JP2001153832A - 塩素イオンセンサ - Google Patents
塩素イオンセンサInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小型化を図るとともに検出精度を向上した塩素
イオンセンサを提供する。 【解決手段】基板１上に、白金の薄膜からなる略櫛形の
白金電極１０ａと、銀/塩化銀の薄膜からなる略櫛形の
銀／塩化銀電極１０ｂとを、それぞれの電極１０ａ，１
０ｂが互いに噛み合うように略対向して形成する。それ
ぞれの電極１０ａ，１０ｂが薄膜により形成されたこと
によって、装置全体を小型化することができる。さらに
互いの電極１０ａ，１０ｂの突部１２ａ，１２ｂを交互
に配列して、それぞれの側面を略対向させることによっ
て、電極１０ａ，１０ｂの対向面積を広くすることがで
き、その結果、電極１０ａ，１０ｂ間に流れる電流量を
多くして、検出精度を向上させることができる。
イオンセンサを提供する。 【解決手段】基板１上に、白金の薄膜からなる略櫛形の
白金電極１０ａと、銀/塩化銀の薄膜からなる略櫛形の
銀／塩化銀電極１０ｂとを、それぞれの電極１０ａ，１
０ｂが互いに噛み合うように略対向して形成する。それ
ぞれの電極１０ａ，１０ｂが薄膜により形成されたこと
によって、装置全体を小型化することができる。さらに
互いの電極１０ａ，１０ｂの突部１２ａ，１２ｂを交互
に配列して、それぞれの側面を略対向させることによっ
て、電極１０ａ，１０ｂの対向面積を広くすることがで
き、その結果、電極１０ａ，１０ｂ間に流れる電流量を
多くして、検出精度を向上させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、白金電極と銀/塩
化銀電極を備えた塩素イオンセンサに関するものであ
る。
化銀電極を備えた塩素イオンセンサに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】イオンセンサは溶液中の特定のイオン濃
度を選択的に定量できるという特徴があり、特定イオン
の濃度モニタや水質分析、さらに医療などの広い分野に
おいて使用されている。特に水質分析分野では、水中に
含まれるイオン、例えば水素イオン、塩素イオン、カル
シウムイオンなどの定量に用いられ、その例として水質
浄化システムにおける塩素イオンセンサがある。
度を選択的に定量できるという特徴があり、特定イオン
の濃度モニタや水質分析、さらに医療などの広い分野に
おいて使用されている。特に水質分析分野では、水中に
含まれるイオン、例えば水素イオン、塩素イオン、カル
シウムイオンなどの定量に用いられ、その例として水質
浄化システムにおける塩素イオンセンサがある。
【０００３】この塩素イオンセンサは、水道水中に含ま
れる残留塩素の１つである次亜塩素酸イオン（Ｃｌ
Ｏ-）濃度をポーラログラフ法を用いて測定するもので
ある。
れる残留塩素の１つである次亜塩素酸イオン（Ｃｌ
Ｏ-）濃度をポーラログラフ法を用いて測定するもので
ある。
【０００４】このポーラログラフ法は、白金電極と銀電
極との間に測定対象となる溶液を介在させ、各電極での
次の反応によって生じる電極間の電流量を測定すること
によって、この電流量に比例した次亜塩素酸イオンの濃
度を知ることができる方法である。 Ｐｔ電極； ＨＣｌＯ＋ｅ-→１／２Ｈ2 Ａｇ電極； Ａｇ＋ＣｌＯ-→ＡｇＣｌ＋１／２Ｏ2＋ｅ
- このような塩素イオンセンサでは、次亜塩素酸イオンの
高い検出精度を確保するためには、それぞれの電極の対
向面積を広くすることが必要であり、これによって濃度
の低い次亜塩素酸イオンであっても電極間に流れる電流
量を増加することができ、検出精度を向上させることが
できる。
極との間に測定対象となる溶液を介在させ、各電極での
次の反応によって生じる電極間の電流量を測定すること
によって、この電流量に比例した次亜塩素酸イオンの濃
度を知ることができる方法である。 Ｐｔ電極； ＨＣｌＯ＋ｅ-→１／２Ｈ2 Ａｇ電極； Ａｇ＋ＣｌＯ-→ＡｇＣｌ＋１／２Ｏ2＋ｅ
- このような塩素イオンセンサでは、次亜塩素酸イオンの
高い検出精度を確保するためには、それぞれの電極の対
向面積を広くすることが必要であり、これによって濃度
の低い次亜塩素酸イオンであっても電極間に流れる電流
量を増加することができ、検出精度を向上させることが
できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の塩素イ
オンセンサは略ワイヤ状の白金電極と銀／塩化銀電極を
用いており、両電極の対向面積を広くするためには、装
置全体が大型になるとともに、コストが高くなるといっ
た問題があった。また、この問題を解決するため、フォ
トリソグラフィによる微細加工により各電極を薄膜状に
