JP2001155673A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
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- JP2001155673A JP2001155673A JP33385199A JP33385199A JP2001155673A JP 2001155673 A JP2001155673 A JP 2001155673A JP 33385199 A JP33385199 A JP 33385199A JP 33385199 A JP33385199 A JP 33385199A JP 2001155673 A JP2001155673 A JP 2001155673A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 102100033040 Carbonic anhydrase 12 Human genes 0.000 description 1
- 101000867855 Homo sapiens Carbonic anhydrase 12 Proteins 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T3/00—Geometric image transformation in the plane of the image
- G06T3/40—Scaling the whole image or part thereof
- G06T3/4007—Interpolation-based scaling, e.g. bilinear interpolation
Abstract
(57)【要約】
【課題】試料から得られた画像データを表示装置上に表
示画像を表示する場合に、表示装置の解像度が上がった
場合には見た目に小さく表示され表示装置の解像度が下
がった場合には、見た目に大きく表示されており見にく
くなっていた。 【解決手段】表示画像の解像度を変換するために、試料
から得られた画像データである表示画像の基本解像度に
対して、補間法および間引き法の処理を行なう。 【効果】本発明により、試料にから得られた画像データ
の解像度を変換することによって表示装置の解像度が異
なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の解像度の
比を常に同一比率とすれば表示装置の解像度に左右され
ることなく常に同じ大きさで表示装置上に表示されるの
で見にくいことがなくなる。
示画像を表示する場合に、表示装置の解像度が上がった
場合には見た目に小さく表示され表示装置の解像度が下
がった場合には、見た目に大きく表示されており見にく
くなっていた。 【解決手段】表示画像の解像度を変換するために、試料
から得られた画像データである表示画像の基本解像度に
対して、補間法および間引き法の処理を行なう。 【効果】本発明により、試料にから得られた画像データ
の解像度を変換することによって表示装置の解像度が異
なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の解像度の
比を常に同一比率とすれば表示装置の解像度に左右され
ることなく常に同じ大きさで表示装置上に表示されるの
で見にくいことがなくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は走査型電子顕微鏡に
関し、試料に電子線を照射することによって得られた画
像信号をA／D変換した画像データに対し、補間法および
間引き法を行なうことにより、表示装置の解像度が異な
った場合においても表示装置の解像度と表示画像の解像
度の比を常に同一比率で表示し、表示装置上における表
示画像の大きさが見た目に影響を受けない表示方式に関
するものである。
関し、試料に電子線を照射することによって得られた画
像信号をA／D変換した画像データに対し、補間法および
間引き法を行なうことにより、表示装置の解像度が異な
った場合においても表示装置の解像度と表示画像の解像
度の比を常に同一比率で表示し、表示装置上における表
示画像の大きさが見た目に影響を受けない表示方式に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】走査型電子顕微鏡の表示装置上に表示画
像を表示する場合、図７に示すように、例えば表示画像
の基本解像度を640×480画素とし、表示装置の基本解像
度を1280×960画素とする。この表示画像の基本解像度
に対して表示装置の基本解像度が異なる、すなわち1280
×960画素でないとき、図７に示すように表示画像は表
示装置の解像度が上がった場合（本例では2560×1920画
素）には、見た目に小さく表示され、表示装置の解像度
が下がった場合（本例では1024×768画素）には、見た
目に大きく表示されていた。
像を表示する場合、図７に示すように、例えば表示画像
の基本解像度を640×480画素とし、表示装置の基本解像
度を1280×960画素とする。この表示画像の基本解像度
に対して表示装置の基本解像度が異なる、すなわち1280
×960画素でないとき、図７に示すように表示画像は表
示装置の解像度が上がった場合（本例では2560×1920画
素）には、見た目に小さく表示され、表示装置の解像度
が下がった場合（本例では1024×768画素）には、見た
目に大きく表示されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来方式では表示装置
に表示画像を表示する場合には、図７に示すように表示
装置の解像度が上がった場合には、見た目に小さく表示
され、表示装置の解像度が下がった場合には、見た目に
大きく表示されており見にくくなっていた。
に表示画像を表示する場合には、図７に示すように表示
装置の解像度が上がった場合には、見た目に小さく表示
