JP2001151911A - プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法 - Google Patents
プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】大がかりな装置を設備することなしに、かつ無
駄なプラスチックフィルムを使用することなしに、高清
浄化プラスチックフィルム又はシートを得られるように
する。 【解決手段】プラスチックフィルム又はシート１５をク
リーンルーム又はクリーンブース１６内で高清浄化する
方法であって、該清浄化方法が、プラスチックフィルム
又はシート１５にイオナイズドエアー１９を吹き付け除
電処理する工程と、無塵空気中で振動発生装置１７を使
用して振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とす
る。
駄なプラスチックフィルムを使用することなしに、高清
浄化プラスチックフィルム又はシートを得られるように
する。 【解決手段】プラスチックフィルム又はシート１５をク
リーンルーム又はクリーンブース１６内で高清浄化する
方法であって、該清浄化方法が、プラスチックフィルム
又はシート１５にイオナイズドエアー１９を吹き付け除
電処理する工程と、無塵空気中で振動発生装置１７を使
用して振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックフィ
ルム又はシートの高清浄化方法に関するものであり、特
に半導体、精密機器、電子機器棟の製造物や医療に関連
する機具類、さらには清浄室内で使用される衣服や手袋
等を包装するために使用されるプラスチックフィルム又
はシートの高清浄化方法と該高清浄化方法により作製さ
れた清浄度の高いプラスチックフィルム又はシートから
構成された高清浄プラスチック袋に関する。
ルム又はシートの高清浄化方法に関するものであり、特
に半導体、精密機器、電子機器棟の製造物や医療に関連
する機具類、さらには清浄室内で使用される衣服や手袋
等を包装するために使用されるプラスチックフィルム又
はシートの高清浄化方法と該高清浄化方法により作製さ
れた清浄度の高いプラスチックフィルム又はシートから
構成された高清浄プラスチック袋に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や精密機器といった製品は、極端
にゴミ、埃、チリといった塵埃を嫌うため、その製造は
清浄度の高い室内で行われ、さらに清浄度の高い治具を
用い、製造作業員の衣服、手袋といったものも高い清浄
度のものが用いられる。このような環境に清浄室外から
物品を持ち込む際にはプラスチック製の袋に入れること
が多いが、このプラスチック製の袋が清浄室を汚染する
原因となることもある。すなわち、プラスチック製の袋
の内面及び外面が塵埃によって汚染されていることが多
いためである。よって、内外面とも塵埃のない清浄なプ
ラスチック製の袋が常に要求されている。
にゴミ、埃、チリといった塵埃を嫌うため、その製造は
清浄度の高い室内で行われ、さらに清浄度の高い治具を
用い、製造作業員の衣服、手袋といったものも高い清浄
度のものが用いられる。このような環境に清浄室外から
物品を持ち込む際にはプラスチック製の袋に入れること
が多いが、このプラスチック製の袋が清浄室を汚染する
原因となることもある。すなわち、プラスチック製の袋
の内面及び外面が塵埃によって汚染されていることが多
いためである。よって、内外面とも塵埃のない清浄なプ
ラスチック製の袋が常に要求されている。
【０００３】プラスチック袋を清浄化するには、プラス
チック袋そのものあるいはプラスチックフィルム又はシ
ートを清浄化し、それを清浄室内で製袋する方法が知ら
れている。プラスチックフィルム又はシートの清浄化に
は、プラスチックフィルム又はシートを超純水で洗浄す
る方法（ＷＯ９７−１４６２８号公報）や、包装に用い
られる内層フィルム又はシートの表裏両面を外層フィル
ム又はシートにより剥離可能に被覆して内層フィルム又
はシートの汚染を防止し、使用に際して外層フィルム又
はシートを剥離し、内層フィルム又はシートにより被包
装体を包装する方法（特開平６−２８５９４４号公報）
などがある。
チック袋そのものあるいはプラスチックフィルム又はシ
ートを清浄化し、それを清浄室内で製袋する方法が知ら
れている。プラスチックフィルム又はシートの清浄化に