形成し、小型化及び低コスト化を図っているが、逆にそ
れぞれの電極の対向面積が小さくなって電流量が低下
し、検出精度が劣るといった新たな問題があった。
オンセンサは略ワイヤ状の白金電極と銀／塩化銀電極を
用いており、両電極の対向面積を広くするためには、装
置全体が大型になるとともに、コストが高くなるといっ
た問題があった。また、この問題を解決するため、フォ
トリソグラフィによる微細加工により各電極を薄膜状に
形成し、小型化及び低コスト化を図っているが、逆にそ
れぞれの電極の対向面積が小さくなって電流量が低下
し、検出精度が劣るといった新たな問題があった。
【０００６】本発明は上記問題点の解決を目的とするも
のであり、小型化を図るとともに電極間の対向面積を広
くして検出精度を向上した塩素イオンセンサを提供す
る。
のであり、小型化を図るとともに電極間の対向面積を広
くして検出精度を向上した塩素イオンセンサを提供す
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、白金の薄膜により略櫛形に形成
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により略櫛形に形
成された銀／塩化銀電極と、絶縁性の基板とを有し、白
金電極および銀/塩化銀電極が互いに噛み合うように略
対向して基板上に形成されたことを特徴とし、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに白金電極の一部および銀/塩化銀電極の一部
を交互に配列してそれぞれの側面を略対向させることに
よって、両電極の対向面積を広くすることができ、その
結果、電極間に流れる電流量を多くして、検出精度を向
上させることができる。
に、請求項１の発明は、白金の薄膜により略櫛形に形成
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により略櫛形に形
成された銀／塩化銀電極と、絶縁性の基板とを有し、白
金電極および銀/塩化銀電極が互いに噛み合うように略
対向して基板上に形成されたことを特徴とし、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに白金電極の一部および銀/塩化銀電極の一部
を交互に配列してそれぞれの側面を略対向させることに
よって、両電極の対向面積を広くすることができ、その
結果、電極間に流れる電流量を多くして、検出精度を向
上させることができる。
【０００８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、基板には略Ｖ字状の溝が形成され、白金電極および
銀／塩化銀電極は、溝の内側に傾斜する1対の斜面にそ
れぞれ設けられたことを特徴とし、互いの電極の薄膜の
側面及び表面を略対向させることができてそれぞれの電
極の対向面積をさらに広くすることができ、その結果、
検出精度をさらに向上させることができる。
て、基板には略Ｖ字状の溝が形成され、白金電極および
銀／塩化銀電極は、溝の内側に傾斜する1対の斜面にそ
れぞれ設けられたことを特徴とし、互いの電極の薄膜の
側面及び表面を略対向させることができてそれぞれの電
極の対向面積をさらに広くすることができ、その結果、
検出精度をさらに向上させることができる。
【０００９】請求項３の発明は、白金の薄膜により互い
に径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に接
続された複数の白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により互
いに径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に
接続された複数の銀/塩化銀電極と、白金電極と銀/塩化
銀電極が交互に略同心円状に配置された絶縁性の基板
と、白金電極と銀/塩化銀電極との間に介在し、互いの
電極を電気的に絶縁する薄膜とを有することを特徴と
し、それぞれの電極が薄膜により形成されたことによっ
て、装置全体を小型化することができて、低コスト化を
図ることができ、さらに互いの電極が交互に略同心円状
に配置されたことによって、それぞれ一方の電極は他方
の電極と内側と外側とで略対向することができて、対向
面積を広くすることができ、その結果、電極間に流れる
電流量を多くして、検出精度を向上させることができ
る。
に径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に接
続された複数の白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により互
