JP2001300459A - 高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法及びそれを用いた高清浄包装袋 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】大がかりな設備の設置したりせずに、安価で高
能率的な高清浄化プラスチックフィルム又はシートの製
造方法の提供にある。 【解決手段】洗浄室１２内でプラスチックフィルム又は
シート１１の表面に霧状の洗浄用液体を洗浄用液体供給
ノズル１３により吹きつける洗浄工程と付着したプラス
チックフィルム又はシート１１表面の洗浄用液体を、無
塵気体を無塵気体供給ノズル１５で吹き付けて離脱、分
散させる液体除去部１４内の除去工程とからなる洗浄装
置１００を用いる高清浄プラスチックフィルム又はシー
ト１の製造方法とするものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックフィ
ルム又はシートの高清浄化方法に関するものであり、特
に半導体、精密機器、電子機器等の製造物や医療に関連
する機具類、さらには清浄室内で使用される衣服や手袋
等を包装するために使用されるプラスチックフィルム又
はシートの高清浄化方法と該高清浄化方法により作製さ
れた高清浄プラスチック袋に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体や精密機器の如き製品は、極端に
ゴミ、埃、チリといった塵埃を嫌うため、その製造は清
浄度の高い室内で行われ、さらに清浄度の高い治具を用
い、製造作業員の衣服、手袋も高い清浄度のものが用い
られる。このような環境に清浄室外から物品を持ち込む
際にはプラスチック製の袋に入れることが多いが、この
プラスチック製の袋が清浄室を汚染する原因となること
もある。すなわち、プラスチック製の袋の内面及び外面
が塵埃によって汚染されていることが多いためである。
よって、内外面とも塵埃のない清浄なプラスチック製の
袋が常に要求されている。

【０００３】従来、上記プラスチック製の袋を清浄化す
る方法には、プラスチック製の袋そのものあるいはプラ
スチックフィルム又はシートを清浄化し、それを清浄室
内で製袋する方法などが知られている。後者のプラスチ
ックフィルム又はシートの清浄化方法として、例えば特
開平９−８１４６２８号公報に提案されているように、
プラスチックフィルム又はシートを超純水中に浸漬して
洗浄する方法や、特開平６−２８５９４４号公報に提案
されているように、包装に用いられる内層フィルム又は
シートの表裏両面を外層フィルム又はシートにより剥離
可能に被覆して、内層フィルム又はシートの汚染を防止
し、使用に際して外層フィルム又はシートを剥離し、そ
の内層フィルム又はシートにより被包装体を包装する方
法などがある。

【０００４】しかし、上記プラスチックフィルム又はシ
ートを超純水で清浄化する方法では、洗浄に用いる超純
水の水質管理やプラスチックフィルム又はシートを洗浄
後に乾燥させるための設備等にかなりの費用を要し、そ
れが包装材料のコスト高となる問題があった。

【０００５】また、上記プラスチックフィルム又はシー
トを外層により被覆する方法では、剥離した後の外層が
無駄になり、よってこれも包装材料のコストアップとな
るという問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解決するものであり、その課題とすると
ころは、大がかりな設備の設置したり、無駄なプラスチ
ックフィルムを使用したりせずに、安価で高能率的な高
清浄化プラスチックフィルム又はシートの製造方法を提
供し、その製造方法により得られた高清浄プラスチック
フィルム又はシートを用いた高清浄包装袋を提供するこ
とにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１の発明では、プラスチ
ックフィルム又はシートを高清浄化する方法であって、
該高清浄化する方法がプラスチックフィルム又はシート
表面に霧状の洗浄用液体を吹きつけることによって洗浄
する洗浄工程と該吹き付けられて付着したプラスチック
フィルム又はシート表面の洗浄用液体を、無塵気体を高
圧で吹き付けて離脱、分散させる除去工程を含んでいる
ことを特徴とする高清浄プラスチックフィルム又はシー
トの製造方法としたものである。

【０００８】また、請求項２の発明では、前記プラスチ
ックフィルム又はシートは、表面電気抵抗が１０⁹ Ω／
□以下であることを特徴とする請求項１記載の高清浄プ
ラスチックフィルム又はシートの製造方法としたもので
ある。

【０００９】また、請求項３の発明では、前記洗浄用液
体が、水系液体、非水系液体のいずれか一つ又は複数の
組合せであることを特徴とする請求項１または２記載の
高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法とし
たものである。