は、プラスチックフィルム又はシートを超純水で洗浄す
る方法（ＷＯ９７−１４６２８号公報）や、包装に用い
られる内層フィルム又はシートの表裏両面を外層フィル
ム又はシートにより剥離可能に被覆して内層フィルム又
はシートの汚染を防止し、使用に際して外層フィルム又
はシートを剥離し、内層フィルム又はシートにより被包
装体を包装する方法（特開平６−２８５９４４号公報）
などがある。
【０００４】プラスチックフィルム又はシートを超純水
で清浄化する方法では、洗浄に用いる超純水の水質管理
やプラスチックフィルム又はシートを洗浄後に乾燥させ
るための設備等にかなりの費用がかかり、それが包装材
料のコストアップへつながっている。また、プラスチッ
クフィルム又はシートを外層により被覆する方法では、
剥離した後の外層が無駄になり、これも包装材料のコス
トアップへつながっている。
で清浄化する方法では、洗浄に用いる超純水の水質管理
やプラスチックフィルム又はシートを洗浄後に乾燥させ
るための設備等にかなりの費用がかかり、それが包装材
料のコストアップへつながっている。また、プラスチッ
クフィルム又はシートを外層により被覆する方法では、
剥離した後の外層が無駄になり、これも包装材料のコス
トアップへつながっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、大が
かりな設備の設置をすること無しに、かつ無駄なプラス
チックフィルムを使用すること無しに高清浄化プラスチ
ックフィルム又はシートを得られるようにすることにあ
る。
かりな設備の設置をすること無しに、かつ無駄なプラス
チックフィルムを使用すること無しに高清浄化プラスチ
ックフィルム又はシートを得られるようにすることにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、プラスチック
フィルム又はシートをクリーンルーム又はクリーンブー
ス内で高清浄化する方法であって、該高清浄化方法が、
プラスチックフィルム又はシートを除電処理する工程と
無塵空気中で振動させて洗浄する工程とを含むことを特
徴とするプラスチックフィルム又はシートの高清浄化方
法である。
フィルム又はシートをクリーンルーム又はクリーンブー
ス内で高清浄化する方法であって、該高清浄化方法が、
プラスチックフィルム又はシートを除電処理する工程と
無塵空気中で振動させて洗浄する工程とを含むことを特
徴とするプラスチックフィルム又はシートの高清浄化方
法である。
【０００７】また、本発明は、上記した方法によって得
られる高清浄プラスチックフィルム又はシートであっ
て、そのプラスチックフィルム又はシートの試験片を無
塵空気中で振動させてプラスチックフィルム又はシート
の表面に付着した微粒子を無塵空気中に離脱、分散させ
た時、その空気中に分散している寸法０．３μｍ以上の
微粒子の濃度（個数）がプラスチックフィルム又はシー
トの片面で１０００個／ｃｍ2 以下である高清浄プラス
チックフィルム又はシートを提供するものである。
られる高清浄プラスチックフィルム又はシートであっ
て、そのプラスチックフィルム又はシートの試験片を無
塵空気中で振動させてプラスチックフィルム又はシート
の表面に付着した微粒子を無塵空気中に離脱、分散させ
た時、その空気中に分散している寸法０．３μｍ以上の
微粒子の濃度（個数）がプラスチックフィルム又はシー
トの片面で１０００個／ｃｍ2 以下である高清浄プラス
チックフィルム又はシートを提供するものである。
【０００８】プラスチックフィルム又はシートの材質
は、一般的に用いられるポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ナイロン、ポリエステル、エチレン−ビニルアルコ
ール共重合体などであり、フィルム又はシートに成形で
きるものであれば特に制限なく使用できる。これらは単
層又はラミネートされた多層であってもよい。特に好ま
しいのは、フィルム又はシートの表面電気抵抗が１０9
Ω／□以下のものである。プラスチックフィルム又はシ
ートの厚みにも特に制限がないが、好ましくは３０〜１
５０μｍの範囲のものが使用される。
は、一般的に用いられるポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ナイロン、ポリエステル、エチレン−ビニルアルコ
ール共重合体などであり、フィルム又はシートに成形で
きるものであれば特に制限なく使用できる。これらは単