いに径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に
接続された複数の銀/塩化銀電極と、白金電極と銀/塩化
銀電極が交互に略同心円状に配置された絶縁性の基板
と、白金電極と銀/塩化銀電極との間に介在し、互いの
電極を電気的に絶縁する薄膜とを有することを特徴と
し、それぞれの電極が薄膜により形成されたことによっ
て、装置全体を小型化することができて、低コスト化を
図ることができ、さらに互いの電極が交互に略同心円状
に配置されたことによって、それぞれ一方の電極は他方
の電極と内側と外側とで略対向することができて、対向
面積を広くすることができ、その結果、電極間に流れる
電流量を多くして、検出精度を向上させることができ
る。
【００１０】請求項４の発明は、白金の薄膜により形成
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により形成された
銀/塩化銀電極と、表面に一方の電極を形成する絶縁性
の基板と、絶縁性の薄膜により形成され、基板上に形成
された電極に隙間をあけて略対向するように他方の電極
を支持する支持部とを有することを特徴とし、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、また支持部に支持される電極の表面と基板上の電極
の表面とが略対向することによって、それぞれの電極の
対向面積を広くすることができ、さらに両電極表面間の
隙間を狭くすることによって、電極間に流れる電流量を
多くして、検出精度を向上させることができる。
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により形成された
銀/塩化銀電極と、表面に一方の電極を形成する絶縁性
の基板と、絶縁性の薄膜により形成され、基板上に形成
された電極に隙間をあけて略対向するように他方の電極
を支持する支持部とを有することを特徴とし、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、また支持部に支持される電極の表面と基板上の電極
の表面とが略対向することによって、それぞれの電極の
対向面積を広くすることができ、さらに両電極表面間の
隙間を狭くすることによって、電極間に流れる電流量を
多くして、検出精度を向上させることができる。
【００１１】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、支持部は、電極が形成され基板に略対向する対向部
と、対向部の両端に形成され、基板上に固定される固定
部とを有して略ブリッジ状に形成されたことを特徴と
し、請求項４の発明と同様の作用を奏する。
て、支持部は、電極が形成され基板に略対向する対向部
と、対向部の両端に形成され、基板上に固定される固定
部とを有して略ブリッジ状に形成されたことを特徴と
し、請求項４の発明と同様の作用を奏する。
【００１２】請求項６の発明は、請求項４の発明におい
て、支持部は、電極が形成され基板に略対向する対向部
と、対向部の一端に形成され、基板上に固定される固定
部とを有したことを特徴とし、両電極間付近に在る構成
部材を請求項５の発明よりも少なくでき、その結果、例
えば水道水などの測定対象となる液体の流れが両電極間
付近でスムーズになり検出精度の信頼性を向上させるこ
とができる。
て、支持部は、電極が形成され基板に略対向する対向部
と、対向部の一端に形成され、基板上に固定される固定
部とを有したことを特徴とし、両電極間付近に在る構成
部材を請求項５の発明よりも少なくでき、その結果、例
えば水道水などの測定対象となる液体の流れが両電極間
付近でスムーズになり検出精度の信頼性を向上させるこ
とができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】（実施形態１）本実施形態につい
て、図１に基づいて説明する。
て、図１に基づいて説明する。
【００１４】本実施形態では、略矩形に形成されたＳｉ
からなる絶縁性の基板１表面に、フォトリソグラフィに
よるエッチング加工によって、薄膜の白金電極１０ａと
銀／塩化銀電極１０ｂがそれぞれ形成されている。ま
た、白金電極１０ａは、略帯状の主部１１ａと、主部１
１ａから略垂直に突設し、略等間隔に配列する複数の略
帯状の突部１２ａとから略櫛形に形成され、銀／塩化銀
電極１０ｂも白金電極１０ａと同様に、略帯状の主部１
１ｂと、主部１１ｂから略垂直に突設し、略等間隔に配
列する複数の略帯状の突部１２ｂとから略櫛形に形成さ
れている。各電極１０ａ，１０ｂの主部１１ａ，１１ｂ
は、基板１の表面両側部に、略平行するように配置さ
れ、主部１１ａ，１１ｂから突出される各電極１０ａ，