【００１０】また、請求項４の発明では、前記洗浄用液
体の除去工程で吹き付ける無塵気体が、ＪＩＳにおける
清浄度クラス６以上の清浄度であることを特徴とする請
求項１、２または３記載の高清浄プラスチックフィルム
又はシートの製造方法としたものである。

【００１１】また、請求項５の発明では、前記高清浄化
する方法が、クリーンルーム又はクリーンブース内で行
われることを特徴とする請求項１、２、３または４記載
の高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法と
したものである。

【００１２】また、請求項６の発明では、前記クリーン
ルーム又はクリーンブースが、ＪＩＳにおける清浄度ク
ラス６以上の清浄度であることを特徴とする請求項５記
載の高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法
としたものである。

【００１３】また、請求項７の発明では、前記クリーン
ルーム又はクリーンブース内に、寸法０．５μｍ以上の
微粒子で３５００個／ｃｍ³ 以下である無塵空気を連続
して供給することを特徴とする請求項５または６記載の
高清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法とし
たものである。

【００１４】上記発明の製造方法によれば、得られた高
清浄プラスチックフィルム又はシートは、その表面に付
着した微粒子を無塵水中に離脱、分散させた時、フィル
ム又はシート表面に付着している寸法０．３μｍ以上の
微粒子の濃度（個数）がプラスチックフィルム又はシー
トの片面で１０００個／cm² 以下とすることができる、
製造コストが嵩まない高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法を提供できる。

【００１５】さらにまた、請求項８の発明では、前記高
清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法により
得られた高清浄プラスチックフィルム又はシートで構成
されていることを特徴とする高清浄包装袋としたもので
ある。

【００１６】上記請求項８の発明によれば、高清浄プラ
スチックフィルム又はシートで構成される高清浄包装袋
としたので、半導体分野の物品等を収納して清浄室内に
持ち込むことを可能にする高清浄包装袋を提供できる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を説明す
る。

【００１８】本発明の高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法に用いられるプラスチックフィルム又
はシートの材質としては、例えばポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ナイロン、ポリエステル、エチレン−ビニル
アルコール共重合体などが挙げられ、フィルム又はシー
トに成形できるものであれば特に制限なく使用できる。
これらは単層又はラミネートされた多層であってもよ
い。特に、プラスチックフィルム又はシートの表面電気
抵抗が１０⁹Ω／□以下のものとし、塵埃の付着しにく
いものが好ましい。また、プラスチックフィルム又はシ
ートの厚みにも特に制限がないが、好ましくは３０〜１
５０μｍの範囲のものが使用される。

【００１９】本発明の高清浄プラスチックフィルム又は
シートの製造方法は、図１の側面概略図に示すように、
例えば、プラスチックフィルム又はシート（１１）は無
塵空気を循環して清浄度を保っている洗浄室（１２）の
内部を通過する。その際、プラスチックフィルム又はシ
ート（１１）は洗浄液体供給ノズル（１３）から霧状に
なった洗浄用液体が吹き付けられ、それによってプラス
チックフィルム又はシート（１１）の表面に付着してい
る微粒子状の汚れが浮き上がり、除去可能な状態とな
る。

【００２０】ここで使用する洗浄用液体は超純水のよう
な水系液体、有機溶剤のような非水系液体、及びそれら
の混合液体を使用することが出来るが、安全性や取扱い
の利便性を鑑みて、超純水にイソプロピルアルコールを
混合したものが最も好ましい。この洗浄用液体を使用す
れば、洗浄室（１２）内部は高湿度状態となるので、静
電気的に付着している微粒子も除去可能となる。

【００２１】次に洗浄室（１２）を出たプラスチックフ
ィルム又はシート（１１）は、液体除去部（１４）の内
部を通過する。この液体除去部（１４）は無塵気体供給
ノズル（１５）によって常に清浄度が保たれている。こ
の無塵気体供給ノズル（１５）はエアナイフとして作用
し、プラスチックフィルム又はシート（１１）の表面に
付着している微粒子を洗浄用液体の液滴と共に除去する
ことができる。この液滴を含んだ無塵気体は、液体除去
部（１４）の外部でトラップ及びフィルタリングされ
て、清浄化された後に循環経路（図示せず）を経由して
再度液体除去部（１４）に無塵気体供給ノズル（１５）
によって供給される。ここで使用される無塵気体には、
空気や窒素といった不活性ガスをフィルター濾過して無
塵化したものが用いられるが、無塵化された気体であれ
ばこれらに限定されるものではない。