層又はラミネートされた多層であってもよい。特に好ま
しいのは、フィルム又はシートの表面電気抵抗が１０9
Ω／□以下のものである。プラスチックフィルム又はシ
ートの厚みにも特に制限がないが、好ましくは３０〜１
５０μｍの範囲のものが使用される。
【０００９】本発明のプラスチックフィルム又はシート
が対象とする塵埃はその多くを０．１〜１０μｍ程度の
寸法とする微粒子である。光学顕微鏡等による直接測定
ではこのような微粒子の数の測定は難しく、かつプラス
チックフィルム又はシート製造中に測定することができ
ない。そこで本発明では、光散乱式自動粒子計測器を用
いてプラスチックフィルム又はシート表面に付着した微
粒子の数を測定している。その概略を図１によって説明
する。
が対象とする塵埃はその多くを０．１〜１０μｍ程度の
寸法とする微粒子である。光学顕微鏡等による直接測定
ではこのような微粒子の数の測定は難しく、かつプラス
チックフィルム又はシート製造中に測定することができ
ない。そこで本発明では、光散乱式自動粒子計測器を用
いてプラスチックフィルム又はシート表面に付着した微
粒子の数を測定している。その概略を図１によって説明
する。
【００１０】無塵空気を循環して清浄度を保っている清
浄化室１６内部に測定するプラスチックフィルム又はシ
ート１５を通過させる。その際、振動発生装置１７でプ
ラスチックフィルム又はシートに振動を与え、それによ
ってプラスチックフィルム又はシート表面の微粒子を飛
散させる。清浄化室内は常にフィルター１１で除塵され
た無塵空気が空気導入筒１３から供給されている。振動
によって飛散した微粒子は無塵空気と共に排気筒１４か
ら強制的にポンプ１８によって排気され、その排気空気
は光散乱式微粒子測定器１２に導入され、排気空気中の
微粒子数が測定される。
浄化室１６内部に測定するプラスチックフィルム又はシ
ート１５を通過させる。その際、振動発生装置１７でプ
ラスチックフィルム又はシートに振動を与え、それによ
ってプラスチックフィルム又はシート表面の微粒子を飛
散させる。清浄化室内は常にフィルター１１で除塵され
た無塵空気が空気導入筒１３から供給されている。振動
によって飛散した微粒子は無塵空気と共に排気筒１４か
ら強制的にポンプ１８によって排気され、その排気空気
は光散乱式微粒子測定器１２に導入され、排気空気中の
微粒子数が測定される。
【００１１】次に、本発明の高清浄プラスチックフィル
ム又はシートの製造方法を図２によって説明する。使用
されるプラスチックフィルム又はシートはできればすで
に高清浄度を保っているものが好ましいが、それによっ
て本発明が限定されるものではない。プラスチックフィ
ルム又はシート１５は無塵空気を循環して清浄度を保っ
ている清浄化室１６内部を通過する。その際、プラスチ
ックフィルム又はシート１５はノズル１９からイオナイ
ズドエアーを吹き付け除電処理し、その後、振動発生装
置１７で振動を与え、それによってプラスチックフィル
ム又はシート表面の微粒子を飛散させる。清浄化室内は
常にフィルターで除塵された無塵空気が空気導入筒１３
から供給されている。振動によって飛散した微粒子は無
塵空気と共に排気筒１４から強制的に排気され、その排
気空気は光散乱式自動粒子計測器に導入され、排気空気
中の微粒子数が測定される。
ム又はシートの製造方法を図２によって説明する。使用
されるプラスチックフィルム又はシートはできればすで
に高清浄度を保っているものが好ましいが、それによっ
て本発明が限定されるものではない。プラスチックフィ
ルム又はシート１５は無塵空気を循環して清浄度を保っ
ている清浄化室１６内部を通過する。その際、プラスチ
ックフィルム又はシート１５はノズル１９からイオナイ
ズドエアーを吹き付け除電処理し、その後、振動発生装
置１７で振動を与え、それによってプラスチックフィル
ム又はシート表面の微粒子を飛散させる。清浄化室内は
常にフィルターで除塵された無塵空気が空気導入筒１３
から供給されている。振動によって飛散した微粒子は無
塵空気と共に排気筒１４から強制的に排気され、その排
気空気は光散乱式自動粒子計測器に導入され、排気空気
中の微粒子数が測定される。
【００１２】好ましくは図２に示されているように複数
の空気導入筒と排気筒の組み合わせを設置することが望
まれるが、当然単数でもよく、空気導入筒と排気筒の組
み合わせ数で本発明が限定されるものではない。また、
図２では洗浄するプラスチックフィルム又はシートの片