１０ｂの突部１２ａ，１２ｂは、それぞれ交互に側面が
略対向するように配列され、それぞれの突部１２ａ，１
２ｂの先端面は、他方の電極の主部１１ｂ，１１ａの側
面に隙間をあけて略対向している。
からなる絶縁性の基板１表面に、フォトリソグラフィに
よるエッチング加工によって、薄膜の白金電極１０ａと
銀／塩化銀電極１０ｂがそれぞれ形成されている。ま
た、白金電極１０ａは、略帯状の主部１１ａと、主部１
１ａから略垂直に突設し、略等間隔に配列する複数の略
帯状の突部１２ａとから略櫛形に形成され、銀／塩化銀
電極１０ｂも白金電極１０ａと同様に、略帯状の主部１
１ｂと、主部１１ｂから略垂直に突設し、略等間隔に配
列する複数の略帯状の突部１２ｂとから略櫛形に形成さ
れている。各電極１０ａ，１０ｂの主部１１ａ，１１ｂ
は、基板１の表面両側部に、略平行するように配置さ
れ、主部１１ａ，１１ｂから突出される各電極１０ａ，
１０ｂの突部１２ａ，１２ｂは、それぞれ交互に側面が
略対向するように配列され、それぞれの突部１２ａ，１
２ｂの先端面は、他方の電極の主部１１ｂ，１１ａの側
面に隙間をあけて略対向している。
【００１５】このような本実施形態では、白金電極１０
ａと銀／塩化銀電極１０ｂを基板１上に薄膜により形成
することによって、装置全体を小型化することができ、
低コスト化を図ることができる。また、略櫛形に形成さ
れた各電極１０ａ，１０ｂの複数の突部１２ａ，１２ｂ
を交互に配列することにより、それぞれの電極１０ａ，
１０ｂの対向面積を広くすることができ、電極１０ａ，
１０ｂ間に流れる電流量を多くして、検出精度を向上さ
せることができる。 （実施形態２）本実施形態における基本構成は実施形態
１と共通するために共通する部分については同一の符号
を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分に
ついてのみ詳細に説明する。
ａと銀／塩化銀電極１０ｂを基板１上に薄膜により形成
することによって、装置全体を小型化することができ、
低コスト化を図ることができる。また、略櫛形に形成さ
れた各電極１０ａ，１０ｂの複数の突部１２ａ，１２ｂ
を交互に配列することにより、それぞれの電極１０ａ，
１０ｂの対向面積を広くすることができ、電極１０ａ，
１０ｂ間に流れる電流量を多くして、検出精度を向上さ
せることができる。 （実施形態２）本実施形態における基本構成は実施形態
１と共通するために共通する部分については同一の符号
を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる部分に
ついてのみ詳細に説明する。
【００１６】本実施形態の基板１は、図２（ａ），
（ｂ）に示すように、表面に略Ｖ字状の溝２が複数個隣
接して形成され、白金電極１０ａと銀／塩化銀電極１０
ｂは、それぞれ各溝２の内側に傾斜する１対の斜面２
ａ，２ａ上に溝方向に沿って略帯状に形成されている。
なお、溝２は、基板１に異方性エッチングを行うことに
よって形成されている。
（ｂ）に示すように、表面に略Ｖ字状の溝２が複数個隣
接して形成され、白金電極１０ａと銀／塩化銀電極１０
ｂは、それぞれ各溝２の内側に傾斜する１対の斜面２
ａ，２ａ上に溝方向に沿って略帯状に形成されている。
なお、溝２は、基板１に異方性エッチングを行うことに
よって形成されている。
【００１７】このような本実施形態では、各溝２の斜面
２ａ，２ａに形成された両電極１０ａ，１０ｂの表面と
側面が略対向するため、実施形態１よりもそれぞれの電
極１０ａ，１０ｂの対向面積を広くすることができ、検
出精度をさらに向上させることができる。
２ａ，２ａに形成された両電極１０ａ，１０ｂの表面と
側面が略対向するため、実施形態１よりもそれぞれの電
極１０ａ，１０ｂの対向面積を広くすることができ、検
出精度をさらに向上させることができる。
【００１８】なお、白金電極１０ａと銀／塩化銀電極１
０ｂを実施形態１と同様に略櫛形としても良い。 （実施形態３）本実施形態における基本構成は実施形態
１又は２と共通するために共通する部分については同一
の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる
部分についてのみ詳細に説明する。
０ｂを実施形態１と同様に略櫛形としても良い。 （実施形態３）本実施形態における基本構成は実施形態
１又は２と共通するために共通する部分については同一
の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴となる
部分についてのみ詳細に説明する。
【００１９】本実施形態では、図３（ａ），（ｂ）に示
すように、白金電極１０ａは、互いに径の異なる略リン