され、表示装置の解像度が下がった場合には、見た目に
大きく表示されており見にくくなっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】表示装置上に表示画像を
表示を行なうときに、表示装置の解像度が異なる場合に
は、表示画像の解像度を変換することにより表示装置の
解像度と表示画像の解像度の比を常に同一比率とすれ
ば、表示装置の解像度に左右されることなく常に同じ大
きさで表示装置に表示されるので見にくいことがなくな
る。
表示を行なうときに、表示装置の解像度が異なる場合に
は、表示画像の解像度を変換することにより表示装置の
解像度と表示画像の解像度の比を常に同一比率とすれ
ば、表示装置の解像度に左右されることなく常に同じ大
きさで表示装置に表示されるので見にくいことがなくな
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】請求項１に対応した実施例を図
１、図２に示す。図２に全体構成を示し、図１に詳細図
を示す。図２に示す本実施例は、試料21に電子線20を照
射することによって得られた画像信号を、A／D変換22し
た画像データをメモリ23に書き込み、そのメモリ23から
読み出した画像データに表示画像の解像度を変換するフ
ィルタ24により表示画像の解像度を変換した画像データ
をメモリ25に書き込み、そのメモリ25から読み出した画
像データをD/A変換26された画像信号を表示装置本体か
ら出力されている同期信号を同期分離／PLL 27によるタ
イミングにより、試料21に電子線20を照射することによ
って得られた画像データと表示装置本体29の画像をビデ
オSW 28により表示装置2Aに表示を行なえる構成をと
る。
１、図２に示す。図２に全体構成を示し、図１に詳細図
を示す。図２に示す本実施例は、試料21に電子線20を照
射することによって得られた画像信号を、A／D変換22し
た画像データをメモリ23に書き込み、そのメモリ23から
読み出した画像データに表示画像の解像度を変換するフ
ィルタ24により表示画像の解像度を変換した画像データ
をメモリ25に書き込み、そのメモリ25から読み出した画
像データをD/A変換26された画像信号を表示装置本体か
ら出力されている同期信号を同期分離／PLL 27によるタ
イミングにより、試料21に電子線20を照射することによ
って得られた画像データと表示装置本体29の画像をビデ
オSW 28により表示装置2Aに表示を行なえる構成をと
る。
【０００６】図２の全体構成に示したフィルタ24は表示
画像の基本解像度の画像データを書き込み、図１に示す
ように表示装置2Aの解像度が異なる場合に、表示画像の
基本解像度の画像データに対して表示装置の解像度が下
がった場合には、表示画像の基本解像度の画像データに
間引き法として単純間引き法または、平滑化間引き法に
より解像度を変換し、表示画像の基本解像度に対して縦
横方向とも画素数を１／ｎ倍に縮小表示を行なう。表示
装置の基本解像度の画像データに対して表示装置の解像
度が上がった場合には、表示画像の基本解像度の画像デ
ータに補間法として最近傍法または、線形補間法により
解像度を変換し、表示画像の基本解像度に対して縦横方
向とも画素数をｍ倍に拡大表示を行なうことによって表
示装置の解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と
表示画像の解像度の比を常に同一比率とすることが可能
である。
画像の基本解像度の画像データを書き込み、図１に示す
ように表示装置2Aの解像度が異なる場合に、表示画像の
基本解像度の画像データに対して表示装置の解像度が下
がった場合には、表示画像の基本解像度の画像データに
間引き法として単純間引き法または、平滑化間引き法に
より解像度を変換し、表示画像の基本解像度に対して縦
横方向とも画素数を１／ｎ倍に縮小表示を行なう。表示
装置の基本解像度の画像データに対して表示装置の解像
度が上がった場合には、表示画像の基本解像度の画像デ
ータに補間法として最近傍法または、線形補間法により
解像度を変換し、表示画像の基本解像度に対して縦横方
向とも画素数をｍ倍に拡大表示を行なうことによって表
示装置の解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と
表示画像の解像度の比を常に同一比率とすることが可能
である。
【０００７】次に請求項２に対応した実施例を図３、図
４に示す。図２のフィルタ24による補間法および間引き
法には図３に示す補間法により表示画像の解像度の画像
データに対し、表示装置2Aの解像度が上がった場合とし
て、例えば表示画像の基本解像度を640×480画素とし、
表示装置2Aの解像度と表示画像の解像度の比を常に同一
比率とするために表示画像の解像度が1280×960画素必
要となった場合には、表示画像の基本解像度の１画素分
を４画素に補間出力を行なうことにより、表示装置上に
表示画像の出力が行なえ、また図４に示す間引き法によ
り表示画像の基本解像度の画像データに対し、表示装置
2Aの解像度が下がった場合として、例えば表示画像の基
本解像度を640×480画素とし、表示装置 2Aの解像度と
表示画像の解像度の比を常に同一比率とするために表示
画像の解像度が320×240画素必要となった場合には、表
示画像の基本解像度の４画素分を１画素に間引き出力を
行なうことにより、表示装置上に表示画像の出力が行な
え、一般的に最近傍法および、線形補間法において表示
画像の基本解像度の１画素分をｍ画素に補間を行ない、
単純間引き法において表示画像の基本解像度のｎ画素分
を１画素に間引きを行なうことによって表示装置2Aの解
像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の
解像度の比を常に同一比率とすることが可能である。
４に示す。図２のフィルタ24による補間法および間引き
法には図３に示す補間法により表示画像の解像度の画像
データに対し、表示装置2Aの解像度が上がった場合とし