【００２２】好ましくは図１に示すように、複数の洗浄
用液体供給ノズル（１３）と無塵気体供給ノズル（１
５）を設置することが望まれるが、当然単数でもよく、
洗浄用液体供給ノズル（１３）と無塵気体供給ノズル
（１５）の数で本発明が限定されるものではない。ま
た、図１に示すように、洗浄されるプラスチックフィル
ム又はシートの両面を洗浄するすることができるが、当
然片面でもよく、本発明を限定するものではない。

【００２３】このように洗浄用液体を霧状にすること
で、前述した従来のプラスチックフィルム又はシート
（１１）の表面に付着する水分量が超純水に浸漬して洗
浄する方法に比べて、使用する洗浄用液体の量が圧倒的
に少なくなり、経済的に優位な方法とすることができ
る。また、それによってプラスチックフィルム又はシー
ト（１１）の表面又は端面からの水分の浸透も減り、熱
をかける乾燥工程が不要となる。本発明の方法では乾燥
の代わりに無塵気体でプラスチックフィルム又はシート
（１１）上の水分を吹き飛ばすという方法とし、さらに
エネルギー面でも経済性を考慮した方法である。

【００２４】例えば、従来の超音波振動空気を吹き付け
るだけの乾式洗浄装置では、人間の皮脂のような油汚れ
は除去することが出来ないが、本方法では容易に除去す
ることが出来る。人間の皮脂は、人間がプラスチックフ
ィルム又はシート（１１）の表面を触るだけで付着する
ものであり、製造中には汚れの発生が多々起こりうるた
めである。

【００２５】本発明の製造方法によって、高清浄プラス
チックフィルム又はシート（１）が製造されることか
ら、本発明の製造方法では、可能な限り清浄な空間内で
実施されることが望ましい。

【００２６】上記のような本発明の製造方法によれば、
少なくとも０．３μｍ以上の大きさの粒子は全て除去可
能である。しかし、処理工程の経済性及び要求される品
質によっては、処理条件（洗浄用液体の種類や無塵気体
の供給圧力等）をコントロールし、一定の（完全除去さ
れていない）清浄度を有するフィルム又はシートを得る
ようにしてもよい。

【００２７】

【実施例】次に実施例により、本発明を具体的に説明す
る。

【００２８】〈実施例１〉成形後、ブリードアウトして
清浄度を損なうような添加剤を含まないウエブ状のポリ
エチレンフィルムをロールに巻き取った。このフィルム
の厚さは８０μｍ、フィルムの幅は８０ｃｍであった。
また洗浄用液体として超純水にイソプロピルアルコール
を２０ｗｔ％添加したものを作成し、これをフィルター
にて濾過して無塵洗浄用液体とした。

【００２９】上記の洗浄用液体を、図１の側面概略図に
示すように、洗浄用液体供給ノズル（１３）によって霧
状にして洗浄室（１２）内に供給するが、液滴の粒径は
可能な限り小さなものになるようにした。液体除去部
（１４）及び無塵気体供給ノズル（１５）へ供給される
無塵気体は、０．３μｍの塵埃微粒子をフィルターによ
り９９．９７％除去して３５００個／ｍ³以下とした空
気を用いた。またロールに巻かれたウエブ状のプラスチ
ックフィルム（１１）を、図１に示す洗浄装置（１０
０）により洗浄した。この洗浄装置（１００）を設置し
たクリーンルーム内の清浄度はＪＩＳにおける清浄度ク
ラス６とした。

【００３０】図１に示す洗浄室（１２）内の洗浄される
プラスチックフィルム（１１）と洗浄用液体供給ノズル
（１３）の間隔及び液体除去部（１４）内のプラスチッ
クフィルム（１１）と無塵気体供給ノズル（１５）の間
隔はそれぞれ１０ｍｍとした。また、プラスチックフィ
ルム（１１）の走行速度を５ｍ／ｍｉｎとした。さらに
洗浄室（１２）及び液体除去部（１４）へ供給する空気
量は３０リットル／分、排気量は２８．３リットル／分
とし、洗浄室（１２）内及び液体除去部（１４）内がや
や陽圧になるように保った。

【００３１】このようにして得られた高清浄プラスチッ
クフィルム（１）の表面に付着した塵埃微粒子数は、光
散乱式自動粒子計測器によって計測され、高清浄プラス
チックフィルム（１）面積から単位面積あたりの微粒子
数が算出した結果、単位面積あたりの寸法０．３μｍ以
上の微粒子数は３個／ｃｍ²であった。