グ状に形成された複数のリング部１３ａと、それぞれの
リング部１３ａに接続する略帯状の接続部１４ａとから
なり、複数のリング部１３ａは略同心円状に基板１上に
配列されるとともに、接続部１４ａは、最も外側のリン
グ部１３ａから外側に突出するように略直線状に形成さ
れている。
すように、白金電極１０ａは、互いに径の異なる略リン
グ状に形成された複数のリング部１３ａと、それぞれの
リング部１３ａに接続する略帯状の接続部１４ａとから
なり、複数のリング部１３ａは略同心円状に基板１上に
配列されるとともに、接続部１４ａは、最も外側のリン
グ部１３ａから外側に突出するように略直線状に形成さ
れている。
【００２０】一方、銀／塩化銀電極１０ｂは、基板１表
面に形成された絶縁性の絶縁膜３上に形成され、白金電
極１０ａと同様に、略同心円状に配列された互いに径の
異なる複数のリング部１３ｂと、複数のリング部１３ｂ
に接続するとともに、最も外側のリング部１３ｂから外
側に突出するように略直線状に形成された接続部１４ｂ
とからなる。
面に形成された絶縁性の絶縁膜３上に形成され、白金電
極１０ａと同様に、略同心円状に配列された互いに径の
異なる複数のリング部１３ｂと、複数のリング部１３ｂ
に接続するとともに、最も外側のリング部１３ｂから外
側に突出するように略直線状に形成された接続部１４ｂ
とからなる。
【００２１】白金電極１０ａのリング部１３ａと銀／塩
化銀電極１０ｂのリング部１３ｂは、それぞれ絶縁膜３
を挟んで交互に略同心円状に配置されるとともに、接続
部１４ａ，１４ｂは略直線上に配置されている。また、
白金電極１０ａのリング部１３ａは、表面上に絶縁膜３
を介して銀／塩化銀電極１０ｂが在る部位を除いて、露
出されている。
化銀電極１０ｂのリング部１３ｂは、それぞれ絶縁膜３
を挟んで交互に略同心円状に配置されるとともに、接続
部１４ａ，１４ｂは略直線上に配置されている。また、
白金電極１０ａのリング部１３ａは、表面上に絶縁膜３
を介して銀／塩化銀電極１０ｂが在る部位を除いて、露
出されている。
【００２２】このような本実施形態では、白金電極１０
ａの複数のリング部１３ａと銀／塩化銀電極１０ｂの複
数のリング部１３ｂが交互に略同心円状に配列して形成
されているので、リング部１３ａは、内側と外側とでリ
ング部１３ｂと略対向し、リング部１３ｂも、内側と外
側とでリング部１３ａと略対向する。これによって、白
金電極１０ａと銀／塩化銀電極１０ｂとの対向面積を広
くすることができ、その結果、電極１０ａ，１０ｂ間に
流れる電流量を多くして、検出精度を向上させることが
できる。 （実施形態４）本実施形態における基本構成は実施形態
１又は２又は３と共通するために共通する部分について
は同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴
となる部分についてのみ詳細に説明する。
ａの複数のリング部１３ａと銀／塩化銀電極１０ｂの複
数のリング部１３ｂが交互に略同心円状に配列して形成
されているので、リング部１３ａは、内側と外側とでリ
ング部１３ｂと略対向し、リング部１３ｂも、内側と外
側とでリング部１３ａと略対向する。これによって、白
金電極１０ａと銀／塩化銀電極１０ｂとの対向面積を広
くすることができ、その結果、電極１０ａ，１０ｂ間に
流れる電流量を多くして、検出精度を向上させることが
できる。 （実施形態４）本実施形態における基本構成は実施形態
１又は２又は３と共通するために共通する部分について
は同一の符号を付して説明を省略し、本実施形態の特徴
となる部分についてのみ詳細に説明する。
【００２３】本実施形態では、図４に示すように、略帯
状の白金電極１０ａが形成された基板１表面に隙間をあ
けて略対向し、基板１表面に略対向する面に略帯状の銀
／塩化銀電極１０ｂが形成された対向部４ａと、対向部
４ａの両端に略Ｌ字状に形成され、基板１上に固定され
る固定部４ｂ，４ｂとを有した略ブリッジ状の支持部４
が、絶縁性の薄膜により基板１表面に形成されている。
なお、この支持部４は、犠牲層エッチングにより形成す
ることができる。
状の白金電極１０ａが形成された基板１表面に隙間をあ
けて略対向し、基板１表面に略対向する面に略帯状の銀
／塩化銀電極１０ｂが形成された対向部４ａと、対向部
４ａの両端に略Ｌ字状に形成され、基板１上に固定され
る固定部４ｂ，４ｂとを有した略ブリッジ状の支持部４
が、絶縁性の薄膜により基板１表面に形成されている。
なお、この支持部４は、犠牲層エッチングにより形成す
ることができる。
【００２４】このような本実施形態では、支持部４によ
って、白金電極１０ａの表面と銀／塩化銀電極１０ｂの
表面を略対向して配置して、ぞれぞれの電極１０ａ，１
０ｂの対向面積を広くすることができ、さらに、両電極