て、例えば表示画像の基本解像度を640×480画素とし、
表示装置2Aの解像度と表示画像の解像度の比を常に同一
比率とするために表示画像の解像度が1280×960画素必
要となった場合には、表示画像の基本解像度の１画素分
を４画素に補間出力を行なうことにより、表示装置上に
表示画像の出力が行なえ、また図４に示す間引き法によ
り表示画像の基本解像度の画像データに対し、表示装置
2Aの解像度が下がった場合として、例えば表示画像の基
本解像度を640×480画素とし、表示装置 2Aの解像度と
表示画像の解像度の比を常に同一比率とするために表示
画像の解像度が320×240画素必要となった場合には、表
示画像の基本解像度の４画素分を１画素に間引き出力を
行なうことにより、表示装置上に表示画像の出力が行な
え、一般的に最近傍法および、線形補間法において表示
画像の基本解像度の１画素分をｍ画素に補間を行ない、
単純間引き法において表示画像の基本解像度のｎ画素分
を１画素に間引きを行なうことによって表示装置2Aの解
像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の
解像度の比を常に同一比率とすることが可能である。
【０００８】次に請求項３に対応した実施例を図５に示
す。図２のフィルタ24による補間法には図５に示す線形
補間法により例えば、表示画像の基本解像度を640×480
画素とし、表示装置2Aの解像度と表示画像の解像度の比
を常に同一比率とするために表示画像の解像度が1280×
960画素必要となった場合には、表示画像の隣接する画
素の加算平均値を表示画像の基本解像度の間に１画素分
の補間出力を行なえ、一般的に線形補間法において表示
画像の基本解像度に隣接する画素を表示画像の基本解像
度の間にｍ画素分の補間を行なうことによって表示装置
2Aの解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表
示画像の比を常に同一比率とすることが可能である。
す。図２のフィルタ24による補間法には図５に示す線形
補間法により例えば、表示画像の基本解像度を640×480
画素とし、表示装置2Aの解像度と表示画像の解像度の比
を常に同一比率とするために表示画像の解像度が1280×
960画素必要となった場合には、表示画像の隣接する画
素の加算平均値を表示画像の基本解像度の間に１画素分
の補間出力を行なえ、一般的に線形補間法において表示
画像の基本解像度に隣接する画素を表示画像の基本解像
度の間にｍ画素分の補間を行なうことによって表示装置
2Aの解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表
示画像の比を常に同一比率とすることが可能である。
【０００９】次に請求項４に対応した実施例を図６に示
す。図２のフィルタ24による間引き法には図６に示す平
滑化間引き方法により、例えば表示画像の基本解像度を
640×480画素とし、表示装置2Aの解像度と表示画像の解
像度の比を常に同一比率とするために表示画像の解像度
が320×240画素必要となった場合には、表示画像の基本
解像度の４画素分を１画素として表示画像に表示を行な
う場合に４画素の加算平均値を算出し、それを表示画像
の１画素として表示を行なうことによりホワイトノイズ
に対するＳ／Ｎは√４＝２倍向上することができ、一般
的にｎ画素分を１画素に加算平均値を算出し、表示画像
の１画素として表示を行なうことによりホワイトノイズ
に対するＳ／Ｎの向上ができると共に表示装置2Aの解像
度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の比
を常に同一比率とすることが可能である。
す。図２のフィルタ24による間引き法には図６に示す平
滑化間引き方法により、例えば表示画像の基本解像度を
640×480画素とし、表示装置2Aの解像度と表示画像の解
像度の比を常に同一比率とするために表示画像の解像度
が320×240画素必要となった場合には、表示画像の基本
解像度の４画素分を１画素として表示画像に表示を行な
う場合に４画素の加算平均値を算出し、それを表示画像
の１画素として表示を行なうことによりホワイトノイズ
に対するＳ／Ｎは√４＝２倍向上することができ、一般
的にｎ画素分を１画素に加算平均値を算出し、表示画像
の１画素として表示を行なうことによりホワイトノイズ
に対するＳ／Ｎの向上ができると共に表示装置2Aの解像
度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示画像の比
を常に同一比率とすることが可能である。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、試料に電子線を照射する
ことによって得られた画像データである、表示画像の基
本解像度に対して解像度を変換することによって表示装
置の解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示
画像の解像度の比を常に同一比率とすれば表示装置の解
像度に左右されることなく常に同じ大きさで表示装置上
に表示されるので見にくいことがなくなる。
ことによって得られた画像データである、表示画像の基
本解像度に対して解像度を変換することによって表示装
置の解像度が異なる場合でも、表示装置の解像度と表示
画像の解像度の比を常に同一比率とすれば表示装置の解
像度に左右されることなく常に同じ大きさで表示装置上
に表示されるので見にくいことがなくなる。
【図１】請求項１に対応する表示（補間法・間引き法）
を説明する図。
を説明する図。
【図２】請求項１〜４に対応する全体構成（ハードウェ
ア構成）を示す図。
ア構成）を示す図。
【図３】請求項２に対応する解像度変換（最近傍法）を
説明する図。
説明する図。
【図４】請求項２に対応する解像度変換（間引き法）を
説明する図。
説明する図。
【図５】請求項３に対応する解像度変換（線形補間法）
を説明する図。
