JP2008298320A - クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 - Google Patents
クリーンブース及びクリーンブースの換気方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】クリーンブース1の天井面1aと床面1bに、帯状シート9の走行方向と逆向きの空気吹出口2a、2bと吸込口6a、6bを設け、帯状シート9近傍で帯状シート9の走行方向と同一方向の流れが形成されるような旋回流をクリーンブース1内に形成する。これにより流れが滞留しやすい帯状シート9近傍の換気が効率よく行われ、クリーンブース1内の清掃度を効率よく維持できるようになる。
【選択図】図3
Description
Claims (6)
- 帯状シートが、ほぼ水平方向に連続的に通過するクリーンブースであって、前記クリーンブース内において帯状シートの走行方向と同一方向の流れとなる旋廻流を形成し、換気を行うことを特徴とするクリーンブース。
- 前記旋廻流が連続走行する前記帯状シートの上側と下側に形成されていることを特徴とする請求項1記載のクリーンブース。
- 請求項2のクリーンブースにおいて、前記クリーンブースの天井面と床面に前記帯状シートの走行方向と逆向きの空気吹出口を持つ給気部と、前記給気部と背中合わせとなるように配置された吸込口を持つ排気部とを備え、前記給気部と前記排気部とにより前記旋廻流を形成することを特徴とするクリーンブース。
- 帯状シートが、ほぼ水平方向に連続的に通過するクリーンブースの換気方法であって、前記クリーンブース内において帯状シートの走行方向と同一方向の流れとなる旋廻流を形成したことを特徴とするクリーンブースの換気方法。
- 前記旋廻流が連続走行する前記帯状シートの上側と下側に形成されていることを特徴とする請求項4記載のクリーンブースの換気方法。
- 請求項5のクリーンブースの換気方法において、前記クリーンブースの天井面と床面に前記帯状シートの走行方向と逆向きの空気吹出口を持つ給気部と、前記給気部と背中合わせとなるように配置された吸込口を持つ排気部とを備え、前記給気部と前記排気部とにより前記旋廻流を形成したことを特徴とするクリーンブースの換気方法。
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