１０ａ，１０ｂ間の隙間を狭くすることによって、電極
１０ａ，１０ｂ間に流れる電流量を多くして、検出精度
を向上させることができる。
って、白金電極１０ａの表面と銀／塩化銀電極１０ｂの
表面を略対向して配置して、ぞれぞれの電極１０ａ，１
０ｂの対向面積を広くすることができ、さらに、両電極
１０ａ，１０ｂ間の隙間を狭くすることによって、電極
１０ａ，１０ｂ間に流れる電流量を多くして、検出精度
を向上させることができる。
【００２５】なお、図５に示すように、支持部４の固定
部４ｂを対向部４ａの一端にのみ形成して、いわゆる片
持梁構造としても良く、このとき、例えば水道水などの
測定対象となる液体の流れが両電極１０ａ，１０ｂ間付
近でスムーズになり検出精度の信頼性を向上させること
ができる。
部４ｂを対向部４ａの一端にのみ形成して、いわゆる片
持梁構造としても良く、このとき、例えば水道水などの
測定対象となる液体の流れが両電極１０ａ，１０ｂ間付
近でスムーズになり検出精度の信頼性を向上させること
ができる。
【００２６】また、本実施形態の白金電極１０ａと支持
部４に形成された銀／塩化銀電極１０ｂを基板１上に複
数個並列に並べて形成しても良く、或いは、実施形態１
のようにそれぞれの電極１０ａ，１０ｂを略櫛形に形成
したり、実施形態３のようにそれぞれの電極１０ａ，１
０ｂを複数の径の異なるリング状に形成し、略同心円状
に配列して、一方の電極１０ａ，１０ｂを支持部４によ
り基板１上の他方の電極１０ｂ，１０ａに略対向させて
も良い。これによって、両電極１０ａ，１０ｂの対向面
積を広くすることができ、検出精度をさらに向上させる
ことができる。
部４に形成された銀／塩化銀電極１０ｂを基板１上に複
数個並列に並べて形成しても良く、或いは、実施形態１
のようにそれぞれの電極１０ａ，１０ｂを略櫛形に形成
したり、実施形態３のようにそれぞれの電極１０ａ，１
０ｂを複数の径の異なるリング状に形成し、略同心円状
に配列して、一方の電極１０ａ，１０ｂを支持部４によ
り基板１上の他方の電極１０ｂ，１０ａに略対向させて
も良い。これによって、両電極１０ａ，１０ｂの対向面
積を広くすることができ、検出精度をさらに向上させる
ことができる。
【００２７】
【発明の効果】請求項１の発明は、白金の薄膜により略
櫛形に形成された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により
略櫛形に形成された銀／塩化銀電極と、絶縁性の基板と
を有し、白金電極および銀/塩化銀電極が互いに噛み合
うように略対向して基板上に形成されたので、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに白金電極の一部および銀/塩化銀電極の一部
を交互に配列してそれぞれの側面を略対向させることに
よって、両電極の対向面積を広くすることができ、その
結果、電極間に流れる電流量を多くして、検出精度を向
上させることができるという効果がある。
櫛形に形成された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により
略櫛形に形成された銀／塩化銀電極と、絶縁性の基板と
を有し、白金電極および銀/塩化銀電極が互いに噛み合
うように略対向して基板上に形成されたので、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに白金電極の一部および銀/塩化銀電極の一部
を交互に配列してそれぞれの側面を略対向させることに
よって、両電極の対向面積を広くすることができ、その
結果、電極間に流れる電流量を多くして、検出精度を向
上させることができるという効果がある。
【００２８】請求項２の発明は、基板には略Ｖ字状の溝
が形成され、白金電極および銀／塩化銀電極は、溝の内
側に傾斜する1対の斜面にそれぞれ設けられたので、互
いの電極の薄膜の側面及び表面を略対向させることがで
きてそれぞれの電極の対向面積をさらに広くすることが
でき、その結果、検出精度をさらに向上させることがで
きるという効果がある。
が形成され、白金電極および銀／塩化銀電極は、溝の内
側に傾斜する1対の斜面にそれぞれ設けられたので、互
いの電極の薄膜の側面及び表面を略対向させることがで
きてそれぞれの電極の対向面積をさらに広くすることが
でき、その結果、検出精度をさらに向上させることがで
きるという効果がある。
【００２９】請求項３の発明は、白金の薄膜により互い
に径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に接
続された複数の白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により互
