値はほぼ一致し、直線関係が得られた。
より導入したガスのフッ素濃度に対し、ジルコニア式酸
素計の酸素濃度指示値をフッ素濃度に換算（酸素濃度の
２倍値）した値はほぼ一致し、直線関係が得られた。
【００２２】この結果より、フッ素濃度に対して充填層
により酸素に置換された酸素濃度はリニアであり酸素濃
度を換算した値はフッ素濃度といえることがわかった。
により酸素に置換された酸素濃度はリニアであり酸素濃
度を換算した値はフッ素濃度といえることがわかった。
【００２３】
【表２】
【００２４】
【実施例３】フッ素混合ガス中に初めから存在する酸素
を測定するために、フッ素と反応して酸素を放出しない
フッ素以外のハロゲン化合物、たとえばＫＣｌなどを用
いてフッ素をハロゲン成分に置換する反応原理を化学式
を用いて説明すると、以下の式により表される。
を測定するために、フッ素と反応して酸素を放出しない
フッ素以外のハロゲン化合物、たとえばＫＣｌなどを用
いてフッ素をハロゲン成分に置換する反応原理を化学式
を用いて説明すると、以下の式により表される。
【００２５】 Ｆ2 ＋２ＫＣｌ→２ＫＦ＋Ｃｌ2 ・・・・・（２） この反応はフッ素はハロゲン元素中で最も電気陰性度が
大きく反応性に富むため、フッ素以外のハロゲン化合物
と反応し簡単に置換される。
大きく反応性に富むため、フッ素以外のハロゲン化合物
と反応し簡単に置換される。
【００２６】反応により生成した塩素などのハロゲン成
分は活性炭やポーラスポリマーに吸着、除去することが
可能である。フッ素反応充填層としてフッ素によるパッ
シベーションを施した外径φ４ｍｍ、内径φ３ｍｍ×１
ｍの金属製のガスカラムにＫＣｌを充填し、塩素吸着充
填層として外径φ４ｍｍ、内径φ３ｍｍ×１ｍの金属製
のガスカラムにＣａｒｂｏｎＭｏｌｅｃｕａｒ Ｓｉｅ
ｖｅ を充填したものを直列に配置し、フッ素混合ガス
中の酸素が測定可能かを調べた。
分は活性炭やポーラスポリマーに吸着、除去することが
可能である。フッ素反応充填層としてフッ素によるパッ
シベーションを施した外径φ４ｍｍ、内径φ３ｍｍ×１
ｍの金属製のガスカラムにＫＣｌを充填し、塩素吸着充
填層として外径φ４ｍｍ、内径φ３ｍｍ×１ｍの金属製
のガスカラムにＣａｒｂｏｎＭｏｌｅｃｕａｒ Ｓｉｅ
ｖｅ を充填したものを直列に配置し、フッ素混合ガス
中の酸素が測定可能かを調べた。
【００２７】フッ素濃度を１％に調整されたネオンガス
に既知の酸素濃度を添加したガスを充填層に流通し、充
填層出口のガス中の酸素濃度をガスクロ（検出器：Ｍ
Ｓ）を用いて測定した。使用したガスクロはあらかじめ
既知の酸素標準ガスにより検量線を取得したものを使用
した。評価系を図４．に、結果を表３．および図５．に
示す。
に既知の酸素濃度を添加したガスを充填層に流通し、充
填層出口のガス中の酸素濃度をガスクロ（検出器：Ｍ
Ｓ）を用いて測定した。使用したガスクロはあらかじめ
既知の酸素標準ガスにより検量線を取得したものを使用
した。評価系を図４．に、結果を表３．および図５．に
示す。
【００２８】この結果、表３．および図５．で示すよう
に添加した酸素濃度と測定された酸素濃度は比例関係に
あり、フッ素混合ガス中の酸素濃度の測定が可能である
ことが判る。
に添加した酸素濃度と測定された酸素濃度は比例関係に
あり、フッ素混合ガス中の酸素濃度の測定が可能である
ことが判る。
【００２９】
【表３】
【図１】本発明の好ましい装置のフローシート。
【図２】一定濃度のフッ素ガスを分析するための装置の
フローシート。
フローシート。
【図３】希釈フッ素濃度とフッ素換算濃度との関係を示
すグラフ。
すグラフ。
【図４】フッ素含有混合ガス中の酸素を分析する装置の
フローシート。
フローシート。
【図５】添加酸素濃度とＧＣ／ＭＳ測定酸素濃度との関
係を示すグラフ。