【００３２】〈比較例１〉図１に示す洗浄装置（１０
０）から洗浄室（１２）を取り外し、その他の条件は実
施例１と同様として、無塵空気による吹き付けだけでの
塵埃微粒子除去を試みた。

【００３３】上記比較例で得られたフィルムでは、単位
面積あたりの寸法０．３μｍ以上の微粒子数は２３８５
１個／ｃｍ²であった。

【００３４】

【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。

【００３５】即ち、プラスチックフィルム又はシートを
高清浄化する方法であって、表面電気抵抗が１０⁹ Ω／
□以下であるプラスチックフィルム又はシート表面に霧
状の洗浄用液体を吹きつけることによって洗浄する洗浄
工程と該吹き付けられて付着したプラスチックフィルム
又はシート表面の洗浄用液体を、無塵気体を高圧で吹き
付けて離脱、分散させる除去工程とでなり、前記洗浄用
液体が、水系液体、非水系液体のいずれか一つ又は複数
の組合せでなり、除去工程で吹き付ける無塵気体や高清
浄化するクリーンルーム又はクリーンブースがＪＩＳに
おける清浄度クラス６以上の清浄度とする条件下で高清
浄化するので、表面に付着している寸法０．３μｍ以上
の微粒子の個数がプラスチックフィルム又はシートの片
面で１０００個／ｃｍ² 以下とし、洗浄用液体やエネル
ギー量が少なくかつ大がかりな設備の追加無しで効率が
良く、コストが嵩まない高清浄プラスチックフィルム又
はシートの製造方法とすることができる。

【００３６】従って本発明は、半導体分野等で清浄室内
で用いることのできる高清浄プラスチック包装袋とし
て、優れた実用上の効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の高清浄プラスチックフィルム又はシー
トの製造方法の一実施の形態を説明する側面概略図であ
る。

【符号の説明】 １‥‥高清浄プラスチックフィルム又はシート １１‥‥プラスチックフィルム又はシート １２‥‥洗浄室 １３‥‥洗浄用液体供給ノズル １４‥‥液体除去部 １５‥‥無塵気体供給ノズル １００‥‥洗浄装置

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラスチックフィルム又はシートを高清浄
   化する方法であって、該高清浄化する方法がプラスチッ
   クフィルム又はシート表面に霧状の洗浄用液体を吹きつ
   けることによって洗浄する洗浄工程と該吹き付けられて
   付着したプラスチックフィルム又はシート表面の洗浄用
   液体を、無塵気体を高圧で吹き付けて離脱、分散させる
   除去工程とを含んでいることを特徴とする高清浄プラス
   チックフィルム又はシートの製造方法。
2. 【請求項２】前記プラスチックフィルム又はシートは、
   表面電気抵抗が１０⁹ Ω／□以下であることを特徴とす
   る請求項１記載の高清浄プラスチックフィルム又はシー
   トの製造方法。
3. 【請求項３】前記洗浄用液体が、水系液体、非水系液体
   のいずれか一つ又は複数の組合せであることを特徴とす
   る請求項１または２記載の高清浄プラスチックフィルム
   又はシートの製造方法。
4. 【請求項４】前記洗浄用液体の除去工程で吹き付ける無
   塵気体が、ＪＩＳにおける清浄度クラス６以上の清浄度
   であることを特徴とする請求項１、２または３記載の高
   清浄プラスチックフィルム又はシートの製造方法。
5. 【請求項５】前記高清浄化する方法が、クリーンルーム
   又はクリーンブース内で行われることを特徴とする請求
   項１、２、３または４記載の高清浄プラスチックフィル
   ム又はシートの製造方法。
6. 【請求項６】前記クリーンルーム又はクリーンブース
   が、ＪＩＳにおける清浄度クラス６以上の清浄度である
   ことを特徴とする請求項５記載の高清浄プラスチックフ
   ィルム又はシートの製造方法。
7. 【請求項７】前記クリーンルーム又はクリーンブース内
   に、寸法０．５μｍ以上の微粒子で３５００個／ｃｍ³
   以下である無塵空気を連続して供給することを特徴とす
   る請求項５または６記載の高清浄プラスチックフィルム
   又はシートの製造方法。
8. 【請求項８】前記高清浄プラスチックフィルム又はシー
   トの製造方法により得られた高清浄プラスチックフィル
   ム又はシートで構成されていることを特徴とする高清浄
   包装袋。