いに径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に
接続された複数の銀/塩化銀電極と、白金電極と銀/塩化
銀電極が交互に略同心円状に配置された絶縁性の基板
と、白金電極と銀/塩化銀電極との間に介在し、互いの
電極を電気的に絶縁する薄膜とを有するので、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに互いの電極が交互に略同心円状に配置された
ことによって、それぞれ一方の電極は他方の電極と内側
と外側とで略対向することができて、対向面積を広くす
ることができ、その結果、電極間に流れる電流量を多く
して、検出精度を向上させることができるという効果が
ある。
に径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に接
続された複数の白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により互
いに径の異なった略リング状に形成され、且つ電気的に
接続された複数の銀/塩化銀電極と、白金電極と銀/塩化
銀電極が交互に略同心円状に配置された絶縁性の基板
と、白金電極と銀/塩化銀電極との間に介在し、互いの
電極を電気的に絶縁する薄膜とを有するので、それぞれ
の電極が薄膜により形成されたことによって、装置全体
を小型化することができて、低コスト化を図ることがで
き、さらに互いの電極が交互に略同心円状に配置された
ことによって、それぞれ一方の電極は他方の電極と内側
と外側とで略対向することができて、対向面積を広くす
ることができ、その結果、電極間に流れる電流量を多く
して、検出精度を向上させることができるという効果が
ある。
【００３０】請求項４の発明は、白金の薄膜により形成
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により形成された
銀/塩化銀電極と、表面に一方の電極を形成する絶縁性
の基板と、絶縁性の薄膜により形成され、基板上に形成
された電極に隙間をあけて略対向するように他方の電極
を支持する支持部とを有するので、それぞれの電極が薄
膜により形成されたことによって、装置全体を小型化す
ることができて、低コスト化を図ることができ、また支
持部に支持される電極の表面と基板上の電極の表面とが
略対向することによって、それぞれの電極の対向面積を
広くすることができ、さらに両電極表面間の隙間を狭く
することによって、電極間に流れる電流量を多くして、
検出精度を向上させることができるという効果がある。
された白金電極と、銀/塩化銀の薄膜により形成された
銀/塩化銀電極と、表面に一方の電極を形成する絶縁性
の基板と、絶縁性の薄膜により形成され、基板上に形成
された電極に隙間をあけて略対向するように他方の電極
を支持する支持部とを有するので、それぞれの電極が薄
膜により形成されたことによって、装置全体を小型化す
ることができて、低コスト化を図ることができ、また支
持部に支持される電極の表面と基板上の電極の表面とが
略対向することによって、それぞれの電極の対向面積を
広くすることができ、さらに両電極表面間の隙間を狭く
することによって、電極間に流れる電流量を多くして、
検出精度を向上させることができるという効果がある。
【００３１】請求項５の発明は、支持部は、電極が形成
され基板に略対向する対向部と、対向部の両端に形成さ
れ、基板上に固定される固定部とを有して略ブリッジ状
に形成されたので、請求項４の発明と同様の効果を奏す
る。
され基板に略対向する対向部と、対向部の両端に形成さ
れ、基板上に固定される固定部とを有して略ブリッジ状
に形成されたので、請求項４の発明と同様の効果を奏す
る。
【００３２】請求項６の発明は、支持部は、電極が形成
され基板に略対向する対向部と、対向部の一端に形成さ
れ、基板上に固定される固定部とを有したので、両電極
間付近に在る構成部材を請求項５の発明よりも少なくで
き、その結果、例えば水道水などの測定対象となる液体
の流れが両電極間付近でスムーズになり検出精度の信頼
性を向上させることができるという効果がある。
され基板に略対向する対向部と、対向部の一端に形成さ
れ、基板上に固定される固定部とを有したので、両電極
間付近に在る構成部材を請求項５の発明よりも少なくで
き、その結果、例えば水道水などの測定対象となる液体
の流れが両電極間付近でスムーズになり検出精度の信頼
性を向上させることができるという効果がある。
【図１】実施形態１を示す正面図である。
【図２】実施形態２を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は
正面図である。
正面図である。