面のみに振動を与えるように図示してあるが、これは清
浄化室内の装置を上下逆に配置したものを追加すること
によって両面を清浄化可能にできるものであり、本発明
を限定するものではない。
の空気導入筒と排気筒の組み合わせを設置することが望
まれるが、当然単数でもよく、空気導入筒と排気筒の組
み合わせ数で本発明が限定されるものではない。また、
図２では洗浄するプラスチックフィルム又はシートの片
面のみに振動を与えるように図示してあるが、これは清
浄化室内の装置を上下逆に配置したものを追加すること
によって両面を清浄化可能にできるものであり、本発明
を限定するものではない。
【００１３】本発明の製造方法によって、高清浄プラス
チックフィルム又はシートが製造されることから、本製
造方法は、可能な限り清浄な空間内で実施されることが
望ましい。しかし、これも本発明を限定するものではな
い。
チックフィルム又はシートが製造されることから、本製
造方法は、可能な限り清浄な空間内で実施されることが
望ましい。しかし、これも本発明を限定するものではな
い。
【００１４】本発明の方法によれば、少なくとも０．３
μｍ以上の大きさの粒子は全て除去が可能である。しか
し、処理工程の経済性および要求される品質によって
は、処理条件（単位面積当たりの処理時間や振動の強
さ）をコントロールし、一定の（完全除去されてはいな
い）清浄度を有するフィルム又はシートを得るようにし
ても良い。
μｍ以上の大きさの粒子は全て除去が可能である。しか
し、処理工程の経済性および要求される品質によって
は、処理条件（単位面積当たりの処理時間や振動の強
さ）をコントロールし、一定の（完全除去されてはいな
い）清浄度を有するフィルム又はシートを得るようにし
ても良い。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、実施例により具体的に説明
する。 〈実施例１〉成形後、ブリードアウトして清浄度を損な
うような添加剤を含まないポリエチレンフィルムをロー
ルに巻き取った。フィルムの厚さは８０μｍ、フィルム
の幅は８０ｃｍであった。清浄化室内に供給される無塵
空気は０．３μｍの塵埃微粒子をフィルターにより９
９．９７％除去して３．５個／ｃｍ3 以下としたものを
用いた。ロールに巻かれたフィルムを図２に示す洗浄装
置により洗浄した。この洗浄装置を設置したクリーンル
ーム内の清浄度はクラス１０００とした。
する。 〈実施例１〉成形後、ブリードアウトして清浄度を損な
うような添加剤を含まないポリエチレンフィルムをロー
ルに巻き取った。フィルムの厚さは８０μｍ、フィルム
の幅は８０ｃｍであった。清浄化室内に供給される無塵
空気は０．３μｍの塵埃微粒子をフィルターにより９
９．９７％除去して３．５個／ｃｍ3 以下としたものを
用いた。ロールに巻かれたフィルムを図２に示す洗浄装
置により洗浄した。この洗浄装置を設置したクリーンル
ーム内の清浄度はクラス１０００とした。
【００１６】図２において洗浄するプラスチックフィル
ムと空気導入筒及び排気筒の間隔は１０ｍｍとした。ま
た、フィルムの走行速度は５ｍ／分とした。振動装置に
は超音波振動装置を用い、その周波数は３８ｋＨｚとし
た。供給する空気量は３０リットル／分、排気量は２
８．３リットル／分とし、清浄化室内がやや陽圧になる
ように保った。
ムと空気導入筒及び排気筒の間隔は１０ｍｍとした。ま
た、フィルムの走行速度は５ｍ／分とした。振動装置に
は超音波振動装置を用い、その周波数は３８ｋＨｚとし
た。供給する空気量は３０リットル／分、排気量は２
８．３リットル／分とし、清浄化室内がやや陽圧になる
ように保った。
【００１７】このプラスチックフィルム表面に付着した
塵埃微粒子数は、排気筒後に設置した光分散式自動粒子
計測器によって計測され、清浄化室内を通過したプラス
チックフィルム面積から単位面積あたりの微粒子数が算
出された。その結果、最終段での単位面積あたりの寸法
０．３μｍ以上の微粒子数は４個／ｃｍ2 であった。
塵埃微粒子数は、排気筒後に設置した光分散式自動粒子
計測器によって計測され、清浄化室内を通過したプラス
チックフィルム面積から単位面積あたりの微粒子数が算
出された。その結果、最終段での単位面積あたりの寸法
０．３μｍ以上の微粒子数は４個／ｃｍ2 であった。
【００１８】〈比較例１〉比較例として、図２の装置か
ら超音波振動装置を取り外し、その他の条件は実施例と
同様として、無塵空気による吹き付けだけでの塵埃微粒