係を示すグラフ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三好 伸二 大阪府大阪市淀川区宮原４丁目１番14号 住友生命新大阪北ビル 大阪酸素工業株式 会社内 (72)発明者 来島 貴彦 大阪府大阪市淀川区宮原４丁目１番14号 住友生命新大阪北ビル 大阪酸素工業株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BA10 BB20 CA01 CB01 DA03 EA20 FA19 FB04 GA01
Claims (6)
- 【請求項１】 フッ素濃度未知のフッ素含有混合ガス中
のフッ素濃度を測定する方法であって、 （１） 前記フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して
酸素を発生する周期律表の３族の金属の化合物を含む充
填層に該混合ガスを通す工程、 （２） 該混合ガス中のフッ素を他のハロゲン成分に置
換できる化合物の充填層及び該ハロゲン成分を吸着する
物質の充填層に該混合ガスを通す工程、 （３） （１）で発生した酸素を酸素分析計で分析し、 （４） （２）で発生した酸素を酸素分析計で分析し、
そして （５） （３）及び（４）で分析した酸素濃度を比較す
ることにより該混合ガス中のフッ素濃度の測定方法。 - 【請求項２】 前記酸素分析計は標準ガスなどによりＺ
ｅｒｏ−Ｓｐａｎ調整することが可能なジルコニア式、
磁気式あるいはガルバニ電池式などの酸素濃度を絶対測
定する分析計、あるいはＧＣ／ＴＣＤ、ＧＣ／ＭＳなど
のガスクロマトグラフィー法により酸素成分を分離し標
準ガスとの対比測定する分析計である請求項１記載の測
定方法。 - 【請求項３】 前記フッ素と反応して酸素を発生する周
期律表３族の金属の化合物はアルミナである請求項１又
は２記載の測定方法。 - 【請求項４】 フッ素濃度未知のフッ素含有混合ガス中
のフッ素濃度を測定する装置であって、その装置は前記
フッ素含有混合ガス中のフッ素と反応して酸素を発生す
る周期律表の３族の金属の化合物を含む充填層、該混合
ガス中のフッ素を他のハロゲン成分に置換できる化合物
の充填層、該ハロゲン成分を吸着する物質の充填層、前
記酸素濃度を測定する酸素分析計、該酸素分析計にパー
ジ用不活性ガスを供給する不活性ガス供給ライン及び前
記酸素分析計のスパンを調整する酸素濃度既知の標準ガ
スを供給するラインを含む装置。 - 【請求項５】 前記酸素分析計は標準ガスなどによりＺ
ｅｒｏ−Ｓｐａｎ調整することが可能なジルコニア式、
磁気式あるいはガルバニ電池式などの酸素濃度を絶対測
定する分析計、あるいはＧＣ／ＴＣＤ、ＧＣ／ＭＳなど
のガスクロマトグラフィー法により酸素成分を分離し標
準ガスとの対比測定する分析計である請求項４記載の測
定装置。 - 【請求項６】 前記フッ素と反応して酸素を発生する周
期律表３族の金属の化合物はアルミナである請求項４又
は５記載の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35163499A JP4268296B2 (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | フッ素を含む混合ガス中のフッ素濃度測定方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35163499A JP4268296B2 (ja) | 1999-12-10 | 1999-12-10 | フッ素を含む混合ガス中のフッ素濃度測定方法およびその装置 |
Publications (2)
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