【図３】実施形態３を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は
正面図である。
正面図である。
【図４】実施形態４を示す断面図である。
【図５】同上の他の例を示す断面図である。
１ 基板 １０ａ 白金電極 １０ｂ 銀／塩化銀電極 １１ａ，１１ｂ 主部 １２ａ，１２ｂ 突部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有井 康孝 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 飯高 幸男 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 白金の薄膜により略櫛形に形成された白
金電極と、銀/塩化銀の薄膜により略櫛形に形成された
銀／塩化銀電極と、絶縁性の基板とを有し、白金電極お
よび銀/塩化銀電極が互いに噛み合うように略対向して
基板上に形成されたことを特徴とする塩素イオンセン
サ。 - 【請求項２】 基板には略Ｖ字状の溝が形成され、白金
電極および銀／塩化銀電極は、溝の内側に傾斜する1対
の斜面にそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１
記載の塩素イオンセンサ。 - 【請求項３】 白金の薄膜により互いに径の異なった略
リング状に形成され、且つ電気的に接続された複数の白
金電極と、銀/塩化銀の薄膜により互いに径の異なった
略リング状に形成され、且つ電気的に接続された複数の
銀/塩化銀電極と、白金電極と銀/塩化銀電極が交互に略
同心円状に配置された絶縁性の基板と、白金電極と銀/
塩化銀電極との間に介在し、互いの電極を電気的に絶縁
する薄膜とを有することを特徴とする塩素イオンセン
サ。 - 【請求項４】 白金の薄膜により形成された白金電極
と、銀/塩化銀の薄膜により形成された銀/塩化銀電極
と、表面に一方の電極を形成する絶縁性の基板と、絶縁
性の薄膜により形成され、基板上に形成された電極に隙
間をあけて略対向するように他方の電極を支持する支持
部とを有することを特徴とする塩素イオンセンサ。 - 【請求項５】 支持部は、電極が形成され基板に略対向
する対向部と、対向部の両端に形成され、基板上に固定
される固定部とを有して略ブリッジ状に形成されたこと
を特徴とする請求項４記載の塩素イオンセンサ。 - 【請求項６】 支持部は、電極が形成され基板に略対向
する対向部と、対向部の一端に形成され、基板上に固定
される固定部とを有したことを特徴とする請求項４記載
の塩素イオンセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33508099A JP2001153832A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 塩素イオンセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33508099A JP2001153832A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 塩素イオンセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001153832A true JP2001153832A (ja) | 2001-06-08 |
Family
ID=18284552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33508099A Withdrawn JP2001153832A (ja) | 1999-11-25 | 1999-11-25 | 塩素イオンセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001153832A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009544936A (ja) * | 2006-07-21 | 2009-12-17 | アナクシス テクノロジー リミテッド | ガスセンサ |
-
1999
- 1999-11-25 JP JP33508099A patent/JP2001153832A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009544936A (ja) * | 2006-07-21 | 2009-12-17 | アナクシス テクノロジー リミテッド | ガスセンサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070206 |