子除去を試みた。その結果、最終段階での単位面積あた
りの寸法０．３μｍ以上の微粒子数は１５２３８個／ｃ
ｍ2 であった。
ら超音波振動装置を取り外し、その他の条件は実施例と
同様として、無塵空気による吹き付けだけでの塵埃微粒
子除去を試みた。その結果、最終段階での単位面積あた
りの寸法０．３μｍ以上の微粒子数は１５２３８個／ｃ
ｍ2 であった。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、プラスチックフィルム
又はシートの片面あるいは両面を従来にない高度な清浄
度に容易にすることができる。このような高清浄プラス
チックフィルム又はシートは、高い清浄度が要求される
半導体分野等での使用に好適である。また、プラスチッ
クフィルム又はシートの洗浄を連続的かつ大がかりな設
備の追加無しで達成できるので、効率がよく、コスト的
にも良好な高清浄プラスチックフィルム又はシートを製
造することができる。
又はシートの片面あるいは両面を従来にない高度な清浄
度に容易にすることができる。このような高清浄プラス
チックフィルム又はシートは、高い清浄度が要求される
半導体分野等での使用に好適である。また、プラスチッ
クフィルム又はシートの洗浄を連続的かつ大がかりな設
備の追加無しで達成できるので、効率がよく、コスト的
にも良好な高清浄プラスチックフィルム又はシートを製
造することができる。
【図１】プラスチックフィルム又はシートに付着した微
粒子数の測定方法の概略説明図である。
粒子数の測定方法の概略説明図である。
【図２】本発明のプラスチックフィルム又はシートの高
清浄化方法を用いて作製される高清浄プラスチックフィ
ルム又はシートの製造方法の一例を示す模式説明図であ
る。
清浄化方法を用いて作製される高清浄プラスチックフィ
ルム又はシートの製造方法の一例を示す模式説明図であ
る。
１１‥‥フィルター １２‥‥光散乱式微粒子測定器 １３‥‥空気導入筒 １４‥‥廃棄筒 １５‥‥プラスチックフィルム又はシート １６‥‥清浄化室 １７‥‥振動発生装置 １８‥‥ポンプ １９‥‥イオナイズドエアー吹き付けノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ // Ｃ０８Ｌ 101:00 Ｃ０８Ｌ 101:00
Claims (12)
- 【請求項１】プラスチックフィルム又はシートをクリー
ンルーム又はクリーンブース内で高清浄化する方法であ
って、該高清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシ
ートを除電処理する工程と無塵空気中で振動させて洗浄
する工程とを含むことを特徴とするプラスチックフィル
ム又はシートの高清浄化方法。 - 【請求項２】前記クリーンルーム又はクリーンブースが
クラス１０００以上の清浄度であることを特徴とする請
求項１記載のプラスチックフィルム又はシートの高清浄
化方法。 - 【請求項３】前記除電処理工程が、除電空気、イオナイ
ズドエアー、加湿空気、加湿イオナイズドエアーのいず
れか一つ又は複数の組み合わせであることを特徴とする
請求項１記載のプラスチックフィルム又はシートの高清
浄化方法。 - 【請求項４】前記洗浄のための振動工程が、超音波印
加、乱流空気流の吹き付けのいずれか一つ又は複数の組
み合わせであることを特徴とする請求項１記載のプラス
チックフィルム又はシートの高清浄化方法。 - 【請求項５】寸法０．３μｍ以上の微粒子で３．５個／
ｃｍ3 以下である無塵空気をクリーンルーム又はクリー
ンブース内に連続して供給することを特徴とする請求項
１記載のプラスチックフィルム又はシートの高清浄化方
法。 - 【請求項６】前記高清浄化が、クリーンルーム又はクリ
ーンブース内で、プラスチックフィルム又はシートを除
電処理し、無塵空気中で振動させてプラスチックフィル
ム又はシートの表面に付着した微粒子を無塵空気中に離
脱、分散させる工程を含んでなることを特徴とする請求
項１記載のプラスチックフィルム又はシートの高清浄化
方法。 - 【請求項７】前記高清浄化処理前のプラスチックフィル
ム又はシートとして、表面電気抵抗が１０9 Ω／□以下
のプラスチックフィルム又はシートを用いることを特徴
とする請求項１記載のプラスチックフィルム又はシート
の高清浄化方法。 - 【請求項８】前記高清浄化によって得られるプラスチッ
クフィルム又はシートが、そのプラスチックフィルム又
はシートの試験片を無塵空気中で振動させてプラスチッ