を説明する図。
【図６】請求項３に対応する解像度変換（平滑化間引き
法）を説明する図。
法）を説明する図。
【図７】従来の重ね合わせ表示を説明する図。
20…電子線、21…試料、22…Ａ／Ｄ変換器、23…メモ
リ、24…フィルタ、25…メモリ、26…Ｄ／Ａ変換器、27
…同期分離／ＰＬＬ、28…ビデオＳＷ、29…表示装置本
体、2A…表示装置。
リ、24…フィルタ、25…メモリ、26…Ｄ／Ａ変換器、27
…同期分離／ＰＬＬ、28…ビデオＳＷ、29…表示装置本
体、2A…表示装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5B057 AA20 BA01 CA12 CA16 CB12 CB16 CC01 CD06 CD07 5C080 AA10 BB05 DD01 EE21 EE32 FF09 KK25 KK52 5C082 AA11 AA12 BA20 BB22 BC02 CA32 CA84 CB03 DA63 DA76 MM10
Claims (4)
- 【請求項１】 試料に電子線を照射することによって得
られた画像信号をA／D変換する手段とそのA/D変換され
た画像データを記憶する手段と、その画像データを表示
する手段を持つ走査型電子顕微鏡において、表示装置の
解像度が異なる場合でも表示装置の解像度と表示画像の
解像度の比を常に同一比率となるように表示画像の解像
度を変換する手段を持つことを特徴とする走査型電子顕
微鏡。 - 【請求項２】 前記第１項の走査型電子顕微鏡におい
て、表示装置の解像度が異なる場合でも表示装置の解像
度と表示画像の解像度の比を常に一定にするために、画
像データに補間法および間引き法によって解像度変換を
行なうことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 【請求項３】 前記第２項の走査型電子顕微鏡におい
て、画像データの補間法に最近傍法または、線形補間法
を用いることを特徴とする画像処理装置。 - 【請求項４】 前記第２項の走査型電子顕微鏡におい
て、画像データの間引き法に単純間引き法または、平滑
化間引き法を用いることを特徴とする画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33385199A JP2001155673A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33385199A JP2001155673A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001155673A true JP2001155673A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18270662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33385199A Pending JP2001155673A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001155673A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006252800A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Jeol Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2015176691A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の表示方法 |
| JP2019191469A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 東芝情報システム株式会社 | 表示装置、表示方法およびプログラム |
| CN111179883A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-05-19 | 云谷（固安）科技有限公司 | 图像显示方法和装置、移动终端、计算机设备、存储介质 |
-
1999
- 1999-11-25 JP JP33385199A patent/JP2001155673A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006252800A (ja) * | 2005-03-08 | 2006-09-21 | Jeol Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
| JP4607624B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2011-01-05 | 日本電子株式会社 | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2015176691A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の表示方法 |
| JP2019191469A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 東芝情報システム株式会社 | 表示装置、表示方法およびプログラム |
| JP7005422B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-01-21 | 東芝情報システム株式会社 | 表示装置、表示方法およびプログラム |
| CN111179883A (zh) * | 2020-01-03 | 2020-05-19 | 云谷（固安）科技有限公司 | 图像显示方法和装置、移动终端、计算机设备、存储介质 |
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