KR970071003A - 불활성 가스 감지용 가스/수분 센서 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 수 ppb 레벨로 가스/수분 센서로 기능하도록 한 쌍의 전극 위로 주조된 과불소화된 이온-교환 중합체를 가진 개량 전해식 가스/수분 센서에 관한 것이다. 음극 및 양극은 금 표면 필름을 가진 음극 및 로듐 표면을 가진 양극과 함께 고체 전해질과 통합된 맞물린 그리드로 배열되어 있어서 재조합 반응 또는 전극들 사이의 금속 이온의 이동 없이 수 ppb 레벨 이하로 수분 레벨을 감지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 전해식 수분 감지 전지 조립체에 대한 분해도로서, 부품들을 분해하고, 기타 부재들은 블록형으로 도시한 본 발명을 구체화한 도면, 제2도는 서로 맞물린 전도 라인이 장착된 제1도의 기판의 분리 평면도로서, 상부에 전해질층을 가진 두 개 전극의 수분 감지 전지에 대한 도면, 제3도는 제2도의 전극 단자의 개략도로서, 그 단자에 연결된 전압 및 전류 감지 회로를 예시한 도면.
Claims (8)
- 수소, 산소 및 공기를 포함하는 불활성 가스중의 수분 농도를 수 ppb(parts per billion) 레벨로 감지하는 수분 센서로서, 절연성 비수분 흡수성 기판과, 이 기판상에 용착된 다수의 전극과, 센서의 전해질로서 기능하도록 전극위에 용착된 과불소화된 이온-교환 중합체 전도 부재의 고형 박필름을 구비하며, 상기 전해질 필름은 사전선택된 산(들)으로 처리되어 약 180℃ 이하의 온도로 상기 전해질 필름의 이온 전도성을 유지하고 전해질로서 기능하여, 상기 전해질 필름위로 수송된 불활성 가스로부터 흡수된 수분이 상기 전극들 사이에 지정된 전해 위치차를 걸 때 전해질 필름을 통해 확산하여 전극에 도달하며, 상기 전극중의 하나는 금으로 구성되고 센서의 음극으로 기능하고, 다른 하나의 전극은 로듐으로 구성되고 센서의 양극으로 기능하여, 전극들 사이에 어떠한 금속 이온의 이동도 없고 수소 및 산소의 재조합 반응도 없이 수소, 산소 및 공기를 포함하는 상기 불활성 기체중의 수분을 감지하는 수분 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 전극이 수 ppb 레벨 이하로 불활성 가스중의 수분을 측정하기 위해 지정된 거리의 전극간 간격으로 상기 금속의 서로 맞물린 그리드내에 배치되어 있는 수분 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전극들 사이의 상기 지정 전해 전위차가 5 내지 20볼트로서, 수 ppb의 수분 레벨을 작동적으로 감지하기 위한 상기 5 내지 20볼트 범위에서 선택되는 수분 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 감지될 불활성 가스중의 수분은 모두 수분 민감성 전해질층을 통해 확산하여 전극들에 도달해야 하며, 따라서 상기 불활성 가스중의 수분 농도의 측정이 수분의 부분압에 따라 좌우되나 상기 가스의 유속과는 무관한 수분 센서.
- 수소, 산소 및 공기를 포함하는 불활성 가스중의 미량의 수분 농도를 감지하는 수분 센서로서, 양극과 음극을 가진 전해식 센서 및 상기 불활성 가스중의 수분을 감지하기 위해 상기 전극들과 함께 배열된 전해질을 포함하는 수분 센서에 있어서, 상기 전극들 사이에 지정 전해 전압을 걸 때 전해질에 가해진 가스중의 수분 농도를 나타내는 전기적 출력 신호를 제공하는 로듐 표면을 가진 양극과 금 표면을 가진 음극을 포함하는 수분 센서.
- 수소, 산소 및 공기를 포함하는 불활성 가스중의 수분 농도를 ppb 레벨로 감지할 수 있는 전해식 수분 센서로서, 전해질에 가해진 상기 가스중의 수분을 흡수하고 전해질을 통해 전극까지 확산하는 흡습성 전해질로 덮인 한 쌍의 전극을 가진 전해식 센서를 가지는 수분 센서에 있어서, 음극은 금 표면을 가지고 양극은 로듐 표면을 가지며, 각각의 표면은 상기 전해질에 의해 덮여 있어서, 상기 전극들 사이에 선택된 작동성 전해 전위차를 걸 때 전해질에 의해 흡수된 수분에 의해 생긴 전류는 전해 생성물의 접촉 재조합 반응 및 전극들 사이에 이동 효과를 생성시키지 않으면서, 가해진 가스중의 수분 농도를 직접 나타내는 전해식 수분 센서.
- 제6항에 있어서, 상기 전해질이 전극쌍상에 스핀-주조되고 산으로 사전처리된 고형의 과불소화된 이온-교환 중합체를 포함하는 전해식 수분 센서.
- 가스중의 수분 농도를 포함하여 가스 혼합물중 가스의 농도를 감지하며 두 개 이상의 전극을 가진 전해식 가스 센서에 있어서, 두 개의 전극은 저 ppb 레벨로 감지하기 위한 지정 거리의 전극간 간격을 가진 금속 전극들의 맞물린 그리드로 배열되고, 전극중 하나는 양극으로 기능하고 로듐 표면으로 구성 및 구획되며, 다른 하나의 전극은 음극으로 기능하고 금 표면으로 구성 및 구획되어, 제조합 반응 및/또는 금속 이온 이동 문제 없이 가스 농도를 감지할 수 있는 전해식 가스 센서.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
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