クフィルム又はシートの表面に付着した微粒子を無塵空
気中に離脱、分散させた時、フィルム又はシート表面に
付着している寸法０．３μｍ以上の微粒子の濃度（個
数）がプラスチックフィルム又はシートの片面で１００
０個／ｃｍ2 以下となる条件で高清浄化処理を行うこと
を特徴とする請求項１記載のプラスチックフィルム又は
シートの高清浄化方法。 - 【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載された
方法によって得られたプラスチックフィルム又はシート
の表面に付着した微粒子を無塵空気中に離脱、分散させ
た時、その空気中に分散している寸法０．３μｍ以上の
微粒子の濃度（個数）がプラスチックフィルム又はシー
トの片面で１０００個／ｃｍ2 以下であることを特徴と
する高清浄プラスチックフィルム又はシート。 - 【請求項１０】前記プラスチックフィルム又はシートの
表面電気抵抗が１０9 Ω／□以下であることを特徴とす
る請求項９記載の高清浄プラスチックフィルム又はシー
ト。 - 【請求項１１】請求項９又は１０記載の高清浄プラスチ
ックフィルム又はシートで構成されたことを特徴とする
高清浄プラスチック袋。 - 【請求項１２】前記プラスチックフィルム又はシートが
３０〜１５０μｍの厚さを有することを特徴とする請求
項１１記載の高清浄プラスチック袋。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33967899A JP2001151911A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33967899A JP2001151911A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001151911A true JP2001151911A (ja) | 2001-06-05 |
Family
ID=18329772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33967899A Pending JP2001151911A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001151911A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004202288A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | エアブロー装置及びエアブロー方法 |
| JP2007152222A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Hitachi Plant Technologies Ltd | フィルムロールの除塵方法及びフィルムロール用除塵設備 |
| JP2007185640A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 異物付着防止装置 |
| JP2008290789A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | National Printing Bureau | 紙葉類処理装置 |
| JP2008298320A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 |
| JP2014007077A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 異物除去装置 |
| CN112323450A (zh) * | 2020-11-03 | 2021-02-05 | 温州邑品鞋业有限公司 | 全自动送料服装裁剪机 |
| CN113061877A (zh) * | 2021-04-02 | 2021-07-02 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 高洁净度apcvd成膜设备及其成膜方法 |
-
1999
- 1999-11-30 JP JP33967899A patent/JP2001151911A/ja active Pending
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